KR100969671B1 - 고감도 바이오 센서 및 이를 포함하는 바이오 칩 그리고이를 제조하는 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 바이오 칩을 구성하는 바이오 센서의 금속 전극 표면에 생물친화적인 유전성 박막을 형성하는 것을 특징으로 한다. 이러한 생물친화적 유전성 박막을 사용하면 효소와 같은 단백질과 금속 전극 간의 비특이적 흡착을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명은 바이오 칩 내에서 금속 전극 표면으로의 비특이적 흡착에 의한 생리활성물질의 반응이 저해되는 현상을 방지할 수 있고, 또한 생물친화적인 유전성 박막으로서 유전상수가 큰 유전성 박막을 금속 전극 표면에 형성하면 생리활성물질의 반응에 따른 전기적 검출 감도를 향상시킬 수 있다.
금속 전극 표면, 유전성 박막, 유전상수, 비특이적 흡착, 검출 감도 향상

Description

고감도 바이오 센서 및 이를 포함하는 바이오 칩 그리고 이를 제조하는 방법 {High sensitive biosensor, biochip comprising the same and manufacturing method therefor}
본 발명은 생리활성물질의 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응에 따른 전기적 특성 변화를 정밀하게 검출하여 생리활성물질의 존재여부 및/또는 반응여부를 고감도로 검출하는 바이오 센서, 이를 포함하는 바이오 칩 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.
구체적으로, 본 발명은 생리활성물질의 전기적 검출을 수행하는 금속 전극 표면으로의 비특이적 흡착을 방지하는 바이오 센서, 이를 포함하는 바이오 칩 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.
보다 구체적으로, 본 발명은 생리활성물질의 전기적 검출을 수행하는 금속 전극 표면에 유전성 박막을 형성하여 비특이적 흡착을 방지하고, 생리활성물질의 전기적 검출 감도 및 검출 재현성을 높인 바이오 센서, 이를 포함하는 바이오 칩 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.
바이오칩은 유전자 정보 및 단백질 정보를 대량으로 그리고 자동화하여 분 석할 수 있거나, 생리활성물질의 존재여부 및 기능을 비교적 간단하고 신속하게 분석할 수 있는 장치이다. 이러한 바이오칩은 유전자 및 단백질 연구분야, 의약분야, 농업, 식품, 환경 및 화학산업 등 다양한 분야에서 응용이 활발하게 이루어지고 있다.
바이오칩은 프로브를 이용하여 특정 유전자의 존재여부를 체크하는 유전자형 DNA 칩(genotyping chip), 특정 질환 관련 유전자의 발현 양상을 체크하는 유전자발현양상 DNA 칩(expression chip) 그리고 혈액이나 소변과 같은 시료 내의 생리활성물질의 존재여부 및/반응여부를 체크하는 마이크로플루이딕스 칩(microfluidics chip)으로 크게 나뉜다. 현재 연구분야 및 의료 진단분야에서 보편적으로 상용화되어 사용되고 있는 것은 유전자형 DNA 칩이다.
일반적으로 마이크로어레이 칩이라 함은 수백에서 수만 종류의 유전자나 단백질을 마이크로어레이 장치를 이용하여 유리 기판 상에 일정 간격으로 찍어서 배열한 칩을 의미한다. 이중 프로브인 올리고뉴클레오티드를 유리 기판 상에 마이크로어레이하여 특정 유전자의 존재여부를 형광 스캐너로 확인하는 것이 DNA 칩이다.
DNA 칩은 연구용 분야와 진단 분야에서 활발히 활용되고 있는데, 유전자발현양상(gene expression profiling) 분야 및 유전자형(genotyping) 분야 등의 기술을 활용하여 세포 내 신진대사, 생리학적 현상 및 각 유전자들 간의 상호연관성 등 유전자기능을 밝혀내는데 활용되거나, 암과 같은 특정 질환의 발병기전 및 진행진단, 약물작용기전 규명, 질병 원인균의 유전자 정보확인 및 변이 색출 등과 같은 진단분야 등에서도 활용되고 있다.
진단용 DNA 칩 개발은 1994년 Affymetrix의 스티브 포더 박사가 개발한 HIV 유전자 칩의 상용화로부터 시장이 형성되기 시작했고, HIV, 류머티즘, 자기면역 질환, 만성 신장염, 동맥경화증, 아토피성 피부 및 알레르기 질환 등의 만성질환 등을 진단할 수 있는 진단용 DNA 칩 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히, 최근의 DNA 칩 분야의 연구는 연구용 칩 보다는 진단용 칩으로 연구개발 방향이 움직이고 있고, 유전자형, 병원균 또는 바이러스의 진단 분야에만 적용이 가능한 유전자형(genotyping) 칩에서 암, 백혈병 등 다양한 질병의 진단이 가능한 유전자발현양상(expression) 칩 분야에 대한 접근이 이루어지고 있다.
또한, 최근에는 IT 및 나노기술과 접목하여 1개의 칩으로 여러 질병을 동시에 감지하고 각자의 유전정보로부터 발병 가능성까지 예측할 수 있게 해주는 마이크로플루이딕스 칩(Lab-on-a-chip) 기술이 주목을 받고 있다. 생체 바이오 칩이라고도 불리는 마이크로플루이딕스 칩은 미량의 분석대상물질(DNA, RNA, 펩타이드, 단백질 등)을 칩 내의 챔버로 흘려보내면서 칩 내의 각종 생리활성물질의 반응양상을 분석하는 칩이다. 이러한 생체 바이오 칩은 반응 챔버 내의 생리활성물질의 반응에 따른 전기적 특성의 변화를 칩 내에 설치된 전극이 감지하여 생리활성물질의 존재여부 및/또는 반응여부를 검출한다.
이러한 생체 바이오 칩은 전술한 DNA 칩에 비해 전기적 신호의 검출에 의해 비교적 간단하고 빠르게 생리활성물질의 존재여부 및/또는 반응여부를 확인할 수 있기 때문에 의료진단분야에서 활용도가 높다.
