KR100909601B1 - Inline automatic inspection device and inline automatic inspection system - Google Patents

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스스무 오쯔
신지 후지와라
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

본 발명은, 제조 라인 주위의 공간 절약화와, 검사 효율의 향상 및 비용 절감을 도모하기 위한 것이다. 본 발명의 인라인 자동 검사 장치는, 검사 대상물을 반송 경로를 따라 반송하는 상류측 반송부, 상기 상류측 반송부의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되고, 상기 검사 대상물을 지지하여 기울어지게 함으로써 육안 검사를 실시함과 동시에 그 하측에서 검사 대상물이 통과하는 것을 허용하는 검사부, 상기 검사부의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되고 검사 후의 상기 검사 대상물을 반송 경로를 따라 하류측으로 반송하는 하류측 반송부, 상기 검사 대상물을 상기 상류측 반송부로부터 상기 검사부로 이동시키는 상류측 이송부, 및 상기 검사 대상물을 상기 검사부로부터 상기 하류측 반송부로 이동시키는 하류측 이송부를 구비하여 구성되었다. 상기 검사부는 육안 검사를 위해 상기 워크 테이블을 기울어지게 하는 회동 기구를 구비했다.An object of the present invention is to save space around a production line, to improve inspection efficiency, and to reduce cost. The inline automatic inspection device of the present invention is visually inspected by being arranged in close proximity to each other so as to be connected to an upstream conveying portion for conveying an inspection object along a conveyance path and a downstream side of the upstream conveying portion, and supporting and inclining the inspection object. An inspection unit that allows the inspection object to pass through at the same time, and a downstream conveying unit disposed close to each other so as to be connected to the downstream side of the inspection unit and conveying the inspection object after inspection to a downstream side along a conveying path, And an upstream conveying unit for moving the inspection object from the upstream conveying unit to the inspecting unit, and a downstream conveying unit for moving the inspecting object from the inspecting unit to the downstream conveying unit. The inspection section was provided with a rotation mechanism for tilting the work table for visual inspection.

인라인 자동 검사 장치, 회동기구, 패널 반송기구, 패널 승강기구, 워크 테이블 In-line automatic inspection device, rotating mechanism, panel conveying mechanism, panel lifting mechanism, work table

Description

인라인 자동 검사 장치 및 인라인 자동 검사 시스템{Inline Automatic Inspection Apparatus and Inline Automatic Detection System}Inline Automatic Inspection Apparatus and Inline Automatic Detection System

본 발명은, 제조 라인 등의 반송 경로를 반송하는 동안에 검사 대상물을 검사하는 인라인 자동 검사 장치 및 인라인 자동 검사 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an inline automatic inspection device and an inline automatic inspection system that inspect an inspection object while conveying a conveyance path such as a production line.

액정 패널의 점등 검사와 같은 검사 대상물을 검사하는 장치로는, 특허문헌 1과 특허문헌 2에 기재된 것이 있다. 특허문헌 1은 액정 패널을 수용하는 패널 수용부를 형성하고, 액정 패널의 종류가 변경됨에 따라 개구의 크기를 변경하여, 액정 패널을 검사하는 것이다.As an apparatus which test | inspects a test target like a lighting test of a liquid crystal panel, there exist some described in patent document 1 and patent document 2. Patent document 1 forms a panel accommodating part which accommodates a liquid crystal panel, changes a magnitude | size of an opening as a kind of liquid crystal panel changes, and examines a liquid crystal panel.

또한, 특허문헌 2는 4개의 판 형상 베이스로 직사각형의 개구를 공동으로 형성하고 그 치수를 조정함으로써, 크기가 다른 액정 패널을 검사하는 것이다.In addition, Patent Document 2 examines liquid crystal panels of different sizes by forming a rectangular opening jointly with four plate-shaped bases and adjusting their dimensions.

특허문헌 1: 일본 공개특허 제2006-119031호 공보Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-119031

특허문헌 2: 일본 공개특허 제2006-138634호 공보Patent Document 2: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-138634

그러나, 이와 같은 종래의 검사 장치의 경우, 예를 들어 반송 경로 옆에 설치하게 되는데, 그 검사 장치를 위한 특별한 공간이 필요하게 되어, 부피가 커지게 된다. 특히, 각종 장치가 제조 라인을 따라 설치되어 있는 경우에는, 검사 장치를 위한 설치 공간을 충분히 확보할 수 없는 경우도 있다. 또한, 검사 장치를 반송 경로 옆에 설치하는 경우, 로봇 핸드 등의 패널 이송 장치가 필요하게 되고, 그 장치를 위한 설치 공간도 필요하게 된다.However, in the case of such a conventional inspection apparatus, for example, it is installed next to the conveying path, and a special space for the inspection apparatus is required, and the volume becomes large. In particular, when various devices are installed along a production line, it may not be possible to sufficiently secure an installation space for the inspection device. Moreover, when installing a test | inspection apparatus next to a conveyance path | route, panel conveying apparatuses, such as a robot hand, are needed, and the installation space for the apparatus is also needed.

또한, 검사 장치는 제조 라인 등의 반송 경로에서 떨어진 위치에 있기 때문에, 액정 패널 한 장 한 장을 반송 경로로부터 일단 취출하여, 상기 검사 장치에서 검사하고 다시 반송 경로로 되돌려야 한다. 이에 따라, 액정 패널의 검사는 가능하지만, 검사하는데 시간이 걸리기 때문에, 대량으로 검사할 필요가 있는 경우에는 적합하지 않다. In addition, since the inspection apparatus is located at a position away from a conveyance path such as a production line, it is necessary to take out one sheet of the liquid crystal panel once from the conveyance path, inspect it with the inspection device, and return to the conveyance path again. Thereby, although inspection of a liquid crystal panel is possible, since it takes time to test | inspect, it is not suitable when it needs to inspect in large quantities.

경우에 따라서는 전량 검사가 필요한 경우도 있는데, 이러한 경우에 액정 패널을 반송 경로로부터 일단 취출하여, 1장씩 검사하고 원래대로 되돌리는 것은 지나치게 장시간이 소요되어 검사 효율이 나쁘기 때문에, 단시간에 효율적으로 검사할 수 있는 검사 장치가 요구되고 있다.In some cases, the whole quantity inspection may be necessary. In this case, it is necessary to take out the liquid crystal panel once from the conveyance path, and inspect the sheets one by one. There is a demand for a test apparatus that can be used.

본 발명은 상술한 과제에 비추어 이루어진 것으로, 본 발명의 인라인 자동 검사 장치는, 검사 대상물을 반송 경로를 따라 반송하는 상류측 반송부, 상기 상류측 반송부의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되고, 상기 검사 대상물을 지지하여 기울어지게 함으로써 육안 검사를 실시함과 동시에 그 하측에서 검사 대상물이 통과하는 것을 허용하는 검사부, 상기 검사부의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되고 검사 후의 상기 검사 대상물을 반송 경로를 따라 하류측으로 반송하는 하류측 반송부, 상기 검사 대상물을 상기 상류측 반송부로부터 상기 검사부로 이동시키는 상류측 이송부, 및 상기 검사 대상물을 상기 검사부로부터 상기 하류측 반송부로 이동시키는 하류측 이송부를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.This invention was made | formed in view of the above-mentioned subject, The inline automatic test | inspection apparatus of this invention is arrange | positioned near each other so that it may be connected to the upstream conveyance part which conveys a test target object along a conveyance path, and the downstream side of the said upstream conveyance part, The inspection unit allows the inspection object to be tilted by supporting the inspection object and at the same time, the inspection unit permits the inspection object to pass from the lower side thereof, and is disposed in close proximity to each other so as to be connected to the downstream side of the inspection unit, and the inspection object after the inspection is conveyed through a path. A downstream conveying unit for conveying to the downstream side along the upstream side, an upstream conveying unit for moving the inspection object from the upstream conveying unit to the inspecting unit, and a downstream conveying unit for moving the inspected object from the inspecting unit to the downstream conveying unit. Characterized in that configured.

