KR100918010B1 - The stage system where the asynchronous drive is possible - Google Patents

The stage system where the asynchronous drive is possible Download PDF

Info

Publication number
KR100918010B1
KR100918010B1 KR1020080062302A KR20080062302A KR100918010B1 KR 100918010 B1 KR100918010 B1 KR 100918010B1 KR 1020080062302 A KR1020080062302 A KR 1020080062302A KR 20080062302 A KR20080062302 A KR 20080062302A KR 100918010 B1 KR100918010 B1 KR 100918010B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
bridge
support
coupled
fan
guide
Prior art date
Application number
KR1020080062302A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
한정훈
황종윤
송재명
Original Assignee
(주)다사로봇
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)다사로봇 filed Critical (주)다사로봇
Priority to KR1020080062302A priority Critical patent/KR100918010B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100918010B1 publication Critical patent/KR100918010B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J5/00—Manipulators mounted on wheels or on carriages
    • B25J5/02—Manipulators mounted on wheels or on carriages travelling along a guideway
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1615—Programme controls characterised by special kind of manipulator, e.g. planar, scara, gantry, cantilever, space, closed chain, passive/active joints and tendon driven manipulators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Orthopedic Medicine & Surgery (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

A stage having an asynchronous drive function is provided to assemble or disassemble a bridge connecting support stands by mounting a fan rotating unit at the support stand and to prevent the bridge from being damaged. A stage having an asynchronous drive function comprises a support stand(2), a bridge(1), and a pair of guide units(10,20). The support stand is installed at the both side units of a work stage and moves back and forth. The bridge interconnects the support stands and elevates along the support stands. A pair of guide units is interposed between the support stand and the bridge. The bridge portion moves horizontally while making the bridge move up and down. A pair of guide units comprises a supporting unit, a tilting unit, and a fan rotating unit. The supporting unit is combined with the respective support stand. The tilting unit is combined with the supporting unit. The fan rotating unit is combined with the tilting unit and the bridge to make the bridge rotate. The fan rotating unit comprises a fan bearing, a supporter, and a bridge fixing unit. The fan bearing helps the fan rotating unit to smoothly rotate. The supporter supports the fan bearing. The bridge fixing unit is connected to the top of the supporter and to the one side of the bridge.

Description

비동기구동이 가능한 스테이지 장치{The Stage System Where The Asynchronous Drive is Possible}The Stage System Where The Asynchronous Drive is Possible}

본 발명은 비동기구동이 가능한 스테이지 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 워크스테이지 양측에 설치되어 전후방향으로 슬라이딩하는 지지대와, 상기 지지대를 상호 연결하며 상기 지지대를 따라 승강하도록 설치된 브릿지부를 포함하는 스테이지 장치에 있어서, 상기 지지대와 상기 브릿지부 사이에 개재되어 상기 브릿지부를 상하방향의 틸트회동 및 수평방향의 팬회동을 하도록 설치되는 한 쌍의 가이드부를 포함하여 상기 지지대에 의해 상기 브릿지부 구동시 상기 브릿지부의 비동기구동이 가능한 비동기구동이 가능한 스테이지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stage device capable of asynchronous driving, and more particularly, a stage device including a support installed on both sides of the work stage and sliding in the front and rear directions, and a bridge portion connected to the support and lifted along the support. The bridge portion is interposed between the support and the bridge portion includes a pair of guide portions which are installed to tilt the bridge portion in the vertical direction and the fan rotation in the horizontal direction, the bridge portion when driving the bridge portion by the support Asynchronous drive capable of asynchronous drive stage device.

일반적으로 스테이지 장치는 워크스테이지 및 갠트리(gantry)장치를 포함하여 구성되고, 여기서 갠트리 장치는 워크스테이지 상에 작업할 대상물을 안착시킨 후 워크스테이지의 길이방향 및 상하방향으로 슬라이딩하도록 설치된 후 해당 작업물에 작업을 할 수 있는 장치이다.Generally, the stage device includes a work stage and a gantry device, wherein the gantry device is installed to slide in the longitudinal and vertical directions of the work stage after mounting an object to be worked on the work stage. It is a device that can work on.

도 1은 종래 스테이지 장치의 사시도이다. 도 1을 참조하면, 종래 스테이지 장치는 한 쌍의 이송축(110)과 상기 이송축(110)의 양 측부에 결합되어 상기 이송 축을 따라 슬라이딩하도록 결합된 지지대(120)와, 상기 한 쌍의 지지대(120)를 연결하되 상기 지지대(120)를 따라 상하방향으로 승강하도록 설치된 브릿지(130)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 워크스테이지(W)는 상기 한 쌍의 지지대(120)의 내측 또는 하부에 설치될 수 있다.1 is a perspective view of a conventional stage device. Referring to FIG. 1, a conventional stage device includes a pair of support shafts 110 and a support 120 coupled to both sides of the feed shaft 110 to slide along the feed shafts, and the pair of supports. The bridge 120 may be configured to include a bridge 130 installed to move up and down along the support 120. Here, the work stage (W) may be installed inside or below the pair of supports (120).

이 같은 스테이지 장치는 상기 한 쌍의 지지대(120)를 동기제어하여 이송축(110)을 따라 브릿지(120)가 이송될 수 있다.In such a stage device, the bridge 120 may be transferred along the feed shaft 110 by synchronously controlling the pair of supports 120.

그런데, 각 지지대(120)를 제어하는 제어기능의 오류로 인해 양측에 설치된 한 쌍의 지지대(120)의 구동이 작동지연이 발생했을 때, 각 지지대의 X방향으로의 변위가 서로 달라져 기구적인 충격이 가해질 수 있다.However, when the operation of the pair of supports 120 installed on both sides caused an operation delay due to an error in the control function for controlling each support 120, the displacement in the X direction of each support is different from each other, resulting in mechanical shock. This can be applied.

다시 말해서, 하나의 지지대의 X방향으로의 변위를 X1, 다른 지지대의 X방향으로의 변위를 X2라고 하면, X1과 X2의 변위가 동기구동이 되지 않을 경우, 상기 한 쌍의 지지대(120)를 가동 또는 정지시 브릿지(130)에 기구적인 비틀림이 가해질 수 있다. In other words, if the displacement in the X direction of one support is X 1 and the displacement in the X direction of the other support is X 2 , when the displacement of X 1 and X 2 is not synchronized, the pair of supports Mechanical twist may be applied to the bridge 130 when the 120 is moved or stopped.

이때, 브릿지(130)이 충분한 강성을 갖지 못할 경우 스테이지 장치(100) 전체에 기구적인 변형, 조립상태의 어긋남 또는 파손이 야기될 수 있는 문제점이 있었다. 또한, 상술한 현상은 브릿지(130)의 거리가 길수록 더욱 심각한 문제점이 있었다.In this case, when the bridge 130 does not have sufficient rigidity, there is a problem that mechanical deformation, misalignment or breakage of the assembled state may be caused in the entire stage apparatus 100. In addition, the above phenomenon has a more serious problem as the distance of the bridge 130 is longer.

한편, Z축의 이송 즉, 지지대(120)를 따라 브릿지(130)가 상승 및 하강시에 워크스테이지(W)와 Z축간의 기구적 평형상태가 맞지 않는 경우 기구적으로 구속되 어 있으면 평형을 맞추기 어려운 문제가 있었다. 또한 양단이 서로 비동기 작동이 일어날 경우 기구적인 파손이 되는 문제점이 있었다. On the other hand, if the mechanical balance between the work stage W and the Z axis does not match when the bridge 130 is moved up and down along the Z axis, that is, along the support 120, the balance is balanced. There was a difficult problem. In addition, there was a problem that the mechanical damage when both ends of the asynchronous operation occurs.

