KR100931610B1 - 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 및 기판 분리 장치 및방법 - Google Patents

미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 및 기판 분리 장치 및방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 미세 패턴을 대량으로 생산하기 위한 임프린트 장치에 관한 것으로, 상호 합착된 뒤 경화된 상태의 스탬프 및 기판을 분리하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치는, 기판에 형성할 미세 패턴에 대응하는 형상이 형성되어 상기 기판에 합착되고, 상기 기판보다 큰 면적을 가지는 판 형상의 스탬프를 지지하기 위한 스탬프지지블럭과, 일단이 상기 스탬프지지블럭의 상기 스탬프를 향한 면으로 개방되고, 타단이 상기 스탬프지지블럭을 관통하여 외부로 연장된 제1 흡입관과, 상기 제1 흡입관의 타단에 연결된 제1 흡입펌프와, 상기 스탬프지지블럭에 대해 상대적으로 접근 및 이격되도록 가동되며 상기 기판을 지지하기 위한 기판지지블럭과, 일단이 상기 기판지지블럭의 상기 기판을 향한 면 중 상기 기판의 정사영에 해당하는 면으로 개방되고, 타단이 상기 기판지지블럭을 관통하여 외부로 연장된 제2 흡입관과, 상기 제2 흡입관의 타단에 연결된 제2 흡입펌프와, 상기 기판지지블럭에 설치되어 상기 스탬프의 상기 기판을 향한 면 중 상기 기판의 정사영에 해당하는 면을 벗어난 면을 밀어내는 가압수단을 포함하여 이루어진다.
Figure R1020080009419
미세 패턴, 임프린트, 챔버, 스탬프, 분리, 공기압.

Description

미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 및 기판 분리 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR SEPARATING STAMP AND SUBSTRATE IN IMPRINTING PROCESS}
본 발명은 미세 패턴을 대량으로 생산하기 위한 임프린트 장치에 관한 것으로, 상호 합착된 뒤 경화된 상태의 스탬프 및 기판을 분리하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
미세 패턴을 대량으로 형성하기 위한 방법으로 나노 임프린팅 리소그래피(Nano-Imprinting Lithography, NIL) 기법이 각광받고 있다.
나노 임프린팅 리소그래피는 상대적 강도가 강한 물질의 표면에 필요로 하는 구조물의 형상을 미리 제작한 몰드를 상대적 강도가 약한 다른 물질 위에 마치 도장 찍듯이 찍어서 패터닝 시키거나, 원하는 구조물 형상의 몰드를 제작한 후 몰드 내부로 폴리머 물질을 도포하여 패턴을 형성하는 방법이다. 전자의 경우, 몰드를 특히 스탬프라 부르기도 한다. 이와 같은 나노 임프린트 기법은 미세 패턴의 생산성이 극히 낮다는 문제점을 극복할 수 있으며, 나노 크기의 미세 패턴을 대량 제조 할 수 있다는 장점이 있다. 한편 나노 임프린팅 리소그래피는 반드시 나노 스케일의 구조물에만 적용되는 것은 아니고, 마이크로 스케일의 구조물에도 적용되고 있으므로, 미세 패턴을 제조하기 위한 기법이라 할 수 있다.
일반적인 나노 임프린팅 리소그래피 기법을 통해 미세 패턴을 형성하는 과정을 도 1 내지 도 6을 참조로 설명하면 다음과 같다.
우선 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(S) 상에 자외선 경화성 수지(R)를 얇게 도포한다. 자외선 경화성 수지는 자외선을 조사하면 단단하게 굳어지는 폴리머를 말한다.
