KR100934030B1

KR100934030B1 - 테스트핸들러

Info

Publication number: KR100934030B1
Application number: KR1020050124224A
Authority: KR
Inventors: 심재균; 나윤성; 전인구; 구태흥; 유현준
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2005-12-15
Filing date: 2005-12-15
Publication date: 2009-12-28
Also published as: KR20070063903A

Abstract

본 발명은 테스트핸들러에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 테스트트레이를 파지하여 이동시키는 동작을 수행하는 파지블럭과, 이 파지블럭의 파지 및 파지해제동작에 필용한 동력을 공급하는 동력원이 적어도 파지블럭과는 분리되어 설치되거나 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치됨으로써, 파지블럭의 구성을 간단하게 하고, 동력원이 파지블럭이 위치하는 공간의 환경으로부터 자유로울 수 있도록 하는 기술이 제공된다.

Description

테스트핸들러{TEST HANDLER}

도1은 종래기술에 따른 테스트핸들러에 대한 개략도이다.

도2 및 도3은 도1의 테스트핸들러의 배치구조에 대해 평면에서 바라본 개략적인 구조도이다.

도4는 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러에서 소크 챔버 및 테스트 챔버의 내부구조를 측면에서 본 개략도이다.

도5는 도4의 A부분을 확대한 확대도이다.

도6은 도4의 BB선을 잘라 I방향으로 바라본 개략도이다.

도7은 도4의 테스트해들러의 주요부위를 발췌하여 개략적으로 도시한 사시도이다.

도8a 내지 도8e는 도4의 테스트핸들러에 대한 작동상태를 설명하기 위한 작동상태도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

40 : 테스트핸들러 500 : 트레이이송장치

510 : 파지블럭 511 : 파지부재

512 : 이동부재 520 : 공압실린더

530 : 제1동력전달장치 531 : 회전바

534 : 전후진바 540 : 모터

본 발명은 생산된 반도체 디바이스를 검사하기 위한 테스트핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 테스트트레이를 이송시키는 트레이이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체 디바이스(이하 디바이스라 칭함)를 테스트하며, 테스트 결과에 따라 디바이스들을 등급별로 분류하여 유저트레이에 적재하는 기기로서 이미 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.

도1은 그러한 테스트핸들러에 대한 종래기술에 따른 개략도로서, 도1을 참조하여 종래의 테스트핸들러에 대하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다.

도1에 도시된 바와 같이, 종래의 테스트핸들러는 로딩장치(120), 수직 자세변환장치(130), 소크 챔버(200), 테스트 챔버(100), 디소크 챔버(300), 수평 자세변환장치(230), 언로딩장치(260)를 갖추고 있다.

상기 로딩장치(120)는, 부호 110의 유저트레이에 적재된 디바이스를 수평상태의 테스트트레이로 로딩(이송 및 적재)시킨다.

상기 수직 자세변환장치(130)는, 소크 챔버(200)의 상방향에 위치하며, 소크 챔버(200)로 테스트트레이를 공급하기에 앞서 수평상태의 테스트트레이를 수직상태 로 자세변환시킨다.

상기 소크 챔버(200)는, 상기 자세변환장치(130)에 의해 수직상태로 자세변환된 테스트트레이를 순차적으로 수용하며, 테스트트레이에 적재된 디바이스를 예열/예냉시키기 위한 온도적 환경이 조성되어 있다. 이러한 소크 챔버(200)에 진입된 테스트트레이는 수직상태를 유지한 채 테스트 챔버(100) 측에 가까운 방향으로 병진이동하면서 순차적으로 배열되는데, 이렇게 병진이동하는 시간동안, 테스트트레이에 담긴 디바이스가 충분히 예열/예냉된다.

상기 테스트 챔버(100)는, 소크 챔버(200)로부터 공급되어 온 테스트트레이(180, 190)에 적재된 디바이스를 테스트하기 위해 마련된다. 이를 위해 테스트 챔버(100)는 디바이스를 테스트하기 위한 온도적 환경이 조성되어 있다.

그리고 소크 챔버(200)와 테스트 챔버(100)는 서로 연통되어 있다.

