KR100967290B1 - Application liquid supply device - Google Patents

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쓰토무 니시오
지단 웨이
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쥬가이로 고교 가부시키가이샤
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Abstract

도포액 공급장치에 있어서, 밀봉의 안정성 향상, 흡인 시간의 단축 등을 도모한다.

시린지 펌프(2)의 실린더 헤드(9)의 내면(9a) 중 오목부(凹部) 저부(9e)의 동일 원주(圓周) 위에 공급구(18a, 18b)와 토출구(19)를 설치한다. 전환 로드(24)의 선단에 설치된 밸브판(26)에 공급구(18a ,18b) 및 토출구(19)와 대응하는 관통구멍(27a, 27b)을 설치한다. 전환 로드(24)는 로터리 액추에이터(rotary actuator)(23)에 의해 회전 구동되고, 코일 스프링(48)에 의해 밸브판(26)이 실린더 헤드(9)의 오목부 저부(9e)를 누르는 방향으로 탄성적으로 힘이 가해진다.

Figure R1020080007442

In the coating liquid supply device, the stability of the sealing is improved and the suction time is shortened.

The supply ports 18a and 18b and the discharge port 19 are provided on the circumference of the concave bottom 9e of the inner surface 9a of the cylinder head 9 of the syringe pump 2. The valve plate 26 provided at the tip of the switching rod 24 is provided with the through holes 27a and 27b corresponding to the supply ports 18a and 18b and the discharge port 19. [ The switching rod 24 is rotationally driven by a rotary actuator 23 and the valve plate 26 is urged by the coil spring 48 in the direction of pressing the concave bottom portion 9e of the cylinder head 9 The force is applied elastically.

Figure R1020080007442

Description

도포액 공급장치{APPLICATION LIQUID SUPPLY DEVICE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001]

본 발명은 도포액 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a coating liquid supply apparatus.

유리 기판(glass substrate) 등의 판상 처리물(板狀處理物), 필름(Film) 등의 표면에 페이스트(paste), 레지스트 액(resist liquid), 컬러 필터(color filter)용 형광체 페이스트(fluorescent paste) 등의 도포액을 도포하는 코팅기(coating機)로서 다이 코터(die-coater)가 광범히 사용되어 있다. 종래, 도포액 탱크(application liquid tank)로부터 다이 코터에 도포액을 공급하는 도포액 공급장치로는, 특허문헌 1에 시린지 펌프(syringe pump)의 헤드에 유로(流路) 전환 기구를 일체화한 것이 개시되어 있다.Resist paste, a resist liquid, and a fluorescent paste for a color filter on a surface of a plate substrate such as a glass substrate or a film, ) Is widely used as a coating machine for coating a coating liquid such as a coating liquid (e.g., a coating liquid). Conventionally, as a coating liquid supply apparatus for supplying a coating liquid from an application liquid tank to a die coater, there is a system in which a flow path switching mechanism is integrated with the head of a syringe pump Lt; / RTI >

그러나 특허문헌 1에 개시된 도포액 공급장치는, 커플링(coupling)을 통해서 전환 로드(changing rod)에 에어 실린더(air cylinder)를 연결하고, 이 에어 실린더의 공기압(空氣壓)으로 전환 로드에 설치한 밸브판과 실린더 헤드(cylinder head)와의 사이의 밀봉(seal)을 유지하는 구성이며, 밸브체의 회전시에는 실린더 헤드와의 공간을 두는 방식이기 때문에, 실린더 헤드와 밸브판과의 사이의 미끄럼면(slide surface)의 밀봉이 안정되지 않아서, 액(液)의 누설(漏泄)이 생길 우려가 있다. 또한, 이 도포액 공급장치로는, 도포액 탱크로의 도포액을 실린더 안에 도입하기 위한 공급구가 1개이므로, 도포액의 흡인(吸引)에 필요로 하는 시간이 길다.However, in the coating liquid supplying apparatus disclosed in Patent Document 1, an air cylinder is connected to a changing rod through a coupling, and air is supplied to the switching rod by the air pressure of the air cylinder Since the valve seat is configured to maintain a seal between a valve plate and a cylinder head and a space is provided between the valve head and the cylinder head during rotation of the valve body, The sealing of the slide surface is not stable, and leakage of the liquid may occur. Further, in this coating liquid supply device, since there is only one supply port for introducing the coating liquid into the coating liquid tank into the cylinder, the time required for suction of the coating liquid is long.

특허문헌 1은 일본 특허공개 2002-200452호의 공보이다.Patent Document 1 is a publication of Japanese Patent Laid-Open No. 2002-200452.

본 발명은, 도포액 공급장치에서, 밀봉의 안정성 향상, 흡인 시간의 단축 및 장치의 소형화(小型化)를 도모하는 것을 과제로 한다.An object of the present invention is to improve the stability of sealing, shorten the suction time, and downsize the apparatus in the coating liquid supplying apparatus.

본 발명은, 실린더(cylinder) 안에서 진퇴하는 피스톤(piston)과, 내면이 상기 피스톤과 대향하도록 상기 실린더의 일단에 배치된 실린더 헤드와, 상기 실린더 헤드에 설치되고, 또한 도포액 탱크에 접속된 흡인 포트(suction port)와, 상기 실린더 헤드에 설치되고, 또한 코팅기에 접속된 토출 포트(discharge port)와, 상기 실린더 헤드의 상기 내면에 개구(開口)하고, 상기 흡인 포트와 연통하는 공급구와, 상기 실린더의 내면에 개구하고, 상기 토출 포트와 연통하고, 또한 상기 공급구와 동일한 제1 원(圓) 위에 배치된 토출구와, 상기 실린더 헤드를 관통하여, 축선이 상기 제1 원의 중심을 지나가고, 또한 상기 실린더의 내면측에 위치하는 일단에 밸브판을 구비하는 전환 로드와, 상기 밸브판에 설치되고, 또한 상기 제1 원과 같은 중심 또한 같은 지름의 제2 원 위에 배치된 관통구멍과, 상기 전환 로드를 상기 축선 주위에 회전 구동하는 액추에이터(actuator)와, 상기 밸브판이 상기 실린더 헤드의 상기 내면을 누르는 방향으로, 상기 전환 로드를 탄성적으로 힘을 가하는 스프링을 포함하며, 상기 스프링에 의한 누르는 힘은, 상기 밸브판과 상기 실린더 헤드와의 사이에 밀봉막(密封膜) 겸 윤활막(潤滑膜)으로서 기능을 하는 도포액의 막을 형성하도록 설정되어 있는 도포액 공급장치를 제공한다.According to the present invention, there is provided a cylinder head comprising: a piston moving forward and backward in a cylinder; a cylinder head disposed at one end of the cylinder so that an inner surface thereof faces the piston; A discharge port provided in the cylinder head and connected to the coater; a supply port opening on the inner surface of the cylinder head and communicating with the suction port; A discharge port which is opened on the inner surface of the cylinder and communicates with the discharge port and which is disposed on the same first circle as the supply port and which passes through the cylinder head so that the axis passes through the center of the first circle, A switching rod having a valve plate at one end located on the inner surface side of the cylinder and a second rod provided on the valve plate and having the same center as the first circle, An actuator for rotationally driving the switching rod about the axis, and a spring for elastically biasing the switching rod in a direction in which the valve plate presses the inner surface of the cylinder head, , The pressing force by the spring is set so as to form a film of a coating liquid which functions as a sealing film (sealing film) and a lubricating film (lubricating film) between the valve plate and the cylinder head to provide.

도포액 탱크로부터 도포액을 흡인할 때에는, 액추에이터로 전환 로드가 회전 구동됨으로써, 밸브판은 관통구멍이 공급구와 일치하는 각도 위치로 된다. 피스톤이 실린더 안의 용적을 증가시키는 방향으로 이동하고, 도포액 탱크에서의 도포액은 흡인 포트를 거쳐서 공급구로부터 실린더 안으로 흡인된다. 한편, 코팅기에 도포액을 토출할 때에는, 액추에이터에서 전환 로드가 회전 구동됨으로써, 밸브판은 관통구멍이 토출구와 일치하는 각도 위치로 된다. 피스톤이 실린더 안의 용적을 감소시키는 방향으로 이동하고, 실린더 안의 도포액은 토출구를 거쳐서 토출 포트로부터 코팅기에 토출된다.When the coating liquid is sucked from the coating liquid tank, the switching rod is rotationally driven by the actuator, so that the valve plate is at the angular position where the through hole coincides with the supply port. The piston moves in the direction of increasing the volume in the cylinder and the coating liquid in the coating liquid tank is sucked into the cylinder from the supply port via the suction port. On the other hand, when the coating liquid is discharged to the coater, the switching rod is rotationally driven by the actuator, so that the valve plate has the angular position where the through hole coincides with the discharge port. The piston moves in the direction of reducing the volume in the cylinder, and the coating liquid in the cylinder is discharged from the discharge port to the coater through the discharge port.

