KR100960428B1

KR100960428B1 - 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치, 동작 제어 방법 및 그 프로그램을 기억하는 기억 매체

Info

Publication number: KR100960428B1
Application number: KR1020060015484A
Authority: KR
Inventors: 가쯔노리 우에노; 도모야 다까하시; 마꼬또 우메끼
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2005-02-18
Filing date: 2006-02-17
Publication date: 2010-05-28
Also published as: JP2006230146A; CN1825731A; TW200644374A; US20060253225A1; CN100570981C; JP4753172B2; TWI340518B; KR20060093055A; US7376490B2

Abstract

전력 사용계(8A 내지 8F)에 전력 공급 설비(4)로부터 전력을 공급하는 전력 공급 시스템의 동작 제어 장치(20)에 있어서, 각 전력 사용계의 전력 소비 패턴과, 동작 중인 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 가산하여 예정 종합 전력 소비 패턴(40)을 구한다. 다음에 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 관하여 임시의 동작 개시 시간을 기준으로 하여 구한 전력 소비 패턴을 예정 종합 전력 소비 패턴에 가산하여 가정 종합 전력 소비 패턴을 구한다. 가정 종합 전력 소비 패턴과 전력 공급 설비의 설정 허용 전력(42)을 비교하여 설정 허용 전력을 넘지 않게 될 때까지 전력 소비 패턴의 임시의 동작 개시 시각을 시간축에 따라 지연시키고, 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치의 전부가 설정 허용 전력보다 적어졌을 때의 임시의 동작 개시 시각을 동작 개시 예정 시각으로 하여 그 동작 개시 예정 시각이 되었을 때에 동작 허가를 출력한다.

전력 사용계, 설정 허용 전력, 전력 소비 패턴, 처리 장치, 전력 공급 시스템

Description

복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치, 동작 제어 방법 및 그 프로그램을 기억하는 기억 매체{OPERATION CONTROL DEVICE AND METHOD FOR A PLURALITY OF ELECTRIC POWER CONSUMING SYSTEMS, AND MEMORY MEDIUM FOR STORING A PROGRAM THEREOF}

도1은 본 발명에 관한 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치와 전력 공급 시스템의 관계를 나타낸 도면.

도2는 각 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 나타낸 도면.

도3은 동작 개시 시각을 기준으로 하여 가동 중인 전력 소비 패턴을 배열하여 가산한 상태를 나타낸 도면.

도4는 동작 제어 장치를 이용하여 행해지는 동작 제어 방법의 일예를 나타낸 흐름도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

2 : 전력 공급 시스템

8A 내지 8F : 처리 장치

10A 내지 10F : 처리부

12A 내지 12F : 제어부

14A 내지 14F : 전력 제어부

16A 내지 16F : 전력계

20 : 동작 제어 장치

22 : 주 제어부

24 : 전력 소비 패턴 기억부

26 : 동작 개시 예정 시각 결정부

28 : 허가 신호 출력부

30 : 기억 매체

32 : 기억부

34 : 인터페이스

40 : 예정 종합 전력 소비 패턴

42 : 설정 허용 전력

[문헌 1] 일본 특허 공개 평9-56068호 공보

[문헌 2] 일본 특허 공개 평8-181110호 공보

본 발명은 반도체 웨이퍼 등에 원하는 처리를 실시하는 처리 장치 등의 복수의 전력 사용계에 전력을 공급하도록 한 전력 공급 시스템에 있어서의 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치, 동작 제어 방법, 그 프로그램 및 기억 매체에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 집적 회로나 액정의 표시 장치 등을 제조하기 위해서는, 반도체 웨이퍼나 LCD 기판 등의 피처리체에 대해 산화 처리, 성막 처리, 확산 처리, 어닐 처리, 개질 처리 등의 각종 처리가 반복 실시되므로, 각종 처리 장치가 이용된다.

이 경우, 웨이퍼나 LCD 기판에 대해 원하는 처리를 차례로 실시하여 제품을 완성시키기 위해서는, 같은 종류 혹은 다른 종류의 처리 장치를 복수개 준비하고, 또한 스루풋을 향상시키기 위해 이들 각 처리 장치를 병렬적으로 동작시키는 것이 일반적이다. 웨이퍼나 LCD 기판 등에 대해서는, 열처리나 플라즈마 처리가 주로 행해지므로 각 처리 장치는 비교적 전력을 소비하고, 그리고 이들에 전력을 공급하는 전력 공급 설비는 비교적 고가이므로 1대의 전력 공급 설비로부터 복수대의 처리 장치에 전력을 공급하는 경우 전력 공급 설비를 가능한 한 소형으로 하기 위해,「처리 장치의 정격 전력(최대 전력) × 장치 대수」만큼의 전력 용량의 전력 공급 설비를 준비하는 것이 일반적으로 되어 있다.

그러나, 모든 처리 장치가 항상 정격 전력으로 운전된다고는 단언할 수 없으며, 오히려 정격 전력으로 운전되는 시간은 비교적 적은 것이 실정이다. 예를 들어 열처리 공정을 행하는 처리 장치에서는, 웨이퍼 온도를 높이는 승온 공정이나 이 온도를 일정하게 유지하는 공정 등이 있고, 양 공정 사이에서는 전력 소비량이 크게 다르다. 예를 들어 승온 공정에서는 전력 소비량이 정격 전력 가까이까지 커지고, 이에 대해 온도를 일정하게 유지하는 공정에서는 프로세스의 종류에도 따르지만 정격 전력의 수 10 내지 60 ％ 정도의 비교적 적은 전력 소비량이 된다. 따 라서, 상술한 종래의 전력 공급 설비는 전력 용량의 여유를 지나치게 가진 설비가 되어 있어, 전력 공급 설비의 설비 비용의 상승이나 전력 회사와의 전력 계약료의 상승을 초래하고 있다.

그래서, 상기 전력 공급 설비의 상승 등을 억제하기 위한 방법이, 특허 문헌 1, 2 등에 개시되어 있다. 예를 들어, 이 특허 문헌 1의 방법은 전력 공급 설비로부터 출력되어 있는 전력을 검출하여 감시하면서 각각의 전력 사용계가 새로운 스텝을 개시할 때에, 그 검출 전력과 기준치를 비교하여 그 비교 결과를 기초로 하여 스텝을 개시할지 여부를 판단하도록 되어 있다.

