KR100939205B1 - 표시소자의 제조장치 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 표시소자의 제조장치 및 그 방법에 관한 것으로, 개방가능하게 상판과 하판이 결합되는 챔버; 상기 챔버 내에 로드되며 상기 챔버 내에서 드라이 필름 레지스트가 형성될 기판; 상기 드라이 필름 레지스트를 열과 압력에 의해 상기 기판 상에 라미네이팅하는 라미네이터; 상기 챔버의 상판에 설치되어 상기 기판 상에 1차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트을 상기 기판 상에 2차 접합하는 가압부; 및 상기 가압부와 인접되게 상기 상판에 설치되어 상기 기판 상에 2차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 절단부를 구비하며, 상기 드라이 필름 레지스트는 상기 챔버의 개방구를 가로질러 상기 기판 상에 정렬되며 두 방향 이상에서 장력이 가해진다.

Description

표시소자의 제조장치 및 그 방법{Apparatus And Method Of Fabricating Display Device}

도 1은 종래 표시소자의 제조장치를 나타내는 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시된 제조장치를 이용하여 형성된 DFR(Dry Film Resist)을 나타내는 단면도이다.

도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 표시소자의 제조장치를 나타내는 단면도이다.

도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법을 나타내는 단면도이다.

도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법을 나타내는 단면도이다.

도 6은 본 발명에 따른 제조장치를 이용하여 형성된 액정표시소자를 나타내는 사시도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

2,102 : 기판 4,104 : DFR(Dry Film Resist)

6,106 : DFR 롤러 8,108 : 이형롤러

10,110 : 라미네이터 12,112 : 보호필름

14,114 : 보호막 16 : 투명전도성물질

18 : 접촉홀 130 : 진공척

132 : 실린더 136 : 장력유지부

138 : 상판 140 : 하판

142 : 절단부 144 : 패킹용 패드

150 : 스탬프

본 발명은 표시소자의 제조장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 드라이 필름 레지스트(Dry Film Resist 이하 "DFR"이라 함)과 기판의 접합특성을 향상시킬 수 있는 표시소자의 제조장치 및 그 방법에 관한 것이다.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시소자들이 개발되고 있다. 평판 표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시소자(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로 루미네센스(Electro-luminescence : EL) 표시소자 등이 있다.

이러한 평판표시소자의 여러 제조 과정에서는 여러 가지 이물질 및 기판 파 편 등의 고착성 입자나 이물질 등이 기판에 달라붙어 기판을 오염시키는 경우가 종종 발생한다. 이러한 이물질에 의한 불량을 감소시키기 위하여 평판표시소자의 제조 공정 중에는 각 단계 별로 기판 세정 작업이 추가되게 된다.

이러한 기판 세정작업을 평판표시소자 중 LCD를 예를 들어 설명하기로 한다.

LCD는 소형 및 박형화와 저 전력 소모의 장점을 가지며, 노트북 PC, 사무 자동화 기기, 오디오/비디오 기기 등으로 이용되고 있다. 특히, 스위치 소자로서 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 이용되는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시장치는 동적인 이미지를 표시하기에 적합하다.

액정표시소자는 화소들이 게이트라인들과 데이터라인들의 교차부들 각각에 배열되어진 화소매트릭스(Picture Element Matrix 또는 Pixel Matrix)에 텔레비전 신호와 같은 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 화소들 각각은 데이터라인으로부터의 데이터신호의 전압레벨에 따라 투과 광량을 조절하는 액정셀을 포함한다. TFT는 게이트라인과 데이터라인들의 교차부에 설치되어 게이트라인으로부터의 스캔신호에 응답하여 액정셀 쪽으로 전송될 데이터신호를 절환하게 된다.

액정표시소자의 제조공정은 기판 세정과, 기판 패터닝, 배향막형성, 기판합착/액정주입, 실장 공정 및 테스트 공정으로 나뉘어져 제작된다.

이와 같은 액정표시소자의 제조공정 중 기판세정 공정에서는 세정제를 이용하여 상/하부기판의 패터닝 전후에 기판들에 잔존하는 이물질을 제거하게 된다.

