KR100972426B1 - Apparatus for fixing a pipe and apparatus for cleaning a glass including the same - Google Patents

Apparatus for fixing a pipe and apparatus for cleaning a glass including the same Download PDF

Info

Publication number
KR100972426B1
KR100972426B1 KR1020080082918A KR20080082918A KR100972426B1 KR 100972426 B1 KR100972426 B1 KR 100972426B1 KR 1020080082918 A KR1020080082918 A KR 1020080082918A KR 20080082918 A KR20080082918 A KR 20080082918A KR 100972426 B1 KR100972426 B1 KR 100972426B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pipes
guide groove
substrate
pipe
fixing block
Prior art date
Application number
KR1020080082918A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20100024176A (en
Inventor
손석호
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020080082918A priority Critical patent/KR100972426B1/en
Publication of KR20100024176A publication Critical patent/KR20100024176A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100972426B1 publication Critical patent/KR100972426B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1316—Methods for cleaning the liquid crystal cells, or components thereof, during manufacture: Materials therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

파이프 고정 장치는 고정 블록 및 클램프들을 포함한다. 고정 블록은 상부에 다수의 파이프들이 서로 평행하게 배치된다. 고정 블록에는 파이프들과 수직한 방향으로 가이드홈이 형성된다. 클램프들은 파이프들 각각과 결합한 상태로 가이드홈에서 고정 블록에 장착되어 파이프들 각각을 고정하고, 고정 블록에 장착될 때 파이프들 각각의 사이 간격이 조절 가능하도록 가이드홈을 따라 이동하면서 장착된다. 따라서, 파이프들의 사이 간격을 간단하게 조절하면서 고정할 수 있다. The pipe fixing device includes a fixing block and clamps. In the fixed block, a plurality of pipes are arranged in parallel with each other. Guide grooves are formed in the fixing block in a direction perpendicular to the pipes. The clamps are mounted to the fixed block in the guide groove in combination with each of the pipes to fix each of the pipes, and are mounted while moving along the guide groove so that the spacing between each of the pipes is adjustable when mounted on the fixed block. Therefore, it is possible to fix while simply adjusting the space between pipes.

Description

파이프 고정 장치 및 이를 포함하는 기판 세정 장치{APPARATUS FOR FIXING A PIPE AND APPARATUS FOR CLEANING A GLASS INCLUDING THE SAME}Pipe fixing device and substrate cleaning device including the same {APPARATUS FOR FIXING A PIPE AND APPARATUS FOR CLEANING A GLASS INCLUDING THE SAME}

본 발명은 파이프 고정 장치 및 기판 세정 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 기판에 세정액을 분사하는데 사용되는 파이프를 고정하는 장치 및 이 장치에 고정된 상기 파이프를 통하여 상기 기판을 세정하는 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a pipe fixing device and a substrate cleaning device, and more particularly, to a device for fixing a pipe used for spraying a cleaning liquid to a substrate, and an apparatus for cleaning the substrate through the pipe fixed to the device. will be.

일반적으로, 평판표시장치에서 영상을 표시하는 사용되는 디스플레이 소자는 투명한 유리 재질의 기판을 기초로 하여 제조된다. 구체적으로, 상기 디스플레이 소자는 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정등을 수행하여 제조된다. In general, display elements used to display an image in a flat panel display device are manufactured based on a transparent glass substrate. Specifically, the display device is manufactured by performing a deposition process, an etching process, a photolithography process, a cleaning process, and the like.

이러한 공정들 중 세정 공정은 상기 기판을 일 방향으로 이송시키면서 상기 기판의 하부 및 상부에서 상기 기판에 세정액을 분사하는 기판 세정 장치를 통하여 진행된다. Among these processes, the cleaning process is performed through a substrate cleaning apparatus that sprays the cleaning liquid onto the substrate from the lower and upper portions of the substrate while transferring the substrate in one direction.

상기 기판 세정 장치는 이송하는 상기 기판의 하부 및 상부 각각에 서로 평행하게 설치된 제1 파이프들과 제2 파이프들, 상기 제1 파이프들과 상기 제2 파이프들 각각의 이송하는 상기 기판과 마주보는 부위에 결합되어 상기 세정액을 분사 하는 제1 노즐들과 제2 노즐들, 및 상기 제1 파이프들과 상기 제2 파이프들을 외부 프레임에 고정시키는 제1 파이프 고정부와 제2 파이프 고정부를 포함한다. The substrate cleaning apparatus may include: first and second pipes disposed in parallel with each other on the lower and upper portions of the substrate to be transported, and a portion facing the substrate to be transported of each of the first pipes and the second pipes. And a first pipe fixing part and a second pipe fixing part coupled to the first nozzles and the second nozzles to fix the first and second pipes to the outer frame.

그러나, 상기 제1 파이프 고정부와 제2 파이프 고정부는 상기 제1 파이프들과 상기 제2 파이프들을 정해진 간격으로 고정하기 때문에, 경우에 따라 상기 제1 파이프들과 상기 제2 파이프들의 간격을 조절하고자 할 때에는 상기 제1 파이프 고정부와 상기 제2 파이프 고정부 자체를 교체해야 하는 불편한 문제점이 있다. However, since the first pipe fixing part and the second pipe fixing part fix the first pipes and the second pipes at a predetermined interval, in some cases, the first pipe fixing part and the second pipe fixing part fix the gap between the first pipes and the second pipes. When doing so, there is an inconvenient problem of having to replace the first pipe fixing part and the second pipe fixing part itself.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 파이프들의 간격을 조절하면서 고정할 수 있는 파이프 고정 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, the present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a pipe fixing device that can be fixed while adjusting the spacing of the pipes.

