KR100920047B1 - Vertical transistor and method of forming the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 엔모스(NMOS)의 이동도를 향상시켜 동작 속도를 개선할 수 있는 수직형 트랜지스터 및 그의 형성방법을 개시한다. 개시된 본 발명에 따른 수직형 트랜지스터는, 표면 상에 필라(Pillar)형 액티브 패턴을 갖는 반도체 기판; 상기 필라형 액티브 패턴의 수직 방향으로 인장 응력이 인가되도록, 상기 필라형 액티브 패턴의 측벽에 형성된 인장막; 상기 필라형 액티브 패턴 하부의 반도체 기판 내에 형성된 제1접합 영역; 상기 인장막을 포함한 상기 필라형 액티브 패턴의 측벽에 상기 제1접합 영역과 콘택하도록 형성된 게이트; 및 상기 필라형 액티브 패턴 및 그에 인접한 인장막 부분 상에 상기 게이트와 콘택하도록 형성된 제2접합 영역;을 포함한다.The present invention discloses a vertical transistor and a method of forming the same which can improve the operation speed by improving the mobility of NMOS. According to an aspect of the present invention, there is provided a vertical transistor comprising: a semiconductor substrate having a pillar-type active pattern on a surface thereof; A tensile film formed on sidewalls of the pillar-type active pattern such that tensile stress is applied in a vertical direction of the pillar-type active pattern; A first junction region formed in the semiconductor substrate under the pillar-type active pattern; A gate formed to contact the first junction region on a sidewall of the pillar-type active pattern including the tensile layer; And a second junction region formed to contact the gate on the pillar-shaped active pattern and a portion of the tensile layer adjacent thereto.

Description

수직형 트랜지스터 및 그의 형성방법{VERTICAL TRANSISTOR AND METHOD OF FORMING THE SAME}Vertical Transistor and Formation Method {VERTICAL TRANSISTOR AND METHOD OF FORMING THE SAME}

본 발명은 수직형 트랜지스터 및 그의 형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 엔모스(NMOS)의 이동도를 향상시켜 동작 속도를 개선할 수 있는 수직형 트랜지스터 및 그의 형성방법에 관한 것이다. The present invention relates to a vertical transistor and a method of forming the same, and more particularly, to a vertical transistor and a method of forming the same that can improve the operating speed by improving the mobility of the NMOS (NMOS).

일반적으로, 반도체 소자 내에 트랜지스터를 형성하는 방법에는 다양한 기술이 사용되고 있는데, 최근에는 실리콘 기판 상에 산화막을 입혀 전계 효과를 내도록 하는 모스형 전계 효과 트랜지스터(MOS FET : Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)를 많이 사용하고 있다. 상기 모스형 트랜지스터는 셀 영역과 주변회로 영역으로 구분된 반도체 기판의 각 영역 상에 형성되며, 게이트 절연막과 게이트 도전막의 적층 구조를 포함한다. 상기 게이트 도전막은 통상 폴리실리콘막, 또는, 폴리실리콘막과 금속계막의 적층막으로 이루어진다.In general, a variety of techniques are used to form a transistor in a semiconductor device. Recently, many metal oxide semiconductor field effect transistors (MOS FETs) have an oxide film coated on a silicon substrate to produce an electric field effect. I use it. The MOS transistor is formed on each region of a semiconductor substrate divided into a cell region and a peripheral circuit region, and includes a stacked structure of a gate insulating film and a gate conductive film. The gate conductive film is usually made of a polysilicon film or a laminated film of a polysilicon film and a metal-based film.

한편, 반도체 소자의 디자인 룰(Design Rule)이 감소함에 따라, 근래의 반도체 산업은 반도체 소자의 집적도를 향상시키며, 동작 속도 및 수율을 증가시키는 방향으로 나아가게 되었다.On the other hand, as the design rule of the semiconductor device is reduced, the semiconductor industry in recent years has moved toward improving the integration degree of the semiconductor device and increasing the operation speed and yield.

이에, 기존의 트랜지스터가 갖는 반도체 소자의 집적도 및 커런트(Current) 측면에서의 한계를 극복하기 위해 수직형 트랜지스터(Vertical Transister)가 제안된 바 있다.Accordingly, a vertical transistor has been proposed to overcome the limitations in terms of the degree of integration and current of the semiconductor device of the conventional transistor.

상기 수직형 트랜지스터는 기존의 트랜지스터가 게이트와 게이트 양측의 기판 내에 형성된 소오스/드레인 영역으로 구성되어 수평 방향의 채널(Channel Length)이 형성되었던 것과 달리, 게이트와 상기 게이트의 상하 방향으로 형성된 소오스/드레인 영역으로 구성되어 수직 방향의 채널이 형성된다. The vertical transistor has a source / drain formed in the vertical direction of the gate and the gate, unlike a conventional transistor composed of a source / drain region formed in the gate and the substrate on both sides of the gate. It consists of an area to form a channel in the vertical direction.

자세하게, 반도체 기판의 주면(main surface)에 대하여 수직으로 연장되는 활성 필라(Pillar)를 형성하고, 상기 활성 필라의 주위에 상기 활성 필라를 감싸도록 환형 게이트를 형성하며, 상기 환형 게이트를 중심으로 하여 상기 활성 필라의 상하에 소오스 영역 및 드레인 영역을 형성함으로써 반도체 기판의 주면에 대하여 수직형 채널을 갖는 수직형 트랜지스터가 형성된다. In detail, an active pillar extending perpendicular to the main surface of the semiconductor substrate is formed, and an annular gate is formed around the active pillar to surround the active pillar, and the center of the annular gate By forming a source region and a drain region above and below the active pillar, a vertical transistor having a vertical channel with respect to a main surface of the semiconductor substrate is formed.

이러한 수직형 트랜지스터는 반도체 소자의 커런트가 증가될 뿐 아니라 셀 사이즈가 감소되어 고집적 소자에 적용하기 유리하다는 장점이 있다.Such vertical transistors have advantages in that the current of the semiconductor device is increased as well as the cell size is reduced, which is advantageous to be applied to the highly integrated device.