또한, 상술한 X축 및 Z축으로의 미세한 기구적 비틀림이 발생함으로써 원점조정이 필요할 경우에도 브릿지의 양단이 고정되어 있어 원점조정이 어려운 문제점이 있었다.In addition, even when the home position adjustment is required due to the minute mechanical twist to the X and Z axes described above, both ends of the bridge are fixed, thereby making it difficult to adjust the home position.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 각 지지대가 워크스테이지를 따라 전후방향으로 동기제어가 되지 않을 경우 브릿지의 파손 또는 브릿지의 조립해제 등을 방지할 수 있는 비동기구동이 가능한 스테이지 장치를 제공함에 있다.Therefore, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, asynchronous drive that can prevent the breakage of the bridge or disassembly of the bridge when each support is not synchronized in the front and rear direction along the work stage It is to provide a possible stage device.

또한, 각 지지대에 결합된 브릿지가 승강시 상기 브릿지의 양단이 동기제어가 되지 않을 경우 브릿지의 파손 또는 브릿지의 조립해제 등을 방지할 수 있는 비동기구동이 가능한 스테이지 장치를 제공함에 있다.The present invention also provides a stage device capable of asynchronous driving that can prevent breakage of a bridge or disassembly of a bridge, when both ends of the bridge are not in synchronous control when the bridge coupled to each support is elevated.

또한, Z축에 대하여 양단을 미세하게 비동기 제어함으로써 완벽한 평형상태를 맞출 수 있게 되며, 제어의 원하지 않는 비동기 동작이 발생할 경우에도 기구적인 자유도에 의해 파손을 방지할 수 있는 비동기구동이 가능한 스테이지 장치를 제공함에 있다.In addition, by finely asynchronously controlling both ends with respect to the Z-axis, perfect equilibrium can be achieved, and even in case of undesired asynchronous operation of the control, there is a stage device capable of asynchronous driving that can prevent damage by mechanical freedom. In providing.

또한, 브릿지의 양단이 비동기 구동이 가능함으로써 원점조정이 간편한 비동기구동이 가능한 스테이지 장치를 제공함에 있다.In addition, since both ends of the bridge can be driven asynchronously, there is provided a stage device capable of asynchronous drive with easy home adjustment.

상기 목적은, 워크스테이지 양측에 설치되어 전후방향으로 슬라이딩하는 지지대와, 상기 지지대를 상호 연결하며 상기 지지대를 따라 승강하도록 설치된 브릿지부를 포함하는 스테이지 장치에 있어서, 상기 지지대와 상기 브릿지부 사이에 개재되어 상기 브릿지부를 상하방향의 틸트회동 및 수평방향의 팬회동이 가능하도록 설치되는 한 쌍의 가이드부를 포함하며, 상기 한 쌍의 가이드부는 각각 상기 지지대와 결합되는 지지부와, 상기 지지부와 틸트회동하도록 결합되는 틸트회동부와, 상기 브릿지부가 팬회동하도록 상기 틸트회동부 및 상기 브릿지부와 결합되는 팬회동부를 포함하며, 상기 팬회동부는 월활한 팬회동을 도와주는 팬베어링과, 상기 팬베어링을 커버하여 지지하는 지지체와, 상기 지지체의 상부에 결합하되 상기 브릿지부의 일 측과 결합하는 브릿지부 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비동기구동이 가능한 스테이지 장치에 의해 달성된다.The object is a stage device comprising a support installed on both sides of the work stage and sliding in the front and rear direction, and a bridge portion connected to the support and elevated along the support, interposed between the support and the bridge portion The bridge portion includes a pair of guide portions which are installed to enable tilt rotation in the vertical direction and fan rotation in the horizontal direction, wherein the pair of guide portions are respectively coupled to the support portion and the tilted pivot portion with the support. A tilt rotation part and a fan rotation part coupled to the tilt rotation part and the bridge part so that the bridge part is rotated by a fan, the fan rotation part being supported by a fan bearing for assisting a smooth fan rotation and the fan bearing. Is coupled to the support and the upper portion of the support and one side of the bridge portion It is achieved by a stage device capable of asynchronous drive, characterized in that it comprises a bridge portion fixing portion for engaging.

삭제delete

또한, 상기 틸트회동부는 상기 지지부의 일 측과 결합되는 회동브라켓과, 상기 회동브라켓의 일 측에 결합되는 틸트베어링을 포함할 수 있다.In addition, the tilt pivot may include a pivot bracket coupled to one side of the support, and a tilt bearing coupled to one side of the pivot bracket.

삭제delete

한편, 상기 한 쌍의 가이드부 중 적어도 어느 하나에는 상기 브릿지부를 상기 지지대로부터 멀어지는 방향 또는 가까워지는 방향으로 안내하도록 리니어 가이드부가 포함될 수 있다.Meanwhile, at least one of the pair of guide parts may include a linear guide part to guide the bridge part in a direction away from or near to the support.

이때, 상기 리니어 가이드부는 상기 회동브라켓과 결합하는 가이드몸체와, 상기 팬베어링이 안착되도록 상기 가이드몸체의 상부로 돌출형성된 안착부와, 상기 가이드몸체의 외측 및 내측으로 안내하도록 상기 안착부의 양측에 배치되되, 일 측은 상기 안착부와 결합하고 타 측은 상기 지지체와 결합하는 리니어가이드를 포함할 수 있다.In this case, the linear guide portion is disposed on both sides of the guide body coupled to the pivot bracket, a seating portion protruding to the upper portion of the guide body so that the fan bearing is seated, and guided to the outside and the inside of the guide body. However, one side may include a linear guide coupled to the seating portion and the other side coupled to the support.

본 발명에 따르면, 각 지지대에 팬회동이 가능한 팬회동부를 설치하여 워크스테이지의 길이방향으로 각 지지대의 비동기구동되어 상기 지지대를 상호 연결하는 브릿지의 조립해제 또는 파손을 방지할 수 있는 비동기구동이 가능한 스테이지 장치가 제공된다.According to the present invention, by installing a fan rotating part capable of rotating the fan to each support, the asynchronous driving of each support in the longitudinal direction of the work stage to enable the asynchronous driving to prevent the disassembly or breakage of the bridge interconnecting the support. A stage device is provided.

또한, 각 지지대에 틸트회동이 가능한 틸트회동부를 설치함으로써 브릿지 승강시 상기 브릿지의 양단이 비동기 구동되어 브릿지의 조립해제 또는 브릿지의 파손을 방지할 수 있는 비동기구동이 가능한 스테이지 장치가 제공된다.In addition, by providing a tilt rotation unit capable of tilt rotation to each support is provided a stage device capable of asynchronous driving to prevent both the disassembly of the bridge or breakage of the bridge by asynchronously driving both ends of the bridge during lifting the bridge.

또한, Z축에 대하여 양단을 미세하게 비동기 제어함으로써 완벽한 평형상태를 맞출 수 있게 되며, 제어의 원하지 않는 비동기 동작이 발생할 경우에도 기구적인 자유도에 의해 파손을 방지할 수 있는 비동기구동이 가능한 스테이지 장치가 제공된다.In addition, by finely asynchronously controlling both ends with respect to the Z-axis, perfect equilibrium can be achieved, and even in case of undesired asynchronous operation of the control, a stage device capable of asynchronous driving that can prevent damage by mechanical freedom is provided. Is provided.