상기 디소크 챔버(300)(일명, 회복챔버라 함)는 고온 또는 냉각상태의 디바이스를 상온으로 환원시키기 위해 마련된다.

상기 수평 자세변환장치(230)는, 디소크 챔버(300)의 상방향에 위치하며, 디소크 챔버(300)로부터 이송된 수직상태의 테스트트레이를 수평상태로 자세변환시킨다.

상기 언로딩장치(260)는, 테스트가 완료된 디바이스를 등급별로 분류하여 다시 부호 310의 유저트레이로 언로딩(이송 및 적재)시킨다.

즉, 테스트핸들러에서는 유저트레이에서 테스트트레이로 로딩하는 과정에서부터 테스트가 완료된 디바이스를 테스트트레이로부터 유저트레이로 언로딩하는 과 정까지 디바이스를 적재한 테스트트레이의 이동이 순차적으로 이루어진다.

도2 및 도3은 도1의 테스트핸들러를 평면에서 바라본 개략도로서, 도2에는 테스트핸들러 내에서 이루어지는 테스트트레이의 이송방향(a)과 디바이스의 이송방향(b)이 표현되어 있다. 그리고 도3에서 참조되는 바와 같이 테스트 챔버(100)는 테스트대기부(100a), 테스트부(100b) 및 출력대기부(100c)로 구성되어 있다. 테스트대기부(100a)에서는 소크 챔버(200)로부터 이동되어 온 테스트트레이가 테스트부(100b)로 이송되기에 앞서 대기하고 있고, 테스트부(100b)에서는 테스트대기부(100a)로부터 온 테스트트레이에 적재된 디바이스가 테스트되며, 출력대기부(100c)에서는 테스트부(100b)에서 테스트가 완료된 테스트트레이가 디소크 챔버(300)로 출력되기에 앞서 대기하고 있게 된다. 이와 같은 테스트 챔버(100)에서 테스트트레이는 첫째, 테스트대기부(100a)에서 테스트부(100b)로 이송되게 되며, 둘째, 테스트부(100b)에서 출력대기부(100c)로 이송되게 된다. 이 때, 첫째의 이송과정 및 둘째의 이송과정은 미도시된 트레이이송장치에 의해 이루어질 수 있다.

위에서 설명한 바와 같이 테스트트레이는 테스트 챔버 내에서뿐만 아니라 각 챔버간이나 각 챔버 내에서 지속적인 이송이 이루어짐으로써, 도2의 a루프와 같은 회전방향을 가지고 순환하게 되는 것이며, 그러한 순환과정에서 필연적으로 다수의 트레이이송장치가 요구되는 것이다.

그러한 다수의 트레이이송장치 중 테스트 챔버 내에서 테스트트레이를 이송시키기에 적합한 트레이이송장치에 대하여 대한민국 공개특허공보 공개번호 10-2004-0092786호(발명의 명칭 : 반도체 소자 테스트 핸들러용 테스트 트레이 이송장치, 이하 '인용기술'이라 함)에 제시되어 있다.

인용기술을 참조하여보면, 리드스크류 및 서보모터에 의해 선형이동하는 이동블럭과, 이동블럭의 상측에 테스트 트레이의 일측 모서리 부분을 해제 가능하게 고정하는 홀더장치가 구성되고, 홀더장치는 회전축 및 이 회전축을 회전시키기 위한 회전수단 등을 포함하고 있다. 여기서 회전수단은 모터 등과 같은 동력원 임을 알 수 있다. 인용기술에서 알 수 있는 바와 같이, 테스트트레이를 이송시키기 위해서는, 테스트트레이를 파지 또는 파지해제 하기 위한 동작 및 이송동작이 필요하다. 그런데 각각의 동작은 일반적으로 다른 기계적 매카니즘에 의해 이루어지기 때문에 별개의 동력원을 구성시키는 등 이송동작을 위한 구성과 파지 또는 파지해제에 필요한 동작을 위한 구성이 필요하다.

그런데, 인용기술에서와 같이, 이송동작을 위해 구성되는 이동블럭에, 파지 또는 파지해제 동작을 위해 구성되는 홀더장치가 결합되는 경우에는 다음과 같은 문제점이 발생할 수 있다.