그러나, 전술한 종래의 수직형 트랜지스터의 경우에는 상기 게이트가 상기 수직형 채널을 감싸도록 형성되기 때문에, 캐패시턴스(Capacitance)가 증가되는 문제를 피할 수 없으며, 상기 캐패시턴스가 증가되면 인버터(Inverter) 속도를 개선하는 데에 한계가 있다. 특히, 폴리실리콘막의 공핍률이 상대적으로 큰 엔모스의 경우에는 이러한 캐패시턴스 및 인버터 속도에 더욱 취약하므로, 동작 속도가 저하된다.However, in the case of the conventional vertical transistor described above, since the gate is formed to surround the vertical channel, a problem of increasing capacitance cannot be avoided, and if the capacitance is increased, the inverter speed is increased. There is a limit to improvement. In particular, in the case of NMOS having a relatively large depletion rate of the polysilicon film, the NMOS is more susceptible to such capacitance and inverter speed, and thus the operation speed is lowered.

본 발명은 엔모스(NMOS)의 이동도를 향상시킬 수 있는 수직형 트랜지스터 및 그의 형성방법을 제공한다.The present invention provides a vertical transistor capable of improving mobility of NMOS and a method of forming the same.

또한, 본 발명은 동작 속도를 개선할 수 있는 수직형 트랜지스터 및 그의 형성방법을 제공한다.In addition, the present invention provides a vertical transistor and a method of forming the same which can improve the operation speed.

본 발명의 실시예에 따른 수직형 트랜지스터는, 표면 상에 필라(Pillar)형 액티브 패턴을 갖는 반도체 기판; 상기 필라형 액티브 패턴의 수직 방향으로 인장 응력이 인가되도록, 상기 필라형 액티브 패턴의 측벽에 형성된 인장막; 상기 필라형 액티브 패턴 하부의 반도체 기판 내에 형성된 제1접합 영역; 상기 인장막을 포함한 상기 필라형 액티브 패턴의 측벽에 상기 제1접합 영역과 콘택하도록 형성된 게이트; 및 상기 필라형 액티브 패턴 및 그에 인접한 인장막 부분 상에 상기 게이트와 콘택하도록 형성된 제2접합 영역;을 포함한다.A vertical transistor according to an embodiment of the present invention, a semiconductor substrate having a pillar-type active pattern on the surface; A tensile film formed on sidewalls of the pillar-type active pattern such that tensile stress is applied in a vertical direction of the pillar-type active pattern; A first junction region formed in the semiconductor substrate under the pillar-type active pattern; A gate formed to contact the first junction region on a sidewall of the pillar-type active pattern including the tensile layer; And a second junction region formed to contact the gate on the pillar-shaped active pattern and a portion of the tensile layer adjacent thereto.

상기 인장막은 SiGe막을 포함한다.The tensile film includes a SiGe film.

상기 제1접합 영역 및 상기 제2접합 영역은 N형 이온주입층으로 형성된다.The first junction region and the second junction region are formed of an N-type ion implantation layer.

상기 제1접합 영역은 상기 필라형 액티브 패턴 하부를 포함한 상기 필라형 액티브 패턴 사이의 반도체 기판 표면 내에 라인 타입으로 형성된다.The first junction region is formed in a line type within a semiconductor substrate surface between the pillar-type active patterns including the pillar-type active pattern.

상기 제2접합 영역은 도핑된 에피 실리콘층으로 이루어진다.The second junction region consists of a doped epi silicon layer.

상기 인장막과 게이트 및 제2접합 영역이 형성된 필라형 액티브 패턴 사이를 매립하도록 형성된 절연막을 더 포함한다.The semiconductor device may further include an insulating layer formed to fill the pillar-type active pattern in which the tensile layer, the gate, and the second junction region are formed.

상기 절연막은 상기 게이트의 측벽에 형성된 제1절연막과 상기 제1절연막 상에 상기 필라형 액티브 패턴 사이를 매립하도록 형성된 제2절연막을 포함한다.The insulating layer may include a first insulating layer formed on the sidewall of the gate and a second insulating layer formed to fill the pillar-type active pattern on the first insulating layer.

상기 제1절연막은 질화막을 포함하고, 상기 제2절연막은 산화막을 포함한다.The first insulating film includes a nitride film and the second insulating film includes an oxide film.

본 발명의 실시예에 따른 수직형 트랜지스터의 형성방법은, 반도체 기판의 표면에 필라형 액티브 패턴을 형성하는 단계; 상기 필라형 액티브 패턴의 수직 방향으로 인장 응력이 인가되도록, 상기 필라형 액티브 패턴 하단부의 측벽에 인장막을 형성하는 단계; 상기 인장막이 형성된 필라형 액티브 패턴 하부의 반도체 기판 부분 내에 제1접합 영역을 형성하는 단계; 상기 인장막이 형성되지 않은 필라형 액티브 패턴의 상단부를 제거하는 단계; 상기 인장막을 포함한 상기 필라형 액티브 패턴의 측벽에 상기 제1접합 영역과 콘택하도록 게이트를 형성하는 단계; 및 상기 필라형 액티브 패턴 및 그에 인접한 인장막 부분 상에 상기 게이트와 콘택하도록 제2접합 영역을 형성하는 단계;를 포함한다.A method of forming a vertical transistor according to an embodiment of the present invention includes forming a pillar-type active pattern on a surface of a semiconductor substrate; Forming a tensile film on sidewalls of the lower end of the pillar-type active pattern such that tensile stress is applied in a vertical direction of the pillar-type active pattern; Forming a first junction region in a portion of the semiconductor substrate under the pillar-shaped active pattern on which the tensile film is formed; Removing an upper end of the pillar-type active pattern in which the tensile film is not formed; Forming a gate on the sidewall of the pillar-type active pattern including the tensile layer to contact the first junction region; And forming a second junction region on the pillar-shaped active pattern and a portion of the tensile layer adjacent thereto to contact the gate.