특허 문헌 1 : 일본 특허 공개 평9-56068호 공보

특허 문헌 2 : 일본 특허 공개 평8-181110호 공보

그런데, 상술한 바와 같은 종래의 방법에서는 스텝 개시시에 실제의 검출 전력과 최대 소비 전력을 필요로 하는 스텝의 소비 전력량을 참조하여 구한 기준치를 비교하여 스텝 개시의 가부를 결정하도록 하고 있다. 그러나, 각 처리 장치의 시간축 방향의 소비 전력량의 변화에 대해서는 어떠한 것도 고려되어 있지 않으므로, 처리(프로세스)가 일단 개시된 후에는 각 처리 장치의 프로세스 진행에 수반되는 소비 전력량의 변화에 관해서는 관리가 충분히 이루어져 있지 않은 등의 문제가 있었다.

본 발명은 이상과 같은 문제점에 착안하여, 이것을 유효하게 해결하기 위해 창안된 것이다. 본 발명의 목적은, 설비 비용을 억제한 상태에서 높은 가동율을 달성하는 것이 가능한 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치, 동작 제어 방법, 그 프로그램 및 기억 매체를 제공하는 데 있다.

본 발명은 외부 신호에 의존하여 동작 개시의 가부를 결정하는 복수의 전력 사용계에, 하나의 전력 공급 설비로부터 전력을 공급하도록 한 전력 공급 시스템에 있어서의 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치에 있어서, 장치 전체의 동작을 제어하는 주(主) 제어부와, 상기 각 전력 사용계에 관하여 동작 개시 후의 시간에 대한 소비 전력의 변화를 나타내는 전력 소비 패턴을 미리 기억하는 전력 소비 패턴 기억부와, 미동작 중인 전력 사용계로부터의 동작 개시 요구에 따라서 동작 중인 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 각각의 동작 개시 시각을 기준으로서 가산하여 예정 종합 전력 소비 패턴을 구하고, 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 관하여 임시의 동작 개시 시간을 기준으로 하여 구한 전력 소비 패턴을 상기 예정 종합 전력 소비 패턴에 가산하여 가정 종합 전력 소비 패턴을 구하고, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치와 상기 전력 공급 설비의 미리 정해진 설정 허용 전력을 비교하여 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력을 넘게 되지 않을 때까지 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계의 전력 소비 패턴의 임시의 동작 개시 시간을 시간축에 따라 지연시키고, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력보다 적어졌을 때의 임시의 동작 개시 시각을 동작 개시 예정 시각으로서 결정하는 동작 개시 예정 시각 결정부와, 상기 동작 개시 예정 시각 결정부에서 결정된 동작 개시 예정 시각이 되었을 때에 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 대해 동작 허가를 주 제어부에 출력하는 허가 신호 출력부를 구비한 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치이다.

이와 같이, 각 전력 사용계의 소비 전력의 변화를 나타내는 전력 소비 패턴을 미리 구해 두고, 전력 사용계가 동작 개시를 요구하였을 때에는 그 때에 가동 중인 각 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 시간축 조정하여 합계하고, 또한 동작 개시 요구가 있었던 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 가산하고, 이 가산으로 얻어진 패턴과 설정 허용 전력과의 비교를 행하면서 동작 개시 요구가 있었던 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 시간축 방향으로 이동시키도록 하여 동작 개시 예정 시각을 구하도록 하였으므로, 설비 비용을 억제한 상태에서 높은 가동율을 달성할 수 있어, 설비비에 대한 생산성을 최대한으로 향상시킬 수 있다.

이 경우, 상기 전력 소비 패턴은 갱신 가능하게 이루어져 있다.

또한 예를 들어, 상기 전력 소비 패턴의 갱신은 상기 전력 사용계의 과거의 동작시의 실제 전력 소비량을 기초로 하여 행한다.

또한 예를 들어, 상기 실제의 전력 소비량은 가장 최근의 소정 횟수의 동작시의 전력 소비량을 기초로 하여 정해진다.

또한 예를 들어, 상기 실제의 전력 소비량은 상기 전력 사용계에 설치한 전력계를 기초로 하여 구해진다.

또한 예를 들어, 상기 실제의 전력 소비량은 상기 전력 사용계의 전력 제어부에 설치한 사이리스터의 게이트 개폐 제어량을 기초로 하여 구해진다.

또한 예를 들어, 상기 실제의 전력 소비량은 상기 전력 사용계의 전력 제어부에 설치한 사이리스터의 게이트 오프 제어 시간을 기초로 하여 구해진다.

또한 예를 들어, 상기 전력 사용계는 피처리체에 대해 소정의 처리를 실시하기 위한 처리 장치이다.

본 발명은 외부 신호에 의존하여 동작 개시의 가부를 결정하는 복수의 전력 사용계에, 하나의 전력 공급 설비로부터 전력을 공급하도록 한 전력 공급 시스템에 있어서의 복수의 전력 사용계의 동작 제어 방법에 있어서, 상기 각 전력 사용계에 관하여 동작 개시 후의 시간에 대한 소비 전력의 변화를 나타내는 전력 소비 패턴을 미리 기억하는 공정과, 미동작 중인 전력 사용계로부터의 동작 개시 요구에 따라서, 동작 중인 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 각각의 동작 개시 시각을 기준으로서 가산하여 예정 종합 전력 소비 패턴을 구하는 공정과, 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 관하여 임시의 동작 개시 시간을 기준으로 하여 구한 전력 소비 패턴을 상기 예정 종합 전력 소비 패턴에 가산하여 가정 종합 전력 소비 패턴을 구하는 동시에, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치와 상기 전력 공급 설비의 미리 정해진 설정 허용 전력을 비교하여 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력을 넘지 않게 될 때까지 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계의 전력 소비 패턴의 임시의 동작 개시 시각을 시간축에 따라 지연시키고, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력보다 적어졌을 때의 임시의 동작 개시 시각을 동작 개시 예정 시각으로서 결정하는 공정과, 상기 결정된 동작 개시 예정 시각이 되었을 때에 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 대해 동작 허가를 출력하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 방법이다.