상기 검사부는, 회동 및 승강 가능하게 설치되어 상기 검사 대상물을 지지하는 워크 테이블, 상기 검사 대상물을 검사하기 위해 상기 워크 테이블을 상승시킨 위치에서 상기 상류측 반송부 및 하류측 반송부와 협동하여 반송 경로를 구성하는 내부 반송부, 및 육안 검사를 위해 상기 워크 테이블을 기울어지게 하는 회동기구를 구비하여 구성되는 것이 바람직하다. 상기 검사 대상물을 상기 상류측 반송부로부터 상기 검사부로 이동시키는 동작과 상기 검사부로부터 상기 하류측 반송부로 이동시키는 동작은, 상기 상류측 이송부와 하류측 이송부가 연동하여 동시에 실시하는 것이 바람직하다. 상기 상류측 반송부에는, 상기 상류측 이송부에 의해 상기 검사부의 워크 테이블로 이동되는 상기 검사 대상물의 예비 위치를 조정하는 예비 얼라인먼트 유닛 장치를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 검사부는, 상기 워크 테이블을 향하여 설치된 카메라와, 상기 카메라를 내부에 수납함과 동시에, 상기 워크 테이블을 그 상측에서 덮어서 상기 워크 테이블에 지지된 상기 검사 대상물을 상기 카메라로 촬영하기 위한 암실을 구성하는 승강 가능한 하우징을 구비하는 것이 바람직하다.The inspection unit is provided to be rotatable and liftable so as to cooperate with the upstream conveying unit and the downstream conveying unit at a position where the work table supports the inspection object and the work table is raised to inspect the inspection object. It is preferably configured to include an internal conveying portion constituting the rotating mechanism, and a rotation mechanism for tilting the work table for visual inspection. It is preferable to perform the operation | movement which moves the said test target object from the said upstream conveyance part to the said inspection part, and the operation | movement which moves from the said inspection part to the said downstream conveyance part in conjunction with the said upstream conveyance part and a downstream conveyance part simultaneously. It is preferable that the said upstream conveyance part is provided with the preliminary alignment unit apparatus which adjusts the preliminary position of the said test target object moved to the worktable of the said inspection part by the said upstream conveyance part. The inspection unit comprises a camera installed toward the work table and a dark room for storing the camera therein and simultaneously covering the work table from above and photographing the inspection object supported on the work table with the camera. It is desirable to have a housing that can be elevated.

또한, 본 발명의 인라인 자동 검사 시스템은, 검사 대상물을 반송 경로를 따라 반송하는 상류측 반송부, 상기 상류측 반송부의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되고, 상기 검사 대상물을 지지하여 기울어지게 함으로써 육안 검사를 실시함과 동시에 그 하측에서 검사 대상물이 통과하는 것을 허용하는 검사부, 상기 검사부의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되고 검사 후의 상기 검사 대상물을 반송 경로를 따라 하류측으로 반송하는 하류측 반송부, 상기 검사 대상물을 상기 상류측 반송부로부터 상기 검사부로 이동시키는 상류측 이송부, 및 상기 검사 대상물을 상기 검사부로부터 상기 하류측 반송부로 이동시키는 하류측 이송부를 구비하며, 상기 검사부가, 회동 및 승강 가능하게 설치되어 상기 검사 대상물을 지지하는 워크 테이블과, 상기 검사 대상물을 검사하기 위해 상기 워크 테이블을 상승시킨 위치에서 상기 상류측 반송부 및 하류측 반송부와 협동하여 반송 경로를 구성하는 내부 반송부와, 육안 검사를 위해 상기 워크 테이블을 기울어지게 하는 회동 기구를 구비하여 구성되는 인라인 자동 검사 장치를, 상기 반송 경로에 복수개 설치한 것을 특징으로 한다.In addition, the inline automatic inspection system of the present invention is arranged in close proximity to each other so as to be connected to an upstream conveying unit for conveying an inspection object along a conveyance path and a downstream side of the upstream conveying unit, and by supporting the inspection object to be inclined. An inspection unit that allows visual inspection and allows the inspection object to pass through at the lower side thereof, and a downstream conveyance that is disposed in close proximity to each other so as to be connected to the downstream side of the inspection unit and conveys the inspection object after inspection to a downstream side along a conveying path. And an upstream conveying portion for moving the inspected object from the upstream conveying portion to the inspecting portion, and a downstream conveying portion for moving the inspected object from the inspecting portion to the downstream conveying portion, wherein the inspecting portion rotates and elevates. Work table that can be installed to support the inspection object And an internal conveying portion cooperating with the upstream conveying portion and the downstream conveying portion in a position where the worktable is raised to inspect the inspection object, and an inclined conveying portion of the worktable for visual inspection. The inline automatic test | inspection apparatus comprised with the rotation mechanism was provided in multiple numbers in the said conveyance path, It is characterized by the above-mentioned.

상기 인라인 자동 검사 장치에서는, 상기 인라인 자동 검사 장치가 반송 경로 상에 설치되므로, 이 인라인 자동 검사 장치를 위한 특별한 설치 공간을 필요로 하지 않으며, 대폭적인 공간 절약화를 도모할 수 있다. 또한, 이송 장치를 특별히 설치할 필요가 없으므로, 공간의 효율적인 이용이나 운전 비용의 절감 등으로 인해 전체적으로 비용 절감을 도모할 수 있다.In the inline automatic inspection apparatus, since the inline automatic inspection apparatus is provided on the conveyance path, no special installation space for the inline automatic inspection apparatus is required, and a significant space saving can be achieved. In addition, since there is no need to install a conveying device in particular, the overall cost can be reduced due to the efficient use of space and the reduction of operating cost.

또한, 인라인 자동 검사 장치에 회동기구를 구비했기 때문에, 반송 경로에서 육안 검사가 가능해진다.Moreover, since the inline automatic inspection apparatus was provided with the rotation mechanism, visual inspection becomes possible in a conveyance path | route.

또한, 인라인 자동 검사 시스템에서는, 상기 반송 경로에 복수개 설치된 인라인 자동 검사 장치 중, 선두의 인라인 자동 검사 장치에서 상기 검사 대상물의 검사가 개시되면, 다음의 검사 대상물은 선두의 인라인 자동 검사 장치의 내부 반송부를 통과하여 다음의 인라인 자동 검사 장치로 반송되고, 이 인라인 자동 검사 장치에서 상기 검사 대상물의 검사가 개시된다. 다음의 검사 대상물은 두번째의 인라인 자동 검사 장치의 내부 반송부를 통과하여 다음의 인라인 자동 검사 장치로 반송되고, 상기와 마찬가지로 검사가 개시되어, 다수의 검사 대상물을 효율적으로 검사할 수 있다.In addition, in the inline automatic inspection system, when the inspection of the inspection object is started by the first inline automatic inspection device among the inline automatic inspection devices provided in the plurality of conveyance paths, the next inspection object is internally conveyed by the first inline automatic inspection device. It passes to a next inline automatic test | inspection apparatus through a part, and the test | inspection of the said test subject is started by this inline automatic test | inspection apparatus. The next inspection object is passed through the inner conveying part of the second inline automatic inspection device to the next inline automatic inspection device, and the inspection is started in the same manner as described above, whereby a large number of inspection objects can be efficiently inspected.

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치에 대해서, 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 도1은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 나타내는 사시도, 도2는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 나타내는 측면도, 도3은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 그것의 워크 테이블을 기울어지게 한 상태로 나타내는 측면도, 도4는 본 발명의 실시형 태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 그것의 워크 테이블을 기울어지게 한 상태로 나타내는 사시도, 도5는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 나타내는 정면단면도(도6의 A-A선 단면도), 도6은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 나타내는 평면도, 도7은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 나타내는 정면단면도, 도8은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치의 회동기구를 나타내는 사시도, 도9는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치의 예비 얼라인먼트 유닛 장치를 나타내는 사시도, 도10은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치의 예비 얼라인먼트 유닛 장치를 상류측 반송부에 설치한 상태를 나타내는 사시도, 도11은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치의 예비 얼라인먼트 유닛 장치를 상류측 반송부에 설치한 상태를 나타내는 평면도, 도12는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 제조 라인에 복수개 설치한 인라인 자동 검사 시스템이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the inline automatic test | inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention is demonstrated with reference to an accompanying drawing. 1 is a perspective view showing an inline automatic inspection device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view showing an inline automatic inspection device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an inline automatic inspection device according to an embodiment of the present invention. Is a side view of the work table in an inclined state, FIG. 4 is a perspective view of the inline automatic inspection device according to an embodiment of the present invention in a state in which the work table is inclined, and FIG. 5 is an embodiment of the present invention. Front sectional view (AA line sectional drawing of FIG. 6) which shows the inline automatic inspection apparatus by a form, FIG. 6 is a top view which shows the inline automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention, FIG. 7 is an inline automatic which concerns on embodiment of this invention. Front sectional drawing which shows an inspection apparatus, FIG. 8 is a perspective view which shows the rotational mechanism of the inline automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention, 9 is a perspective view showing a preliminary alignment unit apparatus of the inline automatic inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a state in which the preliminary alignment unit apparatus of the inline automatic inspection apparatus according to the embodiment of the present invention is installed in an upstream conveying unit. 11 is a plan view showing a state in which a preliminary alignment unit device of an inline automatic inspection device according to an embodiment of the present invention is installed in an upstream transport portion, and FIG. 12 is an inline automatic inspection device according to an embodiment of the present invention. It is an inline automatic inspection system in which a plurality of parts are installed in a manufacturing line.

인라인 자동 검사 장치(1)는, 검사 대상물의 반송 경로에 설치되는 장치이다. 인라인 자동 검사 장치(1)는, 각종 검사 대상물의 반송 경로에서, 상기 검사 대상물의 검사를 실시한다. 여기서는, 검사 대상물의 반송 경로로서 액정 패널의 제조 라인을 예로 들어 설명한다. 액정 패널의 제조 라인은, 통상, 컨베이어로 구성되어 있기 때문에, 인라인 자동 검사 장치(1)는 이 컨베이어의 도중에서, 컨베이어의 일부를 제거하여 설치된다.The inline automatic inspection apparatus 1 is an apparatus provided in the conveyance path | route of an inspection object. The inline automatic inspection device 1 inspects the inspection object in a conveyance path of various inspection objects. Here, the manufacturing line of a liquid crystal panel is demonstrated as an example as a conveyance path of a test subject. Since the manufacturing line of a liquid crystal panel is comprised with the conveyor normally, the inline automatic inspection apparatus 1 removes a part of conveyor in the middle of this conveyor, and is installed.