상기 필라형 액티브 패턴을 형성하는 단계는, 반도체 기판을 비등방성 식각하는 단계; 상기 비등방성 식각된 부분의 측벽에 스페이서를 형성하는 단계; 및 상기 스페이서에 의해 노출된 반도체 기판 부분을 등방성 식각하는 단계;를 포함한다.The forming of the pillar-type active pattern may include anisotropically etching the semiconductor substrate; Forming a spacer on sidewalls of the anisotropic etched portion; And isotropically etching the portion of the semiconductor substrate exposed by the spacer.

상기 인장막을 형성하는 단계는, 상기 필라형 액티브 패턴 사이의 공간을 매립하도록 인장막을 형성하는 단계; 및 상기 인장막이 상기 필라형 액티브 패턴 하단부의 측벽에만 잔류되도록 식각하는 단계;를 포함한다.The forming of the tensile film may include forming a tensile film to fill a space between the pillar-shaped active patterns; And etching the tensile film such that the tensile film remains only on sidewalls of the lower end of the pillar-type active pattern.

상기 필라형 액티브 패턴 사이의 공간을 매립하도록 상기 인장막을 형성하는 단계는, 상기 필라형 액티브 패턴 사이의 공간을 매립하도록 에피층을 성장시켜 수행한다.The forming of the tensile layer to fill the space between the pillar-shaped active patterns may be performed by growing an epi layer to fill the space between the pillar-shaped active patterns.

상기 에피층은 Si1 - xGex막(0.1≤x≤0.5)을 포함한다.The epi layer comprises a Si 1 - x Ge x film (0.1 ≦ x ≦ 0.5).

상기 에피층은 SEG(Selective Epitaxial Growth) 공정을 통해 성장시킨다.The epitaxial layer is grown through a selective epitaxial growth (SEG) process.

상기 SEG 공정은 Cl2SiH2, GeH4, H2 및 HCl을 사용하여 수행한다.The SEG process is performed using Cl 2 SiH 2 , GeH 4 , H 2 and HCl.

상기 SEG 공정은 500∼1000℃의 온도 및 50∼500Pa의 압력 조건으로 수행한다.The SEG process is carried out at a temperature of 500 ~ 1000 ℃ and pressure conditions of 50 ~ 500Pa.

상기 인장막을 식각하는 단계는, 상기 인장막 및 그 아래의 반도체 기판 부분을 비등방성 식각하는 단계; 및 상기 비등방성 식각된 인장막 및 그 아래의 반도체 기판 부분의 폭이 넓어지도록 등방성 식각하는 단계;를 포함한다.Etching the tensile film may include anisotropically etching the tensile film and a portion of the semiconductor substrate thereunder; And isotropically etching the widened width of the anisotropically etched tensile film and a portion of the semiconductor substrate thereunder.

상기 제1접합 영역은 상기 필라형 액티브 패턴 하부의 반도체 기판 내에 N형 불순물을 이온주입하여 형성한다.The first junction region is formed by ion implanting N-type impurities into a semiconductor substrate under the pillar-type active pattern.

상기 N형 불순물의 이온주입은 경사 이온주입 방식으로 수행한다.Ion implantation of the N-type impurity is performed by gradient ion implantation.

상기 제1접합 영역은 상기 필라형 액티브 패턴 하부를 포함한 상기 필라형 액티브 패턴 사이의 반도체 기판 표면 내에 라인 타입으로 형성한다.The first junction region is formed in a line type within a surface of a semiconductor substrate between the pillar-type active patterns including the pillar-type active pattern.

상기 게이트를 형성하는 단계 후, 그리고, 상기 제2접합 영역을 형성하는 단계 전, 상기 게이트의 측벽에 제1절연막을 형성하는 단계; 상기 제1절연막 상에 상기 필라형 액티브 패턴 사이를 매립하도록 제2절연막을 형성하는 단계; 및 상기 제 2절연막의 표면을 평탄화하는 단계;를 더 포함한다.Forming a first insulating film on sidewalls of the gate after forming the gate and before forming the second junction region; Forming a second insulating layer on the first insulating layer to fill the pillar type active pattern; And planarizing a surface of the second insulating layer.

상기 제1절연막은 질화막을 포함하며, 상기 제2절연막은 산화막을 포함한다.The first insulating film includes a nitride film and the second insulating film includes an oxide film.

상기 제2접합 영역은 N형 불순물이 도핑된 에피 실리콘층으로 형성한다.The second junction region is formed of an epitaxial silicon layer doped with N-type impurities.

상기 제2접합 영역을 형성하는 단계는, 상기 게이트가 형성된 필라형 액티브 패턴 및 상기 필라형 액티브 패턴 사이를 매립하도록 표면이 평탄화된 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막을 식각하여 상기 필라형 액티브 패턴 및 그에 인접한 인장막 부분을 노출시키는 단계; 상기 노출된 필라형 액티브 패턴 및 그에 인접한 인장막 상에 에피 실리콘층을 성장시키는 단계; 및 상기 에피 실리콘층 내에 N형 불순물을 이온주입하는 단계;를 포함한다.The forming of the second junction region may include forming an insulating film having a planarized surface so as to fill a gap between the pillar-shaped active pattern and the pillar-shaped active pattern; Etching the insulating film to expose the pillar-type active pattern and a portion of the tensile film adjacent thereto; Growing an epi silicon layer on the exposed pillar-shaped active pattern and the tensile film adjacent thereto; And ion implanting N-type impurities into the epi silicon layer.

상기 에피 실리콘층은 SEG 공정으로 성장시킨다.The epi silicon layer is grown by the SEG process.

본 발명은 수직형 트랜지스터의 형성시 채널 영역을 감싸도록 SiGe막을 형성함으로써, 상기 채널 영역의 반도체 기판 부분에 수직 방향, 즉, 채널 길이 방향으로 인장 응력을 가할 수 있다.According to the present invention, a SiGe film is formed to surround a channel region when a vertical transistor is formed, and thus a tensile stress may be applied to a portion of the semiconductor substrate of the channel region in a vertical direction, that is, in a channel length direction.