예를 들어, 자궁경부암의 발생 원인 바이러스인 HPV 양성 여부의 진단을 위 한 HPV DNA 칩은 HPV 프로브 올리고뉴클레오티드를 준비하고 이를 유리 기판 상에 마이크로어레이한 것이지만, 자궁경부암 의심군으로부터 채취한 시료를 바로 적용해서는 HPV 양성 여부의 진단이 불가능하다. 즉, 형광이 표지된 HPV 바이러스 유전자의 프라이머를 별도로 준비하고 채취된 시료를 PCR 증폭시킨 후 HPV DNA 칩에 뿌려주고 형광의 발광여부를 형광 스캐너로 확인해야 한다. 따라서, DNA 칩을 이용한 하이브리드 확인 방식(레이저유발형광법; laser-induced fluorescence)은 조작상 번거롭고 시간이 소요되는 작업으로서, 형광물질로 시료 DNA를 표지할 때 고비용이 소용되고, 고가의 형광 스캐너의 사용과 이로 인해 휴대가 불가능하다는 점 등 여러 가지 문제점과 단점을 가지고 있다.
이에 비해 생체 바이오 칩은 전기적 신호의 검출에 의해 비교적 간단하고 빠르게 생리활성물질의 존재여부 및/또는 반응여부를 확인할 수 있다. 즉, 생체 바이오 칩은 형광이 아닌 전기적 신호를 이용하여 하이브리드 형성 여부 내지는 생리활성물질(예를 들어, DNA)의 존재 및 반응 여부를 검출할 수 있다. 즉, 생체 바이오 칩에서는 바이오 센서인 센싱 전극에 고정된 수용체와 생리활성물질의 반응에 의한 임피던스(또는 커패시턴스)의 변화를 측정하거나 칩 챔버 내에서 생리활성물질들 간의 반응에 의한 임피던스(또는 커패시턴스)의 변화를 바이오 센서인 센싱 전극이 감지하여 이를 전기적으로 검출하는 방식을 이용하고 있다.
예를 들어, PCR 과정에서 dNTP는 dNMP와 디포스페이트로 분해됨과 동시에 dNMP는 주형 DNA 서열에 상보적인 프라이머에 중합되어 DNA가 합성되고, DNA의 농도의 증가에 따라 PCR 반응용액 내의 임피던스는 증가하는 것으로 알려져 있다(한 국공개특허공보 제10-2004-0042021호 참조). 따라서, PCR 반응 챔버를 바이오칩 형태로 제작하고 이러한 바이오 칩에 제공된 전극에 의해 반응 용액 내의 임피던스 변화를 전기적으로 검출하면 PCR 반응의 유무 및 특정 DNA 염기서열의 존재 유무를 판단할 수 있게 된다.
바이오 칩에 의한 반응 챔버 내의 생리활성물질의 존재여부 및/또는 반응여부의 정확한 확인을 위해서는 센싱 전극에 의한 정확한 전기적 검출이 중요하다. 이러한 이유로 바이오 칩을 구성하는 다양한 바이오 센서들이 개발되고 있다.
그러나, 바이오 칩을 구성하는 바이오 센서의 금속 전극 표면에는 생리활성물질 자체 또는 생리활성물질 반응 산물이 비특이적으로 흡착된다. 예를 들어, PCR 반응 챔버에 금(Au) 전극 패턴이 통합된 실리콘 기반의 PCR 반응 칩에서는 바이오 센서 금(Au) 전극 표면에 DNA 폴리머라제와 같은 효소가 비특이적으로 흡착된다.
지금까지 알려진 바로는 효소의 단백질 구조 상의 소수성 포켓 구조(hydrophobic pocket)와 바이오 센서의 금속 전극 표면의 소수성 상호작용(hydrophobic interaction)에 의해 효소와 같은 단백질이 바이오 센서의 금속 전극에 비특이적으로 흡착되고, 또한 효소와 같은 단백질의 아미노산의 -SH(Thiol group)에 의한 금속 전극 표면(특히, 금으로 형성된 전극 표면)에서의 SAM (Self-Assembly-Monolayer) 형성으로 단백질의 비특이적 흡착이 일어나는 것으로 알려져 있다. 이러한 금속 전극 표면으로의 단백질의 비특이적 흡착은 금속 전극 표면에서 전기적 이중막을 형성하게 된다.
이러한 바이오 센서의 금속 전극 표면으로의 단백질 등의 비특이적 흡착에 따른 전기적 이중막은 크게 두 가지 문제점을 일으킨다.
첫째, 단백질 등이 바이오 센서 전극 표면에 비특이적으로 흡착되어 측정하고자 하는 생리활성물질의 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응의 방해가 일어난다. 전술한 PCR 반응 칩에서의 금속 전극 표면에 DNA 중합효소의 비특이적 흡착은 PCR 반응을 방해하여 타겟 템플리트 DNA가 시료 내에 있는 경우에도 PCR 산물이 형성되지 않게 된다. 따라서, 타겟 템플리트 DNA 존재여부 및/반응여부를 바이오 센서 전극이 전기적으로 검출할 수 없게 된다.
둘째, 단백질 등이 바이오 센서 전극 표면에 비특이적으로 흡착되어 전기적 이중막이 형성되면 바이오 센서의 전기적 검출값에 변화를 주게 되어 바이오 센서 및 이를 포함하는 바이오 칩의 정밀한 분석이 어렵게 된다.
이와 관련하여 한국공개특허 제10-2004-0042021호와 같은 종래의 바이오 칩에서는 생리활성물질의 반응에 따른 임피던스의 변화를 바이오 칩에 제공된 바이오 센서 전극이 감지하여 반응 유무 및 특정 생리활성물질의 존재 여부를 판단하는 방식을 채택하고 있다. 따라서, 바이오칩의 신뢰성을 확보하기 위해서는 바이오 센서 전극에서 임피던스값 변화의 정밀한 감지가 중요하다. 일반적으로 임피던스(Z)는 실수부인 저항(R)과, 허수부인 리액턴스(X)의 합으로 표시되고(하기 수학식 1 참조), 그 크기는 저항값(R)과 리액턴스값(X)의 제곱근에 해당된다(하기 수학식 2 참조).
Figure 112008022588906-pat00001
Figure 112008022588906-pat00002
따라서, 임피던스(Z)는 리액턴스(X)와 상관관계를 갖게 된다. 또한, 리액턴스(X)는 ωL-1/ωC이므로 커패시턴스(C)와 상관관계를 갖는다. 따라서, 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응에 의한 커패시턴스(C)값의 변화는 임피던스값의 변화로 반영되고, 이를 측정함으로써 생리활성물질의 반응여부 및/또는 존재여부를 체크할 수 있다. 결국, 바이오 칩에서 커패시턴스값의 변화는 임피던스값의 변화를 유도하고 이는 바이오 칩의 검출감도에 영향을 줌을 알 수 있다.