기판 패터닝 공정에서는 상부기판의 패터닝과 하부기판의 패터닝으로 나뉘어진다. 상부기판에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성된다. 하부기 판에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선이 형성되고, 데이터라인과 게이트라인의 교차부에 TFT가 형성된다. 데이터라인과 게이트라인 사이의 화소영역에는 화소전극이 형성된다. 한편, 기판 패터닝공정은 증착공정, 포토레지스트 도포공정, 현상공정, 노광공정 및 식각공정을 포함한다.

기판합착/액정주입 공정에서는 하부기판 상에 배향막을 도포하고 러빙하는 공정에 이어서, 실(Seal)을 이용한 상/하부기판 합착공정, 액정주입, 주입구 봉지 공정이 순차적으로 이루어진다. 여기서, 실재는 액정주입 공간과 액정영역을 한정하는 역할을 겸한다.

한편, 기판 패터닝공정에서 사용되는 액체의 포토레지스트는 기판 상에 형성하기 위해 스핀코팅공정, 베이킹공정, 기판 측면 또는 배면에 형성된 포토레지스트제거공정이 필요하여 공정이 복잡할 뿐만 아니라 스핀 코팅공정은 대면적의 기판에는 적용되기 어려운 문제점이 있다.

이러한 문제점을 해결하기 위해 최근에는 공정을 단순화하는 DFR이 검토되고 있다.

도 1은 종래 DFR을 기판 상에 형성하기 위한 라미네이팅장치를 나타내는 사시도이다.

도 1을 참조하면, 종래 라미네이팅 장치는 DFR롤러(6)와, DFR(4)과 일체화된 보호필름(12)을 이형하기 위한 이형롤러(8)와, DRF롤러(6)에서 이형된 DFR(4)을 기판(2) 상에 라미네이팅하기 위한 제1 및 제2 라미네이터(10a,10b)를 구비한다.

DFR롤러(6)에는 DFR(4)과, DFR(4)을 보호하기 위해 DFR(4)과 일체화된 보호 필름(12)이 감겨 있다.

이형롤러(8)는 DFR롤러(6)의 회전방향과 다른 회전방향으로 DFR롤러(6)와 연동되어 회전한다. 이러한 이형롤러(8)에는 DFR(4)과 일체화된 보호필름(12)이 분리되어 감기게 된다.

제1 및 제2 라미네이터(10a,10b)는 DFR(4)이 형성된 기판(2)을 사이에 두고 마주보도록 형성된다. 이 제1 및 제2 라미네이터(10a,10b)는 서로 반대방향으로 회전하여 기판(2) 상에 DFR(4)을 소정온도와 압력에서 라미네이팅하게 된다.

그러나, DFR(4)은 기판(2)에 형성된 패턴의 단차진 부분에서 라미네이팅방향에 따라 스텝 커버리지의 불량이 발생하는 문제점이 있다.

예를 들어, 도 2와 같이 화소전극을 형성하기 위해 접촉홀(18)을 포함하는 보호막(14) 상에 투명전도성물질(16)을 증착한 후 DFR(4)을 라미네이터(10)에 의해 가해지는 열과 압력을 이용하여 기판(2) 상에 라미네이팅하게 된다. 이 때, 패턴 사이즈가 상대적으로 작은 접촉홀(약 10㎛이하)과 대응되는 보호막(14) 상에 형성된 제1 방향으로 단차진 투명전도성물질(16)과 제2 방향으로 단차진 투명전도성물질(16) 중 어느 하나 상에 형성된 DFR(4)은 라미네이터(10)의 진행방향에 따라 DFR(4)이 밀려 접촉홀(18) 표면에 완전히 접합되지 못해 들뜸현상(A)이 발생된다. 이 들뜸현상으로 인해 DFR(4)의 현상공정시 DFR(4)과 투명전도성물질(16) 사이로 현상액이 침투되어 투명전도성물질(16)이 손상되는 문제점이 있다.

