KR100905155B1 - Unevenness inspecting method, unevenness inspecting apparatus, and recording medium - Google Patents

Abstract

얼룩 검사장치의 대상 화상 생성부(61)에서는, 기판을 촬상하여 취득되는 다계조의 원 화상에 있어서 틈의 영역을 마스크하여 대상 화상이 준비된다. 해당 틈의 영역은, 기판상의 패널에 대응하는 직사각형 영역 간의 영역에 대응한다. 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)에서는 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역이 복수의 줄무늬 얼룩 요소 선분으로 각각 특정된다. 줄무늬 얼룩 요소 영역의 각각에서는 길이와 폭과의 비가 소정값 이상이 된다. 그리고, 줄무늬 얼룩 검출부(64)에 있어서, 길이방향이 동일하고, 인접하는 직사각형 영역에서 길이방향으로 배열되는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분이 검출되고, 복수의 직사각형 영역에 걸쳐 신장되는 줄무늬 얼룩이 용이하게 검출된다.In the target image generation unit 61 of the spot inspection apparatus, a target image is prepared by masking a region of a gap in a multi-gradation original image obtained by imaging a substrate. The area of the gap corresponds to the area between the rectangular areas corresponding to the panel on the substrate. In the stripe blot element specifying unit 63, a plurality of stripe blot element areas are specified with a plurality of stripe blot element lines in the binary image obtained by binarizing the target image. In each of the stripe spot element regions, the ratio between the length and the width is equal to or greater than a predetermined value. In the stripe spot detection unit 64, two stripe spot element lines having the same longitudinal direction and arranged in the longitudinal direction in adjacent rectangular areas are detected, and stripe spots extending over a plurality of rectangular areas are easily detected. do.

Description

얼룩 검사방법, 얼룩 검사장치 및 기록매체{UNEVENNESS INSPECTING METHOD, UNEVENNESS INSPECTING APPARATUS, AND RECORDING MEDIUM}Stain inspection method, stain inspection apparatus and recording medium {UNEVENNESS INSPECTING METHOD, UNEVENNESS INSPECTING APPARATUS, AND RECORDING MEDIUM}

도 1은, 얼룩 검사장치의 구성을 나타낸 도면.1 is a diagram illustrating a configuration of a stain inspection apparatus.

도 2는, 컴퓨터의 구성을 나타낸 도면.2 is a diagram showing the configuration of a computer.

도 3은, 컴퓨터가 실현하는 기능 구성을 나타낸 블럭도.3 is a block diagram showing a functional configuration realized by a computer.

도 4는, 제1 실시형태에 관한 얼룩 검사장치가 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 처리의 흐름을 나타낸 도면.Fig. 4 is a diagram showing a flow of processing in which the spot inspection apparatus according to the first embodiment inspects stripe spots on a substrate.

도 5는, 대상 화상을 나타낸 도면.5 is a diagram illustrating a target image.

도 6a는, 2치 화상을 나타낸 도면.6A is a diagram illustrating a binary image.

도 6b는, 2치 화상을 나타낸 도면.6B is a diagram illustrating a binary image.

도 6c는, 2치 화상을 나타낸 도면.6C is a diagram illustrating a binary image.

도 7은, 폐영역을 나타낸 도면.7 shows a closed region.

도 8은, 줄무늬 영역 선분의 연결 가부의 판정을 설명하기 위한 도면.8 is a diagram for explaining determination of connection availability of stripe region line segments.

도 9는, 줄무늬 영역 선분의 연결을 설명하기 위한 도면.Fig. 9 is a diagram for explaining the connection of the stripe region line segments.

도 10은, 2개의 2치 화상 중의 줄무늬 영역 선분을 겹쳐 나타낸 도면.Fig. 10 is a diagram showing overlapping stripe region segments in two binary images.

도 11은, 연결 선분을 대상 화상에 겹쳐 나타낸 도면.Fig. 11 is a diagram showing a connecting line segment superimposed on a target image.

도 12는, 컴퓨터가 실현하는 기능 구성을 나타낸 블럭도.12 is a block diagram showing a functional configuration realized by a computer.

도 13은, 제2 실시형태에 관한 얼룩 검사장치가 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 처리의 흐름을 나타낸 도면.FIG. 13 is a view showing a flow of a process in which the spot inspection apparatus according to the second embodiment inspects stripe spots on a substrate. FIG.

도 14는, 영역 그룹을 설명하기 위한 도면.14 is a diagram for explaining an area group.

도 15는, 얼룩 검사장치에 있어서의 다른 처리의 흐름을 나타낸 도면.Fig. 15 is a view showing the flow of another process in the spot inspection apparatus.

도 16은, 얼룩 검사장치에 있어서의 또 다른 처리의 흐름을 나타낸 도면.Fig. 16 is a diagram showing the flow of still another process in the spot inspection apparatus;

도 17은, 컴퓨터가 실현하는 기능 구성을 나타낸 블럭도.Fig. 17 is a block diagram showing a functional configuration realized by a computer.

도 18a는, 제3 실시형태에 관한 얼룩 검사장치가 기판상의 얼룩 결함을 검사하는 처리의 흐름을 나타낸 도면.18A is a diagram showing a flow of a process in which a spot inspection apparatus according to a third embodiment inspects spot defects on a substrate.

도 18b는, 제3 실시형태에 관한 얼룩 검사장치가 기판상의 얼룩 결함을 검사하는 처리의 흐름을 나타낸 도면.18B is a view showing a flow of a process in which the spot inspection apparatus according to the third embodiment inspects spot defects on a substrate.

도 19는, 줄무늬 얼룩 영역을 검출하는 처리의 흐름을 나타낸 도면.19 is a diagram showing a flow of a process for detecting a striped uneven area;

도 20은, 마스크 화상을 나타낸 도면.20 is a diagram illustrating a mask image.

도 21은, 점 결함 영역을 검출하는 처리의 흐름을 나타낸 도면.21 is a diagram illustrating a flow of a process for detecting a point defective area.

도 22는, 점 결함 영역을 나타낸 도면.Fig. 22 is a diagram illustrating a point defect area.

도 23은, 점 결함 영역을 나타낸 도면.Fig. 23 is a diagram showing a point defect area.

도 24는, 갱신된 마스크 화상을 나타낸 도면.24 is a diagram illustrating an updated mask image.

도 25는, 부분 얼룩 후보 화상을 나타낸 도면.25 is a diagram illustrating a partial spot candidate image.

도 26은, 마스크 화상을 나타낸 도면.Fig. 26 is a diagram illustrating a mask image.

도 27은, 부분 얼룩 영역을 나타낸 도면.27 is a diagram showing a partial uneven area;

도 28은, 부분 얼룩 영역을 나타낸 도면.Fig. 28 is a view showing a partial spot area.

도 29는, 비교예의 부분 얼룩 영역을 나타낸 도면.29 is a view showing a partial uneven area of a comparative example.

본 발명은, 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 기술에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the technique of examining the streak spot on a board | substrate.

종래부터, 표시 장치용 유리 기판의 주면 상에 패널의 패턴을 형성할 때에는, 해당 주면 상에 레지스트 액을 도포하여 레지스트 막을 형성하는 것이 행해진다. 레지스트 막의 형성시에, 예를 들면, 레지스트 액이 도포되기 직전의 기판상에 미소한 불요물이 존재하면, 레지스트 액을 토출하는 슬릿에 불요물이 걸려 레지스트 막 상에 있어서, 이 불요물의 위치로부터 신장되는 줄무늬 얼룩이 발생하는 일이 있다. 근래에는, 기판상의 이러한 줄무늬 얼룩의 존재 위치를 검출함으로써(혹은, 줄무늬 얼룩을 검사함으로써), 줄무늬 얼룩의 발생 원인을 특정하여 제조 프로세스나 형성하는 패턴 등을 개선하는 것이 행해진다.Conventionally, when forming a pattern of a panel on the main surface of the glass substrate for display apparatuses, applying a resist liquid on the said main surface and forming a resist film is performed. At the time of formation of the resist film, for example, if a microfluidic object is present on the substrate immediately before the resist liquid is applied, an unnecessary substance is caught in the slit for discharging the resist liquid, and thus, on the resist film, Stretching streaks may occur. In recent years, by detecting the presence position of such streaks on the substrate (or by examining the streaks), the cause of the generation of streaks is identified to improve the manufacturing process, the pattern to be formed, and the like.

줄무늬 얼룩의 존재 위치를 검출하는 수법의 일례로서, 일본국 특허 공개공보 2005-345290호(문헌 1)에서는, 검사 대상이 되는 화상 중의 각 화소를 순차 주목 화소로 하면서, 해당 주목 화소를 중심으로 하는 소정 크기의 영역에 있어서, 값이 임계값 이상의 복수의 화소와, 해당 주목 화소를 통과하는 각도 기준선 사이의 거리의 총합을, 기울기가 다른 복수의 각도 기준선의 각각에 대해 산출하고, 이들 총합의 최소값에 의거하는 값을 해당 주목 화소의 값으로 함으로써, 줄무늬 얼 룩의 존재 위치를 나타낸 화상을 취득하는 수법이 개시되어 있다.As an example of a method of detecting the presence position of streaks, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-345290 (Document 1) uses each pixel in an image to be inspected as a pixel of interest, and focuses on the pixel of interest. In an area of a predetermined size, a sum of distances between a plurality of pixels whose value is greater than or equal to a threshold value and an angle reference line passing through the pixel of interest is calculated for each of the plurality of angle reference lines having different slopes, and the minimum value of these sums By making the value based on the value of the pixel of interest, a method of acquiring an image indicating the presence position of the fringe spot is disclosed.

또한, 일본국 특허 공개공보 2006-105884호에서는, 기판을 촬상하여 얻어지는 화상에 로우패스 필터 처리를 실시한 후에 하이패스 필터 처리를 실시 할 때에 있어서, 하이패스 필터 처리에 이용되는 화소군을 하이패스 윈도우의 주목 화소가 속하는 영역 내의 화소에 제한함으로써, 다면따기 되는 기판상에 설정되는 각 영역의 에지 근방에 있어서의 얼룩 검사의 정밀도를 향상하는 수법이 개시되어 있다.In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-105884 discloses a group of pixels used for high-pass filter processing when performing a high-pass filter processing after performing a low-pass filter processing on an image obtained by imaging a substrate. By restricting to the pixel in the area | region to which the pixel of interest to which it belongs, the method of improving the precision of the spot test | inspection in the edge vicinity of each area | region set on the multi-pull board | substrate is disclosed.

또, 근년, 기판 품질로의 얼룩의 영향의 정도(이하, 「얼룩의 강도」라 한다.)에 의거하여 얼룩이 허용되는지의 여부를 판정하는 것도 행해지고 있고, 일본국 특허 공개공보 평9-68502호에서는, 쉐도우 마스크를 나타낸 화상에 있어서, 소정 방향의 각 위치에 있어서, 이 방향에 수직으로 나열되는 화소의 값을 적산하여 적산 데이터를 취득하고, 적산 데이터의 각 값을 적산 데이터를 평활화한 평활화 데이터의 대응하는 값으로 제산함으로써 얻어지는 규격화 데이터에 의거하여 쉐도우 마스크의 줄무늬 얼룩의 허락 여부의 판정(즉, 결함인지 아닌지의 판정)을 행하는 기술이 개시되어 있다. 또, 일본국 특허 공개공보 평10-197451호에서는, 대상물을 촬상한 화상의 각 화소의 값을 해당 화상을 평활화한 화상의 대응하는 화소의 값으로 제산함으로써 규격화 화상을 취득하고, 규격화 화상에 있어서 화소의 값의 평균값과의 차의 절대값이 소정의 임계값 이하가 되는 값을 가지는 화소에 0을 부여하여 새로운 화상을 생성하고, 이 화상의 화소의 값을 적산함으로써 얼룩의 허락 여부를 판정하는 수법이 제안되어 있다.In recent years, it is also determined whether or not staining is allowed on the basis of the degree of influence of staining on the substrate quality (hereinafter referred to as "stain strength"). Japanese Patent Laid-Open No. 9-68502 In the image showing the shadow mask, in each position in a predetermined direction, the integrated data is acquired by integrating the values of pixels arranged perpendicularly to this direction, and the smoothing data obtained by smoothing the integrated data for each value of the integrated data. Disclosed is a technique for determining whether or not to allow streaks or unevenness of a shadow mask (i.e., whether or not it is a defect) based on standardized data obtained by dividing by a corresponding value of. In Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-197451, a standardized image is obtained by dividing the value of each pixel of an image obtained by capturing an object by the value of a corresponding pixel of an image smoothed in the image. A new image is generated by giving 0 to a pixel having a value at which the absolute value of the difference between the average value of the pixel value is equal to or less than a predetermined threshold value, and integrating the pixel value of the image to determine whether or not to permit the spot. A technique has been proposed.

그러나, 기판상에 복수의 패널의 패턴이 형성되는(즉, 기판이 다면따기 되 는) 경우에는, 기판상에는 각각이 패널의 표시 영역에 상당하는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정된다. 이 경우, 복수의 직사각형 영역 내에는 똑같은 패턴이 형성되는데 대해, 직사각형 영역간의 틈에는 여러가지 패턴이 형성되기 때문에, 기판으로부터 취득되는 화상을 그대로의 상태로 얼룩 검사에 이용하는 경우에는, 직사각형 영역간의 틈에 대응하는 영역에서 허보(虛報)가 다발하게 된다. 따라서, 얼룩 검사시에는, 기판을 나타낸 화상에 있어서 직사각형 영역간의 틈에 대응하는 영역에 일정한 화소값을 부여하여(즉, 해당 영역을 마스크하여), 검사의 대상이 되는 화상을 준비하는 것이 바람직하다. 그러나, 이러한 화상에 대해 줄무늬 얼룩 검사를 행할 때에, 기판상에 있어서 복수의 직사각형 영역에 걸쳐 신장되는 줄무늬 얼룩이 존재하는 경우에는, 동일한 줄무늬 얼룩에 유래함에도 불구하고, 이들 직사각형 영역에서 각각 검출되는 복수의 줄무늬 형상의 영역이 서로 독립하고 있는 것으로 되어, 줄무늬 얼룩의 발생 원인을 효율적으로 특정할 수 없게 된다.However, in the case where a pattern of a plurality of panels is formed on the substrate (that is, the substrate is plunged), a plurality of rectangular regions, each corresponding to the display area of the panel, are aligned horizontally and vertically with a gap therebetween. Is set. In this case, the same pattern is formed in the plurality of rectangular areas, but various patterns are formed in the gaps between the rectangular areas. Therefore, in the case where the image obtained from the substrate is used for unevenness inspection as it is, the gaps between the rectangular areas are provided. In the corresponding area there will be a lot of false. Therefore, at the time of spot inspection, it is preferable to give a constant pixel value to the region corresponding to the gap between the rectangular regions in the image showing the substrate (that is, mask the region) to prepare an image to be inspected. . However, when stripe unevenness inspection is performed on such an image, if there are stripe unevennesses extending over a plurality of rectangular areas on the substrate, a plurality of spots detected in these rectangular areas, even though they are derived from the same stripe unevenness, respectively. The stripe regions are independent of each other, and the cause of the occurrence of streaks cannot be identified efficiently.