따라서, 본 발명은 엔모스(NMOS)의 이동도를 개선하여 캐패시턴스(Capacitance)가 증가되는 문제를 해결할 수 있으며, 이를 통해, 반도체 소자의 인버터(Inverter) 속도 및 동작 속도를 향상시킬 수 있다.Accordingly, the present invention can solve the problem of increasing capacitance by improving mobility of NMOS, thereby improving the inverter speed and the operating speed of the semiconductor device.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 수직형 트랜지스터를 설명하기 위한 단면도이다.1 is a cross-sectional view for describing a vertical transistor according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 반도체 기판(100)의 표면 상에 필라형 액티브 패턴(P)이 형성되어 있으며, 상기 필라형 액티브 패턴(P)의 측벽에 인장막(108a)이 형성되어 있다. 상기 인장막(108a)은 에피층, 바람직하게, SiGe막을 포함하는 에피층으로 이루어져 있으며, 상기 필라형 액티브 패턴(P)의 측벽을 감싸도록 형성되어 있다. Referring to FIG. 1, a pillar-type active pattern P is formed on a surface of a semiconductor substrate 100, and a tensile film 108a is formed on sidewalls of the pillar-type active pattern P. Referring to FIG. The tensile film 108a is formed of an epi layer, preferably an epi layer including a SiGe layer, and is formed to surround sidewalls of the pillar-type active pattern P.

상기 SiGe막은 Si에 비해 격자 상수가 크기 때문에, 상기 SiGe막으로 이루어진 인장막에 의해 Si으로 이루어진 반도체 기판의 채널 영역에 수직 방향, 즉, 채널 길이 방향으로 인장 응력이 인가된다. Since the SiGe film has a larger lattice constant than Si, a tensile stress is applied to the channel region of the semiconductor substrate made of Si by the tensile film made of the SiGe film, that is, in the channel length direction.

상기 인장막(108a)이 형성된 필라형 액티브 패턴(P) 하부의 반도체 기판(100) 내에 제1접합 영역(110)이 형성되어 있고, 상기 인장막(108a)을 포함한 상기 필라형 액티브 패턴(P)의 측벽에 상기 제1접합 영역(110)과 콘택하도록 게이트(112a)가 형성되어 있으며, 상기 필라형 액티브 패턴(P) 및 그에 인접한 인장막(108a) 부분 상에 상기 게이트(112a)와 콘택하도록 제2접합 영역(120)이 형성되어 있다. The first bonding region 110 is formed in the semiconductor substrate 100 under the pillar-shaped active pattern P on which the tensile film 108a is formed, and the pillar-shaped active pattern P including the tensile film 108a is formed. The gate 112a is formed on the sidewall of the N-side to contact the first junction region 110 and contacts the gate 112a on the pillar-shaped active pattern P and the portion of the tensile film 108a adjacent thereto. The second junction region 120 is formed to be.

상기 제1접합 영역(110) 및 상기 제2접합 영역(120)은 N형 이온주입층으로 형성되어 있다. 또한, 상기 제1접합 영역(110)은 상기 필라형 액티브 패턴(P) 하부를 포함한 상기 필라형 액티브 패턴(P) 사이의 반도체 기판(100) 표면 내에 라인 타입으로 형성되어 있으며, 상기 제2접합 영역(120)은 에피층으로 이루어져 있다. The first junction region 110 and the second junction region 120 are formed of an N-type ion implantation layer. In addition, the first junction region 110 is formed in a line type within a surface of the semiconductor substrate 100 between the pillar-type active patterns P including the pillar-type active pattern P, and the second junctions. The region 120 is composed of an epi layer.

상기 인장막(108a)과 게이트(112a) 및 제2접합 영역(120)이 형성된 필라형 액티브 패턴(P) 사이를 매립하도록 형성된 절연막이 형성되어 있다. 상기 절연막은 상기 게이트(112a)의 측벽에 형성된 제1절연막(116)과 상기 제1절연막(116) 상에 상기 필라형 액티브 패턴(P) 사이를 매립하도록 형성된 제2절연막(118)을 포함한다. 상기 제1절연막(116)은 질화막을 포함하고, 상기 제2절연막(118)은 산화막을 포함한다.An insulating film formed to fill the pillar-shaped active pattern P having the tensile film 108a, the gate 112a, and the second junction region 120 formed therein is formed. The insulating layer includes a first insulating layer 116 formed on sidewalls of the gate 112a and a second insulating layer 118 formed to fill a space between the pillar-shaped active pattern P on the first insulating layer 116. . The first insulating layer 116 includes a nitride layer, and the second insulating layer 118 includes an oxide layer.

이와 같이, 본 발명의 수직형 트랜지스터는 As such, the vertical transistor of the present invention 필라형Pillar type 액티브 패턴(P)의 측벽에 수직형 채널 영역을 감싸도록 형성된  It is formed to surround the vertical channel region on the sidewall of the active pattern (P) 인장막(108a)을Tension film 108a 포함하며, 상기  Including; 인장막Tension film (108a)(108a) 에on 의해 채널 영역의 반도체 기판(100) 부분에 수직 방향, 즉, 채널 길이 방향으로 인장 응력이 인가된다. 상기 채널 영역에 인장 응력이 인가되면, 상기 채널 영역 부분에서 전자들이 육면체 격자 구조를 가진  As a result, tensile stress is applied to a portion of the semiconductor substrate 100 in the channel region in the vertical direction, that is, in the channel length direction. When tensile stress is applied to the channel region, electrons in the channel region portion have a hexahedral lattice structure. SiSi 원자의 6 면 중 유효 질량이 작은 면으로 이동한다. 그 결과, 본 발명은  Of the six sides of the atom, the effective mass moves to the smaller side. As a result, the present invention 엔모스의Enmos 전자  Electronic 이동도가Mobility 개선되며, 이에 따라, 반도체 소자의 인버터 속도 및 동작 속도가 향상된다. As a result, the inverter speed and the operating speed of the semiconductor device are improved.