이 경우, 예를 들어 상기 전력 소비 패턴은 갱신 가능하게 이루어져 있다.

본 발명은 외부 신호에 의존하여 동작 개시의 가부를 결정하는 복수의 전력 사용계에, 하나의 전력 공급 설비로부터 전력을 공급하도록 한 전력 공급 시스템에 있어서의 복수의 전력 사용계의 동작을 제어할 때에, 상기 각 전력 사용계에 관하여 동작 개시 후의 시간에 대한 소비 전력의 변화를 나타내는 전력 소비 패턴을 미리 기억하는 공정과, 미동작 중인 전력 사용계로부터의 동작 개시 요구에 따라서 동작 중인 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 각각의 동작 개시 시각을 기준으로서 가산하여 예정 종합 전력 소비 패턴을 구하는 공정과, 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 관하여 임시의 개시 시간을 기준으로 하여 구한 전력 소비 패턴을 상기 예정 종합 전력 소비 패턴에 가산하여 가정 종합 전력 소비 패턴을 구하는 동시에, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치와 상기 전력 공급 설비의 미리 정해진 설정 허용 전력을 비교하여 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력을 넘게 되지 않을 때까지 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계의 전력 소비 패턴의 임시의 동작 개시 시각을 시간축에 따라 지연시키고, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력보다 적어졌을 때의 임시의 동작 개시 시각을 동작 개시 예정 시각으로서 결정하는 공정과, 상기 결정된 동작 개시 예정 시각이 되었을 때에 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 대해 동작 허가를 출력하는 공정을 실행하도록 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치를 제어하는 프로그램이다.

본 발명은 외부 신호에 의존하여 동작 개시의 가부를 결정하는 복수의 전력 사용계에, 하나의 전력 공급 설비로부터 전력을 공급하도록 한 전력 공급 시스템에 있어서의 복수의 전력 사용계의 동작을 제어할 때에, 상기 각 전력 사용계에 관하여 동작 개시 후의 시간에 대한 소비 전력의 변화를 나타내는 전력 소비 패턴을 미리 기억하는 공정과, 미동작 중인 전력 사용계로부터의 동작 개시 요구에 따라서 동작 중인 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 각각의 동작 개시 시각을 기준으로서 가산하여 예정 종합 전력 소비 패턴을 구하는 공정과, 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 관하여 임시의 개시 시간을 기준으로 하여 구한 전력 소비 패턴을 상기 예정 종합 전력 소비 패턴에 가산하여 가정 종합 전력 소비 패턴을 구하는 동시에, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치와 상기 전력 공급 설비의 미리 정해진 설정 허용 전력을 비교하여 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력을 넘게 되지 않을 때까지 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계의 전력 소비 패턴의 임시의 동작 개시 시각을 시간축에 따라 지연시키고, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력보다 적어졌을 때의 임시의 동작 개시 시각을 동작 개시 예정 시각으로서 결정하는 공정과, 상기 결정된 동작 개시 예정 시각이 되었을 때에 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 대해 동작 허가를 출력하는 공정을 실행하도록 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치를 제어하는 프로그램을 기억하는 기억 매체이다.

본 발명에 관한 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치, 동작 제어 방법 및 기억 매체에 따르면, 다음과 같이 우수한 작용 효과를 발휘할 수 있다.

각 전력 사용계의 소비 전력의 변화를 나타내는 전력 소비 패턴을 미리 구해 두고, 전력 사용계가 동작 개시를 요구하였을 때에는, 그 때에 가동 중인 각 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 시간축 조정하여 합계하고, 또한 동작 개시 요구가 있었던 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 가산하고, 이 가산으로 얻어진 패턴과 설정 허용 전력과의 비교를 행하면서 동작 개시 요구가 있었던 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 시간축 방향으로 이동시키도록 하여 동작 개시 예정 시각을 구하도록 하였으므로, 설비 비용을 억제한 상태에서 높은 가동율을 달성할 수 있어 설비비에 대 한 생산성을 최대한으로 향상시킬 수 있다.

이하에, 본 발명에 관한 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치, 동작 제어 방법 및 기억 매체의 일실시예를 첨부 도면을 기초로 하여 상세하게 서술한다.

도1은 본 발명에 관한 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치와 전력 공급 시스템의 관계를 나타낸 도면, 도2는 각 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 나타낸 도면, 도3은 동작 개시 시각을 기준으로 하여 가동 중인 전력 소비 패턴을 배열하여 가산한 상태를 나타낸 도면이다.

도1에 나타낸 바와 같이, 전력 공급 시스템(2)은 1대의 전력 공급 설비(4)를 갖고 있고, 이 전력 공급 설비(4)로부터 전력선(6)을 거쳐서 복수, 도시예에서는 6대의 전력 사용계로서의 처리 장치(8A, 8B, 8C, 8D, 8E, 8F)에 각각 필요한 전력을 공급할 수 있도록 되어 있다.

여기서, 전력 사용계인 상기 처리 장치(8A 내지 8F)로서는, 피처리체인 예를 들어 반도체 웨이퍼에 대해 소정의 처리를 실시하기 위한 처리 장치가 이용되지만, 그 처리(프로세스)의 종류는 상관없다. 예를 들어, 같은 종류 혹은 다른 종류의 처리 장치가 적절하게 조합하여 이용된다. 이 처리 종류로서는, 예를 들어 성막 처리, 산화 확산 처리, 개질 처리, 에칭 처리 등이 존재한다.