또, 근년, 기판상의 줄무늬 얼룩의 해석이나, 기판의 절단 단위가 되는 영역마다의 줄무늬 얼룩의 양부(良否)의 판정 등을 위해, 기판상의 줄무늬 얼룩의 존재 위치를 정밀도 있게 검출하면서 기판 품질로의 줄무늬 얼룩의 영향의 정도(이하, 「줄무늬 얼룩의 강도」라 한다.)를 개별로 취득하는 것이 요구되고 있다. 그러나, 상기 문헌 1의 수법으로 줄무늬 얼룩을 정밀도 있게 검출하기 위해서는, 다수의 각도 기준선을 이용하여 방대한 양의 연산을 행할 필요가 있고, 또 줄무늬 얼룩의 평가값을 구할 경우에는, 복잡한 연산을 다시 행할 필요가 있다. 따라서, 줄무늬 얼 룩을 정밀도 있게 검출하면서, 줄무늬 얼룩의 강도를 용이하게 취득하는 신규 수법이 필요로 된다.In recent years, in order to analyze stripe spots on a substrate and to determine the quality of the stripe spots for each of the regions serving as cutting units of the substrate, the presence of stripe spots on the substrate can be accurately detected, It is desired to separately acquire the degree of the influence of the streaks (hereinafter, referred to as "strength of the streaks"). However, in order to detect streaks unevenly with the technique of the document 1, it is necessary to perform a large amount of calculation using a large number of angular reference lines, and when calculating the evaluation value of streaks unevenness, a complicated calculation can be performed again. There is a need. Therefore, there is a need for a novel method of easily acquiring the intensity of streaked spots while accurately detecting the streaks.

또한, 기판상에는, 기술한 줄무늬 얼룩 이외에, 줄무늬 얼룩의 원인이 된 불요물 자체 등의 점 결함도 존재하고, 또, 그다지 특징적이지 않은 다른 결함도 존재한다. 얼룩 결함의 검사에서는, 이들 결함이 겹쳐 있는 경우(즉, 기판을 나타낸 대상 화상 중에서 이들 결함을 나타낸 영역이 겹쳐 있는 경우), 결함을 구별하는 것이 곤란해진다.In addition to the above-described streaks, there are also point defects such as the undesired substance itself, which causes streaks, and other defects that are not very characteristic. In the inspection of spot defects, when these defects overlap (that is, when the regions showing these defects overlap in the target image showing the substrate), it becomes difficult to distinguish the defects.

본 발명은, 복수의 직사각형 영역을 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 얼룩 검사방법에 적합하고, 복수의 직사각형 영역에 걸쳐 신장되는 줄무늬 얼룩을 용이하게 검출하는 것을 목적으로 한다.The present invention is suitable for a spot inspection method for inspecting stripe spots on a substrate that is plunged along a plurality of rectangular areas, and an object thereof is to easily detect stripe spots extending over a plurality of rectangular areas.

얼룩 검사방법은, a) 기판을 촬상하여 취득되는 다계조의 원 화상의 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 준비하는 공정과, b) 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 공정과, c) 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 길이방향이 동일하고, 길이방향에 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 공정을 구비하다.The stain inspection method includes a) preparing a target image by masking a region corresponding to a gap of a multi-gradation original image obtained by imaging a substrate, and b) a longitudinal image in a binary image in which the target image is binarized. Specifying a plurality of closed areas in which the ratio between the length in the direction and the width in the direction perpendicular to the length is equal to or greater than a predetermined value, and c) among the plurality of striped blot elements; And the step of detecting two striped uneven element regions which are the same in the longitudinal direction, are arranged in the longitudinal direction, and which exist in the adjacent rectangular region.

본 발명에 의하면, 복수의 직사각형 영역에 걸쳐 신장되는 줄무늬 얼룩을 용이하게 검출할 수 있다.According to the present invention, streaks unevenly stretched over a plurality of rectangular areas can be easily detected.

본 발명의 바람직한 일 형태에서는, b) 공정에 있어서 줄무늬 얼룩 요소 영역이 해당 영역을 대표하는 줄무늬 얼룩 요소 선분으로 특정되고, c) 공정에 있어서 줄무늬 얼룩 요소 선분이 대응하는 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 다루어짐으로써, 복수의 직사각형 영역에 걸쳐 신장되는 줄무늬 얼룩을 보다 용이하게 검출할 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, in the step b), the stripe stain element region is specified as a stripe spot element segment representing the area, and c) the stripe spot element line segment is treated as a corresponding stripe spot element region in the step. As a result, streaks unevenly stretched over a plurality of rectangular areas can be detected more easily.

본 발명의 다른 바람직한 형태에서는, 얼룩 검사방법이, 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 연결한 연결 영역의 존재 위치를 표시부에 표시하는 공정을 더 구비함으로써, 복수의 직사각형 영역에 걸쳐 신장되는 줄무늬 얼룩을 용이하게 확인할 수 있다.In another preferable aspect of the present invention, the spot inspection method further comprises a step of displaying the presence position of the connection region connecting the two stripe stain element regions to the display unit, thereby facilitating the stripe stain extending over the plurality of rectangular regions. You can check it.

본 발명의 일 국면에서는, b) 공정이, b1) 대상 화상을 복수의 임계값으로 2치화함으로써, 복수의 임계값에 각각 대응하는 복수의 2치 화상을 취득하는 공정과, b2) 복수의 2치 화상의 각각에 있어서, 길이방향에 있어서의 길이와 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭의 비가 소정값 이상이 되는 줄무늬 영역을 특정하는 공정과, b3) 임계값이 인접하는 2개의 2치 화상에 있어서 서로 겹치는 줄무늬 영역을 동일한 영역 그룹에 포함시키는 그룹화에 의해, 각각이 줄무늬 얼룩을 나타낸 적어도 하나의 영역 그룹을 구함으로써, 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 특정하는 공정을 구비하고, 얼룩 검사방법이, d) 적어도 하나의 영역 그룹의 각각에 관해, 줄무늬 영역이 존재하는 2치 화상에 대응하는 임계값의 범위, 또는, 줄무늬 영역의 길이 혹은 면적의 합을, 줄무늬 얼룩 강도로서 취득하는 공정을 더 구비한다. 이에 의해, 줄무늬 얼룩을 정밀도 있게 검출하면서, 줄무늬 얼룩의 강도를 용이하게 취 득할 수 있다.In one aspect of the present invention, the step b) comprises: b1) obtaining a plurality of binary images corresponding to the plurality of threshold values by binarizing the target image with a plurality of threshold values; and b2) a plurality of two values. In each of the tooth images, a step of specifying a stripe area in which the ratio of the length in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction is equal to or greater than a predetermined value, and b3) two binary values in which the threshold values are adjacent to each other. And a step of identifying a plurality of striped blot element areas by obtaining at least one area group each showing a striped blot by grouping the banded areas overlapping each other in an image in the same area group. D) For each of the at least one area group, reduce the range of the threshold value corresponding to the binary image in which the stripe area exists, or the sum of the length or area of the stripe area. Further including a step of obtaining as many bad stain intensity. Thereby, the intensity | strength of a stripe spot can be acquired easily, while detecting a stripe spot accurately.

본 발명의 다른 국면에서는, a) 공정 내지 c) 공정의 실행에 의해, 대상 화상으로부터, 길이방향의 길이와 길이방향에 수직인 방향의 폭의 비가 소정값 이상이 되는 줄무늬 얼룩 결함을 나타낸 줄무늬 얼룩 영역이 검출되고, 얼룩 검사방법이, g) 대상 화상을 2치화함으로써 대상 화상 중의 다른 결함의 후보를 나타낸 결함 후보 영역을 검출하는 공정과, h) 결함 후보 영역이 줄무늬 얼룩 영역의 적어도 일부와 중복하는 경우에, 결함 후보 영역에 있어서의 결함의 강도에 관한 제1 평가값과, 줄무늬 얼룩 영역에 있어서의 줄무늬 얼룩 결함의 강도에 관한 제2 평가값을 비교함으로써, 결함 후보 영역의 삭제의 필요여부(要否)를 판정하는 공정을 더 구비한다. 이에 의해, 결함 후보 영역이 줄무늬 얼룩 영역의 적어도 일부와 중복하는 경우에 있어서, 결함 후보 영역의 삭제의 필요여부를 용이하게 판정할 수 있고, 그 결과, 줄무늬 얼룩 영역 및 결함 후보 영역을 적확하게 검출할 수 있다.In another aspect of the present invention, streaked spots exhibiting streaked spot defects in which the ratio of the length in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction is equal to or more than a predetermined value by the execution of steps a) to c). The area is detected, and the spot inspection method comprises g) detecting the defect candidate area indicating a candidate of another defect in the target image by binarizing the target image, and h) the defect candidate area overlaps at least a part of the striped spot area. In this case, it is necessary to delete the defect candidate area by comparing the first evaluation value relating to the intensity of the defect in the defect candidate area with the second evaluation value relating to the intensity of the striped unevenness defect in the striped uneven area. It further includes the step of determining (要 否). As a result, in the case where the defect candidate region overlaps at least a part of the striped uneven region, it is possible to easily determine whether or not the deletion of the defective candidate region is necessary, and as a result, the streaked uneven region and the defect candidate region can be accurately detected. can do.

본 발명은, 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 얼룩 검사장치, 및, 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 컴퓨터에 검사시키는 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록매체에도 적합하다.The present invention relates to a stain inspection apparatus for inspecting streaks on a substrate to be picked by a plurality of rectangular areas, and a computer readable recording program for causing a computer to inspect streaks on a substrate to be picked by a plurality of rectangular areas. Also suitable for recording media.

상술의 목적 및 다른 목적, 특징, 형태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 행하는 이 발명의 상세한 설명에 의해 명확해진다.The above objects and other objects, features, forms, and advantages will become apparent from the following detailed description of the invention made with reference to the accompanying drawings.

도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 관한 얼룩 검사장치(1)의 구성을 나타낸 도면이다. 얼룩 검사장치(1)는, 액정 표시장치 등의 표시장치에 이용되는 유리 기판(9)에 있어서, 한쪽의 주면(91) 상에 스핀 코트 방식이나 슬릿 코트 방식 등의 도포 장치를 이용하여 레지스트 액을 도포함으로써 형성된 패턴 형성용 레지스트 막(92)의 화상을 취득하고, 이 화상에 의거하여 기판(9)의 막(92) 상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 장치이다. 또한, 본 실시형태에 있어서의 기판상에는 복수의 표시 장치용 패널의 패턴이 형성된다(또는, 형성될 예정으로 되어 있다.)1 is a diagram showing the configuration of a spot inspection apparatus 1 according to a first embodiment of the present invention. The stain inspection apparatus 1 is a glass substrate 9 used for display apparatuses, such as a liquid crystal display, WHEREIN: The resist liquid is applied to one main surface 91 using coating apparatuses, such as a spin coat system and a slit coat system. Is an apparatus for acquiring an image of the pattern forming resist film 92 formed by applying a film, and inspecting streaks of unevenness on the film 92 of the substrate 9 based on this image. In addition, on the board | substrate in this embodiment, the pattern of several panel for display apparatuses is formed (or is supposed to be formed.).

여기에서, 기판(9) 상의 얼룩이란 국소적인 명암 변동에 의해 특정되는 일정 면적 이상의 영역(단, 통상, 영역의 경계는 불명료하다.)이고, 줄무늬 얼룩이란 그 영역의 길이방향에 있어서의 길이(

)와 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭(β)과의 비(

/β)가 소정값 이상이 되는 것으로서 정의한다. 물론, 실질적으로 이 조건이 만족되는 것이라면, 줄무늬 얼룩의 정의는 적절히 변경되어도 되고, 다른 조건이 추가되어도 된다.Here, spots on the substrate 9 are areas of a certain area or more specified by local light and shade fluctuations (in general, the boundaries of the areas are not clear), and stripes are spots in the longitudinal direction of the area (

) And the ratio of the width β in the direction perpendicular to the longitudinal direction (

/ β) is defined as being equal to or greater than a predetermined value. Of course, as long as this condition is substantially satisfied, the definition of the striped unevenness may be appropriately changed, and other conditions may be added.

도 1에 나타낸 바와 같이, 얼룩 검사장치(1)는, 막(92)이 형성된 주면(91)(이하, 「상면(91)」이라 한다.)을 상측(도 1 중의 (+Z)측)을 향해 기판(9)을 유지하는 스테이지(2), 스테이지(2)에 유지된 기판(9) 상의 막(92)에 소정의 입사각에서 빛을 조사하는 광조사부(3), 광조사부(3)로부터 조사되어 기판(9)의 상면(91) 상의 막(92)에서 반사된 빛을 수광하는 수광 유닛(4), 스테이지(2)를 광조사부(3) 및 수광 유닛(4)에 대해 상대적으로 이동하는 이동 기구(21), 및, 얼룩 검사장치(1)의 제어부로서의 역할을 하는 컴퓨터(5)를 구비한다.As shown in FIG. 1, the spot inspection apparatus 1 has a main surface 91 (hereinafter referred to as an "top surface 91") on which a film 92 is formed (upper side (+ Z) in FIG. 1). The stage 2 holding the substrate 9 toward the side, the light irradiating portion 3 and the light irradiating portion 3 irradiating light at a predetermined incident angle to the film 92 on the substrate 9 held on the stage 2. The light-receiving unit 4, the stage 2, which receives light reflected from the film 92 on the upper surface 91 of the substrate 9 and is reflected from the light-receiving unit 3 and the light-receiving unit 4. The moving mechanism 21 which moves, and the computer 5 which functions as a control part of the spot test | inspection apparatus 1 are provided.

스테이지(2)의 (+Z)측의 표면은, 바람직하게는 흑색 무광이 된다. 이동 기구 (21)는, 모터(211)에 볼 나사(도시 생략)가 접속된 구성으로 되고, 모터(211)가 회전함으로써, 스테이지(2)가 가이드(212)를 따라 기판(9)의 상면(91)을 따르는 도 1 중의 X방향으로 이동한다.The surface on the (+ Z) side of the stage 2 is preferably black matt. The moving mechanism 21 has a configuration in which a ball screw (not shown) is connected to the motor 211, and the stage 2 is rotated along the guide 212 so that the stage 2 rotates along the guide 212. It moves to the X direction in FIG. 1 along 91. FIG.

광조사부(3)는, 백색광(즉, 가시 영역의 모든 파장의 빛을 포함하는 빛)을 출사하는 광원인 할로겐 램프(31), 스테이지(2)의 이동 방향에 수직인 도 1 중의 Y방향으로 신장되는 원주형상의 석영 로드(32), 및, Y방향으로 신장되는 원통형 렌즈((Cylindrical Lens))(33)를 구비하다. 광조사부(3)에서는, 할로겐 램프(31)가 석영 로드(32)의 (+Y)측의 단부에 장치되어 있고, 할로겐 램프(31)로부터 석영 로드(32)에 입사한 빛은, Y방향으로 신장되는 선형상 빛(즉, 광속 단면이 Y방향으로 긴 선형상이 되는 빛)으로 변환되어 석영 로드(32)의 측면으로부터 출사되고, 원통형 렌즈(33)를 통해 기판(9)의 상면(91)으로 인도된다. 환언하면, 석영 로드(32) 및 원통형 렌즈(33)는, 할로겐 램프(31)로부터의 빛을 스테이지(2)의 이동 방향으로 수직인 선형상 빛으로 변환하여 기판(9)의 상면(91)으로 인도하는 광학계로 되어 있다.The light irradiator 3 is a halogen lamp 31 which is a light source that emits white light (that is, light including light of all wavelengths in the visible region) in the Y direction in FIG. 1 perpendicular to the moving direction of the stage 2. A cylindrical cylindrical rod 32 that extends and a cylindrical lens 33 that extends in the Y direction are provided. In the light irradiation part 3, the halogen lamp 31 is attached to the edge part of the (+ Y) side of the quartz rod 32, and the light which entered the quartz rod 32 from the halogen lamp 31 is Y direction. Is converted into linear light (ie, light whose cross section is long in the Y direction) and is emitted from the side of the quartz rod 32, and the upper surface 91 of the substrate 9 through the cylindrical lens 33. Guided by). In other words, the quartz rod 32 and the cylindrical lens 33 convert the light from the halogen lamp 31 into linear light perpendicular to the moving direction of the stage 2 so that the top surface 91 of the substrate 9 It is an optical system leading to.