또한, 기판(2)의 면적이 커질수록 라미네이터(10)에 의해 기판(2)에 가해지는 열과 압력이 상대적으로 불균일해져 일측폭이 약 1000mm 이상의 대면적의 기판(2)에서는 DFR이 불균일하게 형성되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 DFR과 기판의 접합특성을 향상시킬 수 있는 표시소자의 제조장치 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 표시소자의 제조장치는 개방가능하게 상판과 하판이 결합되는 챔버; 상기 챔버 내에 로드되며 상기 챔버 내에서 드라이 필름 레지스트가 형성될 기판; 상기 드라이 필름 레지스트를 열과 압력에 의해 상기 기판 상에 라미네이팅하는 라미네이터; 상기 챔버의 상판에 설치되어 상기 기판 상에 1차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트을 상기 기판 상에 2차 접합하는 가압부; 및 상기 가압부와 인접되게 상기 상판에 설치되어 상기 기판 상에 2차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 절단부를 구비하며, 상기 드라이 필름 레지스트는 상기 챔버의 개방구를 가로질러 상기 기판 상에 정렬되며 두 방향 이상에서 장력이 가해진다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시소자의 제조장치는 드라이 필름 레지스트가 형성될 기판; 상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트를 상기 기판 상에 1차 접합하는 라미네이터; 상기 기판 상에 1차 접합된 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 절단부; 및 상기 기판 위에 배치되어 상하로 움직이고 상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트를 상기 기판 상에 2차 접합하는 스탬프를 구비한다.
본 발명의 실시예에 따른 표시소자의 제조방법은 개방된 상판과 하판 사이에 드라이 필름 레지스트를 로딩하는 단계와,
상기 상판과 하판을 폐쇄하여 상기 상판과 하판에 의해 마련된 공간을 진공화하는 단계와, 상기 하판 내의 기판을 상승시켜 상기 드라이 필름 레지스트와 기판을 1차 접합하는 단계와, 상기 상판과 하판을 분리한 후 상기 상판에 위치하는 가압부에 의한 열과 압력에 의해 상기 드라이 필름 레지스트와 기판을 2차 접합하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시소자의 제조방법은 라미네이터를 이용하여 드라이 필름 레지스트를 기판 상에 1차 접합하는 단계; 절단부를 이용하여 상기 기판 상에 1차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 단계; 및 상기 기판 위에 배치된 스탬프를 상하로 움직이고 상기 스탬프로부터 발생되는 열과 압력을 상기 드라이 필름 레지스터에 가하여 상기 기판 상에 상기 드라이 필름 레지스트를 2차 접합하는 단계를 포함한다.

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상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.

이하, 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 표시소자의 제조장치를 나타내는 단면도이다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 표시소자의 제조장치는 상판(138)과, 상판(138)과 대향하는 하판(140)과, 하판(140) 내에 위치하는 기판(102) 상에 DFR(104)을 접합하기 위한 롤러부(106,110)를 구비한다.

상판(138)에는 기판(102)과 DFR(104)을 압력을 이용하여 접합시키는 가압부(134)와, DFR(104)을 원하는 크기로 절단하기 위한 절단부(142)가 형성된다.

가압부(134)는 기판(102)에 1차 접합된 DFR(104)을 소정온도에서 소정압력으로 가압하여 기판(102)에 DFR(104)을 2차 접합하게 된다. 이 때, 가압부(134)에는 히팅코일 등의 열발생수단이 내장되어 있어 DFR(104)과 기판(104)의 접합효율을 향상시킨다.

절단부(142)는 실린더(132)에 의해 상승된 기판(102)에 의해 기판(102)과 1차 접합된 DFR(104)을 원하는 크기로 절단하게 된다.

하판(140)에는 DFR(104)이 형성될 기판(102)이 안착된 진공척(130)이 형성된다.

진공척(130)은 실린더(132)에 의해 상승 및 하강하여 진공척(130) 상에 안착된 기판(102)을 상하로 이동시키게 된다. 또한, 이 진공척(130) 내부에는 히팅코일 등의 열발생수단이 내장되어 기판(102)에 열을 공급하여 기판(102)과 DFR(104) 의 접합효율을 향상시키게 된다.

롤러부는 DFR(104)이 감겨있는 DFR롤러(106)와, DFR(104)을 라미네이팅하기 위한 라미네이터부(110)를 구비한다.

DFR롤러(106)에는 DFR(104)과, DFR(104)을 보호하기 위해 DFR(104)과 일체화된 보호필름이 감겨 있다.