밸브판은 스프링에 의해 항상 실린더 헤드의 내면을 누르게 된다. 상세하게는, 관통구멍이 공급구와 일치하는 각도 위치로부터 관통구멍이 토출구와 일치하는 각도 위치로 밸브판이 회전할 때에도, 그 반대의 방향으로 밸브판이 회전할 때에도, 밸브판은 실린더 헤드의 내면에 누른 상태를 유지한다. 따라서 커플링을 통해서 전환 로드를 에어 실린더에 접속하고, 밸브판의 회전시에는 밸브판과 실린더 헤드와의 사이에 공간을 두고서 회전시켜, 공기압으로 밀봉을 유지할 경우와 비교하면, 실린더 헤드의 내면과 밸브판과의 사이의 미끄럼면의 밀봉의 안정성이 대폭 향상되고, 도포액의 누설을 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 전환 로드를 진퇴(進退)시키는 에어 실린더나 커플링이 불필요하게 되므로, 장치의 소형화 및 간소화 된다. 또한, 스프링에 의해 가해지는 힘(付勢力)을 조정하는 것만으로, 밸브판을 실린더 헤드의 내면에 대해 누르는 힘을 간단히 조정할 수 있어, 장치의 조작성(操作性)이 향상된다. 밸브판이 회전할 때에, 실린더 헤드의 내면과 밸브판과의 사이의 미끄럼면에 광범위하게 도포액을 공급할 수 있어, 이 미끄럼면의 전면(全面)에 밀봉막 겸 윤활막으로서의 기능을 하는 도포액의 윤활막이 형성된다.The valve plate always presses the inner surface of the cylinder head by the spring. Specifically, even when the valve plate rotates from an angular position where the through hole coincides with the supply port to an angular position where the through hole coincides with the discharge port, the valve plate is pressed against the inner surface of the cylinder head even when the valve plate rotates in the opposite direction State. Therefore, as compared with the case where the switching rod is connected to the air cylinder through the coupling and the space between the valve plate and the cylinder head is rotated during rotation of the valve plate to maintain the sealing by air pressure, The stability of sealing of the sliding surface between the valve plate and the valve plate is greatly improved, and leakage of the coating liquid can be reliably prevented. In addition, since the air cylinder or coupling for moving the switching rod forward and backward is not necessary, the size and simplification of the device can be achieved. Further, by simply adjusting the force (biasing force) applied by the spring, the pressing force of the valve plate against the inner surface of the cylinder head can be easily adjusted, and the operability (operability) of the apparatus is improved. It is possible to supply the coating liquid to the sliding surface between the inner surface of the cylinder head and the valve plate in a wide range when the valve plate rotates and to provide a lubricating film of the coating liquid which functions as a sealing film and lubricant film on the entire surface of the sliding surface. .

바람직하게는, 상기 공급구가 복수 개 있고 또한 상기 관통구멍이 상기 공급구와 동수(同數)이다.Preferably, a plurality of the supply ports are provided, and the through holes are the same number as the supply port.

공급구의 총 단면적을 증가할 수 있으므로, 도포액 탱크로의 도포액의 흡인에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 적절한 유량으로 도포액을 흡인(吸引)하기 위해 필요한 총 단면적을 확보하면서, 각각의 공급구의 단면적은 감소시킬 수 있다. 각각의 공급구의 단면적을 감소시킴으로써, 밸브판의 치수를 소형화할 수 있다. 또한, 각각의 공급구의 단면적을 감소시키는 것으로써, 확실히 밀봉하기 위해 필요한 공급구와 토출구와의 사이에 연(沿)한 면(面)의 거리를 확보하면서, 공급구와 토출구와의 사이의 각도 범위를 좁힐 수 있다. 그 결과, 흡인과 토출의 전환을 위해 필요한 밸브판의 회전 각도를 축소하고, 미끄럼면의 미끄럼 면적 및 미끄럼 거리를 감소시킬 수 있다.The total cross-sectional area of the supply port can be increased, so that the time required for suction of the coating liquid into the coating liquid tank can be shortened. Further, the cross-sectional area of each supply port can be reduced while securing the total cross-sectional area necessary for sucking the coating liquid at a proper flow rate. By reducing the cross-sectional area of each supply port, the dimensions of the valve plate can be reduced. By decreasing the cross-sectional area of each of the supply ports, it is possible to secure the distance between the supply port and the discharge port, which is necessary for secure sealing, while maintaining the angle range between the supply port and the discharge port as Can be narrowed down. As a result, it is possible to reduce the rotational angle of the valve plate necessary for switching between suction and discharge, and reduce the sliding area and the sliding distance of the sliding surface.

또한, 바람직하게는, 상기 공급구는 상기 제1 원의 상기 중심에 대하여 점대칭으로 배치되어 있다.Preferably, the supply ports are arranged in point symmetry with respect to the center of the first circle.

도포액 탱크로의 압력은 밸브판의 복수 개소에 균일하게 작용한다. 그 결과, 실린더 헤드의 내면과 밸브판과의 사이의 미끄럼면의 밀봉의 안정성이 더욱 향상된다.The pressure to the coating liquid tank acts uniformly at a plurality of locations on the valve plate. As a result, the stability of sealing of the sliding surface between the inner surface of the cylinder head and the valve plate is further improved.

예를 들면, 상기 공급구가 2개 있고, 이것들 2개의 공급구는 상기 제1 원의 상기 중심 주위에 180°의 각도 간격을 두고서 배치된다.For example, there are two supply ports, and these two supply ports are arranged at an angular interval of 180 DEG around the center of the first circle.

상기 실린더 헤드의 내면과 상기 밸브판과의 사이에, 상기 실린더 헤드 또는 상기 밸브판에 고정된 내마모성(耐磨耗性)을 갖는 고정판(固定板)이 통해 있어도 좋다.A fixing plate (fixed plate) having abrasion resistance fixed to the cylinder head or the valve plate may be provided between the inner surface of the cylinder head and the valve plate.

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본 발명의 도포액 공급장치로는, 밸브판이 실린더 헤드의 내면에 누르는 방향으로 스프링에 의해 전환 로드를 탄성적으로 힘을 가하므로, 실린더 헤드의 내면과 밸브판과의 사이의 미끄럼면의 밀봉의 안정성을 향상시킬 수 있는 동시에, 장치를 소형화 및 간소화할 수 있다. 또한, 복수 개의 공급구를 설치함으로써, 미끄럼면의 밀봉의 안정성 향상, 흡인 시간의 단축, 밸브판의 치수의 소형화 및 미끄럼면의 미끄럼 면적 및 미끄럼 거리의 감소를 실현할 수 있다. 또한, 공급구를 점대칭으로 배치함으로써, 실린더 헤드의 내면과 밸브판과의 사이의 미끄럼면의 밀봉의 안정성을 더욱 향상시킬 수 있다.In the coating liquid supplying apparatus of the present invention, since the valve plate elastically urges the switching rod by the spring in the direction in which the valve plate presses the inner surface of the cylinder head, the sliding surface between the inner surface of the cylinder head and the valve plate The stability can be improved, and the device can be downsized and simplified. Further, by providing a plurality of supply ports, it is possible to improve the stability of sealing of the sliding surface, shorten the suction time, reduce the size of the valve plate, and reduce the sliding area and the sliding distance of the sliding surface. Further, by arranging the supply ports in point symmetry, the stability of sealing of the sliding surface between the inner surface of the cylinder head and the valve plate can be further improved.

다음에, 첨부 도면을 참조해서 본 발명의 실시형태를 상세히 설명한다.Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1을 참조하면, 도포액 공급장치(1)는, 시린지 펌프(2), 전환장치(3) 및 컨트롤러(controller)(4)를 구비한다.1, the coating liquid supply device 1 includes a syringe pump 2, a switching device 3, and a controller 4. As shown in Fig.