그런데, 바이오 칩에서 커패시턴스값의 변화는 생리활성물질의 반응에 의해서만 유도되는 것이 아니다. 예를 들어, 전술한 바와 같이 바이오 센서 금속 전극 표면으로의 비특이적 흡착에 의한 전기적 이중막이 형성되면 센서 전극에서의 전기적 특성 값의 변화가 나타난다.
도1의 (a)에 도시된 바와 같은 Helmholtz 모델에서 확인되는 바와 같이 전극 표면에 대한 단백질 등의 비특이적 흡착은 전기적 이중막을 형성하게 되고 이는 전 극 표면에서의 급격한 포텐셜의 강하를 유발하게 된다. 이러한 전기적 이중막은 도1의 (b)에 도시된 바와 같은 등가회로로서 표시될 수 있는데, 실제적으로 측정하고자 하는 생리활성물질의 반응에 의한 커패시턴스 변화값 외에 전극 표면에 단백질 등의 비특이적 흡착으로 인한 전기적 이중막의 커패시턴스의 변화값(Cdl)이 존재하게 된다.
따라서, 바이오칩 내에서 바이오 센서 전극에 의해 임피던스값의 변화를 측정할 경우 전체 커패시턴스 변화값(CT)은 전극 표면에 단백질 등의 비특이적 흡착으로 인한 전기적 이중막의 커패시턴스값(Cdl)과, 상기 전기적 이중막과 분리된 가상의 전극판과 다른 전극 사이에서 생리활성물질의 반응에 의한 커패시턴스 변화값(Ct)을 포함하게 된다(하기 수학식 3 참조).
Figure 112008022588906-pat00003
상기 수학식 3에서 알 수 있는 바와 같이, 전극 표면에 단백질 등의 비특이적 흡착으로 인한 전기적 이중막의 커패시턴스값(Cdl)의 역수값(1/Cdl) 항목이 클 경우 생리활성물질의 반응에 의한 커패시턴스 변화값(Ct)의 역수값(1/Ct) 항목을 흡수해 버리게 된다. 이러한 경우 생리활성물질의 반응에 의한 커패시턴스 변화는 전체 커패시턴스 변화값(CT)에 영향을 주지 못하게 된다. 또한, 전극 표면에 단백질 등의 비특이적 흡착으로 인한 전기적 이중막의 커패시턴스값(Cdl)의 역수값(1/Cdl)이 아주 크지 않더라도 이는 전체 커패시턴스 변화값(CT)에 영향을 주게 된다. 따라서, 단백질 등의 전극 표면으로의 비특이적 흡착은 바이오칩의 센싱 전극에 의한 전기적 검출이 부정확하게 되는 문제가 발생한다.
이에 본 발명의 발명자들은 생리활성물질의 전기적 검출을 수행하는 금속 전극 표면에 유전성 박막을 형성하여 생리활성물질의 비특이적 흡착을 방지하고 생리활성물질의 반응을 고감도로 전기적으로 측정하는 바이오 센서 및 이를 포함하는 바이오 칩을 고안하기에 이르렀다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래기술에 있어서 바이오 센서 전극에 대한 비특이적 흡착 문제 및 이로 인한 생리활성물질의 반응 방해 그리고 센서 전극에서의 전기적 특성값 변화 문제를 해결하는데 그 목적이 있다.
구체적으로, 본 발명은 생리활성물질의 전기적 검출을 수행하는 전극 표면으로의 비특이적 흡착을 방지하는 바이오 센서, 이를 포함하는 바이오 칩 및 이를 제조하는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 예를 들어, 본 발명은 MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System) 박막기술을 이용하여 PCR 산물 및 DNA의 전기적 검출을 목적으로 하는 전극이 형성된 반응 챔버에서 금속 전극 표면에 단백질 등의 비특이적 흡착을 방지하는데 그 목적이 있다.
보다 구체적으로, 본 발명은 생리활성물질의 전기적 검출을 수행하는 전극 표면에 유전성 박막을 형성하여 비특이적 흡착을 방지하고, 생리활성물질의 반응에 따른 전기적 검출 감도 및 검출 재현성을 높인 바이오 센서, 이를 포함하는 바이오 칩 및 이를 제조하는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 바이오 칩을 구성하는 바이오 센서의 금속 전극 표면에 생물친화적인 유전성 박막을 형성하는 것을 그 구성상 특징으로 한다. 이러한 생물친화적 유전성 박막을 사용하면 전술한 바와 같은 효소와 같은 단백질과 금속 전극 간의 비특이적 흡착을 방지할 수 있다.
또한, 생물친화적인 유전성 박막으로서 유전상수가 큰 유전성 박막을 금속 표면에 형성하면 바이오 칩의 반응 챔버 내에서 생리활성물질의 반응에 따른 전기적 검출 감도를 향상시킬 수 있다. 이를 설명하면 다음과 같다.
통상, 커패시턴스는 다음의 하기 수학식 4와 같이 정의된다.
Figure 112008022588906-pat00004
그런데, 전술한 수학식 3에 정의된 바와 같이 생리활성물질의 반응에 따른 커패시턴스 변화값을 정확하게 반영하여 전기적으로 측정하기 위해서는 전극 표면에 단백질 등의 비특이적 흡착으로 인한 커패시턴스값(Cdl)의 역수값(1/Cdl)이 작아야 한다. 예를 들어, Cdl이 무한 값이라면 상기 역수값(1/Cdl)은 0에 가깝게 되어 전체 커패시턴스 변화값(CT)은 생리활성물질의 반응에 의한 커패시턴스 변화를 거의 반영하여 전기적 검출 감도 및 검출 재현성을 높일 수 있다.
따라서, 금속 전극 표면을 유전상수가 큰 물질로 박막화하면 Cdl값이 커져서그 역수값(1/Cdl)은 0에 가깝게 고정되므로 박막의 유전상수와 비교하여 현저히 낮은 유전상수를 갖게 되는 반응 용액의 전해질 또는 완충용액 상에서의 생리활성물질의 검출의 감도는 현저히 높아지게 되고, 금속 표면에 대한 비특이적 흡착은 전 체 커패시턴스 변화값(CT)에 영향을 주지 못하게 된다.