또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 파이프 고정 장치를 포함하는 기판 세정 장치를 제공하는 것이다. Further, another object of the present invention is to provide a substrate cleaning apparatus including the pipe holding apparatus described above.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 파이프 고정 장치는 고정 블록 및 클램프들을 포함한다. 상기 고정 블록은 상부에 다수의 파이프들이 서로 평행하게 배치된다. 상기 고정 블록에는 상기 파이프들과 수직한 방향으로 가이드홈이 형성된다. 상기 클램프들은 상기 파이프들 각각과 결합한 상태로 상기 가이드홈에서 상기 고정 블록에 장착되어 상기 파이프들 각각을 고정하고, 상기 고정 블록에 장착될 때 상기 파이프들 각각의 사이 간격이 조절 가능하도록 상기 가이드홈을 따라 이동하면서 장착된다. In order to achieve the above object of the present invention, a pipe fixing device according to one aspect comprises a fixing block and clamps. The fixing block has a plurality of pipes arranged in parallel to each other. Guide grooves are formed in the fixing block in a direction perpendicular to the pipes. The clamps are mounted to the fixing block in the guide groove in engagement with each of the pipes to fix each of the pipes, and when mounted to the fixing block, the guide grooves to adjust an interval between the pipes. It is mounted while moving along.

상기 클램프들 각각은 볼트 및 너트를 통해 상기 고정 블록에 체결된다. 이에, 상기 클램프들 각각은 상기 볼트 및 상기 너트를 풀거나 조임으로써 상기 가이드홈을 따라 이동이 가능하도록 하거나 장착될 수 있다. Each of the clamps is fastened to the fixing block via bolts and nuts. Accordingly, each of the clamps may be mounted or movable along the guide groove by loosening or tightening the bolt and the nut.

이럴 경우, 상기 가이드홈의 안쪽에는 상기 볼트의 머리부 및 상기 너트 중 어느 하나가 삽입되는 공간이 형성되고, 상기 가이드홈의 입구는 상기 볼트의 나사 부 외경보다는 크면서 상기 볼트의 머리부 및 상기 너트의 외경보다 작은 폭을 가질 수 있다. In this case, a space in which one of the head of the bolt and the nut is inserted is formed inside the guide groove, and the inlet of the guide groove is larger than the outer diameter of the threaded portion of the bolt, and the head of the bolt and the It may have a width smaller than the outer diameter of the nut.

한편, 상기 클램프들 각각은 상기 파이프의 몸통 양측에서 상기 파이프를 고리 형태로 걸어 상기 고정 블록에 장착될 수 있다. Meanwhile, each of the clamps may be mounted on the fixing block by hooking the pipe in a ring shape on both sides of the body of the pipe.

상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판 세정 장치는 기판 세정부 및 파이프 고정부를 포함한다. 상기 기판 세정부는 기판의 하부에서 서로 평행하게 배치된 다수의 파이프들 및 상기 파이프들 각각에 결합되어 상기 기판에 세정액을 분사하는 다수의 노즐들을 포함한다. 상기 파이프 고정부는 상기 파이프들의 하부에 설치되고 상기 파이프들과 수직한 방향으로 가이드홈이 형성된 고정 블록, 및 상기 파이프들 각각과 결합한 상태로 상기 가이드홈에서 상기 고정 블록에 장착되어 상기 파이프들 각각을 고정하고 상기 고정 블록에 장착될 때 상기 파이프들 각각의 사이 간격이 조절 가능하도록 상기 가이드홈을 따라 이동하면서 장착되는 클램프들을 포함한다.In order to achieve the above object of the present invention, a substrate cleaning apparatus according to one aspect includes a substrate cleaning portion and a pipe fixing portion. The substrate cleaner includes a plurality of pipes disposed parallel to each other at a lower portion of the substrate, and a plurality of nozzles coupled to each of the pipes to spray the cleaning liquid onto the substrate. The pipe fixing part is installed at the lower portion of the pipes and the guide block is formed in the direction perpendicular to the pipes, and is mounted to the fixing block in the guide groove in the state coupled with each of the pipes to each of the pipes And clamps mounted while moving along the guide groove so that the gap between each of the pipes can be adjusted when fixed and mounted to the fixing block.

이에, 상기 기판 세정 장치는 상기 기판의 상부에서 서로 평행하게 배치된 다수의 제2 파이프들 및 상기 제2 파이프들 각각에 결합되어 상기 기판에 세정액을 분사하는 다수의 제2 노즐들을 갖는 제2 기판 세정부 및 상기 제2 파이프들의 상부에 설치되고 상기 제2 파이프들과 수직한 방향으로 제2 가이드홈이 형성된 제2 고정 블록 및 상기 제2 파이프들 각각과 결합한 상태로 상기 제2 가이드홈에서 상기 제2 고정 블록에 장착되어 상기 제2 파이프들 각각을 고정하고 상기 제2 고정 블록에 장착될 때 상기 제2 파이프들 각각의 사이 간격이 조절 가능하도록 상기 제2 가 이드홈을 따라 이동하면서 장착되는 제2 클램프들을 갖는 제2 파이프 고정부를 더 포함할 수 있다. Accordingly, the substrate cleaning apparatus may include a plurality of second pipes disposed in parallel with each other on the substrate and a second substrate having a plurality of second nozzles coupled to each of the second pipes and spraying the cleaning liquid onto the substrate. A second fixing block and a second fixing block formed on the cleaning unit and the second pipes and having a second guide groove formed in a direction perpendicular to the second pipes, respectively in the second guide groove; Mounted to a second fixing block to fix each of the second pipes, and when mounted to the second fixing block, the second pipes are mounted while moving along the second guide groove so that the distance between each of the second pipes is adjustable. It may further comprise a second pipe fixture having second clamps.

이러한 파이프 고정 장치 및 이를 포함하는 기판 세정 장치에 따르면, 세정액을 분사하는 노즐들이 결합되고 서로 평행하게 놓여지는 다수의 파이프들을 고정 블록의 가이드홈을 따라 이동 가능한 클램프들을 통해 상기 고정 블록에 고정함으로써, 상기 파이프들의 사이 간격을 상기 클램프들의 이동을 통하여 간단하게 조절할 수 있다.According to such a pipe fixing device and a substrate cleaning device including the same, a plurality of pipes in which nozzles for spraying cleaning liquid are coupled and placed in parallel with each other are fixed to the fixing block through clamps movable along guide grooves of the fixing block. The spacing between the pipes can simply be adjusted through the movement of the clamps.