도 1에서는, 광조사부(3)로부터 기판(9)에 이르는 광로를 일점 쇄선으로 나타내고 있다(기판(9)으로부터 수광 유닛(4)에 이르는 광로에 대해서도 동일). 광조사부(3)로부터 출사된 빛의 일부는, 기판(9)의 상면(91) 상의 막(92)의 (+Z)측의 상면에서 반사된다. 막(92)은 광조사부(3)로부터의 빛에 대해 광투과성을 가지고 있고, 광조사부(3)로부터의 빛 중 막(92)의 상면에서 반사하지 않은 빛은, 막(92)을 투과하여 기판(9)의 상면(91)(즉, 막(92)의 하면)에서 반사된다. 얼룩 검사장치 (1)에서는, 기판(9)에 있어서의 막(92)의 상면에서 반사된 빛과 기판(9)의 상면(91)에서 반사된 빛과의 간섭광이 수광 유닛(4)에 입사하고, 필터(43) 및 렌즈(42)를 통해 소정 파장의 간섭광이 촬상부(41)로 인도된다.In FIG. 1, the optical path from the light irradiation part 3 to the board | substrate 9 is shown by the dashed-dotted line (the same also about the optical path from the board | substrate 9 to the light receiving unit 4). A part of the light emitted from the light irradiation part 3 is reflected by the upper surface on the (+ Z) side of the film 92 on the upper surface 91 of the substrate 9. The film 92 is light-transmissive with respect to the light from the light irradiator 3, and light that is not reflected from the upper surface of the film 92 among the light from the light irradiator 3 passes through the film 92. Reflected on the upper surface 91 of the substrate 9 (ie, the lower surface of the film 92). In the spot inspection apparatus 1, interference light between light reflected from the upper surface of the film 92 on the substrate 9 and light reflected from the upper surface 91 of the substrate 9 is transmitted to the light receiving unit 4. Incident, the interference light of a predetermined wavelength is guided to the imaging unit 41 through the filter 43 and the lens 42.

촬상부(41)에는 복수의 수광 소자(예를 들면, CCD(Charge Coupled Device))를 Y방향으로 직선형상으로 배열하여 가지는 라인 센서가 설치되고, 기판(9)으로부터의 간섭광이 라인 센서에서 수광되고, 간섭광의 강도 분포(즉, 각 수광 소자로부터의 출력값의 Y방향에 있어서의 분포)가 취득된다. 실제로는, 기판(9)의 X방향으로의 이동에 따라 촬상부(41)의 라인 센서에서 간섭광의 강도 분포가 반복하여 취득됨으로써 기판(9) 상의 막(92)의 2차원 화상이 취득된다.The imaging unit 41 is provided with a line sensor having a plurality of light receiving elements (for example, CCDs (Charge Coupled Devices)) arranged in a straight line in the Y direction, and the interference light from the substrate 9 is transmitted by the line sensor. The light is received, and the intensity distribution of the interference light (that is, the distribution in the Y direction of the output value from each light receiving element) is obtained. In practice, a two-dimensional image of the film 92 on the substrate 9 is obtained by repeatedly obtaining the intensity distribution of the interference light by the line sensor of the imaging unit 41 as the substrate 9 moves in the X direction.

컴퓨터(5)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 각종 연산 처리를 행하는 CPU(51), 기본 프로그램을 기억하는 ROM(52) 및 각종 정보를 기억하는 RAM(53)을 버스 라인에 접속한 일반적인 컴퓨터 시스템의 구성으로 되어 있다. 버스 라인에는 또, 정보 기억을 행하는 고정 디스크(54), 각종 정보의 표시를 행하는 표시부인 디스플레이(55), 조작자로부터의 입력을 접수하는 키보드(56a) 및 마우스(56b)(이하, 「입력부(56)」라 총칭한다.), 광디스크, 자기 디스크, 광자기 디스크 등의 컴퓨터 판독 가능한 기록매체(8)로부터 정보의 판독을 행하는 판독장치(57), 및, 얼룩 검사장치(1)의 다른 구성요소에 접속되는 통신부(58)가, 적절히, 인터페이스(I/F)를 통하는 등 하여 접속된다.As shown in FIG. 2, the computer 5 is a general computer which connects the CPU 51 which performs various arithmetic processing, the ROM 52 which stores a basic program, and the RAM 53 which stores various information to a bus line. It is a system configuration. The bus line further includes a fixed disk 54 for storing information, a display 55 for displaying various information, a keyboard 56a for receiving input from an operator, and a mouse 56b (hereinafter referred to as an "input unit ( 56) "), a reading device 57 for reading information from a computer-readable recording medium 8 such as an optical disc, a magnetic disc, a magneto-optical disc, and another configuration of the spot inspection apparatus 1; The communication unit 58 connected to the element is appropriately connected via an interface I / F or the like.

컴퓨터(5)에는, 사전에 판독장치(57)를 통해 기록매체(8)로부터 프로그램(541)이 판독되고, 고정 디스크(54)에 기억된다. 그리고, 프로그램(541)이 RAM(53) 에 카피됨과 함께 CPU(51)가 RAM(53) 내의 프로그램에 따라 연산 처리를 실행함으로써(즉, 컴퓨터가 프로그램을 실행함으로써), 컴퓨터(5)가 기판(9) 상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 연산부로서의 동작을 행하다.In the computer 5, the program 541 is read from the recording medium 8 via the reading device 57 in advance and stored in the fixed disk 54. Then, while the program 541 is copied to the RAM 53 and the CPU 51 executes arithmetic processing in accordance with the program in the RAM 53 (that is, the computer executes the program), the computer 5 is connected to the substrate. An operation as an operation unit for inspecting the streaks of spots on (9) is performed.

도 3은, CPU(51)가 프로그램(541)에 따라 동작함으로써, CPU(51), ROM(52), RAM(53), 고정 디스크(54) 등이 실현하는 기능 구성을 나타낸 블럭도이다. 도 3에 있어서 연산부(6) 내의 대상 화상 생성부(61), 2치 화상 취득부(62), 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63), 줄무늬 얼룩 검출부(64) 및 표시 제어부(65)가 CPU(51) 등에 의해 실현되는 기능을 나타낸다. 또, 이들 기능은 전용의 전기적 회로에 의해 실현되어도 되고, 부분적으로 전용의 전기적 회로가 이용되어도 된다.3 is a block diagram showing a functional configuration realized by the CPU 51, the ROM 52, the RAM 53, the fixed disk 54, etc., by operating the CPU 51 in accordance with the program 541. As shown in FIG. In FIG. 3, the target image generation unit 61, the binary image acquisition unit 62, the stripe spot element specifying unit 63, the stripe spot detection unit 64, and the display control unit 65 in the calculation unit 6 are provided with a CPU ( 51) and the function to be realized. In addition, these functions may be realized by a dedicated electrical circuit, or a dedicated electrical circuit may be used in part.

다음으로, 얼룩 검사장치(1)에 의한 줄무늬 얼룩의 검사의 흐름에 대해 설명한다. 도 4는, 얼룩 검사장치(1)가 기판(9)의 막(92) 상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 처리의 흐름을 나타낸 도면이다. 기판(9) 상의 줄무늬 얼룩이 검사될 때에는, 우선, 도 1 중에 실선으로 나타낸 검사 개시 위치에 위치하는 스테이지(2) 상에 기판(9)이 유지된 후, 스테이지(2)의 (+X) 방향으로의 이동이 개시된다. 이어, 광조사부(3)로부터 출사되어 기판(9)의 상면(91)에 대해 소정의 입사각에서 입사하는 선형상 빛이, 상면(91) 상의 직선형상의 조사 영역(이하, 「선형상 조사 영역」이라 한다.)에 조사되고, 선형상 조사 영역이 기판(9)에 대해 상대적으로 이동한다. 광조사부(3)로부터의 빛은 기판(9)의 상면(91)에서 반사하고, 간섭광이 촬상부(41)로 인도되어 라인 센서에서 수광되고, 기판(9) 상의 선형상 조사 영역에 있어서의 간섭광의 강도 분포가 취득된다. 라인 센서의 각 수광 소자로부터의 출력은, 소정의 변환식에 의거하여, 예를 들면 8bit(물론, 8bit 이외이어도 된다.)의 값(화소값)으로 변환되면서 컴퓨터(5)로 보내진다. Next, the flow of the inspection of the striped stain by the stain inspection apparatus 1 will be described. FIG. 4 is a diagram showing a flow of a process in which the spot inspection apparatus 1 inspects streaks spots on the film 92 of the substrate 9. When the stripe unevenness on the board | substrate 9 is examined, first, the board | substrate 9 is hold | maintained on the stage 2 located in the test starting position shown by the solid line in FIG. 1, and then the (+ X) direction of the stage 2 The move to starts. Subsequently, the linear light emitted from the light irradiation part 3 and incident on the upper surface 91 of the substrate 9 at a predetermined incidence angle is a linear irradiation area on the upper surface 91 (hereinafter referred to as a "linear irradiation area"). Is irradiated), and the linear irradiation area is moved relative to the substrate 9. The light from the light irradiation section 3 is reflected on the upper surface 91 of the substrate 9, the interference light is directed to the imaging section 41, received by the line sensor, and in the linear irradiation area on the substrate 9. The intensity distribution of the interference light of is obtained. The output from each light receiving element of the line sensor is sent to the computer 5 while being converted into a value (pixel value) of, for example, 8 bits (may be other than 8 bits) based on a predetermined conversion formula.

얼룩 검사장치(1)에서는, 스테이지(2)가 (+X) 방향으로 이동하고 있는 동안, 촬상부(41)에 있어서의 간섭광의 강도 분포의 취득, 및, 화소값의 컴퓨터(5)로의 출력이 스테이지(2)의 이동에 동기하여 반복된다. 그리고, 스테이지(2)가 검사 종료 위치까지 이동하면, 이동 기구(21)에 의한 스테이지(2)의 이동이 정지되고, 조명광의 조사도 정지된다. 이상과 같이 하여, 촬상부(41)에서는 기판(9) 상의 막(92)의 전체를 촬상하여 다계조의 2차원 화상(후술하는 처리가 실시되기 전의 화상이며, 이하, 「원 화상」이라 한다.)이 취득되고, 컴퓨터(5)의 연산부(6)에 입력된다(단계 S11).In the spot inspection apparatus 1, while the stage 2 is moving in the (+ X) direction, the intensity distribution of the interference light in the imaging unit 41 is acquired, and the pixel value is output to the computer 5. The operation is repeated in synchronization with the movement of the stage 2. When the stage 2 moves to the inspection end position, the movement of the stage 2 by the moving mechanism 21 is stopped, and the irradiation of the illumination light is also stopped. As described above, the imaging section 41 picks up the entirety of the film 92 on the substrate 9 to form a multi-gradation two-dimensional image (an image before the processing described later), hereinafter referred to as "original image". .) Is acquired and input to the calculating part 6 of the computer 5 (step S11).

이어, 연산부(6)의 대상 화상 생성부(61)에서는, 원 화상이 압축되어 제1 화상이 생성된다. 여기에서, 원 화상에 있어서 좌표(X, Y)에 위치하는 화소의 화소값을 F_XY라 나타내면, 원 화상을 s_a 화소×s_a 화소의 범위를 단위로 하여 압축하여 생성된 제1 화상에 있어서, 좌표(x, y)에 위치하는 주목 화소의 화소값(A_xy)은, 식 (1)에 의해 구해진다.Next, in the target image generation unit 61 of the calculation unit 6, the original image is compressed to generate a first image. Here, if the pixel value of the pixel located at the coordinates (X, Y) in the original image is denoted by F _XY , the original image is compressed to the first image generated by the unit of the range of s _a pixel × s _a pixel. In this case, the pixel value A _xy of the pixel of interest located at the coordinates (x, y) is obtained by equation (1).

본 실시형태에서는 s_a가 4(화소)이기 때문에, 식 (1)의 연산에 의해 제1 화상의 S/N비는 원 화상의 4배로 향상한다. 제1 화상(압축후의 원 화상)이 생성되면, 제1 화상에 대한 로우패스 필터 처리가 행해지고, 제1 화상으로부터 고주파 노이즈의 영향이 억제되어 평활화된 제2 화상이 생성된다. 로우패스 필터 처리의 연산 범위를 결정하는 윈도우는, 1변의 길이가 (2s₁+1) 화소의 정방형이며, 제2 화상에 있어서 좌표(x, y)에 위치하는 주목 화소의 화소값(L_xy)은, 주목 화소 근방의 각 화소의 제1 화상에 있어서의 화소값 A(식 (1) 참조)를 이용하여, 식 (2)에 의해 구해진다.In the present embodiment, since s _a is 4 (pixels), the S / N ratio of the first image is increased to four times the original image by the calculation of equation (1). When the first image (the original image after compression) is generated, low pass filter processing is performed on the first image, and the influence of high frequency noise is suppressed from the first image to produce a smoothed second image. The window for determining the calculation range of the low-pass filter processing is the pixel value L _xy of the pixel of interest in which the length of one side is a square of (2s ₁ +1) pixels and is located at coordinates (x, y) in the second image. ) Is obtained by equation (2) using the pixel value A (see equation (1)) in the first image of each pixel in the vicinity of the pixel of interest.

그 후, 제2 화상에 대해 하이패스 필터 처리를 행하고, 제2 화상으로부터 후술의 콘트라스트 강조 처리의 방해가 되는 저주파의 농도 변동이 제거된 제3 화상이 생성된다. 여기에서, 좌표(x, y)에 위치하는 주목 화소의 화소값(H¹ _xy)는, 주목 화소 근방의 각 화소의 제2 화상에 있어서의 화소값(L)(식 (2) 참조)을 이용하여, 식 (3)으로 구해진다.Thereafter, a high pass filter process is performed on the second image, and a third image is generated from the second image from which the low frequency density fluctuations that interfere with the contrast enhancement process described later are removed. Here, the pixel value H ¹ _xy of the pixel of interest located at the coordinates (x, y) is the pixel value L (see Expression (2)) in the second image of each pixel in the vicinity of the pixel of interest. It is calculated | required by Formula (3) using.

식(3)은, 하이패스 필터 처리의 연산 범위를 결정하는 윈도우로서, 주목 화소를 중심으로 하는 각 변의 길이가 (2s₂+1) 화소의 정방형의 윈도우가 이용되는 경우를 나타낸다. 이상과 같이, 대상 화상 생성부(61)에서는, 원 화상을 압축한 제1 화상에 대해, 로우패스 필터 처리를 실시한 후에, 하이패스 필터 처리를 실시함으 로써, 소정의 공간 주파수 대역의 밴드패스 필터 처리가 행해진다(단계 S12).Equation (3) is a window for determining the calculation range of the high-pass filter processing, and represents a case where a square window of the length (2s ₂ +1) of each side centered on the pixel of interest is used. As described above, the target image generation unit 61 performs a high pass filter process after performing the low pass filter process on the first image in which the original image is compressed, thereby providing a band pass filter of a predetermined spatial frequency band. Processing is performed (step S12).

대상 화상 생성부(61)에서는, 또, 제3 화상에 대해 콘트라스트 강조 처리가 행해져 강조 화상이 생성된다(단계 S13). 강조 화상에 있어서 좌표(x, y)에 위치하는 주목 화소의 화소값(E_xy)은, 제3 화상에 있어서의 주목 화소의 화소값(H¹ _xy), 콘트라스트 계수(r_c), 및, 배경값(b)를 이용하여, 식 (4)로 구해진다. 본 실시형태에서는, r_c는 0.01, 0.02, 0.05 또는 0.1이 되고, b는 127이 된다.In the target image generating unit 61, contrast emphasis processing is performed on the third image to generate an emphasis image (step S13). The pixel value E _xy of the pixel of interest located at the coordinates (x, y) in the emphasis image includes the pixel value H ¹ _xy , the contrast coefficient r _c of the pixel of interest in the third image, and It is calculated | required by Formula (4) using background value b. In this embodiment, r _c is 0.01, 0.02, 0.05 or 0.1, and b is 127.