도 2a 내지 도 2j는 본 발명의 실시예에 따른 수직형 트랜지스터를 설명하기 위한 공정별 단면도이다.2A through 2J are cross-sectional views illustrating processes of a vertical transistor according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2a를 참조하면, 반도체 기판(100) 상에 패드 산화막(102)과 패드 질화막(104)을 차례로 형성한 후, 상기 패드 질화막(104) 상에 감광막 패턴(도시안됨)을 형성한다. 상기 감광막 패턴을 식각 베리어로 상기 패드 질화막(104)과 패드 산화막(102)을 식각한 다음, 상기 감광막 패턴을 제거한다. 상기 식각된 패드 질화막(104)과 패드 산화막(102)을 식각 베리어로 반도체 기판(100) 부분을 비등방성 식각한다.Referring to FIG. 2A, after the pad oxide film 102 and the pad nitride film 104 are sequentially formed on the semiconductor substrate 100, a photoresist pattern (not shown) is formed on the pad nitride film 104. The pad nitride layer 104 and the pad oxide layer 102 are etched using the photoresist pattern as an etch barrier, and then the photoresist pattern is removed. Anisotropically etch the portion of the semiconductor substrate 100 using the etched pad nitride film 104 and the pad oxide film 102 as an etch barrier.

도 2b를 참조하면, 상기 비등방성 식각된 반도체 기판(100)에 대해 식각 데미지(Damage) 큐어링(Curing)용 산화 공정을 수행하여 산화막(도시안됨)을 형성한 후, 상기 산화막을 포함한 패드 질화막(104) 표면 상에 질화막을 형성한다. 상기 질화막과 산화막을 스페이서 식각하여 상기 비등방성 식각된 반도체 기판(100) 부분의 측벽에 스페이서(106)를 형성한다.Referring to FIG. 2B, an oxide film (not shown) is formed by performing an oxidation process for etching damage to the anisotropically etched semiconductor substrate 100 to form an oxide film (not shown), followed by a pad nitride film including the oxide film. (104) A nitride film is formed on the surface. The nitride layer and the oxide layer are etched to form a spacer 106 on sidewalls of the anisotropically etched semiconductor substrate 100.

도 2c를 참조하면, 상기 스페이서(106)에 의해 노출된 반도체 기판(100) 부분을 등방성 식각하여 반도체 기판(100)의 표면 상에 필라형 액티브 패턴(P)을 형성한다. 상기 등방성 식각은 습식 방식으로 수행함이 바람직하다.Referring to FIG. 2C, a portion of the semiconductor substrate 100 exposed by the spacer 106 isotropically etched to form a pillar-shaped active pattern P on the surface of the semiconductor substrate 100. The isotropic etching is preferably performed in a wet manner.

도 2d를 참조하면, 상기 필라형 액티브 패턴(P) 사이의 공간을 매립하도록 에피층(108), 바람직하게는, Si1 - xGex막(0.1≤x≤0.5)을 포함하는 에피층(108)을 형성한다. 상기 에피층은, 예컨대, SEG(Selective Epitaxial Growth) 공정을 통해 형성하며, 상기 SEG 공정은 Cl2SiH2, GeH4, H2 및 HCl을 사용하여 500∼1000℃의 온도 및 50∼500Pa의 압력 조건으로 수행한다.Referring to Figure 2d, the epi layer 108, preferably, Si 1 to fill the space between the pillar-shaped active pattern (P) - epi layer containing x Ge x layer (0.1≤x≤0.5) ( 108). The epi layer is formed through, for example, a selective epitaxial growth (SEG) process, wherein the SEG process is performed using Cl 2 SiH 2 , GeH 4 , H 2, and HCl at a temperature of 500 to 1000 ° C. and a pressure of 50 to 500 Pa. Perform on condition.

도 2e를 참조하면, 상기 에피층(108)을 식각하여, 상기 필라형 액티브 패턴(P) 하단부의 측벽을 감싸도록 인장막(108a)을 형성한다. 자세하게, 상기 패드 질화막(104)과 스페이서(106)을 식각 베리어로 이용해서 상기 에피층(108)을 비등방성 식각한 다음, 상기 비등방성 식각된 에피층(108) 부분의 폭이 넓어지도록 등방성 식각하여 상기 인장막(108a)을 형성한다. 이때, 상기 에피층(108) 그 아래의 반도체 기판(100) 부분이 함께 식각될 수도 있다.Referring to FIG. 2E, the epitaxial layer 108 is etched to form a tensile film 108a to surround sidewalls of the lower end of the pillar-type active pattern P. Referring to FIG. In detail, the epitaxial layer 108 is anisotropically etched using the pad nitride film 104 and the spacer 106 as an etch barrier, and then the isotropic etching of the anisotropically etched epitaxial layer 108 becomes wider. Thus, the tensile film 108a is formed. In this case, portions of the semiconductor substrate 100 under the epitaxial layer 108 may be etched together.

도 2f를 참조하면, 상기 인장막(108a)이 형성된 필라형 액티브 패턴(P) 하부의 반도체 기판(100) 내에 제1접합 영역(110)을 형성한다. 상기 제1접합 영역(110)은 상기 필라형 액티브 패턴(P) 하부의 반도체 기판(100) 내에 N형 불순물을 이온주입, 바람직하게, 경사 이온주입 방식으로 이온주입하여 형성한다. 또한, 상기 제1접합 영역(110)은 상기 필라형 액티브 패턴(P) 하부를 포함한 필라형 액티브 패턴(P) 사이의 반도체 기판(100) 표면 내에 라인 타입으로 형성하는 것도 가능하다.Referring to FIG. 2F, a first junction region 110 is formed in the semiconductor substrate 100 under the pillar-shaped active pattern P on which the tensile film 108a is formed. The first junction region 110 is formed by implanting N-type impurities into the semiconductor substrate 100 under the pillar-type active pattern P by ion implantation, preferably by oblique ion implantation. In addition, the first junction region 110 may be formed in a line type within the surface of the semiconductor substrate 100 between the pillar-shaped active patterns P including the pillar-type active patterns P.