따라서, 상기 파이프들의 사이 간격을 조절함에 있어서, 상기 고정 블록을 교체할 필요성이 배제됨으로써, 작업성이 용이해지며 자재 비용도 절감할 수 있다. Therefore, in adjusting the space between the pipes, the need to replace the fixing block is eliminated, thereby making it easy to work and reduce material costs.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 파이프 고정 장치 및 이를 포함하는 기판 세정 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.Hereinafter, a pipe fixing device and a substrate cleaning device including the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the invention.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.1 is a schematic view showing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치(1000)는 제1 기판 세정부(100), 제2 기판 세정부(200), 제1 파이프 고정부(300) 및 제2 파이프 고정부(400)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the substrate cleaning apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention may include a first substrate cleaner 100, a second substrate cleaner 200, a first pipe fixing part 300, and a second substrate cleaner. And a pipe fixing part 400.

상기 제1 기판 세정부(100)는 일 방향으로 이송하는 기판(G)의 하부에 설치 된다. 상기 제1 기판 세정부(100)는 이송하는 상기 기판(G)의 하부면에 세정액을 분사하여 상기 기판(G)을 세정한다. The first substrate cleaner 100 is installed below the substrate G which is transferred in one direction. The first substrate cleaner 100 cleans the substrate G by spraying a cleaning solution on the lower surface of the substrate G to be transferred.

여기서, 상기 기판(G)은 일 예로, 액정을 이용하여 영상을 표시하는 액정표시장치(LCD)를 제조하는데 사용되는 유리 재질의 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 기판 또는 컬러 필터(Color Filter; CF) 기판일 수 있다. 이와 달리, 상기 기판(G)은 반도체 소자를 제조하는데 사용되는 반도체 기판일 수 있다.The substrate G may be, for example, a thin film transistor (TFT) substrate or a color filter made of a glass material used to manufacture a liquid crystal display (LCD) for displaying an image using liquid crystals; CF) substrate. Alternatively, the substrate G may be a semiconductor substrate used to manufacture a semiconductor device.

상기 제1 기판 세정부(100)는 다수의 제1 파이프(110)들 및 다수의 제1 노즐(120)들을 포함한다. 상기 제1 파이프(110)들은 이송하는 상기 기판(G)의 하부에서 서로 평행하게 배치된다. 구체적으로, 상기 제1 파이프(110)들은 상기 기판(G)이 이송하는 방향과 수직한 방향으로 배치될 수 있다. The first substrate cleaner 100 includes a plurality of first pipes 110 and a plurality of first nozzles 120. The first pipes 110 are disposed in parallel to each other at the lower portion of the substrate (G) for transporting. In detail, the first pipes 110 may be disposed in a direction perpendicular to a direction in which the substrate G is transferred.

상기 제1 파이프(110)들은 양단부가 외부의 프레임(10)에 의하여 지지될 수 있다. 이에, 상기 제1 파이프(110)들은 상기 프레임(10)에 단순히 지지되고 있음에 따라 그들의 사이 간격은 얼마든지 가변될 수 있다. Both ends of the first pipe 110 may be supported by an outer frame 10. Thus, as the first pipes 110 are simply supported by the frame 10, the distance between them may vary.

상기 제1 파이프(110)들에는 외부로부터 상기 세정액이 공급된다. 상기 세정액은 일 예로, 탈이온수(H2O)와 같은 중성 용액을 포함할 수 있다. 이와 달리, 상기 기판(G)의 하부면을 대상으로 이전 공정에서 특정 화학 처리가 이루어질 경우, 상기 세정액은 강산 또는 강염기 등의 다양한 화학 약품을 포함할 수 있다. The cleaning liquid is supplied to the first pipes 110 from the outside. The cleaning solution may include, for example, a neutral solution such as deionized water (H 2 O). In contrast, when a specific chemical treatment is performed on the lower surface of the substrate G in a previous process, the cleaning liquid may include various chemicals such as a strong acid or a strong base.

상기 제1 노즐(120)들은 상기 제1 파이프(110)들 각각에 다수가 일정한 간격으로 결합된다. 구체적으로, 상기 제1 노즐(120)들은 상기 제1 파이프(110)들 각각의 이송하는 상기 기판(G)과 마주보는 상부에 결합된다. The first nozzles 120 are coupled to each of the first pipes 110 at regular intervals. In detail, the first nozzles 120 are coupled to an upper portion facing the substrate G that transfers each of the first pipes 110.

상기 제1 노즐(120)들은 상기 제1 파이프(110)들에 공급되는 상기 세정액을 상기 기판(G)의 하부면에 분사한다. 이로써, 상기 제1 노즐(120)들로부터 분사되는 상기 세정액은 상기 기판(G)의 하부면을 세정하게 된다. The first nozzles 120 spray the cleaning liquid supplied to the first pipes 110 to the lower surface of the substrate G. As a result, the cleaning liquid injected from the first nozzles 120 cleans the lower surface of the substrate G.

이때, 상기 제1 노즐(120)들은 상기 세정액을 상기 기판(G) 하부면의 일정 영역을 한번에 세정할 수 있도록 일정 각도로 분사한다. 또한, 상기 제1 노즐(120)들은 상기 각도로 분사할 경우 상기 기판(G)의 하부면을 전체적으로 세정할 수 있도록 상기 제1 파이프(110)들 각각에 결합되는 간격이 조절될 수 있다.In this case, the first nozzles 120 spray the cleaning liquid at a predetermined angle to clean a predetermined region of the lower surface of the substrate G at a time. In addition, when the first nozzles 120 are sprayed at the angle, the intervals coupled to each of the first pipes 110 may be adjusted to clean the lower surface of the substrate G as a whole.