여기에서, 기판(9)의 상면(91)에는, 각각이 표시장치의 패널 상의 표시 영역에 대응함과 함께 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역(이하, 「직사각형 표시 영역」이라고 한다.)이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되어 있고, 기판(9)은 복수의 직사각형 표시 영역에 따라 다면따기 될(즉, 복수의 부위(패널)에 절단될) 예정의 것이다. 대상 화상 생성부(61)에서는, 강조 화상에 있어서 기판(9) 상의 직사각형 표시 영역 외의 부분에 대응하는 영역(이하, 「배경 영역」이라고 한다.)에 배경값(b)을 부여함으로써, 도 5에 나타낸 바와 같이, 배경 영역(719)(도 5 중에서 평행 사선을 첨부하여 나타낸다.)이 실질적으로 마스크된 새로운 화상(후술하는 바와 같이, 연산부(6)에 있어서의 이하의 처리의 대상이 되는 화상이며, 이하, 「대상 화상」이라 한다.)(71)이 생성되어 준비된다(단계 S14). 또한, 도 5에서는 다계조의 대상 화상(71)을 간략화하여 나타내고 있고, 실제로는, 도 5 중의 직사각형 표시 영역(711)과 배경 영역(719)의 경계는 반드시 명확하지 않다. 또, 대상 화상(71)의 평균 농도(즉, 화소값의 평균값)는 약 127로 되어 있다. Here, the upper surface 91 of the substrate 9 has a plurality of rectangular regions (hereinafter referred to as " rectangular display regions ") each corresponding to a display region on the panel of the display device and having the same pattern. The substrate 9 is intended to be multifaceted (that is, cut into a plurality of portions (panels)) according to a plurality of rectangular display regions. In the target image generation unit 61, a background value b is applied to an area (hereinafter referred to as a "background area") corresponding to a portion other than the rectangular display area on the substrate 9 in the emphasis image, thereby providing a value of FIG. 5. As shown in FIG. 5, a new image substantially masked with a background area 719 (shown with a parallel diagonal line in FIG. 5) (as described below, an image to be subjected to the following processing in the calculation unit 6). (Hereinafter, referred to as "target image") 71 is generated and prepared (step S14). In addition, in FIG. 5, the multi-gradation target image 71 is simplified and in fact, the boundary between the rectangular display area 711 and the background area 719 in FIG. 5 is not necessarily clear. In addition, the average density (that is, the average value of the pixel values) of the target image 71 is about 127.

대상 화상 생성부(61)에서 대상 화상(71)이 생성되면, 2치 화상 취득부(62)에서는, 배경값(127)보다 작은 값(103~122)의 각각을 임계값으로 하여 대상 화상이 2치화 된다. 구체적으로는, 대상 화상의 각 화소의 값과 각 임계값(이하, 「하임계값」이라 한다.)이 비교되고, 값이 하임계값 이하의 화소에 「1」을 부여하고, 하임계값보다 큰 화소에 「0」을 부여함으로써, 하임계값(103~122)에 각각 대응하는 20개의 2치 화상이 취득된다.When the target image 71 is generated by the target image generating unit 61, the binary image acquisition unit 62 sets the target image to each of the values 103 to 122 smaller than the background value 127 as the threshold. Binary. Specifically, the value of each pixel of a target image and each threshold value (hereinafter, referred to as "high threshold value") are compared, the value is given "1" to the pixel below the high threshold value, and the high threshold value is compared. By giving "0" to a larger pixel, 20 binary images corresponding to the high thresholds 103-122, respectively, are acquired.

도 6a 내지 도 6c는 2치 화상을 나타낸 도면으로, 도 6a는 하임계값을 117로 했을 경우의 2치 화상을 나타내고, 도 6b는 하임계값을 112로 했을 경우의 2치 화상을 나타내고, 도 6c는 하임계값을 103으로 했을 경우의 2치 화상을 나타내고 있다. 배경값보다 작은 값을 하임계값으로 하여 2치 화상을 취득하는 상기 처리에서는, 도 6a 내지 도 6c에 나타낸 바와 같이, 하임계값이 작아짐(배경값(127)으로부터 멀어짐)에 따라 2치 화상에 있어서의 값 1의 화소(도 6a 내지 도 6c 중의 흰 화소)의 수가 적어진다. 6A to 6C show a binary image, FIG. 6A shows a binary image when the threshold value is 117, and FIG. 6B shows a binary image when the threshold value is 112, 6C shows a binary image in the case where the threshold value is 103. In the above process of acquiring a binary image with a value smaller than the background value as the high threshold value, as shown in FIGS. 6A to 6C, as the high threshold value becomes smaller (away from the background value 127), the binary image is obtained. The number of pixels having a value of 1 (the white pixels in FIGS. 6A to 6C) is reduced.

이어서, 2치 화상 취득부(62)에서는, 배경값(127)보다 큰 값(132~151)의 각각을 임계값(이하, 「상임계값」이라 한다.)으로 하고, 대상 화상에 있어서 값이 상임계값 이상의 화소에 「1」을 부여하고, 상임계값보다 작은 화소에 「O」를 부여함으로써, 값(132~151)에 각각 대응하는 20개의 2치 화상이 취득된다. 배경값보다 큰 값을 상임계값으로 하여 2치 화상을 취득하는 상기 처리에서는, 상임계값이 커짐(배경값(127)으로부터 멀어짐)에 따라 2치 화상에 있어서의 값 1의 화소수가 적어진다.Subsequently, in the binary image acquisition unit 62, each of the values 132 to 151 larger than the background value 127 is set as a threshold value (hereinafter, referred to as a "critical threshold value"). By giving "1" to pixels above the upper threshold value and "O" to pixels smaller than the upper threshold value, 20 binary images corresponding to the values 132 to 151 are obtained. In the above process of acquiring a binary image with a value larger than the background value as the upper threshold value, the number of pixels of the value 1 in the binary image decreases as the upper threshold value increases (away from the background value 127).

이상과 같이, 2치 화상 취득부(62)에서는 대상 화상(71)을 복수의 임계값으로 2치화함으로써, 복수의 임계값에 각각 대응하는 복수의(본 실시형태에서는, 40개의) 2치 화상이 취득된다(단계 S15). 또한, 하임계값 및 상임계값 중 어느 하나를 이용하는 경우라도, 취득되는 2치 화상 중의 배경 영역에 대응하는 영역은 값이 0이 된다.As described above, the binary image acquisition unit 62 binarizes the target image 71 to a plurality of threshold values, thereby providing a plurality of binary images corresponding to the plurality of threshold values, respectively (40 in the present embodiment). Is acquired (step S15). In addition, even when either the high threshold value or the high threshold value is used, the area corresponding to the background area in the acquired binary image has a value of zero.

복수의 2치 화상이 취득되면, 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)의 줄무늬 영역 특정부(631)에서는, 각 2치 화상에 있어서 라벨링에 의해 서로 연속하는 값 1의 화소의 집합(이하, 「폐영역」이라 한다.)이 특정되고, 소정의 면적(화소수) 이하가 되는 폐영역이 처리 대상으로부터 제외되고, 2치 화상으로부터 삭제된다. 이어, 각 폐영역의 모멘트를 산출함으로써 관성 주축의 방향(각도)이 구해지고, 이 폐영역에 대해 관성 주축의 방향을 따르는 외접 직사각형이 구해진다. 또한, 통상, 관성 주축의 방향은 폐영역의 길이방향이 된다. 이하의 설명에서는, 관성 주축은 폐영역의 길이방향을 따르는 것을 가리키는 것으로 한다.When a plurality of binary images are obtained, in the stripe region specifying unit 631 of the stripe spot element specifying unit 63, a set of pixels having a value 1 continuous to each other by labeling in each binary image (hereinafter, "closed"). Area ”), and a closed area that is smaller than or equal to a predetermined area (pixel count) is excluded from the processing target and deleted from the binary image. Next, by calculating the moment of each closed region, the direction (angle) of the inertia major axis is obtained, and a circumscribed rectangle along the direction of the inertial major axis is obtained for this closed region. In addition, the direction of the inertia major axis is usually the longitudinal direction of the closed region. In the following description, it is assumed that the inertia major axis is along the longitudinal direction of the closed region.

도 7은, 2치 화상 중의 복수의 폐영역(721a, 721b, 721c)을 나타낸 도이다. 도 7에서는, 각 폐영역(721a~721c)의 외접 직사각형을 부호 722a~722c를 붙여 세선으로 나타내고 있다. 줄무늬 영역 특정부(631)에서는, 또, 각 폐영역(721a~721c)의 외접 직사각형(722a~722c)에 있어서 관성 주축의 방향에 관한 길이(L1)와, 관성 주축에 수직인 방향에 관한 폭(W1)의 비(L1/W1)가 소정값(예를 들면, 2)과 비교되고, 비가 소정값 이상이 되는 폐영역(721a, 721b)만이 줄무늬 영역(이하, 폐영역(721a, 721b)과 동일한 부호를 붙인다.)이 되고, 다른 폐영역(721c)은 2치 화상으로부터 삭제된다.7 is a diagram showing a plurality of closed areas 721a, 721b, and 721c in the binary image. In FIG. 7, the circumscribed rectangles of the closed areas 721a to 721c are denoted by thin lines by the reference numerals 722a to 722c. In the stripe region specifying section 631, the length L1 of the direction of the inertia major axis and the width of the direction perpendicular to the inertia major axis in the circumscribed rectangles 722a to 722c of the respective closed areas 721a to 721c. The ratio L1 / W1 of W1 is compared with a predetermined value (for example, 2), and only the closed areas 721a and 721b whose ratio is equal to or greater than the predetermined value are the striped areas (hereinafter referred to as the closed areas 721a and 721b). And the same reference numerals as those denoted by ". &Quot;

이와 같이, 줄무늬 영역 특정부(631)에서는, 복수의 2치 화상의 각각에 있어서 폐영역의 모멘트를 산출함으로써, 길이방향에 있어서의 길이와 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 줄무늬 영역이 특정된다(단계 S16). 또한, 2치 화상에 있어서의 폐영역은, 하임계값 또는 상임계값이 배경값에 가까워지면 커지기 때문에, 어느 하임계값 또는 상임계값의 2치 화상에서 줄무늬 영역으로서 검출되어도, 배경값에 가까운 하임계값 또는 상임계값의 2치 화상에서는 같은 위치에 가로 세로비가 작은 폐영역이 나타나는 일이 있고, 반드시 줄무늬 영역이 검출된다고는 할 수 없다. 또, 줄무늬 영역(721a, 721b)의 각각에서는, 중심(723a, 723b)을 지나 관성 주축의 방향으로 신장됨과 함께 양 단점이 외접 직사각형(722a, 722b)의 변 상에 설정되는 선분(도 7 중에서 일점 쇄선으로 나타낸다.)이 해당 줄무늬 영역(721a, 721b)을 대표하는 줄무늬 영역 선분(724a, 724b)으로서 특정된다.In this manner, in the stripe region specifying unit 631, the ratio of the length in the longitudinal direction to the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction is determined by calculating the moment of the closed region in each of the plurality of binary images. A stripe area that is equal to or larger than the value is specified (step S16). In addition, since the closed area in the binary image becomes larger as the high threshold value or the upper threshold value approaches the background value, the closed area in the binary image has a lower value close to the background value even when detected as a striped region in the binary image of any high threshold value or the upper threshold value. In the binary image of the threshold value or the upper threshold value, a closed region with a small aspect ratio may appear at the same position, and a striped region may not necessarily be detected. Moreover, in each of the stripe regions 721a and 721b, the line segment extends in the direction of the inertia major axis through the centers 723a and 723b and both disadvantages are set on the sides of the circumferential rectangles 722a and 722b (in FIG. 7). Is indicated by a dashed-dotted line) as striped region line segments 724a and 724b representing the striped regions 721a and 721b.

이어서, 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)의 줄무늬 영역 갱신부(632)에서는, 각 2치 화상에 있어서 기판(9) 상의 복수의 직사각형 표시 영역(711)(도 5 참조)에 대응하는 복수의 영역(이하, 마찬가지로 「직사각형 표시 영역」이라 부른다.) 중 하나의 직사각형 표시 영역(이하, 「주목 직사각형 표시 영역」이라 한다.)에 주목하여, 주목 직사각형 표시 영역 내에 포함되는 복수의 줄무늬 영역 선분 중의 임의의 하나의 줄무늬 영역 선분이 특정 줄무늬 영역 선분으로서 특정된다. 그리고, 특정 줄무늬 영역 선분과 주목 직사각형 표시 영역 내의 다른 줄무늬 영역 선분의 각각과의 사이에 있어서, 이들 줄무늬 영역 선분의 연결 가부의 판정이 행해진다.Subsequently, in the stripe area updating unit 632 of the stripe spot element specifying unit 63, a plurality of areas corresponding to the plurality of rectangular display areas 711 (see FIG. 5) on the substrate 9 in each binary image. (Hereinafter, similarly referred to as " rectangular display area ") Any one of a plurality of striped area line segments included in the rectangular display area of interest, paying attention to one rectangular display area (hereinafter, referred to as " notice rectangular display area "). One stripe region segment of is specified as a particular stripe region segment. Then, between the specific striped region line segment and each of the other striped region line segments in the rectangular display region of interest, determination of whether or not to connect these striped region line segments is performed.

도 8은 줄무늬 영역 선분의 연결 가부의 판정을 설명하기 위한 도로, 도 8에서는 도 7 중의 줄무늬 영역 선분(724a, 724b)을 상호의 기울기의 차이를 강조하여 도시하고 있다. 줄무늬 영역 선분(724a)을 특정 줄무늬 영역 선분으로 하여, 줄무늬 영역 선분(724b)과의 사이에 있어서 연결 가부의 판정을 행할 경우에는, 우선, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)이 대표하는 줄무늬 영역(721a)의 중심(723a)(줄무늬 영역 선분의 중점이어도 된다. 이하 동일.)과 줄무늬 영역 선분(724b)이 대표하는 줄무늬 영역(721b)의 중심(723b)을 잇는 직선(도 8 중에서 부호 R1을 붙이는 파선으로 나타낸다.)이 구해진다. 이어, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)의 단점(725a, 726a)과 직선(R1) 사이의 거리(D1, D2), 및, 줄무늬 영역 선분(724b)의 단점(725b, 726b)과 직선(R1) 사이의 거리(D3, D4)(즉, 단점(725a, 726a, 725b, 726b)으로부터 직선(R1)에 내린 수직선의 길이)의 전부가 소정의 제1 임계값 이하인지의 여부가 확인된다.FIG. 8 is a road for explaining the determination of connection between the stripe region segments, and FIG. 8 illustrates the stripe region segments 724a and 724b in FIG. 7 with emphasis on the difference in inclination. In the case of determining whether or not to connect the stripe region line segment 724a with the stripe region line segment 724b, first, the stripe region 721a represented by the stripe region line segment 724a is represented. The center line 723a (middle point of the stripe area line segment may be the same. The same applies hereinafter) and a straight line connecting the center line 723b of the stripe area 721b represented by the stripe area line segment 724b. Is indicated by a broken line). Subsequently, the distances D1 and D2 between the disadvantages 725a and 726a of the specific stripe region segment 724a and the straight line R1, and the disadvantages 725b and 726b and the straight line R1 of the stripe region segment 724b. It is checked whether all of the distances D3 and D4 (that is, the length of the vertical line lowered from the disadvantages 725a, 726a, 725b, 726b to the straight line R1) are equal to or less than the first predetermined threshold.