상기 각 처리 장치(8A 내지 8F)는, 웨이퍼에 대해 실제로 가열·냉각 등의 승강온시키는 처리부(10A 내지 10F) 외에, 이 처리의 전 공정에 걸쳐 행해야 하는 동작이 미리 정해진 레시피를 기초로 하여 처리부(10A 내지 10F) 등을 제어하는, 예를 들어 마이크로 컴퓨터 등으로 이루어지는 제어부(12A 내지 12F), 처리 장치 (8A 내지 8F)의 전력 소비량을 제어하는 전력 제어부(14A 내지 14F) 및 실제의 전력 소비량을 계측하여 구하는 전력계(16A 내지 16F) 등이 각각 설치되어 있다. 그리고, 상기 각 전력 제어부(14A 내지 14F)로서는, 예를 들어 사이리스터가 이용된다. 여기서 상기 레시피는 미리 프로그램화되어 있어, 이 프로그램을 기초로 하여 프로세스가 자율적으로 실행되어 가지만, 이 처리 동작 개시의 가부의 판단은 본 발명이 특징으로 하는 동작 제어 장치(20)에 의해 행해진다. 이 동작 제어 장치(20)나 상기 각 제어부(12A 내지 12F)는 통신 기능을 갖고 있어, 정보의 송수신을 상호간에 행할 수 있도록 되어 있다.

구체적으로는, 상기 동작 제어 장치(20)는 CPU 등을 포함하는 주 제어부(22) 외에, 전력 소비 패턴 기억부(24), 동작 개시 예정 시각 결정부(26), 허가 신호 출력부(28), 이 동작 제어 장치(20)의 전체의 동작을 제어하기 위한 프로그램을 기억하는 플로피 디스크나 하드디스크 드라이브나 플래시 메모리 등으로 이루어지는 기억 매체(30) 및 다양한 처리에 필요한 각종 데이터를 일시적으로 기억하는 RAM 등으로 이루어지는 기억부(32) 등을 갖고 있다. 또한, 상기 각 제어부(12A 내지 12F) 사이에서는 인터페이스(34)를 거처셔 통신에 의해 정보의 송수신이 행해지도록 되어 있다.

우선, 상기 전력 소비 패턴 기억부(24)에는 상기 각 전력 사용계(8A 내지 8F)의 동작 개시 후(프로세스 개시 후)의 시간에 대한 소비 전력의 변화를 나타내는 전력 소비 패턴이 미리 기억되어 있다. 도2는 상기 각 전력 사용계(8A 내지 8F)의 전력 소비 패턴의 일예를 나타내고 있고, 예를 들어 도2의 (a)는 처리 장치 (8A)의 전력 소비 패턴을 나타내고, 도2의 (b)는 처리 장치(8B)의 전력 소비 패턴을 나타내고, 도2의 (c)는 처리 장치(8C)의 전력 소비 패턴을 나타내고, 도2의 (d)는 처리 장치(8D)의 전력 소비 패턴을 나타내고, 도2의 (e)는 처리 장치(8E)의 전력 소비 패턴을 나타내고, 도2의 (f)는 처리 장치(8F)의 전력 소비 패턴을 나타낸다.

이들 전력 소비 패턴은, 실제로 처리 장치를 동작시켜 프로세스를 행하였을 때의 전력 소비량의 시간적 변화를 전력계로 미리 계측하거나, 이 때의 전력 제어부의 사이리스터의 게이트 개폐 제어량이나 게이트의 온 오프 제어 시간을 기초로 하여 미리 계산으로 구함으로써 산출할 수 있다. 실제로는, 상기 전력 소비 패턴은 소정 시간마다, 예를 들어 1초 간격의 전력 소비량을 구함으로써 작성된다.

여기서 상기 전력 소비 패턴의 일예에 대해 설명한다. 여기서는 처리 장치로서, 예를 들어 한번에 복수매의 웨이퍼에 대해 성막 처리나 산화 처리 등을 행할 수 있는 종형의 배치(batch)식 처리 장치를 이용하고 있고, 프로세스의 동작을 행하고 있지 않은 대기시에는 대기 전력으로서 약간의 전력을 소비하여 처리부(8A 내지 8F)의 처리 용기를 프로세스 온도보다도 상당히 낮은 일정한 온도로 유지하고 있다. 그리고, 일반적으로 가장 큰 전력을 소비할 때는, 처리부(8A 내지 8F)의 처리 용기 내로 상온의 웨이퍼를 로드(도입)한 후, 이를 소정의 프로세스 온도까지 가열 승온할 때이며, 다음에 큰 전력을 소비할 때는 프로세스 종료 후의 웨이퍼를 언로드(반출)하기 위해 웨이퍼 온도를 낮추어 언로드한 후에, 다시 대기시의 온도까지 처리 용기를 가열 승온할 때이다.

예를 들어 도2의 (a)에 나타낸 전력 소비 패턴을 참조하면, 웨이퍼가 탑재된 웨이퍼 보트를 처리 용기 내로 로드(반입)한 후, 포인트 P1에서 급속한 승온을 개시하고, 웨이퍼 온도를 프로세스 온도까지 가열한다. 이 때에 전력 소비량이 피크가 되어 가장 큰 전력이 단시간 소비된다. 그 후에는, 웨이퍼 온도를 일정하게 유지하면서 성막 등의 처리가 행해지므로 소비되는 전력은 상당히 낮아져, 예를 들어 처리의 태양에도 따르지만 피크시의 전력 소비량의 25 내지 60 ％ 정도의 범위 내의 대략 일정치에서 추이해 간다. 그리고, 프로세스 처리가 완료되면 웨이퍼 온도를 반출 가능한 온도까지 충분히 저하시키므로 전력 소비량은 급격히 적어지고, 웨이퍼를 언로드(반출)한 후에는 포인트 P2에서 다시 급격한 승온을 개시하여 처리 용기의 온도를 대기 중인 온도까지 가열 승온한다. 이 때에도, 앞의 피크시 정도는 아니지만, 상당히 큰 전력이 단시간 소비된다. 그 후에는, 약간의 전력 소비로 처리 용기의 온도는 대기 온도로 유지되게 된다.

상기 도2의 (a), 도2의 (b) 및 도2의 (f)의 각 전력 소비 패턴은 동일한 패턴을 나타내고 있지만, 프로세스에 따라서는 예를 들어 질화 처리와 산화 처리를 연속하여 행하도록 멀티 처리를 행하는 경우도 있고, 이러한 경우에는 예를 들어 도2의 (c), 도2의 (d) 및 도2의 (e)에 나타낸 바와 같이 전력 소비량도 도중에서 크게 반복하여 변동하는 패턴도 있다. 어느 쪽이든, 이러한 전력 소비 패턴은 상술한 바와 같이 전력계 등을 이용함으로써 미리 구할 수 있다.