상기 제2 기판 세정부(200)는 이송하는 상기 기판(G)의 상부에 배치된다. 상기 제2 기판 세정부(200)는 이송하는 상기 기판(G)의 상부면에 상기 세정액을 분사하여 상기 기판(G)을 세정한다. The second substrate cleaner 200 is disposed above the substrate G to be transferred. The second substrate cleaner 200 cleans the substrate G by spraying the cleaning liquid on the upper surface of the substrate G to be transferred.

상기 제2 기판 세정부(200)는 다수의 제2 파이프(210)들 및 다수의 제2 노즐(220)들을 포함한다. 상기 제2 파이프(210)들은 이송하는 상기 기판(G)의 상부에서 서로 평행하게 배치된다. The second substrate cleaner 200 includes a plurality of second pipes 210 and a plurality of second nozzles 220. The second pipes 210 are disposed in parallel with each other on the upper portion of the substrate G for conveying.

구체적으로, 상기 제2 파이프(210)들은 상기 기판(G)이 이송하는 방향과 평행한 방향으로 배치될 수 있다. 즉, 상기 제2 파이프(210)들은 상기 제1 파이프(110)들과 수직하게 배치될 수 있다. 이는, 이송하는 상기 기판(G)의 상부에는 상기 기판 세정 장치(1000)의 외관을 형성하는 하우징 또는 상기 기판(G)의 상부면을 보다 확실하게 세정하기 위한 다른 세정 장치가 설치될 수 있기 때문이다. 이와 달리, 상기 제2 파이프(210)들은 상기와 같은 하우징 또는 다른 세정 장치의 설계를 변경한다면, 상기 제1 파이프(110)들과 평행하게 배치될 수도 있다. Specifically, the second pipes 210 may be disposed in a direction parallel to the direction in which the substrate G is transferred. That is, the second pipes 210 may be disposed perpendicularly to the first pipes 110. This is because a housing forming the external appearance of the substrate cleaning apparatus 1000 or another cleaning device for more reliably cleaning the upper surface of the substrate G may be installed on the substrate G to be transferred. to be. Alternatively, the second pipes 210 may be arranged parallel to the first pipes 110 if the design of the housing or other cleaning device is changed.

상기 제2 파이프(210)들은 양단부가 상기 프레임(10)에 의하여 지지될 수 있다. 이에, 상기 제2 파이프(210)들은 상기 제1 파이프(110)들과 마찬가지로, 상기 프레임(10)에 단순히 지지되고 있음에 따라 그들의 사이 간격을 얼마든지 가변될 수 있다. 또한, 상기 제2 파이프(210)들에는 외부로부터 상기 세정액이 공급된다. Both ends of the second pipes 210 may be supported by the frame 10. As such, the second pipes 210 may be varied as much as the distance between them as the first pipes 110 are simply supported by the frame 10. In addition, the cleaning liquid is supplied to the second pipes 210 from the outside.

상기 제2 노즐(220)들은 상기 제2 파이프(210)들 각각에 다수가 일정한 간격으로 결합된다. 구체적으로, 상기 제2 노즐(220)들은 상기 제2 파이프(210)들 각각의 이송하는 상기 기판(G)과 마주보는 하부에 결합된다. 상기 제2 노즐(220)들은 상기 제2 파이프(210)들에 공급되는 상기 세정액을 상기 기판(G)의 상부면에 분사한다. The second nozzles 220 are coupled to each of the second pipes 210 at regular intervals. In detail, the second nozzles 220 are coupled to a lower portion facing the substrate G that transfers each of the second pipes 210. The second nozzles 220 spray the cleaning liquid supplied to the second pipes 210 to the upper surface of the substrate G.

상기 제1 파이프 고정부(300)는 상기 제1 파이프(110)들의 하부에서 상기 프레임(10)에 설치된다. 상기 제1 파이프 고정부(300)는 상기 제1 파이프(110)들의 사이 간격이 일정하도록 상기 제1 파이프(110)들을 고정한다. The first pipe fixing part 300 is installed in the frame 10 under the first pipes 110. The first pipe fixing part 300 fixes the first pipes 110 so that the interval between the first pipes 110 is constant.

이하, 상기 제1 파이프 고정부(300)는 도 2 및 도 3을 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다. Hereinafter, the first pipe fixing part 300 will be described in more detail with reference to FIGS. 2 and 3.

도 2는 도 1에 도시된 기판 세정 장치의 제1 파이프 고정부를 나타낸 분해 사시도이고, 도 3은 도 1의 제1 파이프 고정부를 결합하여 위에서 바라본 도면이다.FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating a first pipe fixing part of the substrate cleaning apparatus of FIG. 1, and FIG. 3 is a view as viewed from above in combination with the first pipe fixing part of FIG. 1.

도 2 및 도 3을 추가적으로 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 파이프 고정부(300)는 제1 고정 블록(310) 및 다수의 제1 클램프(320)들을 포함한다.2 and 3, the first pipe fixing part 300 according to an embodiment of the present invention includes a first fixing block 310 and a plurality of first clamps 320.

상기 제1 고정 블록(310)은 상기 제1 파이프(110)들과 수직한 방향으로 길게 상기 프레임(10)에 설치된다. 상기 제1 고정 블록(310)의 상부에는 상기 제1 파이프(110)들이 배치된다. The first fixing block 310 is installed in the frame 10 in a direction perpendicular to the first pipes 110. The first pipes 110 are disposed on the first fixing block 310.

이에, 상기 제1 고정 블록(310)은 하나가 상기 제1 파이프(110)들이 모두 배치되도록 할 수도 있고, 상기 제1 파이프(110)들의 개수가 많아질 경우, 여러 개로 나누어질 수 있다. Accordingly, one of the first fixing blocks 310 may allow all of the first pipes 110 to be disposed, and when the number of the first pipes 110 increases, the first fixing block 310 may be divided into several pieces.

상기 제1 고정 블록(310)에는 상기 제1 파이프(110)들과 수직한 방향으로 길게 일정한 폭을 갖는 제1 가이드홈(312)이 형성된다. 상기 제1 가이드홈(312)은 상기 제1 고정 블록(310)의 상기 제1 파이프(110)들이 배치된 상부에 형성된다. The first fixing block 310 is formed with a first guide groove 312 having a predetermined width long in a direction perpendicular to the first pipes 110. The first guide groove 312 is formed in an upper portion in which the first pipes 110 of the first fixing block 310 are disposed.