시린지 펌프(2)는, 실린더(6), 직동형(直動型)의 액추에이터(actuator)(7)로 구동되어서 실린더(6) 안에서 진퇴하는 피스톤(8), 내면(9a)이 피스톤(8)과 대향하 도록 실린더(6)의 일단에 고정된 실린더 헤드(9)를 구비한다.The syringe pump 2 includes a piston 8 driven by a cylinder 6 and a linear actuator 7 so as to move forward and backward in the cylinder 6, And a cylinder head 9 fixed to one end of the cylinder 6 so as to face the cylinder head 9.

도 2로부터 도 4를 아울러 참조하면, 본 실시형태에서의 실린더 헤드(9)는 대강 편평한 원주상(圓柱狀)이며, 외주에는 흡인 포트(11)와 토출 포트(12)가 설치되어 있다. 흡인 포트(11)는 배관(13)에 의해 도포액 탱크(16)에 접속되고, 토출 포트(12)는 배관(14)에 의해 다이 코터(코팅기)(17)에 접속되어 있다. 실린더 헤드(9)의 내면(9a)에는 단면 원형의 오목부(凹部)(9c)가 설치되어 있다. 내면(9a) 중 오목부(9c)의 저부를 구성하는 부분{오목부 저부(9e)}에는, 2개의 공급구(18a, 18b)와 1개의 토출구(19)가 실린더(6) 안의 내부에 개구되어 있다. 공급구(18a, 18b)는, 실린더 헤드(9) 안에 형성된 공급 유로(21a, 21b)를 통해서 흡인 포트(11)와 연통하고 있다. 토출구(19)는, 실린더 헤드(9) 안에 형성된 토출 유로(22)를 통해서 토출 포트(12)와 연통되어 있다. 본 실시형태에서는, 공급구(18a, 18b)와 토출구(19)의 단면 형상은, 모두 원형이다.Referring to Figs. 2 to 4, the cylinder head 9 in this embodiment is roughly columnar, and the suction port 11 and the discharge port 12 are provided on the outer periphery. The suction port 11 is connected to the coating liquid tank 16 by a pipe 13 and the discharge port 12 is connected to a die coater (coating machine) 17 by a pipe 14. The inner surface 9a of the cylinder head 9 is provided with a circular recess 9c. The two supply ports 18a and 18b and one discharge port 19 are formed in the inside of the cylinder 6 in the portion constituting the bottom of the recess 9c in the inner surface 9a (concave bottom portion 9e) And is opened. The supply ports 18a and 18b communicate with the suction port 11 through supply passages 21a and 21b formed in the cylinder head 9. [ The discharge port 19 is in communication with the discharge port 12 through a discharge flow path 22 formed in the cylinder head 9. In this embodiment, the cross-sectional shapes of the supply ports 18a, 18b and the discharge port 19 are all circular.

도 3에 나타낸 바와 같이, 공급구(18a, 18b)와 토출구(19)는, 내면(9a) 위의 가상(假想)의 원 C1의 원주 위에 배치되어 있다. 상세하게는, 2개의 공급구(18a, 18b)는, 원 C1의 중심 CT1 주위에 180°의 각도 간격을 두고서 점대칭으로 배치되어 있다. 또한, 토출구(19)는 각각의 공급구(18a, 18b)에 대하여 원 C1의 중심 CT1 주위에 90°의 각도 간격을 두고서 배치되어 있다. 실린더 헤드(9)에는, 원 C1과 같은 중심의 원형 단면을 갖는 끼워 넣는 구멍(9d)이 두께 방향으로 관통하도록 설치되어 있다.As shown in Fig. 3, the supply ports 18a, 18b and the discharge port 19 are arranged on the circumference of a virtual circle C1 on the inner surface 9a. Specifically, the two supply ports 18a and 18b are arranged in point symmetry with an angular interval of 180 degrees around the center CT1 of the circle C1. The discharge ports 19 are arranged at angular intervals of 90 DEG around the center CT1 of the circle C1 with respect to the respective supply ports 18a and 18b. The cylinder head 9 is provided with a fitting hole 9d having a circular circular section like the circle C1 so as to penetrate in the thickness direction.

전환장치(3)는 로터리 액추에이터(rotary actuator)(23)와, 이 로터리 액추에이터(23)에 의해 그것 자체의 축선 S 주위로 회전 구동되는 전환 로드(24)를 구비한다.The switching device 3 is provided with a rotary actuator 23 and a switching rod 24 which is rotationally driven around the axis S thereof by the rotary actuator 23. [

도 1, 도 2, 및 도 5를 참조하면, 전환 로드(24)는 끼워 넣는 구멍(9d)에 삽입 통과됨으로써, 실린더 헤드(9)를 관통하고 있고, 축선 S는, 공급구(18a, 18b)와 토출구(19)가 배치되어 있는 원 C1의 중심 CT1을 통과한다. 실린더(6) 안{실린더 헤드(9)의 내면(9a)측}에 위치하는 전환 로드(24)의 일단에는 원반상(圓盤狀)의 밸브판(26)이 일체로 설치되어 있다. 밸브판(26)에는 2개의 관통구멍(27a, 27b)이 설치되어 있다. 이것들의 관통구멍(27a, 27b)은, 공급구(18a, 18b)와 토출구(19)가 배치되어 있는 원 C1과 같은 중심 또한 같은 지름의 가상의 원 C2의 원주(圓周) 위에 배치되어 있다. 상세하게는, 2개의 관통구멍(27a, 27b)은, 원 C2의 중심 CT2 주위에 180°의 각도 간격을 두고서 점대칭으로 배치되어 있다. 또한, 관통구멍(27a, 27b)의 단면 형상은, 공급구(18a, 18b) 및 토출구(19)와 동일 지름의 원형이다.1, 2, and 5, the switching rod 24 is inserted into the fitting hole 9d, thereby penetrating the cylinder head 9, and the axis S passes through the supply ports 18a, 18b And the discharge port 19 are disposed. A disk-shaped disk plate 26 is integrally provided at one end of the switching rod 24 located in the cylinder 6 (on the inner surface 9a side of the cylinder head 9). The valve plate 26 is provided with two through holes 27a and 27b. These through holes 27a and 27b are arranged on the circumference of a virtual circle C2 having the same center and the same diameter as the circle C1 in which the supply ports 18a and 18b and the discharge port 19 are disposed. Specifically, the two through-holes 27a and 27b are arranged in point symmetry around the center CT2 of the circle C2 with an angular interval of 180 degrees. The sectional shapes of the through holes 27a and 27b are circular with the same diameter as the supply ports 18a and 18b and the discharge port 19. [

도 2에 가장 명료하게 나타낸 바와 같이, 밸브판(26)의 실린더 헤드(9)와 대향하는 면에는 내마모성의 재료로 이루어지고 또한 원반상인, 내마모성을 갖는 고정판(28)이 고정되어 있다. 이 고정판(28)에는 2개의 관통구멍(29a, 29b)이 두께 방향으로 관통하도록 설치되어 있다. 상세하게는, 이들 관통구멍(29a, 29b)은, 원 C1, C2와 같은 지름의 가상(假想)의 원 C3의 원주(圓周) 위에 중심 CT3에 대하여 180°의 각도 간격을 두고서 점대칭으로 배치되어 있다. 또한, 관통구멍(29a, 29b)의 단면 형상은, 공급구(18a, 18b), 토출구(19) 및 관통구멍(27a, 27b)과 동일 지름의 원형이다. 고정판(28)의 중앙에는 끼워 넣는 구멍(31)이 설치되어 있고, 이 끼워 넣는 구멍(31)에는 전환 로드(24)가 삽입 통과되어 있다. 또한, 고정판(28)은 한 쌍의 핀구멍(32a, 32b)에 삽입 통과된 핀(도시하지 않음)에 의해 밸브판(26)에 대하여 고정되어 있다.As best shown in Fig. 2, on the surface of the valve plate 26 opposed to the cylinder head 9, a fixed plate 28 made of a wear-resistant material and having a wear resistance is fixed. The fixing plate 28 is provided with two through holes 29a and 29b penetrating therethrough in the thickness direction. Specifically, these through holes 29a and 29b are arranged in a point symmetry with respect to the center CT3 at an angular interval of 180 degrees on the circumference of a virtual circle C3 of the same diameter as the circles C1 and C2 have. The sectional shapes of the through holes 29a and 29b are circular with the same diameter as the supply ports 18a and 18b, the discharge port 19 and the through holes 27a and 27b. A fitting hole 31 is provided at the center of the fixing plate 28. A switching rod 24 is inserted into the fitting hole 31. [ The fixing plate 28 is fixed to the valve plate 26 by a pin (not shown) inserted into the pair of pin holes 32a, 32b.