도1로 복귀하여, 상기 동작 개시 예정 시각 결정부(26)는 미동작 중, 즉 대기 중인 처리 장치(전력 사용계)로부터 동작 개시 요구가 이루어졌을 때에, 이 요 구에 대해 동작 개시 예정 시각을 결정하는 것이다. 즉, 미동작 중인 전력 사용계로부터의 동작 개시 요구에 따라서 동작 중인 전력 사용계의 전력 소비 패턴을, 각각의 동작 개시 시각을 기준으로서 가산하여 예정 종합 전력 소비 패턴을 구하는 동시에, 상기 예정 종합 전력 소비 패턴에 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 가산하여 가정 종합 전력 소비 패턴을 구하고, 이 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 각 전력치와 상기 전력 공급 설비(4)의 미리 정해진 설정 허용 전력을 비교하여 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 모든 전력치가 상기 설정 허용 전력을 넘게 되지 않을 때까지 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계의 전력 소비 패턴의 임시의 동작 개시 시각을 시간축에 따라 옮기도록 하여, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치의 전부가 상기 설정 허용 전력보다 적어졌을 때의 임시의 동작 개시 시각을 동작 개시 예정 시각으로서 결정한다.

구체적으로는, 우선 대기 중인 처리 장치로부터 동작 개시 요구가 이루어지면, 그 때의 가동 중(프로세스 처리 중)인 모든 처리 장치의 전력 소비 패턴을, 그 동작 개시 시각을 기준으로서 가산하여 예정 종합 전력 소비 패턴(40)(도3 참조)을 구한다. 또한, 도3 중에서는 처리 장치(8A 내지 8E)가 이미 동작한 상태에 있어서, 처리 장치(8F)가 동작 개시 요구를 발하였을 때의 상태를 나타내고 있다.

그리고, 이 예정 종합 전력 소비 패턴(40)에 동작 개시 요구를 행한 처리 장치의 전력 소비 패턴을 가산하여 가정 종합 전력 소비 패턴을 구하고, 이 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 각 전력치와 미리 정해진 상기 전력 공급 설비(4)의 설정 허용 전력(42)(도3 참조)을 비교하여, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 모든 전력치가 상기 설정 허용 전력을 넘게 되지 않을 때까지 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 소비 패턴의 임시의 동작 개시 시각을 시간축에 따라 도3 중에서 우측 방향으로 옮기도록 한다.

그리고, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치의 전부가 상기 설정 허용 전력보다 적어졌을 때의 임시의 동작 개시 시각을 동작 개시 예정 시각으로 한다. 환언하면, 미동작 중인 처리 장치가 동작 개시 요구를 발한 시각을 기준으로 하여, 그 처리 장치의 전력 소비 패턴을 그 시점에서 이미 확정하고 있는 예정 종합 전력 소비 패턴(40)을 시간축에 대해 우측 방향으로 시프트하면서 가하여 전체의 전력 소비 패턴(가정 종합 전력 소비 패턴)이, 기준이 되는 설정 허용 전력(42)보다도 커지지 않는지 여부를 비교 검토하여, 커지지 않았으면 그 때의 개시 시각을 동작 개시 예정 시각으로 한다. 이에 의해, 상기 처리 장치의 동작 개시 타이밍을 조정할 수 있다. 여기서 상기 설정 허용 전력(42)은, 일반적으로는 상기 전력 공급 설비(4)의 정격 전력(최대 허용 전력)으로 설정하거나, 이 값을 넘지 않는 범위 내에서 임의로 설정할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

도1로 복귀하여, 상기 허가 신호 출력부(28)는 상기 동작 개시 예정 시각 결정부(26)에서 결정된 동작 개시 예정 시각에, 실제의 시간이 도래하였을 때에 상기 동작 요구를 행한 처리 장치(전력 사용계)에 대해 동작 허가 신호를 출력하도록 되어 있다. 따라서, 상기 처리 장치는 이 동작 허가 신호를 받은 후에, 실제로 프로세스 처리를 개시(동작 개시)하게 된다.

다음에, 상술된 바와 같이 형성된 동작 제어 장치의 동작에 대해 도3 및 도4도 참조하여 설명한다.

도4는 동작 제어 장치를 이용하여 행해지는 동작 제어 방법의 일예를 나타낸 흐름도이다. 우선 도3에 대해 설명하면, 도3에 나타낸 바와 같은 상태는 처리 장치(8A 내지 8E)가 이미 동작을 개시하여 프로세스 처리가 행해지고 있고(가동 중), 이 상태에서 대기 중인 처리 장치(8F)가 동작 개시의 요구를 시각 T0에서 행한 상태를 나타내고 있다. 즉, 처리 장치(8A)는 동작 개시 시각 T1에서 동작이 개시되어 있고, 처리 장치(8B)는 동작 개시 시각 T2에서 동작이 개시되어 있고, 처리 장치(8C)는 동작 개시 시각 T3에서 동작이 개시되어 있고, 처리 장치(8D)는 동작 개시 시각 T4에서 동작이 개시되어 있고, 처리 장치(8E)는 동작 개시 시각 T5에서 동작이 개시되어 있다. 여기서 발명의 이해를 용이하게 하기 위해, 각 처리 장치(8A 내지 8E)의 최대 전력 소비량을 각각 100 kVA라 하고, 또한 전력 공급 설비(4)의 설정 허용 전력(42)을 400 kVA라 가정한다.

우선, 동작 제어 장치(20)(도1 참조)의 전력 소비 패턴 기억부(24)에는 각 처리 장치(8A 내지 8F)의 전력 소비 패턴(도2 참조)이 미리 기억되어 있다(S1). 그리고, 동작 제어 장치(20)의 주 제어부(22)는 처리 장치(8A 내지 8F)측으로부터 동작 개시의 요구(동작 개시 요구 신호)가 이루어졌는지 여부를 순환시(사이클릭)에 고속으로 감시하고 있다(S2).