거리(D1~D4) 중 어느 하나가 제1 임계값보다 큰 경우에는 줄무늬 영역 선분의 연결이 각하된다. 거리(D1~D4)의 전부가 제1 임계값 이하인 경우에는, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)이 신장되는 방향(특정 줄무늬 영역 선분(724a)이 나타낸 줄무늬 영역(721a)의 길이방향이며, 이하, 마찬가지로 「길이방향」이라 부른다.)과 줄무늬 영역 선분(724b)의 길이방향이 거의 동일하다고 되고(도 7 참조), 이어, 특 정 줄무늬 영역 선분(724a)과 줄무늬 영역 선분(724b) 사이에 있어서 가장 근접하는 단점(726a, 725b) 간의 거리(D5), 및, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)과 줄무늬 영역 선분(724b)의 길이의 합이 구해진다. If any one of the distances D1 to D4 is larger than the first threshold value, the connection of the stripe region segment is rejected. When all of the distances D1 to D4 are equal to or less than the first threshold value, the direction in which the specific stripe region line segment 724a extends (the length direction of the stripe region 721a indicated by the specific stripe region line segment 724a) is described below. Similarly, the length direction of the stripe region segment 724b and the stripe region segment 724b are almost the same (refer to FIG. 7). Then, between the specific stripe region segment 724a and the stripe region segment 724b. The sum of the distance D5 between the closest shortcomings 726a and 725b and the lengths of the specific stripe region segment 724a and the stripe region segment 724b is obtained.

거리(D5)와 해당 길이의 합의 비가 소정의 제2 임계값보다 큰 경우에는 줄무늬 영역 선분의 연결이 각하된다. 해당 비가 소정의 제2 임계값 이하인 경우에는, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)과 줄무늬 영역 선분(724b)이 서로 근접하고 있다고 되고, 또, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)과 줄무늬 영역 선분(724b) 사이에 있어서 가장 멀어진 단점(725a, 726b) 간의 거리(D6)와, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)과 줄무늬 영역 선분(724b)의 길이의 합의 비가 구해진다. 그리고, 해당 비가 소정의 제3 임계값 이상인 경우에는, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)과 줄무늬 영역 선분(724b)이 동일한 길이방향으로 배열되고 있다고 되어 연결이 허가되고, 제3 임계값 미만인 경우에는, 줄무늬 영역 선분의 연결이 각하된다.When the ratio of the sum of the distance D5 and the corresponding length is larger than the predetermined second threshold value, the connection of the stripe region line segment is dropped. When the ratio is less than or equal to the second predetermined threshold, the specific stripe region segment 724a and the stripe region segment 724b are adjacent to each other, and between the specific stripe region segment 724a and the stripe region segment 724b. The ratio of the distance D6 between the farthest shortcomings 725a and 726b and the length of the specific stripe region segment 724a and the stripe region segment 724b is obtained. When the ratio is equal to or greater than the third predetermined threshold, the specific striped region segment 724a and the striped region segment 724b are arranged in the same longitudinal direction, so that the connection is permitted, and when the ratio is less than the third threshold, The connection of the striped area segment is rejected.

이어서, 연결이 허가된 특정 줄무늬 영역 선분(724a)과 줄무늬 영역 선분(724b)이 연결된다. 구체적으로는, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)을 그 중점에서 분단한 2개의 분단 선분, 및, 줄무늬 영역 선분(724b)을 그 중점에서 분단한 2개의 분단 선분의 집합의 모멘트를 산출함으로써, 4의 분단 선분의 집합에 대한 관성 주축의 방향이 구해지고, 관성 주축의 방향으로 신장됨과 함께 4개의 분단 선분의 집합의 중심을 통과하는 직선(즉, 관성 주축)이, 도 9 중에서 부호 R2를 붙이는 파선(단, 파선의 일부가 굵게 되어 있다.)으로 나타낸 바와 같이 구해진다. 그리고, 특정 줄무늬 영역 선분(724a) 및 줄무늬 영역 선분(724b)의 각 단점(725a, 726a, 725b, 726b)으로부터 직선(R2)에 내린 수직선과 직선(R2)의 교점이 구해지고, 4개의 교점 중 서로 가장 멀어진 교점(727a, 727b)을 단점으로 하는 선분이, 새로운 줄무늬 영역 선분(도 9 중에서 파선으로 나타낸 직선(R2) 중 굵은 파선의 부분)으로서 취득되고, 2개의 줄무늬 영역 선분(724a, 724b)이 1개의 줄무늬 영역 선분으로 갱신된다.Subsequently, the specific striped region segment 724a and the striped region segment 724b that are permitted to be connected are connected. Specifically, by calculating the moments of the set of the two dividing line segments which segmented the specific stripe region line segment 724a at the midpoint, and the set of two dividing line segments which segmented the stripe region line segment 724b at the midpoint, The direction of the inertia major axis with respect to the set of dividing line segments is obtained, and the straight line (that is, the inertia main axis) passing through the center of the set of four dividing line segments while extending in the direction of the inertia main axis is broken by the symbol R2 in FIG. 9. It is calculated | required as shown by ((a part of dashed line is thick.)). Then, from each of the shortcomings 725a, 726a, 725b, and 726b of the specific stripe region segment 724a and the stripe region segment 724b, the intersection point of the vertical line falling on the straight line R2 and the straight line R2 is obtained, and four intersections are obtained. The line segment which has the shortest point of intersection (727a, 727b) among these is acquired as a new stripe area line segment (part of the thick dashed line in the straight line R2 shown by the broken line in FIG. 9), and the two stripe area line segments 724a, 724b) is updated with one stripe region line segment.

실제로는, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)과의 연결이 허가되는 모든 줄무늬 영역 선분이 결정된 다음, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)과 이들 줄무늬 영역 선분과의 연결이 동시에 행해진다. 즉, 특정 줄무늬 영역 선분(724a) 및 연결이 허가된 복수의 줄무늬 영역 선분의 각각을 그 중점에서 분단함으로써 복수의 분단 선분이 취득되고, 이들 분단 선분의 집합에 대한 관성 주축을 구하고, 특정 줄무늬 영역 선분(724a) 및 연결이 허가된 복수의 줄무늬 영역 선분의 단점으로부터 관성 주축에 내린 수직선과 관성 주축과의 복수의 교점 중 서로 가장 떨어진 2개의 교점을 단점으로 하는 선분이, 새로운 줄무늬 영역 선분으로서 구해지고, 특정 줄무늬 영역 선분(724a) 및 연결이 허가된 복수의 줄무늬 영역 선분이 1개의 줄무늬 영역 선분으로 갱신된다.In practice, all the stripe area segments allowed to be connected to the specific stripe area line segment 724a are determined, and then the connection of the specific stripe area line segment 724a and these stripe area line segments is performed simultaneously. That is, a plurality of segmented segments are obtained by dividing each of the specific stripe region segment 724a and the plurality of stripe region segments permitted to be connected at their midpoints, obtaining a plurality of segmented segments, and obtaining an inertia major axis for the set of these segmented segments. From the shortcomings of the line segment 724a and the plurality of striped region segments permitted to be connected, a line segment having two shortest points of the intersection points between the vertical line lowered on the inertia axis and the inertia main axis is obtained as a new stripe area segment. Then, the specific striped region segment 724a and the plurality of striped region segments allowed to be connected are updated with one striped region segment.

특정 줄무늬 영역 선분(724a)에 대한 다른 줄무늬 영역 선분과의 연결 가부의 판정 및 연결이 행해지면, 주목 직사각형 표시 영역 내에 있어서의 특정 줄무늬 영역 선분(724a)으로부터 갱신된 줄무늬 영역 선분(연결이 행해지지 않는 경우에는, 특정 줄무늬 영역 선분(724a)) 이외의 하나의 줄무늬 영역 선분을 특정 줄무늬 영역 선분으로서 특정하고, 다른 줄무늬 영역 선분과의 연결 가부의 판정 및 연결 이 행해진다. 실제로는, 복수의 2치 화상의 각각에 있어서, 각 직사각형 표시 영역을 주목 직사각형 표시 영역으로서 상기 처리가 행해짐으로써, 각 직사각형 표시 영역 중에 특정되는 복수의 줄무늬 영역 선분 중 길이방향이 동일하고, 길이방향에 배열되고(즉, 동일선상에 배열되도록 길이방향에 나열된다.), 또한, 서로 근접하는 복수의 줄무늬 영역 선분이 1개의 줄무늬 영역 선분으로 갱신이 된다(단계 S17).When determination and connection of the connection with the other stripe area line segment to the specific stripe area line segment 724a are made and connected, the stripe area line segment (connection is not made) updated from the specific stripe area line segment 724a in the rectangular display area of interest. If not, one stripe area line segment other than the specific stripe area line segment 724a) is specified as the specific stripe area line segment, and determination and connection of connection with the other stripe area line segment are performed. In practice, in each of a plurality of binary images, the above-described processing is performed as the rectangular display area of interest for each rectangular display area, whereby the longitudinal direction among the plurality of stripe area line segments specified in each rectangular display area is the same, and in the longitudinal direction. Are arranged in the longitudinal direction so as to be arranged on the same line, and the plurality of striped region line segments adjacent to each other are updated to one striped region line segment (step S17).

이어서, 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)의 영역 그룹 취득부(633)에서는, 2치화시의 임계값이 인접하는(본 실시형태에서는, 임계값이 연속하는) 2개의 2치 화상에 있어서, 한쪽의 2치 화상에 있어서의 각 줄무늬 영역 선분과, 이 줄무늬 영역 선분이 포함되는 직사각형 표시 영역에 대응하는 다른쪽의 2치 화상 중의 직사각형 표시 영역 내의 줄무늬 영역 선분의 각각과의 그룹화의 가부가 판정된다.Subsequently, in the area group acquisition unit 633 of the stripe spot element specifying unit 63, one of the two binary images in which the threshold values at the time of binarization are adjacent (in this embodiment, the threshold values are continuous). The grouping of each stripe region line segment in the binary image and the stripe region line segment in the rectangular display region in the other binary image corresponding to the rectangular display region in which the stripe region line segment is included is determined. .

도 10은, 2치화시의 임계값이 인접하는 2개의 2치 화상에 각각 포함되는 줄무늬 영역 선분(724d, 724e)을 겹쳐 나타낸 도이다. 2개의 줄무늬 영역 선분(724d, 724e)의 그룹화의 가부의 판정시에는, 우선, 한쪽의 줄무늬 영역 선분(724d)을 연장한 직선(R3)(단, 줄무늬 영역 선분(724d)으로부터 연장한 부분을 파선으로 나타내고 있다.)이 설정되고, 다른쪽의 줄무늬 영역 선분(724e)의 양 단점(725e, 726e)의 각각과 직선(R3)과의 거리(D7, D8)가 구해진다. 거리(D7, D8)의 쌍방이 소정의 임계값 이하인 경우에는, 각 줄무늬 영역 선분(724d, 724e)에 대해, 서로 직교하는 화소의 배열 방향(도 10 중의 x방향 및 y방향)으로 평행한 변을 가지는 외접 직사각형(727d, 727e)이 구해지고, 이들 외접 직사각형(727d, 727e)이 적어도 일부에 있어서 서로 겹치는 경우에는, 줄무늬 영역 선분(724d, 724e)의 그룹화가 허가되 고, 동일한 그룹에 포함된다. 그 한편, 한쪽의 줄무늬 영역 선분을 연장한 직선과 다른쪽의 줄무늬 영역 선분의 양 단점 사이의 거리가 임계값보다 긴 경우나, 2개의 줄무늬 영역 선분의 외접 직사각형이 서로 겹치지 않는 경우에는, 이들 줄무늬 영역 선분은 그룹화되지 않는다.FIG. 10 is a diagram showing the overlapped stripe line segments 724d and 724e respectively included in two adjacent binary images whose threshold values at the time of binarization. In determining whether to group the two striped region segments 724d and 724e, first, a portion extending from the straight line R3 extending the one striped region segment 724d (except for the portion extending from the striped region segment 724d). Is indicated by a broken line. The distances D7 and D8 between the respective shortcomings 725e and 726e of the other striped region line segment 724e and the straight line R3 are obtained. When both of the distances D7 and D8 are equal to or less than a predetermined threshold, the sides parallel to the stripe region line segments 724d and 724e in the arrangement direction (x-direction and y-direction in FIG. 10) of the pixels orthogonal to each other. When the circumscribed rectangles 727d and 727e having a shape are obtained and these circumscribed rectangles 727d and 727e overlap at least partly with each other, grouping of the stripe region line segments 724d and 724e is permitted and included in the same group. do. On the other hand, when the distance between the straight line which extended one stripe area segment and the both shortcomings of the other stripe area segment is longer than a threshold value, or when the circumscribed rectangle of two stripe area line segments does not overlap each other, these stripe Region segments are not grouped.

이렇게 하여, 각 2치 화상과 임계값이 인접하는 다른 2치 화상 사이에 있어서 서로 겹친다고 간주되는 줄무늬 영역 선분을 동일한 그룹에 포함시키는 그룹화가 행해지고, 그룹화되지 않은 줄무늬 영역 선분은 삭제된다. 이에 의해, 각각이 줄무늬 얼룩의 요소를 나타낸 복수의 그룹이 구해진다(단계 S18). 영역 그룹 취득부(633)에 있어서의 상기 처리는, 임계값이 인접하는 2치 화상에 있어서 소정의 편평도가 되는 폐영역인 줄무늬 영역의 위치가 서로 겹치는 경우에, 이들 줄무늬 영역을 그룹으로서 특정하는 것과 등가이기 때문에, 이하의 설명에서는, 그룹화된 줄무늬 영역 선분의 집합을 영역 그룹이라 부른다. In this way, grouping is performed in which the striped region line segments considered to overlap each other between each binary image and another binary image adjacent to the threshold are included in the same group, and the ungrouped striped region segments are deleted. As a result, a plurality of groups each showing the elements of the streaks are obtained (step S18). The processing in the area group acquisition unit 633 identifies these striped areas as a group when the positions of the striped areas, which are closed areas that have a predetermined flatness in the adjacent binary images, overlap each other. In the following description, the set of grouped striped region line segments is called an area group, because it is equivalent to the same.

또한, 본 실시형태에서는, 2치 화상의 생성시에, 상임계값 및 하임계값을 이용하여 값이 배경값으로부터 멀어진 폐영역이 특정되는데, 상임계값을 이용하여 인도된 2치 화상과 하임계값을 이용하여 인도된 2치 화상 사이에서는, 화상 중의 줄무늬 영역의 종별이 다른 것이 되고, 줄무늬 영역 선분의 그룹화는 행해지지 않는다. 물론, 영역 그룹 취득부(633)에 있어서의 줄무늬 영역 선분의 그룹화는 다른 수법에 의해 행해져도 된다.In addition, in the present embodiment, at the time of generation of the binary image, a closed region whose value is separated from the background value by using the upper threshold value and the lower threshold value is specified, but the binary image and the lower threshold value delivered using the upper threshold value are specified. Among the binary images guided by using, the type of the stripe area in the image is different, and grouping of the stripe area line segments is not performed. Of course, the grouping of the stripe area line segments in the area group acquisition unit 633 may be performed by another method.

또, 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)에서는 영역 그룹에 포함되는 복수의 줄무늬 영역 선분 중 최장의 것이 영역 그룹을 대표하는 줄무늬 얼룩 요소 선분으로서 특정되고, 줄무늬 얼룩 요소 선분에 대응하는 2치 화상 중의 줄무늬 영역이 줄무늬 얼룩 요소 영역이 된다. 이하의 설명에서는, 각 줄무늬 얼룩 요소 영역에 대응하는 대상 화상 중의 영역(이하, 마찬가지로 「줄무늬 얼룩 요소 영역」이라 한다.)은, 줄무늬 얼룩 요소 선분으로 특정된다.In the stripe spot element specifying unit 63, the longest of the plurality of stripe area segments included in the area group is identified as the stripe spot element line representing the area group, and stripes in the binary image corresponding to the stripe spot element line segment are included. The area becomes a striped blot element area. In the following description, the area | region (henceforth a "stripe smear element area | region" similarly hereafter) in the target image corresponding to each stripe uneven element area | region is identified by the stripe uneven element line segment.