라미네이터부(110)는 이형롤러(도시하지 않음)에 의해 보호필름이 제거된 DFR(104)을 사이에 두고 대향하는 제1 및 제2 라미네이터(110a,110b)를 포함한다. 이 제1 및 제2 라미네이터(110a,110b)는 서로 반대방향으로 회전하여 DFR(104)을 소정온도와 압력에서 라미네이팅하게 된다.

장력 유지부(136)는 라미네이터부(110)에 의해 라미네이터된 DFR(104)에 주름이 발생되지 않도록 DFR(104)을 고정시킨 후 소정방향으로 이동하게 된다. 즉, 상판(138)과 하판(140) 사이를 가로지르는 DFR(104)은 장력유지부(136)에 의해 두 방향 이상에서 장력이 가해지게 된다.

도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 액정표시소자의 제조장치를 이용한 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.

먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이 절단부(142)와 가압부(134)를 포함하는 상판(138)과, 기판(102)이 안착된 진공척(130)을 포함하는 하판(140)을 마련한다. 여기서, 기판(102)에는 패턴으로 형성되기 위한 패턴물질이 전면 형성되어 있다. 이 후, 라미네이터부(110)에 의해 라미네이터된 DFR(104)이 장력유지부(136)에 의해 고정되어 소정방향으로 이동하게 된다.

그런 다음, 상판(138)과 하판(140)이 도 4b에 도시된 바와 같이 패킹용 패드(144)에 의해 폐쇄되어 진공상태를 유지하게 된다. 이 후, 실린더(132)가 상승함에 따라 진공척(130)에 안착된 기판(102)도 상승하여 기판(102)과 DFR(104)이 합착된 상판(138)과 하판(140) 사이의 압력이 낮아진 상태에서 접합하게 된다. 이 때, 압력이 상대적으로 낮은 상태에서 기판(102)과 DFR(104)이 1차 접합됨으로써 기판(102)과 DFR(104) 사이의 기포 발생을 방지하게 되며, 진공척(130)이 상승하여 기판(102)이 이동하면서 DFR(104)과 기판(102)이 1차 접합됨으로써 DFR(104)은 그의 장력을 유지할 수 있다. 그런 다음, 절단부(142)를 이용하여 기판(102)에 1차 접합된 DFR(104)을 원하는 크기로 절단하게 된다. 이 때, 절단부(142)는 절단칼이 하강하여 DFR(104)을 절단하거나 DFR(104)에 레이저를 조사하여 DFR(104)을 절단하게 된다.

소정크기로 절단된 DFR(104)은 가압부(134)가 하강하고 기판(102)이 상승하면서 상/하 방향의 소정압력과 소정온도에서 가압되어 기판(102)에 2차 접합된다. 소정온도는 예를 들어 약 50~150℃이며, 소정압력은 예를 들어 약 1~50㎏/㎠이다.

도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법을 나타내는 단면도이다.

먼저, DFR롤러(도시하지 않음)의 회전에 의해 풀린 DFR(104)은 제1 및 제2 라미네이터(110a,110b)에 가해지는 압력과 열에 의해 기판(102) 상에 1차 접합된다. 그런 다음, 도 5a에 도시된 바와 같이 절단부(142)를 이용하여 기판(102)에 1차 접합된 DFR(104)을 원하는 크기로 절단하게 된다. 이 때, 절단부(142)는 절단 칼이 하강하여 DFR(104)을 절단하거나 DFR(104)에 레이저를 조사하여 DFR(104)을 절단하게 된다.

기판(102) 상에 원하는 크기로 절단된 DFR(104)은 소정온도에서 스탬프(150)에 의해 가해지는 소정압력에 의해 2차 접합하게 된다. 소정온도는 예를 들어 약 50~150℃이며, 소정압력은 예를 들어 약 1~50㎏/㎠이다.