또한, 브릿지의 양단이 비동기 구동이 가능함으로써 원점조정이 용이한 비동기구동이 가능한 스테이지 장치가 제공된다.In addition, since both ends of the bridge can be driven asynchronously, there is provided a stage device capable of asynchronous drive with easy origin adjustment.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, in the various embodiments, components having the same configuration will be representatively described in the first embodiment using the same reference numerals, and in other embodiments, different configurations from the first embodiment will be described. do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 비동기구동이 가능한 스테이지 장치에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a stage device capable of asynchronous driving according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 비동기구동이 가능한 스테이지 장치의 사시도이다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 비동기구동이 가능한 스테이지 장치는 워크스테이지 양측에 설치된 이송축(3)을 따라 전후방향으로 슬라이딩하는 한 쌍의 지지대(2)와 상기 지지대(2)를 상호 연결하며 상기 지지대(2)를 따라 승강하도록 설치된 브릿지부(1)를 포함할 수 있다.2 is a perspective view of a stage device capable of asynchronous driving according to the first embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, a stage device capable of asynchronous driving according to the first embodiment of the present invention includes a pair of supports 2 and a support sliding along the feed shafts 3 installed on both sides of the work stage in the front-rear direction. It may include a bridge portion (1) interconnecting 2) and installed to move up and down along the support (2).

이때, 상기 브릿지부(1)가 상기 지지대(2)를 따라 승강하도록 상기 지지대(2)의 길이방향으로 승강하는 브라켓(4)이 설치될 수 있고, 상기 브라켓(4)과 상기 브릿지부(1)가 결합함으로써 브릿지부(1)는 승강운동이 가능할 수 있다.In this case, a bracket 4 for elevating in the longitudinal direction of the support 2 may be installed so that the bridge portion 1 moves up and down along the support 2, and the bracket 4 and the bridge portion 1 may be installed. By coupling), the bridge unit 1 may be capable of lifting and lowering.

또한, 브릿지부(1)의 양 측부와 상기 한 쌍의 지지대(2) 사이에는 상기 브릿지부(1)가 상기 지지대(2)를 따라 승강하거나 상기 지지대(2)의 전후운동시 브릿지부(1)의 양 단부가 비동기 구동이 가능하도록 상하방향의 틸트회동 및 수평방향의 팬회동을 가능하게 하는 한 쌍의 가이드부인 제1가이드부(10)와 제2가이드부(20)가 개재되어 설치될 수 있다.In addition, between the side portions of the bridge portion 1 and the pair of supports 2, the bridge portion 1 is elevated along the support 2 or the bridge portion 1 during the forward and backward movement of the support 2. The first guide part 10 and the second guide part 20, which are a pair of guide parts that allow tilt rotation in the vertical direction and fan rotation in the horizontal direction, are installed to allow both ends of the asynchronous drive. Can be.

각 가이드부에는 상기 브릿지부(1)와 결합되어 상기 브릿지부(1)를 수평방향으로 회동시킬 수 있는 즉, 팬회동을 위한 팬회동부와, 상기 브릿지부(1)를 상하방향으로 회동시킬 수 있는 즉, 틸트회동을 위한 틸트회동부를 포함할 수 있다. 또한, 한 쌍의 가이드부 중 적어도 어느 하나에는 지지대(2)에 결합된 브릿지부(1)를 상기 지지대(2)로부터 멀어지는 방향 또는 가까워지는 방향으로 안내하는 즉, 가이드부와 결합된 브릿지부(1)를 가이드부의 길이방향에 따라 내외측으로 안내할 수 있는 리니어가이드부를 포함할 수 있다.Each guide part may be coupled to the bridge part 1 to rotate the bridge part 1 in a horizontal direction, that is, to rotate the fan part for fan rotation and the bridge part 1 in a vertical direction. That is, it may include a tilt rotation for tilt rotation. In addition, at least one of the pair of guide portions guides the bridge portion 1 coupled to the support 2 in a direction away from or close to the support portion 2, that is, the bridge portion coupled to the guide portion ( 1) may include a linear guide part which can guide the inside and the outside along the longitudinal direction of the guide part.

하기되는 각 가이드부는 제1가이드부, 제2가이드부로 구분하여 설명하고, 각 가이드부에 포함된 세부적인 구성에 있어서도 제1 및 제2로 구분하여 설명하며, 동일한 구성에 대해서는 상세한 설명은 생략하기로 한다.Each guide part described below is divided into a first guide part and a second guide part, and described in detail in the detailed configuration included in each guide part, divided into first and second, and the detailed description of the same configuration will be omitted. Shall be.

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 비동기구동이 가능한 스테이지 장치의 분해사시도이고, 도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 비동기구동이 가능한 스테이지 장치 중 제1가이드부의 분해사시도이다.3 is an exploded perspective view of a stage device capable of asynchronous driving according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an exploded perspective view of a first guide unit of a stage device capable of asynchronous driving according to a first embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 제1가이드부(10)는 제1지지부(11), 제1틸트회동부(12), 제1팬회동부(13), 제1브릿지부 고정부(14)를 포함하여 구성될 수 있다.3 and 4, the first guide part 10 according to the first embodiment of the present invention includes a first support part 11, a first tilt pivot part 12, a first fan pivot part 13, It may be configured to include a first bridge portion fixing portion (14).

상기 제1지지부(11)는 지지판(11a)과 한 쌍의 연장판(11b)으로 구성될 수 있다. 지지판(11a)은 상술한 지지대(2)의 브라켓(4)에 결합되는 부재이고, 연장판(11b)은 지지판(11a)의 양 측단부로부터 연장형성되되 마주보는 소정 영역이 후술할 제1틸트회동부(12)가 안정적으로 결합될 수 있도록 함몰부(11c)가 형성될 수 있다.The first support part 11 may be composed of a support plate 11a and a pair of extension plates 11b. The support plate 11a is a member coupled to the bracket 4 of the support 2 described above, and the extension plate 11b extends from both side ends of the support plate 11a, but the first region to be described later will be described below. A depression 11c may be formed to allow the pivot 12 to be stably coupled.

상기 제1틸트회동부(12)는 제1회동브라켓(12a), 제1틸트베어링(12b), 결합수단(12c)(12d)(12e)을 포함하여 구성될 수 있다. The first tilt pivot 12 may include a first pivot bracket 12a, a first tilt bearing 12b, and coupling means 12c, 12d and 12e.

여기서, 제1회동브라켓(12a)은 대략 "ㄴ"자 형태로서 상기 제1지지부(11)의 연장판(11b)에 대응되도록 한 쌍이 마련될 수 있다. 또한, 후술할 제1틸트베어링(12b)를 수용할 수 있도록 연장판(11b)의 함몰부(11c)와 대응되어 결합되는 영역에 관통형성된 베어링 수용부(12a')가 형성될 수 있다.Here, the first pivot bracket 12a may be provided in pairs to correspond to the extension plate 11b of the first support part 11 in a substantially “b” shape. In addition, a bearing receiving portion 12a ′ formed to penetrate the region corresponding to the depression 11c of the extension plate 11b may be formed to accommodate the first tilt bearing 12b to be described later.