따라서, 본 발명의 바람직한 일실시예에서는 바이오 칩을 구성하는 바이오 센서의 금속 전극 표면에 생물친화적이고 유전상수가 큰 유전성 박막을 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 사용되는 유전상수가 큰 유전성 박막은 반도체 증착 공정에 의해 금속 전극 표면에 박막으로 형성가능하고 바이오 칩 내에서의 생리활성물질의 반응을 방해하지 않는 유전성 박막이면 된다. 예를 들어, 이산화 실리콘 (silicon dioxide) 박막, 질화 실리콘(silicon nitride) 박막, 산화 질화 실리콘 박박, PSG 박막, BPSG 박막 또는 Ta2O5 박막을 들 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 제한되는 것이 아니고, 당업자라면 유전상수가 큰 박막으로서 생물반응을 저해하지 않는 것을 배제하지 않는다는 것을 이해할 것이다.
이론적으로는 금속 표면에서의 전기적 이중막의 Cdl값을 크게 하면 좋지만, 유전상수가 큰 유전성 박막을 금속 전극 표면에 두껍게 형성하면 유전상수가 큰 유전성 박막은 절연성을 띠기 때문에 전기적 검출을 수행하는 전극의 검출 민감도에 영향을 줄 수 있다.
따라서, 바이오 칩의 센싱 금속 전극 표면에 형성되는 유전상수가 큰 유전성 박막의 두께는 약 1μm 이하인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하기로는 약 50nm 이하이다. 반도체 증착 기술이 허용하는 범위에서 가급적 얇게 박막을 형성하는 것이 좋다. 바이오 칩의 금속 전극 표면에 유전성 박막을 증착하기 위해 화학기상증 착(chemical vapor deposition; CVD), 진공 증착(vacuum evaporation) 또는 스퍼터링(sputtering) 등의 방법이 사용될 수 있다.
본 발명의 바이오 센서는 기판과, 상기 기판 상에 형성된 절연막을 사이에 두고 형성되고 생리활성물질의 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응에 따른 전기적 변화를 검출하는 하나 또는 그 이상의 센싱 금속 전극을 포함하되, 상기 센싱 금속 전극 표면에는 유전성 박막이 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 바이오 센서를 제조하는 방법은 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판 상에 절연막을 성막하는 단계와, 상기 절연막 상에 금속층을 적층하고 포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 금속층을 패터닝하는 단계와, 상기 패터닝된 금속층을 에칭처리하여 금속 전극을 형성하는 단계와, 상기 금속 전극 표면 상에 유전성 박막을 형성하는 단계를 포함한다.
한편, 전술한 바와 같은 바이오 센서를 포함하는 본 발명의 바이오 칩은 제1기판과, 상기 제1기판 상에 형성된 절연막을 사이에 두고 형성되고 생리활성물질의 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응에 따른 전기적 변화를 검출하는 하나 또는 그 이상의 센싱 금속 전극과, 상기 제1기판 상에 일정한 거리를 두고 상기 제1기판과 결합하여 반응 챔버 공간을 형성하는 제2기판을 포함하되, 상기 금속 전극 표면에는 유전성 박막이 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예의 바이오 칩에 있어서, 상기 제2기판은 상기 제2기판 상에 형성된 절연막을 사이에 두고 형성되고 생리활성물질의 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응에 따른 전기적 변화를 검출하는 하나 또는 그 이상의 센싱 금속 전 극을 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 전기적 변화는 임피던스 변화 및/또는 커패시턴스 변화일 수 있다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 유전성 박막은 유전상수가 큰 물질로 이루어진 박막인 것이 바람직하다. 바람직하기로는, 상기 유전상수가 큰 물질로 이루어진 박막은 이산화 실리콘(silicon dioxide) 박막, 질화 실리콘(silicon nitride) 박막, 산화 질화 실리콘 박막, PSG 박막, BPSG 박막 및 Ta2O5 박막으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 박막일 수 있다. 보다 바람직하기로는 상기 유전상수가 큰 물질로 이루어진 박막은 이산화 실리콘(silicon dioxide) 박막 또는 질화 실리콘(silicon nitride) 박막이다.
본 발명의 일실시예에 있어서 상기 유전성 박막의 두께는 약 1μm 이하인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하기로는 약 50nm 이하이다.
본 발명의 일실시예에서 있어서, 상기 금속 전극은 금, 크롬, 구리 또는 알루미늄으로 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명의 일실시예에 있어서 "생리활성물질(biomolecule)"은 하나 내지 그 이상의 뉴클레오티드로 구성된 핵산, 하나 내지 그 이상의 펩타이드로 구성된 단백질, 아미노산, 당 지질, 또는 저분자 화합물이고, 바람직하게는 항원, DNA, RNA 또는 PNA(peptide nucleic acid)일 수 있다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 기판들은 정사각형, 직사각형, 원형의 형상을 가질 수 있으나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 제1기판 및 제2기판은 실리콘 기판 또는 유리 기판인 것이 바람직하나, 이들 기판은 이외에도 융합 실리카, 폴리스티렌, 폴리메틸아크릴레이트, 폴리카보네이트, 금, 은, 구리, 또는 백금 중 어느 하나로 구성될 수 있다. 상기 제1기판 또는 제2기판은 N형 또는 P형 실리콘 기판 상의 SiO2 절연층 위에 하나 또는 그 이상의 금속 전극이 형성된 것으로서 생리활성물질의 존재여부 및/또는 반응여부의 확인을 위한 전기적인 검출을 수행한다. 상기 제1기판 또는 상기 제2기판은 각각 상기 제2기판의 금속 전극 또는 상기 제1기판의 금속 전극이 외부 환경과 접촉되는 것을 방지하면서 상기 제2기판 또는 상기 제1기판과 결합하여 반응챔버 공간을 형성한다. 상기 제1기판과 상기 제2기판은 직접 접합될 수도 있고, 유리 웨이퍼를 사이에 두고 접합될 수도 있다.
본 발명은 바이오 칩에 있어서 생리활성물질의 전기적 검출을 수행하는 전극 표면으로의 비특이적 흡착을 방지하여 바이오 칩 내에서 생리활성물질의 반응이 원활하게 수행되도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 바이오 칩에 있어서 생리활성물질의 전기적 검출을 수행하는 전극 표면에 유전성 박막을 형성하여 비특이적 흡착을 방지함으로써 생리활성물질의 반응에 따른 전기적 검출 감도 및 검출 재현성을 높일 수 있다.
구체적으로, 본 발명은 교류의 저항인 임피던스를 측정하는 검출방식에서 전 해질 또는 생물 완충액 환경에서 생물반응을 검출하고자 할 때 비특이적 흡착의 방지 뿐만 아니라 고재현성, 고감도의 생물반응 검출을 가능케 해 준다.