전환 로드(24)의 타단에는 수(雄)나사부(33)가 설치되어 있다. 또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 전환 로드(24)의 로터리 액추에이터(23)에 삽입 통과되어 있는 부위로부터 수나사부(33)에 걸쳐서, 서로 평행한 평탄면(34a, 34b)이 형성되어 있다. 전환 로드(24)의 다른 부분의 단면 형상은 원형이다.At the other end of the switching rod 24, a male screw portion 33 is provided. 5, flat surfaces 34a and 34b parallel to each other are formed from the portion of the switching rod 24 through which the rotary actuator 23 is inserted to the male threaded portion 33. As shown in Fig. The sectional shape of the other portion of the switching rod 24 is circular.

실린더 헤드(9)의 끼워 넣는 구멍(9d)에는 3개의 부시(bush)(36a, 36b, 36c)와 오링(O-Ring)(37)이 장착되어 있고, 이것들은 실린더 헤드(9)의 외면(9b)에 볼트로 고정된 보유부품(38)에 의해 보유되어 있다. 오링(37)에 의해 끼워 넣는 구멍(9d)의 구멍 벽과 전환 로드(24)의 외주면의 틈이 밀봉되어 있다.Three bushings 36a, 36b and 36c and an O-ring 37 are fitted in the fitting hole 9d of the cylinder head 9, And is held by a retaining part 38 bolted to the base 9b. The gap between the hole wall of the hole 9d to be fitted by the O-ring 37 and the outer peripheral surface of the switching rod 24 is sealed.

실린더 헤드(9)의 외면에는 브래킷(bracket)(39)이 볼트로 고정(fixed by bolts)되어 있고, 이 브래킷(39)에 로터리 액추에이터(23)의 케이싱(41)이 고정되어 있다. 도 6을 참조하면, 로터리 액추에이터(23)의 케이싱(41) 안에는, 2개의 실린더 실(cylinder room)(42a, 42b)이 평행으로 설치되어 있다. 각각의 실린더 실(42a, 42b)에는, 각각 제2 피스톤(43a ,43b)이 수용되어 있다. 한쪽의 실린더 실(42a)은, 제2 피스톤(43a)에 의해 칸막이 된, 도면에서 좌측의 제1 실(42c)과 우측의 제2 실(42d)을 구비한다. 마찬가지로, 다른 쪽의 실린더 실(42b)도, 제2 피스톤(43b)에 의해 칸막이 된, 도면에서 좌측의 제1 실(42e)과 우측의 제2 실(42f)을 구비한다. 실린더 실(42a)의 제1 실(42c)과 실린더 실(42b)의 제2 실(42f)은 도시하지 않는 유로를 통해서 서로 연통되어 있다. 마찬가지로, 실린더 실(42a)의 제2 실(42d)과 실린더 실(42b)의 제1 실(42e)도 도시하지 않는 유로를 통해서 서로 연통되어 있다. 각각의 제2 피스톤(43a,43b)의 한쪽 편에는 랙(rack)(44)이 설치되어 있다. 케이싱(41) 안에는 제2 피스톤(43a, 43b)의 랙(44)과 맞물리는 피니언(pinion)(46)이 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 피니언(46)에는, 전술한 바와 같이 평탄면(34a, 34b)을 갖는 전환 로드(24)의 단면 형상과 대응하는 단면 형상을 갖는 끼워 넣는 구멍(46a)이 두께 방향으로 관통하도록 설치되어 있다. 이 끼워 넣는 구멍(46a)에 전환 로드(24)가 삽입 통과되어 있다. 피니언(46)의 회전은 전환 로드(24)에 전달되지만, 피니언(46)은 전환 로드(24)의 축선 S 방향으로 진퇴를 방해하지 않는다.A bracket 39 is fixed by bolts to the outer surface of the cylinder head 9 and the casing 41 of the rotary actuator 23 is fixed to the bracket 39. Referring to Fig. 6, two cylinder chambers 42a and 42b are provided in parallel in the casing 41 of the rotary actuator 23. As shown in Fig. The second pistons 43a and 43b are accommodated in the respective cylinder chambers 42a and 42b, respectively. One of the cylinder chambers 42a has a first chamber 42c on the left side and a second chamber 42d on the right side in the figure partitioned by the second piston 43a. Similarly, the other cylinder chamber 42b is provided with a first chamber 42e on the left side and a second chamber 42f on the right side, which are partitioned by the second piston 43b. The first chamber 42c of the cylinder chamber 42a and the second chamber 42f of the cylinder chamber 42b are communicated with each other through a flow passage (not shown). Likewise, the second chamber 42d of the cylinder chamber 42a and the first chamber 42e of the cylinder chamber 42b communicate with each other through a flow passage (not shown). A rack 44 is provided on one side of each of the second pistons 43a and 43b. In the casing 41, a pinion 46 engaging with the rack 44 of the second piston 43a, 43b is rotatably supported. The pinion 46 is provided with a fitting hole 46a having a cross-sectional shape corresponding to the cross-sectional shape of the switching rod 24 having the flat surfaces 34a, 34b as described above, passing through the pinion 46 in the thickness direction. And the switching rod 24 is inserted into the fitting hole 46a. The rotation of the pinion 46 is transmitted to the switching rod 24, but the pinion 46 does not interfere with the forward / backward movement of the switching rod 24 in the direction of the axis S.

실린더 실(42a)의 제1 실(42c) 안(內)과 실린더 실(42b)의 제2 실(42f) 안으로 공기를 공급하면, 제2 피스톤(43a)이 도 6에서 우측으로 이동하는 한편, 제2 피스톤(43b)이 좌측으로 이동한다. 그 결과, 랙(44)으로 구동된 피니언(46)은 도 6에서 반시계 방향으로 회전한다. 실린더 실(42a)의 제2 실(42d) 안과 실린더 실(42b)의 제1 실(42e) 안으로 공기를 공급하면, 제2 피스톤(43a)이 도 6에서 좌측으로 이동하는 한편, 제2 피스톤(43b)이 우측으로 이동하고, 랙(44)으로 구동된 피니언(46)은 도 6에서 시계 방향으로 회전한다. 피니언(46)과 함께 전환 로드(24)가 축선 S 주위를 회전하고, 그 결과 밸브판(26)이 원 C2의 중심 CT2를 중심으로 회전한다.When air is supplied into the first chamber 42c of the cylinder chamber 42a and into the second chamber 42f of the cylinder chamber 42b, the second piston 43a moves to the right in FIG. 6 , The second piston 43b moves to the left. As a result, the pinion 46 driven by the rack 44 rotates counterclockwise in Fig. When air is supplied into the second chamber 42d of the cylinder chamber 42a and into the first chamber 42e of the cylinder chamber 42b, the second piston 43a moves to the left in FIG. 6, The pinion 43b moves to the right and the pinion 46 driven by the rack 44 rotates clockwise in Fig. The switching rod 24 rotates about the axis S together with the pinion 46 so that the valve plate 26 rotates about the center CT2 of the circle C2.

도 1 및 도 5를 참조하면, 로터리 액추에이터(23)의 케이싱(41) 중 브래킷(39)으로의 부착 부위와 반대측의 부위에는 베어링 부재(47)가 고정되어 있다. 이 베어링 부재(47)를 두께 방향으로 관통하는 끼워 넣는 구멍(47a)에 전환 로드(24)의 타단측(他端側)이 끼워 넣어져 있다. 전환 로드(24)의 나사부(33)는 베어링 부재(47)의 외부로 돌출되어 있다. 끼워 넣는 구멍(47a)은, 로터리 액추에이터(23)에 근접하고 있는 측(側)으로부터, 베어링부(47b), 제1 확경부(擴徑部)(47c) 및 제1 확경부(47c)보다 긴 지름의 제2 확경부(47d)를 구비한다. 베어링부(47b)는 전환 로드(24)의 레이디얼 베어링(radial bearing)으로서 기능(機能)을 한다. 제1 확경부(47c)와 제2 확경부(47d)의 접속 부위의 단부(段部)가 스프링 시트(47e)로서 기능을 한다. 코일 스프링(coil spring)(48)이 제2 확경부(47d) 안에 수용되어 있고, 코일 스프링(48)의 일단(一端){로터리 액추에이터(23)측의 단부}은 스프링 시트(47e)에 의해 지지되어 있다. 또한, 제2 확경부(47d)에는 원통상의 스프링 누름 부재(49)의 가장자리부(緣部)(49a)가 자유롭게 미끄러질 수 있도록 수용되어 있고, 코일 스프링(48)의 타단{로터리 액추에이터(23)는 반대측의 단부}은 스프링 누름 부재(49)에 맞닿아 있다.1 and 5, a bearing member 47 is fixed to a portion of the casing 41 of the rotary actuator 23 opposite to the attachment portion to the bracket 39. As shown in Fig. The other end side (the other end side) of the switching rod 24 is fitted in the fitting hole 47a penetrating the bearing member 47 in the thickness direction. The threaded portion 33 of the switching rod 24 projects outside the bearing member 47. The fitting hole 47a extends from the side closer to the rotary actuator 23 to the bearing 47b, the first diameter portion 47c and the first diameter portion 47c And a second enlarged diameter portion 47d having a long diameter. The bearing portion 47b functions as a radial bearing of the switching rod 24. [ The stepped portion of the connecting portion between the first enlarged diameter portion 47c and the second enlarged diameter portion 47d functions as a spring seat 47e. A coil spring 48 is housed in the second enlarged diameter portion 47d and one end of the coil spring 48 (the end on the side of the rotary actuator 23) . The edge portion 49a of the cylindrical spring pressing member 49 is received in the second enlarged diameter portion 47d so as to be freely slidable and the other end of the coil spring 48 (The end on the opposite side) abuts against the spring pressing member 49.