상기 제1틸트베어링(12b)은 소정의 롤러베어링 등의 구름베어링으로서, 상기 베어링 수용부(12a')에 수용되며, 소정의 결합수단(12c)(12d)(12e)에 의해 제1회동브라켓(12a)에 결합될 수 있다.The first tilt bearing 12b is a rolling bearing such as a predetermined roller bearing, and is accommodated in the bearing accommodation portion 12a ', and has a first pivot bracket by predetermined coupling means 12c, 12d and 12e. It may be coupled to (12a).

이 같이 제1틸트베어링(12b)이 결합된 한 쌍의 제1회동브라켓(12a)은 상술한 연장판(11b)에 소정의 볼트 등의 고정수단에 의해 고정될 수 있다.As described above, the pair of first pivot brackets 12a to which the first tilt bearings 12b are coupled may be fixed to the extension plate 11b by fixing means such as a predetermined bolt.

한편, 본 실시예에서는 제1회동브라켓이 한 쌍으로 마련된 것을 예시하고 있으나, 서로 대향된 측벽이 마련되고 상기 측벽을 연결하는 연결판이 형성된 즉, 상호 연결되어 대략 "ㄷ"자 형태로 마련된 하나의 회동브라켓일 수도 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the first pivot bracket is provided as a pair, but sidewalls facing each other are provided, and connection plates connecting the sidewalls are formed, that is, the ones provided in a substantially "c" shape. It may be a rotating bracket.

다음, 상기 제1팬회동부(13)는 제1지지체(13a), 제1팬베어링(13b), 다수의 연결수단(13c)(13d)(13e)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 제1팬베어링(13b)은 상술한 제1틸트베어링(12b)과 같은 형태의 베어링으로서, 제1지지체(13a)는 상기 제1팬베어링(13b)을 수용하며 상술한 제1회동브라켓(12a)의 상부에 소정의 볼트와 같은 결합수단에 의해 결합설치될 수 있다.Next, the first fan pivot 13 may include a first support 13a, a first fan bearing 13b, and a plurality of connecting means 13c, 13d and 13e. Here, the first fan bearing 13b is a bearing having the same shape as the first tilt bearing 12b described above, and the first support 13a accommodates the first fan bearing 13b and the first rotating bracket described above. It can be coupled to the upper portion of the (12a) by a coupling means such as a predetermined bolt.

상기 제1지지체(13a)는 대략 육면체 형태로 마련되며, 상술한 제1팬베어링(13b)을 수용할 수 있도록 상하로 관통형성된 제1팬베어링 수용부(13a')가 형성될 수 있으며, 양 측부에는 소정의 볼트 등과 같은 결합수단에 의해 제1팬베어링(13b)을 수용한 상태로 제1회동브라켓(12a)에 결합될 수 있도록 결합부(13a'')가 형성될 수 있다.The first support 13a may have a substantially hexahedral shape, and may include a first fan bearing accommodation portion 13a ′ that is formed to penetrate up and down to accommodate the first fan bearing 13b described above. A coupling portion 13a ″ may be formed at the side portion to be coupled to the first pivot bracket 12a while receiving the first fan bearing 13b by a coupling means such as a predetermined bolt.

즉, 제1팬베어링(13b)은 제1회동브라켓(12a)과 결합되는 제1지지체(13a)의 팬베어링 수용부(13a')에 수용되어 제1회동브라켓(12a)의 상부에 설치된 후, 후술할 제1브릿지부 고정부(14)와 결합하여 상기 제1브릿지부 고정부(14)를 수평방향으 로 팬회동을 할 수 있도록 결합되는 것이다.That is, the first fan bearing 13b is accommodated in the fan bearing receiving portion 13a 'of the first support 13a coupled to the first pivot bracket 12a and installed on the first pivot bracket 12a. , The first bridge portion fixing portion 14 is coupled to the first bridge portion fixing portion 14 to be rotated in a horizontal direction.

상기 다수의 연결수단(13c)(13d)(13e)은 상기 제1팬베어링(13b)과 후술할 제1브릿지부 고정부(14)가 일체가 되도록 연결하는 수단으로서, 회동브라켓(12a)에 고정결합된 제1지지체(13a)를 사이에 두고 결합되며, 이와 같이 결합된 상태에서 제1팬베어링(13b)의 팬회동에 의해 제1브릿지부 고정부(14)가 수평방향으로 팬회동할 수 있게 된다.The plurality of connecting means 13c, 13d, and 13e are means for connecting the first fan bearing 13b and the first bridge portion fixing portion 14 to be described later to be integrated, and are connected to the rotation bracket 12a. The first bridge part fixed part 14 is rotated in a horizontal direction by a fan rotation of the first fan bearing 13b while being coupled with the first support 13a fixedly interposed therebetween. It becomes possible.

다음, 제1브릿지부 고정부(14)는 상술한 다수의 연결수단 중 제1연결수단(13e)과 소정의 볼트와 같은 수단에 의해 결합되며, 특히 상부는 브릿지부(1)의 일 측과 소정의 결합수단에 의해 결합될 수 있다. 즉, 상술한 제1팬베어링(13b), 제1연결수단(13e), 제1브릿지부 고정부(14)와 브릿지부(1)가 일체로 결합됨으로써 제1팬베어링(13b)의 팬회동에 의해 브릿지부(1)가 팬회동할 수 있게 된다.Next, the first bridge portion fixing portion 14 is coupled to the first connecting means 13e and a predetermined bolt, such as a predetermined bolt among the above-described plurality of connecting means, in particular, the upper portion is connected to one side of the bridge portion 1. It can be coupled by a predetermined coupling means. That is, the first fan bearing 13b, the first connecting means 13e, the first bridge part fixing part 14 and the bridge part 1 are integrally coupled to each other so that the fan rotation of the first fan bearing 13b is performed. As a result, the bridge portion 1 can be rotated by the fan.

아울러, 제1지지부(11)에 결합된 제1팬회동부(13)는 제1틸팅베어링(12b)을 통해 제1지지부(11)에 지지된 상태에서 틸트회동할 수 있게 된다.In addition, the first fan pivot 13 coupled to the first support 11 may be tilted in a state supported by the first support 11 through the first tilting bearing 12b.

도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 비동기구동이 가능한 스테이지 장치 중 제2가이드부의 분해사시도이고, 도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 제2가이드부의 결합단면도이다.5 is an exploded perspective view of a second guide part of a stage device capable of asynchronous driving according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view of a coupling part of the second guide part according to the first embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 제2가이드부(20)는 제2지지부(21), 제2틸트회동부(22), 제2팬회동부(23), 제2브릿지부 고정부(24), 리니어가이드부(30)를 포함하여 구성될 수 있다.5 and 6, the second guide part 20 according to the first embodiment of the present invention includes a second support part 21, a second tilt pivot part 22, a second fan pivot part 23, It may be configured to include a second bridge portion fixing portion 24, the linear guide portion 30.

여기서, 제2지지부(21), 제2틸트회동부(22), 제2브릿지부 고정부(24)는 제1가이드부(10)의 구성과 대응되게 구성되므로 상세한 설명은 생략한다.Here, since the second support part 21, the second tilt pivoting part 22, and the second bridge part fixing part 24 are configured to correspond to the configuration of the first guide part 10, detailed description thereof will be omitted.

다음, 상기 리니어가이드부(30)는 가이드몸체(31), 리니어가이드(33), 제2지지체(34)를 포함하여 구성될 수 있다.Next, the linear guide part 30 may include a guide body 31, a linear guide 33, and a second support body 34.