이어서, 줄무늬 얼룩 검출부(64)에서는, 대상 화상 중의 하나의 직사각형 표시 영역을 대상 직사각형 표시 영역으로 하여, 대상 직사각형 표시 영역 중의 각 줄무늬 얼룩 요소 선분과 대상 직사각형 표시 영역에 인접하는 복수의 직사각형 표시 영역(이하, 「인접 직사각형 영역군」이라 총칭한다.)의 각각에 포함되는 각 줄무늬 얼룩 요소 선분과의 연결 가부가 줄무늬 영역 갱신부(632)에 있어서의 도 8에 나타낸 처리와 동일하게 하여 판정된다. 구체적으로는, 도 5의 대상 화상(71) 중의 가장 좌측이면서 가장 상측의 직사각형 표시 영역(711a)이 대상 직사각형 표시 영역이 되는 경우에는, 대상 직사각형 표시 영역(711a)의 오른쪽의 직사각형 표시 영역(711b), 대상 직사각형 표시 영역(711a)의 오른쪽 아래의 직사각형 표시 영역(711c) 및 대상 직사각형 표시 영역(711a) 아래의 직사각형 표시 영역(711d)이 인접 직사각형 영역군이 된다. 그리고, 대상 직사각형 표시 영역(711a) 및 인접 직사각형 영역군(711b~711d)에 각각 속하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분이 특정되고, 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분에 각각 대응하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역의 중심간을 잇는 직선과, 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 각 단점과의 거리가 소정의 제4 임계값 이하이며, 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분 사이의 가장 근접하는 단점간의 거리와 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 길이의 합의 비가 소정의 제5 임계값 이 하이며, 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 사이의 가장 멀어진 단점간의 거리와 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 길이의 합의 비가 소정의 제6 임계값 이상인 경우에, 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 연결이 허가되고, 다른 경우에는 연결이 각하된다(도 8 참조).Subsequently, the stripe spot detection unit 64 uses one rectangular display area of the target image as the target rectangular display area, and the plurality of rectangular display areas adjacent to each stripe spot element line segment in the target rectangular display area and the target rectangular display area ( Hereinafter, the connection provision with each stripe uneven element line segment included in each of the "adjacent rectangular area groups" is determined in the same manner as the processing shown in FIG. 8 in the stripe area update unit 632. Specifically, when the leftmost and uppermost rectangular display area 711a of the target image 71 of FIG. 5 becomes the target rectangular display area, the rectangular display area 711b on the right side of the target rectangular display area 711a is used. ), The rectangular display area 711c at the lower right of the target rectangular display area 711a and the rectangular display area 711d below the target rectangular display area 711a are adjacent rectangular area groups. Then, two stripe spot element lines belonging to the target rectangular display area 711a and the adjacent rectangular area groups 711b to 711d are specified, and the centers of the two stripe spot element areas respectively corresponding to the two stripe spot element lines. The distance between the straight line between each segment and each shortcoming of the two striped blot element segments is less than or equal to a predetermined fourth threshold, and the distance between the closest shortcomings between the two striped blot element segments and the two streaked blot element segments. If the ratio of the sum of the lengths is equal to or less than a predetermined fifth threshold, and the ratio of the distance between the farthest shortcomings between the two striped smear element segments and the length of the sum of the lengths of the two streaked smear element segments is greater than or equal to the predetermined sixth threshold, The connection of the two striped smear element segments is allowed, otherwise the connection is rejected (see Figure 8).

줄무늬 얼룩 검출부(64)에서는, 복수의 직사각형 표시 영역에 있어서 대상 직사각형 표시 영역을 순차 전환하면서 상기 처리가 반복됨으로써(단, 이미 대상 직사각형 표시 영역으로 된 것은 인접 직사각형 영역군에 포함되지 않아도 된다.), 복수의 줄무늬 얼룩 요소 선분 중, 길이방향이 동일하고, 길이방향에 서로 근접하면서 배열되고, 또한, 서로 인접하는 2개의 직사각형 표시 영역 내에 각각 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 조합이 검출된다(단계 S19). 그리고, 각 조합에 관한 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분은, 기판(9) 상의 하나의 줄무늬 얼룩에 유래할 가능성이 높은 것으로서 서로 관련지어진다.In the stripe unevenness detecting section 64, the above process is repeated while sequentially switching the target rectangular display areas in the plurality of rectangular display areas (however, those already formed as target rectangular display areas do not need to be included in the adjacent rectangular area group). Among the plurality of stripe spot element segments, a combination of two stripe spot element segments that are the same in the longitudinal direction, are arranged while being adjacent to each other in the longitudinal direction, and which are present in the two rectangular display regions adjacent to each other ( Step S19). The two stripe spot element segments related to each combination are associated with each other as likely to originate in one stripe spot on the substrate 9.

표시 제어부(65)에서는, 서로 관련지어진 각 조합에 관한 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분으로부터, 도 9를 참조하여 설명한 수법과 동일하게 하여 1개의 선분이 인도된다. 즉, 이들 줄무늬 얼룩 요소 선분을 그 중점에서 분단함으로써 4개의 분단 선분을 취득한 후, 4개의 분단 선분의 집합에 대한 관성 주축이 구해지고, 이들 줄무늬 얼룩 요소 선분의 단점으로부터 관성 주축에 내린 수직선과 관성 주축과의 4개의 교점 중 서로 가장 떨어진 2개의 교점을 단점으로 하는 선분이, 해당 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분을 연결한 연결 선분으로서 생성된다. 또한, 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 한쪽이 다른 줄무늬 얼룩 요소 선분에도 관련지어지는 경우에는, 이들 모든 줄무늬 얼룩 요소 선분에 있어서 상기 처리가 행해지고, 1개의 연결 선분이 생성된다. 연결 선분은, 하나의 줄무늬 얼룩에 유래하는(가능성이 높은) 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 연결한 연결 영역(줄무늬 얼룩의 전체를 나타낸 영역)의 대표 선분이라고 파악할 수 있다. In the display control part 65, one line segment is guide | included from the two stripe uneven element line segments regarding each combination which were mutually related, similarly to the method demonstrated with reference to FIG. In other words, after obtaining four segmented segments by dividing these stripe stain element segments at their midpoints, the inertia major axis for the set of 4 segmented segment segments is obtained, and the vertical lines and inertia that fall on the inertia major axis from the disadvantages of these stripe segment element segments. A line segment which has the shortcomings of two intersection points which are the most out of four intersections with the main axis is generated as a connecting segment connecting the two striped spot element segments. In addition, when one of the two stripe stain element segments is related to the other stripe stain element segments, the above processing is performed on all of these stripe stain element segments, and one connecting line segment is generated. A connection line segment can be grasped | ascertained that it is a representative line segment of the connection area | region (the area | region which showed the whole of the stripe stain) which connected the several stripe stain element area | region originating (probably) originating in one stripe stain.

이어서, 조작자에 의해 입력부(56)를 통해 표시해야 할 연결 선분의 길이의 최소값의 입력이 행해져 연산부(6)에서 접수되면(단계 S20), 도 11에 나타낸 바와 같이, 최소값 이상의 길이를 가지는 연결 선분(731)이, 대상 화상(71)에 겹쳐 디스플레이(55)에 표시된다(단계 S21). 즉, 최소값 이상의 길이를 가지는 연결 영역의 존재 위치가 디스플레이(55)에 표시된다. 이에 의해, 조작자가 복수의 직사각형 표시 영역(711)에 걸쳐 신장됨과 함께 최소값 이상의 길이의 줄무늬 얼룩만을 용이하게 확인할 수 있다. 또한, 연결 선분이 생성되지 않은 줄무늬 얼룩 요소 선분(즉, 다른 줄무늬 얼룩 요소 선분과의 연결이 허가되지 않은 줄무늬 얼룩 요소 선분이고, 단체로 1개의 줄무늬 얼룩의 거의 전체를 나타낸 것)으로 길이가 최소값 이상의 것도 마찬가지로 디스플레이(55)에 표시되어도 된다. Subsequently, when the operator inputs the minimum value of the length of the connecting line segment to be displayed through the input unit 56 and is accepted by the calculating unit 6 (step S20), as shown in FIG. 11, the connecting line segment having a length greater than or equal to the minimum value. 731 is superimposed on the target image 71 and displayed on the display 55 (step S21). In other words, the presence position of the connection area having a length greater than or equal to the minimum value is displayed on the display 55. As a result, the operator can stretch over the plurality of rectangular display regions 711 and can easily check only the streaks of the length of the minimum value or more. In addition, the stripe blot element segment where the connecting segment was not created (that is, stripe blot element segments that are not permitted to connect with other stripe blot element segments, collectively representing almost the entirety of one stripe blot) has a minimum length. The above may be similarly displayed on the display 55.

또, 얼룩 검사장치(1)에서는, 연결 선분을 디스플레이(55)에 표시하기 전에, 각 연결 선분이 유래하는 복수의 줄무늬 얼룩 요소 선분이 속하는 복수의 영역 그룹에 있어서 줄무늬 영역 선분이 존재하는 2치 화상에 대응하는 임계값의 범위를 줄무늬 얼룩 강도로서 구하고, 연결 선분의 디스플레이(55)로의 표시시에, 각 연결 선분의 색이나 굵기를 변경함으로써 줄무늬 얼룩 강도가 특정 가능하게 되어도 된다. 또, 각 연결 선분에 대한 줄무늬 얼룩 강도 및 연결 선분의 길이(후술하는 바 와 같이, 실제로 연결 영역이 구해지는 경우에는 연결 영역의 면적이어도 된다.)를 소정의 강도 임계값 및 길이 임계값(면적 임계값)과 각각 비교함으로써, 연결 선분이 나타낸 복수의 줄무늬 얼룩 요소의 집합인 줄무늬 얼룩이 허용되는지의 여부의 판정(즉, 결함인지 아닌지의 판정)을 행하는 것도 가능하다.In addition, in the spot inspection apparatus 1, before displaying the connection line segment on the display 55, a binary value in which the stripe region line segment exists in a plurality of area groups to which the plurality of striped spot element segments from which each connection line segment originates belongs. The range of the threshold value corresponding to an image is obtained as the stripe spot strength, and the stripe spot strength may be specified by changing the color and the thickness of each connection line when displaying the connected line segment on the display 55. In addition, the stripe unevenness intensity and the length of the connection line segment (as described below, if the connection area is actually obtained, may be the area of the connection area) as described below, the predetermined intensity threshold value and the length threshold value (area) Threshold value), it is also possible to make a judgment (i.e. whether it is a defect or not) whether or not the stripe blob which is the set of the plurality of stripe blot elements indicated by the connecting line segment is allowed.

이상으로 설명한 바와 같이, 얼룩 검사장치(1)에서는, 기판(9)을 촬상하여 취득되는 다계조의 원 화상에 있어서의 기판(9) 상의 직사각형 표시 영역간의 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상이 준비되고, 대상 화상으로부터 복수의 임계값을 이용하여 인도되는 복수의 2치 화상에 의거하여, 각각이 줄무늬 얼룩 요소 영역을 대표하는 복수의 줄무늬 얼룩 요소 선분이 특정된다. 그리고, 복수의 줄무늬 얼룩 요소 선분 중, 길이방향이 동일하고, 길이방향에 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 표시 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분을 검출함으로써, 복수의 직사각형 표시 영역에 걸쳐 신장되는 줄무늬 얼룩을 용이하게 검출하는 것이 실현된다. 이에 의해, 줄무늬 얼룩의 실제 길이나 기점 혹은 종점을 정밀도 있게 취득할 수 있고, 그 결과, 줄무늬 얼룩의 발생 원인을 효율적으로 특정하여 제조 프로세스나 형성하는 패턴 등을 개선하는 것이 가능해진다.As described above, in the spot inspection apparatus 1, the target image is masked by masking an area corresponding to a gap between the rectangular display regions on the substrate 9 in the multi-gradation original image obtained by imaging the substrate 9. A plurality of stripe spot element line segments, each representing stripe spot element regions, are specified based on a plurality of binary images which are prepared and guided from the target image using a plurality of threshold values. Then, among the plurality of stripe spot element segments, the length direction is the same and is arranged in the longitudinal direction and extends over the plurality of rectangular display areas by detecting two stripe spot element segments that are present in the adjacent rectangular display area. Easily detecting streaked spots is realized. As a result, the actual length, starting point, or end point of the streaks can be accurately obtained, and as a result, it is possible to efficiently identify the cause of the streaks and improve the manufacturing process, the pattern to be formed, and the like.

또, 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)에서는, 2치 화상의 하나의 직사각형 표시 영역 중에 특정되는 복수의 줄무늬 영역 선분 중, 길이방향이 동일하고, 길이방향으로 배열되고, 또한, 서로 근접하는 2개의 줄무늬 영역 선분이, 줄무늬 얼룩 검출부(64)에서 연결 가능한 줄무늬 얼룩 요소 선분을 검출할 때의 처리와 동일한 알고리즘에 의해 검출되고, 1개의 줄무늬 영역 선분으로 갱신된다. 여기에서, 줄무늬 얼룩 요소 선분은 영역 그룹에 포함되는 복수의 줄무늬 영역 선분 중 최장의 것이기 때문에, 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)에 의한 줄무늬 영역 선분에 대한 상기 처리는, 하나의 직사각형 표시 영역 중에 특정되는 복수의 줄무늬 얼룩 요소 선분 중, 길이방향이 동일하고, 길이방향에 배열되고, 또한, 서로 근접하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분을 줄무늬 얼룩 검출부(64)에 있어서의 처리와 동일한 알고리즘에 의해 검출하고, 1개의 줄무늬 얼룩 요소 선분으로 갱신하는 처리라 파악할 수 있다. 이와 같이, 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)에 있어서, 하나의 직사각형 표시 영역 중에서 동일한 줄무늬 얼룩에 유래할 가능성이 높은 복수의 줄무늬 얼룩 요소 선분이 1개의 줄무늬 얼룩 요소 선분으로 실질적으로 갱신됨으로써, 얼룩 검사장치(1)에서는, 줄무늬 얼룩 검출부(64)나 표시 제어부(65)에 있어서의 후속의 처리를 효율적으로 행하는 일이 실현된다. 또한, 표시 제어부(65)에서는, 하나의 줄무늬 얼룩에 유래하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분을 연결한 연결 선분으로 연결 영역의 존재 위치가 디스플레이(55)에 표시됨으로써, 조작자가 복수의 직사각형 표시 영역에 걸쳐 신장되는 줄무늬 얼룩을 용이하게 확인할 수 있다.In the striped spot element specifying unit 63, among the plurality of striped area line segments specified in one rectangular display area of the binary image, the two longitudinal directions are the same, are arranged in the longitudinal direction, and are adjacent to each other. The stripe region line segment is detected by the same algorithm as the process at the time of detecting the stripe spot element line segment connectable by the stripe spot detection unit 64, and is updated to one stripe area segment. Here, since the stripe spot element segment is the longest of the plurality of stripe area segments included in the area group, the above processing for the stripe area segment by the stripe spot element specifying unit 63 is specified in one rectangular display area. Among the plurality of stripe spot element segments, two stripe spot element segments that are the same in the longitudinal direction, arranged in the longitudinal direction, and adjacent to each other are detected by the same algorithm as the processing in the stripe spot detection unit 64; This process can be understood as a process of updating to one stripe spot element segment. In this way, in the stripe spot element specifying unit 63, a plurality of stripe spot element lines that are likely to originate from the same stripe spot in one rectangular display area are substantially updated with one stripe spot element line segment, thereby inspecting spot spots. In the apparatus 1, the following process by the streak spot detection part 64 and the display control part 65 is performed efficiently. In addition, in the display control part 65, the presence position of a connection area | region is displayed on the display 55 by the connection line segment which connected two stripe spot element line segments derived from one stripe spot | stain, and an operator is shown in several rectangular display area | regions. Striped stains that stretch over can be easily identified.

다음으로, 본 발명의 제2 실시형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에서는, 제1 실시형태에 있어서의 얼룩 검사장치(1)에 부가되는 기능에 대해 서술한다. Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the following description, the function added to the spot inspection apparatus 1 in 1st Embodiment is demonstrated.