도 2g를 참조하면, 상기 제1접합 영역이 형성된 반도체 기판의 전면 상에 게이트 절연막(도시안됨)과 게이트 도전막(112)을 차례로 형성한다. 상기 게이트 도전막(112)은 금속막, 예컨대, Ti막, TiN막, WN막, W막 및 WSix막 중 하나 이상의 막을 포함한다. 상기 게이트 도전막(112) 상에 게이트 하드마스크막(도시안됨)으로서 질화막을 형성하는 것이 바람직하며, 상기 게이트 하드마스크막 상에 상기 패드 질화막(104) 상부를 덮도록 희생막(114), 예컨대, 산화막을 형성한다.Referring to FIG. 2G, a gate insulating film (not shown) and a gate conductive film 112 are sequentially formed on the entire surface of the semiconductor substrate on which the first junction region is formed. The gate conductive layer 112 includes a metal layer, for example, at least one of a Ti layer, a TiN layer, a WN layer, a W layer, and a WSix layer. Preferably, a nitride film is formed on the gate conductive layer 112 as a gate hard mask layer (not shown), and the sacrificial layer 114 may be formed on the gate hard mask layer to cover the pad nitride layer 104. And an oxide film is formed.

도 2h를 참조하면, 상기 희생막, 게이트 하드마스크막, 게이트 도전막(112), 게이트 절연막, 패드 질화막, 패드 산화막, 스페이서 및 상기 인장막(108a)이 형성되지 않은 필라형 액티브 패턴(P)의 상단부를 CMP(Chemical Mechanical Polishing)한다. 상기 CMP된 반도체 기판(100)의 결과물을 습십 클리닝하여 상기 희생막을 제거한다.Referring to FIG. 2H, the pillar-type active pattern P in which the sacrificial layer, the gate hard mask layer, the gate conductive layer 112, the gate insulating layer, the pad nitride layer, the pad oxide layer, the spacer, and the tensile layer 108a is not formed is illustrated. CMP (Chemical Mechanical Polishing) of the upper end of the. The sacrificial layer is removed by wet cleaning the resultant of the CMP semiconductor substrate 100.

도 2i를 참조하면, 상기 필라형 액티브 패턴(P) 사이에 형성된 게이트 도전막(112) 부분을 식각하여 상기 인장막(108a)을 포함한 필라형 액티브 패턴(P)의 측벽에 게이트(112a)를 형성한다. 상기 게이트(112a)는 상기 제1접합 영역(110)과 콘 택하도록 형성한다. Referring to FIG. 2I, a portion of the gate conductive layer 112 formed between the pillar-type active pattern P is etched to form a gate 112a on a sidewall of the pillar-type active pattern P including the tensile layer 108a. Form. The gate 112a is formed to contact the first junction region 110.

상기 게이트(112a)의 측벽에 , 예컨대, 질화막으로 제1절연막(116)을 형성한 후, 상기 제1절연막(116)을 포함한 게이트(112a) 상에 상기 필라형 액티브 패턴(P) 사이를 매립하도록 제2절연막(118)을 형성한다. 상기 제1절연막(116)은 질화막을 포함하며, 상기 제2절연막(118)은 산화막을 포함한다. 이어서, 상기 제2절연막(118)의 표면을 평탄화함이 바람직하다. After forming the first insulating film 116 on the sidewall of the gate 112a, for example, a nitride film, the gap between the pillar-shaped active pattern P is buried on the gate 112a including the first insulating film 116. The second insulating film 118 is formed so as to. The first insulating layer 116 includes a nitride layer, and the second insulating layer 118 includes an oxide layer. Next, it is preferable to planarize the surface of the second insulating layer 118.

도 2j를 참조하면, 상기 제2절연막(118)을 필라형 액티브 패턴(P) 및 그에 인접한 인장막 부분(108a)을 노출되도록 식각한다. 상기 노출된 필라형 액티브 패턴(P) 및 그에 인접한 인장막(108a) 상에, 바람직하게, SEG(Selective Epitaxial Growth) 공정으로 에피 실리콘층을 성장시킨다. 상기 에피 실리콘층 내에 N형 불순물을 이온주입하여 상기 필라형 액티브 패턴(P) 및 그에 인접한 인장막(108a) 부분 상에 상기 게이트(112a)와 콘택하도록 제2접합 영역(120)을 형성한다.Referring to FIG. 2J, the second insulating layer 118 is etched to expose the pillar-shaped active pattern P and the tensile film portion 108a adjacent thereto. An epitaxial silicon layer is preferably grown on the exposed pillar-shaped active pattern P and the tensile layer 108a adjacent thereto by a selective epitaxial growth (SEG) process. N-type impurities are implanted into the epitaxial silicon layer to form a second junction region 120 to contact the gate 112a on the pillar-type active pattern P and the portion of the tensile film 108a adjacent thereto.

이후, 도시하지는 않았으나 공지된 일련의 후속 공정들을 차례로 수행하여 본 발명의 실시예에 따른 수직형 트랜지스터를 완성한다.Subsequently, although not shown, a series of subsequent known processes are sequentially performed to complete the vertical transistor according to the embodiment of the present invention.

전술한 본 발명의 실시예에 따른 수직형 트랜지스터는 필라형 액티브 패턴을 감싸도록 인장막이 형성되어 채널 영역에 수직 방향, 즉, 채널 길이 방향으로 인장 응력을 인가할 수 있으며, 이를 통해, 엔모스의 전자 이동도를 개선할 수 있다. 따라서, 본 발명은 커런트가 증가될 뿐 아니라 캐패시턴스(Capacitance)가 증가되는 문제를 해결하여 인버터(Inverter) 속도 및 동작 속도를 향상시킬 수 있는 수직형 트랜지스터를 형성할 수 있다.In the vertical transistor according to the embodiment of the present invention described above, a tensile film is formed to surround the pillar-type active pattern so that a tensile stress may be applied to the channel region in a vertical direction, that is, in a channel length direction. Electron mobility can be improved. Accordingly, the present invention can solve the problem of not only increasing current but also increasing capacitance, thereby forming a vertical transistor capable of improving inverter speed and operating speed.