상기 가이드몸체(31)는 제2틸트회동부(22)의 제2회동브라켓(22a)에 결합되는 부재로서, 상부에는 후술할 제2팬베어링(23b)이 안정적으로 안착 및 결합되고, 제2팬베어링(23b)의 외주연을 감싸도록 돌출된 안착부(32)가 형성될 수 있다.The guide body 31 is a member coupled to the second pivot bracket 22a of the second tilt pivot 22, and the second fan bearing 23b, which will be described later, is stably seated and coupled to the second, A seating portion 32 protruding to surround the outer circumference of the fan bearing 23b may be formed.

상기 리니어가이드(33)는 직선운동을 가이드할 수 있는 부재로서, 제1리니어가이드(33a)와 제2리니어가이드(33b)를 포함하며, 제1리니어가이드(33a)와 제2리니어가이드(33b)의 사이에는 소정의 베어링 등이 구성되어 어느 하나의 리니어가이드를 기준으로 다른 리니어가이드가 직선으로 운동할 수 있도록 구성될 수 있다.The linear guide 33 is a member capable of guiding linear movement, and includes a first linear guide 33a and a second linear guide 33b, and includes a first linear guide 33a and a second linear guide 33b. A predetermined bearing or the like may be configured between the plurality of linear guides so that the other linear guide may move linearly with respect to any one linear guide.

또한, 제1리니어가이드(33a)는 가이드몸체(31)에 결합되고, 제2리니어가이드(33b)는 제2지지체(34)에 결합됨으로써, 가이드몸체(31)에 고정된 제1리니어가이드(33a)의 길이방향으로 제2리니어가이드(33b)와 결합된 제2지지체(34) 및 제2브릿지부 고정부(24)가 직선운동을 할 수 있게 된다.In addition, the first linear guide 33a is coupled to the guide body 31, and the second linear guide 33b is coupled to the second support body 34, whereby the first linear guide fixed to the guide body 31 ( The second support body 34 and the second bridge part fixing part 24 coupled to the second linear guide 33b in the longitudinal direction of 33a) may linearly move.

한편, 상기 제2지지체(34)는 제1지지체(13a)와 대응되는 형태로 마련될 수 있되, 양측 단부는 리니어가이드(33)를 커버할 수 있도록 하방으로 절곡된 형태일 수 있다. 또한, 중앙부에는 후술할 제2팬베어링(23b)을 수용할 수 있도록 관통형성된 관통공(34a)이 마련될 수 있다. 이와 같은 제2지지체(34)는 리니어가이드(33) 중 제2리니어가이드(33b)와 결합된다. 이때, 도시된 바는 상부를 통해 볼트와 같은 소정의 체결수단에 의해 결합된 것으로 도시되었지만 결합을 더욱 공고히 하기 위해 제2지지체(34)의 절곡된 측부와 이에 대향되는 제2리니어가이드(33b)를 볼트 또는 소정의 체결수단으로 결합시킬 수 있다.On the other hand, the second support 34 may be provided in a form corresponding to the first support 13a, both ends may be bent downward to cover the linear guide 33. In addition, a through hole 34a may be provided in the center portion so as to accommodate the second fan bearing 23b to be described later. The second support 34 is coupled to the second linear guide 33b of the linear guide 33. At this time, the bar is shown as coupled by a predetermined fastening means, such as a bolt through the top, but the bent side of the second support 34 and the second linear guide 33b opposite thereto to further secure the coupling. It can be combined with a bolt or a predetermined fastening means.

다음, 상기 제2팬회동부(23)는 제2팬베어링(23b), 다수의 체결수단(23c)(23d)(23e)를 포함하여 구성될 수 있다.Next, the second fan pivot 23 may include a second fan bearing 23b and a plurality of fastening means 23c, 23d and 23e.

상기 제2팬베어링(23b) 및 다수의 체결수단(23c)(23d)(23e)은 제1팬베어링(13b) 및 다수의 연결수단(13c)(13d)(13e)과 대응되는 형태의 부재로서, 일체로 체결되어 상술한 가이드몸체(31)의 안착부(32)에 안착 및 결합될 수 있다.The second fan bearing 23b and the plurality of fastening means 23c, 23d and 23e are members corresponding to the first fan bearing 13b and the plurality of connecting means 13c, 13d and 13e. As, integrally fastened can be seated and coupled to the seating portion 32 of the guide body 31 described above.

즉, 제2팬회동부(20)는 가이드몸체(31)에 결합된 제2팬베어링(23b)의 팬회동에 의해 브릿지부(1)가 팬회동할 수 있고, 리니어가이드부(30)에 의해 브릿지부(1)는 가이드몸체(31)의 내측 및 외측으로 직선운동을 할 수 있다.That is, the second fan pivot 20 may be a fan rotation of the bridge unit 1 by the fan rotation of the second fan bearing 23b coupled to the guide body 31, by the linear guide portion 30 The bridge portion 1 may linearly move inward and outward of the guide body 31.

특히, 브릿지부(1)가 양단이 고정된 상태에서 승강 또는 전후방향으로 이동시 동기제어가 일어나지 않게 되면, 브릿지부(1)가 평행한 직선형태에서 일방향으로 경사진 형태의 사선형태로 위치가 변경되게 되는데, 사선형태일 때는 직선형태일때보다 브릿지부(1)의 길이가 더 커져야 한다. 이를 보완하기 위한 수단이 리니어가이드부(30)이다.In particular, when the bridge portion 1 does not have synchronous control when moving up or down in a state where both ends are fixed, the position of the bridge portion 1 is changed from a parallel straight line to an oblique shape inclined in one direction. In the case of an oblique form, the length of the bridge portion 1 should be larger than that of the straight form. The means for compensating for this is the linear guide unit 30.

즉, 브릿지부(1)가 경사진형태로 위치가 변경된 상태에서는 제2지지부(21)로부터 멀어지는 방향으로 리니어가이드(30)를 통해 안내됨으로써 실질적으로 브릿지부(1)의 길이가 길어지는 것과 같은 상태가 된다.That is, in the state where the bridge portion 1 is changed in the inclined shape, the bridge portion 1 is guided through the linear guide 30 in a direction away from the second support portion 21, such that the length of the bridge portion 1 is substantially longer. It becomes a state.

지금부터는 상술한 비동기구동이 가능한 스테이지 장치의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.The operation of the first embodiment of the stage device capable of asynchronous driving described above will now be described.

도 7 내지 도 10은 본 발명의 제1실시예에 따른 비동기구동이 가능한 스테이지 장치의 작동상태도이다.7 to 10 are operation state diagram of the stage device capable of asynchronous driving according to the first embodiment of the present invention.

도 7은 브릿지부의 승강 운동을 제어하는 제어장치에 의해 양 단이 동기제어되었을 때를 나타내고 있다. 도 7에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 지지대(2)에 양단이 결합된 브릿지부(1)는 지지대(2)가 승강 운동시 양단이 동기제어되면, 브릿지부(1)가 워크스테이지와 평행한 상태를 유지한 상태로 승강이 가능하다.Fig. 7 shows a case where both ends are synchronously controlled by a control device for controlling the lifting movement of the bridge portion. As shown in FIG. 7, when both ends are coupled to a pair of supports 2, the bridges 1 are parallel to the work stage when both ends are synchronously controlled during the lifting movement of the supports 2. Ascending and descending is possible.