도 12는, 도 2의 CPU(51)가 프로그램(541)에 따라 동작함으로써, CPU(51), ROM(52), RAM(53), 고정 디스크(54) 등이 실현하는 기능 구성을 나타낸 블럭도이다. 도 12에 있어서 연산부(16) 내의 대상 화상 생성부(161), 2치 화상 취득부(162), 줄무늬 영역 특정부(163), 영역 그룹 취득부(164), 줄무늬 얼룩 강도 취득 부(165) 및 표시 제어부(166)가 CPU(51) 등에 의해 실현되는 기능을 나타낸다. 도 12에서는, 도 3의 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)를 줄무늬 영역 특정부(163) 및 영역 그룹 취득부(164)만으로 간략화하여 나타내고, 줄무늬 얼룩 검출부(64)의 도시를 생략하고 있다. 또한, 이들 기능은 전용의 전기적 회로에 의해 실현되어도 되고, 부분적으로 전용의 전기적 회로가 이용되어도 된다. FIG. 12 is a block showing a functional configuration realized by the CPU 51, the ROM 52, the RAM 53, the fixed disk 54, etc., by operating the CPU 51 of FIG. 2 in accordance with the program 541. FIG. It is also. In FIG. 12, the target image generation unit 161, the binary image acquisition unit 162, the stripe area specifying unit 163, the area group acquisition unit 164, and the stripe spot intensity acquisition unit 165 in the calculation unit 16. And the function that the display control unit 166 realizes by the CPU 51 or the like. In FIG. 12, the streaked spot detection part specifying part 63 of FIG. 3 is simplified and shown only by the streak area specifying part 163 and the area group acquisition part 164, and the illustration of the streak spot detection part 64 is abbreviate | omitted. In addition, these functions may be implemented by a dedicated electrical circuit, or a dedicated electrical circuit may be used in part.

다음으로, 얼룩 검사장치(1)에 의한 줄무늬 얼룩의 검사의 흐름에 대해 설명한다. 도 13은, 얼룩 검사장치(1)가 기판(9)의 막(92) 상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 처리의 흐름을 나타낸 도면이다. 도 13 중의 단계 S111~S118의 처리는, 도 4의 단계 S11~S18의 처리와 동일하다. 즉, 대상 화상으로부터 복수의 2치 화상이 취득된 후, 줄무늬 영역(줄무늬 영역 선분)이 특정되고, 각 2치 화상과 임계값이 인접하는 다른 2치 화상 사이에 있어서 서로 겹친다고 간주되는 줄무늬 영역 선분을 동일한 그룹에 포함시키는 그룹화가 행해진다. 또, 필요에 따라 도 4의 단계 S19의 처리가 행해지고(도 13에서는, 해당 처리의 도시를 생략한다.), 이 경우, 서로 관련지어진 영역 그룹은 1개의 영역 그룹으로서 다루어진다. 그 결과, 각각이 줄무늬 얼룩을 나타낸 복수의 영역 그룹이 구해진다.Next, the flow of the inspection of the striped stain by the stain inspection apparatus 1 will be described. FIG. 13 is a diagram showing a flow of a process in which the spot inspection apparatus 1 inspects streaks spots on the film 92 of the substrate 9. The process of step S111-S118 in FIG. 13 is the same as the process of step S11-S18 of FIG. That is, after a plurality of binary images are acquired from the target image, a stripe region (stripe region line segment) is specified, and the stripe region considered to overlap each other between each binary image and another binary image whose threshold value is adjacent to each other. Grouping is performed to include the line segments in the same group. In addition, the process of step S19 of FIG. 4 is performed as needed (illustration of the said process is abbreviate | omitted in FIG. 13), and in this case, the area groups which were associated with each other are treated as one area group. As a result, a plurality of area groups each showing streaked spots are obtained.

또, 영역 그룹 취득부(164)에서는, 필요에 따라 영역 그룹에 포함되는 복수의 줄무늬 영역 선분 중 최장의 것(이하, 「대표 줄무늬 영역 선분」이라 한다.)이 특정되고, 대표 줄무늬 영역 선분을 제외하는 모든 줄무늬 영역 선분이 대표 줄무늬 영역 선분상에 겹쳐진다. 구체적으로는, 도 10에 나타낸 줄무늬 영역 선분(724d)이 대표 줄무늬 영역 선분으로서 특정된 것이라 하면, 대표 줄무늬 영역 선 분(724d)과 같은 영역 그룹에 포함되는 다른 줄무늬 영역 선분(724e)의 각각은, 각 단점(725d, 726d)으로부터 대표 줄무늬 영역 선분(724d)에 내린 수직선과의 교점(728e, 729e)을 단점으로 하는 선분으로 갱신된다.In the area group acquisition unit 164, the longest (hereinafter, referred to as the "representative striped area line segment") among the plurality of striped area lines included in the area group is identified as necessary, and the representative striped area line segment is defined. All stripe region segments except the one overlap on the representative stripe region segment. Specifically, if the striped region segment 724d shown in FIG. 10 is specified as the representative striped region segment, each of the other striped region segments 724e included in the same area group as the representative striped region segment 724d From the respective disadvantages 725d and 726d, the intersections 728e and 729e with the vertical lines lowered to the representative striped region line segment 724d are updated to the line segments having the disadvantages.

도 14는, 영역 그룹(73)을 설명하기 위한 도이다. 도 14에서는 상임계값을 이용하여 인도된 복수의 2치 화상(72)을 추상적으로 나타내고 있다. 도 14 중의 복수의 2치 화상(72)에서는 위쪽에 위치하는 것일수록 대응하는 임계값이 커지고 있고, 줄무늬 영역 선분(731, 732, 733a, 733b)의 길이는 대응하는 임계값이 배경값으로부터 멀어짐에 따라 짧아지고 있다. 또한, 도 14 중의 줄무늬 영역 선분(733a, 733b)과 같이 동일한 2치 화상에 포함됨과 함께 동일한 영역 그룹에 속하는 것은, 필요에 따라 연결되어도 된다. 14 is a diagram for explaining the region group 73. In Fig. 14, a plurality of binary images 72 delivered using the upper threshold are shown abstractly. In the plurality of binary images 72 in FIG. 14, the corresponding thresholds are increased as they are positioned upwards, and the lengths of the stripe region line segments 731, 732, 733a, and 733b move away from the background values. It is getting shorter. Incidentally, those included in the same binary image as the striped region line segments 733a and 733b in FIG. 14 and belonging to the same region group may be connected as necessary.

복수의 2치 화상에 있어서 각각이 줄무늬 얼룩을 나타낸 복수의 영역 그룹이 구해지면, 줄무늬 얼룩 강도 취득부(165)에서는, 각 영역 그룹에 관해서, 줄무늬 영역 선분이 존재하는 2치 화상에 대응하는 2치화시의 임계값의 범위가 줄무늬 얼룩 강도로서 취득된다(단계 S119). 예를 들면, 도 14의 경우에서는, 줄무늬 영역 선분이 3개의 2치 화상(72)에 존재하기 때문에, 줄무늬 영역 선분(731, 732, 733a, 733b)을 포함하는 영역 그룹(73)의 줄무늬 얼룩 강도는 3이 된다. 그리고, 각 영역 그룹의 줄무늬 얼룩 강도, 및, 해당 영역 그룹의 대표 줄무늬 영역 선분의 길이(이하, 「줄무늬 얼룩 길이」라고 한다.)를 후술하는 강도 임계값 및 소정의 길이 임계값과 각각 비교함으로써, 해당 영역 그룹이 나타낸 줄무늬 얼룩이 허용되는지의 여부의 판정(즉, 결함인지 아닌지의 판정)이 행해진다(단계 S120). 또한, 줄무늬 얼룩의 허락 여부의 판정시에는, 줄무늬 얼룩 길이 대신, 예를 들면, 영역 그룹의 대표 줄무늬 영역 선분에 대응하는 줄무늬 영역의 면적을 이용하여, 해당 면적이 소정의 면적 임계값과 비교되어도 된다.When a plurality of area groups each showing streaks in a plurality of binary images are obtained, the stripe blob intensity acquisition unit 165 corresponds to a binary image in which a stripe area line segment exists for each area group. The range of the threshold value at the time of digitization is acquired as the stripe spot intensity (step S119). For example, in the case of FIG. 14, since the stripe area line segments exist in the three binary images 72, the stripe unevenness of the area group 73 including the stripe area line segments 731, 732, 733a, and 733b. The intensity is three. By comparing the stripe spot strength of each area group and the length of the representative stripe area line segment of the area group (hereinafter, referred to as "stripe spot length") with the intensity threshold and the predetermined length threshold described later, respectively, Then, it is judged whether or not the stripe unevenness indicated by the area group is allowed (i.e., whether or not it is a defect) (step S120). Further, in determining whether to allow the stripe spot, even if the stripe spot length is compared with the predetermined area threshold value, for example, using the area of the stripe area corresponding to the representative stripe area line segment of the area group, the area may be compared with a predetermined area threshold. do.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 있어서의 얼룩 검사장치(1)에서는, 기판(9)으로부터 얻어지는 다계조의 대상 화상을 복수의 임계값으로 2치화함으로써 복수의 임계값에 각각 대응하는 복수의 2치 화상이 취득되고, 복수의 2치 화상의 각각에 있어서 편평도가 소정값 이상이 되는 폐영역인 줄무늬 영역이 특정된다. 그리고, 복수의 2치 화상에 있어서, 거의 같은 위치에 존재함과 함께 같은 방향으로 신장되는 줄무늬 영역의 집합이 줄무늬 얼룩을 나타낸 영역 그룹으로서 구해지고, 각 영역 그룹에 관해서, 줄무늬 영역이 존재하는 2치 화상에 대응하는 임계값의 범위가 줄무늬 얼룩 강도로서 취득된다. 이에 의해, 얼룩 검사장치(1)에서는, 줄무늬 얼룩을 정밀도 있게 검출하면서, 줄무늬 얼룩의 강도를 용이하게 취득할 수 있다. As described above, in the spot inspection apparatus 1 according to the present embodiment, a plurality of gradations corresponding to a plurality of thresholds are binarized by binarizing the multi-gradation target image obtained from the substrate 9 to a plurality of thresholds. A binary image is acquired and the stripe area | region which is a closed area | region whose flatness becomes more than a predetermined value in each of a some binary image is specified. Then, in the plurality of binary images, a set of stripe regions which exist at substantially the same position and extend in the same direction is obtained as an area group showing stripe unevenness, and for each area group, 2 The range of the threshold value corresponding to the tooth image is obtained as the streaked spot intensity. Thereby, in the spot inspection apparatus 1, the intensity | strength of a stripe spot can be easily acquired, detecting a stripe spot with precision.

줄무늬 영역 특정부(163)에서는, 2치 화상에 있어서 각 폐영역의 모멘트를 산출하여 길이방향을 결정한 다음에 이 폐영역이 줄무늬 영역인지의 여부를 특정함으로써, 폐영역이 신장되는 방향(폐영역의 각도)에 의존하는 일 없이, 줄무늬 영역을 정밀도 있게 특정할 수 있다. 또, 길이방향이 동일하고, 길이방향에 배열되고, 또한, 서로 근접하는 동일 직사각형 표시 영역 내의 복수의 줄무늬 영역 선분이 1개의 줄무늬 영역 선분으로 갱신이 되게 되고, 동일한 줄무늬 얼룩에 유래할(즉, 동일한 영역 그룹에 포함될) 가능성이 높은 복수의 줄무늬 영역 선분을 1개의 줄무 늬 영역 선분으로서 취급할 수 있고, 후속의 영역 그룹 취득부(164) 및 줄무늬 얼룩 강도 취득부(165)에 있어서의 처리를 효율적으로 행할 할 수 있다.The stripe area specifying unit 163 calculates the moment of each closed area in the binary image to determine the longitudinal direction, and then specifies whether the closed area is a striped area, thereby extending the closed area (closed area). The stripe area can be precisely specified without depending on the angle). In addition, a plurality of stripe region line segments in the same rectangular display area that are the same in the longitudinal direction, are arranged in the longitudinal direction, and are adjacent to each other are updated to one stripe region line segment, resulting in the same striped unevenness (i.e., It is possible to treat a plurality of striped area line segments which are likely to be included in the same area group as one stripe area line segment, and subsequent processing in the area group acquisition unit 164 and the stripe spot intensity acquisition unit 165 is performed. It can be done efficiently.

도 13의 처리에서는, 기판(9) 상의 줄무늬 얼룩의 허락 여부의 판정이 줄무늬 얼룩 강도에 관한 강도 임계값을 이용하여 행해지는데, 실제로는, 상기 처리 전에, 조작자에 의해 강도 임계값이 결정되어 연산부(16)에서 준비된다. 이하, 강도 임계값의 결정시의 얼룩 검사장치(1)의 처리에 대해 도 15를 참조하면서 설명한다.In the processing of FIG. 13, the determination of whether to allow the stripe unevenness on the substrate 9 is performed using the intensity threshold relating to the stripe unevenness intensity. Actually, the intensity threshold is determined by the operator before the processing, and the arithmetic unit is performed. Are prepared at 16. Hereinafter, the process of the spot inspection apparatus 1 at the time of determination of an intensity threshold is demonstrated, referring FIG.

조작자에 의해 강도 임계값이 결정될 때에는, 도 13의 처리와 동일하게 하여 영역 그룹이 구해진 후(단계 S118), 표시 제어부(166)에서, 각 영역 그룹에 속하는 줄무늬 영역 선분의 각각이 대상 화상에 겹쳐 디스플레이(55)에 표시된다(단계 S121). 이때, 기술한 바와 같이 대표 줄무늬 영역 선분을 제외하는 모든 줄무늬 영역 선분이 대표 줄무늬 영역 선분상과 겹쳐지도록 되어 있고, 표시 제어부(166)에서는 대표 줄무늬 영역 선분상의 각 위치에 있어서 서로 겹치는 줄무늬 영역 선분의 개수에 맞추어 색이 변경된다. 따라서, 디스플레이(55)에는 부분적 또는 거의 전체적으로 줄무늬 얼룩 강도에 따른 색이 되는 선분이 영역 그룹의 존재 위치를 나타낸 것으로서 표시되게 되고, 각 영역 그룹의 대강의 줄무늬 얼룩 강도가 특정 가능해진다. 이에 의해, 조작자가 줄무늬 얼룩이 존재하는 대상 화상 중의 위치를 줄무늬 얼룩 강도와 함께 확인할 수 있고, 기판(9) 상의 줄무늬 얼룩의 허락 여부의 판정에 이용되는 강도 임계값을 용이하게 결정하는 것이 가능해진다. 결정된 줄무늬 얼룩 강도는 조작자에 의해 입력부(56)를 통해 입력되고, 연산부(16)에서 접수된다(단계 S122). 그리고, 입력된 줄무늬 얼룩 강도를 이용하면서 다수의 기판에 대한 줄무늬 얼룩의 검사가 상술한 도 13의 처리를 따라 행해진다. 또한, 각 영역 그룹의 대강의 줄무늬 얼룩 강도가 특정 가능하다면, 영역 그룹의 존재 위치를 나타낸 선분의 표시 형태는 어떠한 것이어도 되고, 예를 들면 해당 선분의 폭이 변경되어도 된다. When the intensity threshold is determined by the operator, after the area group is obtained in the same manner as in the process of Fig. 13 (step S118), in the display control unit 166, each of the stripe area line segments belonging to each area group is superimposed on the target image. It is displayed on the display 55 (step S121). At this time, as described above, all the stripe region segments except the representative stripe region segment are overlapped with the representative stripe region segment. The display control unit 166 displays the overlapping stripe region segment at each position on the representative stripe region segment. The color changes according to the number. Therefore, on the display 55, the line segment which becomes the color according to the stripe spot intensity partly or almost entirely is displayed as showing the presence position of the area group, and the rough stripe spot intensity of each area group can be specified. As a result, the operator can confirm the position in the target image in which the streaks are present, together with the streak spot strength, and it is possible to easily determine the intensity threshold value used for the determination of whether the streaks are allowed on the substrate 9. The determined stripe unevenness intensity is input by the operator via the input unit 56, and accepted by the calculating unit 16 (step S122). And the inspection of the stripe spots with respect to many board | substrates is performed according to the process of FIG. 13 mentioned above, using the input stripe spot strength. In addition, as long as rough stripe uneven intensity of each region group can be specified, the display form of the line segment indicating the presence position of the region group may be any, for example, the width of the segment may be changed.