인라인 자동 검사 장치(1)는 도1~8에 나타내는 바와 같이, 상류측 반송부(2), 검사부(3), 하류측 반송부(4), 상류측 이송부(5), 및 하류측 이송부(6)로 구성되어 있다.As shown in FIGS. 1 to 8, the inline automatic inspection device 1 includes an upstream conveying unit 2, an inspection unit 3, a downstream conveying unit 4, an upstream conveying unit 5, and a downstream conveying unit ( It consists of 6).

상류측 반송부(2)는 상기 컨베이어 위를 반송되어 온 액정 패널(8)을 반송 경로를 따라 검사부(3)까지 반송하기 위한 장치이다. 상류측 반송부(2)는 상기 컨베이어의 일부를 제거한 위치에, 그 컨베이어의 상류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되어 있다. 이 상류측 반송부(2)는 롤러 컨베이어로 구성되어 있다. 상류측 반송부(2)는 구체적으로는, 일정 간격을 두고 평행하게 설치된 롤러(9), 각 롤러(9)를 그 양측에서 회전 가능하게 지지하는 측벽(10), 액정 패널(8)의 대략적인 위치(예비 위치)를 조정하는 예비 얼라인먼트 유닛 장치(11)(도10 참조), 및 상기 롤러(9)를 회전 구동하는 구동부(도시 생략)로 구성되어 있다. 측벽(10)에는 상기 컨베이어의 높이에 맞춘 다리부(도시 생략)가 형성된다. 상기 구동부는 후술하는 하류측 이송부(6)의 구동부 및 후술하는 검사부(3)의 내부 반송부(47)의 구동부와 연동하여 제어되며, 액정 패널(8)을 원활하게 반송할 수 있게 되어 있다.The upstream conveying part 2 is an apparatus for conveying the liquid crystal panel 8 conveyed on the said conveyor to the inspection part 3 along a conveyance path | route. The upstream conveying part 2 is arrange | positioned near each other so that it may be connected to the upstream of the conveyor in the position which removed a part of the said conveyor. This upstream conveying part 2 is comprised by the roller conveyor. The upstream conveyance part 2 is specifically, the roller 9 provided in parallel at predetermined intervals, the side wall 10 which supports each roller 9 so that rotation is possible at both sides, and the liquid crystal panel 8 substantially. It consists of the preliminary alignment unit apparatus 11 (refer FIG. 10) which adjusts a position (preliminary position), and the drive part (not shown) which rotationally drives the said roller 9. As shown in FIG. The side wall 10 is provided with a leg portion (not shown) in accordance with the height of the conveyor. The drive unit is controlled in conjunction with the drive unit of the downstream transfer unit 6 described later and the drive unit of the internal conveyance unit 47 of the inspection unit 3 described later, so that the liquid crystal panel 8 can be smoothly conveyed.

예비 얼라인먼트 유닛 장치(11)는, 상류측 이송부(5)를 통해 액정 패널(8)을 상류측 반송부(2)로부터 후술하는 검사부(3)의 워크 테이블(45)로 이동시킬 때, 액정 패널(8)의 예비 위치를 조정하기 위한 장치이다. 예비 얼라인먼트 유닛 장치(11)는, 도9~11에 나타내는 바와 같이, 세로위치결정부(13), 가로위치결정부(14), 및 승강부(15)로 구성되어 있다. 아울러, 도9~11에 나타내는 상류측 반송부(2)의 전체적 구성은 도1에 나타내는 상류측 반송부(2)와 그 치수는 다소 상이하지만, 기능은 동일하다.When the preliminary alignment unit apparatus 11 moves the liquid crystal panel 8 from the upstream conveyance part 2 to the work table 45 of the inspection part 3 mentioned later through the upstream conveyance part 5, the liquid crystal panel It is an apparatus for adjusting the preliminary position of (8). The preliminary alignment unit apparatus 11 is comprised from the vertical positioning part 13, the horizontal positioning part 14, and the lifting-up part 15, as shown to FIGS. 9-11. In addition, although the overall structure of the upstream conveyance part 2 shown to FIGS. 9-11 is somewhat different from the upstream conveyance part 2 shown in FIG. 1, the function is the same.

세로위치결정부(13)는 상류측 반송부(2)의 하류측 끝부분으로 반송된 액정 패널(8)을 검사부(3)로 이동시킬 때, 액정 패널(8)의 세로 방향의 위치를 조정하기 위한 장치이다. 세로위치결정부(13)는, 레일(17), 슬라이더(18), 실린더(19), 지지부재(20), 및 패널 검지 센서(21)로 구성되어 있다. 레일(17)은 상기 반송 경로를 따라 설치되며, 슬라이더(18)를 반송 경로에 따른 세로 방향으로 이동 가능하게 지지하고 있다. 레일(17)은 상류측 반송부(2) 측에 고정되어 있다. 슬라이더(18)는, 레일(17)에 슬라이드 가능하게 끼워 맞춰져서, 상기 반송 경로에 따른 세로 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 실린더(19)는 지지부재(20)를 지지하여 승강시키기 위한 장치이다. 상기 실린더(19)는 에어 실린더, 유압 실린더 등의 기존의 실린더를 사용할 수 있다. 실린더(19)에는 공기압 또는 유압을 공급하기 위한 장치(도시 생략)가 접속되어 있다. 실린더(19)는 슬라이더(18)에 장착되며, 반송 경로에 따른 세로 방향으로 이동할 수 있게 되어 있다. 지지부재(20)는 액정 패널(8)에 그 하측으로부터 직접 접촉하여 지지하기 위한 부재이다. 상기 지지부재(20)는 실리콘 고무 등으로 구성되어 있다. 패널 검지 센서(21)는 액정 패널(8)이 예비 얼라인먼트 유닛 장치(11)의 바로 위에 위치하고 있는지를 검지하기 위한 센서이다. 그 밖에, 액정 패널(8)의 가로 세로의 위치를 검지하는 센서가 적절히 설치된다.The vertical positioning unit 13 adjusts the vertical position of the liquid crystal panel 8 when moving the liquid crystal panel 8 conveyed to the downstream end of the upstream conveying unit 2 to the inspection unit 3. It is an apparatus for doing so. The vertical positioning unit 13 is composed of a rail 17, a slider 18, a cylinder 19, a support member 20, and a panel detection sensor 21. The rail 17 is provided along the said conveyance path | route, and supports the slider 18 so that a movement to the longitudinal direction along the conveyance path is possible. The rail 17 is being fixed to the upstream conveyance part 2 side. The slider 18 is slidably fitted to the rail 17 and is supported to be movable in the longitudinal direction along the conveyance path. The cylinder 19 is a device for supporting and lifting the support member 20. The cylinder 19 may use an existing cylinder such as an air cylinder or a hydraulic cylinder. An apparatus (not shown) for supplying air pressure or hydraulic pressure is connected to the cylinder 19. The cylinder 19 is attached to the slider 18, and can move to the longitudinal direction along a conveyance path | route. The supporting member 20 is a member for supporting the liquid crystal panel 8 in direct contact with the lower side thereof. The support member 20 is made of silicone rubber or the like. The panel detection sensor 21 is a sensor for detecting whether the liquid crystal panel 8 is located directly above the preliminary alignment unit device 11. In addition, the sensor which detects the horizontal and vertical position of the liquid crystal panel 8 is provided suitably.