그러나, 만약 지지대(2)에 결합된 브릿지부(1)의 양단이 브릿지부(1)의 운동을 제어하는 장치의 오류로 인해 비동기제어되었을 때는 브릿지부(1) 양단의 이동량이 서로 달라짐에 따라서 브릿지부(1)에는 비틀림이 발생하게 되고, 스테이지 장치 전체에는 다양한 충격이 가해져 스테이지 장치 전체가 조립해제될 수 있다. However, if both ends of the bridge portion 1 coupled to the support 2 are asynchronously controlled due to an error of the device controlling the movement of the bridge portion 1, the amount of movement of both ends of the bridge portion 1 is different from each other. Torsion is generated in the bridge portion 1, and various impacts are applied to the whole stage apparatus, so that the whole stage apparatus can be disassembled.

도 8은 브릿지부의 승강 운동을 제어하는 제어장치에 의해 양 단이 비동기제어되었을 때를 나타내고 있다. 특히 도시된 바는 브릿지부(1)의 좌단이 우단보다 더 높이 상승했을 때를 나타내고 있다.Fig. 8 shows a case where both ends are asynchronously controlled by the controller for controlling the lifting movement of the bridge portion. In particular, what is shown shows when the left end of the bridge part 1 rose higher than the right end.

이때, 제1가이드부(10)의 제1틸트회동부(12)는 제1지지부(11)에 설치된 제1틸트베어링(12b)을 통해 반시계방향으로 틸트회동하게되며, 이에 따라 제1가이드부(10)의 제1브릿지부 고정부(14)와 결합된 브릿지부(1)도 제1틸트회동부(12)의 회동과 연동하여 반시계방향으로 회동하게 된다.At this time, the first tilt pivoting portion 12 of the first guide portion 10 is tilted in a counterclockwise direction through the first tilt bearing 12b installed in the first support portion 11, and accordingly the first guide The bridge portion 1 coupled with the first bridge portion fixing portion 14 of the portion 10 also rotates counterclockwise in association with the rotation of the first tilt rotating portion 12.

이와 동시에 브릿지부(1)의 우단에 결합된 제2가이드부(20)의 제2틸트회동 부(22) 또한 제1틸트회동부(12)의 회동에 대응되도록 제2지지부(21)에 지지된 상태에서 반시계방향으로 회동하게 된다.At the same time, the second tilt rotation part 22 of the second guide part 20 coupled to the right end of the bridge part 1 is also supported by the second support part 21 so as to correspond to the rotation of the first tilt rotation part 12. Is rotated counterclockwise.

한편, 우하향으로 경사진 형태의 브릿지부(1)는 평행한 상태에서의 브릿지부(1)의 길이보다 더 길어져야 하는데, 양측 지지대(2)에 고정된 브릿지부(1)의 길이는 제한되어 있다.On the other hand, the bridge portion 1 inclined in the downward direction should be longer than the length of the bridge portion 1 in a parallel state, the length of the bridge portion 1 fixed to both support (2) is limited have.

따라서, 제1틸트회동부(12)와 제2틸트회동부(22)의 회동과 동시에 제2가이드부(20)에 설치된 리니어가이드부(30)를 통해 브릿지부(1)가 제2가이드부(20)로부터 멀어지는 방향으로 이동하면, 제한된 길이의 브릿지부(1)는 실질적으로 길이가 길어지는 상태와 같게 된다.Therefore, the bridge part 1 is connected to the second guide part through the linear guide part 30 installed in the second guide part 20 at the same time as the first tilt pivoting part 12 and the second tilt pivoting part 22 rotate. Moving in the direction away from 20, the bridge part 1 of limited length becomes substantially the same as the state from which length becomes long.

상세히, 제2가이드부(20)의 제2지지체는(34)는 가이드몸체(31)의 양측에 배치된 리니어가이드(33)를 통해 제2지지부(21)로부터 멀어지는 방향으로 이동하게 되고, 제2지지체(34)와 결합된 제2브릿지부 고정부(24) 및 브릿지부(1) 또한 같은 방향으로 이동하게 된다.In detail, the second support member 34 of the second guide portion 20 moves in a direction away from the second support portion 21 through the linear guides 33 disposed on both sides of the guide body 31. The second bridge part fixing part 24 and the bridge part 1 coupled to the second support body 34 also move in the same direction.

즉, 비동기제어시에는 제1틸트회동부(12)와 제2틸트회동부(22) 및 리니어가이드부(30)에 의해 구동됨으로써 브릿지부(1)가 경사진 형태로 변경됨으로써 스테이지 장치 전체는 비틀림 또는 인장력과 같은 외력에 의해 충격을 받지 않을 수 있다.That is, in the asynchronous control, the first stage tilting unit 12, the second tilting unit 22, and the linear guide unit 30 are driven to change the bridge unit 1 into an inclined form, so that the whole stage apparatus is It may not be impacted by external forces such as torsion or tension.

또한, 도 8에서와 같이 비동기제어되었을 때 각 가이드부를 제어하는 제어장치를 통해 도 7에서와 같이 브릿지부(1)가 워크스테이지와 평행한 상태를 유지한 상태로 변경시킬 수 있다.In addition, as shown in FIG. 8, when the asynchronous control is performed, the bridge unit 1 may be changed to a state in which the bridge unit 1 is in parallel with the work stage as shown in FIG. 7.

상술한 바는 브릿지부(1)의 좌측이 우측보다 더 높이 상승했을 때를 나타내고 있고, 우측이 좌측보다 더 높이 상승했을 때도 상술한 바와 같은 방법으로 구동될 수 있다.The above-described bar indicates when the left side of the bridge portion 1 rises higher than the right side, and may be driven in the same manner as described above even when the right side rises higher than the left side.

도 9는 이송축(3)을 따라 전후방향의 운동하는 지지대(2)를 제어하는 제어장치에 의해 양 단이 동기제어됐을 때를 나타내고 있다.FIG. 9 shows when both ends are synchronously controlled by a control device that controls the support 2 moving forward and backward along the feed shaft 3.

도 9에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 지지대(2)에 양 단이 결합된 브릿지부(1)는 지지대(2)가 이송축(3)을 따라 전후방향으로 운동시, 양 단의 지지대를 제어하는 제어장치에 동기제어되면 브릿지부(1)가 지지대에 수직인 상태를 유지한 상태로 전후방향으로 운동이 가능하다.As shown in FIG. 9, the bridge portion 1 having both ends coupled to the pair of supports 2 has a support of both ends when the support 2 moves forward and backward along the feed shaft 3. When synchronized with the controlling device to control, the bridge unit 1 can move in the front-rear direction while maintaining the state perpendicular to the support.

그러나, 만약 지지대(2)에 결합된 브릿지부(1)의 양단이 브릿지부(1)의 운동을 제어하는 장치의 오류로 인해 비동기제어되었을 때는 브릿지부(1) 양단의 이동량이 서로 달라짐에 따라 브릿지부(1)에는 비틀림이 발생하게 되고, 스테이지 장치 전체에는 다양한 충격이 가해져 스테이지 장치 전체가 조립해제될 수 있다. However, if both ends of the bridge portion 1 coupled to the support 2 are asynchronously controlled due to an error of the device controlling the movement of the bridge portion 1, the amount of movement of both ends of the bridge portion 1 is different from each other. Torsion is generated in the bridge portion 1, and various impacts are applied to the whole stage apparatus, so that the whole stage apparatus can be disassembled.