다음으로는 도 2에 도시된 바와 같이, 자외선 경화성 수지(R)가 도포된 기판(S) 상부에 스탬프(M)를 올려 놓는다. 여기에서 스탬프(M)의 하부에는 기판(S) 상에 형성시키고 싶은 일정한 패턴이 양각으로 형성된다. 따라서 이 스탬프(M)를 수지(R)가 도포된 기판(S) 상부에 올려 놓고 가압하면, 기판 상의 수지(R)가 변형되어 스탬프(M)에 형성된 패턴과 상응하는 형상이 기판(S) 상에 형성된다. 물론 이 단계에서는 기판(S)과 스탬프(M)의 정확한 합착을 위하여 스탬프(M)와 기판(S)의 위치를 정렬하는 과정이 필요할 수도 있다. 또한 스탬프와 수지 사이에 기포가 형성되는 등의 문제를 방지하기 위하여 스탬프(M)와 기판(S)의 합착은 진공 분위기 하에서 이루어진다.
스탬프(M)와 기판(S)이 상호 합착된 상태에서 도 3에 도시된 바와 같이 스탬프(M)의 상부로부터 자외선 램프(L)를 사용하여 자외선을 조사한다. 이때 스탬프(M)는 자외선 투과성 재질로 되어 있으므로, 자외선은 스탬프(M)를 투과하여 자 외선 경화성 수지(R)를 경화시킨다. 그러면 스탬프(M)에 미리 형성된 패턴 형상에 대응하는 형상이 기판 상에 정착된다.
다음으로는 도 4에 도시된 바와 같이, 경화된 수지(R)로부터 스탬프(M)를 분리시키는 공정이 진행된다. 즉, 자외선 경화성 수지(R)가 자외선 조사에 의하여 충분히 경화된 후에, 스탬프(M)를 상부로 들어올려 수지로부터 분리시키는 것이다.
스탬프(M)와 기판(S)을 분리한 후, 도 5에 도시된 바와 같이 기판(S) 상부에 남아 있는 불필요한 수지(R)를 에칭 등의 방법으로 제거하여 도 6에 도시된 바와 같이 원하는 패턴이 형성된 기판(S)을 얻는다.
이와 같은 방법으로 미세 패턴을 형성할 경우에는 포토 레지스트나 레이저 직접 조사법 등에 비해서 적은 비용으로 빠른 시간 내에 대량 생산이 용이하다는 장점이 있다.
그런데, 임프린트 리소그래피 기법에 있어서 최종 제품을 제조하기 위해서는 스탬프(M)와 기판(S)을 분리하여야 하는데, 이들 사이에는 경화된 수지가 있는 상태이므로, 그 분리가 용이하지가 않다. 또한 스탬프(M)와 기판(S)이 진공 분위기에서 밀착된 뒤 경화되므로, 양자 사이에 잔존하는 부압 또한 분리를 방해한다.
한편, 스탬프(M)와 기판(S)을 분리할 경우 과도한 힘을 가하면 경화된 수지가 변형되거나 갈라짐으로써 최종적인 완제품의 불량률을 높이게 되므로, 스탬프(M)와 기판(S)을 분리하는 공정은 제품의 품질과 직접 관련되므로, 기판(S)에 형성된 미세 패턴을 변형시키거나 손상함이 없이, 적은 힘으로도 용이하게 분리할 수 있는 방법이 필요하다.