첫째, 모터나 솔레노이드장치 등을 챔버 내부에 배치시키기 위해서는 전력선 등이 함께 구성되어야 하며, 더욱이 테스트트레이를 파지한 홀더장치의 이동길이에 따라서 필연적으로 전력선도 그 이상의 길이를 확보하여야 하기 때문에 챔버 내부 의 구조가 번잡하고, 전력선과 타 장치와의 간섭을 피하기 위한 배치상의 복잡함도 발생하게 되는 것이다.

둘째, 홀더장치가 일체로 이동블럭에 결합되기 때문에 이동블럭과 함께 이동하게 됨으로써, 홀더장치에 의해 필요되는 공간과 타 장치에 의해 필요되는 공간이 서로 간섭되지 않도록 공간설정을 하여 장치설계를 하여야 하기 때문에 그 또한 설계의 복잡함을 동반하게 된다.

셋째, 이동블럭과 함께 홀더장치가 이동하기 때문에, 무수히 반복적인 이동동작에 따른 충격에 의해 홀더장치의 기계적 구성이 취약해지는 문제점이 발생하게 되어 제품의 수명을 단축시키게 된다.

넷째, 일반적으로 소크 챔버 또는 테스트 챔버 등은 테스트환경조건을 가혹하게 설정하기 위하여 영상 135도 이상의 고온상태 또는 영하 40도 이하의 저온상태를 유지하기도 하는데, 파지 또는 파지해제 동작을 위한 홀더장치에 적용되는 동력원으로 상정할 수 있는 모터나 솔레노이드장치 등이 이러한 가혹 조건에 의해 동작이상을 발생시키거나 내구성이 떨어지는 문제점이 발생할 수 있으며, 만일 가혹 조건을 견디어 낼 수 있도록 하기 위해서는 고가의 부품을 적용시켜야 되기 때문에 생산단가가 상승하게 된다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 다음과 같은 목적을 가진다.

첫째, 테스트트레이를 파지하는 데 필요한 동력원이 테스트트레이를 이동시 키기 위한 구성과 분리될 수 있는 기술을 제공한다.

둘째, 테스트트레이를 파지하는 데 필요한 동력원이 테스트트레이의 이동으로부터 독립될 수 있는 기술을 제공한다.

셋째, 더 나아가 테스트트레이를 파지하기 위한 동력원이 챔버의 환경 등에 영향을 받지 않도록 하는 기술을 제공한다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 유저트레이에 적재된 디바이스를 테스트트레이로 로딩시키는 로딩장치; 상기 로딩장치에 의해 로딩이 완료된 테스트트레이에 적재된 디바이스를 예열/예냉시키기 위해 마련되는 소크 챔버;상기 소크 챔버로부터 공급되는 테스트트레이에 적재된 디바이스를 테스트하기 위해 마련되는 테스트 챔버; 상기 테스트 챔버에서 테스트가 완료된 디바이스를 유저트레이로 언로딩시키는 언로딩장치; 및 상기 로딩장치, 소크챔버, 테스트 챔버 및 언로딩장치를 순환하는 테스트트레이 이송 경로의 적어도 일부 구간에 설치되어 상기 테스트트레이를 이송시키는 트레이이송장치; 를 포함하고, 상기 트레이이송장치는, 상기 테스트트레이를 파지하거나 파지해제한 상태로 이동 가능한 파지블럭; 상기 파지블럭의 파지 및 파지해제에 필요한 동력을 공급하며, 상기 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치되는 제1동력원; 상기 제1동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지블럭에 전달하는 제1동력전달장치; 상기 파지블럭의 이동에 필요한 동력을 공급하며, 상기 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치되는 제2동력원; 및 상기 제2동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지블럭에 전달하는 제2동력전달장치; 를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 제1동력원 또는 상기 제2동력원은 상기 테스트 챔버의 외부에 고정 설치되는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 파지블럭은, 상기 제1동력전달장치로부터 전달받은 동력에 의해 테스트트레이를 파지 또는 파지해제하기 위한 작동을 실행하는 파지부재; 및 상기 제2동력전달장치로부터 전달받은 동력에 의해 이동하는 이동부재; 를 포함하고, 상기 파지부재는 상기 이동부재의 이동에 따라 함께 이동하도록 상기 이동부재에 결합되는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 파지부재는 상기 이동부재의 이동에 따라 함께 이동하되, 상기 이동부재에 대한 상대적 접근 및 이반이 가능하도록 상기 이동부재에 결합되고, 상기 파지부재의 일측에는 상기 상대적 접근 및 이반에 따라 상기 테스트트레이에 대해 삽입되거나 탈각되는 파지핀이 형성되어 있고, 상기 제1동력전달장치는, 상기 제1동력원에 의해 공급되는 동력을 통해 상기 파지부재의 상대적 접근 및 이반을 가능하게 하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 제1동력전달장치는, 상기 이동부재의 이동방향(이하, "횡방향"이라 함)으로 기다랗게 형성되어 상기 파지부재의 상대적 접근 및 이반 방향(이하, "종방향"이라 함)으로 직선 왕복운동할 수 있는 전후진바를 포함하며, 상기 파지부재는, 상기 전후진바에 대해 횡방향의 자유도를 가지나 종방향의 자유도는 제한되는 슬라이딩 돌기를 구비함으로써, 상기 전후진바와 함께 종방향으로 직선 왕복운동하면서 도 상기 이동부재와 함께 횡방향으로 이동할 수 있는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 제1동력원은 공압 실린더인 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 제2동력원은 회전 모터이고, 상기 제2동력전달장치는 벨트와 풀리를 구비하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 따른 하나의 바람직한 실시 예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도4는 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러(40)의 소크 챔버(400A) 및 테스트 챔버(400B)의 내부구조를 측면에서 본 개략도이고, 도5는 도4의 A부분을 확대한 확대도, 도6은 도4의 BB선을 잘라 I방향으로 바라본 개략도, 도7은 도4의 테스트핸들러(40)의 주요부위를 발체하여 개략적으로 도시한 사시도이다.