이하, 본 발명을 실시예에 기초하여 보다 상세히 기술한다. 본 발명의 하기 실시예는 본 발명을 구체화하기 위한 것일 뿐 본 발명의 권리범위를 제한하거나 한정하는 것이 아님은 물론이다. 본 발명의 상세한 설명 및 실시예로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 전문가가 용이하게 유추할 수 있는 것은 본 발명의 권리범위에 속하는 것으로 해석된다. 본 발명에 인용된 참고문헌은 본 발명에 참고로서 통합된다.
실시예
실시예 1: 바이오 센서의 제작
본 발명의 바이오 센서는 당업계에 알려진 일반적인 방법을 이용하여 제작하는데, 산화 실리콘 박막 형성 기술, 포토리소그래피(photolithography)기술, 노광 패너팅 기술, 현상 기술, 습식 및/또는 건식 에칭 기술 등을 사용하여 제작한다. 상세하게는 MEMS(Micro-Electro-Mechanical-Systems)기술을 이용하여 실리콘 기판 상에 금속 전극을 형성한 후, 화학기상법을 이용하여 이산화 실리콘막 또는 질화 실리콘막을 상기 금속 전극 표면 상에 증착시켜 제작된다.
아래에서는 본 발명의 일실시예의 바이오 센서의 제조과정을 단계별로 설명한다.
실시예 1-1: 실리콘 기판 및 금속 전극 패턴의 형성
도2를 참조하여 본 발명의 일실시예의 바이오 센서의 제조과정을 설명한다.
두께가 500μm의 N-형 실리콘 웨이퍼(10)를 열산화시켜 산화 절연막층인 약 5000Å의 SiO2 층(12)을 형성하였다(도2의 (a)단계). 통상의 포토리소그래피 공정을 이용하여 Ti/Au (300Å/3000Å)의 금속층(20)을 패터닝하여 금속 전극을 형성하였다(도2의 (b)단계).
실시예 1-2: 금속 전극 표면으로의 유전성 박막 증착
금속 전극 표면(20)에 이산화 실리콘 박막 또는 질화 실리콘 박막(l)의 유전성 박막을 증착하는 과정은 화학기상증착과 관련하여 알려진 증착방법과 장비를 이용하여 수행된다.
도2의 (b)에 도시된 바와 같이, 실리콘 기판(10)상에 절연막(12)을 사이에 두고 금속 전극(20)이 형성되면 금속 전극 표면에 이산화 실리콘 박막 또는 질화 실리콘 박막(l)을 증착한다(도2의 (c) 단계). 도3에는 이산화 실리콘 박막 또는 질화 실리콘 박막(l)이 증착된 금속 전극(20)이 확대되어 도시되어 있다.
구체적으로, 이산화 실리콘 박막 또는 질화 실리콘 박막(l)의 유전성 박막을 증착하기 위해 당업계에서 통상적으로 사용되는 화학기상증착장비로는 LPCVD 시스템(Low Pressure Chemical Vapor Deposition system), PECVD 시스템(Plasma Enhanced CVD system) 및 P-5000 시스템 등이 있다.
LPCVD 시스템을 이용한 화학증착방식은　저압(Low Pressure)으로 화학증착을 하는 방식으로서 증착된 막의 순도가 높으며 균일한 장점이 있으나 증착속도가 느리고 높은 증착 온도가 단점인 방식이다. PECVD(Plasma Enhanced CVD) 시스템을 이용한 화학증착방식은 플라즈마를 이용하여 화학증착을 하는 방식으로서 증착속도가 빠르고 낮은 증착 온도에서 동작하나 불순물이 생기는 단점이 있는 방식이다. 또한, P-5000 시스템은 수평 고정형 단위의 PECVD 시스템으로서 플라즈마를 이용하여 화학증착을 하는 방식이다.
본 실시예에서는 PECVD 시스템, LPCVD 시스템 및 P-5000 시스템을 이용하여 금속 전극 표면(20)에 이산화 실리콘 박막 또는 질화 실리콘 박막(l)을 증착하였다. 본 실시예에서 금속 전극 표면(20)으로의 유전성 박막(l) 증착에 사용된 증착 장비에 따른 증착조건은 아래와 같다. 한편, 본 실시예에서는 상술하지는 아니하였지만, 최근 CVD 방법을 응용하여 개발된 ALD(Atomic Layer Deposition) 방법을 사용하여 금속 전극 표면(20)에 유전성 박막을 증착할 수 있음을 당업자라면 이해할 것이다.
1. PECVD 시스템
(1) 질화 실리콘 박막 증착 조건
(a) 기체 유량(Gas flow rate): (단위: sccm)
5% SiH4/N2: 800 sccm
NH3: 10 sccm
N2: 1200 sccm
(b) 압력 : 580 mTorr
(c) 전원(RF Power): 저주파수(187kHz), 60W
(d) 증착속도(Depo. Rate): 160 Å/min
(e) 온도(℃): 300℃
(2) 이산화 실리콘 박막 증착 조건
(a) 기체 유량(Gas flow rate): (단위: sccm)
5% SiH4/N2: 160 sccm
N2O: 1500 sccm
N2: 240 sccm
(b) 압력: 550 mTorr
(c) 전원(RF Power): 저주파수(187kHz), 60W
(d) 증착속도(Depo. Rate): 340 Å/min
(e) 온도(℃): 300℃
2. LPCVD 시스템
(1) 질화 실리콘 박막 증착 조건
(a) 기체 유량(Gas flow rate): (단위: sccm)
SiH2Cl2: 30 sccm
NH3: 100 sccm
(b) 압력: 300 mTorr
(c) 온도(℃)
전방(Front): 775℃
중간(Center): 785℃
후방(Rear): 795℃
(d) 증착속도(Depo. Rate): 35-45 Å/min
(2) 저응력 질화 실리콘 박막(Low Stress Nitride) 증착 조건
(a) 기체 유량(Gas flow rate): (단위: sccm)
SiH2Cl2: 100 sccm
NH3: 20 sccm
(b) 압력: 140 mTorr
(c) 온도(℃)
전방(Front): 825℃
중간(Center): 835℃
후방(Rear): 845℃
(d) 증착속도(Depo. Rate): 35-45 Å/min
3. P-5000 시스템
TEOS 산화물(TEOS oxide; Tetraethoxysilane oxide)을 이용한 이산화 실리콘 박막 증착 조건
(a) 기체 유량(Gas flow rate): (단위: sccm)
TEOS source: 220 sccm
O2: 220 sccm
(b) 압력: 9 Torr
(c) 전원(RF Power)(W): 350W (at 13.56 MHz)
(d) 증착속도(Depo. Rate): 125 Å/min
(e) 온도(℃): 390℃
완성된 바이오 센서의 금속 전극(20)의 패턴은 도3에 도시한 바와 같다. 도3은 도2의 (c)에 도시된 금속 전극(20)의 일부를 확대하여 모식적으로 나타낸 도면이다. 도3에서 확인할 수 있는 바와 같이, 본 발명의 바이오 센서의 실리콘 기판(10)상에 형성된 금속 전극(20) 상에는 이산화 실리콘 박막 또는 질화 실리콘 박 막(l) 얇게 증착되어 있음을 알 수 있다.