가로위치결정부(14)는, 상류측 반송부(2)의 하류측 끝부분으로 반송된 액정 패널(8)을 검사부(3)로 이동시킬 때, 액정 패널(8)의 가로 방향의 위치를 조정하기 위한 장치이다. 가로위치결정부(14)는, 레일(23), 슬라이더(24), 실린더(25), 및 지지부재(26)로 구성되어 있다. 레일(23)은 상기 반송 경로에 직교하는 가로 방향에 설치되고, 슬라이더(24)를 가로 방향으로 이동 가능하게 지지하고 있다. 레 일(23)은 상기 세로위치결정부(13)의 레일(17)과 일체로, 상류측 반송부(2) 측에 고정되어 있다. 슬라이더(24)는 레일(23)에 슬라이드 가능하게 끼워 맞춰져서, 가로 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 실린더(25)는 슬라이더(24)에 2개가 설치되어 있다. 각 실린더(25)는 지지부재(26)를 지지하여 승강시키기 위한 장치이다. 각 실린더(25)는 에어 실린더, 유압 실린더 등의 기존의 실린더를 사용할 수 있다. 실린더(25)에는 공기압 또는 유압을 공급하기 위한 장치(도시 생략)가 접속되어 있다. 실린더(25)는 슬라이더(24)에 장착되며, 가로 방향으로 이동할 수 있게 되어 있다. 지지부재(26)는 액정 패널(8)에 그 하측으로부터 직접 접촉하여 지지하기 위한 부재이다. 상기 지지부재(26)는 실리콘 고무 등으로 구성되어 있다.When the horizontal positioning unit 14 moves the liquid crystal panel 8 conveyed to the downstream end of the upstream conveying unit 2 to the inspection unit 3, the horizontal positioning unit 14 moves the horizontal position of the liquid crystal panel 8 in the horizontal direction. It is a device for adjustment. The horizontal positioning unit 14 is composed of a rail 23, a slider 24, a cylinder 25, and a support member 26. The rail 23 is provided in the horizontal direction orthogonal to the said conveyance path | route, and supports the slider 24 so that a movement to a horizontal direction is possible. The rail 23 is fixed to the upstream conveying section 2 side integrally with the rail 17 of the vertical positioning section 13. The slider 24 is slidably fitted to the rail 23 and is supported to be movable in the horizontal direction. Two cylinders 25 are provided on the slider 24. Each cylinder 25 is a device for supporting and lifting the support member 26. Each cylinder 25 can use an existing cylinder, such as an air cylinder and a hydraulic cylinder. An apparatus (not shown) for supplying air pressure or hydraulic pressure is connected to the cylinder 25. The cylinder 25 is attached to the slider 24, and can move to a horizontal direction. The support member 26 is a member for supporting the liquid crystal panel 8 in direct contact with the bottom thereof. The support member 26 is made of silicone rubber or the like.

승강부(15)는 상기 세로위치결정부(13) 및 가로위치결정부(14)로 예비 위치가 조정된 후의 액정 패널(8)을 승강시키기 위한 장치이다. 승강부(15)는 패널 리프트(28)와 실린더(29)로 구성되어 있다.The elevating unit 15 is an apparatus for elevating the liquid crystal panel 8 after the preliminary position is adjusted by the vertical positioning unit 13 and the horizontal positioning unit 14. The lifting section 15 is composed of a panel lift 28 and a cylinder 29.

패널 리프트(28)는 액정 패널(8)의 이면에 직접 접촉하여 액정 패널(8)을 들어올리기 위한 부재이다. 패널 리프트(28)는, 지지판(31), 이 지지판(31)의 하측에 4개가 설치된 가이드 봉(32), 지지판(31)의 상측에 4개가 설치된 지지 봉(33), 및 각 지지 봉(33)의 상단부(上端部)에 형성된 지지부재(34)로 구성되어 있다. 4개의 가이드 봉(32)은 안내판(35)의 4개의 가이드 구멍(36)에 삽입되며, 상하 방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 안내판(35)은 상류측 반송부(2)의 프레임(37)에 고정되어 있다.The panel lift 28 is a member for lifting the liquid crystal panel 8 in direct contact with the rear surface of the liquid crystal panel 8. The panel lift 28 is the support plate 31, the guide rod 32 provided with four at the lower side of this support plate 31, the support rod 33 provided with four at the upper side of the support plate 31, and each support rod ( It consists of the support member 34 formed in the upper end of 33. The four guide rods 32 are inserted into the four guide holes 36 of the guide plate 35 and are slidably supported in the vertical direction. The guide plate 35 is fixed to the frame 37 of the upstream conveying part 2.

실린더(29)는 패널 리프트(28)를 승강시키기 위한 부재이다. 상기 실린 더(29)는 안내판(35)의 이면에 고정되며, 실린더 로드(도시 생략)가 지지판(31)에 연결되어 있다. 이에 따라, 실린더(29)가 실린더 로드를 연장시킴으로써, 패널 리프트(28)가 상승하여, 지지 봉(33) 상단의 지지부재(34)로 지지된 액정 패널(8)을 위쪽으로 들어 올리게 되어 있다. 들어 올려진 액정 패널(8)은 상류측 이송부(5)로 이송되어 검사부(3)로 이동된다.The cylinder 29 is a member for elevating and lifting the panel lift 28. The cylinder 29 is fixed to the rear surface of the guide plate 35, and a cylinder rod (not shown) is connected to the support plate 31. As a result, the cylinder 29 extends the cylinder rod, whereby the panel lift 28 is raised to lift the liquid crystal panel 8 supported by the support member 34 on the upper end of the support rod 33 upward. . The lifted liquid crystal panel 8 is conveyed to the upstream conveying part 5 and moved to the inspection part 3.

검사부(3)는 상류측 반송부(2)의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되고, 상기 액정 패널(8)을 지지하여 기울어지게 하거나 위쪽으로 들어 올려서 검사함과 동시에 그 하측에서 액정 패널(8)이 통과하는 것을 허용하기 위한 장치이다. 검사부(3)는 도1~8에 나타내는 바와 같이, 주로 XYZθ 스테이지(40)(도7 참조), 검사 스테이지(41), 및 화상 처리부(42)로 구성되어 있다.The inspection unit 3 is disposed in close proximity to each other so as to be connected to the downstream side of the upstream conveying unit 2, and supports the liquid crystal panel 8 so that the liquid crystal panel 8 is inclined or lifted upward and inspected. 8) is a device for allowing this to pass. As shown in FIGS. 1-8, the inspection part 3 mainly consists of the XYZ (theta) stage 40 (refer FIG. 7), the inspection stage 41, and the image processing part 42. As shown in FIG.

XYZθ 스테이지(40)는 검사 스테이지(41)를 XYZ축 방향 및 회전 방향으로 미세하게 조정하기 위한 장치이다. 이 XYZθ 스테이지(40)에는, Z 스테이지부와는 별도로, 검사 스테이지(41)를 크게 승강시키기 위한 승강기구(도시 생략)가 설치되어 있다. 검사 스테이지(41)는 상기 승강기구에 의해 상기 반송 경로에 그 하측으로부터 밀어 올려져서 액정 패널(8)을 지지하여 위쪽으로 들어 올리게 되어 있다. 이에 따라, 검사 스테이지(41)가 위쪽으로 크게 상승되어 검사가 행해진다.The XYZθ stage 40 is a device for finely adjusting the inspection stage 41 in the XYZ axis direction and the rotation direction. This XYZθ stage 40 is provided with a lifting mechanism (not shown) for raising and lowering the inspection stage 41 apart from the Z stage portion. The test | inspection stage 41 is pushed up from the lower side to the said conveyance path | route by the said lifting mechanism, and supports the liquid crystal panel 8, and lifts it upwards. As a result, the inspection stage 41 is greatly raised upward, and inspection is performed.

검사 스테이지(41)는 액정 패널(8)을 정확하게 지지하여, 그 배면에서 조명하기 위한 장치이다. 검사 스테이지(41)는, 워크 테이블(45), 백라이트(46), 내부 반송부(47), 및 회동기구(48)로 구성되어 있다.The inspection stage 41 is a device for accurately supporting the liquid crystal panel 8 and illuminating it from the back side. The inspection stage 41 is comprised of the work table 45, the backlight 46, the internal conveyance part 47, and the rotation mechanism 48.

워크 테이블(45)은 액정 패널(8)을 직접 지지하기 위한 부재이다. 워크 테이 블(45)은 XYZθ 스테이지(40)에 의해 승강 가능하게 지지되며, 액정 패널(8)을 정확한 위치에 지지한다. 백라이트(46)는 워크 테이블(45)에 지지된 액정 패널(8)을 그것의 배면(하측면)에서 조명하기 위한 부재이다. 백라이트(46)로 액정 패널(8)을 배면에서 조명하여, 액정 패널(8)의 점등 검사가 행해진다.The work table 45 is a member for directly supporting the liquid crystal panel 8. The work table 45 is supported by the XYZθ stage 40 so as to be lifted and lowered, and supports the liquid crystal panel 8 at the correct position. The backlight 46 is a member for illuminating the liquid crystal panel 8 supported on the work table 45 from its rear side (lower side). The backlight 46 illuminates the liquid crystal panel 8 from the back, and the lighting test of the liquid crystal panel 8 is performed.

내부 반송부(47)는, 액정 패널(8)을 검사하기 위해 워크 테이블(45)을 상승시켰을 때, 상류측 반송부(2) 및 하류측 반송부(4)와 협동하여 상기 반송 경로를 구성하기 위한 장치이다. 내부 반송부(47)는 XYZθ 스테이지(40)와 백라이트(46) 사이에 형성된 롤러 컨베이어로 구성되어 있다. 이 롤러 컨베이어는, XYZθ 스테이지(40)의 승강 기구에 의해 검사 스테이지(41)가 상승된 상태에서, 상류측 반송부(2) 및 하류측 반송부(4)와 그 높이가 일치하도록 설정되어 있다. 내부 반송부(47)에는, 그 내부의 롤러(9)를 구동하기 위한 구동부(도시 생략)가 설치되어 있다. 이 구동부는, 상류측 반송부(2) 및 하류측 반송부(4)의 구동부와 동기적으로 각 롤러(9)를 구동하게 되어 있다.When the internal conveyance part 47 raises the work table 45 to test the liquid crystal panel 8, it cooperates with the upstream conveyance part 2 and the downstream conveyance part 4, and comprises the said conveyance path | route. It is an apparatus for doing so. The internal conveyance part 47 is comprised by the roller conveyor formed between the XYZ (theta) stage 40 and the backlight 46. As shown in FIG. This roller conveyor is set so that the height may match with the upstream conveyance part 2 and the downstream conveyance part 4 in the state which the inspection stage 41 was raised by the elevating mechanism of the XYZ (theta) stage 40. . The internal conveyance part 47 is provided with the drive part (not shown) for driving the roller 9 in the inside. This drive part drives each roller 9 in synchronism with the drive part of the upstream conveyance part 2 and the downstream conveyance part 4.