상기 제1 클램프(320)들은 상기 제1 파이프(110)들 각각에 결합된 상태로 상기 제1 가이드홈(312)에서 상기 제1 고정 블록(310)에 장착되어 상기 제1 파이프(110)들 각각을 고정한다.The first clamps 320 are mounted to the first fixing block 310 in the first guide groove 312 in a state in which the first clamps 320 are coupled to each of the first pipes 110. Secure each one.

구체적으로, 상기 제1 클램프(320)들 각각은 상기 제1 파이프(110)의 몸통 양측에서 상기 제1 파이프(110)를 고리 형태로 걸어 상기 제1 고정 블록(310)에 장착된다. In detail, each of the first clamps 320 is mounted to the first fixing block 310 by hooking the first pipe 110 in a ring shape on both sides of the body of the first pipe 110.

이때, 상기 제1 클램프(320)들 각각은 상기 제1 가이드홈(312)에서 상기 제1 고정 블록(310)에 장착될 때 상기 제1 파이프(110)들의 각각의 사이 간격이 조절되도록 상기 제1 가이드홈(312)을 따라 이동하면서 장착된다.At this time, each of the first clamps 320 is the first guide grooves 312 when the first fixing block 310 is mounted on the first fixing block 310 so that the interval between each of the first pipe 110 is adjusted 1 is mounted while moving along the guide groove (312).

이와 같이, 상기 세정액을 분사하는 상기 제1 노즐(120)들이 결합되고 서로 평행하게 놓여지는 상기 제1 파이프(110)들을 상기 제1 고정 블록(310)의 상기 제1 가이드홈(312)을 따라 이동하면서 장착되는 상기 제1 클램프(320)들을 통해 상기 제1 고정 블록(310)에 고정함으로써, 상기 제1 파이프(110)들의 사이 간격을 상기 제1 클램프(320)들의 이동을 통하여 간단하게 조절할 수 있다.As such, the first pipes 110, in which the first nozzles 120 for spraying the cleaning liquid are coupled and placed in parallel with each other, are disposed along the first guide groove 312 of the first fixing block 310. By fixing to the first fixing block 310 through the first clamps 320 which are mounted while moving, the distance between the first pipes 110 can be easily adjusted through the movement of the first clamps 320. Can be.

이하, 상기 제1 클램프(320)들에 대해서는 도 4 및 도 5를 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, the first clamps 320 will be described in more detail with reference to FIGS. 4 and 5.

도 4는 도 3의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이고, 도 5는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 3, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. 3.

도 4 및 도 5를 추가적으로 참조하면, 상기 제1 클램프(320)들 각각은 상기 제1 고정 블록(310)에 볼트(330) 및 너트(340)를 통해 상기 제1 고정 블록(310)에 체결된다.4 and 5, each of the first clamps 320 is fastened to the first fixing block 310 through a bolt 330 and a nut 340 to the first fixing block 310. do.

상기 볼트(330)는 일반적으로, 조이거나 푸는 작업을 수행하기 위하여 외부로부터 작업 공구가 체결되는 머리부(332) 및 상기 머리부(332)로부터 연장되어 실질적으로 상기 너트(340)에 나사 결합되는 나사부(334)를 포함한다.The bolt 330 is generally screwed to the nut 340 extending from the head 332 and the head 332 to which the work tool is fastened from the outside to perform the tightening or loosening operation. And a threaded portion 334.

이에, 상기 제1 클램프(320)들 각각에는 상기 볼트(330)의 나사부(334)는 관통하면서 상기 머리부(332)는 통과하지 못하는 결합홀(322)이 형성된다. 또한, 상기 제1 가이드홈(312)의 안쪽에는 상기 너트(340)를 삽입되는 공간이 형성된다. 또한, 상기 제1 가이드홈(312)의 입구는 상기 볼트(330)의 나사부(334)는 관통하면서 상기 머리부(332) 및 상기 너트(340)가 통과하지 못하는 폭을 갖는다. Accordingly, each of the first clamps 320 is provided with a coupling hole 322 that passes through the threaded portion 334 of the bolt 330 but does not pass through the head portion 332. In addition, a space in which the nut 340 is inserted is formed inside the first guide groove 312. In addition, the inlet of the first guide groove 312 has a width that does not pass through the head portion 332 and the nut 340 while passing through the screw portion 334 of the bolt 330.

이로써, 상기 제1 고정 블록(310)은 상기 제1 가이드홈(312)의 입구에 상기 볼트(330)의 머리부(332)와 상기 너트(340)가 통과하지 못하는 걸림부(314)가 형성된다. 또한, 상기 제1 가이드홈(312)은 양쪽 단부들이 상기 제1 고정 블록(310)의 양 측면들로 노출된다. Thus, the first fixing block 310 is formed at the inlet of the first guide groove 312, the locking portion 314 that the head 332 and the nut 340 of the bolt 330 does not pass through is formed. do. In addition, both ends of the first guide groove 312 are exposed to both sides of the first fixing block 310.

이에 따라, 상기 제1 클램프(320)들 각각이 상기 제1 고정 블록(310)에 상기 제1 파이프(110)들의 사이 간격을 조절하면서 고정되는 방식에 대하여 간단하게 설명하면, 우선 상기 제1 클램프(320)를 상기 제1 파이프(110)를 감싼 상태로 상기 제1 가이드홈(312)에 위치시킨다.Accordingly, a brief description will be made of a method in which each of the first clamps 320 is fixed to the first fixing block 310 while adjusting the distance between the first pipes 110. The 320 is positioned in the first guide groove 312 while wrapping the first pipe 110.