도4 내지 도7을 참조하면, 본 실시예에 따른 테스트핸들러(40)는, 소크 챔버(400A), 테스트 챔버(400B), 트레이이송장치(500) 등을 포함하고 있다.

상기 소크 챔버(400A)는 로딩부로부터 수용된 후 하방에 적재된 테스트트레이(600)를 순차적으로 이동시키면서 후방에 배치된 테스트 챔버(400B)로 공급하며, 이러한 과정 중에 테스트트레이(600)에 적재된 디바이스를 예열 또는 예냉시킨다.

상기 테스트 챔버(400B)는 상기 소크 챔버(400A)의 후방에 마련되며, 소크 챔버(400A)로부터 공급된 테스트트레이(600)에 적재된 디바이스를 테스트한 후 디소크 챔버(미도시)로 출력시킨다. 이러한 테스트 챔버(400B)는 도6에서 참조되는 바와 같이 소크 챔버(400A)로부터 공급된 테스트트레이(600)가 테스트되기에 앞서 대기하는 테스트대기부(400B-1)와, 테스트가 수행되는 테스트부(400B-2), 테스트가 완료된 디바이스를 적재한 테스트트레이(600)가 미도시된 디소크 챔버로 출력되기에 앞서 대기하는 출력대기부(400B-3)로 구분된다.

상기 트레이이송장치(500)는 상기 테스트대기부(400B-1)에 있는 테스트트레이(600)를 상기 테스트부(400B-2)로 이송시킨다. 물론, 테스트부(400B-2)에서 테스트가 완료된 디바이스가 적재된 테스트트레이(600)를 출력대기부(400B-3)로 이송시키기 위한 트레이이송장치가 더 구성되지만, 이렇게 더 구성되는 트레이이송장치는 부호 500으로 표시되는 트레이이송장치와 상호 대칭되는 동일한 구성을 가지므로 그 설명을 생략한다.

한편, 상기 트레이이송장치(500)는, 파지블럭(510), 제1동력원, 제1동력전달장치(530), 제2동력원, 제2동력전달장치(550) 및 가이딩장치(560) 등을 포함하여 구성된다. 이와 같은 각 구성 및 세부구성을 순서적으로 설명하면 다음과 같다.