회동기구(48)는 육안 검사를 위해 워크 테이블(45)을 기울어지게 하기 위한 기구이다. 이 회동기구(48)는, 베이스판(49), 회전축(50), 축수용부(51), 및 회전 구동부(52)로 구성되어 있다.The rotation mechanism 48 is a mechanism for tilting the work table 45 for visual inspection. This rotation mechanism 48 is comprised by the base board 49, the rotating shaft 50, the shaft accommodating part 51, and the rotation drive part 52. As shown in FIG.

베이스판(49)은 워크 테이블(45)을 지지하기 위한 판 부재이다. 워크 테이블(45)은 상기 베이스판(49)에 지지된 상태에서 베이스판(49)과 함께 회동된다. 베이스판(49)의 기단부(基端部)에는 회전축(50)에 연결하는 연결블록(49A)이 형성되어 있다. 이 연결블록(49A)과 회전축(50)은 서로 견고하게 결합되어 있다.The base plate 49 is a plate member for supporting the work table 45. The work table 45 is rotated together with the base plate 49 in a state supported by the base plate 49. A connecting block 49A is formed at the proximal end of the base plate 49 to connect to the rotation shaft 50. The connecting block 49A and the rotation shaft 50 are firmly coupled to each other.

회전축(50)은 베이스판(49)을 회동시키기 위한 축이다. 축수용부(51)는 회전축(50)을 회전 가능하게 지지하기 위한 부재이다. 축수용부(51)는 XYZθ 스테이지(40) 측에 지지된 상태로, 회전축(50)의 양 끝을 회전 가능하게 지지하고 있다. 회전 구동부(52)는 회전축(50)을 통해 베이스판(49)을 회동하기 위한 장치이다. 이 회전 구동부(52)는 축수용부(51)에 고정된 상태로 회전축(50)에 연결되어 있다. 회전 구동부(52)는 구체적으로는, 구동 모터(도시 생략)와 필요에 따라 설치되는 감속기구(도시 생략)를 구비하여 구성되어 있다. 워크 테이블(45)이나 베이스판(49)이 무거울 경우에는, 감속기구를 구비하여, 그 무게의 정도에 따라 감속비를 설정한다. 상기 구동 모터는 인라인 자동 검사 시스템 전체를 제어하는 제어부(도시 생략)에 접속되어, 상류측 반송부(2), 하류측 반송부(4) 등과 함께 제어된다.The rotating shaft 50 is an axis for rotating the base plate 49. The shaft accommodating part 51 is a member for rotatably supporting the rotating shaft 50. The shaft accommodating part 51 is rotatably supporting the both ends of the rotating shaft 50 in the state supported by the XYZ (theta) stage 40 side. The rotation drive unit 52 is a device for rotating the base plate 49 through the rotation shaft 50. This rotation drive part 52 is connected to the rotation shaft 50 in the state fixed to the shaft accommodation part 51. As shown in FIG. Specifically, the rotation drive part 52 is comprised with the drive motor (not shown) and the reduction mechanism (not shown) provided as needed. When the work table 45 and the base plate 49 are heavy, a reduction mechanism is provided and the reduction ratio is set in accordance with the weight. The said drive motor is connected to the control part (not shown) which controls the whole inline automatic inspection system, and is controlled with the upstream conveyance part 2, the downstream conveyance part 4, etc.

워크 테이블(45)의 상부에는 프로브 유닛(도시 생략)이 형성되어 있다. 이 프로브 유닛은, 그것의 프로브가 액정 패널(8)의 전극에 접촉하여 검사 신호를 인가하고, 액정 패널(8)에 테스트 패턴 등을 표시하게 한다.A probe unit (not shown) is formed above the work table 45. This probe unit causes its probe to contact an electrode of the liquid crystal panel 8 to apply a test signal to display the test pattern or the like on the liquid crystal panel 8.

화상 처리부(42)는 액정 패널(8)의 표면을 촬영하여 화상 처리를 통해 액정 패널(8)의 결함 등을 검사하기 위한 장치이다. 화상 처리부(42)는 주로 카메라(53), 카메라 구동기구(54), 처리 장치(55), 및 암실용 하우징(56)으로 구성되어 있다.The image processing unit 42 is a device for photographing the surface of the liquid crystal panel 8 and inspecting defects and the like of the liquid crystal panel 8 through image processing. The image processing unit 42 is mainly composed of a camera 53, a camera driving mechanism 54, a processing device 55, and a housing for a dark room 56.

카메라(53)는 워크 테이블(45)을 향하여 설치되어 있다. 이 카메라(53)에 의해, 액정 패널(8)이 촬영되고, 그 영상 데이터가 처리 장치(55)로 송신된다. 카메라 구동기구(54)는 카메라(53)를 지지하여 그 위치를 조정하기 위한 장치이다. 이 카메라 구동기구(54)에 의해 카메라(53)가 상하, 전후좌우로 이동되어 위치맞춤이 이루어지게 되어 있다. 처리 장치(55)는 카메라(53)로 촬영한 화상을 처리하기 위한 장치이다.The camera 53 is provided toward the work table 45. By this camera 53, the liquid crystal panel 8 is imaged, and the image data is transmitted to the processing apparatus 55. FIG. The camera drive mechanism 54 is a device for supporting the camera 53 and adjusting its position. The camera drive mechanism 54 is used to move the camera 53 up, down, front, back, left, and right to achieve alignment. The processing device 55 is a device for processing an image captured by the camera 53.

암실용 하우징(56)은, 카메라(53)를 카메라 구동기구(54)와 함께 내부에 수납하고, 워크 테이블(45)을 그 상측에서 덮어 암실을 구성하기 위한 하우징이다. 암실용 하우징(56)은 승강 가능하게 형성되며, 워크 테이블(45)을 그 상측에서 적절히 덮어 암실을 구성한다. 이에 따라, 워크 테이블(45)에 지지된 액정 패널(8)을 백라이트(46)로 조명하여 카메라(53)로 촬영하고, 처리 장치(55)에서 화상 처리하여 액정 패널(8)을 검사한다.The darkroom housing 56 is a housing for accommodating the camera 53 together with the camera drive mechanism 54 and covering the work table 45 from the upper side to form a darkroom. The darkroom housing 56 is formed to be movable up and down, and covers the work table 45 from the upper side suitably, and comprises a darkroom. Accordingly, the liquid crystal panel 8 supported on the work table 45 is illuminated by the backlight 46, photographed by the camera 53, and image-processed by the processing apparatus 55 to inspect the liquid crystal panel 8.

하류측 반송부(4)는 검사 후의 액정 패널(8)을 반송 경로를 따라 하류측으로 반송하기 위한 장치이다. 하류측 반송부(4)는 검사부(3)의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되어 있다. 하류측 반송부(4)의 전체 구성은 예비 얼라인먼트 유닛 장치(11)를 갖지 않는다는 점을 제외하고, 상기 상류측 반송부(2)와 대칭으로 구성되어 있다.The downstream conveyance part 4 is an apparatus for conveying the liquid crystal panel 8 after a test to the downstream side along a conveyance path | route. The downstream side conveyance part 4 is arrange | positioned adjacent to each other so that it may follow the downstream side of the inspection part 3. The whole structure of the downstream conveyance part 4 is comprised symmetrically with the said upstream conveyance part 2 except that it does not have the preliminary alignment unit apparatus 11.

상류측 이송부(5)는 액정 패널(8)을 상류측 반송부(2)로부터 검사부(3)로 이동시키기 위한 장치이다. 상류측 이송부(5)는, 패널 흡착부(57), 패널 반송 암(58), 및 패널 반송기구(59)로 구성되어 있다.The upstream conveying part 5 is an apparatus for moving the liquid crystal panel 8 from the upstream conveying part 2 to the inspection part 3. The upstream conveying part 5 is comprised by the panel adsorption part 57, the panel conveyance arm 58, and the panel conveyance mechanism 59. As shown in FIG.

패널 흡착부(57)는 액정 패널(8)을 흡착하여 지지하기 위한 부재이다. 패널 흡착부(57)는 액정 패널(8)의 표면에 흡착하는 흡착 패드(61)와 패널 승강기구(62)를 구비하여 구성되어 있다. 이 흡착 패드(61)는 흡인 장치(도시 생략)에 접속되어 있다. 패널 승강기구(62)는 패널 반송 암(58)에 고정된 상태로, 흡착 패드(61)를 지지하여 이 흡착 패드(61)에 의해 흡착된 액정 패널(8)을 승강시킨다.The panel adsorption part 57 is a member for attracting and supporting the liquid crystal panel 8. The panel adsorption part 57 is comprised by the adsorption pad 61 and the panel lifting mechanism 62 which adsorb | suck to the surface of the liquid crystal panel 8. As shown in FIG. This suction pad 61 is connected to a suction device (not shown). The panel elevating mechanism 62 supports the adsorption pad 61 in the state fixed to the panel conveyance arm 58, and elevates the liquid crystal panel 8 adsorbed by the adsorption pad 61.