실시예 2: PCR 반응 칩의 제작
실시예 1에서 제작된 바이오 센서는 다양한 바이오 칩에 적용될 수 있다. 예를 들어, PCR 증폭 반응을 위한 PCR 반응 칩에 적용될 수 있다.
도4에는 유리 웨이퍼를 사이에 두고 상부 전극(20a)이 형성된 실리콘기판(10a)과 하부 전극(20b)이 형성된 실리콘 기판(10b)이 접합된 3단 구조의 PCR 반응 칩이 도시되어 있다. 그러나, 본 발명은 이에 제한되는 것이 아니고, 예를 들어 실리콘기판(10)이 직접 결합된 2단 구조의 PCR 반응 칩에도 적용가능하며 IDE 전극이 형성된 챔버를 갖는 PCR 반응 칩, DNA 혼성화 반응 칩 등 당업계에 알려진 바이오 칩에 적용이 가능한 것임을 당업자라면 이해할 것이다.
이하에서는 실시예 1에서 제작된 바이오 센서가 적용된 3단 구조의 PCR 반응 칩(200)의 제조과정을 설명한다.
우선, 도4에 도시된 상부 전극(20a)이 형성된 실리콘 기판(10a)과 하부 전극(20b)이 형성된 실리콘 기판(10b)은 도5에 도시된 바와 같은 공정을 거쳐 제작된다. 그런 다음, 유리 웨이퍼(30)에 의해 상하 실리콘 기판(10a, 10b)이 접합되어 도4에 도시된 바와 같은 3단 구조의 PCR 반응 칩(200)이 제작된다.
먼저, 비소가 도핑된 300μm의 N-형 실리콘 웨이퍼(10)를 열산화시켜 실리콘 웨이퍼(10)의 상하부면에 산화막층인 약 6,500Å의 SiO2 층(12)을 형성하였다(도5의 (a) 단계). 그런 다음, 상부 산화막층(12)을 포토레지스트 AZ 5214(14)로 도포하였다(도5의 (b) 단계). 상기 포토레지스트(14) 상에 금속 전극 패턴의 마스크(미도시)를 올려놓고 자외선에 노광시킨 후 상기 실리콘 웨이퍼(10)를 현상액에 담가 현상하고 에칭처리하였다. 상기 에칭된 웨이퍼(10)의 상부면 상에 크롬(300Å) 및 금(2000Å) 박막(20)을 증착시켰고, 하부면에는 알루미늄(1000Å) 박막(22)을 증착시켰다(도5의 (c)단계). 상기 크롬 및 금 박막(20)의 증착은 화학기상증착(chemical vapor deposition; CVD), 진공 증착(vacuum evaporation) 또는 스퍼터링(sputtering)을 이용하여 수행하였다. 그런 다음, 알려진 리프트-오프(lift-off) 공정을 이용하여 남겨진 포토레지스트층(14)과 이 남겨진 포토레지스트층 상의 박막의 일부를 제거하여 금속 전극(20)을 형성하였다(도5의 (d)단계). 그리고 나서, 실리콘 웨이퍼(10)의 상하부면에 포토레지스트 AZ4620을 도포하고(도5의 (e)단계), 알루미늄 박막(22)상에 포토레지스트 패턴을 형성하고, 알루미늄 박막층(22)을 에칭한 다음, 다시 산화 절연층(12) 및 실리콘 기판(10)을 에칭처리하였다(도5의 (f), (g), (h) 및 (i) 단계). 에칭 후 남아 있는 포토레지스트를 제거하고 잔여 알루미늄 박막(22)을 에칭하였으며, 실시예 1에서 설명한 바와 같은 방식으로 유전성 박막(l)을 증착시켰다(도5의 (j) 및 (k) 단계).
전술한 방식에 따라 제작된 상부 실리콘 웨이퍼(10a)와 하부 실리콘 웨이퍼(10b)를, 샌드 블라스트 공법에 의하여 PCR 칩의 반응 챔버 공간(46)이 형성된 유리 웨이퍼(30)(1000μm)를 사이에 두고 양극 접합법(anodic bonding)을 이용하여 접합하였다(도5의 (l) 단계). 접합된 실리콘 기판(10a, 10b)과 유리 웨이퍼(30)를 다이싱하여 최종 PCR 반응 칩(200)을 제작하였다(도4 참조).
상기 양극 접합법은 실리콘 기판과 유리 기판을 접합시키기 위한 방법으로서, 높은 전기장과 열을 가하여 유리 기판 내에 존재하는 양전하를 띤 이온(예를 들면, Na+ 이온)들을 실리콘과 유리가 접지하는 반대편으로 이동시켜 실리콘 기판과 유리 기판의 표면에서 수소결합을 형성시켜 두 기판을 접합시키는 방법이다.
본 실시예에 따라 제작된 PCR 반응 칩(200)은 상부 전극(20a)과 하부 전극(20b)이 삼차원적으로 서로 마주 보는 구조로 되어 있다.
상기 PCR 반응 칩(200)에서 상부 실리콘 기판(10a) 및 하부 실리콘 기판(10b) 상에는 각각 상부 금속 전극(20a) 및 하부 금속 전극(20b)이 형성되어 있고 이들 금속 전극 표면(20a, 20b)에는 이산화 실리콘 박막 또는 질화 실리콘 박막(l)이 증착되어 있다. 그리고 상부 실리콘 기판(10a)은 유리 웨이퍼(30)에 의해 일정한 거리를 두고 하부 실리콘 기판(10b)과 접합되어 반응 챔버 공간(46)을 형성한다(도4 참조).
