KR100959678B1 - 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클러스터 타입의 제조장치를 인-라인 형태의 시스템에 적용할 때 로드락 챔버를 상하로 적층하여 구비시킨 인-라인 시스템에 적용되는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 로드락 챔버와, 반송 챔버와, 공정 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 로드락 챔버는, 2개인 복수개가 적층되어 각각 독립적으로 기능하는 적층형 로드락 챔버이고, 상기 로드락 챔버에 기판을 반입 및 반출시키는 컨베이어 라인이 구비되되, 상기 컨베이어 라인은, 상기 로드락 챔버의 전방에서 기판을 연속으로 공급하는 반입 컨베이어; 상기 반입 컨베이어에 의해 반입된 기판을 상기 로드락 챔버의 후방에서 수취하는 반출 컨베이어; 상기 반입 컨베이어 또는 반출 컨베이어 중 선택되는 어느 하나의 소정 위치에 구비되어 상기 기판을 상부 로드락 챔버의 위치까지 이동시키는 승강 컨베이어; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
Figure R1020050074379
평판표시소자 제조장치, 인라인(In-line), 클러스터(cluster), 상하부 로드락 챔버, 반입 컨베이어, 반출 컨베이어, 승강 컨베이어, 승강수단

Description

평판표시소자 제조장치{FLAT PANEL DISPLAY MANUFACTURING MACHINE}
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치를 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치를 클러스터 타입으로 구비한 상태를 도시한 평면도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 상하 로드락 챔버와 각각의 로드락 챔버로 기판을 이송하는 컨베이어 라인을 도시한 측단면도 및 평단면도이다.
도 5 및 도 6은 상기 평판표시소자 제조장치의 반입, 반출 컨베이어에 스토퍼가 구비된 여러 실시 상태를 여러 도시한 평면도 및 측면도이다.
도 7 및 도 8은 상기 반입, 반출 컨베이어에서 기판을 정렬하는 어라이너의 작동 상태를 도시한 평면도이다.
도 9 및 도 10은 상기 반입, 반출 컨베이어에 구비되는 승강 컨베이어에서 기판을 정렬하는 어라이너의 작동 상태를 도시한 평면도이다.
도 11a 내지 도 11f는 상기 평판표시소자 제조장치의 상하부 로드락 챔버에 기판을 반입하고 반출하는 과정을 도시한 공정도이다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 상하 로드락 챔버와 각각의 로드락 챔버로 기판을 이송하는 컨베이어 라인을 도시 한 측단면도 및 평단면도이다.
도 14a 내지 도 14f는 상기 평판표시소자 제조장치의 상하부 로드락 챔버에 기판을 반입하고 반출하는 과정을 도시한 공정도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
122, 124 : 상, 하부 로드락 챔버 130 : 수평이동수단
132, 142, 162 : 제1, 2, 3 스토퍼(Stopper)
134 : 리프트 핀(Lift pin)
140, 150 : 반입, 반출 컨베이어 160 : 승강 컨베이어
168 : 승강수단 S, S1, S2, S3, S4, S5 : 기판
222, 224 : 상, 하부 로드락 챔버 230 : 수평이동수단
232, 242, 262 : 제1, 2, 3 스토퍼(Stopper)
234 : 리프트 핀(Lift pin)
240, 250 : 반입, 반출 컨베이어 260 : 승강 컨베이어
268 : 승강수단
본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클러스터 타입의 제조장치를 인-라인 형태의 시스템에 적용할 때 로드락 챔버를 상하로 적층하여 구비시킨 인-라인 시스템에 적용되는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판표시소자(Flat Panel Display ; FPD)를 제조하는 장치로는 도 1에 도시된 바와 같이, 로드락 챔버(20), 반송 챔버(22), 공정 챔버(24)가 순차적으로 연결되어 이루어지는 평판표시소자 제조장치(10a, 10b)가 많이 사용된다.
이때 상기 로드락 챔버(20)는 외부와 연결되며, 외부에서 공정이 처리될 새로운 기판을 반입하거나 평판표시소자 제조장치 내에서 공정 처리가 완료된 기판을 외부로 반출하는 역할을 한다.
그리고 상기 로드락 챔버(20)의 내부는 진공 상태와 대기압 상태를 반복적으로 유지하면서 외부와 접촉된다. 따라서 그 내부에는 기판을 적재할 수 있는 적재대(도면에 미도시)가 마련되며, 그 적재대에는 기판(도면에 미도시)이 하나 또는 복수개 적재될 수 있도록 한다.
또한, 로드락 챔버(20)는 그 내부를 진공분위기와 대기 분위기로 변화시키기 위한 펌핑(pumping) 장치(도면에 미도시)와 벤팅(venting) 장치(도면에 미도시)도 마련된다.
또한, 상기 반송 챔버(22)는 상기 로드락 챔버(20) 및 공정 챔버(24)와 연결되며, 그 내부에 반송로봇(도면에 미도시)이 마련되어 있어서, 로드락 챔버(20)와 공정 챔버(24) 간에 기판을 반입하거나 반출하는 중간 통로로 기능하며, 항상 진공분위기로 유지되어 공정 챔버(24) 내의 기판을 반출하거나 공정 챔버(24) 내로 기판을 반입하는 때에도 공정 챔버(24) 내부의 분위기가 진공분위기로 유지될 수 있 도록 한다.
또한, 공정 챔버(24)는 그 내부에 기판을 탑재시킬 수 있는 탑재대(도면에 미도시)와 기판에 소정의 처리를 실시할 수 있는 처리장치(도면에 미도시)가 구비되어 있어서 진공분위기하에서 기판상에 식각 등의 처리를 한다.
상술한 평판표시소자 제조장치(10a, 10b)는, 처리되는 기판의 오염을 방지하고, 기판에 대한 처리의 정밀성을 높이기 위하여 클린룸 내에 설치된다.
클린룸 내에서 평판표시소자 제조장치(10a, 10b)는 여러 개의 장치가 병렬로 배열된다. 이때 각 평판표시소자 제조장치(10a, 10b)는 하나의 외부 기판 공급부(30)에 연결되어 전체적으로 하나의 평판표시소자 제조시스템을 이룬다.
즉, 적어도 2개의 평판표시소자 제조장치(10a, 10b)가 병렬 연결되어 하나의 평판표시소자 제조 시스템을 형성하는 것이다. 그리고 하나의 평판표시소자 제조시스템 내에 마련된 모든 평판표시소자 제조장치(10a, 10b)는 독립적으로 구동된다.
그러므로 하나의 외부 기판 공급부(30)에 마련되어 있는 외부 기판 공급 로봇(34)이 이동 레일(32)을 따라 이동하면서 각 평판표시소자 제조장치(10a, 10b)의 로드락 챔버(20)를 통해서 처리가 필요한 기판을 공급하고, 처리가 완료된 기판을 수납하여 다음 공정이 이루어질 장소로 운반한다.
상술한 평판표시소자 제조장치(10a, 10b)에 있어서, 상기 로드락 챔버(20)는 계속하여 대기압 분위기와 진공분위기를 오가면서 기판의 반입과 반출을 담당하므로 그 내부를 진공으로 형성하기 위한 펌핑 장치와 다시 대기 분위기로 만들기 위한 벤팅 장치가 쉴 틈 없이 작동하다 보면 여러 가지 고장이 발생할 수 있다.