이와 같은 필요성은 특히 디스플레이 제조 공정에 임프린트 리소그래피를 적용할 경우, 디스플레이의 대면적화에 따라 스탬프(M) 또한 대면적화되어야 하므로, 더욱 중요한 문제가 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 기판에 형성된 미세 패턴을 변형시키거나 손상함이 없이 용이하게 스탬프를 분리할 수 있는 스탬프 분리 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 과도한 힘을 가하지 않고도 기판과 스탬프를 분리할 수 있는 스탬프 분리 장치 및 방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관된 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치는, 기판에 형성할 미세 패턴에 대응하는 형상이 형성되어 상기 기판에 합착되고, 상기 기판보다 큰 면적을 가지는 판 형상의 스탬프를 지지하기 위한 스탬프지지블럭과, 일단이 상기 스탬프지지블럭의 상기 스탬프를 향한 면으로 개방되고, 타단이 상기 스탬프지지블럭을 관통하여 외부로 연장된 제1 흡입관과, 상기 제1 흡입관의 타단에 연결된 제1 흡입펌프와, 상기 스탬프지지블럭에 대해 상대적으로 접근 및 이격되도록 가동되며 상기 기판을 지지하기 위한 기판지지블럭과, 일단이 상기 기판지지블럭의 상기 기판을 향한 면 중 상기 기판의 정사영에 해당하는 면으로 개방되고, 타단이 상기 기판지지블럭을 관통하여 외부로 연장된 제2 흡입관과, 상기 제2 흡입관의 타단에 연결된 제2 흡입펌프와, 상기 기판지지블럭에 설치되어 상기 스탬프의 상기 기판을 향한 면 중 상기 기판의 정사영에 해당하는 면을 벗어난 면을 밀어내는 가압수단을 포함하여 이루어진다. 여기서 상기 가압수단은, 일단이 상기 기판지지블럭의 상기 스탬프를 향한 면으로 개방되고, 타단이 상기 기판지지블럭을 관통하여 외부로 연장된 복수의 토출관과, 상기 복수의 토출관의 각 타단에 연결된 토출펌프를 포함하는 것이 바람직하다. 또는, 상기 가압수단은, 상기 기판지지블럭의 상기 스탬프를 향한 면으로부터 상기 스탬프를 향해 신축작동되는 리니어 액츄에이터를 포함할 수도 있다.
본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치는, 상기 스탬프지지블럭의 상기 스탬프를 향한 면에 설치되고 상기 스탬프에 밀착되는 오링을 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치는, 상기 기판지지블럭의 상기 기판을 향한 면에 설치되고, 상기 기판에 밀착되는 오링을 더 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 방법은, 미세 패턴을 형성할 기판을 지지하는 기판지지단계와, 상기 기판에 형성할 미세 패턴에 대응하는 형상이 형성되어 상기 기판에 합착되고, 상기 기판보다 큰 면적을 가지는 판 형상의 스탬프를 지지하는 스탬프지지단계와, 상기 기판의 면적을 벗어난 상기 스탬프의 일면에 공기를 분사하는 공기분사단계와, 상기 기판으로부터 스탬프를 이격시키는 스탬프이격단계를 포함하여 이루어진다.
본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 방법에 있어서, 상기 기판지지단계 및 스탬프지지단계는 각각 진공척에 의해 상기 기판 및 스탬프를 각각 지지하는 것이 바람직하다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치 및 방법은, 공기압에 의해 기판과 스탬프를 각각 지지하되, 스탬프의 가장자리를 역시 공기압에 의해 압박함으로써, 스탬프를 초기 분리시키며, 초기 분리된 부분을 기점으로 하여 연속적으로 분리시킴으로써, 상대적으로 작은 힘으로도 기판에 형성된 미세 패턴을 변형시키거나 손상시킴이 없이 용이하게 분리할 수 있다.
이하에서는 첨부의 도면을 참조로 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 7은 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치의 일실시예의 단면도이고, 도 8은 도 7의 실시예의 다른 작동상태에서의 단면도이다.
미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치는 상호 합착된 스탬프(M)와 기판(S)을 분리하기 위한 것으로, 스탬프지지블럭(120)과 기판지지블럭(140)을 포함하여 이루어진다.
스탬프지지블럭(120)은 스탬프(M)를 지지하기 위한 것으로, 후판 형상이다. 여기서 스탬프(M)는, 기판(S)에 형성할 미세 패턴에 대응되는 형상이 미리 형성되어 있는 판상의 부재로서, 기판(S)보다 넓은 면적을 가져야 한다.
스탬프지지블럭(120)이 스탬프(M)를 지지할 수 있도록 스탬프지지블럭(120)에는 제1 흡입관(121)이 형성된다. 즉, 제1 흡입관(121)은 그 일단이 스탬프지지블럭(120)의 스탬프(M)를 향한 면으로 개방되고, 타단이 스탬프지지블럭(120)을 관통하여 외부로 연장된다. 또한 제1 흡입관의 타단에는 제1 흡입펌프(122)가 연결되어 제1 흡입관(121)을 통해 공기를 흡입할 수 있도록 한다. 따라서 스탬프지지블럭(120)은 흡입되는 공기의 압력에 의해 스탬프(M)를 지지할 수 있다.