이어, 상기 너트(340)를 상기 제1 고정 블록(310)의 측면으로부터 상기 제1 가이드홈(312)의 안쪽으로 삽입시킨다. 이어, 상기 볼트(330)의 나사부(334)를 상기 제1 클램프(320)의 결합홀(322)에 삽입시키면서 상기 제1 가이드홈(312)의 안쪽에 삽입시킨 상기 너트(340)에 가볍게 체결시킨다.Subsequently, the nut 340 is inserted into the first guide groove 312 from the side surface of the first fixing block 310. Subsequently, the screw 334 of the bolt 330 is lightly fastened to the nut 340 inserted into the first guide groove 312 while being inserted into the coupling hole 322 of the first clamp 320. Let's do it.

이어, 상기 제1 클램프(320)에 감싸여진 상기 제1 파이프(110)가 사용자가 원하는 위치에 오도록 상기 제1 클램프(320)의 위치를 상기 제1 가이드홈(312)을 따라 이동시킨다. 이어, 상기 볼트(330)의 머리부(332)를 공구를 이용해 조여서 상기 나사부(334)가 상기 너트(340)에 완전하게 체결시킨다. Subsequently, the position of the first clamp 320 is moved along the first guide groove 312 such that the first pipe 110 wrapped in the first clamp 320 is at a position desired by the user. Subsequently, the head 332 of the bolt 330 is tightened by using a tool to completely tighten the screw 334 to the nut 340.

이로써, 상기 볼트(330)의 머리부(332)와 상기 너트(340)의 사이에 상기 제1 클램프(320)의 결합홀(322)이 형성된 부위와 상기 제1 고정 블록(310)의 걸림부(314)가 완전하게 밀착 고정되면서 상기 제1 클램프(320)를 상기 제1 파이프(110)를 고리 형태로 건 상태로 상기 제1 고정 블록(310)에 완전하게 고정시킨다.As a result, a portion in which the coupling hole 322 of the first clamp 320 is formed between the head 332 of the bolt 330 and the nut 340 and the engaging portion of the first fixing block 310 are formed. While the 314 is completely tightly fixed, the first clamp 320 is completely fixed to the first fixing block 310 while the first pipe 110 is opened in a ring shape.

한편, 상기 제1 클램프(320)에 의하여 고정된 상기 제1 파이프(110)의 고정 위치를 다시 조절하고자 할 경우에는 우선, 상기 볼트(330)의 머리부(332)를 외부 로부터 작업 공구를 통해 풀어서 상기 제1 클램프(320)와 상기 제1 고정 블록(310)을 사이를 약간 느슨하게 한다. On the other hand, if you want to adjust the fixed position of the first pipe 110 fixed by the first clamp 320 again, first, the head 332 of the bolt 330 from the outside through a working tool Loosen the first clamp 320 and the first fixing block 310 slightly.

이어, 상기 제1 클램프(320)를 상기 제1 파이프(110)를 고리 형태로 건 상태로 상기 제1 가이드홈(312)을 따라 사용자가 원하는 위치에 이동시킨다. 이어, 상기 볼트(330)의 머리부(332)를 작업 공구를 통해 조여서 상기 제1 클램프(320)를 상기 제1 고정 블록(310)에 완전하게 고정시킨다. Subsequently, the first clamp 320 is moved to a position desired by the user along the first guide groove 312 in a state in which the first pipe 110 is opened in a ring shape. Then, the head 332 of the bolt 330 is tightened through a work tool to completely fix the first clamp 320 to the first fixing block 310.

따라서, 상기 제1 파이프(110)들의 사이 간격을 조절함에 있어서, 상기 제1 고정 블록(310)을 교체할 필요 없이 단순히 상기 볼트(330)를 풀었다 조였다 함으로써, 상기 제1 파이프(110)들의 사이 간격을 조절하기 위한 작업을 보다 효율적으로 할 수 있을 뿐 아니라, 상기 제1 고정 블록(310)도 하나로 줄임으로써 자재 비용도 절감할 수 있다. Therefore, in adjusting the gap between the first pipes 110, by simply loosening and tightening the bolt 330 without having to replace the first fixing block 310, the first pipes 110 of the Not only can the work for adjusting the spacing more efficiently, but also the material cost can be reduced by reducing the first fixing block 310 as one.

상기 제2 파이프 고정부(400)는 제2 고정 블록(410) 및 제2 클램프(420)들을 포함한다. 상기 제2 고정 블록(410)은 상기 제2 파이프(210)들과 수직한 방향으로 길게 상기 프레임(10)에 설치된다. The second pipe fixing part 400 includes a second fixing block 410 and second clamps 420. The second fixing block 410 is installed in the frame 10 in a direction perpendicular to the second pipes 210.

상기 제2 고정 블록(410)에는 상기 제2 파이프(210)들과 수직한 방향으로 길게 일정한 폭을 갖는 제2 가이드홈(412)이 형성된다. 상기 제2 가이드홈(412)은 상기 제2 고정 블록(410)의 상기 제2 파이프(210)들이 배치된 하부에 형성된다. The second fixing block 410 is formed with a second guide groove 412 having a predetermined width long in a direction perpendicular to the second pipes 210. The second guide groove 412 is formed at the bottom of the second pipe 210 of the second fixing block 410 is disposed.

상기 제2 클램프(420)들은 상기 제2 파이프(210)들 각각을 고리 형태로 건 상태로 상기 제2 가이드홈(412)에서 상기 제2 고정 블록(410)에 장착된다. 이때, 상기 제2 클램프(420)들 각각은 상기 제2 가이드홈(412)에서 상기 제2 고정 블 록(410)에 장착될 때 상기 제1 파이프(110)들의 각각의 사이 간격이 조절되도록 상기 제2 가이드홈(412)을 따라 이동하면서 장착된다.The second clamps 420 are mounted to the second fixing block 410 in the second guide groove 412 in a state in which each of the second pipes 210 is opened in a ring shape. In this case, each of the second clamps 420 may be adjusted so that an interval between each of the first pipes 110 is adjusted when the second clamp 420 is mounted to the second fixing block 410 in the second guide groove 412. It is mounted while moving along the second guide groove 412.