여기서 미동작 중(아이들링 중)인 처리 장치가 동작 개시의 요구를 발하면(S2의 "예"), 현재 동작 중인 모든 전력 사용계(처리 장치)의 전력 소비 패턴을 가 산하고, 예정 종합 전력 소비 패턴(40)(도3 참조)을 구한다. 도3에서는 시간 T0에서 처리 장치(8F)가 동작 개시의 요구를 발하고 있다. 또한, 도3에서는 시각 T0보다 이전(과거)의 예정 종합 전력 소비 패턴(40)도 참고를 위해 기재하고 있지만, 실제의 처리에서는 이 과거의 부분의 패턴은 구할 필요는 없다.

다음에, 상기 처리 장치(8F)의 임시의 동작 개시 시각(T)을 설정한다(S4). 여기서는, 우선 동작 개시의 요구가 발해진 시각 T0가 임시의 동작 개시 시각(T)이 된다.

다음에, 상기 구해진 예정 종합 전력 소비 패턴(40)과 동작 개시 요구가 있었던 처리 장치(전력 사용계)(8F)의 전력 소비 패턴을 상기 임시의 동작 개시 시각(T)을 기준으로서 가산하여 가정 종합 전력 소비 패턴을 구한다(S5). 이 때의 각 전력 소비 패턴은 전력 소비 패턴 기억부(24)에 기억되어 있는 것은 전술한 바와 같다. 또한, 이 가정 종합 전력 소비 패턴은 도3 중에 있어서 상기 예정 종합 전력 소비 패턴(40)의 상방에, 상기 임시의 동작 개시 시각(T)을 기준으로 하여 단순하게 가산하여 쌓아 올렸을 때에 형성되는 패턴이 된다.

다음에, 이 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 모든 전력치와 설정 허용 전력(42)을 비교하여, 상기 각 전력치가 설정 허용 전력(42)을 넘고 있는지 여부를 확인한다(S6). 또한, 단계 S6에서는 양자가 동등한 경우「=」도 포함하고 있지만, 이「=」를 제외해도 좋다.

여기서, S6에 있어서「예」인 경우에는, 가령 상기 임시의 동작 개시 시각(T)으로부터 처리 장치의 동작을 개시해도, 가정 종합 전력 소비 패턴은 시각(T) 이후의 전 영역에 걸쳐 설정 허용 전력(42)을 넘어 커지는 일은 없으므로, 환언하면 전력 공급 설비(4)는 전력적으로는 여유가 있는 상태에서 운전되어 있으므로, 현재 동작 개시 요구를 발하고 있는 처리 장치의 동작을 개시시켜 프로세스 처리를 행하도록 해도 전력 소비량이 설정 허용 전력(42)을 넘지 않는 것을 의미한다. 따라서, 이 임시의 동작 개시 시각(T)을 동작 개시 예정 시각으로서 설정한다(S7). 이러한 상기한 바와 같은 일련의 동작은, 동작 개시 예정 시각 결정부(26)에 있어서 행해진다.

다음에, 허가 신호 출력부(28)에서는, 항상 현재의 시간을 감시하고 있고, 현재의 시각이 상기 결정된 동작 개시 예정 시각에 도달하였으면(S8의 "예"), 주 제어부(22)를 거쳐서 상기 동작 개시 요구가 있었던 처리 장치(전력 사용계)에 대해 동작 허가(동작 허가 신호)를 출력한다(S9). 그리고, 이 동작 허가를 받은 처리 장치는, 바로 동작을 개시하게 된다.

그리고, 다음에 모든 처리 장치(전력 사용계)의 동작이 종료하였는지 여부를 판단하여, 종료하지 않은 경우에는(S10의 "아니오") 단계 S2로 복귀하여 상기 조작을 반복하여 행한다. 또한, 모든 처리 장치의 동작이 종료한 경우에는(S10의 "예") 이 동작 제어 장치의 동작도 종료하게 된다. 또한, 상기한 일련의 연산 처리는 컴퓨터에 의해 순식간에 또한 단시간에 행해진다.

이와 같이, 전력 공급 설비(4)의 공급 전력에 여유가 있는 상태에서는, 단계 S2에서 동작 개시 요구를 행한 후에, 바로 단계 S3 내지 단계 S9까지 진행하고, 단계 S9에서 동작 허가 신호를 출력하게 된다.

그런데, 스텝(6)에 있어서 "아니오"인 경우, 즉 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 각 전력치가 일부에서도 설정 허용 전력을 넘어 커진 경우에는, 상기 임시의 동작 개시 시각(T)을 소정 시간(tΔ)만큼 지연시키기 위해「T + Δt」로서 새로운「T」를 세트한다(S11). 그리고, 단계 S4로 복귀하여 다시 임시의 동작 개시 시각(T)을 설정하여 단계 S5로 이행하고, 단계 S5 및 S6의 조작을 반복하여 행한다. 이러한 단계 S3 내지 S6 및 S11의 조작은, 단계 S6에 있어서「예」가 될 때까지 반복하여 행한다.

따라서, 단계 S11을 행할 때마다, 임시의 동작 개시 시각(T)은 시각 T0을 기점으로서 시간(Δt)씩 시간이 지연되어 간다. 환언하면, 도3에 있어서 처리 장치(8F)의 전력 소비 패턴은 시간 T0을 기점으로서 시간(Δt)씩 시간축 방향(우측 방향)으로 시프트되면서 예정 종합 전력 소비 패턴(4)에 대해 가산이 행해지고, 그 때마다 설정 허용 전력(42)과 비교된다. 결과적으로, 가산 후의 가정 종합 전력 소비 패턴이 이 설정 허용 전력(42)을 넘지 않았을 때의 임시의 동작 개시 시각이 동작 개시 예정 시각이 된다(S7). 도3 중에서는, 시각 TS까지 임시의 동작 개시 시각을 시프트하였을 때에, 상기 단계 S6에서 "예"가 되었을 때를 나타내고 있다. 여기서 상기 시간(Δt)은 초 단위, 예를 들어 1초 정도로 설정할 수 있지만 특별히 한정되지 않는다. 이러한 단계 S11을 포함한 단계 S7까지의 일련의 처리는, 전술한 바와 같이 컴퓨터에 의해 순식간에 연산되므로 시간적인 손실은 발생되지 않는다.