상기 반응 챔버 공간(46)은 검출 대상 시료와 PCR 반응 용액(DNA 중합효소 포함)이 수용되어 PCR 반응이 수행되는 공간이다. 종래 기술에서는 반응 챔버 공간 내(46)에 수용된 PCR 반응 용액 내의 중합효소가 금속 전극 표면(20)에 비특이적 흡착을 하여 PCR 반응을 방해하거나 금속 전극에 의한 전기적 검출을 왜곡시키는 문제가 있었다. 그러나, 본 발명의 PCR 반응 칩(200)의 금속 전극 표면에는 유전성 박막이 형성되어 중합효소의 비특이적 흡착이 방지된다.
한편, 상부 실리콘 기판(10a)에는 두께 방향으로 유체 유입구(36a)가 관통되 어 형성되어 있으며, 상기 유체 유입구(36a)에 대향하는 위치에 두께 방향으로 유출구(36b)가 관통되어 형성되어 있다(도4 참조). 도4에 도시된 바와 같이, 상기 유입구(36a)와 상기 반응챔버(46), 그리고 상기 유출구(36b)와 상기 반응챔버(46)는 유체가 유동될 수 있도록 연통되어 있다. 상기 유입구(36a)를 통해 PCR 반응용액 및 검출대상 시료가 유입되고 상기 유출구(36b)를 통해 PCR 반응용액 및 검출대상 시료가 유출된다.
실시예 3: PCR 반응 칩을 이용한 PCR 반응의 분석
실시예 2에서 제작된 PCR 반응 칩(200)을 이용하여 PCR 반응을 수행하였고, 또한 유전성 박막이 금속 전극 표면에 증착되지 않은 대조군 PCR 반응 칩(전극 표면적이 34mm2인 것과 전극 표면적이 10mm2인 것)을 이용하여 PCR 반응을 수행하였다.
PCR 반응 수행은 Promega의 PCR Core System Ⅱ PCR 키트(PCR 반응을 간편하게 수행하기 위해 판매하는 PCR 반응 용액; 미국 Promega사 제품)와 템플리트 DNA 를 이용하여 본 발명의 PCR 반응 칩(200)과 대조군 PCR 반응 칩(전극 표면적이 34mm2인 것과 전극 표면적이 10mm2인 것)에서 수행되었다. PCR 반응은 Promega에서 권장하는 각 PCR 사이클 마다의 PCR 반응시간과 반응온도에 맞추어 25 내지 35 사이클 진행하였다.
또한, PCR 반응조건을 2가지로 나누어 PCR 반응을 진행하였다. PCR 반응 조 건 1(PCR condition 1)에서는 템플리트 DNA의 농도를 0.06ng/㎕로 하고 DNA 중합효소의 농도를 0.1 U/㎕로 하여 PCR 반응을 수행하였다. 그리고 PCR 반응 조건 2(PCR condition 2)에서는 템플리트 DNA의 농도를 0.06ng/㎕로 하고 DNA 중합효소의 농도를 0.025 U/㎕로 하여 PCR 반응을 수행하였다(표 1 참조).
표 1. PCR 반응 조건
Figure 112008022588906-pat00005
실시예 2에서 제작된 PCR 반응 칩(200)을 이용하여 PCR 반응을 수행한 후의 전기영동결과와, 유전성 박막이 금속 전극 표면에 증착되지 않은 대조군 PCR 반응 칩(전극 표면적이 34mm2인 것과 전극 표면적이 10mm2인 것)을 이용하여 PCR 반응을 수행한 후의 전기영동결과를 확인하였다(도6).
도6에 도시된 바와 같이, 템플리트 DNA가 없는 1번 라인의 경우에는 PCR 산물이 생성되지 않으므로 밴드가 관찰되지 않았고, 본 발명의 PCR 반응 칩(200)을 이용하여 PCR 반응을 수행한 경우(2번 라인)에는 상기 PCR 반응조건 1과 PCR 반응 조건 2에서 모두 선명한 밴드가 관찰되었다. 반면에, 대조군 PCR 반응 칩(전극 표면적이 34mm2인 것)을 이용하여 PCR 반응을 수행한 경우(3번 라인)에는 상기 PCR 반 응조건 1과 PCR 반응 조건 2에서 모두 밴드가 관찰되지 않았다. 또한, 대조군 PCR 반응 칩(전극 표면적이 10mm2인 것)을 이용하여 PCR 반응을 수행한 경우(4번 라인)에는 PCR 반응 조건 2에서는 밴드가 관찰되지 않았고 DNA 중합효소의 농도를 높인 PCR 반응 조건 1에서는 약한 밴드가 관찰되었다.
이러한 결과들을 종합해 볼 때, 금속 전극 표면에 유전성 박막을 형성하지 않은 대조군 PCR 반응 칩의 경우에는 금속 전극 표면으로의 단백질의 비특이적 흡착으로 PCR 중합반응이 방해되는 반면에, 본 발명의 PCR 반응 칩(200)에서는 금속 전극 표면으로의 단백질의 비특이적 흡착이 일어나지 않아 PCR 반응이 원활하게 수행되어 PCR 산물이 생성되었음을 확인할 수 있었다.
또한, 본 발명의 PCR 반응 칩(200)의 바이오 센서 금속 전극(20)에 교류를 인가하여 전극들(20)간의 임피던스값을 측정하면 양호한 결과가 측정된다. 본 발명의 일실시예의 PCR 반응 칩(200)의 금속 전극(20) 표면에는 이산화 실리콘 박막 또는 질화 실리콘 박막과 같은 유전성 박막이 증착되어 있기 때문에 교류를 인가하여 전극들(20)간의 임피던스값을 측정하는 것이 바람직하다.
따라서, 본 발명의 바이오 센서는 금속 표면으로의 단백질의 비특이적 흡착을 방지하여 바이오 칩 내에서 생리활성물질의 반응이 원활하게 수행되도록 하며, 또한 생리활성물질의 반응에 따른 전기적 검출 감도 및 검출 재현성을 높일 수 있음을 알 수 있다.
이상 본 발명을 상기 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것이 아니다. 당업자라면 본 발명의 취지 및 범위를 벗어나지 않고 수정, 변경을 할 수 있으며 이러한 수정과 변경 또한 본 발명에 속하는 것임을 알 수 있을 것이다.
도1은 Helmholtz 모델을 설명하는 모식도로서, 전극 표면에 형성된 전기적 이중막에 의해 전극 표면에서 급격한 포텐셜의 강하가 나타나는 것을 보이고 있다.