패널 반송 암(58)은 상류측 반송부(2)의 측부로부터 액정 패널(8)을 지지하기 위한 봉 부재이다. 패널 반송 암(58)의 선단(先端)에 패널 흡착부(57)가 장착되고, 이 패널 흡착부(57)에 흡착된 액정 패널(8)을 패널 반송 암(58)을 통해 상류측 반송부(2)의 측부로부터 지지하게 되어 있다. 패널 반송기구(59)는 액정 패널(8)을 상류측 반송부(2)로부터 검사부(3)로 이동시키기 위한 장치이다. 패널 반송기구(59)는, 직접적으로는 패널 반송 암(58)을 지지함으로써, 상기 패널 반송 암(58) 및 패널 흡착부(57)를 통해 액정 패널(8)을 지지하여 상류측 반송부(2)로부터 검사부(3)로 이동시키게 되어 있다.The panel conveyance arm 58 is a rod member for supporting the liquid crystal panel 8 from the side part of the upstream conveyance part 2. The panel adsorption part 57 is attached to the front-end | tip of the panel conveyance arm 58, The liquid crystal panel 8 adsorb | sucked by this panel adsorption part 57 through the panel conveyance arm 58 is an upstream conveyance part. It is supported from the side of (2). The panel conveyance mechanism 59 is an apparatus for moving the liquid crystal panel 8 from the upstream conveyance part 2 to the inspection part 3. The panel conveyance mechanism 59 directly supports the panel conveyance arm 58, thereby supporting the liquid crystal panel 8 via the panel conveyance arm 58 and the panel adsorption portion 57, and upstream conveying part ( It moves to the inspection part 3 from 2).

하류측 이송부(6)는 액정 패널(8)을 검사부(3)로부터 하류측 반송부(4)로 이동시키기 위한 장치이다. 하류측 이송부(6)는 상기 상류측 이송부(5)와 마찬가지로, 패널 흡착부(65), 패널 반송 암(66), 및 패널 반송기구(67)로 구성되어 있다. 이들 각 부(部)의 기능은, 좌우 대칭으로 되어 있다는 차이점을 제외하면, 상류측 이송부(5)의 각 부의 기구와 동일하다.The downstream conveying part 6 is an apparatus for moving the liquid crystal panel 8 from the inspection part 3 to the downstream conveying part 4. The downstream conveyance part 6 is comprised from the panel adsorption part 65, the panel conveyance arm 66, and the panel conveyance mechanism 67 similarly to the said upstream conveyance part 5. As shown in FIG. The function of each part is the same as the mechanism of each part of the upstream conveyance part 5 except the difference that it is symmetrical.

상기 상류측 이송부(5)와 하류측 이송부(6)는 서로 연동하여 제어되며, 액정 패널(8)을 상류측 반송부(2)로부터 검사부(3)로 이동시키는 동작과 검사부(3)로부터 하류측 반송부(4)로 이동시키는 동작을, 동시에 실시하도록 설정되어 있다.The upstream conveying section 5 and the downstream conveying section 6 are controlled to interlock with each other and move the liquid crystal panel 8 from the upstream conveying section 2 to the inspecting section 3 and downstream from the inspecting section 3. The operation | movement which moves to the side conveyance part 4 is set to perform simultaneously.

[동작][action]

이상과 같이 구성된 인라인 자동 검사 장치(1)는 다음과 같이 동작한다.The inline automatic inspection device 1 configured as described above operates as follows.

액정 패널(8)의 제조 라인에서는, 유리 기판의 상태에서 다양한 처리 공정을 거쳐 액정 패널(8)이 제조된다.In the manufacturing line of the liquid crystal panel 8, the liquid crystal panel 8 is manufactured through various processing processes in the state of a glass substrate.

이 제조 라인의 제조 공정에서, 검사 공정이 포함되는 경우가 있다. 이러한 경우에는, 제조 라인의 도중에 인라인 자동 검사 장치(1)가 설치된다. 이 인라인 자동 검사 장치(1)에서는, 제조 라인 위를 반송되어 온 액정 패널(8)이, 그 반송 경로를 따라 반송되면서 인라인 자동 검사 장치(1)에 반입되고, 검사 종료 후에 반송 경로로 되돌려진다. 상기 인라인 자동 검사 장치(1)의 동작을 다음에 나타낸다.An inspection process may be included in the manufacturing process of this manufacturing line. In this case, the inline automatic inspection device 1 is installed in the middle of the production line. In this inline automatic inspection apparatus 1, the liquid crystal panel 8 conveyed on the manufacturing line is carried in the inline automatic inspection apparatus 1, conveyed along the conveyance path, and is returned to a conveyance path after completion | finish of an inspection. . The operation of the inline automatic inspection device 1 is shown next.

제조 라인 위를 반송되어 온 액정 패널(8)은, 우선 상류측 반송부(2)로 반송되어 온다. 상류측 반송부(2)에서는, 예비 얼라인먼트 유닛 장치(11)로 액정 패널(8)의 대략적인 위치맞춤이 이루어진다. 구체적으로는, 예비 얼라인먼트 유닛 장치(11)의 세로위치결정부(13)에서 액정 패널(8)의 세로 방향이, 가로위치결정부(14)에서 가로 방향이 위치맞춤 된다. 슬라이더(18)로 액정 패널(8)을 검출하면, 실린더(19)에 의해 지지부재(20)가 상승되어 액정 패널(8)이 들어 올려지고, 슬라이더(18)가 레일(17)을 슬라이드함으로써, 액정 패널(8)의 세로 방향이 위치맞춤 된다. 다음으로, 실린더(25)에 의해 지지부재(26)가 상승되어 액정 패널(8)이 들어 올려지고, 슬라이더(24)가 레일(23)을 슬라이드함으로써, 액정 패널(8)의 가로 방향이 위치맞춤 된다.The liquid crystal panel 8 conveyed on the manufacturing line is first conveyed to the upstream conveyance part 2. In the upstream conveyance part 2, the rough alignment of the liquid crystal panel 8 is performed by the preliminary alignment unit apparatus 11. As shown in FIG. Specifically, the vertical direction of the liquid crystal panel 8 is aligned in the vertical positioning unit 13 of the preliminary alignment unit device 11, and the horizontal direction is aligned in the horizontal positioning unit 14. When the liquid crystal panel 8 is detected by the slider 18, the support member 20 is lifted by the cylinder 19 to lift the liquid crystal panel 8, and the slider 18 slides the rail 17. The longitudinal direction of the liquid crystal panel 8 is aligned. Next, the support member 26 is raised by the cylinder 25, and the liquid crystal panel 8 is lifted, and the slider 24 slides the rail 23, so that the horizontal direction of the liquid crystal panel 8 is positioned. It is personalized.

다음으로, 승강부(15)의 지지부재(34)가 상승하여 액정 패널(8)을 들어 올려서, 상류측 이송부(5)의 패널 흡착부(57)로 이송한다. 상류측 이송부(5)에서는, 패 널 흡착부(57)가 액정 패널(8)에 흡착하여 액정 패널(8)을 지지하고, 패널 반송기구(59)에 의해 검사부(3)의 워크 테이블(45)로 반송된다. 이 때, 워크 테이블(45) 상에 이미 액정 패널(8)이 존재하는 경우에는, 그 검사가 종료되고 난 후 반송된다. 이 때, 상류측 이송부(5)와 하류측 이송부(6)가 연동하여 동시에 이동시킨다.Next, the support member 34 of the elevating portion 15 is raised to lift the liquid crystal panel 8, and is transferred to the panel adsorption portion 57 of the upstream transport portion 5. In the upstream conveying part 5, the panel adsorption part 57 adsorb | sucks to the liquid crystal panel 8, supports the liquid crystal panel 8, and the work table 45 of the inspection part 3 is carried out by the panel conveyance mechanism 59. Is returned. At this time, when the liquid crystal panel 8 already exists on the work table 45, it is conveyed after the inspection is complete | finished. At this time, the upstream conveying part 5 and the downstream conveying part 6 interlock | move and move simultaneously.

다음으로, XYZθ 스테이지(40) 내의 승강기구에 의해 액정 패널(8)이 상승되어, 카메라(53)에 근접한다. 이어서, 화상 처리부(42)에서 화상 처리가 실시된다. 구체적으로는, 카메라(53)로 촬영한 액정 패널(8) 표면의 화상 데이터가 처리 장치(55)로 송신되고, 이 처리 장치(55)에서 화상 처리가 실시되어, 액정 패널(8)의 점등 검사가 실시된다.Next, the liquid crystal panel 8 is raised by the elevating mechanism in the XYZθ stage 40 to approach the camera 53. Subsequently, the image processing unit 42 performs image processing. Specifically, the image data of the surface of the liquid crystal panel 8 photographed by the camera 53 is transmitted to the processing apparatus 55, and image processing is performed by this processing apparatus 55, and the liquid crystal panel 8 is turned on. Inspection is carried out.

