KR100937211B1 - 롤 임프린트 장치 - Google Patents
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Abstract
Description
Claims (11)
- 유연성 기판을 연속적으로 이송하면서 임프린트 공정을 수행하는 롤 임프린트 장치에 있어서,롤 형상으로 감겨진 상기 유연성 기판을 회전하면서 공급하는 필름 롤;유연성 패턴 플레이트가 표면에 고정되어 회전하면서 상기 유연성 기판에 패턴을 전사하는 패턴 롤; 및상기 유연성 기판을 사이에 두고 상기 패턴 롤과 인접하여 회전하는 가압 롤;을 포함하고,상기 패턴 롤에는,표면에 플레이트 고정부가 형성되고, 상기 플레이트 고정부와 이웃하여 플레이트 조임부가 형성되며,상기 플레이트 고정부는,상기 패턴 롤의 표면으로부터 함몰된 함몰부와,상기 함몰부에 체결되면서 상기 유연성 패턴 플레이트의 일 단부를 고정시키는 고정바를 포함하는 롤 임프린트 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 패턴 롤은 내부에 히터가 장착되고, 상기 히터에 열전대가 연결되어 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 플레이트 조임부는 상기 패턴 플레이트의 단부가 삽입될 수 있는 삽입홈이 상기 패턴 롤의 표면에 형성되고,상기 삽입홈의 내부에는 상기 유연성 패턴 플레이트의 일 단부를 파지하여 끌어당김으로써 상기 유연성 패턴 플레이트가 상기 패턴 롤의 표면에 밀착되게 할 수 있는 한 쌍의 조임기어가 설치되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 유연성 패턴 플레이트는 Ni, Cr, Cu, Au 및 스테인레스 강으로 이루어지는 군에서 선택된 금속재가 전주도금(electroforming) 된 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 필름 롤과 패턴 롤의 사이에서 상기 유연성 기판이 지나는 경로에 할로겐 램프 또는 자외선 램프를 설치한 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 유연성 기판이 지나는 경로에서 상기 패턴 롤의 전후에 정전기 방지장치가 설치된 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 패턴 롤의 상부에 위치하며 상기 패턴 롤의 축과 연결되어, 상기 패턴 롤과 가압 롤의 사이를 지나는 유연성 기판에 압력과 하중을 제어하는 스텝핑 모터와 로드셀(load cell)이 설치되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 패턴 롤의 출력단에는 냉각기가 설치되어 상기 유연성 기판을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 유연성 기판은 상기 패턴 롤과 상기 가압 롤 사이를 지나도록 설정되면 서 압착되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020090042704A KR100937211B1 (ko) | 2009-05-15 | 2009-05-15 | 롤 임프린트 장치 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020090042704A KR100937211B1 (ko) | 2009-05-15 | 2009-05-15 | 롤 임프린트 장치 |
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KR100937211B1 true KR100937211B1 (ko) | 2010-01-20 |
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Family Applications (1)
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KR1020090042704A KR100937211B1 (ko) | 2009-05-15 | 2009-05-15 | 롤 임프린트 장치 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101463227B1 (ko) | 2012-08-28 | 2014-11-21 | 한국기계연구원 | 금속배선이 함입된 유연기판 제조 장치 |
KR101692065B1 (ko) * | 2016-06-07 | 2017-01-03 | 한국기계연구원 | 미세패턴롤을 제조하는 방법 및 장치 |
KR101779160B1 (ko) * | 2011-01-13 | 2017-09-27 | 미래나노텍(주) | 롤유닛 및 이를 이용한 패턴 형성 장치 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100804734B1 (ko) * | 2007-02-22 | 2008-02-19 | 연세대학교 산학협력단 | 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치 및 방법 |
US20080229941A1 (en) * | 2007-03-19 | 2008-09-25 | Babak Heidari | Nano-imprinting apparatus and method |
-
2009
- 2009-05-15 KR KR1020090042704A patent/KR100937211B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100804734B1 (ko) * | 2007-02-22 | 2008-02-19 | 연세대학교 산학협력단 | 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치 및 방법 |
US20080229941A1 (en) * | 2007-03-19 | 2008-09-25 | Babak Heidari | Nano-imprinting apparatus and method |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101779160B1 (ko) * | 2011-01-13 | 2017-09-27 | 미래나노텍(주) | 롤유닛 및 이를 이용한 패턴 형성 장치 |
KR101463227B1 (ko) | 2012-08-28 | 2014-11-21 | 한국기계연구원 | 금속배선이 함입된 유연기판 제조 장치 |
KR101692065B1 (ko) * | 2016-06-07 | 2017-01-03 | 한국기계연구원 | 미세패턴롤을 제조하는 방법 및 장치 |
WO2017213370A1 (ko) * | 2016-06-07 | 2017-12-14 | 한국기계연구원 | 미세패턴롤의 제조방법 및 이를 위한 미세패턴롤의 제조장치 |
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