전환 로드(24)는 코일 스프링(48)과 스프링 누름 부재(49)를 관통하고, 나사부(33)는 베어링 부재(47)의 통상부(47f)로부터 외부로 돌출되어 있다. 전환 로드(24)의 축선 S 방향의 진퇴를 구속하지 않도록, 코일 스프링(48)과 스프링 누름 부재(49)의 내경(內徑)은 전환 로드(24)의 바깥치수보다도 충분히 크게 설정되어 있다. 스프링 누름 부재(49)의 테두리부(49a)와는 반대측의 단부도, 베어링 부재(47)의 통상부(筒狀部)(47f)로부터 외부로 돌출되어 있다.The switching rod 24 passes through the coil spring 48 and the spring pressing member 49 and the threaded portion 33 protrudes to the outside from the cylindrical portion 47f of the bearing member 47. [ The inside diameter of the coil spring 48 and the spring pressing member 49 is set to be sufficiently larger than the outside dimension of the switching rod 24 so as not to restrain the advance and retreat of the switching rod 24 in the direction of the axis S. The end portion of the spring pressing member 49 on the side opposite to the rim portion 49a also protrudes outward from the cylindrical portion 47f of the bearing member 47. [

전환 로드(24)의 나사부(33)에는 너트(nut)(51)가 나사 결합되어 있고, 이 너트(51)를 단단히 조임으로써, 전환 로드(24)는 도 1에서 화살표 A로 나타내는 방향으로 코일 스프링(48)에 의해 탄성적으로 힘이 가해지고 있다. 상세하게는, 너트(51)를 단단히 조이면, 너트(51)로 눌린 스프링 누름 부재(49)가 스프링 시트(47e)를 향해서 코일 스프링(48)을 압축한다. 따라서, 압축된 코일 스프링(48)이 원상(原狀)의 길이로 복귀하려고 하는 힘이 스프링 누름 부재(49)를 통해서 너트(51)에 전달되어, 전환 로드(24)는 화살표 A 방향으로 힘이 가해진다. 코일 스프링(48)의 화살표 A 방향으로 가해지는 힘에 의해, 전환 로드(24)의 밸브판(26)은 고정판(28)을 통해서 실린더 헤드(9)의 내면(9a){오목부 저부(9e)}에 대하여 항상 탄성적으로 누르게 된다.A nut 51 is screwed to the threaded portion 33 of the switching rod 24. By tightening the nut 51, the switching rod 24 is rotated in the direction indicated by the arrow A in Fig. And is elastically urged by the spring 48. [ More specifically, when the nut 51 is tightened tightly, the spring pressing member 49 pressed by the nut 51 compresses the coil spring 48 toward the spring seat 47e. Therefore, the force that the compressed coil spring 48 is going to return to the original length is transmitted to the nut 51 through the spring pressing member 49, so that the switching rod 24 is rotated in the direction of the arrow A Is applied. The valve plate 26 of the switching rod 24 is pressed against the inner surface 9a of the cylinder head 9 through the fixing plate 28 in the direction of the arrow A of the coil spring 48 )}. ≪ / RTI >

컨트롤러(4)는, 시린지 펌프(2)의 피스톤(8)을 진퇴시키는 액추에이터(7)와, 전환 로드(24)를 회전 구동하는 로터리 액추에이터(23)를 동기해서 동작하도록 제어한다.The controller 4 controls the actuator 7 for moving the piston 8 of the syringe pump 2 forward and backward and the rotary actuator 23 for rotating the switch rod 24 to operate in synchronization with each other.

다음에, 본 실시형태의 도포액 공급장치(1)의 동작을 설명한다.Next, the operation of the coating liquid supply device 1 of the present embodiment will be described.

도포액 탱크(16)로부터 도포액을 흡인할 때에는, 로터리 액추에이터(23)로 전환 로드(24)가 회전 구동됨으로써, 도 7(A)에 나타낸 바와 같이, 밸브판(26)은 각각의 관통구멍(27a, 27b)이 고정판(28)의 관통구멍(29a, 29b)을 통해서 각각의 공급구(18a, 18b)와 일치하는 각도 위치가 된다. 이 각도 위치에서는, 토출구(19)는 고정판(28)의 관통구멍(29a, 29b)이 존재하지 않는 부위에서 폐쇄된다. 밸브판(26)이 이 각도 위치가 된 다음, 액추에이터(7)에 의해 시린지 펌프(2)의 피스톤(8)이 실린더(6) 안의 용적을 증가시키는 방향(도 1에서 우측 방향)으로 이동한다. 그 결과, 도포액 탱크(16)에 축액(蓄液)된 도포액의 압력(정압)에 의해, 도포액 탱크(16)로부터 배관(13), 흡인 포트(11), 공급 유로(21a, 21b), 공급구(18a, 18b), 관통구멍(29a, 29b) 및 관통구멍(27a, 27b)을 통해서 도포액이 실린더(6) 안에 흡인된다.When the coating liquid is sucked from the coating liquid tank 16, the switching rod 24 is rotationally driven by the rotary actuator 23 so that the valve plate 26 is rotated by the through- And the through holes 29a and 29b of the fixing plate 28 coincide with the respective supply ports 18a and 18b. In this angular position, the discharge port 19 is closed at a portion where the through holes 29a and 29b of the fixed plate 28 are not present. After the valve plate 26 is at this angular position, the piston 8 of the syringe pump 2 is moved by the actuator 7 in the direction (rightward in Fig. 1) in which the volume in the cylinder 6 is increased . As a result, the pipe 13, the suction port 11, the supply passages 21a and 21b (not shown) are discharged from the coating liquid tank 16 by the pressure (static pressure) of the coating liquid stored in the coating liquid tank 16 The coating liquid is sucked into the cylinder 6 through the supply holes 18a and 18b, the through holes 29a and 29b and the through holes 27a and 27b.

다음에, 다이 코터(17)에 도포액을 토출할 때에는, 로터리 액추에이터(23)로 전환 로드(24)가 회전 구동됨으로써, 도 7(B)에 나타낸 바와 같이, 밸브판(26)은 중심 CT1 주위에 도면에서 시계 방향으로 90° 회전하고, 한쪽의 관통구멍(27b)이 고정판(28)의 관통구멍(29b)을 통해서 토출구(19)와 일치하는 각도 위치가 된다. 이 각도 위치에서는, 공급구(18a, 18b)는 고정판(28)의 관통구멍(29a, 29b)이 없는 부위에서 폐쇄되고, 다른 쪽의 관통구멍(27a) 및 관통구멍(29a)은 실린더 헤드(9)의 내면(9a)의 오목부의 저부(9e) 중에서 공급구(18a, 18b)도 토출구(19)도 존재하지 않는 부위에서 폐쇄된다. 밸브판(26)이 이 각도 위치가 된 후, 액추에이터(7)에 의해 시린지 펌프(2)의 피스톤(8)이 실린더(6) 안의 용적을 감소시키는 방향(도 1에서 좌측 방향)으로 이동한다. 그 결과, 피스톤(8)에 의해 가압된 실린더(6) 안의 도포액은, 관통구멍(27b), 관통구멍(29b), 토출구(19), 토출 유로(22), 토출 포트(12) 및 배관(14)을 통해서 다이 코터(17)로 토출된다.Next, when the coating liquid is discharged to the die coater 17, the switching rod 24 is rotationally driven by the rotary actuator 23 so that the valve plate 26 rotates about the center CT1 And the one through hole 27b becomes an angular position at which it coincides with the discharge port 19 through the through hole 29b of the fixing plate 28. [ At this angular position, the supply ports 18a and 18b are closed at portions where the through holes 29a and 29b of the fixing plate 28 are not provided, and the other through hole 27a and the through hole 29a are closed at the cylinder head The supply ports 18a and 18b are also closed at the portion where the discharge port 19 is not present in the bottom portion 9e of the concave portion of the inner surface 9a of the casing 9 as well. After the valve plate 26 is at this angular position, the piston 8 of the syringe pump 2 is moved by the actuator 7 in the direction of decreasing the volume in the cylinder 6 (left direction in Fig. 1) . As a result, the coating liquid in the cylinder 6 pressurized by the piston 8 flows through the through hole 27b, the through hole 29b, the discharge port 19, the discharge flow path 22, the discharge port 12, Is discharged to the die coater (17) through the discharge port (14).