도 10은 지지대(2)의 전후방향의 운동을 제어하는 제어장치에 의해 양 단이 비동기제어되었을 때를 나타내고 있다. 특히 도시된 바는 브릿지부(1)의 좌단이 우단보다 더 후방으로 이동했을 때를 나타내고 있다.FIG. 10 shows a case where both ends are asynchronously controlled by a control device that controls the movement in the front-rear direction of the support 2. In particular, what is shown shows when the left end of the bridge part 1 moved back more than the right end.

이때, 제1가이드부(10)의 제1팬회동부(13)는 제1회동브라켓(12a)의 상부에 설치된 제1팬베어링(13a)을 통해 시계방향으로 팬회동하게되며, 이에 따라 제1가이드부(10)의 제1브릿지부 고정부(14)와 결합된 브릿지부(1)도 제1팬회동부(13)의 회 동과 연동하여 시계방향으로 회동하게 된다.At this time, the first fan rotating part 13 of the first guide part 10 is rotated in the clockwise direction through the first fan bearing 13a installed on the upper part of the first rotating bracket 12a. The bridge portion 1 coupled with the first bridge portion fixing portion 14 of the guide portion 10 also rotates in a clockwise direction in conjunction with the rotation of the first fan rotating portion 13.

이와 동시에 브릿지부(1)의 우단에 결합된 제2가이드부(20)의 제2팬회동부(23) 또한 제1팬회동부(13)의 회동에 대응되도록 제2지지부(21)에 지지된 상태에서 시계방향으로 회동하게 된다.At the same time, the second fan pivoting portion 23 of the second guide portion 20 coupled to the right end of the bridge portion 1 is also supported by the second support portion 21 so as to correspond to the rotation of the first fan pivoting portion 13. Rotate clockwise at.

한편, 우하향으로 경사진 형태의 브릿지부(1)는 평행한 상태에서의 브릿지부(1)의 길이보다 더 길어져야 하는데, 양측 지지대(2)에 고정된 브릿지부(1)의 길이는 제한되어 있다.On the other hand, the bridge portion 1 inclined in the downward direction should be longer than the length of the bridge portion 1 in a parallel state, the length of the bridge portion 1 fixed to both support (2) is limited have.

따라서, 제1팬회동부(13)와 제2팬회동부(23)의 회동과 동시에 제2가이드부(20)에 설치된 리니어가이드부(30)를 통해 브릿지부(1)가 제2가이드부(20)로부터 멀어지는 방향으로 이동하면, 제한된 길이의 브릿지부(1)는 실질적으로 길이가 길어지는 상태와 같게 된다.Therefore, the bridge part 1 is connected to the second guide part 20 through the linear guide part 30 provided in the second guide part 20 simultaneously with the rotation of the first fan rotating part 13 and the second fan rotating part 23. Moving in the direction away from), the bridge portion 1 of the limited length becomes substantially in a state where the length becomes longer.

상세히, 제2가이드부(20)의 제2지지체는(34)는 가이드몸체(31)의 양측에 배치된 리니어가이드(33)를 통해 제2지지부(21)로부터 멀어지는 방향으로 이동하게 되고, 제2지지체(34)와 결합된 제2브릿지부 고정부(24) 및 브릿지부(1) 또한 같은 방향으로 이동하게 된다.In detail, the second support member 34 of the second guide portion 20 moves in a direction away from the second support portion 21 through the linear guides 33 disposed on both sides of the guide body 31. The second bridge part fixing part 24 and the bridge part 1 coupled to the second support body 34 also move in the same direction.

즉, 비동기제어시에는 브릿지부(1)가 일 방향으로 경사진 형태로 변경되어도제1팬회동부(13)와 제2팬회동부(23) 및 리니어가이드부(30)에 의해 구동됨으로써 스테이지 장치 전체는 비틀림 또는 인장력과 같은 외력에 의해 충격을 받지 않을 수 있다.That is, in the asynchronous control, even if the bridge portion 1 is changed to be inclined in one direction, it is driven by the first fan rotating portion 13, the second fan rotating portion 23, and the linear guide portion 30 so that the entire stage apparatus can be used. May not be impacted by external forces such as torsion or tension.

또한, 도 10에서와 같이 비동기제어되었을 때 각 가이드부를 제어하는 제어 장치를 통해 도 9에서와 같이 브릿지부(1)가 이송축(3)과 수직인 상태를 유지한 상태로 변경시킬 수 있다.In addition, as shown in FIG. 10, when the asynchronous control is performed, the bridge unit 1 may be changed to a state in which the bridge unit 1 is perpendicular to the feed shaft 3 as shown in FIG. 9.

상술한 바는 브릿지부(1)의 좌측이 우측보다 더 후방으로 이동됐을 때를 나타내고 있고, 우측이 좌측보다 더 후방으로 이동됐을 때도 상술한 바와 같이 구동될 수 있다.The above-described bar indicates when the left side of the bridge portion 1 is moved more rearward than the right side, and may be driven as described above even when the right side is moved further rearward than the left side.

이와 같이, 브릿지부(1)와 지지대(2) 사이에 팬회동과 틸트회동할 수 있는 한 쌍의 가이드부가 개재되고, 상기 가이드부 중 적어도 어느 하나에는 리니어가이드부가 설치됨으로써, 스테이지 장치의 전체적인 기구변형 또는 파손을 방지할 수 있다.In this way, a pair of guide parts capable of fan rotation and tilt rotation are interposed between the bridge part 1 and the support 2, and at least one of the guide parts is provided with a linear guide part, thereby providing overall mechanism of the stage apparatus. It can prevent deformation or breakage.

또한, 작업자의 필요에 의하거나, 스테이지 장치의 반복적인 조작에 의해 미세한 기구적 오차가 발생할 경우에는 브릿지부의 양단이 비동기구동이 가능하도록 구성됨으로써 원점조정을 용이하게 할 수 있다.In addition, when a minute mechanical error occurs due to the need of an operator or by the repetitive operation of the stage device, the end of the bridge portion can be asynchronously driven to facilitate a home position adjustment.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described in the present invention to various extents which can be modified.

도 1은 종래 스테이지 장치의 사시도,1 is a perspective view of a conventional stage device,

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 비동기구동이 가능한 스테이지 장치의 사시도,2 is a perspective view of a stage device capable of asynchronous driving according to the first embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 비동기구동이 가능한 스테이지 장치의 분해사시도,3 is an exploded perspective view of a stage device capable of asynchronous driving according to a first embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 제1가이드부의 분해사시도,4 is an exploded perspective view of the first guide unit according to the first embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 제2가이드부의 분해사시도,5 is an exploded perspective view of a second guide part according to a first embodiment of the present invention;

도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 제2가이드부의 결합단면도,6 is a cross-sectional view of the second guide unit according to the first embodiment of the present invention;

도 7 내지 도 10은 본 발명의 제1실시예에 따른 비동기구동이 가능한 스테이지 장치의 작동상태도이다.7 to 10 are operation state diagram of the stage device capable of asynchronous driving according to the first embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 제1가이드부 11 : 제1지지부 12 : 제1틸트회동부DESCRIPTION OF SYMBOLS 10: 1st guide part 11: 1st support part 12: 1st tilt rotation part

13 : 제1팬회동부 14 : 제1브릿지부 고정부13: first fan rotating part 14: first bridge part fixing part

20 : 제2가이드부 21 : 제2지지부 22 : 제2틸트회동부20: second guide portion 21: second support portion 22: second tilt rotating portion