이상, 여기에서는 본 발명을 특정 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명이 그에 한정되는 것은 아니며, 이하의 특허청구의 범위는 본 발명의 정신과 분야를 이탈하지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변형될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 알 수 있다.As mentioned above, although the present invention has been illustrated and described with reference to specific embodiments, the present invention is not limited thereto, and the following claims are not limited to the scope of the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention. It can be easily understood by those skilled in the art that can be modified and modified.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 수직형 트랜지스터를 설명하기 위한 단면도.1 is a cross-sectional view illustrating a vertical transistor according to an embodiment of the present invention.

도 2a 내지 도 2j는 본 발명의 실시예에 따른 수직형 트랜지스터를 설명하기 위한 공정별 단면도.2A through 2J are cross-sectional views illustrating processes of a vertical transistor according to an exemplary embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 반도체 기판 102 : 패드 산화막100 semiconductor substrate 102 pad oxide film

104 : 패드 질화막 106 : 스페이서104: pad nitride film 106: spacer

108 : 에피층 108a : 인장막108: epi layer 108a: tensile film

110 : 제1접합 영역 112 : 게이트 도전막110: first junction region 112: gate conductive film

112a : 게이트 114 : 희생막112a: gate 114: sacrificial film

116 : 제1절연막 118 : 제2절연막116: first insulating film 118: second insulating film

120 : 제2접합 영역120: second junction region

Claims (25)