이와 같이, 각 전력 사용계의 소비 전력의 변화를 나타내는 전력 소비 패턴 을 미리 구해 두고, 전력 사용계가 동작 개시를 요구하였을 때에는 그 때에 가동 중인 각 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 시간축 조정하여 합계하고, 또한 동작 개시 요구가 있었던 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 가산하고, 이 가산으로 얻어진 패턴과 설정 허용 전력의 비교를 행하면서 동작 개시 요구가 있었던 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 시간축 방향으로 이동시키도록 하여 동작 개시 예정 시각을 구하도록 하였으므로, 설비 비용을 억제한 상태에서 높은 가동율을 달성할 수 있어 설비비에 대한 생산성을 최대한으로 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 설정 허용 전력이 도3에 나타낸 경우보다도 작게 설정되어 있는 경우에는, 1대의 처리 장치로부터 동작 개시 요구가 발해져 대기 중에, 또 다른 처리 장치로부터도 동작 개시 요구가 이루어지는 경우도 있지만, 그 경우에는 먼저 동작 개시 요구를 발한 처리 장치를 우선시켜 처리하는 것은 물론이다.

또한, 여기서는 단계 S8에 있어서, 현재의 시각이 동작 개시 예정 시각이 되었을 때에, 바로 동작 허가 신호(S9)를 출력하도록 하였지만, 이 때 동작 개시 허가 신호를 출력하기 직전에 각 처리 장치(8A 내지 8F)의 전력계의 측정치를 구하고, 그 때의 전력 소비량에 대해 확인 작업을 행하도록 해도 좋다. 그리고, 이 전력에 대해서는 유효 전력과 피상 전력 중 어느 쪽을 이용해도 좋다.

또한 여기서는, 전력 소비 패턴 기억부(24)에 기억한 전력 소비 패턴은 미리 구하여 기억되어 있지만, 이 전력 소비 패턴을 갱신 가능하게 하여 필요에 따라서 갱신하도록 해도 좋다. 이 전력 소비 패턴을 갱신하기 위해서는, 각 프로세스 처리를 행하였을 때에 그 때의 실제의 전력 소비량의 데이터를, 예를 들어 기억부 (32) 등에 기억해 두고, 그 데이터를 기초로 하여 전력 소비 패턴을 갱신한다.

이 경우, 갱신의 방법으로서는 과거의 모든 프로세스 처리시의 평균치를 취한 전력 소비 패턴으로 갱신하거나, 혹은 가장 최근의 소정 횟수, 예를 들어 최근의 5회의 프로세스 처리시의 평균치를 취한 전력 소비 패턴으로 갱신하거나 한다. 특히, 가열 히터 등의 시간의 흐름에 따른 변화를 반영할 수 있으므로, 가장 최근의 소정 횟수의 프로세스 처리의 평균치를 취한 전력 소비 패턴으로 갱신하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 처리 장치에 있어서의 전력 소비량의 측정은 전술한 바와 같이 전력계(16A 내지 16F)의 측정치나 전력 제어부(14A 내지 14F)에 이용하는 사이리스터의 게이트 개폐 제어량이나 게이트의 온 오프 제어 시간을 기초로 하여 계산으로 구할 수 있다. 이 때의 전력 소비량을 구하는 샘플링 시간은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 1초, 10초, 혹은 1분 등을 설정할 수 있어 처리 장치의 프로세스 형태에 적합하게 한다.

또한, 신규 장치의 도입과 같이 전력 소비 패턴이 존재하지 않는 경우에 관해서는, 그 장치의 모든 동작 시간에 걸쳐 장치의 최대 정격 용량을 사용하는 가전력 소비 패턴을 작성하고 기억해 둠으로써 이 장치가 사용 가능해진다. 당연한 것으로서, 그 후의 전력 소비 패턴의 갱신시에는 이 가전력 소비 패턴은 사용하지 않도록 한다.

또한 상기 실시예에서 설명한 각 수치예는 단순히 일예를 나타낸 것에 지나지 않으며, 이들에 한정되지 않는 것은 물론이다. 또한, 여기서는 배치식 처리 장치를 예로 들어 설명하였지만 이에 한정되지 않으며, 웨이퍼를 1매씩 처리하는, 이 른바 낱장식 처리 장치에도 적용할 수 있고, 또한 피처리체로서는 웨이퍼에 한정되지 않고 글래스 기판이나 LCD 기판을 처리하는 처리 장치, 또는 그 밖의 전력 사용계에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있다.

본 발명에 따르면, 설비 비용을 억제한 상태에서 높은 가동율을 달성하는 것이 가능한 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치, 동작 제어 방법, 그 프로그램 및 기억 매체를 제공할 수 있다.

Claims

외부 신호에 의존하여 동작 개시의 가부를 결정하는 복수의 전력 사용계에, 하나의 전력 공급 설비로부터 전력을 공급하도록 한 전력 공급 시스템에 있어서의 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치에 있어서,

장치 전체의 동작을 제어하는 주 제어부와,

상기 각 전력 사용계에 관하여 동작 개시 후의 시간에 대한 소비 전력의 변화를 나타내는 전력 소비 패턴을 미리 기억하는 전력 소비 패턴 기억부와,

상기 복수의 전력 사용계 중의 일부 전력 사용계가 동작 중일 때, 미동작 중인 전력 사용계로부터의 동작 개시 요구에 따라서, 동작 중인 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 각각의 동작 개시 시각을 기준으로 하여 가산하여 예정 종합 전력 소비 패턴을 구하고, 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 관하여 임시의 동작 개시 시간을 기준으로 하여 구한 전력 소비 패턴을 상기 예정 종합 전력 소비 패턴에 가산하여 가정 종합 전력 소비 패턴을 구하고, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치와 상기 전력 공급 설비의 미리 정해진 설정 허용 전력을 비교하여 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력을 넘지 않게 될 때까지 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계의 전력 소비 패턴의 임시의 동작 개시 시각을 시간축에 따라 지연시키고, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력보다 적어졌을 때의 임시의 동작 개시 시각을 동작 개시 예정 시각으로서 결정하는 동작 개시 예정 시각 결정부와,