다이 코터(17)로의 도포액의 토출 후에 다시 도포액 탱크(16)로부터 도포액을 흡인할 때에는, 밸브판(26)이 도 7(B)에 나타내는 각도 위치로부터 중심 CT1 주위에 도면에서 반시계 방향으로 90° 회전하고, 관통구멍(27a, 27b)과 관통구멍(29a, 29b)이 공급구(18a, 18b)와 일치한 다음, 실린더(6) 안의 용적이 증가하는 방향으로 피스톤(8)이 이동한다. 이상과 같이 밸브판(26)의 회전과 그것에 동기한 피스톤(8)의 진퇴를 반복함으로써, 도포액 탱크(16) 안의 도포액을 연속적으로 다이 코터(17)에 공급할 수 있다.When the coating liquid is sucked from the coating liquid tank 16 again after the coating liquid is discharged to the die coater 17, the valve plate 26 is rotated counterclockwise around the center CT1 from the angular position shown in FIG. 7 (B) And the through holes 27a and 27b and the through holes 29a and 29b coincide with the supply ports 18a and 18b and then the piston 8 is moved in the direction in which the volume in the cylinder 6 increases. . As described above, the coating liquid in the coating liquid tank 16 can be continuously supplied to the die coater 17 by repeating the rotation of the valve plate 26 and the advancement and retraction of the piston 8 synchronized therewith.

본 실시형태의 도포액 공급장치(1)에는 이하의 특징이 있다.The coating liquid supply device 1 of the present embodiment has the following features.

밸브판(26) 및 고정판(28)은 코일 스프링(48)에 의해 항상 실린더 헤드(9)의 내면(9a)의 오목부 저부(9e)를 누르게 된다. 상세하게는, 관통구멍(27a, 27b)과 관통구멍(29a, 29b)이 공급구(18a, 18b)와 일치하는 각도 위치{도 7(A))}로부터 관통구멍(27b)과 관통구멍(29b)이 토출구(19)와 일치하는 각도 위치{도 7(B)}로 밸브판(26)이 회전할 때에도, 그 반대의 방향으로 밸브판(26)이 회전할 때에도, 밸브판(26) 및 고정판(28)은 실린더 헤드(9)의 내면(9a)의 오목부 저부(9e)에 눌러진 상태를 유지한다. 따라서, 커플링을 통해서 전환 로드를 에어 실린더에 접속하고, 공기압으로 밀봉을 유지할 경우와 비교하면, 실린더 헤드(9)의 내면(9a)의 오목부 저부(9e)와 고정판(28)과의 사이의 미끄럼면의 밀봉의 안정성이 대폭 향상되고, 도포액의 누설을 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 전환 로드(24)를 진퇴시키기 위한 에어 실린더나 커플링이 불필요하게 되므로, 장치가 소형화 및 간소화(簡素化) 된다. 또한, 코일 스프링(48)에 의해 가해지는 힘을 조정하는 것만으로, 간단히 밸브판(26) 및 고정판(28)을 실린더 헤드(9)의 내면(9a)의 오목부 저부(9e)에 대해 누르는 힘을 조정할 수 있어, 장치의 조작성이 향상된다. 본 실시형태의 경우, 너트(51)의 조이는 양을 증가시키면 코일 스프링(48)에 의해 가해지는 힘이 증가하고, 조이는 양을 감소시키면 코일 스프링(48)에 의해 가해지는 힘이 저하한다.The valve plate 26 and the fixed plate 28 are always pressed by the coil springs 48 against the concave bottom 9e of the inner surface 9a of the cylinder head 9. [ 7A) at which the through holes 27a and 27b and the through holes 29a and 29b coincide with the supply ports 18a and 18b in the through hole 27b and the through hole 27b Even when the valve plate 26 rotates in the opposite direction when the valve plate 26 rotates at an angular position (Fig. 7 (B) And the fixing plate 28 are kept pressed against the concave bottom portion 9e of the inner surface 9a of the cylinder head 9. [ Therefore, as compared with the case where the switching rod is connected to the air cylinder through the coupling and the sealing is maintained by air pressure, the gap between the bottom 9e of the concave portion of the inner surface 9a of the cylinder head 9 and the fixed plate 28 The stability of the sealing of the sliding surface of the coating liquid is remarkably improved, and leakage of the coating liquid can be reliably prevented. Further, since the air cylinder or coupling for moving the switching rod 24 forward and backward is not necessary, the device can be made compact and simple. The valve plate 26 and the fixing plate 28 are simply pressed against the concave bottom portion 9e of the inner surface 9a of the cylinder head 9 by simply adjusting the force applied by the coil spring 48 The force can be adjusted, and the operability of the apparatus is improved. In the case of the present embodiment, increasing the amount of tightening of the nut 51 increases the force applied by the coil spring 48, and reducing the amount of tightening reduces the force exerted by the coil spring 48.

복수 개(본 실시형태에서는 2개)의 공급구(18a, 18b)를 설치하고, 그것과 동수의 관통구멍(27a, 27b)과 관통구멍(29a, 29b)을 설치하고 있으므로, 밸브판(26)이 회전함으로써 실린더 헤드(9)의 내면(9a)의 오목부 저부(9e)와 고정판(28)과의 사이의 미끄럼면에 광범위하게 도포액이 들어가고, 도포액의 막이 밀봉막 겸 및 윤활막으로서 기능을 한다. 도 7(B)의 부호 θ1, θ2는 밸브판(26)의 1회의 회전으로 미끄럼면에 도포액이 공급되는 각도 범위를 나타낸다. 회전을 반복하는 동안에, 미끄럼면의 전면(全面)에 도포액에 의한 밀봉막 겸 윤활막이 형성되어, 실린더 헤드(9)의 내면(9a)의 오목부 저부(9e)와 고정판(28)과의 사이의 미끄럼면에서의 도포액 누설이나 마모를 방지할 수 있다.Since the plurality of (two in this embodiment) supply ports 18a and 18b are provided and the through holes 27a and 27b and the through holes 29a and 29b are provided in the same number as the supply ports 18a and 18b, The coating liquid spreads widely on the sliding surface between the concave bottom portion 9e of the inner surface 9a of the cylinder head 9 and the fixed plate 28 and the film of the coating liquid acts as a sealing film and a lubricating film Function. Symbols? 1 and? 2 in FIG. 7 (B) indicate angular ranges in which the coating liquid is supplied to the sliding surfaces by one rotation of the valve plate 26. A seal film and lubricant film of the coating liquid is formed on the entire surface of the sliding surface so that the concave bottom portion 9e of the inner surface 9a of the cylinder head 9 and the fixed plate 28 It is possible to prevent leakage or abrasion of the coating liquid on the slidable surface between them.