기판지지블럭(140)은 기판(S)을 지지하기 위한 것으로, 후판 형상이다. 여기서 기판(S)은 미세 패턴을 형성하기 위한 판상의 부재로서, 예컨대 액정표시장치의 제조에 소요되는 도광판이나 컬러필터기판 또는 플라즈마 표시장치의 제조에 사용되는 격벽이 형성된 하판과 같이, 그 일면에 미세 패턴의 형성이 필요한 판재이다. 기판(S)은 그 일면에 광경화성 수지가 도포되어 있으며, 이 면에 스탬프(M)가 합착되고, 광경화성 수지는 이미 경화된 채로 기판지지블럭(140)에 지지된다.
기판지지블럭(140)은 스탬프지지블럭(120)에 대해 상대적으로 접근하거나 이격되도록 가동된다. 즉, 스탬프지지블럭(120)을 고정시키고 기판지지블럭(140)을 가동시켜 스탬프지지블럭(120) 측으로 접근하거나 이격되도록 작동시키는 구성도 가능하지만, 반대로 기판지지블럭(140)을 고정시키고 스탬프지지블럭(120)을 가동시켜 기판지지블럭(140) 측으로 접근 또는 이격시킬 수도 있다. 나아가, 필요하다 면 스탬프지지블럭(120)과 기판지지블럭(140)을 모두 가동시켜 상호 접근 또는 이격시킬 수도 있다. 어느 경우이든 스탬프지지블럭(120) 또는 기판지지블럭(140)을 이동시키기 위한 구성은, 통상의 리니어 액츄에이터로 용이하게 구현할 수 있으므로 상세한 설명은 생략한다.
기판지지블럭(140)에는 제2 흡입관(141)이 형성된다. 제2 흡입관(141)은 그 일단이 기판지지블럭(140)의 기판(S)을 향한 면 중, 기판(S)의 정사영에 해당하는 면으로 개방되고, 타단이 기판지지블럭(140)을 관통하여 외부로 연장된다.
이들 제2 흡입관(141)의 타단에는 제2 흡입펌프(142)가 연결된다.
이와 같은 상태에서 상호 합착된 기판(S)과 스탬프(M)를 기판지지블럭(140) 및 스탬프지지블럭(120) 사이로 투입하고, 기판지지블럭(140)과 스탬프지지블럭(120)을 각각 기판(S)과 스탬프(M)에 밀착되도록 기판지지블럭(140)을 상대적으로 접근시킨 뒤, 제1 흡입펌프(122)와 제2 흡입펌프(142)를 작동시키면, 기판(S)과 스탬프(M)는 각각 기판지지블럭(140)와 스탬프지지블럭(120)에 흡착된다. 이때 각각의 흡착력을 강화하기 위해, 기판지지블럭(140)의 기판(S)을 향한 면에는 복수의 오링(145)(O-ring)을 설치하되, 이 오링(145)이 기판(S)에 밀착되도록 하는 것이 바람직하다. 마찬가지로 스탬프지지블럭(120)에도 오링(125)을 설치하여 오링(125)이 스탬프(M)에 밀착되도록 한다.
한편 기판지지블럭(140)에는 가압수단이 구비되는데, 가압수단은 스탬프(M)의 기판(S)을 향한 면 중 기판(S)의 정사영에 해당하는 면을 벗어난 면을 밀어낼 수 있도록 설치된다. 스탬프(M)의 면적이 기판(S)의 면적보다 크므로, 스탬프(M) 와 기판(S)을 합착할 경우 반드시 스탬프(M)의 가장자리가 기판(S)의 외측으로 돌출되는데, 가압수단은 바로 이 부분을 기판지지블럭(140)으로부터 밀어냄으로써 스탬프(M)의 분리를 촉진한다.