상기 동작 개시 예정 시각 결정부에서 결정된 동작 개시 예정 시각이 되었을 때에 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 대해 동작 허가를 주 제어부에 출력하는 허가 신호 출력부를 구비한 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치.
제1항에 있어서, 상기 전력 소비 패턴은 갱신 가능하게 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치.
제2항에 있어서, 상기 전력 소비 패턴의 갱신은 상기 전력 사용계의 과거의 동작시의 실제의 전력 소비량을 기초로 하여 행하는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치.
제3항에 있어서, 상기 실제의 전력 소비량은 가장 최근의 소정 횟수의 동작시의 전력 소비량을 기초로 하여 정해지는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치.
제3항에 있어서, 상기 실제의 전력 소비량은 상기 전력 사용계에 설치한 전력계를 기초로 하여 구해지는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치.
제3항에 있어서, 상기 실제의 전력 소비량은 상기 전력 사용계의 전력 제어부에 설치한 사이리스터의 게이트 개폐 제어량을 기초로 하여 구해지는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치.
제3항에 있어서, 상기 실제의 전력 소비량은 상기 전력 사용계의 전력 제어부에 설치한 사이리스터의 게이트 오프 제어 시간을 기초로 하여 구해지는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치.
제1항에 있어서, 상기 전력 사용계는 피처리체에 대해 소정의 처리를 실시하기 위한 처리 장치인 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치.
외부 신호에 의존하여 동작 개시의 가부를 결정하는 복수의 전력 사용계에, 하나의 전력 공급 설비로부터 전력을 공급하도록 한 전력 공급 시스템에 있어서의 복수의 전력 사용계의 동작 제어 방법에 있어서,

상기 각 전력 사용계에 관하여, 동작 개시 후의 시간에 대한 소비 전력의 변화를 나타내는 전력 소비 패턴을 미리 기억하는 공정과,

상기 복수의 전력 사용계 중의 일부 전력 사용계가 동작 중일 때, 미동작 중인 전력 사용계로부터의 동작 개시 요구에 따라서, 동작 중인 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 각각의 동작 개시 시간을 기준으로 하여 가산하여 예정 종합 전력 소비 패턴을 구하는 공정과,

상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 관하여 임시의 동작 개시 시간을 기준으로 하여 구한 전력 소비 패턴을 상기 예정 종합 전력 소비 패턴에 가산하여 가정 종합 전력 소비 패턴을 구하는 동시에, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치와 상기 전력 공급 설비의 미리 정해진 설정 허용 전력을 비교하여 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력을 넘지 않게 될 때까지 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계의 전력 소비 패턴의 임시의 동작 개시 시각을 시간축에 따라 지연시키고, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력보다 적어졌을 때의 임시의 동작 개시 시각을 동작 개시 예정 시각으로서 결정하는 공정과,

상기 결정된 동작 개시 예정 시각이 되었을 때에 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 대해 동작 허가를 출력하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 방법.
제9항에 있어서, 상기 전력 소비 패턴은 갱신 가능하게 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 방법.
제10항에 있어서, 상기 전력 소비 패턴의 갱신은 상기 전력 사용계의 과거의 동작시의 실제의 전력 소비량을 기초로 하여 행하는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 방법.
제11항에 있어서, 상기 실제의 전력 소비량은 가장 최근의 소정 횟수의 동작시의 전력 소비량을 기초로 하여 정해지는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 방법.
제11항에 있어서, 상기 실제의 전력 소비량은 상기 전력 사용계에 설치한 전력계를 기초로 하여 구해지는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 방법.
제11항에 있어서, 상기 실제의 전력 소비량은 상기 전력 사용계의 전력 제어부에 설치한 사이리스터의 게이트 개폐 제어량을 기초로 하여 구해지는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 방법.
제11항에 있어서, 상기 실제의 전력 소비량은 상기 전력 사용계의 전력 제어부에 설치한 사이리스터의 게이트 오프 제어 시간을 기초로 하여 구해지는 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 방법.
제9항에 있어서, 상기 전력 사용계는 피처리체에 대해 소정의 처리를 실시하기 위한 처리 장치인 것을 특징으로 하는 복수의 전력 사용계의 동작 제어 방법.
삭제
외부 신호에 의존하여 동작 개시의 가부를 결정하는 복수의 전력 사용계에, 하나의 전력 공급 설비로부터 전력을 공급하도록 한 전력 공급 시스템에 있어서의 복수의 전력 사용계의 동작을 제어할 때에,

상기 각 전력 사용계에 관하여 동작 개시 후의 시간에 대한 소비 전력의 변화를 나타내는 전력 소비 패턴을 미리 기억하는 공정과,

상기 복수의 전력 사용계 중의 일부 전력 사용계가 동작 중일 때, 미동작 중인 전력 사용계로부터의 동작 개시 요구에 따라서, 동작 중인 전력 사용계의 전력 소비 패턴을 각각의 동작 개시 시각을 기준으로 하여 가산하여 예정 종합 전력 소비 패턴을 구하는 공정과,

상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 관하여 임시의 개시 시간을 기준으로 하여 구한 전력 소비 패턴을 상기 예정 종합 전력 소비 패턴에 가산하여 가정 종합 전력 소비 패턴을 구하는 동시에, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치와 상기 전력 공급 설비의 미리 정해진 설정 허용 전력을 비교하여 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력을 넘지 않게 될 때까지 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계의 전력 소비 패턴의 임시의 동작 개시 시각을 시간축에 따라 지연시키고, 상기 가정 종합 전력 소비 패턴이 나타내는 전력치가 상기 설정 허용 전력보다 적어졌을 때의 임시의 동작 개시 시각을 동작 개시 예정 시각으로서 결정하는 공정과,

상기 결정된 동작 개시 예정 시각이 되었을 때에 상기 동작 개시 요구를 행한 전력 사용계에 대해 동작 허가를 출력하는 공정을 실행하도록 복수의 전력 사용계의 동작 제어 장치를 제어하는 프로그램을 기억하는 기억 매체.