복수의 공급구(18a, 18b)를 설치함으로써, 공급구의 총 단면적을 증가시킬 수 있으므로, 도포액 탱크(16)로부터의 도포액의 흡인에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 적절한 유량으로 도포액을 흡인하기 위해 필요한 총 단면적을 확보하면서, 각각의 공급구(18a, 18b)의 단면적을 감소시킬 수 있다. 각각의 공급구(18a, 18b)의 단면적을 감소시킴으로써, 밸브판(26)의 치수를 소형화할 수 있다. 게다가, 각각의 공급구(18a, 18b)의 단면적을 감소시킴으로써, 확실한 밀봉을 위해 필요한 공급구(18a, 18b)와 토출구(19)의 사이에 연(沿)한 면의 거리{도 7(B)에 부호 L로 모식적으로 나타냄}를 확보하면서, 공급구(18a, 18b)와 토출구(19)와의 사이의 각도 범위를 좁힐 수 있다(본 실시형태에서는 90°). 그 결과, 흡인과 토출의 전환을 위해 필요한 밸브판(26)의 회전 각도를 축소하고, 실린더 헤드(9)의 내면(9a)의 오목부 저부(9e)와 고정판(28)과의 사이의 미끄럼면의 미끄럼 면적 및 미끄럼 거리를 감소시킬 수 있다.By providing the plurality of supply ports 18a and 18b, the total cross-sectional area of the supply port can be increased, so that the time required for suction of the coating liquid from the coating liquid tank 16 can be shortened. Further, it is possible to reduce the cross-sectional area of each of the supply ports 18a, 18b while securing the total cross-sectional area necessary for sucking the coating liquid at a proper flow rate. By reducing the cross-sectional areas of the respective supply ports 18a, 18b, the dimension of the valve plate 26 can be reduced. In addition, by reducing the cross-sectional area of each of the supply ports 18a, 18b, the distance between the supply ports 18a, 18b and the discharge port 19 required for reliable sealing The angle range between the supply ports 18a, 18b and the discharge port 19 can be narrowed (90 DEG in the present embodiment) while ensuring that the supply port 18a, 18b is schematically represented by the symbol L. As a result, the rotation angle of the valve plate 26 required for switching between the suction and the discharge is reduced, and the slip between the recessed bottom portion 9e of the inner surface 9a of the cylinder head 9 and the fixed plate 28 The sliding area of the surface and the sliding distance can be reduced.

또한, 복수 개(본 실시형태에서는 2개)의 공급구(18a, 18b)를 원 C1의 중심 CT1에 대하여 점대칭(본 실시형태에서는 중심 CT1 주위에 180°의 각도 간격)으로 배치하고 있으므로, 도포액의 흡인시에 도포액 탱크(16)로부터의 압력은 밸브판(26)의 복수 개소(본 실시형태에서는 2개소)에 균일하게 작용한다. 그 결과, 실린더 헤드(9)의 내면(9a)의 오목부 저부(9e)와 고정판(28)과의 사이의 미끄럼면의 밀봉의 안정성이 더욱 향상된다.Since a plurality of (two in this embodiment) supply ports 18a and 18b are arranged in point symmetry (in this embodiment, at an angular interval of 180 degrees around the center CT1) with respect to the center CT1 of the circle C1, The pressure from the coating liquid tank 16 at the time of sucking the liquid uniformly acts on a plurality of portions (two portions in this embodiment) of the valve plate 26. [ As a result, the stability of sealing of the sliding surface between the concave bottom portion 9e of the inner surface 9a of the cylinder head 9 and the fixed plate 28 is further improved.

도 8은 실린더 헤드(9)의 내면에서의 공급구와 흡입구의 대안(代案)을 나타내고, 도 9는 거기에 대응하는 밸브판(26)을 나타낸다.Fig. 8 shows an alternative of a supply port and a suction port on the inner surface of the cylinder head 9, and Fig. 9 shows a valve plate 26 corresponding thereto.

도 8을 참조하면, 4개의 공급구(18a∼18d)와 4개의 토출구(19a∼19d)가 2개 1쌍으로 가상의 원 C1의 중심 CT1 주위에 60°의 각도 간격으로 배치되어 있다. 또한, 1개의 쌍을 구성하는 공급구(18a∼18d)와 토출구(19a∼19d)는 중심 CT1 주위에 30°의 각도 간격으로 배치되어 있다. 한편, 도 9를 참조하면, 밸브판(26)에는 4개의 관통구멍(27a∼27d)이 가상의 원 C2의 중심 CT2 주위에 90°의 각도 간격으로 배치되어 있다. 또한 고정판(28)에는 밸브판(26)의 관통구멍(27a∼27d)과 연통하는 4개의 관통구멍(29a∼29d)이 설치되어 있다.Referring to Fig. 8, four supply ports 18a to 18d and four discharge ports 19a to 19d are arranged at an angular interval of 60 DEG around the center CT1 of the imaginary circle C1 as two pairs. In addition, the supply ports 18a to 18d and the discharge ports 19a to 19d constituting one pair are arranged at angular intervals of 30 degrees around the center CT1. 9, in the valve plate 26, four through holes 27a to 27d are arranged at angular intervals of 90 degrees about the center CT2 of the imaginary circle C2. The fixing plate 28 is provided with four through holes 29a to 29d communicating with the through holes 27a to 27d of the valve plate 26. [

도 10(A)에 나타내는 바와 같이, 관통구멍(27a∼27d) 및 관통구멍(29a∼29d)이 공급구(18a∼18d)와 토출구(19a∼19d)의 어느 하나에도 일치하지 않는 중간 위치에 있는 밸브판(26) 및 고정판(28)이 반시계 방향으로 30° 회전하면, 도 10(B)에 나타낸 바와 같이, 관통구멍(27a∼27d) 및 관통구멍(29a∼29d)이 공급구(18a∼18d)와 일치해서 도포액의 흡입이 가능한 각도 위치가 된다. 반대로, 도 10(A)의 중간 위치로부터 밸브판(26) 및 고정판(28)이 시계 방향으로 30° 회전하면, 도 10(C)에 나타낸 바와 같이, 관통구멍(27a∼27d) 및 관통구멍(29a∼29d)이 토출구(19a∼19d)와 일치해서 도포액의 토출이 가능한 각도 위치가 된다.The through holes 27a to 27d and the through holes 29a to 29d are positioned at the intermediate positions where they do not coincide with any one of the supply ports 18a to 18d and the discharge ports 19a to 19d The through holes 27a to 27d and the through holes 29a to 29d are connected to the supply port (not shown) as shown in Fig. 10 (B) when the valve plate 26 and the fixed plate 28, 18a to 18d) to be an angle position at which the application liquid can be sucked. Conversely, when the valve plate 26 and the fixed plate 28 are rotated clockwise by 30 degrees from the intermediate position in Fig. 10 (A), as shown in Fig. 10 (C), the through holes 27a to 27d and the through- (29a to 29d) coincide with the ejection openings (19a to 19d) so that the coating liquid can be discharged.

이 대안과 같이, 공급구 및 밸브판의 관통구멍의 개수를 증가시킴으로써, 미끄럼면의 미끄럼 면적 및 미끄럼 거리를 감소시킬 수 있다.As in this alternative, by increasing the number of the through holes of the supply port and the valve plate, the sliding area and the sliding distance of the sliding surface can be reduced.

본 발명은, 상기 실시형태에 한정되지 않고 여러 가지 변형이 가능하다. 예를 들면, 로터리 액추에이터의 피니언과 전환 로드는 전환 로드의 진퇴를 구속하지 않는 구조로 연결하면 좋고, 예를 들면 키(key) 고정을 채용할 수 있다. 또한, 전환 로드의 진퇴를 구속하지 않고 전환 로드를 회전 구동할 수 있는 한, 로터리 액추에이터는 실시형태의 것과 다른 구성을 가지고 있어도 좋다. 전환 로드의 회전을 구속하지 않는 한, 전환 로드를 탄성적으로 힘을 가하는 구성은, 실시형태의 코일 스프링, 스프링 누름 부재, 나사부 및 너트의 조합 이외라도 좋다. 또한, 밸브판은 전환 로드와 일체일 필요는 없고, 별체의 밸브판을 전환 로드에 고정해도 좋다.The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible. For example, the pinion and the switching rod of the rotary actuator may be connected by a structure that does not restrict the forward and backward movement of the switching rod, and for example, key locking can be adopted. Further, the rotary actuator may have a different structure from that of the embodiment as long as the switching rod can be rotationally driven without restraining the forward and backward movement of the switching rod. As long as the rotation of the switching rod is not constrained, the configuration for exerting the force exerted on the switching rod may be other than the combination of the coil spring, the spring pressing member, the screw portion and the nut of the embodiment. Further, the valve plate need not be integral with the switching rod, but a separate valve plate may be fixed to the switching rod.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 도포액 공급장치를 나타내는 세로 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a coating liquid supply device according to an embodiment of the present invention; FIG.

도 2는 실린더 헤드, 밸브판 및 고정판을 나타내는 부분 분해 사시도.2 is a partially exploded perspective view showing a cylinder head, a valve plate and a fixing plate.