상기 파지블럭(510)은, 테스트트레이(600)를 파지하거나 파지 해제한 상태에서 이동가능하도록 구성되며, 이를 위해, 상기 제1동력전달장치(530)로부터 전달받은 동력에 의해 테스트트레이(600)를 파지 또는 파지해제하기 위한 작동을 실행하는 파지부재(511) 및 상기 제2동력전달장치(550)로부터 전달받은 동력에 의해 이동하는 이동부재(512)를 가진다.

상기 파지부재(511)는 상기 이동부재(512)의 이동에 따라 함께 이동하도록 이동부재(512)에 결합되어 구성되되, 좌우 수평이동하는 이동부재(512)와 독립적으로 전후진 슬라이딩하여 테스트트레이(600)를 파지하거나 파지해제하도록 결합된다. 따라서 파지부재(511)는, 파지부재(511)의 전후진에 의해 테스트트레이(600)에 형성된 홀에 삽입되거나 탈각되는 파지핀(511a)과, 후술할 전후진바(534)의 레일홈(534a)에 슬라이딩 가능하도록 삽입되어 있는 슬라이딩돌기(511b) 및 상기 이동부재(512)와 전후 슬라이딩 가능하도록 결합되기 위한 결합돌기(511c)를 가진다. 그리고 상기 파지부재(511)는 가이딩부재(미도시)에 의해 가이딩됨으로써 보다 정확하게 이동될 수 있도록 하는 것이 바람직할 것이다.

상기 이동부재(512)는 상기 파지부재(511)와 결합되기 위한 결합홈(512b)과 후술할 스플라인축이 통과되는 통과공(512a)을 가지며, 또한, 후술될 회전벨트(553)에 결합되어 있어서 회전벨트(553)의 회전에 의해 상기 스플라인축에 가이드되면서 좌우 수평이동한다.

상기 제1동력원은 상기 파지부재(511)에 전후진력을 제공하기 위한 동력을 공급하기 위한 것으로 본 실시예에서는 공압실린더(520, 도4참조)로 구성되었으며, 테스트 챔버(400B)의 전방에 배치됨으로써 테스트 챔버(400B)의 환경조건에 무관하게 된다. 물론, 공압실린더(520)는 다양한 동력원으로 대체되어 구성될 수 있음은 당연하다.

상기 제1동력전달장치(530)는 상기 제1동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지부재(511)에 전후진력으로 전달하며, 회전바(531), 제1링크부재(532), 제2링크부재(533) 및 전후진바(534) 등을 포함하여 구성된다.

상기 회전바(531)는 좌우방향으로 길게 마련되며, 정역회전가능하도록 마련 되어 있으며, 상기 제1링크부재(532)의 홈에 삽입되는 제1돌기(531a)와, 상기 제2링크부재(533)의 홈에 삽입되는 제2돌기(531b)가 수평방향에 직교하는 방향으로 형성되어 있다.

상기 제1링크부재(532)는 상기 공압실린더(520)의 피스톤로드(520a)의 전후진에 의해 전후진되고, 상기 회전바(531)의 제1돌기(531a)가 수용되는 수용홈을 가지며, 전후진에 의해 상기 제1돌기(531a)를 밀거나 끌어당김으로써 회전바(531)를 회전시킨다. 그리고 제1링크부재(532)는 부호 601의 가이딩부재에 의해서 가이딩된다.

상기 제2링크부재(533)는 회전바(531)의 회전에 따라서 회전하는 제2돌기(531b)의 회전에 의해 전후진하며, 상기 전후진바(534)에 결합되어 있다.

즉, 상기 제1링크부재(532) 및 제2링크부재(533)와 제1돌기(531a) 및 제2돌기(531b)는 힘의 방향을 전환시키는 것으로, 제1링크부재(532) 및 제1돌기(531a)는 전후진력을 회전력으로 제2링크부재(533) 및 제2돌기(531b)는 회전력을 전후진력으로 전환시킨다.

한편, 상기한 제1돌기(531a) 및 제2돌기(531b)의 돌출 방향은 임의적인 방향으로 돌출될 수 있으며, 그러한 돌출방향에 제1링크부재(532) 및 제2링크부재(533)가 위치되면 족할 것이다.