도2는 본 발명의 일실시예의 바이오 센서를 제조하는 공정 중 실리콘 기판 상에 금속 전극 패턴을 형성하고 유전성 박막을 증착하는 과정을 설명하는 공정 순서도이다.
도3은 도2의 공정 후 제작된 바이오 센서의 전극부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
도4는 본 발명의 일실시예의 PCR 반응 칩(200)의 단면을 도시하는 도면이다.
도5는 본 발명의 일실시예의 PCR 반응 칩(200)을 제조하는 공정을 설명하는 공정 순서도이다.
도6은 본 발명의 일실시예의 PCR 반응 칩(200)을 이용하여 PCR 반응을 수행한 후의 전기영동결과와, 유전성 박막이 금속 전극 표면에 증착되지 않은 대조군 PCR 반응 칩(전극 표면적이 34mm2인 것과 전극 표면적이 10mm2인 것)을 이용하여 PCR 반응을 수행한 후의 전기영동결과를 비교하는 사진이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
200: PCR 반응 칩
10: 실리콘 기판 12: 산화절연막
14: 포토레지스트
20: 금속 전극 l: 유전성 박막
30: 유리 웨이퍼 36a, 36b: 유입구, 유출구
46: 반응 챔버

Claims (18)

  1. 반응 용액 내에서 생리활성물질의 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응에 따른 전기적 변화를 검출하는 바이오 센서에 있어서,
    기판과,
    상기 기판 상에 형성된 절연막을 사이에 두고 형성되고 생리활성물질의 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응에 따른 전기적 변화를 검출하는 하나 또는 그 이상의 센싱 금속 전극을 포함하되,
    상기 생리활성물질 또는 상기 반응 용액에 의해 상기 센싱 금속 전극 표면에 형성되는 전기적 이중막에 의한 커패시턴스 변화값의 영향으로 인해 발생되는 전기적 변화 검출 감도 저하를 감소시키기 위해, 상기 반응 용액 보다 유전상수가 큰 물질로 이루어진 유전성 박막이 상기 센싱 금속 전극 표면에 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 유전성 박막은 이산화 실리콘 박막, 질화 실리콘 박막, 산화 질화 실리콘 박막, PSG 박막, BPSG 박막 및 Ta2O5 박막으로 구성된 군으로부터 선택된 하나 또는 그 이상의 박막인 것을 특징으로 하는 바이오 센서.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 유전성 박막은 이산화 실리콘 박막 또는 질화 실리콘 박막인 것을 특징으로 하는 바이오 센서.
  5. 제1항, 제3항, 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유전성 박막의 두께는 1μm 이하인 것을 특징으로 하는 바이오 센서.
  6. 제1항, 제3항, 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전기적 변화는 임피던스 변화 또는 커패시턴스 변화인 것을 특징으로 하는 바이오 센서.
  7. 반응 용액 내에서 생리활성물질의 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응에 따른 전기적 변화를 검출하는 바이오 센서의 제조방법에 있어서,
    기판을 준비하는 단계와,
    상기 기판 상에 절연막을 성막하는 단계와,
    상기 절연막 상에 금속층을 적층하고 포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 금속층을 패터닝하는 단계와,
    상기 패터닝된 금속층을 에칭처리하여 금속 전극을 형성하는 단계와,
    상기 생리활성물질 또는 상기 반응 용액에 의해 상기 금속 전극 표면에 형성되는 전기적 이중막에 의한 커패시턴스 변화값의 영향으로 인해 발생되는 전기적 변화 검출 감도 저하를 감소시키기 위해, 상기 반응 용액 보다 유전상수가 큰 물질로 이루어진 유전성 박막을 상기 금속 전극 표면 상에 형성하는 단계를 포함하는 바이오 센서의 제조방법.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 유전성 박막을 상기 금속 전극 표면 상에 형성하는 단계는 이산화 실리콘 박막, 질화 실리콘 박막, 산화 질화 실리콘 박막, PSG 박막, BPSG 박막 및 Ta2O5 박막으로 구성된 군으로부터 선택된 하나 또는 그 이상의 박막을 증착하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 유전성 박막을 상기 금속 전극 표면 상에 형성하는 단계는 이산화 실리콘 박막 또는 질화 실리콘 박막을 증착하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조방법.
  11. 제7항, 제9항 또는 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유전성 박막을 상기 금속 전극 표면 상에 형성하는 단계에서 상기 유전성 박막은 1μm 이하로 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조방법.
  12. 반응 챔버 공간 내의 반응 용액 하에서 생리활성물질의 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응에 따른 전기적 변화를 검출하는 바이오 칩에 있어서,
    제1기판과,
    상기 제1기판 상에 형성된 절연막을 사이에 두고 형성되고 생리활성물질의 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응에 따른 전기적 변화를 검출하는 하나 또는 그 이상의 센싱 금속 전극과,
    상기 제1기판 상에 일정한 거리를 두고 상기 제1기판과 결합하여 반응 챔버 공간을 형성하는 제2기판을 포함하되,
    상기 생리활성물질 또는 상기 반응 용액에 의해 상기 센싱 금속 전극 표면에 형성되는 전기적 이중막에 의한 커패시턴스 변화값의 영향으로 인해 발생되는 전기적 변화 검출 감도 저하를 감소시키기 위해, 상기 반응 용액 보다 유전상수가 큰 물질로 이루어진 유전성 박막이 상기 센싱 금속 전극 표면에 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 칩.
  13. 삭제
  14. 제12항에 있어서,
    상기 유전성 박막은 이산화 실리콘 박막, 질화 실리콘 박막, 산화 질화 실리콘 박막, PSG 박막, BPSG 박막 및 Ta2O5 박막으로 구성된 군으로부터 선택된 하나 또는 그 이상의 박막인 것을 특징으로 하는 바이오 칩.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 유전성 박막은 이산화 실리콘 박막 또는 질화 실리콘 박막인 것을 특징으로 하는 바이오 칩.
  16. 제12항, 제14항, 또는 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유전성 박막의 두께는 1μm 이하인 것을 특징으로 하는 바이오 칩.
  17. 제12항, 제14항, 또는 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2기판은 생리활성물질의 생물학적, 생화학적 또는 화학적 반응에 따른 전기적 변화를 검출하는 하나 또는 그 이상의 센싱 금속 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 칩.
  18. 제12항, 제14항, 또는 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전기적 변화는 임피던스 변화 또는 커패시턴스 변화인 것을 특징으로 하는 바이오 칩.
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