또한, 전술한 바와 같이, 여러 평판표시소자 제조장치(10a, 10b)를 하나의 공급 로봇(34)에 의해 순차적으로 기판을 공급하므로 그에 대해 공정 완료 시간의 지연 및 기판 반송이 어려운 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 클러스터 타입의 평판표시소자 제조장치를 구비함에 있어, 상하 적층된 로드락 챔버에 기판 공급이 일렬로 구비된 컨베이어 라인에 의해 실시되되 기판 반입과 반출이 각각 다른 로드락 챔버에서 수행될 수 있게 한 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 로드락 챔버와, 반송 챔버와, 공정 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 로드락 챔버는, 2개인 복수개가 적층되어 각각 독립적으로 기능하는 적층형 로드락 챔버이고, 상기 로드락 챔버에 기판을 반입 및 반출시키는 컨베이어 라인이 구비되되, 상기 컨베이어 라인은, 상기 로드락 챔버의 전방에서 기판을 연속으로 공급하는 반입 컨베이어; 상기 반입 컨베이어에 의해 반입된 기판을 상기 로드락 챔버의 후방에서 수취하는 반출 컨베이어; 상기 반입 컨베이어 또는 반출 컨베이어 중 선택되는 어느 하나의 소정 위치에 구비되어 상기 기판을 상부 로드락 챔버의 위치까지 이동시키는 승강 컨베이어; 를 포함하여 이루어짐으로써, 상기 상하부 로드락 챔버 중 어느 하나에 기판을 반입하고 다른 하나에 기판을 반출함에 있어 상기 기 판을 각각 공급하고 수취할 때 컨베이어 라인에 의해 용이하게 실시되므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 상기 승강 컨베이어는, 상기 반출 컨베이어에 구비되어 하부 로드락 챔버에 기판을 반입시키고, 상부 로드락 챔버에서 기판을 반출시킴으로써, 상기 승강 컨베이어가 로드락 챔버의 후방 위치인 반출 컨베이어에 구비되어 하부 로드락 챔버로 반입된 기판이 상부 로드락 챔버로 반출된다.
또한, 본 발명에서의 상기 승강 컨베이어는, 상기 반입 컨베이어에 구비되어 상부 로드락 챔버에 기판을 반입시키고, 하부 로드락 챔버에서 기판을 반출시킴으로써, 상기 승강 컨베이어가 로드락 챔버의 전방 위치인 반입 컨베이어에 구비되어 상부 로드락 챔버로 반입된 기판이 하부 로드락 챔버로 반출된다.
또한, 본 발명에서의 상기 반입 컨베이어에는, 반입될 기판 중 로드락 챔버와 근접한 말단에서 승강할 선발 기판의 위치를 제한할 수 있도록 마련되는 제2 스토퍼가 마련됨으로써, 상기 기판의 위치 한정을 정확하게 실시하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 상기 제2 스토퍼에는, 이 제2 스토퍼와 연결되며 상기 제2 스토퍼의 하측에서 상기 기판의 유무를 감지하여 기판의 존재 여부에 따른 신호를 출력하는 제2 검출부가 더 마련됨으로써, 상기 기판 선단이 제2 검출부에 의 해 감지되어 더욱 정확하게 기판의 위치를 인지할 수 있으므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서는 상기 제2 검출부와 연결되는 제어부가 더 마련되되 상기 제어부는, 상기 제2 검출부에서 출력하는 신호를 받아서 제2 스토퍼의 동작 여부를 제어됨으로써, 상기 제어부가 제2 스토퍼의 동작 여부를 정확하게 제어하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서는 상기 로드락 챔버측에 구비되는 반입 컨베이어 말단에 기판을 정렬하는 어라이너(Aligner)가 더 구비됨으로써, 상기 반입 컨베이어 상에서 기판 정렬을 실시할 수 있으므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서는 상기 승강 컨베이어에 구비되는 롤러의 양단을 고정시키는 프레임과 평행하도록 각각 구비되며, 내외측 방향으로 수평 이동하여 상부 로드락 챔버로 반입하거나 반출한 기판을 정렬하는 어라이너가 더 구비됨으로써, 상기 상하부 로드락 챔버에서 반출 후에 기판 정렬이 실시되므로 바람직하다.
이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치를 첨부도면을 참조하여 일 실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치는 도 2에 도시 된 바와 같이 상하 적층된 로드락 챔버(122, 124)와 반송 챔버(126)와 다수개의 공정 챔버(128)로 구성되는 클러스터 타입으로 이루어지고 각각이 인라인(In-line) 형태로 배치되는 구조를 갖으며 기판(S)의 반입 및 반출 또한 인라인 형태의 컨베이어 라인에 의해 실시된다.
먼저, 상기 로드락 챔버(122, 124)는 각각 진공 상태와 대기압 상태가 순환되면서 복수개의 기판을 반입 또는 반출시킬 수 있도록 복수개가 상하로 적층되어 구비되며, 기판 각각을 내부로 전달받거나 외부로 전달하는 기능을 한다.
다음으로, 상기 반송 챔버(126)는 그 내부를 진공 상태로 유지하면서 상기 상하부 로드락 챔버(122, 124)로부터 기판을(S) 순차적으로 전달받아 이웃한 공정 챔버(128)에 전달할 수 있도록 반송로봇(도면에 미도시)이 구비되며 그 이웃한 공정 챔버(128)로부터 기판(S)을 전달받아 적층된 로드락 챔버(122, 124)에 순차적으로 전달하는 기능을 한다.
다음으로, 상기 공정 챔버(128)는 상기 반송 챔버(126)에 연결되되 진공 상태인 그 내부로 반입된 기판(S)에 소정의 처리를 실시하는 기능을 하며, 적어도 하나가 마련된다.
그리고 상기 평판표시소자 제조장치(110)는 종래의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.
여기서, 상기 상하부 로드락 챔버(122, 124)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 복수개가 상하 방향으로 적층되도록 구비되되 그 각각이 반송 챔버(126)와 연결 및 폐쇄되도록 구비되며 본 실시예에서는 2개로 한정하고 그 개수는 증감될 수 있다.
그리고 상기 상하부 로드락 챔버(122, 124)는 그 중 하부 로드락 챔버(124)는 기판(S) 반입용이고, 상부 로드락 챔버(122)는 기판(S) 반출용이다.
그리고 상기 상하부 로드락 챔버(122, 124)의 전후방에는 평판표시소자 제조장치(110)에 순차적으로 기판(S)을 반입시키고 배출시키는 컨베이어 라인이 구비되고 그 컨베이어 라인이 구비되는 하부 로드락 챔버(124)의 전면과 상기 상부 로드락 챔버(122)의 후면에 기판(S)이 이동하는 통로인 기판 출입구가 상호 대각 외벽에 형성되며 그 기판 출입구를 개폐시키는 게이트 밸브(G)가 기판 출입구에 각각 구비된다.
여기서, 상기 컨베이어 라인이라 함은 수평이동수단(130)과 반입, 반출 컨베이어(140, 150) 및 상기 반출 컨베이어(150)의 롤러와 간섭하지 않고 겹치도록 구비되는 롤러가 개재된 승강 컨베이어(160)를 총칭한다.
그리고 상기 하부 로드락 챔버(124)의 전후방에 구비되는 게이트 밸브(G)와 근접한 위치에 종방향의 반입, 반출 컨베이어(140, 150)가 구비된다. 그리고 상기 하부 로드락 챔버(124)의 내부 하측에는 상기 반입, 반출 컨베이어(140, 150)와 동일 선상, 동일 높이의 위치에 롤러 컨베이어인 수평이동수단(130)이 종방향으로 각각 구비된다.
여기서, 상기 상부 로드락 챔버(122)와 하부 로드락 챔버(124)에 각각 구비되는 수평이동수단(130)은 서로 동일한 구조와 기능을 하므로 그 중 하나만 상세히 설명한다.
상기 수평이동수단(130)은 평행하도록 구비되는 한 쌍의 프레임 사이에 다수개의 롤러가 적정 간격을 갖도록 배열되며 각각의 롤러를 일률적으로 구동시키는 롤러 구동부(도면에 미도시)가 구비된다. 여기서, 상기 수평이동수단(130)을 롤러 구동식으로 마련하여 기판(S)과의 접촉 면적이 작음에 따라 기판(S) 바닥면이 손상되는 것을 방지한다.
그리고 상기 수평이동수단(130)의 하측에는 그에 배열 설치되는 롤러의 사이마다 수직 방향으로 승강하는 리프트 핀(134)이 다수개 구비되고 각각의 리프트 핀(134)은 하나의 플레이트에 고정된다. 그리고 상기 리프트 핀(134)을 승강시킬 수 있도록 구동력을 제공하는 별도의 구동수단(도면에 미도시)이 구비된다.
그리고 상기 수평이동수단(130)의 일측 즉, 기판(S)이 진행하는 방향의 말단에 제1 스토퍼(Stopper : 132)가 마련되며, 상기 제1 스토퍼(132)는 상기 기판(S)의 위치를 제한하는 기능을 한다.
상기 제1 스토퍼(132)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 제1 검출부(도면에 미도시)에 의해 작동되되 상기 제1 검출부에서 기판(S)의 존재한다고 검출되면 그 출력 신호를 제1 스토퍼(132)에 송신하고 제1 스토퍼(132)를 작동시킨다.
여기서, 상기 제1 스토퍼(132)는 레버식(lever type)으로, 상기 기판(S)의 진행 방향과 평행한 상태로 위치되어 있다가 기판(S) 진입시 대향되는 내측 방향으로 동시에 회동하여 기판(S)의 위치를 한정한다. [도 5 (a)(b)참조]
또한, 다른 실시예의 제1 스토퍼(132)는 승강식으로 상기 기판(S)의 반입 및 반출의 높이보다 더 높은 위치까지 수직 상승하여 기판(S)의 위치를 한정한다. [도 6 (a)(b)참조]
한편, 상기 제1 스토퍼(132)는 레버식 또는 승강식 중 어느 하나를 선택하여 사용한다.
상기 제1 검출부는 도면에는 도시하지 않았지만 레이저 변위 센서로 상기 기판(S)의 하측에서 그 기판(S)의 유무를 감지하여 기판(S)이 존재한다고 검출되면 제1 스토퍼(132)를 작동시키는 기능을 한다.
여기서, 상기 제1 검출부는 그 일측면에 발광부와 수광부가 일체로 형성되며 상기 발광부에서 빛이 발광되어 그 발광된 빛이 기판(S)이 존재하면 굴절되어 수광부에 수광되고 그 수광 신호를 출력한다. 그리고 상기 기판(S)이 존재하지 않으면 발광부에서 발광된 빛이 수광부에 수광되지 않고 이때, 빛이 수광되지 않았다는 신호를 출력한다.
한편, 상기 제1 검출부는 제어부(도면에 미도시)와 전기적으로 연결되어 상기 기판(S)의 존재 여부에 따라 이 기판(S)이 존재한다고 판별되면 수평이동수단(130)의 작동 및 롤러 구동부를 제어부에 의해 제어하여 롤러의 회동 속도 제어에 따라 기판(S)이 제1 스토퍼(132)에 근접하면 롤러를 저속으로 회전시켜 충돌에 의해 기판(S)이 손상되는 것을 방지한다.
상기 반입 컨베이어(140)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 적정 길이를 갖으면서 평행하도록 구비되는 한 쌍의 프레임 사이에 다수개의 롤러가 적정 간격을 갖도록 배열되며 소정 위치에 각각의 롤러를 일률적으로 구동시키는 롤러 구동부(도면에 미도시)가 구비된다.
여기서, 상기 반입 컨베이어(140)는 롤러 구동식으로 마련하여 기판(S)과의 접촉 면적이 작음에 따라 기판(S) 바닥면이 손상되는 것을 방지한다.
그리고 상기 반입 컨베이어(140)에는 기판(S)의 위치를 정지시키는 제2 스토퍼(142)가 구비되며, 상기 제2 스토퍼(142)는 반입될 기판(S) 중 상기 하부 로드락 챔버(124)와 근접한 말단 양측 프레임에는 승강할 전방 기판(S)을 정지시키는 기능을 한다.
상기 제3 스토퍼(142)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 제2 검출부(도면에 미도시)에 의해 각각 작동되되 상기 제2 검출부에서 기판(S)의 존재한다고 검출되면 그 출력 신호를 제2 스토퍼(142)에 각각 송신하여 상기 제2 스토퍼(142)를 작동시킨다.
여기서, 상기 제2 스토퍼(142)는 레버식으로 상기 기판(S)의 진행 방향과 평행한 상태로 위치되어 있다가 기판(S) 진입시 대향되는 내측 방향으로 동시에 회동하여 기판(S)의 위치를 한정한다. [도 5 (a)(b)참조]
다른 실시예의 상기 제2 스토퍼(142)는 승강식으로, 상기 기판(S)의 반입 및 반출의 높이보다 더 높은 위치까지 수직 상승하여 기판(S)의 선단을 위치 한정시켜 정지시킨다. 한편, 상기 제2 스토퍼(142)는 레버식 또는 승강식 중 어느 하나를 선택하여 사용한다. [도 6 (a)(b)참조]
상기 제2 검출부는 도면에는 도시하지 않았지만 레이저 변위 센서로 상기 기판(S)의 하부에서 그 기판(S)의 선단을 통해 유무를 감지하여 기판(S)의 존재 여부에 따른 신호를 출력함에 따라 상기 기판(S)이 존재함으로 검출되면 제2 스토퍼 (142)를 작동시키는 기능을 한다.
여기서, 상기 제2 검출부는 그 일측면에 발광부와 수광부가 일체로 형성되며 상기 발광부에서 빛이 발광되어 그 발광된 빛이 기판(S)이 존재하면 굴절되어 수광부에 수광되고 그 수광 신호를 출력한다. 그리고 상기 기판(S)이 존재하지 않으면 발광부에서 발광된 빛이 수광부에 수광되지 않고 이때, 빛이 수광되지 않았다는 신호를 출력한다.
한편, 상기 제2 검출부는 제어부와 전기적으로 연결되되 상기 기판(S)의 존재 여부에 따라 이 기판(S)이 존재한다고 검출되면 반입 컨베이어(140)의 작동 및 롤러 구동부를 제어부에 의해 제어하여 롤러의 회동 속도 제어에 따라 기판(S)이 제2 스토퍼(142)에 근접하면 롤러를 저속으로 회전시켜 충돌에 의해 손상되는 것을 방지한다.
즉, 상기 제어부는 상기 기판(S)이 제2 검출부에 의해 검출되면 상기 제2 검출부의 출력 신호에 근거하여 제2 스토퍼(142)가 작동되어 기판(S)을 정지시킬 수 있도록 제어한다.
그리고 상기 반입 컨베이어(140)의 후단에는 하부 로드락 챔버(124)로 반입되는 기판(S)을 정렬하는 어라이너(Aligner)가 구비되며, 상기 어라이너는 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 상기 롤러 양단에 구비되는 프레임에 각각 적정 간격을 갖도록 다수개가 배열 설치되어 일률적으로 구동하되 상기 프레임과 평행한 상태에서 내측 방향으로 회동하는 회동부재(144)와 상기 회동부재(144)의 선단에 결합되어 기판(S) 양측을 가압하는 연성의 접촉부재(146)로 구성된다.
즉, 상기 접촉부재(146)에 고정되는 회동부재(144)가 프레임 양단에 다수개 구비되고 구동수단(도면에 미도시)에 의해 일률적인 기판(S) 방향으로 회동함에 따라 상기 접촉부재(146)의 둘레 면이 틀어진 기판(S)의 양측면을 가압하여 접촉한 상태로 정렬시킨다.
상기 반출 컨베이어(150)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 적정 길이를 갖으면서 평행하도록 구비되는 한 쌍의 프레임 사이에 다수개의 롤러가 적정 간격을 갖도록 배열되며 소정 위치에 각각의 롤러를 일률적으로 구동시키는 롤러 구동부가 구비된다.
여기서, 상기 반출 컨베이어(150)를 롤러 구동식으로 마련하여 기판(S)과의 접촉 면적이 작음에 따라 기판(S) 바닥면이 손상되는 것을 방지한다.
상기 반출 컨베이어(150)의 선단에는 기판(S)의 위치를 상하부 로드락 챔버(122, 124) 위치로 상승 또는 하강시키는 승강 컨베이어(160)가 마련된다.
상기 승강 컨베이어(160)는 적정 길이를 갖으면서 평행하도록 구비되는 한 쌍의 프레임 사이에 다수개의 롤러가 적정 간격을 갖도록 배열되며 소정 위치에 각각의 롤러를 일률적으로 구동시키는 롤러 구동부가 구비된다.
그리고 상기 승강 컨베이어(160)를 롤러 구동식으로 마련하여 기판(S)과의 접촉 면적이 작음에 따라 기판(S) 바닥면이 손상되는 것을 방지한다.
그리고 상기 승강 컨베이어(160)는 상기 반출 컨베이어(150)의 선단에서 상부 로드락 챔버(122)를 통해 반출된 기판(S)을 반출 컨베이어(150)의 높이까지 하강시키는 기능을 하며, 최초 상기 반출 컨베이어(150)와 동일 높이에 구비되되 상 기 반출 컨베이어(150)에 구비되는 롤러에 승강 컨베이어(160)의 롤러가 서로 간섭하지 않도록 개재된다.
그리고 상기 승강 컨베이어(160)의 양측 프레임 후단에는 상기 기판(S)의 이동 위치를 제한하는 제3 스토퍼(162)가 구비된다.
상기 제3 스토퍼(162)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 제3 검출부(도면에 미도시)에 의해 작동되되 상기 제3 검출부에서 기판(S)의 존재한다고 검출되면 그 출력 신호를 제3 스토퍼(162)에 송신하고 그 송신된 신호에 의해 상기 제3 스토퍼(162)가 작동한다.
여기서, 상기 제3 스토퍼(162)는 레버식으로, 상기 기판(S)의 진행 방향과 평행한 상태로 위치되어 있다가 기판(S) 진입시 대향되는 내측 방향으로 동시에 회동하여 기판(S)을 정지시킨다. [도 5 (a)(b)참조]
다른 실시예의 상기 제4 스토퍼(162)는 승강식으로, 상기 기판(S)의 반입 및 반출의 높이보다 더 높은 위치까지 수직 상승하여 기판(S)을 정지시킨다. [도 6 (a)(b)참조]
한편, 상기 제3 스토퍼(162)는 레버식 또는 승강식 중 어느 하나를 선택하여 사용한다.
상기 제3 검출부는 도면에는 도시하지 않았지만 레이저 변위 센서로 상기 기판(S)의 하측에서 그 기판(S)의 유무를 감지하여 그 결과를 신호로 출력하는 기능을 한다.
여기서, 상기 제3 검출부는 그 일측면에 발광부와 수광부가 일체로 형성되며 상기 발광부에서 빛이 발광되어 그 발광된 빛이 기판(S)이 존재하면 굴절되어 수광부에 수광되고 그 수광 신호를 출력한다. 그리고 상기 기판(S)이 존재하지 않으면 발광부에서 발광된 빛이 수광부에 수광되지 않고 이때, 빛이 수광되지 않았다는 신호를 출력한다.
한편, 상기 제3 검출부는 제어부와 전기적으로 연결되어 상기 기판(S)의 존재 여부에 따라 이 기판(S)이 존재한다고 검출되면 제3 스토퍼(162)의 동작 여부와 상부 로드락 챔버(122)로의 승강 컨베이어(160)를 상하 방향으로 승강시키는 승강수단(168)을 제어한다.
그리고 상기 승강 컨베이어(160)의 양측 프레임 저면 중심부마다 승강수단(168)이 각각 구비된다.
즉, 상기 기판(S)을 상부 로드락 챔버(122)의 내부에 구비되는 수평이동수단(130)과 동일한 높이로 이동시킬 수 있도록 승강수단(168)에 의해 승강시키는 기능을 한다. 그리고 상기 승강수단(168)은 제3 스토퍼(162) 및 제3 검출부에 의한 검출 신호로 제어부에 의해 제어된다.
여기서, 상기 승강수단(168)은 직선왕복 운동하는 공압 실린더 또는 회전운동을 직선왕복 운동으로 변환시키는 구동모터와 스크류(Screw) 중 어느 하나로 구비되며, 프레임의 저면 중심부 각각에 마련된다.
그리고 상기 승강 컨베이어(160)에는 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 상부 로드락 챔버(122)에서 반출된 기판(S)을 정렬시키는 어라이너가 더 구비되되 상기 어라이너는 상기 승강 컨베이어(160)의 롤러를 그 양단에서 고정하는 프레임과 평행하도록 각각 구비되면서 내외측 방향으로 수평 이동하여 기판(S)에 접촉되며 접촉됨과 동시에 그 기판(S)을 정렬하게 된다.
즉, 상기 어라이너는 안내부(164)와 구동부(166)로 이루어지며, 상기 안내부(164)는 상기 승강 컨베이어(160)의 프레임과 평행한 상태로 그 양측에 구비되고 기판(S) 정렬시 내측 방향으로 이동하여 기판(S)의 양측면에 접하는 길이 방향으로 연장되는 판상 형상으로 형성된다.
여기서, 상기 안내부(164)는 진입하는 기판(S)이 오 정렬되지 않도록 안내하는 기능을 하며, 특히 기판(S)과의 접촉되는 부위에 연질을 부여할 수 있고 상기 기판(S)이 진입하는 입구부의 양측 대향면이 적정 길이만큼 경사지게 형성되거나 곡면이 형성되어 그 기판(S)에 충돌시 파손됨을 방지한다.
상기 구동부(166)는 공압 실린더로 상기 안내부(164)의 외측벽 적어도 한 지점에 고정되어 그 안내부(164)를 내외측 방향으로 구동시키며 프레임에 고정된다.
그러므로 본 실시예의 평판표시소자 제조장치의 기판 반입 및 반출 공정은 도 11a에 도시된 바와 같이 우선, 상기 반입 컨베이어(140)의 롤러에 의해 순차적으로 기판(S1)과 기판(S2)이 이송되어 그 중 기판(S1)이 반입 컨베이어(140)의 후미부에 구비되는 어라이너에 의해 정렬한 후 개방된 하부 로드락 챔버(124)의 수평이동수단(130)을 따라 그 내부로 이동한다.
여기서, 상기 기판(S2)은 반입 컨베이어(140)의 후미부 하측에 구비되는 제2 검출부가 이를 감지하여 출력 신호를 제2 스토퍼(142)로 송신하며 상기 제2 스토퍼(142)가 출력 신호에 의해 작동하여 반입 컨베이어(140)가 정지된다.
그리고 이동된 상기 기판(S2)은 반입 컨베이어(140)의 후단에 구비되는 어라이너에 의해 정렬된 후 대기한다.
그리고 상기 수평이동수단(130)에 의해 하부 로드락 챔버(124) 내부로 이동되는 기판(S1)을 그 하측에서 제1 검출부가 이를 감지하여 출력 신호를 제1 스토퍼(132)로 송신하며 상기 제1 스토퍼(132)가 제1 검출부의 출력 신호에 의해 작동하여 수평이동수단(130)이 정지되면서 기판(S1) 또한 정지된다. 그리고 상기 하부 로드락 챔버(124) 내부를 밀폐시킨다.
다음으로, 도 11b를 설명하면, 반입된 기판(S1)을 상기 반송 챔버(126)의 내부에 구비되는 반송로봇(도면에 미도시)에 의해 공정 챔버 내부로 이동시켜 플라즈마로 공정 처리한다.
이때, 상기 하부 로드락 챔버(124)는 진공 상태에서 대기압 상태로 전환된다.
그리고 상기 반입 컨베이어(140)의 후단에 대기중인 기판(S2)을 하부 로드락 챔버(124) 내부로 반입시킨다.
그리고 상기 수평이동수단(130)의 롤러 구동부에 의한 구동으로 이동되는 기판(S2)을 그 하측에서 제1 검출부가 이를 감지하여 출력 신호를 제1 스토퍼(132)로 송신하며 상기 제1 스토퍼(132)가 출력 신호에 의해 작동하여 수평이동수단(130)을 정지시킨다.
그 다음으로, 도 11c를 설명하면, 공정 완료된 기판(S1)이 반송 챔버(126)의 내부에 구비되는 반송로봇(도면에 미도시)에 의해 상부 로드락 챔버(122)로 반입된다.
그리고 상기 상부 로드락 챔버(122)의 내부에 구비되는 수평이동수단(130)에 의해 기판(S1)을 이동시킨 다음 상기 상부 로드락 챔버(122)의 내부를 진공 상태에서 대기압 상태로 전환시킨다.
그 다음으로, 도 11d를 설명하면, 상기 하부 로드락 챔버(124) 내부에 구비된 기판(S2)은 반송 챔버(126)의 내부에 구비되는 반송로봇에 의해 공정 챔버 내부로 이동시켜 플라즈마로 공정 처리한다.
그리고 상기 하부 로드락 챔버(124)의 내부를 진공 상태에서 대기압 상태로 전환시킨다.
그 다음으로, 도 11e를 설명하면, 공정 완료된 기판(S1)이 상부 로드락 챔버(122)에서 외부로 반출된다.
이때, 상기 반출 컨베이어(150)에 구비되는 승강 컨베이어(160)가 최초에 승강수단(168)의 구동에 의해 승강된 상태이므로 수평이동수단(130)의 구동에 의해 기판(S1)이 승강 컨베이어(160)로 이동한다.
그리고 상기 승강 컨베이어(160)에 위치된 기판(S1)은 어라이너에 의해 정렬된다.
그리고 상기 상부 로드락 챔버(122)의 내부는 대기압 상태에서 진공 상태로 전환된다.
그리고 상기 반입 컨베이어(140)의 후미부에 대기중인 기판(S3)이 하부 로드락 챔버(124)로 반입되고 후방에 위치된 기판(S4)을 반입 컨베이어(140)의 후미부 하측에 구비되는 제2 검출부가 이를 감지하여 그 감지된 출력 신호를 제2 스토퍼(142)로 송신하며 상기 제2 스토퍼(142)가 출력 신호에 의해 작동하여 반입 컨베이어(140)가 정지된다.
그리고 이동된 상기 기판(S4)은 반입 컨베이어(140)의 후단에 구비되는 어라이너에 의해 정렬된 후 대기한다.
그 다음으로, 도 11f를 설명하면, 상기 승강 컨베이어(160)에 위치된 기판(S1)은 그 승강 컨베이어(160)가 승강수단(168)에 의해 하강하여 반출 컨베이어(150)와 동일 높이로 위치된 후 상기 기판(S1)이 상기 반출 컨베이어(150)의 이동 방향으로 이동된다.
그 후, 앞서 설명한 동일한 방법으로 나머지 기판(S2, S3 , S4 , S5)도 공정 처리 후 이동시킨다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치는 앞선 실시예의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.
상기 상하부 로드락 챔버(222, 224)는 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이 복수개가 상하 방향으로 적층되도록 구비되되 그 각각이 반송 챔버(226)와 연결 및 폐쇄되도록 구비되며 본 실시예에서는 2개로 한정하고 그 개수는 증감될 수 있다.
그리고 상기 상하부 로드락 챔버(222, 224)는 그 중 상부 로드락 챔버(222)는 기판(S) 반입용이고, 하부 로드락 챔버(224)는 기판(S) 반출용이다.
그리고 상기 상하부 로드락 챔버(222, 224)의 전후방에는 평판표시소자 제조장치에 순차적으로 기판(S)을 반입시키고 배출시키는 컨베이어 라인이 구비되고 그 컨베이어 라인이 구비되는 상부 로드락 챔버(222)의 전면과 상기 하부 로드락 챔버(224)의 후면에 기판(S)이 이동하는 통로인 기판 출입구가 상호 대각 외벽에 각각 형성되며 그 기판 출입구를 개폐시키는 게이트 밸브(G)가 기판 출입구에 각각 구비된다.
여기서, 상기 컨베이어 라인이라 함은 수평이동수단(230)과 반입, 반출 컨베이어(240, 250) 및 상기 반입 컨베이어(240)의 롤러와 간섭하지 않고 겹치도록 롤러가 개재된 승강 컨베이어(260)를 총칭한다.
그리고 상기 하부 로드락 챔버(224)의 전후방에 구비되는 게이트 밸브(G)와 근접한 위치에 종방향의 반입, 반출 컨베이어(240, 250)가 구비된다. 그리고 상기 하부 로드락 챔버(224)의 내부 하측에는 상기 반입, 반출 컨베이어(240, 250)와 동일 선상, 동일 높이의 위치에 롤러 컨베이어인 수평이동수단(230)이 종방향으로 각 각 구비된다.
여기서, 상기 상부 로드락 챔버(222)와 하부 로드락 챔버(224)는 앞선 실시예에서의 기판 출입구에 구비되는 게이트 밸브(G)의 설치 방향만 반대로 형성되고 그 내부에 구비되는 수평이동수단(230)은 앞선 실시예의 그것과 서로 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.
한편, 설명하지 않은 부호 232 는 제1 스토퍼이고, 234 는 리프트 핀이다.
상기 반입 컨베이어(240)는 적정 길이를 갖으면서 평행하도록 구비되는 한 쌍의 프레임 사이에 다수개의 롤러가 적정 간격을 갖도록 배열되며 소정 위치에 각각의 롤러를 일률적으로 구동시키는 롤러 구동부(도면에 미도시)가 구비된다.
여기서, 상기 반입 컨베이어(240)는 롤러 구동식으로 마련하여 기판(S)과의 접촉 면적이 작음에 따라 기판(S) 바닥면이 손상되는 것을 방지한다.
그리고 상기 반입 컨베이어(240)에는 기판(S)의 위치를 정지시키는 제2 스토퍼(242)가 구비되고 그 제2 스토퍼(242)가 상기 하부 로드락 챔버(124)와 근접한 말단에서 기판(S)의 길이반큼 후방으로 이격된 위치에 구비된다.
상기 제2 스토퍼(242)는 상기 제2 스토퍼(242)에서 전방에 위치된 기판(S)의 길이만큼 후방 위치에서 상기 전방 기판(S)의 존재 여부에 따라 전방 기판(S)이 존재한다고 신호가 출력되면 후방에 구비되는 기판(S)을 정지시켜 대기하도록 하는 기능을 한다.
여기서, 상기 제2 스토퍼(242)는 앞선 실시예서의 스토퍼와 동일한 구조로 형성되므로 상세한 설명은 생략한다.
그리고 상기 제2 스토퍼(242)는 제2 검출부(도면에 미도시)에 의해 각각 작동되되 상기 제2 검출부에서 기판(S)의 존재한다고 검출되면 그 출력 신호를 제2 스토퍼(242)에 각각 송신하여 상기 제2 스토퍼(242)를 작동시킨다.
상기 제2 검출부는 도면에는 도시하지 않았지만 레이저 변위 센서로 상기 기판(S)의 하부에서 그 기판(S)의 선단을 통해 유무를 감지하여 기판(S)의 존재 여부에 따른 신호를 출력함에 따라 상기 기판(S)이 존재함으로 검출되면 제2 스토퍼(242)를 작동시키는 기능을 한다.
여기서, 상기 제2 검출부는 그 일측면에 발광부와 수광부가 일체로 형성되며 상기 발광부에서 빛이 발광되어 그 발광된 빛이 기판(S)이 존재하면 굴절되어 수광부에 수광되고 그 수광 신호를 출력한다. 그리고 상기 기판(S)이 존재하지 않으면 발광부에서 발광된 빛이 수광부에 수광되지 않고 이때, 빛이 수광되지 않았다는 신호를 출력한다.
한편, 상기 제2 검출부는 제어부와 전기적으로 연결되되 상기 기판(S)의 존재 여부에 따라 이 기판(S)이 존재한다고 검출되면 반입 컨베이어(240)의 작동 및 롤러 구동부를 제어부에 의해 제어하여 롤러의 회동 속도 제어에 따라 기판(S)이 제2 스토퍼(242)에 근접하면 롤러를 저속으로 회전시켜 충돌에 의해 손상되는 것을 방지한다.
즉, 상기 제어부는 상기 기판(S)이 제2 검출부에 의해 검출되면 상기 제2 검출부의 출력 신호에 근거하여 제2 스토퍼(242)가 작동되어 기판(S)을 정지시킬 수 있도록 제어한다.
상기 반출 컨베이어(250)는 적정 길이를 갖으면서 평행하도록 구비되는 한 쌍의 프레임 사이에 다수개의 롤러가 적정 간격을 갖도록 배열되며 소정 위치에 각각의 롤러를 일률적으로 구동시키는 롤러 구동부가 구비된다.
여기서, 상기 반출 컨베이어(250)를 롤러 구동식으로 마련하여 기판(S)과의 접촉 면적이 작음에 따라 기판(S) 바닥면이 손상되는 것을 방지한다.
그리고 상기 반입 컨베이어(240)와는 달리 반출 컨베이어(250)의 앞단에는 어라이너가 구비되지 않는다.
상기 반입 컨베이어(240)의 후단에는 기판(S)의 위치를 상부 로드락 챔버(222) 위치로 이동시키는 승강 컨베이어(260)가 마련된다.
상기 승강 컨베이어(260)는 적정 길이를 갖으면서 평행하도록 구비되는 한 쌍의 프레임 사이에 다수개의 롤러가 적정 간격을 갖도록 배열되며 소정 위치에 각각의 롤러를 일률적으로 구동시키는 롤러 구동부가 구비된다.
그리고 상기 승강 컨베이어(260)를 롤러 구동식으로 마련하여 기판(S)과의 접촉 면적이 작음에 따라 기판(S) 바닥면이 손상되는 것을 방지한다.
그리고 상기 승강 컨베이어(260)는 상기 반입 컨베이어(240)의 후단에 구비되어 반입 컨베이어(240)에 위치되는 기판(S)을 상부 로드락 챔버(122)로 이동시킬 수 있게 승강하는 기능을 하며, 최초 상기 반입 컨베이어(240)와 동일 높이에 구비되되 상기 반입 컨베이어(240)에 구비되는 롤러에 승강 컨베이어(260)의 롤러가 서로 간섭하지 않도록 개재된다.
그리고 상기 승강 컨베이어(160)의 양측 프레임 후단에는 상기 기판(S)의 이 동 위치를 제한하는 제3 스토퍼(262)가 구비된다.
상기 제3 스토퍼(262)는 제3 검출부(도면에 미도시)에 의해 작동되되 상기 제3 검출부에서 기판(S)의 존재한다고 검출되면 그 출력 신호를 제3 스토퍼(262)에 송신하고 그 송신된 신호에 의해 상기 제3 스토퍼(262)가 작동한다.
여기서, 상기 제3 스토퍼(262)의 구조와 기능은 제2 스토퍼(242)와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
상기 제3 검출부는 도면에는 도시하지 않았지만 레이저 변위 센서로 상기 기판(S)의 하측에서 그 기판(S)의 유무를 감지하여 그 결과를 신호로 출력하는 기능을 하며 제2 검출부와 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.
한편, 상기 제3 검출부는 제어부에 의해 제어되며 전기적으로 연결되어 상기 기판(S)의 존재 여부에 따라 이 기판(S)이 존재한다고 검출되면 제3 스토퍼(262)의 동작 여부와 상부 로드락 챔버(222)로의 승강 컨베이어(260)를 상하 방향으로 승강시키는 승강수단(268)을 제어한다.
그리고 상기 승강 컨베이어(260)의 양측 프레임 저면 중심부마다 승강수단(268)이 각각 구비된다.
즉, 상기 기판(S)을 상부 로드락 챔버(222)의 내부에 구비되는 수평이동수단(230)과 동일한 높이로 이동시킬 수 있도록 승강수단(268)에 의해 승강시키는 기능을 한다. 그리고 상기 승강수단(268)은 제3 스토퍼(262) 및 제3 검출부에 의한 검출 신호로 제어부에 의해 제어된다.
또한, 상기 승강수단(268)은 앞선 실시예의 그것과 동일한 구조와 기능을 하 므로 상세한 설명은 생략한다.
그리고 상기 승강 컨베이어(260)에는 상부 로드락 챔버(222)에 반입되기 전 기판(S)을 정렬시키는 어라이너가 더 구비되며, 상기 어라이너는 앞선 실시예에서 승강 컨베이어에 구비되는 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.
그러므로 본 실시예의 평판표시소자 제조장치의 기판 반입 및 반출 공정은 도 14a에 도시된 바와 같이 우선, 상기 반입 컨베이어(240)의 롤러에 의해 순차적으로 기판(S1)과 기판(S2)이 이송되어 그 중 기판(S1)이 반입 컨베이어(240)의 후미부에 구비되는 제3 검출부가 이를 감지하여 신호를 제어부로 출력하면 상기 제어부는 출력 신호에 따라 제3 스토퍼(262)를 작동시켜 기판(S1)을 정지시킨다.
그리고 상기 기판(S2)은 반입 컨베이어(240)의 후단에서 이격된 후미부 하측에 구비되는 제2 검출부가 이를 감지하여 출력 신호를 제어부로 출력하면 상기 제어부는 출력 신호에 따라 제2 스토퍼(242)를 작동시켜 반입 컨베이어(240)가 정지되면서 기판(S2) 또한 정지되고 대기 상태가 된다.
다음으로, 도 14b를 설명하면, 상기 승강 컨베이어(260) 상에 정렬된 기판(S1)은 이 승강 컨베이어(260)를 승강시키는 승강수단(268)에 의해 상기 기판(S1)을 상부 로드락 챔버(222) 높이까지 상승시킨다.
그리고 상기 승강 컨베이어(260)에 안착된 기판(S1)을 그 승강 컨베이어(260)에 구비되는 어라이너에 의해 정렬시킨다.
이때, 상기 제2 스토퍼(242)에 의해 정지된 기판(S2)은 대기 상태를 유지한다.
그 다음으로, 도 14c를 설명하면, 상기 승강 컨베이어(260)에 위치된 기판(S1)은 그 승강 컨베이어(260)의 롤러 구동부의 구동에 의해 상부 로드락 챔버(222) 내부로 반입되고 상기 승강 컨베이어(260)가 승강수단(268)에 의해 하강한다.
그 다음으로, 도 14d를 설명하면, 상기 승강 컨베이어(260)가 반입 컨베이어(240)과 동일 높이로 하강한 다음 상기 상부 로드락 챔버(222) 내부에 반입된 기판(S1)은 반송 챔버(226)의 내부에 구비되는 반송로봇(도면에 미도시)에 의해 공정 챔버 내부로 이동되고 공정 처리한다.
그리고 반입하기 위해 대기중인 기판(S2)을 반입 컨베이어(240)의 롤러 구동부의 구동에 의해 승강 컨베이어(260) 방향으로 이동하다 제3 검출부가 이를 감지하여 신호를 제어부로 출력하면 상기 제어부는 출력 신호에 따라 제3 스토퍼(262)를 작동시켜 기판(S2)을 정지시킨다.
그리고 상기 승강 컨베이어(260) 상에 정렬된 기판(S2)은 이 승강 컨베이어(260)를 승강시키는 승강수단(268)에 의해 상기 기판(S1)을 상부 로드락 챔버(222) 높이까지 상승된다.
그리고 상기 기판(S3)은 반입 컨베이어(240)의 후단에서 이격된 후미부 하측에 구비되는 제2 검출부가 이를 감지하여 출력 신호를 제어부로 출력하면 상기 제어부는 출력 신호에 따라 제2 스토퍼(242)를 작동시켜 반입 컨베이어(240)가 정지되면서 기판(S3) 또한 정지되고 대기 상태가 된다.
그 다음으로, 도 14e를 설명하면, 상기 기판(S2)이 승강 컨베이어(260)의 롤러 구동부의 구동에 의해 상부 로드락 챔버(222)의 내부로 반입된다.
그리고 공정 완료된 기판(S1)이 반송 챔버(226)의 내부에 구비되는 반송로봇(도면에 미도시)에 의해 하부 로드락 챔버(224)로 반입된다.
그 다음으로, 도 14f를 설명하면, 공정 완료된 기판(S1)은 하부 로드락 챔버(224) 내부에 구비된 수평이동수단(230)의 롤러 구동부 구동에 의해 반출 컨베이어(250)로 반출된다.
그리고 하강된 승강 컨베이어(260)에 반입 컨베이어(240)의 롤러 구동부 구동에 의해 그 승강 컨베이어(260) 상에 기판(S3)이 제3 스토퍼(262)에 의해 정지된다.
그 후, 공정 처리할 기판(S4)은 제2 스토퍼(242)에 의해 대기 상태를 유지한다.
그 후, 앞서 설명한 동일한 방법으로 나머지 기판(S2 , S3 , S4 , S5)도 공정 처리 후 이동시킨다.
이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 상하로 적층된 로드락 챔버를 마련하되 클러스터 타입의 제조장치를 인라인 형태로 가져가면서 기판 공급 또한 인라인 형태로 실시되며 각각의 제조장치에 하부 로드락 챔버로 기판이 반입되고 상부 로드락 챔버로 반출되도록 하는 반입, 반출 컨베이어 중 상기 반출 컨베이어에 승강 컨베이어를 구비하여 공정 소요 시간이 단축되는 효과와 더불어 차지 공간이 축소되는 효과가 있다.

Claims (36)

  1. 로드락 챔버와, 반송 챔버와, 공정 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서,
    상기 로드락 챔버는, 2개인 복수개가 적층되어 각각 독립적으로 기능하는 적층형 로드락 챔버이고,
    상기 로드락 챔버에 기판을 반입 및 반출시키는 컨베이어 라인이 구비되되,
    상기 컨베이어 라인은,
    상기 로드락 챔버의 전방에서 기판을 연속으로 공급하는 반입 컨베이어;
    상기 반입 컨베이어에 의해 반입된 기판을 상기 로드락 챔버의 후방에서 수취하는 반출 컨베이어;
    상기 반입 컨베이어 또는 반출 컨베이어 중 선택되는 어느 하나의 소정 위치에 구비되어 상기 기판을 상부 로드락 챔버의 위치까지 이동시키는 승강 컨베이어;를 포함하며,
    상기 각각의 컨베이어는 다수개가 적정 간격으로 배열되는 롤러 타입으로, 다수개의 롤러를 일률적으로 구동시키는 롤러 구동부가 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 승강 컨베이어는,
    상기 반출 컨베이어에 구비되어 하부 로드락 챔버에 기판을 반입시키고, 상부 로드락 챔버에서 기판을 반출시키는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 승강 컨베이어는,
    상기 반입 컨베이어에 구비되어 상부 로드락 챔버에 기판을 반입시키고, 하부 로드락 챔버에서 기판을 반출시키는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 반입 컨베이어에는,
    상기 로드락 챔버와 근접한 말단에 구비되어 반입될 선발 기판의 위치를 제한할 수 있도록 제2 스토퍼가 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 반입 컨베이어에는,
    상기 로드락 챔버와 근접한 말단에서 기판의 길이만큼 전방으로 이격된 위치에 구비되어 기판의 대기 위치를 제한할 수 있도록 제2 스토퍼가 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  6. 삭제
  7. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 제2 스토퍼는,
    상기 기판의 높이보다 더 높은 위치까지 수직 상승하여 기판을 정지시키는 승강식 스토퍼인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  8. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 제2 스토퍼는,
    상기 기판의 진행 방향과 평행한 상태로 위치되며 기판 진입시 대향되는 내측 방향으로 회동되어 기판을 정지시키는 레버식 스토퍼인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  9. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 제2 스토퍼에는,
    이 제2 스토퍼와 연결되며 상기 제2 스토퍼의 하측에서 상기 기판의 유무를 감지하여 기판의 존재 여부에 따른 신호를 출력하는 제2 검출부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 제2 검출부는,
    발광부와 수광부가 일체로 형성되되 빛이 발광부에서 발광되어 기판이 존재하면 굴절됨과 동시에 수광부에 수광되고 신호를 출력하는 레이저 변위 센서인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 제2 검출부와 연결되는 제어부가 더 마련되되 상기 제어부는,
    상기 제2 검출부에서 출력하는 신호를 받아서 제2 스토퍼의 동작 여부를 제어하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 로드락 챔버측에 구비되는 반입 컨베이어 말단에 기판을 정렬하는 어라이너(Aligner)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 어라이너는,
    상기 롤러 양단에 구비되는 프레임에 각각 적정 간격을 갖도록 배열 설치되어 일률적으로 구동되며 상기 프레임과 평행한 상태에서 내측 방향으로 회동되는 회동부재와, 상기 회동부재의 선단에 결합되어 기판 양측과 접촉되는 연성의 접촉부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  14. 삭제
  15. 제 1항에 있어서, 상기 승강 컨베이어는,
    상기 반출 컨베이어와 동일 높이에 구비되며 상기 승강 컨베이어의 롤러는 상기 반출 컨베이어의 롤러와 서로 간섭하지 않도록 개재되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 승강 컨베이어에는,
    반출될 기판 중 로드락 챔버와 근접한 말단에서 기판의 길이만큼 이격된 후방인 위치에 마련되며 상기 선발 기판의 존재 여부에 따라 선발 기판이 존재하면 후발 기판의 이동을 제한하는 제3 스토퍼가 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 제3 스토퍼는,
    상기 기판의 높이보다 더 높은 위치까지 수직 상승하는 승강식으로 기판 이동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  18. 제 16항에 있어서, 상기 제3 스토퍼는,
    상기 기판의 진행 방향과 평행한 상태로 위치되어 있다가 기판 진입시 대향되는 내측 방향으로 회동하는 레버식으로 기판 이동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  19. 제 17항 또는 제 18항에 있어서, 상기 제3 스토퍼에는,
    이 제3 스토퍼와 연결되며 상기 제3 스토퍼의 하측에서 상기 기판의 유무를 감지하여 기판의 존재 여부에 따른 신호를 출력하는 제3 검출부가 더 마련되는 것 을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  20. 제 19항에 있어서, 상기 제3 검출부는,
    발광부와 수광부가 일체로 형성되되 빛이 발광부에서 발광되어 기판이 존재하면 굴절됨과 동시에 수광부에 수광되고 신호를 출력하는 레이저 변위 센서인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  21. 제 20항에 있어서,
    상기 제3 검출부와 전기적으로 연결되는 제어부가 더 마련되되 상기 제어부는,
    상기 제3 검출부에서 출력하는 신호를 받아서 제3 스토퍼의 동작 여부와 상부 로드락 챔버로의 기판 승강 여부를 제어하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  22. 제 1항에 있어서, 상기 승강 컨베이어에는,
    그 양측에 구비되는 롤러 고정용 프레임의 중심부에 각각 구비되어 그 승강 컨베이어를 적정 높이로 승강시키는 승강수단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  23. 제 22항에 있어서, 상기 승강수단은,
    직선왕복 운동하는 실린더인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  24. 제 22항에 있어서, 상기 승강수단은,
    회전운동을 직선왕복 운동으로 변환시키는 구동모터와 스크류인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  25. 제 22항에 있어서,
    상기 승강 컨베이어에 구비되는 롤러의 양단을 고정시키는 프레임과 평행하도록 각각 구비되며, 내외측 방향으로 수평 이동하여 상부 로드락 챔버로 반입하거나 반출한 기판을 정렬하는 어라이너가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  26. 제 25항에 있어서, 상기 어라이너는,
    상기 프레임과 평행된 상태로 그 양측에 구비되며 기판 정렬시 내측 방향으로 이동되어 기판의 양측면에 접하는 안내부와, 상기 안내부의 외측벽 적어도 한 지점에 결합되어 그 안내부를 내외측 방향으로 구동시키는 구동부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  27. 제 1항에 있어서,
    상기 상하부 로드락 챔버의 상호 대각 위치 측벽에는, 각각 기판 출입구가 형성되고, 그 기판 출입구를 개폐할 수 있도록 게이트 밸브(Gate Valve)가 각각 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  28. 제 27항에 있어서, 상기 로드락 챔버는,
    그 상하 내부에서 상기 반입 컨베이어와 반출 컨베이어의 사이에 개재되어 공정 처리 전 기판을 내부로 전달받거나 공정 처리 후 기판을 외부로 전달하기 위해 기판을 이동시키는 수평이동수단이 각각 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  29. 제 28항에 있어서, 상기 수평이동수단은,
    롤러식 컨베이어인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  30. 제 29항에 있어서, 상기 수평이동수단에는,
    다수개가 배열되는 롤러 사이마다 다수개 구비되되 로드락 챔버에 기판의 반입 또는 반출시 적정 높이까지 기판을 승강시키는 리프트 핀(Lift pin)이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  31. 제 30항에 있어서,
    상기 수평이동수단 중 상기 기판이 진입하는 방향 말단에는 기판의 위치를 제한하는 제1 스토퍼(Stopper)가 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  32. 제 31항에 있어서, 상기 제1 스토퍼는,
    상기 기판의 높이보다 더 높은 위치까지 수직 상승하여 기판을 정지시키는 승강식 스토퍼인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  33. 제 31항에 있어서, 상기 제1 스토퍼는,
    상기 기판의 진행 방향과 평행한 상태로 위치되며 기판 진입시 대향되는 내측 방향으로 회동되어 기판을 정지시키는 레버식 스토퍼인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  34. 제 32항 또는 제 33항에 있어서, 상기 제1 스토퍼에는,
    이 제1 스토퍼와 연결되며 상기 제1 스토퍼의 하측에서 상기 기판의 유무를 감지하여 기판의 존재 여부에 따른 신호를 출력하는 제1 검출부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  35. 제 34항에 있어서, 상기 제1 검출부는,
    발광부와 수광부가 일체로 형성되되 빛이 발광부에서 발광되어 기판이 존재하면 굴절됨과 동시에 수광부에 수광되고 신호를 출력하는 레이저 변위 센서인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  36. 제 35항에 있어서,
    상기 제1 검출부와 연결되어 이 제1 검출부에서 출력하는 신호를 받아서 제1 스토퍼의 동작 여부를 제어하는 제어부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101289063B1 (ko) * 2005-12-29 2013-07-22 엘지디스플레이 주식회사 액정표시소자의 진공장치
KR100857060B1 (ko) * 2007-04-23 2008-09-05 주식회사 디엠에스 기판 이송용 무빙 유닛
KR101048297B1 (ko) * 2009-06-01 2011-07-13 주식회사 테스 인라인 기판 처리시스템 및 공정챔버
JP5456711B2 (ja) * 2011-03-03 2014-04-02 住友重機械工業株式会社 成膜装置
KR101676422B1 (ko) * 2013-04-23 2016-11-15 주식회사 엘지화학 캐리어 공급 장치 및 이를 포함하는 유리판 연마 시스템

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62218312A (ja) 1986-03-19 1987-09-25 Fujitsu Ltd 仕分けトラツク積載装置
US5152390A (en) 1990-12-04 1992-10-06 Nitto Kogyo Kabushiki Kaisha Automatic chip separating and feeding apparatus
JP2000323551A (ja) * 1999-05-11 2000-11-24 Anelva Corp 基板処理装置
KR20030096753A (ko) 2002-06-17 2003-12-31 윤석규 샌드위치패널용 충전재 팩킹 시스템

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62218312A (ja) 1986-03-19 1987-09-25 Fujitsu Ltd 仕分けトラツク積載装置
US5152390A (en) 1990-12-04 1992-10-06 Nitto Kogyo Kabushiki Kaisha Automatic chip separating and feeding apparatus
JP2000323551A (ja) * 1999-05-11 2000-11-24 Anelva Corp 基板処理装置
KR20030096753A (ko) 2002-06-17 2003-12-31 윤석규 샌드위치패널용 충전재 팩킹 시스템

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