이 때, 다음의 액정 패널(8)은 상류측 반송부(2)로부터 내부 반송부(47)를 통하여 하류측 반송부(4)로 반송된다. 복수의 인라인 자동 검사 장치(1)가 설치되어 있는 경우에는, 후방의 인라인 자동 검사 장치(1)로 반송된다.At this time, the next liquid crystal panel 8 is conveyed from the upstream conveyance part 2 to the downstream conveyance part 4 via the internal conveyance part 47. When the some inline automatic inspection apparatus 1 is provided, it is conveyed to the rear inline automatic inspection apparatus 1.

한편, 작업자에 의해 육안 검사가 실시되는 경우에는, 암실용 하우징(56)을 상승시켜서, 워크 테이블(45)을 기울어지게 한다. 구체적으로는, 회전 구동부(52)에서 회전축(50)을 통해 베이스판(49)을 회동시켜서, 워크 테이블(45)을 도2 내지 도3 또는 도4의 상태로 기울어지게 한다.On the other hand, when visual inspection is performed by an operator, the housing 56 for dark rooms is raised and the work table 45 is inclined. Specifically, the base plate 49 is rotated through the rotation shaft 50 in the rotation drive unit 52 so that the work table 45 is inclined in the state of FIGS. 2 to 3 or 4.

작업자는 기울어진 워크 테이블(45)의 정면에 위치하고, 기울어진 워크 테이블(45)에 지지되어 배면으로부터 조명된 액정 패널(8)을 육안으로 검사한다. 검사가 종료되면, 회전 구동부(52)에 의해 워크 테이블(45)이 수평으로 되돌려지고, 상류측 반송부(2), 하류측 반송부(4) 등과 연동하여 액정 패널(8)이 이동된다.The operator is located in front of the inclined work table 45 and visually inspects the liquid crystal panel 8 which is supported by the inclined work table 45 and illuminated from the back side. When the inspection is completed, the work table 45 is horizontally returned by the rotation drive unit 52, and the liquid crystal panel 8 is moved in conjunction with the upstream conveying unit 2, the downstream conveying unit 4, and the like.

다음으로, 회전 구동부(52)에 의해 워크 테이블(45)을 기울어지게 하여, 상기 처리를 반복한다. 이 때에도, 다음의 액정 패널(8)은, 상류측 반송부(2)로부터 내부 반송부(47)를 통하여 하류측 반송부(4)로 반송된다.Next, the work table 45 is inclined by the rotation drive part 52, and the said process is repeated. Also at this time, the next liquid crystal panel 8 is conveyed from the upstream conveyance part 2 to the downstream conveyance part 4 via the internal conveyance part 47.

[효과][effect]

상술한 바와 같이, 인라인 자동 검사 장치(1)에서는, 이 인라인 자동 검사 장치(1)가 반송 경로 상에 설치되므로, 인라인 자동 검사 장치(1)를 위한 특별한 설치 공간을 필요로 하지 않으며, 제조 라인 주위의 대폭적인 공간 절약화를 도모할 수 있다.As described above, in the inline automatic inspection apparatus 1, since this inline automatic inspection apparatus 1 is installed on the conveyance path, it does not require a special installation space for the inline automatic inspection apparatus 1, and on the production line Significant space savings can be achieved.

인라인 자동 검사 장치(1)에 회동기구(48)를 구비했기 때문에, 반송 경로에서 육안 검사가 가능해지고, 검사 효율이 향상된다.Since the inline automatic inspection apparatus 1 was equipped with the rotation mechanism 48, visual inspection becomes possible in a conveyance path | route, and inspection efficiency improves.

또한, 이송 장치를 특별히 설치할 필요가 없으므로, 공간의 효율적인 이용이나 운전 자금의 절감으로 인해, 전체적으로 비용 절감을 도모할 수 있다.Moreover, since there is no need to install a conveying apparatus in particular, cost reduction can be aimed at as a whole by efficient use of space and a reduction of an operating cost.

[변형예][Modification]

상기 실시형태에서는, 1개의 인라인 자동 검사 장치(1)를 설치한 경우를 예로 들어 설명했으나, 도12에 나타내는 바와 같이, 제조 라인에 복수의 인라인 자동 검사 장치(1)를 설치해도 좋다. 이러한 경우, 복수의 인라인 자동 검사 장치(1)가 서로 연대하여 액정 패널(8)을 검사한다. 구체적으로는, 상기 반송 경로에 복수개 설치된 인라인 자동 검사 장치(1) 중, 선두의 인라인 자동 검사 장치(1)에서 액정 패널(8)의 검사가 개시되면, 다음의 액정 패널(8)은 선두의 인라인 자동 검사 장치(1)의 내부 반송부(47)를 통과하여 다음의 인라인 자동 검사 장치(1)로 반송되고, 이 인라인 자동 검사 장치(1)에서 액정 패널(8)의 검사가 개시된다. 다음의 액정 패널(8)은 두 번째의 인라인 자동 검사 장치(1)의 내부 반송부(47)를 통과하여 다음의 인라인 자동 검사 장치(1)로 반송되고, 상기와 동일하게 검사가 개시되어, 다수의 액정 패널(8)을 효율적으로 검사할 수 있다.In the said embodiment, although the case where one inline automatic inspection apparatus 1 was installed was demonstrated as an example, as shown in FIG. 12, you may provide the some inline automatic inspection apparatus 1 in a manufacturing line. In this case, the plurality of inline automatic inspection devices 1 are connected to each other to inspect the liquid crystal panel 8. Specifically, when the inspection of the liquid crystal panel 8 is started by the first inline automatic inspection device 1 among the inline automatic inspection devices 1 provided in the plurality of conveyance paths, the next liquid crystal panel 8 is the first one. It passes through the internal conveyance part 47 of the inline automatic inspection apparatus 1, and is conveyed to the next inline automatic inspection apparatus 1, and the inspection of the liquid crystal panel 8 is started in this inline automatic inspection apparatus 1. The next liquid crystal panel 8 passes through the internal conveyance part 47 of the 2nd inline automatic inspection apparatus 1, and is conveyed to the next inline automatic inspection apparatus 1, and a test | inspection is started similarly to the above, Many liquid crystal panels 8 can be inspected efficiently.

또한, 자동 검사와 육안 검사를 선택적으로 실시하거나, 또는 복수의 인라인 자동 검사 장치(1)에서 양쪽의 검사를 동시에 실시할 수 있게 되어, 검사 효율이 대폭 향상된다.In addition, automatic inspection and visual inspection can be selectively performed, or both inspections can be performed simultaneously by a plurality of inline automatic inspection apparatuses 1, thereby greatly improving the inspection efficiency.

또한, 상기 실시형태에서는, 검사 대상물로서 액정 패널(8)을 예로 들어 설명했으나, 액정 패널(8) 이외의 검사 대상물도 적용 가능하며, 상기와 같은 작용 및 효과를 달성할 수 있다. In addition, in the said embodiment, although the liquid crystal panel 8 was demonstrated as an example to test | inspection, the test object other than the liquid crystal panel 8 is applicable, and the above functions and effects can be achieved.

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing an inline automatic inspection device according to an embodiment of the present invention.

도2는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 나타내는 측면도이다.2 is a side view showing the inline automatic inspection device according to the embodiment of the present invention.

도3은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 그것의 워크 테이블을 기울어지게 한 상태로 나타내는 측면도이다.Fig. 3 is a side view showing the inline automatic inspection device according to the embodiment of the present invention with its work table inclined.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 그것의 워크 테이블을 기울어지게 한 상태로 나타내는 사시도이다.Fig. 4 is a perspective view showing the inline automatic inspection device according to the embodiment of the present invention with its work table tilted.

도5는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 나타내는 정면단면도(도6의 A-A선 단면도)이다.Fig. 5 is a front sectional view (sectional view taken along line A-A in Fig. 6) showing the inline automatic inspection device according to the embodiment of the present invention.

도6은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 나타내는 평면도이다.Fig. 6 is a plan view showing the inline automatic inspection device according to the embodiment of the present invention.

도7은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 나타내는 정면단면도이다.Fig. 7 is a front sectional view showing the inline automatic inspection device according to the embodiment of the present invention.

도8은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치의 회동기구를 나타내는 사시도이다.8 is a perspective view showing a rotation mechanism of the inline automatic inspection device according to the embodiment of the present invention.

도9는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치의 예비 얼라인먼트 유닛 장치를 나타내는 사시도이다.9 is a perspective view showing a preliminary alignment unit device of the inline automatic inspection device according to the embodiment of the present invention.

도10은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치의 예비 얼라인먼 트 유닛 장치를 상류측 반송부에 설치한 상태를 나타내는 사시도이다.Fig. 10 is a perspective view showing a state in which a preliminary alignment unit device of an inline automatic inspection device according to an embodiment of the present invention is provided in an upstream conveying section.