도 7 및 도 8에 도시된 본 실시예의 가압수단은 토출관(143)과 토출펌프(144)를 포함하여 이루어진다. 토출관(143)은 일단이 기판지지블럭(140)의 스탬프(S)를 향한 면 중 기판(S)의 정사영에 해당하는 면을 벗어난 면으로 개방되고, 타단이 기판지지블럭(140)을 관통하여 외부로 연장된다. 즉, 토출관()은 그 개방단이 앞서 설명한 스탬프(S)의 기판(S)을 벗어난 가장자리 부분을 향해 형성되어 있다. 토출관(143)의 타단에는 토출펌프(144)가 연결된다.
이 상태에서 토출펌프(144)를 작동시키면 도 8에 도시된 바와 같이 토출관(143)를 통해 화살표 방향으로 토출된 공기는 기판(S)에는 아무런 영향을 미치지 않지만 스탬프(M)를 밀어내는 힘을 작용시킨다. 이는 스탬프(M)가 기판(S)보다 면적이 넓기 때문이다.
토출펌프(144)까지 작동시킨 상태에서, 기판지지블럭(140)을 스탬프지지블럭(120)에 대해 상대적으로 이격시킨다. 이때 스탬프(M)의 가장자리에는 기판(S)으로부터 멀어지는 방향으로 공기압이 작용되므로, 서서히 기판(S)으로부터 분리되기 시작한다. 스탬프(M)의 가장자리가 기판(S)으로부터 분리되기 시작하면, 이 부분을 기점으로 하여 나머지 부분이 연쇄적으로 분리되고, 도 8에 도시된 바와 같이 스탬프(M)를 기판(S)으로부터 완전히 분리할 수 있게 된다. 분리된 기판(S)에는 목표로 하는 미세 패턴이 형성되어 있는 상태이므로, 잔여 수지 제거 등의 후공정 으로 이송된다. 또한 분리된 스탬프(M)는 재사용을 위해 세척 등의 후공정으로 이송된다.
도 9는 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치의 다른 실시예를 도시한 단면도이다.
본 실시예에서는 가압수단이 다른 형태로 구현되는 이외에는 앞선 실시예와 동일하므로, 아래에서 특별히 따로 설명하지 않는 구성은 앞선 실시예와 동일하다.
도 9에 도시된 실시예의 가압수단은 리니어 액츄에이터(150)로 이루어진다. 이 리니어 액츄에이터(150)는 기판지지블럭(140)에 설치되되, 기판지지블럭(140)의 스탬프(M)를 향한 면으로부터 스탬프(M)를 향해 신축작동된다. 즉, 리니어 액츄에이터(150)는 기판지지블럭(140)으로부터 스탬프(M)의 가장자리를 밀어내게 된다. 이와 같은 리니어 액츄에이터(150)는 공압실린더나 유압실린더로 구성할 수도 있으며, 전기 액츄에이터, 리니어모터는 물론 볼 스크류와 같은 기구적인 조합으로도 구성할 수 있다. 예컨대 리니어 액츄에이터(150)가 공압실린더로 구성된 경우, 작동 로드(151)가 스탬프(M) 측으로 신축되도록 설치된다.
이와 같이 가압수단이 리니어 액츄에이터(150)로 구성된 예는 앞서 설명한 토출관(143) 및 토출펌프(144)로 구성된 예와 혼용하는 것도 가능하다.
이하에서는 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 9는 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 방법의 일실시예의 순서도이다.
상호 합착된 기판과 스탬프를 분리하기 위해서는 먼저, 기판을 지지한다(기판지지단계, S101). 여기서 기판 및 스탬프는 앞서 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치에 대한 설명에서와 같은 것이다.
한편으로는 스탬프를 지지한다(스탬프지지단계, S102). 스탬프지지단계는 반드시 기판지지단계(S101) 이후에 진행될 필요는 없으며, 양 단계가 동시에 진행될 수도 있고, 순서가 바뀌어 진행되어도 무방하다.