이상과 같이, 상기 제2 파이프 고정부(400)는 그 배치된 위치를 제외하고는 상기 제1 파이프 고정부(300)와 동일한 구성을 가짐으로써, 그 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다. As described above, since the second pipe fixing part 400 has the same configuration as the first pipe fixing part 300 except for the disposed position, detailed description thereof will be omitted.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

상술한 본 발명은 기판을 세정하기 위하여 사용되는 서로 평행한 다수의 파이프들을 그 사이 간격을 간단하게 조절하면서 고정할 수 있는 고정 장치에 이용될 수 있다. The present invention described above can be used in a fixing device capable of fixing a plurality of pipes parallel to each other used to clean a substrate while simply adjusting the gap therebetween.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.1 is a schematic view showing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 기판 세정 장치의 제1 파이프 고정부를 나타낸 분해 사시도이다. FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating a first pipe fixing part of the substrate cleaning apparatus of FIG. 1.

도 3은 도 1의 제1 파이프 고정부를 결합하여 위에서 바라본 도면이다.3 is a view as viewed from the top combining the first pipe fixing of FIG.

도 4는 도 3의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 3.

도 5는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이다. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line II-II 'of FIG. 3.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

G : 기판 100 : 제1 기판 세정부G: substrate 100: first substrate cleaning unit

110 : 제1 파이프 200 : 제2 기판 세정부110: first pipe 200: second substrate cleaning unit

210 : 제2 파이프 300 : 제1 파이프 고정부210: second pipe 300: first pipe fixing portion

310 : 제1 고정 블록 312 : 제1 가이드홈310: first fixing block 312: first guide groove

320 : 제1 클램프 330 : 볼트320: first clamp 330: bolt

340 : 너트 400 : 제2 파이프 고정부340: nut 400: second pipe fixing portion

410 : 제2 고정 블록 412 : 제2 가이드홈410: second fixing block 412: second guide groove

420 : 제2 클램프420: second clamp

Claims (6)

상부에 다수의 파이프들이 서로 평행하게 놓여지고, 상기 파이프들과 수직한 방향으로 가이드홈이 형성된 고정 블록; 및 A fixed block having a plurality of pipes disposed in parallel with each other and having a guide groove formed in a direction perpendicular to the pipes; And 상기 파이프들 각각과 결합한 상태로 상기 가이드홈에서 상기 고정 블록에 장착되어 상기 파이프들 각각을 고정하고, 상기 고정 블록에 장착될 때 상기 파이프들 각각의 사이 간격이 조절 가능하도록 상기 가이드홈을 따라 이동하면서 장착되는 클램프들을 포함하고, Mounted to the fixing block in the guide groove in the state coupled with each of the pipes to fix each of the pipes, when mounted on the fixing block moves along the guide groove so that the spacing between each of the pipes is adjustable Including clamps mounted while 상기 클램프들 각각은 각 파이프의 몸통 양측에서 각 파이프를 고리 형태로 걸어 상기 고정 블록에 상기 가이드홈을 따라 볼트 및 너트의 체결을 통해 장착되는 구조를 가짐으로써 상기 볼트 및 상기 너트의 체결을 일부 풀어 느슨하게 할 경우 상기 파이프들 각각을 건 상태에서도 상기 파이프들 각각의 사이 간격이 조절 가능한 것을 특징으로 하는 파이프 고정 장치.Each of the clamps has a structure in which each pipe is hooked on both sides of the trunk of the pipe to be mounted to the fixing block through the fastening of the bolt and the nut along the guide groove to partially loosen the bolt and the nut. When loosened, the pipe holding device, characterized in that the spacing between each of the pipes can be adjusted even when each of the pipes. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 가이드홈의 안쪽에는 상기 볼트의 머리부 및 상기 너트 중 어느 하나가 삽입되는 공간이 형성되고, 상기 가이드홈의 입구는 상기 볼트의 나사부 외경보다는 크면서 상기 볼트의 머리부 및 상기 너트의 외경보다 작은 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 파이프 고정 장치.According to claim 1, wherein the inside of the guide groove is formed a space in which any one of the head and the nut of the bolt is inserted, the inlet of the guide groove is larger than the outer diameter of the threaded portion of the bolt and the head of the bolt And a width smaller than the outer diameter of the nut. 삭제delete 기판의 하부에서 서로 평행하게 배치된 다수의 파이프들 및 상기 파이프들 각각에 결합되어 상기 기판에 세정액을 분사하는 다수의 노즐들을 갖는 기판 세정부; 및 A substrate cleaner having a plurality of pipes disposed parallel to each other at a lower portion of the substrate and a plurality of nozzles coupled to each of the pipes to spray a cleaning liquid onto the substrate; And 상기 파이프들의 하부에 설치되고 상기 파이프들과 수직한 방향으로 가이드홈이 형성된 고정 블록 및 상기 파이프들 각각과 결합한 상태로 상기 가이드홈에서 상기 고정 블록에 장착되어 상기 파이프들 각각을 고정하고, 상기 고정 블록에 장착될 때 상기 파이프들 각각의 사이 간격이 조절 가능하도록 상기 가이드홈을 따라 이동하면서 장착되는 클램프들을 갖는 파이프 고정부를 포함하며,A fixed block installed at a lower portion of the pipes and formed with a guide groove in a direction perpendicular to the pipes, and fixed to each of the pipes by being mounted to the fixed block in the guide groove in combination with each of the pipes; A pipe fixing part having clamps mounted while moving along the guide groove so that the distance between each of the pipes is adjustable when mounted to the block, 상기 클램프들 각각은 각 파이프의 몸통 양측에서 각 파이프를 고리 형태로 걸어 상기 고정 블록에 상기 가이드홈을 따라 볼트 및 너트의 체결을 통해 장착되는 구조를 가짐으로써 상기 볼트 및 상기 너트의 체결을 일부 풀어 느슨하게 할 경우 상기 파이프들 각각을 건 상태에서도 상기 파이프들 각각의 사이 간격이 조절 가능한 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.Each of the clamps has a structure in which each pipe is hooked on both sides of the trunk of the pipe to be mounted to the fixing block through the fastening of the bolt and the nut along the guide groove to partially loosen the bolt and the nut. When loosened, substrate cleaning apparatus, characterized in that the interval between each of the pipes can be adjusted even when the respective pipes are opened. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 기판의 상부에서 서로 평행하게 배치된 다수의 제2 파이프들 및 상기 제2 파이프들 각각에 결합되어 상기 기판에 세정액을 분사하는 다수의 제2 노즐들을 갖는 제2 기판 세정부; 및 A second substrate cleaner having a plurality of second pipes disposed in parallel with each other on an upper portion of the substrate and a plurality of second nozzles coupled to each of the second pipes to spray a cleaning liquid onto the substrate; And 상기 제2 파이프들의 상부에 설치되고, 상기 제2 파이프들과 수직한 방향으로 제2 가이드홈이 형성된 제2 고정 블록 및 상기 제2 파이프들 각각과 결합한 상태로 상기 제2 가이드홈에서 상기 제2 고정 블록에 장착되어 상기 제2 파이프들 각각을 고정하고, 상기 제2 고정 블록에 장착될 때 상기 제2 파이프들 각각의 사이 간격이 조절 가능하도록 상기 제2 가이드홈을 따라 이동하면서 장착되는 제2 클램프들을 갖는 제2 파이프 고정부를 더 포함하며, A second fixing block installed on the second pipes, the second fixing groove having a second guide groove formed in a direction perpendicular to the second pipes, and the second guide groove in the second guide groove in engagement with each of the second pipes; A second mounted on a fixing block to fix each of the second pipes, and mounted while moving along the second guide groove so that an interval between each of the second pipes is adjustable when mounted to the second fixing block. Further comprising a second pipe fixture with clamps, 상기 제2 클램프들 각각은 각 제2 파이프의 몸통 양측에서 각 제2 파이프를 고리 형태로 걸어 상기 제2 고정 블록에 상기 제2 가이드홈을 따라 제2 볼트 및 제2 너트의 체결을 통해 장착되는 구조를 가짐으로써 상기 제2 볼트 및 상기 제2 너트의 체결을 일부 풀어 느슨하게 할 경우 상기 파이프들 각각을 건 상태에서도 상기 파이프들 각각의 사이 간격이 조절 가능한 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.Each of the second clamps is hooked on each of the second pipes on both sides of the body of each of the second pipes, and is mounted to the second fixing block by fastening the second bolt and the second nut along the second guide groove. The structure of the substrate cleaning apparatus, characterized in that the interval between each of the pipes can be adjusted even when the respective pipes are in a state of loosening the loosening of the fastening part of the second bolt and the second nut by having a structure.
KR1020080082918A 2008-08-25 2008-08-25 Apparatus for fixing a pipe and apparatus for cleaning a glass including the same KR100972426B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080082918A KR100972426B1 (en) 2008-08-25 2008-08-25 Apparatus for fixing a pipe and apparatus for cleaning a glass including the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080082918A KR100972426B1 (en) 2008-08-25 2008-08-25 Apparatus for fixing a pipe and apparatus for cleaning a glass including the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100024176A KR20100024176A (en) 2010-03-05
KR100972426B1 true KR100972426B1 (en) 2010-07-26