상기 전후진바(534)는 좌우 수평방향으로 길게 마련되며, 상기 제2링크부재(533)에 결합되어 있어서 상기 제2링크부재(533)의 전후진에 의해 전후진된다. 그리고 상기한 슬라이딩돌기(511b)가 삽입될 수 있는 레일홈(534a)이 좌우 수평방향 으로 길게 형성되어 있다.

따라서 공압실린더(520)가 구동하여 피스톤로드(520a)가 전후진하면 회전바(531)가 정역회전하게 되고, 회전바(531)의 정역회전에 의해 전후진바(534)가 전후진 되면서 슬라이딩 돌기(511b)에 전후진력을 가하게 되므로 궁극적으로 파지부재(511)가 전후진되면서 테스트트레이(600)를 파지하거나 파지해제하게 되는 것이다.

상기 제2동력원은 상기 이동부재(512)에 좌우 수평이동을 위한 동력을 공급하기 위해 마련되고, 정역회전 가능한 모터(540, 도4참조)로 구성되어 있으며, 테스트 챔버(400B)의 상방에 배치됨으로써 테스트 챔버(400B)의 환경에 무관한 위치에 있게 된다.

상기 제2동력전달장치(550)는, 상기 모터(540)의 회전축(540a)에 커플링된 동력전달축(551), 이 동력전달축(551)에 의해 회전하는 구동풀리(552a), 이 구동풀리(552a)와 좌우 수평방향으로 대응되게 마련되는 종동풀리(552b) 및 구동풀리(552a)와 종동풀리(552b)를 회전끝점으로 하여 회전하는 회전벨트(553)를 포함하여 구성된다. 이러한 회전벨트(553)의 일지점은 이동부재(512)에 결합되어 있어서, 모터(540)의 정역회전에 따라서 회전벨트(553)가 회전하면 이동부재(512)가 좌우 수평이동을 하게 된다.

상기 가이딩장치(560)는 좌우 수평방향으로 길게 구성되는 상하 두개의 스플라인축으로 구성되어 있으며, 각각의 스플라인축은 상기 이동부재(512)의 통과공(512a)을 통과하도록 구성되어 있어서, 모터(540)의 회전에 따라 이동부재(512)가 이동할 시에 스플라인축에 의해 가이딩된다.

이하에서는 도8a 내지 도8e를 참조하여 상기한 테스트핸들러(40)에서 작동되는 트레이이송장치(500)의 작동에 대하여 설명한다.

도8a는 현재 테스트대기부(400B-1)에 대기하고 있는 테스트트레이(600)를 파지하기 직전의 상태를 도시하고 있다.

도8a의 상태에서 공압실린더(520)가 작동하면, 피스톤로드(520a)가 전진하게 되고, 이에 연동하여 제1링크부재(532)의 전진, 회전바(531)의 회전, 제2링크부재(533)의 전진, 전후진바(534)의 전진 및 파지부재(511)의 전진이 이루어짐(이상 도8a의 화살표 방향 참조)으로써, 도8b의 상태와 같이 파지부재(511)의 파지핀(511a)이 테스트트레이(600)의 홀(600a)에 삽입됨으로써 파지부재(511)가 테스트트레이(600)를 파지하게 된다.

계속하여 도8b의 상태에서 모터(540)가 구동하여 회전축(540a)이 정회전하게 됨에 따라 도8c에서와 같이 구동풀리(552a) 및 종동풀리(552b)가 화살표 방향으로 회전하게 되고, 이에 연동하여 회전벨트(553)가 화살표 방향으로 회전하면서 이 회전벨트(553)에 결합된 이동부재(512)가 이동하게 되어 도8d의 상태로 됨으로써 테스트대기부(400B-1)에 있던 테스트트레이(600)가 테스트부(400B-2)로 이송된다.

그 후, 도8a 및 도8b의 역동작에 의해 파지부재(511)가 후진하면서 도8e의 상태로 된 후, 모터(540)의 역회전에 의해 파지블럭(510)은 다시 테스트대기부(400B-1)로 이동하게 되는 것이다.