도11은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치의 예비 얼라인먼트 장치를 상류측 반송부에 설치한 상태를 나타내는 평면도이다.It is a top view which shows the state which installed the preliminary alignment apparatus of the inline automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention in the upstream conveyance part.

도12는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 자동 검사 장치를 제조 라인에 복수개 설치한 인라인 자동 검사 시스템이다.12 is an inline automatic inspection system in which a plurality of inline automatic inspection apparatuses according to an embodiment of the present invention are provided on a production line.

*도면의 주요 부호에 대한 설명** Description of Major Symbols in Drawings *

1: 인라인 자동 검사 장치 2: 상류측 반송부1: Inline automatic inspection device 2: Upstream conveying part

3: 검사부 4: 하류측 반송부3: inspection part 4: downstream conveying part

5: 상류측 이송부 6: 하류측 이송부5: Upstream conveying part 6: Downstream conveying part

8: 액정 패널 9: 롤러8: liquid crystal panel 9: roller

10: 측벽 11: 예비 얼라인먼트 유닛 장치10: side wall 11: preliminary alignment unit device

13: 세로위치결정부 14: 가로위치결정부13: vertical positioning unit 14: horizontal positioning unit

15: 승강부 17: 레일15: lift 17: rail

18: 슬라이더 19: 실린더18: Slider 19: Cylinder

20: 지지부재 21: 패널 검지 센서20: support member 21: panel detection sensor

23: 레일 24: 슬라이더23: rail 24: slider

25: 실린더 26: 지지부재25: cylinder 26: support member

28: 패널 리프트 29: 실린더28: panel lift 29: cylinder

31: 지지판 32: 가이드 봉31: support plate 32: guide rod

33: 지지 봉 34: 지지부재33: support rod 34: support member

35: 안내판 36: 가이드 구멍35: guide plate 36: guide hole

37: 프레임 40: XYZθ 스테이지37: Frame 40: XYZθ stage

41: 검사 스테이지 42: 화상 처리부41: inspection stage 42: image processing unit

45: 워크 테이블 46: 백라이트45: work table 46: backlight

47: 내부 반송부 48: 회동기구47: internal conveying unit 48: rotating mechanism

49: 베이스판 50: 회전축49: base plate 50: axis of rotation

51: 축수용부 52: 회전 구동부51: shaft accommodating part 52: rotary drive part

53: 카메라 54: 카메라 구동기구53: camera 54: camera drive mechanism

55: 처리 장치 56: 암실용 하우징55: processing unit 56: housing for the dark room

57: 패널 흡착부 58: 패널 반송 암57: panel adsorption unit 58: panel transport arm

59: 패널 반송기구 61: 흡착 패드59: panel conveyance mechanism 61: suction pad

62: 패널 승강기구 65: 패널 흡착부62 panel lift mechanism 65 panel suction unit

66: 패널 반송 암 67: 패널 반송기구66: panel conveyance arm 67: panel conveyance mechanism

Claims (6)

검사 대상물을 반송 경로를 따라 반송하는 상류측 반송부;An upstream conveying unit which conveys the inspection object along the conveyance path; 상기 상류측 반송부의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되고, 상기 검사 대상물을 지지하여 기울어지게 함으로써 육안 검사를 실시함과 동시에 그 하측에서 검사 대상물이 통과하는 것을 허용하는 검사부;An inspection unit disposed close to each other so as to be connected to a downstream side of the upstream conveying unit, the inspection unit allowing visual inspection while allowing the inspection object to be inclined while supporting the inspection object and allowing the inspection object to pass therethrough; 상기 검사부의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되고 검사 후의 상기 검사 대상물을 반송 경로를 따라 하류측으로 반송하는 하류측 반송부;A downstream conveying unit disposed close to each other so as to be connected to the downstream side of the inspecting unit and conveying the inspected object after the inspection to the downstream side along a conveying path; 상기 검사 대상물을 상기 상류측 반송부로부터 상기 검사부로 이동시키는 상류측 이송부; 및An upstream conveying section for moving the inspection object from the upstream conveying section to the inspecting section; And 상기 검사 대상물을 상기 검사부로부터 상기 하류측 반송부로 이동시키는 하류측 이송부;A downstream transfer unit for moving the inspection object from the inspection unit to the downstream transport unit; 를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 인라인 자동 검사 장치.Inline automatic inspection device, characterized in that configured to include. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 검사부가, 회동 및 승강 가능하게 설치되어 상기 검사 대상물을 지지하는 워크 테이블;A work table on which the inspection unit is rotatably and liftable to support the inspection object; 상기 검사 대상물을 검사하기 위해 상기 워크 테이블을 상승시킨 위치에서 상기 상류측 반송부 및 하류측 반송부와 협동하여 반송 경로를 구성하는 내부 반송 부; 및An internal conveying section configured to form a conveying path in cooperation with the upstream conveying section and the downstream conveying section at a position where the work table is raised to inspect the inspection object; And 육안 검사를 위해 상기 워크 테이블을 기울어지게 하는 회동기구;A rotation mechanism for tilting the work table for visual inspection; 를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 인라인 자동 검사 장치.Inline automatic inspection device, characterized in that configured to include. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 검사 대상물을 상기 상류측 반송부로부터 상기 검사부로 이동시키는 동작과 상기 검사부로부터 상기 하류측 반송부로 이동시키는 동작을, 상기 상류측 이송부와 하류측 이송부가 연동하여 동시에 실시하는 것을 특징으로 하는 인라인 자동 검사 장치.Inline automatic movement of the said upstream conveyance part and the downstream conveyance part performs the operation | movement which moves the said inspection object from the said upstream conveyance part to the said inspection part, and the operation | movement which moves from the inspection part to the downstream conveyance part simultaneously. Inspection device. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 상류측 반송부에, 상기 상류측 이송부에 의해 상기 검사부의 워크 테이블로 이동되는 상기 검사 대상물의 예비 위치를 조정하는 예비 얼라인먼트 유닛 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 인라인 자동 검사 장치.And a preliminary alignment unit device configured to adjust a preliminary position of the inspection object to be moved to the work table of the inspecting unit by the upstream conveying unit, in the upstream conveying unit. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 검사부가, 상기 워크 테이블을 향하여 설치된 카메라와, 상기 카메라를 내부에 수납함과 동시에, 상기 워크 테이블을 그 상측에서 덮어서 상기 워크 테이블에 지지된 상기 검사 대상물을 상기 카메라로 촬영하기 위한 암실을 구성하는 승강 가능한 하우징을 구비한 것을 특징으로 하는 인라인 자동 검사 장치.The inspection unit comprises a camera installed toward the work table, and a dark room for storing the camera therein and simultaneously covering the work table from above to photograph the inspection object supported on the work table with the camera. Inline automatic inspection device comprising a housing that can be elevated. 검사 대상물을 반송 경로를 따라 반송하는 상류측 반송부;An upstream conveying unit which conveys the inspection object along the conveyance path; 상기 상류측 반송부의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되고, 상기 검사 대상물을 지지하여 기울어지게 함으로써 육안 검사를 실시함과 동시에 그 하측에서 검사 대상물이 통과하는 것을 허용하는 검사부;An inspection unit disposed close to each other so as to be connected to a downstream side of the upstream conveying unit, the inspection unit allowing visual inspection while allowing the inspection object to be inclined while supporting the inspection object and allowing the inspection object to pass therethrough; 상기 검사부의 하류측에 이어지도록 서로 근접하여 배치되고 검사 후의 상기 검사 대상물을 반송 경로를 따라 하류측으로 반송하는 하류측 반송부;A downstream conveying unit disposed close to each other so as to be connected to the downstream side of the inspecting unit and conveying the inspected object after the inspection to the downstream side along a conveying path; 상기 검사 대상물을 상기 상류측 반송부로부터 상기 검사부로 이동시키는 상류측 이송부; 및An upstream conveying section for moving the inspection object from the upstream conveying section to the inspecting section; And 상기 검사 대상물을 상기 검사부로부터 상기 하류측 반송부로 이동시키는 하류측 이송부;A downstream transfer unit for moving the inspection object from the inspection unit to the downstream transport unit; 를 구비하고, And 상기 검사부가, 회동 및 승강 가능하게 설치되어 상기 검사 대상물을 지지하는 워크 테이블과, 상기 검사 대상물을 검사하기 위해 상기 워크 테이블을 상승시킨 위치에서 상기 상류측 반송부 및 하류측 반송부와 협동하여 반송 경로를 구성하는 내부 반송부와, 육안 검사를 위해 상기 워크 테이블을 기울어지게 하는 회동기 구를 구비하여 구성된 인라인 자동 검사 장치를, 상기 반송 경로에 복수개 설치한 것을 특징으로 하는 인라인 자동 검사 시스템. The inspection unit is provided in a rotatable and movable manner to support the inspection object, and transports in cooperation with the upstream conveying part and the downstream conveying part at a position where the work table is raised to inspect the inspecting object. An inline automatic inspection system comprising a plurality of inline automatic inspection apparatuses configured to include an internal conveying portion constituting a path and a rotating mechanism for tilting the work table for visual inspection.
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