KR100956853B1 - 3차원 형상의 고속 형상측정장치 및 방법 - Google Patents
3차원 형상의 고속 형상측정장치 및 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (6)
- 간섭계를 이용한 3차원 물체의 형상측정장치에 있어서,광을 출사하는 광원부;상기 광원부의 광을 분광하는 분광기;상기 분광기에서 분광된 광을 기준광으로 반사하는 기준미러;상기 기준미러를 이동하도록 구동하는 압전구동기;상기 분광기에서 분광된 광 중 상기 물체를 통해서 반사된 반사광과 상기 기준광을 간섭시켜 복수개의 간섭무늬를 획득하는 촬상소자; 및상기 획득된 복수개의 간섭무늬로부터 상기 물체의 형상을 측정하고 상기 구동기에 기준미러구동신호를 출력하고, 상기 압전구동기가 구동된 후 세틀링타임보다 상대적으로 짧은 맥시멈오버슈트가 발생하기 이전에 최초의 안정상태구간(ds)에 도달한 시점에 해당하는 영상캡처타임(도 4의 t1)에서 영상캡처명령을 출력하도록 하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 고속 형상측정장치.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,상기 촬상소자는CCD카메라인 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 고속 형상측정장치.
- 삭제
- 압전구동기로 기준미러를 구동시켜 기준광을 획득하는 간섭계를 이용한 3차원 물체의 형상측정방법에 있어서,광원으로부터 광을 출사하는 단계;상기 출사된 광을 분광하여 기준광과 상기 물체로부터 반사된 반사광으로 분리하는 단계; 및상기 기준광과 반사광을 간섭시켜 복수개의 간섭무늬를 획득하는 단계를 포함하며,상기 간섭무늬 획득단계는,상기 기준미러를 이동시키는 상기 압전구동기의 구동시간을 세틀링타임보다 상대적으로 짧은 맥시멈오버슈트가 발생하기 이전에 최초의 안정상태구간(ds)에 도달한 시점에 해당하는 영상캡처타임(도 4의 t1)에서 영상캡처명령을 출력하는 단계를 반복수행하여 복수개의 간섭무늬를 획득하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 고속 형상측정방법.
- 삭제
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