이 스탬프(150)는 기판(102)과 동일면적을 갖도록 형성되어 한번에 DFR(104)을 가압하여 DFR(104)과 기판(102)이 2차 접합되게 한다. 또는 기판(102)보다 작은 면적을 갖도록 형성되어 다수번 DFR(104)을 가압하여 DFR(104)과 기판(102)이 2차 접합되게 한다. 이 때, 스탬프(150)는 상하로 움직여 DFR(104)을 가압한 후 좌우로 이동하여 다른 영역의 DFR(104)을 가압한다. 또는 작업효율을 향상시키기 위해 기판(102)에 형성된 DFR(104)을 다수개의 영역으로 구획하여 해당영역과 대응되는 각각의 스탬프(150)를 DFR(104)에 가압하여 기판(102)과 DFR(104)을 2차 접합하게 된다. 이에 따라, 도 5c에 도시된 바와 같이 기판(102)과 DFR(104)사이에 빈공간이 없이 기판(102) 상에 DFR(104)이 접합된다.

한편, 스탬프(150)는 열을 전도하는 금속물질과, 금속물질의 표면을 감싸는 고무판으로 형성되어 있다. 이에 따라, 스탬프(150)를 통해 전달되는 열에 의해 기판(102)과 DFR(104)의 접합특성이 향상된다.

도 6은 본 발명의 제1 및 제2 실시 예에 따른 제조장치가 적용되어 형성된 액정표시패널을 나타내는 사시도이다.

도 6에 도시된 액정표시패널은 액정(86)을 사이에 두고 합착된 컬러필터 기 판(81)과 TFT 기판(91)을 구비한다.

액정(86)은 자신에게 인가된 전계에 응답하여 회전됨으로써 TFT 기판(91)을 경유하여 입사되는 빛의 투과량을 조절하게 된다.

컬러필터 기판(81)은 상부기판(80a)의 배면 상에 형성되는 컬러필터(82) 및 공통전극(84)을 구비한다. 컬러필터(82)는 적(R), 녹(G) 및 청(B) 색의 컬러필터층이 스트라이프(Stripe) 형태로 배치되어 특정 파장대역의 빛을 투과시킴으로써 컬러표시를 가능하게 한다. 인접한 색의 컬러필터(82)들 사이에는 도시하지 않은 블랙 매트릭스(Black Matrix)가 형성되어 인접한 셀로부터 입사되는 빛을 흡수함으로써 콘트라스트의 저하를 방지하게 된다.

TFT 기판(91)은 하부기판(80b)의 전면에 게이트절연막을 사이에 두고 절연되는 데이터라인(99)과 게이트라인(94)이 상호 교차되도록 형성되며, 그 교차부에 TFT(90)가 형성된다. TFT(90)는 게이트라인(94)에 접속된 게이트전극, 데이터라인(99)에 접속된 소스전극, 활성층 및 오믹접촉층을 포함하는 채널부를 사이에 두고 소스전극과 마주보는 드레인전극으로 이루어진다. 이 TFT(90)는 보호막을 관통하는 접촉홀을 통해 화소전극(92)과 접속된다. 이러한 TFT(90)는 게이트라인(94)으로부터의 게이트신호에 응답하여 데이터라인(99)으로부터의 데이터신호를 선택적으로 화소전극(92)에 공급한다.

화소전극(92)은 데이터라인(99)과 게이트라인(94)에 의해 분할된 셀 영역에 위치하며 광투과율이 높은 투명전도성물질로 이루어진다. 이 화소전극(99)은 드레인전극을 경유하여 공급되는 데이터신호에 의해 상부기판(80a)에 형성되는 공통전 극(84)과 전위차를 발생시키게 된다. 이 전위차에 의해 하부기판(80b)과 상부기판(80a) 사이에 위치하는 액정(86)은 유전율이방성에 의해 회전하게 된다. 이에 따라, 광원으로부터 화소전극(92)을 경유하여 공급되는 광이 상부기판(80a) 쪽으로 투과된다.

도 6에 도시된 컬러필터 기판의 블랙매트릭스, 컬러필터; TFT 기판의 전극패턴, 신호라인들, 보호막을 패터닝하기 위해 사용되는 DFR은 본 발명의 제1 및 제2 실시 예에 따른 제조장치가 이용된다.