이상과 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예 에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명 하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다. 예를 들어, 측면도 상에서 서로 다른 각도를 갖는 것으로 도시된 회전바(531)의 제1돌기(531a)와 제2돌기(531b)는 사용자의 필요에 따라 동일한 각도로 형성되어도 무방하다. 또한, 직선 왕복운동이 가능한 제2링크부재(533)의 저면에는 상기 직선 왕복운동을 가이드하도록 테스트핸들러 내 소정 위치에 고정된 LM가이드(미도시)가 설치될 수 있으며, 이러한 경우 제2링크부재(533)의 직선 왕복운동이 더 안정적으로 이루어질 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 제1동력원인 공압실린더가 테스트 챔버의 외부에 배치되기 때문에 공압실린더를 작동시키기 위한 공압라인 등이 챔버내부에 구성될 이유가 없기 때문에 챔버내부의 구조가 깔끔하고, 공압라인과 챔버내부의 타 장치와의 간섭이 절대적으로 방지된다.

둘째, 공압실린더 및 제1동력전달장치가 이동부재와 무관하게 분리되어 설치되기 때문에 파지부재의 구성이 간단해짐으로써 챔버내부의 공간확보가 용이하여 설계의 자유도가 커진다.

셋째, 공압실린더가 이동부재의 이동과 무관하기 때문에 이동부재의 이동충격이 공압실린더에 영향을 전혀 미치지 않아서 공압실린더의 작동이나 수명에 지장이 없다.

넷째, 공압실린더, 더 나아가 모터가 테스트 챔버의 외부에 마련되기 때문에 테스트 챔버의 환경조건에 무관하게 되어서 동작이상이나 내구성을 테스트 챔버의 환경과 무관한 상태로 유지시킬 수 있으며, 상태적으로 저렴한 제품이 적용될 수 있어서 생산단가를 절감할 수 있다.

Claims

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유저트레이에 적재된 디바이스를 테스트트레이로 로딩시키는 로딩장치;

상기 로딩장치에 의해 로딩이 완료된 테스트트레이에 적재된 디바이스를 예열/예냉시키기 위해 마련되는 소크 챔버;

상기 소크 챔버로부터 공급되는 테스트트레이에 적재된 디바이스를 테스트하기 위해 마련되는 테스트 챔버;

상기 테스트 챔버에서 테스트가 완료된 디바이스를 유저트레이로 언로딩시키는 언로딩장치; 및

순환하는 테스트트레이 이송 경로의 적어도 일부 구간에 설치되어 상기 테스트트레이를 이송시키는 트레이이송장치; 를 포함하고,

상기 트레이이송장치는,

상기 테스트트레이를 파지하거나 파지해제한 상태로 이동 가능한 파지블럭;

상기 파지블럭의 파지 및 파지해제에 필요한 동력을 공급하며, 상기 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치되는 제1동력원;

상기 제1동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지블럭에 전달하는 제1동력전달장치;

상기 파지블럭의 이동에 필요한 동력을 공급하며, 상기 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치되는 제2동력원; 및

상기 제2동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지블럭에 전달하는 제2동력전달장치; 를 포함하며,

상기 파지블럭은,

상기 제2동력전달장치로부터 전달받은 동력에 의해 이동하는 이동부재; 및

상기 제1동력전달장치로부터 전달받은 동력에 의해 테스트트레이를 파지 또는 파지해제하며, 상기 이동부재의 이동에 따라 함께 이동하되 상기 이동부재에 대한 상대적 접근 및 이반이 가능하도록 상기 이동부재에 결합되고, 일측에는 상대적 접근 및 이반에 따라 상기 테스트트레이에 대해 삽입되거나 탈각되는 파지핀이 형성되어 있는 파지부재; 를 포함하고,

상기 제1동력전달장치는, 상기 제1동력원에 의해 공급되는 동력을 통해 상기 파지부재의 상대적 접근 및 이반을 가능하게 하며, 상기 이동부재의 이동방향(이하, "횡방향"이라 함)으로 기다랗게 형성되어 상기 파지부재의 상대적 접근 및 이반 방향(이하, "종방향"이라 함)으로 직선 왕복운동할 수 있는 전후진바를 포함하고,

상기 파지부재는, 상기 전후진바에 대해 횡방향의 자유도를 가지나 종방향의 자유도는 제한되는 슬라이딩 돌기를 구비함으로써, 상기 전후진바와 함께 종방향으로 직선 왕복운동하면서도 상기 이동부재와 함께 횡방향으로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
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