KR100939205B1 - 표시소자의 제조장치 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시소자의 제조장치는 드라이 필름 레지스트가 형성될 기판; 상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트를 상기 기판 상에 1차 접합하는 라미네이터; 상기 기판 상에 1차 접합된 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 절단부; 및 상기 기판 위에 배치되어 상하로 움직이고 상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트를 상기 기판 상에 2차 접합하는 스탬프를 구비한다.
본 발명의 실시예에 따른 표시소자의 제조방법은 개방된 상판과 하판 사이에 드라이 필름 레지스트를 로딩하는 단계와,
상기 상판과 하판을 폐쇄하여 상기 상판과 하판에 의해 마련된 공간을 진공화하는 단계와, 상기 하판 내의 기판을 상승시켜 상기 드라이 필름 레지스트와 기판을 1차 접합하는 단계와, 상기 상판과 하판을 분리한 후 상기 상판에 위치하는 가압부에 의한 열과 압력에 의해 상기 드라이 필름 레지스트와 기판을 2차 접합하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시소자의 제조방법은 라미네이터를 이용하여 드라이 필름 레지스트를 기판 상에 1차 접합하는 단계; 절단부를 이용하여 상기 기판 상에 1차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 단계; 및 상기 기판 위에 배치된 스탬프를 상하로 움직이고 상기 스탬프로부터 발생되는 열과 압력을 상기 드라이 필름 레지스터에 가하여 상기 기판 상에 상기 드라이 필름 레지스트를 2차 접합하는 단계를 포함한다.
Claims (15)
- 개방가능하게 상판과 하판이 결합되는 챔버;상기 챔버 내에 로드되며 상기 챔버 내에서 드라이 필름 레지스트가 형성될 기판;상기 드라이 필름 레지스트를 열과 압력에 의해 상기 기판 상에 라미네이팅하는 라미네이터;상기 챔버의 상판에 설치되어 상기 기판 상에 1차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트을 상기 기판 상에 2차 접합하는 가압부; 및상기 가압부와 인접되게 상기 상판에 설치되어 상기 기판 상에 2차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 절단부를 구비하며,상기 드라이 필름 레지스트는 상기 챔버의 개방구를 가로질러 상기 기판 상에 정렬되며 두 방향 이상에서 장력이 가해지는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 기판을 아래에서 지지하며 상승하여 상기 기판과 드라이 필름 레지스트를 1차 접합하는 진공척과,상기 진공척과 연결되어 상기 진공척의 이동방향을 결정하는 실린더를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 가압부는 상기 드라이 필름 레지스트에 50~150℃의 온도와 1~50㎏/㎠의 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
- 드라이 필름 레지스트가 형성될 기판;상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트를 상기 기판 상에 1차 접합하는 라미네이터;상기 기판 상에 1차 접합된 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 절단부; 및상기 기판 위에 배치되어 상하로 움직이고 상기 드라이 필름 레지스트에 열과 압력을 가하여 상기 드라이 필름 레지스트를 상기 기판 상에 2차 접합하는 스탬프를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 스탬프는,금속물질; 및상기 금속물질의 표면을 감싸는 고무판을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 스탬프는 상기 드라이 필름 레지스트에 50~150℃의 온도와 1~50㎏/㎠의 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.
- 삭제
- 개방된 상판과 하판 사이에 드라이 필름 레지스트를 로딩하는 단계와,상기 상판과 하판을 폐쇄하여 상기 상판과 하판에 의해 마련된 공간을 진공화하는 단계와,상기 하판 내의 기판을 상승시켜 상기 드라이 필름 레지스트와 기판을 1차 접합하는 단계와,상기 상판과 하판을 분리한 후 상기 상판에 위치하는 가압부에 의한 열과 압력에 의해 상기 드라이 필름 레지스트와 기판을 2차 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 개방된 상판과 하판 사이에 드라이 필름 레지스트를 로딩하는 단계는상기 드라이 필름 레지스트를 두 방향 이상에서 장력을 가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 하판 내의 기판을 상승시켜 상기 드라이 필름 레지스트와 기판을 1차 접합하는 단계는상기 기판을 아래에서 지지하는 진공척이 상승하여 상기 기판과 드라이 필름 레지스트가 1차 접합접합 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 가압부는 상기 드라이 필름 레지스트에 50~150℃의 온도와 1~50㎏/㎠의 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
- 라미네이터를 이용하여 드라이 필름 레지스트를 기판 상에 1차 접합하는 단계;절단부를 이용하여 상기 기판 상에 1차 접합된 상기 드라이 필름 레지스트를 원하는 크기로 절단하는 단계; 및상기 기판 위에 배치된 스탬프를 상하로 움직이고 상기 스탬프로부터 발생되는 열과 압력을 상기 드라이 필름 레지스터에 가하여 상기 기판 상에 상기 드라이 필름 레지스트를 2차 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
- 삭제
- 제 13 항에 있어서,상기 스탬프는,상기 드라이 필름 레지스트에 50~150℃의 온도와 1~50㎏/㎠의 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
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KR1020030043610A KR100939205B1 (ko) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | 표시소자의 제조장치 및 그 방법 |
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KR1020030043610A KR100939205B1 (ko) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | 표시소자의 제조장치 및 그 방법 |
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KR20000006100U (ko) * | 1998-09-09 | 2000-04-06 | 유무성 | 드라이필름 라미네이팅 장치 |
KR20000057008A (ko) * | 1999-02-18 | 2000-09-15 | 미야케 에이이치 | 라미네이터 |
KR20020049218A (ko) * | 2000-12-19 | 2002-06-26 | 구광시 | 드라이 필름 레지스트를 이용한 인쇄회로기판의 제조방법 |
-
2003
- 2003-06-30 KR KR1020030043610A patent/KR100939205B1/ko active IP Right Grant
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KR20000006100U (ko) * | 1998-09-09 | 2000-04-06 | 유무성 | 드라이필름 라미네이팅 장치 |
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KR20020049218A (ko) * | 2000-12-19 | 2002-06-26 | 구광시 | 드라이 필름 레지스트를 이용한 인쇄회로기판의 제조방법 |
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