23 : 제2팬회동부 24 : 제2브릿지부 고정부23: second fan rotating part 24: second bridge portion fixing portion

30 : 리니어 가이드부 31 : 가이드몸체 32 : 안착부30: linear guide portion 31: guide body 32: seating portion

33 : 리니어가이드 34 : 제2지지체33: linear guide 34: second support

Claims (6)

삭제delete 워크스테이지 양측에 설치되어 전후방향으로 슬라이딩하는 지지대(2)와, 상기 지지대(2)를 상호 연결하며 상기 지지대(2)를 따라 승강하도록 설치된 브릿지부(1)를 포함하는 스테이지 장치에 있어서,In the stage device comprising a support (2) installed on both sides of the work stage and sliding in the front and rear direction, and the bridge portion (1) connected to the support (2) to be elevated along the support (2), 상기 지지대(2)와 상기 브릿지부(1) 사이에 개재되어 상기 브릿지부(1)를 상하방향의 틸트회동 및 수평방향의 팬회동이 가능하도록 설치되는 한 쌍의 가이드부를 포함하며,Interposed between the support (2) and the bridge portion (1) includes a pair of guide portion which is installed to enable the tilt rotation of the bridge portion 1 in the vertical direction and the fan rotation in the horizontal direction, 상기 한 쌍의 가이드부는 각각 상기 지지대와 결합되는 지지부와, 상기 지지부와 틸트회동하도록 결합되는 틸트회동부와, 상기 브릿지부가 팬회동하도록 상기 틸트회동부 및 상기 브릿지부(1)와 결합되는 팬회동부를 포함하며,Each of the pair of guide parts includes a support part coupled to the support, a tilt pivot part coupled to tilt the support part, and a fan pivot part coupled to the tilt pivot part and the bridge part 1 so that the bridge part is pivoted. Including; 상기 팬회동부는 월활한 팬회동을 도와주는 팬베어링과, 상기 팬베어링을 커버하여 지지하는 지지체와, 상기 지지체의 상부에 결합하되 상기 브릿지부(1)의 일 측과 결합하는 브릿지부 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비동기구동이 가능한 스테이지 장치.The fan rotating unit supports a fan bearing to facilitate a smooth fan rotation, a support for covering and supporting the fan bearing, and a bridge unit fixing unit coupled to an upper side of the support but coupled to an upper portion of the support unit. Stage device capable of asynchronous drive, characterized in that it comprises a. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 틸트회동부는 상기 지지부의 일 측과 결합되는 회동브라켓과, 상기 회동브라켓의 일 측에 결합되는 틸트베어링을 포함하는 것을 특징으로 하는 비동기구동이 가능한 스테이지 장치.The tilt rotation unit is a stage device capable of asynchronous drive, characterized in that it comprises a rotating bracket coupled to one side of the support portion, and a tilt bearing coupled to one side of the rotating bracket. 삭제delete 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 한 쌍의 가이드부 중 적어도 어느 하나에는 상기 브릿지부(1)를 상기 지지대(2)로부터 멀어지는 방향 또는 가까워지는 방향으로 안내하도록 리니어 가이드부(30)가 포함된 것을 특징으로 하는 비동기구동이 가능한 스테이지 장치.At least one of the pair of guide parts includes a linear guide part 30 to guide the bridge part 1 in a direction away from or closer to the support 2. Stage device. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 리니어 가이드부(30)는 상기 회동브라켓과 결합하는 가이드몸체(31)와, 상기 팬베어링이 안착되도록 상기 가이드몸체(31)의 상부로 돌출형성된 안착부(32)와, 상기 가이드몸체(31)의 외측 및 내측으로 안내하도록 상기 안착부(32)의 양측에 배치되되, 일 측은 상기 안착부(32)와 결합하고 타 측은 상기 지지체와 결합하는 리니어가이드(33)를 포함하는 것을 특징으로 하는 비동기구동이 가능한 스테이지 장치.The linear guide part 30 includes a guide body 31 coupled to the pivot bracket, a seating part 32 protruding to an upper portion of the guide body 31 so that the fan bearing is seated, and the guide body 31. It is disposed on both sides of the seating portion 32 to guide the outside and the inside of), one side is coupled to the seating portion 32 and the other side includes a linear guide 33 is coupled to the support Stage unit capable of asynchronous operation.
KR1020080062302A 2008-06-30 2008-06-30 The stage system where the asynchronous drive is possible KR100918010B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080062302A KR100918010B1 (en) 2008-06-30 2008-06-30 The stage system where the asynchronous drive is possible

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080062302A KR100918010B1 (en) 2008-06-30 2008-06-30 The stage system where the asynchronous drive is possible

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100918010B1 true KR100918010B1 (en) 2009-09-18

Family

ID=41355888

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080062302A KR100918010B1 (en) 2008-06-30 2008-06-30 The stage system where the asynchronous drive is possible

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100918010B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6575676B2 (en) * 2000-04-21 2003-06-10 Tsinghua University Parallel structure of a spatial 3-axis machine tool with three degrees-of-freedom
JP2005528304A (en) 2002-05-30 2005-09-22 マッケイ，ドウグラス，マックグレガー Crane assembly
US20060042931A1 (en) * 2004-08-21 2006-03-02 Georg Schmidt ECM-machine
KR20060087484A (en) * 2005-06-29 2006-08-02 페리 게엠베하 Hinged climbing shoe of a climbing formwork

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6575676B2 (en) * 2000-04-21 2003-06-10 Tsinghua University Parallel structure of a spatial 3-axis machine tool with three degrees-of-freedom
JP2005528304A (en) 2002-05-30 2005-09-22 マッケイ，ドウグラス，マックグレガー Crane assembly
US20060042931A1 (en) * 2004-08-21 2006-03-02 Georg Schmidt ECM-machine
KR20060087484A (en) * 2005-06-29 2006-08-02 페리 게엠베하 Hinged climbing shoe of a climbing formwork

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4741298B2 (en) Counterweight device for construction machinery
US10161454B2 (en) Roller bearing replacement device
EP1666341A4 (en) Construction machine
JP2001258214A (en) Disassembling/assembling method of rotating apparatus and disassembling/assembling support device
US20150027246A1 (en) Drive Devices for Movement Units of Machine Tools and Related Machine Tools
CN103256456A (en) Adjustable stand
CN110405007B (en) Flexible bending machine based on servo drive
CN101738832B (en) Projection type image display device
KR100918010B1 (en) The stage system where the asynchronous drive is possible
US20120001044A1 (en) Display Tilting Device
US20130145893A1 (en) Ceiling-mounted scara robot
US20210172562A1 (en) Device for supporting a monitor
BRPI0914622B1 (en) THROTTLE SUPPORT FOR A TILT CONVERTER OPERATION
WO1998005442A1 (en) Back gauge device
KR20190094503A (en) Extension system for seat cushion
TWI798554B (en) Tilting and rotating table device
CN114319903A (en) Feeding, assembling and correcting device for assembly building construction
JP2010247941A (en) Pantograph type lifter
KR20100066223A (en) Partition having display panel
KR100981437B1 (en) establishment method for spring balancer on articulated robot
JP5130645B2 (en) Elevator sheave equipment
JP4554417B2 (en) Mirror alignment system
JP6731992B2 (en) Machine Tools
KR200399022Y1 (en) Display position control device using gravity relieving device of vertical moving body
KR101678016B1 (en) Bar Mirror device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120905

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130911

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140911

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150910

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160909

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170911

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180905

Year of fee payment: 10