표면 상에 필라(Pillar)형 액티브 패턴을 갖는 반도체 기판; A semiconductor substrate having a pillar-type active pattern on a surface thereof; 상기 필라형 액티브 패턴의 수직 방향으로 인장 응력이 인가되도록, 상기 필라형 액티브 패턴의 측벽에 형성된 인장막; A tensile film formed on sidewalls of the pillar-type active pattern such that tensile stress is applied in a vertical direction of the pillar-type active pattern; 상기 필라형 액티브 패턴 하부의 반도체 기판 내에 형성된 제1접합 영역; A first junction region formed in the semiconductor substrate under the pillar-type active pattern; 상기 인장막을 포함한 상기 필라형 액티브 패턴의 측벽에 상기 제1접합 영역과 콘택하도록 형성된 게이트; 및A gate formed to contact the first junction region on a sidewall of the pillar-type active pattern including the tensile layer; And 상기 필라형 액티브 패턴 및 그에 인접한 인장막 부분 상에 상기 게이트와 콘택하도록 형성된 제2접합 영역;A second junction region formed to contact the gate on the pillar-shaped active pattern and a portion of the tensile film adjacent thereto; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터.Vertical transistor comprising a. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 인장막은 SiGe막을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터.The tensile film of claim 1, wherein the vertical transistor comprises a SiGe film. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1접합 영역 및 상기 제2접합 영역은 N형 이온주입층으로 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터.And the first junction region and the second junction region are formed of an N-type ion implantation layer. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1접합 영역은 상기 필라형 액티브 패턴 하부를 포함한 상기 필라형 액티브 패턴 사이의 반도체 기판 표면 내에 라인 타입으로 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터.And the first junction region is formed in a line type in a surface of a semiconductor substrate between the pillar-type active patterns including a lower portion of the pillar-type active pattern. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제2접합 영역은 도핑된 에피 실리콘층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터.And the second junction region is formed of a doped epi silicon layer. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 인장막과 게이트 및 제2접합 영역이 형성된 필라형 액티브 패턴 사이를 매립하도록 형성된 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터.And an insulating film formed to fill the pillar-type active pattern in which the tensile film, the gate, and the second junction region are formed. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 절연막은 상기 게이트의 측벽에 형성된 제1절연막과 상기 제1절연막 상에 상기 필라형 액티브 패턴 사이를 매립하도록 형성된 제2절연막을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터.And the insulating layer includes a first insulating layer formed on the sidewall of the gate and a second insulating layer formed between the pillar-type active pattern on the first insulating layer. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 제1절연막은 질화막을 포함하고, 상기 제2절연막은 산화막을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터.And the first insulating film includes a nitride film and the second insulating film includes an oxide film. 반도체 기판의 표면에 필라형 액티브 패턴을 형성하는 단계; Forming a pillar-type active pattern on the surface of the semiconductor substrate; 상기 필라형 액티브 패턴의 수직 방향으로 인장 응력이 인가되도록, 상기 필라형 액티브 패턴 하단부의 측벽에 인장막을 형성하는 단계; Forming a tensile film on sidewalls of the lower end of the pillar-type active pattern such that tensile stress is applied in a vertical direction of the pillar-type active pattern; 상기 인장막이 형성된 필라형 액티브 패턴 하부의 반도체 기판 부분 내에 제1접합 영역을 형성하는 단계; Forming a first junction region in a portion of the semiconductor substrate under the pillar-shaped active pattern on which the tensile film is formed; 상기 인장막이 형성되지 않은 필라형 액티브 패턴의 상단부를 제거하는 단계; Removing an upper end of the pillar-type active pattern in which the tensile film is not formed; 상기 인장막을 포함한 상기 필라형 액티브 패턴의 측벽에 상기 제1접합 영역과 콘택하도록 게이트를 형성하는 단계; 및Forming a gate on the sidewall of the pillar-type active pattern including the tensile layer to contact the first junction region; And 상기 필라형 액티브 패턴 및 그에 인접한 인장막 부분 상에 상기 게이트와 콘택하도록 제2접합 영역을 형성하는 단계;Forming a second junction region on the pillar-shaped active pattern and a portion of the tensile film adjacent thereto to contact the gate; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.Forming method of a vertical transistor comprising a. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 필라형 액티브 패턴을 형성하는 단계는, Forming the pillar-type active pattern, 반도체 기판을 비등방성 식각하는 단계;Anisotropically etching the semiconductor substrate; 상기 비등방성 식각된 부분의 측벽에 스페이서를 형성하는 단계; 및 Forming a spacer on sidewalls of the anisotropic etched portion; And 상기 스페이서에 의해 노출된 반도체 기판 부분을 등방성 식각하는 단계;Isotropically etching the portion of the semiconductor substrate exposed by the spacer; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.Forming method of a vertical transistor comprising a. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 인장막을 형성하는 단계는, Forming the tensile film, 상기 필라형 액티브 패턴 사이의 공간을 매립하도록 인장막을 형성하는 단계; 및Forming a tensile film to fill a space between the pillar-shaped active patterns; And 상기 인장막이 상기 필라형 액티브 패턴 하단부의 측벽에만 잔류되도록 식각하는 단계;Etching the tensile film so as to remain only on sidewalls of the lower end of the pillar-type active pattern; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.Forming method of a vertical transistor comprising a. 제 11 항에 있어서, The method of claim 11, 상기 필라형 액티브 패턴 사이의 공간을 매립하도록 상기 인장막을 형성하는 단계는, 상기 필라형 액티브 패턴 사이의 공간을 매립하도록 에피층을 성장시켜 수행하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.And forming the tensile layer to fill the space between the pillar-type active patterns by growing an epi layer to fill the space between the pillar-type active patterns. 제 12 항에 있어서, The method of claim 12, 상기 에피층은 Si1 - xGex막(0.1≤x≤0.5)을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.And the epi layer comprises a Si 1 - x Ge x film (0.1 ≦ x ≦ 0.5). 제 12 항에 있어서, The method of claim 12, 상기 에피층은 SEG(Selective Epitaxial Growth) 공정을 통해 성장시키는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.And forming the epitaxial layer through a selective epitaxial growth (SEG) process. 제 14 항에 있어서, The method of claim 14, 상기 SEG 공정은 Cl2SiH2, GeH4, H2 및 HCl을 사용하여 수행하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.The SEG process is performed using Cl 2 SiH 2 , GeH 4 , H 2 and HCl. 제 14 항에 있어서, The method of claim 14, 상기 SEG 공정은 500∼1000℃의 온도 및 50∼500Pa의 압력 조건으로 수행하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.The SEG process is a method of forming a vertical transistor, characterized in that performed at a temperature of 500 ~ 1000 ℃ and pressure conditions of 50 ~ 500Pa. 제 11 항에 있어서, The method of claim 11, 상기 인장막을 식각하는 단계는,Etching the tensile film, 상기 인장막 및 그 아래의 반도체 기판 부분을 비등방성 식각하는 단계; 및Anisotropically etching the tensile film and the portion of the semiconductor substrate thereunder; And 상기 비등방성 식각된 인장막 및 그 아래의 반도체 기판 부분의 폭이 넓어지도록 등방성 식각하는 단계;Isotropically etched to widen the anisotropically etched tensile film and portions of the semiconductor substrate below it; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.Forming method of a vertical transistor comprising a. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 제1접합 영역은 상기 필라형 액티브 패턴 하부의 반도체 기판 내에 N형 불순물을 이온주입하여 형성하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.And wherein the first junction region is formed by ion implanting N-type impurities into a semiconductor substrate under the pillar-type active pattern. 제 18 항에 있어서, The method of claim 18, 상기 N형 불순물의 이온주입은 경사 이온주입 방식으로 수행하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.The ion implantation of the N-type impurity is a method of forming a vertical transistor, characterized in that carried out by a gradient ion implantation method. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 제1접합 영역은 상기 필라형 액티브 패턴 하부를 포함한 상기 필라형 액티브 패턴 사이의 반도체 기판 표면 내에 라인 타입으로 형성하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.And the first junction region is formed in a line type in a surface of a semiconductor substrate between the pillar-type active patterns including the pillar-type active pattern. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 게이트를 형성하는 단계 후, 그리고, 상기 제2접합 영역을 형성하는 단계 전,After the forming of the gate and before forming the second junction region, 상기 게이트의 측벽에 제1절연막을 형성하는 단계; Forming a first insulating film on sidewalls of the gate; 상기 제1절연막 상에 상기 필라형 액티브 패턴 사이를 매립하도록 제2절연막을 형성하는 단계; 및Forming a second insulating layer on the first insulating layer to fill the pillar type active pattern; And 상기 제2절연막의 표면을 평탄화하는 단계;Planarizing a surface of the second insulating film; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.The method of forming a vertical transistor further comprising. 제 21 항에 있어서, The method of claim 21, 상기 제1절연막은 질화막을 포함하며, 상기 제2절연막은 산화막을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.And the first insulating film includes a nitride film and the second insulating film includes an oxide film. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 제2접합 영역은 N형 불순물이 도핑된 에피 실리콘층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.And the second junction region is formed of an epitaxial silicon layer doped with N-type impurities. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 제2접합 영역을 형성하는 단계는,Forming the second junction region, 상기 게이트가 형성된 필라형 액티브 패턴 및 상기 필라형 액티브 패턴 사이를 매립하도록 표면이 평탄화된 절연막을 형성하는 단계;Forming an insulating film having a flattened surface to fill the gate-type active pattern and the pillar-type active pattern; 상기 절연막을 식각하여 상기 필라형 액티브 패턴 및 그에 인접한 인장막 부분을 노출시키는 단계;Etching the insulating film to expose the pillar-type active pattern and a portion of the tensile film adjacent thereto; 상기 노출된 필라형 액티브 패턴 및 그에 인접한 인장막 상에 에피 실리콘층을 성장시키는 단계; 및 Growing an epi silicon layer on the exposed pillar-shaped active pattern and the tensile film adjacent thereto; And 상기 에피 실리콘층 내에 N형 불순물을 이온주입하는 단계;Ion implanting N-type impurities into the epi silicon layer; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.Forming method of a vertical transistor comprising a. 제 24 항에 있어서, The method of claim 24, 상기 에피 실리콘층은 SEG 공정으로 성장시키는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터의 형성방법.The epitaxial silicon layer is grown by the SEG process.
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