기판이나 스탬프를 지지하는 구체적인 방법은 여러가지가 있을 수 있지만, 대면적의 기판과 스탬프를 변형이나 손상없이 지지하기 위해서는 각각 진공척으로 부착하여 지지하는 것이 바람직하다.
스탬프의 면적이 기판의 면적보다 크므로, 필연적으로 스탬프의 가장자리가 기판의 외측으로 돌출되는데, 이와 같이 기판의 면적을 벗어난 스탬프의 가장자리부에 공기를 분사한다(공기분사단계, S103).
이 상태에서 기판과 스탬프를 서로 이격시킨다(스탬프이격단계, S104). 그러면 스탬프의 가장자리에는 기판으로부터 멀어지는 방향으로 공기압이 작용되므로, 서서히 기판으로부터 분리되기 시작하며, 스탬프의 가장자리가 기판으로부터 분리되기 시작하면, 이 부분을 기점으로 하여 나머지 부분이 연쇄적으로 분리되므로, 양자를 용이하게 분리할 수 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
도 1 내지 도 6은 종래기술에 따른 임프린트 기법의 각 공정을 개략 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치의 일실시예의 단면도이다.
도 8은 도 7의 실시예의 다른 작동상태에서의 단면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치의 다른 실시예의 단면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 방법의 일실시예의 순서도이다.

Claims (7)

  1. 기판에 형성할 미세 패턴에 대응하는 형상이 형성되어 상기 기판에 합착되고, 상기 기판보다 큰 면적을 가지는 판 형상의 스탬프를 지지하기 위한 스탬프지지블럭과,
    일단이 상기 스탬프지지블럭의 상기 스탬프를 향한 면으로 개방되고, 타단이 상기 스탬프지지블럭을 관통하여 외부로 연장된 제1 흡입관과,
    상기 제1 흡입관의 타단에 연결된 제1 흡입펌프와,
    상기 스탬프지지블럭에 대해 상대적으로 접근 및 이격되도록 가동되며 상기 기판을 지지하기 위한 기판지지블럭과,
    일단이 상기 기판지지블럭의 상기 기판을 향한 면 중 상기 기판에 대응되는 영역으로 개방되고, 타단이 상기 기판지지블럭을 관통하여 외부로 연장된 제2 흡입관과,
    상기 제2 흡입관의 타단에 연결된 제2 흡입펌프와,
    상기 기판지지블럭에 설치되어 상기 스탬프의 상기 기판을 향한 면 중 상기 기판에 대응되는 영역에서 벗어난 면을 밀어내는 가압수단을 포함하여 이루어진 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가압수단은,
    일단이 상기 기판지지블럭의 상기 스탬프를 향한 면으로 개방되고, 타단이 상기 기판지지블럭을 관통하여 외부로 연장된 복수의 토출관과,
    상기 복수의 토출관의 각 타단에 연결된 토출펌프를 포함하여 이루어진 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 가압수단은,
    상기 기판지지블럭의 상기 스탬프를 향한 면으로부터 상기 스탬프를 향해 신축작동되는 리니어 액츄에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스탬프지지블럭의 상기 스탬프를 향한 면에 설치되고 상기 스탬프에 밀착되는 오링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판지지블럭의 상기 기판을 향한 면에 설치되고, 상기 기판에 밀착되는 오링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 장치.
  6. 미세 패턴을 형성할 기판을 지지하는 기판지지단계와,
    상기 기판에 형성할 미세 패턴에 대응하는 형상이 형성되어 상기 기판에 합착되고, 상기 기판보다 큰 면적을 가지는 판 형상의 스탬프를 지지하는 스탬프지지단계와,
    상기 기판의 면적을 벗어난 상기 스탬프의 일면에 공기를 분사하는 공기분사단계와,
    상기 기판으로부터 스탬프를 이격시키는 스탬프이격단계를 포함하여 이루어진 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 기판지지단계 및 스탬프지지단계는 각각 진공척에 의해 상기 기판 및 스탬프를 각각 지지하는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 분리 방법.
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