도 3은 실린더 헤드의 실린더 내부에서 본 정면도.3 is a front view of the cylinder head seen from the inside of the cylinder.

도 4는 도 3의 IV-IV선에서의 단면도.4 is a sectional view taken along the line IV-IV in Fig. 3;

도 5는 로터리 액추에이터와 전환 로드를 나타내는 부분 분해 사시도.5 is a partially exploded perspective view showing a rotary actuator and a switching rod.

도 6은 로터리 액추에이터를 나타내는 모식적인 세로 단면도.6 is a schematic longitudinal sectional view showing a rotary actuator.

도 7(A)는 흡입시의 실린더 헤드와 밸브판을 나타내는 정면도, (B)는 토출시의 실린더 헤드와 밸브판을 나타내는 정면도.Fig. 7 (A) is a front view showing a cylinder head and a valve plate at the time of intake, and Fig. 7 (B) is a front view showing a cylinder head and a valve plate of the turbocharger.

도 8은 대안(代案)의 실린더 헤드를 나타내는 모식적인 정면도.8 is a schematic front view showing an alternative cylinder head;

도 9는 대안의 밸브판을 나타내는 모식적인 정면도.9 is a schematic front view showing an alternative valve plate.

도 10(A)는 중간 위치에서의 대안의 실린더 헤드와 밸브판을 나타내는 모식적인 정면도, (B)는 흡입 위치에서의 대안의 실린더 헤드와 밸브판을 나타내는 모식적인 정면도, (C)는 토출 위치에서의 대안의 실린더 헤드와 밸브판을 나타내는 모식적인 정면도.Fig. 10 (A) is a schematic front view showing an alternative cylinder head and valve plate at an intermediate position, Fig. 10 (B) is a schematic front view showing an alternative cylinder head and valve plate at a suction position, Fig. 2 is a schematic front view showing an alternative cylinder head and valve plate at the discharge position. Fig.

* 도면의 부호의 설명Description of reference numerals

1: 도포액 공급장치 2: 시린지 펌프1: Coating liquid supply device 2: Syringe pump

3: 전환장치 4: 컨트롤러3: Switching device 4: Controller

6: 실린더 7: 액추에이터6: Cylinder 7: Actuator

8: 피스톤 9: 실린더 헤드8: Piston 9: Cylinder head

9a: 내면 9b: 외면9a: inner surface 9b: outer surface

9c: 오목부 9d: 끼워 넣는 구멍9c: recess 9d: insertion hole

9e: 오목부 저부 11: 흡인 포트9e: recess bottom part 11: suction port

12: 토출 포트 13, 14: 배관12: Discharge port 13, 14: Piping

16: 도포액 탱크 17: 다이 코터16: coating liquid tank 17: die coater

18a, 18b, 18c, 18d: 공급구 19, 19a, 19b, 19c, 19d: 토출구18a, 18b, 18c, 18d: feed ports 19, 19a, 19b, 19c, 19d:

21a, 21b: 공급 유로 22: 토출 유로21a, 21b: Supply flow path 22: Discharge flow path

23: 로터리 액추에이터 24: 전환 로드23: rotary actuator 24: switching rod

26: 밸브판 27a, 27b, 27c, 27d: 관통구멍26: valve plate 27a, 27b, 27c, 27d:

28: 고정판 29a, 29b, 29c, 29d: 관통구멍28: Fixing plates 29a, 29b, 29c, 29d:

31: 끼워 넣는 구멍 32a, 32b: 핀구멍31: insertion hole 32a, 32b: pin hole

33: 나사부 34a, 34b: 평탄면33: threaded portions 34a, 34b: flat surface

36a, 36b, 36c: 부시 37: 오링36a, 36b, 36c: Bush 37: O-ring

38: 보유부품 39: 브래킷38: Retaining part 39: Bracket

41: 케이싱 42a, 42b: 실린더 실41: casing 42a, 42b: cylinder chamber

42c, 42e: 제1 실 42d, 42f: 제2 실42c, 42e: first chamber 42d, 42f: second chamber

43a, 43b: 제2 피스톤 44: 랙43a, 43b: second piston 44: rack

46: 피니언 46a: 끼워 넣는 구멍46: Pinion 46a: Fitting hole

47: 베어링 부재 47a: 끼워 넣는 구멍47: bearing member 47a: fitting hole

47b: 베어링부 47c: 제1 확경부(擴徑部)47b: bearing portion 47c: first diameter-enlarged portion

47d: 제2 확경부 47e: 스프링 시트47d: second enlarged diameter portion 47e: spring seat

47f: 통상부(筒狀部) 48: 코일 스프링47f: cylindrical portion 48: coil spring

49: 스프링 누름 부재 49a: 가장자리부(緣部)49: spring pressing member 49a:

51: 너트 C1, C2, C3: 원51: Nuts C1, C2, C3: Circle

CT1, CT2, CT3: 중심 S: 축선CT1, CT2, CT3: center S: axis

θ1, θ2: 각도범위 L: 연한 면(面)의 거리θ1, θ2: Angular range L: Distance of soft surface (plane)

Claims (6)

실린더 안에서 진퇴하는 피스톤과,A piston moving back and forth in the cylinder, 내면이 상기 피스톤과 대향하도록 상기 실린더의 일단에 배치된 실린더 헤드와,A cylinder head disposed at one end of the cylinder so that an inner surface thereof faces the piston, 상기 실린더 헤드에 설치되고, 또한 도포액 탱크에 접속된 흡인 포트와,A suction port provided on the cylinder head and connected to the coating liquid tank, 상기 실린더 헤드에 설치되고, 또한 코팅기에 접속된 토출 포트와,A discharge port provided in the cylinder head and connected to the coater, 상기 실린더 헤드의 상기 내면에 개구하여, 상기 흡인 포트와 연통하는 공급구와,A supply port which opens to the inner surface of the cylinder head and communicates with the suction port, 상기 실린더의 내면에 개구하여, 상기 토출 포트와 연통하고, 또한 상기 공급구와 동일한 제1 원 위에 배치된 토출구와,A discharge port communicating with the discharge port and disposed on the same first circle as the supply port, 상기 실린더 헤드를 관통하고, 축선이 상기 제1 원의 중심을 지나가고, 또한 상기 실린더의 내면측에 위치하는 일단에 밸브판을 구비하는 전환 로드와,A switching rod passing through the cylinder head and having an axial line passing through the center of the first circle and having a valve plate at one end positioned on the inner surface side of the cylinder, 상기 밸브판에 설치되고, 또한 상기 제1 원과 같은 중심 또한 같은 지름의 제2 원 위에 배치된 관통구멍과,A through hole disposed in the valve plate and disposed on a second circle having the same center and the same diameter as the first circle, 상기 전환 로드를 상기 축선 주위로 회전 구동하는 액추에이터와,An actuator for rotatingly driving the switching rod about the axis, 상기 밸브판이 상기 실린더 헤드의 상기 내면을 누르는 방향으로, 상기 전환 로드를 탄성적으로 힘을 가하는 스프링을 포함하고,And a spring for elastically biasing the switching rod in a direction in which the valve plate presses the inner surface of the cylinder head, 상기 스프링에 의한 누르는 힘은, 상기 밸브판과 상기 실린더 헤드와의 사이에 밀봉막 겸 윤활막으로서 기능을 하는 도포액의 막을 형성하도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 도포액 공급장치.Wherein the pressing force by the spring is set so as to form a film of a coating liquid which functions as a sealing film and lubricant film between the valve plate and the cylinder head. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 공급구가 복수 개 있고, 또한 상기 관통구멍이 상기 공급구와 동수(同數)인 것을 특징으로 하는 도포액 공급장치.Wherein a plurality of the supply ports are provided, and the through holes are the same number as the supply ports. 제2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 공급구는 상기 제1 원의 상기 중심에 대하여 점대칭으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포액 공급장치.Wherein the supply port is disposed in point symmetry with respect to the center of the first circle. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 공급구가 2개 있고, 이것들 2개의 공급구는 상기 제1 원의 상기 중심 주위에 180°의 각도 간격을 두고서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포액 공급장치.Wherein the two supply ports are arranged at an angular interval of 180 DEG around the center of the first circle. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,5. The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 실린더 헤드의 내면과 상기 밸브판과의 사이에, 상기 실린더 헤드 또는 상기 밸브판에 고정된 내마모성을 갖는 고정판이 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 도포액 공급장치.Wherein a fixed plate having wear resistance fixed to the cylinder head or the valve plate is interposed between the inner surface of the cylinder head and the valve plate. 삭제delete
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