한편, 본 발명의 제1 및 제2 실시 예에 따른 표시소자의 제조장치 및 그 제조방법은 액정표시소자 뿐만 아니라 플라즈마 디스플레이 패널, 일렉트로 루미네센스 표시소자, 전계 방출 소자, 터치패널을 포함하는 표시소자 등에 적용될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 표시소자의 제조장치 및 그 제조방법은 DFR을 라미네이터에 의해 1차 접합한 후 열을 발생하는 가압부에 의해 DFR이 기판에 가압됨으로써 2차 접합하게 된다. 이에 따라, 기판과 DFR의 접합력이 향상되어 미세패턴의 스텝 커버리지가 향상되며 나아가 대면적의 표시소자에도 적용될 수 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발 명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (15)

1. 개방가능하게 상판과 하판이 결합되는 챔버;

   상기 챔버 내에 로드되며 상기 챔버 내에서 드라이 필름 레지스트가 형성될 기판;

   상기 드라이 필름 레지스트를 열과 압력에 의해 상기 기판 상에 라미네이팅하는 라미네이터;

   상기 챔버의 상판에 설치되어 상기 기판 상에 1차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트을 상기 기판 상에 2차 접합하는 가압부; 및

   상기 가압부와 인접되게 상기 상판에 설치되어 상기 기판 상에 2차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 절단부를 구비하며,

   상기 드라이 필름 레지스트는 상기 챔버의 개방구를 가로질러 상기 기판 상에 정렬되며 두 방향 이상에서 장력이 가해지는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 기판을 아래에서 지지하며 상승하여 상기 기판과 드라이 필름 레지스트를 1차 접합하는 진공척과,

   상기 진공척과 연결되어 상기 진공척의 이동방향을 결정하는 실린더를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
3. 삭제
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 가압부는 상기 드라이 필름 레지스트에 50~150℃의 온도와 1~50㎏/㎠의 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
5. 드라이 필름 레지스트가 형성될 기판;

   상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트를 상기 기판 상에 1차 접합하는 라미네이터;

   상기 기판 상에 1차 접합된 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 절단부; 및

   상기 기판 위에 배치되어 상하로 움직이고 상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트를 상기 기판 상에 2차 접합하는 스탬프를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 스탬프는,

   금속물질; 및

   상기 금속물질의 표면을 감싸는 고무판을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
7. 제 5 항에 있어서,

   상기 스탬프는 상기 드라이 필름 레지스트에 50~150℃의 온도와 1~50㎏/㎠의 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
8. 삭제
9. 개방된 상판과 하판 사이에 드라이 필름 레지스트를 로딩하는 단계와,

   상기 상판과 하판을 폐쇄하여 상기 상판과 하판에 의해 마련된 공간을 진공화하는 단계와,

   상기 하판 내의 기판을 상승시켜 상기 드라이 필름 레지스트와 기판을 1차 접합하는 단계와,

   상기 상판과 하판을 분리한 후 상기 상판에 위치하는 가압부에 의한 열과 압력에 의해 상기 드라이 필름 레지스트와 기판을 2차 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 개방된 상판과 하판 사이에 드라이 필름 레지스트를 로딩하는 단계는

    상기 드라이 필름 레지스트를 두 방향 이상에서 장력을 가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
11. 제 9 항에 있어서,

    상기 하판 내의 기판을 상승시켜 상기 드라이 필름 레지스트와 기판을 1차 접합하는 단계는

    상기 기판을 아래에서 지지하는 진공척이 상승하여 상기 기판과 드라이 필름 레지스트가 1차 접합접합 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
12. 제 9 항에 있어서,

    상기 가압부는 상기 드라이 필름 레지스트에 50~150℃의 온도와 1~50㎏/㎠의 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
13. 라미네이터를 이용하여 드라이 필름 레지스트를 기판 상에 1차 접합하는 단계;

    절단부를 이용하여 상기 기판 상에 1차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 단계; 및

    상기 기판 위에 배치된 스탬프를 상하로 움직이고 상기 스탬프로부터 발생되는 열과 압력을 상기 드라이 필름 레지스터에 가하여 상기 기판 상에 상기 드라이 필름 레지스트를 2차 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
14. 삭제
15. 제 13 항에 있어서,

    상기 스탬프는,

    상기 드라이 필름 레지스트에 50~150℃의 온도와 1~50㎏/㎠의 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.

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