KR100934030B1 - 테스트핸들러 - Google Patents
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- 유저트레이에 적재된 디바이스를 테스트트레이로 로딩시키는 로딩장치;상기 로딩장치에 의해 로딩이 완료된 테스트트레이에 적재된 디바이스를 예열/예냉시키기 위해 마련되는 소크 챔버;상기 소크 챔버로부터 공급되는 테스트트레이에 적재된 디바이스를 테스트하기 위해 마련되는 테스트 챔버;상기 테스트 챔버에서 테스트가 완료된 디바이스를 유저트레이로 언로딩시키는 언로딩장치; 및순환하는 테스트트레이 이송 경로의 적어도 일부 구간에 설치되어 상기 테스트트레이를 이송시키는 트레이이송장치; 를 포함하고,상기 트레이이송장치는,상기 테스트트레이를 파지하거나 파지해제한 상태로 이동 가능한 파지블럭;상기 파지블럭의 파지 및 파지해제에 필요한 동력을 공급하며, 상기 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치되는 제1동력원;상기 제1동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지블럭에 전달하는 제1동력전달장치;상기 파지블럭의 이동에 필요한 동력을 공급하며, 상기 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치되는 제2동력원; 및상기 제2동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지블럭에 전달하는 제2동력전달장치; 를 포함하며,상기 파지블럭은,상기 제2동력전달장치로부터 전달받은 동력에 의해 이동하는 이동부재; 및상기 제1동력전달장치로부터 전달받은 동력에 의해 테스트트레이를 파지 또는 파지해제하며, 상기 이동부재의 이동에 따라 함께 이동하되 상기 이동부재에 대한 상대적 접근 및 이반이 가능하도록 상기 이동부재에 결합되고, 일측에는 상대적 접근 및 이반에 따라 상기 테스트트레이에 대해 삽입되거나 탈각되는 파지핀이 형성되어 있는 파지부재; 를 포함하고,상기 제1동력전달장치는, 상기 제1동력원에 의해 공급되는 동력을 통해 상기 파지부재의 상대적 접근 및 이반을 가능하게 하며, 상기 이동부재의 이동방향(이하, "횡방향"이라 함)으로 기다랗게 형성되어 상기 파지부재의 상대적 접근 및 이반 방향(이하, "종방향"이라 함)으로 직선 왕복운동할 수 있는 전후진바를 포함하고,상기 파지부재는, 상기 전후진바에 대해 횡방향의 자유도를 가지나 종방향의 자유도는 제한되는 슬라이딩 돌기를 구비함으로써, 상기 전후진바와 함께 종방향으로 직선 왕복운동하면서도 상기 이동부재와 함께 횡방향으로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
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