Family

ID=42176136

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080082918A KR100972426B1 (en) 2008-08-25 2008-08-25 Apparatus for fixing a pipe and apparatus for cleaning a glass including the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100972426B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102464004B1 (en) * 2020-10-06 2022-11-07 주식회사 쎄믹스 Wafer test device
KR102471469B1 (en) * 2021-03-29 2022-11-28 주식회사 저스템 Stage apparatus and load port module comprising the same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070016945A (en) * 2005-08-05 2007-02-08 모레토 에스피에이 Device for fixing pipes to supporting structures
KR20080062350A (en) * 2006-12-29 2008-07-03 세메스 주식회사 Apparatus for cleaning substrate

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070016945A (en) * 2005-08-05 2007-02-08 모레토 에스피에이 Device for fixing pipes to supporting structures
KR20080062350A (en) * 2006-12-29 2008-07-03 세메스 주식회사 Apparatus for cleaning substrate

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100024176A (en) 2010-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20080017320A1 (en) Substrate processing apparatus
KR100972426B1 (en) Apparatus for fixing a pipe and apparatus for cleaning a glass including the same
JP2010258035A (en) Processing apparatus of substrate
US9892940B2 (en) Spray assembly and wet etching device having the same
KR20130111284A (en) Substrate treating apparatus
ATE518605T1 (en) WASHING DEVICE FOR CLEANING OPTICAL LENSES OR OTHER SUBSTRATES
KR100691473B1 (en) Air knife module for drying substrate and drying device using thereof
KR20100059242A (en) Apparatus for cleaning a substrate
US8300205B2 (en) Apparatus and method for washing alignment film printing mask and method for fabricating a liquid crystal display device
KR101141155B1 (en) Substrate treating apparatus
KR200443051Y1 (en) Air-knife for drying substrate
WO2012124583A1 (en) Device for manufacturing substrate for display panel
KR102366909B1 (en) Air knife module for drying substrate and Device for drying substrate comprising the same
JP3866856B2 (en) Substrate processing equipment
JP2006093591A (en) Processor of substrate
JP4741957B2 (en) Substrate processing equipment
KR20080062350A (en) Apparatus for cleaning substrate
KR100809596B1 (en) Substrate cleaning apparatus
KR20070022181A (en) Slit nozzle for coating developing solution and system including thereof
KR100897352B1 (en) Unit for injecting a chemical and apparatus for processing a board having the same
KR20190092137A (en) Photomask Cleaning Apparatus with Photomask Fixing Device
JP2021020460A (en) Cleaning apparatus
KR100979760B1 (en) Unit for spraying air and apparatus for processing a substrate having the unit
KR101138277B1 (en) Washing apparatus of liquid crystal display device
KR20090079490A (en) Panel Processing Apparatus and Fluid Ejecting Module thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130701

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140704

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150630

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee