KR100957562B1 - 버퍼 트레이의 피치 조절 장치 및 버퍼 트레이를 이용하여반도체 장치들을 이송하는 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 반도체 장치들(1)을 수납하기 위한 다수의 단위 버퍼 트레이들(22)을 포함하는 버퍼 트레이(20)의 피치 조절 장치(100)에 있어서,홀(104)이 형성된 베이스 플레이트(102);상기 베이스 플레이트(102)의 상부면 상에 배치되며, 상기 버퍼 트레이(20)의 피치 방향으로 상기 단위 버퍼 트레이들(22)을 안내하는 가이드 부재;상기 버퍼 트레이(20)의 피치 방향에 대하여 수직하는 방향으로 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(102)의 하부면 상에 배치되며, 상기 단위 버퍼 트레이들(22) 사이의 피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 다수의 궤도들을 갖는 피치 조절 플레이트(120); 및상기 궤도들을 따라 이동 가능하도록 배치되며 상기 피치 조절 플레이트(120)의 이동에 의해 상기 단위 버퍼 트레이들(22) 사이의 피치가 조절되도록 상기 베이스 플레이트(102)의 홀(104)을 통해 상기 단위 버퍼 트레이들(22)에 각각 연결된 다수의 연결 부재들(130)을 포함하는 버퍼 트레이의 피치 조절 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가이드 부재는 상기 베이스 플레이트(102)의 상부면 상에 배치되어 상기 피치 방향으로 연장하는 레일(110)과, 상기 레일(110)에 이동 가능하도록 결합되며 상기 단위 버퍼 트레이들(22)을 지지하는 다수의 볼 블록들(112)을 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼 트레이의 피치 조절 장치.
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- 제1항에 있어서, 상기 피치 조절 플레이트(120)에는 상기 궤도들로서 기능하는 다수의 슬롯들(122)이 형성되어 있으며, 상기 연결 부재(130)의 단부들은 상기 슬롯들(122) 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 버퍼 트레이의 피치 조절 장치.
- 제5항에 있어서, 상기 연결 부재들(130)은 단위 버퍼 트레이들(22)로부터 연장하는 연결축들(132)과, 상기 연결축들(132)의 단부들에 결합되어 슬롯들(122)의 내측면들에 접하는 롤러들(134)을 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼 트레이의 피치 조절 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 피치 조절 플레이트(420) 상에는 상기 궤도들로서 기능하는 다수의 레일들(422)이 배치되어 있고, 상기 레일들(422)에는 다수의 볼 블록들(424)이 결합되며, 상기 단위 버퍼 트레이들(22)은 상기 연결 부재들(130)에 의해 상기 볼 블록들(424)에 연결되는 것을 특징으로 하는 버퍼 트레이의 피치 조절 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 피치 조절 플레이트(120)를 상기 피치 방향에 대하여 수직하는 방향으로 이동시키기 위한 구동부(140)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼 트레이의 피치 조절 장치.
- 제1항에 있어서, 각각의 단위 버퍼 트레이들(22)은 일렬로 배치되어 반도체 장치들(1)을 수납하기 위한 다수의 소켓들(24)을 가지며, 상기 피치 방향은 상기 소켓들(24)의 열 방향에 대하여 수직하는 것을 특징으로 하는 버퍼 트레이의 피치 조절 장치.
- 제1항에 있어서, 각각의 단위 버퍼 트레이들(52)은 다수의 열들로 배치되어 반도체 장치들(1)을 수납하기 위한 다수의 소켓들(54a,54b)을 가지며, 상기 피치 방향은 상기 소켓들(54a,54b))의 열 방향에 대하여 수직하는 것을 특징으로 하는 버퍼 트레이의 피치 조절 장치.
- 반도체 장치들(1)을 테스트하기 위하여 사용되는 제1 및 제2 트레이들(14, 12) 사이에서 상기 반도체 장치들(1)을 이송하는 장치(10)에 있어서,상기 반도체 장치들(1)을 수납하기 위한 다수의 단위 버퍼 트레이들(22)을 포함하는 버퍼 트레이(20);상기 단위 버퍼 트레이들(22) 사이의 행 방향 X-피치를 조절하기 위한 피치 조절부(100); 및상기 제1 트레이(14)로부터 상기 반도체 장치들(1)을 상기 버퍼 트레이(20)로 이송하기 위한 피커 시스템(30)을 포함하며,상기 피치 조절부(100)는,홀(104)이 형성된 베이스 플레이트(102);상기 베이스 플레이트(102)의 상부면 상에 배치되며, 상기 버퍼 트레이(20)의 행 방향으로 상기 단위 버퍼 트레이들(22)을 안내하는 가이드 부재;상기 버퍼 트레이(20)의 열 방향으로 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(102)의 하부면 상에 배치되며, 상기 X-피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 다수의 궤도들을 갖는 피치 조절 플레이트(120); 및상기 궤도들을 따라 이동 가능하도록 배치되며 상기 피치 조절 플레이트(120)의 이동에 의해 상기 X-피치가 조절되도록 상기 베이스 플레이트(102)의 홀(104)을 통해 상기 단위 버퍼 트레이들(22)에 각각 연결된 다수의 연결 부재들(130)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치들의 이송 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 피커 시스템(30)은,다수의 행들 및 열들로 배치되어 상기 반도체 장치들을 픽업하기 위한 다수의 피커들(202); 및상기 피커들(202)을 상기 제1 트레이(14) 및 버퍼 트레이(20) 사이에서 이동시키기 위한 피커 이송부(32)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치들의 이송 장치.
- 제12항에 있어서, 상기 피커 시스템(30)의 행 방향 X-피치 및 열 방향 Y-피치는 상기 제1 트레이(14)의 행 방향 X-피치 및 열 방향 Y-피치와 동일한 것을 특징으로 하는 반도체 장치들의 이송 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 버퍼 트레이(20)부터 상기 반도체 장치들(1)을 상기 제2 트레이(12)로 이송하기 위한 제2 피커 시스템(40)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치들의 이송 장치.
- 제14항에 있어서, 상기 제2 피커 시스템(40)은 다수의 행들 및 열들로 배치되어 상기 반도체 장치들(1)을 픽업하기 위한 다수의 피커들을 포함하며,상기 제2 피커 시스템(40)의 X-피치와 Y-피치는 상기 제2 트레이(12)의 X-피치와 Y-피치와 동일하고,상기 버퍼 트레이(20)의 Y-피치는 상기 제2 트레이(12)의 Y-피치와 동일한 것을 특징으로 하는 반도체 장치들의 이송 장치.
- 제14항에 있어서, 상기 제1 및 제2 트레이들(14,12) 사이에서 상기 버퍼 트레이(20)를 이송하기 위한 버퍼 이송부(26)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치들의 이송 장치.
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