도 15에 나타낸 처리에서는, 줄무늬 영역 특정부(163) 및 영역 그룹 취득부(164)에 있어서의 처리가 완료함으로써, 영역 그룹에 속하는 각 줄무늬 영역 선분과 임계값이 대응지어져 있고, 표시 제어부(166)에 의해 줄무늬 얼룩 강도가 특정 가능하게 줄무늬 영역 선분이 표시되기 때문에, 실질적으로는, 줄무늬 영역 특정부(163) 및 영역 그룹 취득부(164)에 있어서의 처리가 줄무늬 얼룩 강도를 취득하는 처리를 포함하고 있다.In the processing illustrated in FIG. 15, the processing in the striped region specifying unit 163 and the region group obtaining unit 164 is completed, so that the respective striped region line segments belonging to the region group and the threshold value are associated with each other, and the display control unit 166 Since the stripe area line segment is displayed in such a manner that the stripe spot intensity can be specified, substantially, the processing in the stripe area specifying unit 163 and the area group acquisition unit 164 acquires the stripe spot intensity. It is included.

다음으로, 표시 제어부(166)에 의한 표시 제어의 다른 예에 대해 도 16을 참조하면서 설명한다. 본 처리예에서는, 각 영역 그룹의 줄무늬 얼룩 강도가 취득되면(도 13:단계 S119), 복수의 영역 그룹 중 조작자에 의해 미리 설정되는 줄무늬 얼룩 강도의 범위(이하, 「설정 강도 범위」라고 한다.)에 속하는 영역 그룹의 존재 위치를 나타낸 선분만이 대상 화상에 겹쳐 디스플레이(55)에 표시된다(단계 S131). 이에 의해, 필요한 줄무늬 얼룩만이 특정 가능하게 되고, 해당 줄무늬 얼룩을 효율적으로 파악하는 것이 가능해진다.Next, another example of display control by the display control unit 166 will be described with reference to FIG. 16. In this processing example, when the stripe spot strength of each area group is acquired (FIG. 13: step S119), it is called the range of stripe spot strength preset by an operator among a some area group (henceforth "setting intensity range"). Only the line segment indicating the presence position of the area group belonging to the ") is displayed on the display 55 in superimposition with the target image (step S131). As a result, only necessary stripe unevenness can be identified, and the stripe unevenness can be efficiently grasped.

또, 조작자가 줄무늬 얼룩 강도의 다른 범위에 포함되는 영역 그룹을 확인하는 경우에는(단계 S132), 입력부(56)를 통해 조작자에 의해 설정 강도 범위의 변경의 입력이 행해진다. 해당 입력이 연산부(16)에서 접수되면(단계 S133), 표시 제어 부(166)에서는 설정 강도 범위가 변경되고, 복수의 영역 그룹 중 변경 후의 설정 강도 범위에 속하는 영역 그룹의 존재 위치를 나타낸 선분만이 대상 화상에 겹쳐 디스플레이(55)에 재표시된다(단계 S134). 조작자에 의한 설정 강도 범위의 변경 및 영역 그룹의 존재 위치를 나타낸 선분의 재표시는 필요에 따라 반복된다(단계 S135, S133, S134). 이에 의해, 조작자가 실제의 줄무늬 얼룩과 줄무늬 얼룩 강도와의 관계를 보다 적확하게 파악하는 것이 가능해지고, 그 결과, 줄무늬 얼룩의 허락 여부의 판정에 이용되는 강도 임계값을 보다 적절히 결정하는 것이 가능해진다. 또한, 상기와 마찬가지로 하여, 영역 그룹이 나타낸 줄무늬 얼룩의 길이(즉, 대표 줄무늬 영역 선분의 길이)나, 영역 그룹의 대표 줄무늬 영역 선분에 대응하는 줄무늬 영역의 면적, 혹은, 영역 그룹에 포함되는 줄무늬 영역이 존재하는 2치 화상에 대응하는 임계값의 범위의 대표값(예를 들면, 평균값) 등, 줄무늬 얼룩 강도 이외의 값에 의거하여 영역 그룹의 존재 위치를 나타낸 선분이 디스플레이(55)에 표시되어도 된다.In addition, when the operator confirms the area group included in the other range of the stripe unevenness intensity (step S132), the operator inputs the change of the set intensity range through the input unit 56. When the input is received by the calculating section 16 (step S133), the display control section 166 changes the set intensity range and shows only the line segment indicating the presence position of the area group belonging to the changed set intensity range among the plurality of area groups. The target image is overlaid on the display 55 again (step S134). The change of the set intensity range by the operator and the redisplay of the line segment indicating the presence position of the area group are repeated as necessary (steps S135, S133, S134). This makes it possible for the operator to more accurately grasp the relationship between the actual stripe unevenness and the stripe unevenness intensity, and as a result, it becomes possible to more appropriately determine the intensity threshold value used for the determination of whether to allow the uneven stripe unevenness. . In the same manner as described above, the stripe unevenness indicated by the region group (that is, the length of the representative striped region line segment), the area of the striped region corresponding to the representative striped region line segment of the region group, or the stripe included in the region group A line segment showing the presence position of the area group is displayed on the display 55 based on a value other than the stripe spot intensity, such as a representative value (for example, an average value) of the range of threshold values corresponding to the binary image in which the area exists. You may be.

또, 얼룩 검사장치(1)의 줄무늬 얼룩 강도 취득부(165)에서는, 대상 화상 중의 각 직사각형 표시 영역 내의 줄무늬 얼룩의 줄무늬 얼룩 강도의 합계가 취득되어도 된다. 예를 들면, 영역 그룹 취득부(164)에서 줄무늬 얼룩을 나타낸 각 영역 그룹이 구해진 후(도13:단계 S118), 줄무늬 얼룩 강도 취득부(165)에 의해 각 영역 그룹에 포함되는 줄무늬 영역 선분의 길이의 합이 해당 영역 그룹의 줄무늬 얼룩 강도로서 취득되고, 기판(9)의 복수의 패널(이 되는 부위)의 각각에 대응하는 대상 화상 중의 직사각형 표시 영역 내에 포함되는 줄무늬 얼룩의 줄무늬 얼룩 강도의 합계가 더 취득된다(단계 S119). 이에 의해, 기판(9)의 복수 패널의 각각에 있어서의 줄무늬 얼룩의 정도를 수치화하여 취득할 수 있고, 그 결과, 각 패널의 허락 여부의 판정을 용이하게 행할 수 있다.In addition, in the stripe unevenness intensity acquisition part 165 of the spot inspection apparatus 1, the sum of the stripe unevenness intensity | strength of the stripe unevenness in each rectangular display area | region in a target image may be acquired. For example, after the area group showing the stripe unevenness is obtained by the area group acquisition unit 164 (FIG. 13: Step S118), the area of the stripe area segment included in each area group by the stripe spot intensity acquisition unit 165 is obtained. The sum of the lengths is obtained as the stripe spot strength of the region group, and the sum of the stripe spot strengths of the stripe spots included in the rectangular display area in the target image corresponding to each of the plurality of panels (areas to be) of the substrate 9. Is further acquired (step S119). Thereby, the grade of the stripe unevenness in each of the several panel of the board | substrate 9 can be numerically acquired, and as a result, determination of the permission of each panel can be performed easily.

다음으로, 본 발명의 제3 실시형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에서는, 제1 실시형태에 있어서의 얼룩 검사장치(1)에 부가되는 기능에 대해 서술한다. 본 실시형태에 있어서의 얼룩 검사장치(1)는, 액정 표시장치 등의 표시장치에 이용되는 유리의 기판(9)에 있어서, 한쪽의 주면(91) 상에 레지스트 액을 도포함으로써 형성된 패턴 형성용의 레지스트의 막(92)의 화상을 취득하고, 이 화상에 의거하여 기판(9)의 막(92) 상의 얼룩 결함을 검사하는 장치이다.Next, a third embodiment of the present invention will be described. In the following description, the function added to the spot inspection apparatus 1 in 1st Embodiment is demonstrated. The spot inspection apparatus 1 in this embodiment is for pattern formation formed by apply | coating a resist liquid on one main surface 91 in the glass substrate 9 used for display apparatuses, such as a liquid crystal display device. Is an apparatus for acquiring an image of the film 92 of the resist, and inspecting for spot defects on the film 92 of the substrate 9 based on this image.

여기에서, 기판(9) 상의 얼룩과는 국소적인 명암 변동에 의해 특정되는 일정 면적 이상의 영역(단, 통상, 영역의 경계는 불명료하다.)이고, 얼룩 중 일정값 이상의 명암 변동을 가지는 것을 얼룩 결함으로서 정의한다. 또, 얼룩 결함 중 그 영역의 길이방향에 있어서의 길이(

)와 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭(β)과의 비(

/β)가 소정값 이상이 되는 것을 줄무늬 얼룩 결함이라 하고, 나머지의 것을 부분 얼룩 결함으로서 정의한다. 부분 얼룩 결함은, 통상, 기판(9)에 대한 처리의 불균일성에 기인하여 발생한다. 물론, 실질적으로 이 조건이 만족되는 것이라면, 줄무늬 얼룩 결함의 정의는 적절히 변경되어 되고, 또한, 줄무늬 얼룩 결함 및 부분 얼룩 결함에 다른 조건이 추가되어도 된다. 또, 얼룩 검사장치(1)에서는, 얼룩 결함보다 명암 변동이 급격하면서 정도가 크고(즉, 콘트라스트가 크고, 영역의 경계가 비교적 명료하다.), 면적이 소정의 범위내(예를 들면, 원형의 영역인 경우, 기판(9) 상에 있어서의 직경이 1㎜ 이하이며, 노이즈에 기인하여 발생하는 화상 중의 이상인 영역보다 크다.)가 되는 점 결함도 검출된다. 점 결함은, 통상, 기판(9) 상에 있어서의 미소한 불요물의 존재나, 레지스트 액의 도포시의 액적의 의도하지 않은 적하 등에 기인하여 발생한다.Here, the spot on the substrate 9 is an area of a certain area or more (typically, the boundary of the area is unclear) specified by local light and dark fluctuations, and a spot defect having a light and dark fluctuation of a certain value or more in the spot is uneven. It is defined as. Moreover, the length in the longitudinal direction of the area | region among uneven defects (

) And the ratio of the width β in the direction perpendicular to the longitudinal direction (

/ β) to be a predetermined value or more is referred to as streaked spot defect, and the rest is defined as partial spot defect. Partial spot defects usually occur due to nonuniformity in processing on the substrate 9. Of course, if this condition is substantially satisfied, the definition of the streaked spot defect may be appropriately changed, and other conditions may be added to the streaked spot defect and the partial spot defect. Moreover, in the spot inspection apparatus 1, the intensity fluctuation is sharper than that of the spot defect, and the degree is large (that is, the contrast is large and the boundary of the region is relatively clear), and the area is within a predetermined range (for example, circular shape). In the case of a region of, a diameter of 1 mm or less on the substrate 9 is larger than that of an abnormal region in the image generated due to noise. Point defects usually occur due to the presence of minute undesired matters on the substrate 9, unintended dropping of droplets upon application of the resist liquid, and the like.

도 17은, 도 2의 CPU(51)가 프로그램(541)에 따라 동작함으로써, CPU(51), ROM(52), RAM(53), 고정 디스크(54) 등이 실현되는 기능 구성을 나타낸 블럭도이다. 도 17에 있어서 연산부(26) 내의 대상 화상 생성부(261), 줄무늬 얼룩 검출부(262), 점 결함 검출부(263), 부분 얼룩 검출부(264), 마스크 화상 생성부(265) 및 판정부(266)가 CPU(51) 등에 의해 실현되는 기능을 나타낸다. 도 17에서는, 줄무늬 얼룩 검출부(262)가, 도 3의 2치 화상 취득부(62) 및 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)의 기능을 가지고 있는 것으로 한다. 또한, 이들 기능은 전용의 전기적 회로에 의해 실현되어도 되고, 부분적으로 전용의 전기적 회로가 이용되어도 된다.FIG. 17 is a block showing a functional configuration in which the CPU 51, the ROM 52, the RAM 53, the fixed disk 54, and the like are realized by the CPU 51 of FIG. 2 operating in accordance with the program 541. FIG. It is also. In FIG. 17, the target image generation unit 261, the streaked spot detection unit 262, the point defect detection unit 263, the partial spot detection unit 264, the mask image generation unit 265, and the determination unit 266 in the calculation unit 26 are shown in FIG. 17. Indicates a function realized by the CPU 51 or the like. In FIG. 17, it is assumed that the streaked spot detection unit 262 has functions of the binary image acquisition unit 62 and the streaked spot element specifying unit 63 of FIG. 3. In addition, these functions may be implemented by a dedicated electrical circuit, or a dedicated electrical circuit may be used in part.

다음으로, 얼룩 검사장치(1)에 의한 얼룩 결함의 검사의 흐름에 대해 설명한다. 도 18a 및 도 18b는, 얼룩 검사장치(1)가 기판(9)의 막(92) 상의 얼룩 결함을 검사하는 처리의 흐름을 나타낸 도이다. 또, 도 19는, 줄무늬 얼룩 검출부(262)가 줄무늬 얼룩 영역을 검출하는 처리의 흐름을 나타낸 도로, 도 18a 중의 단계 S215에서 행해지는 처리를 나타낸다. Next, the flow of inspection of the stain defect by the stain inspection apparatus 1 will be described. 18A and 18B are diagrams showing the flow of processing in which the spot inspection apparatus 1 inspects spot defects on the film 92 of the substrate 9. 19 shows the process performed by step S215 in FIG. 18A, which shows the flow of the process by which the stripe spot detection part 262 detects the stripe spot area.

도 18a 중의 단계 S211~S214, 및, 도 19 중의 단계 S2151~S2154의 처리는, 도 4의 단계 S11~S18의 처리와 동일하다. 즉, 대상 화상으로부터 복수의 2치 화상이 취득된 후, 줄무늬 영역(줄무늬 영역 선분)이 특정되고, 각 2치 화상과 임계값 이 인접하는 다른 2치 화상 사이에 있어서 서로 겹친다고 간주되는 줄무늬 영역 선분을 동일한 그룹에 포함시키는 그룹화가 행해진다. 또, 필요에 따라 도 4의 단계 S19의 처리가 행해지고(도 19에서는, 해당 처리의 도시를 생략하고 있다.), 이 경우, 서로 관련지어진 영역 그룹은 1개의 영역 그룹으로서 다루어진다. 그 결과, 줄무늬 얼룩 검출부(262)에 있어서, 각각이 줄무늬 얼룩 결함을 나타낸 복수의 영역 그룹이 구해진다.The process of step S211-S214 in FIG. 18A, and step S2151-S2154 in FIG. 19 is the same as the process of step S11-S18 of FIG. That is, after a plurality of binary images are acquired from the target image, a stripe region (stripe region line segment) is specified, and the stripe region considered to overlap each other between each binary image and another binary image adjacent to the threshold value Grouping is performed to include the line segments in the same group. In addition, the process of step S19 of FIG. 4 is performed as needed (the illustration of the process is abbreviate | omitted in FIG. 19), and in this case, the area group which mutually correlated is treated as one area group. As a result, in the stripe spot detection unit 262, a plurality of area groups each showing stripe spot defects are obtained.

또, 줄무늬 얼룩 검출부(262)에서는, 제2 실시형태에 있어서의 대표 줄무늬 영역 선분과 동일하게, 영역 그룹에 포함되는 복수의 줄무늬 영역 선분 중 최장의 것(이하의 설명에서는, 「줄무늬 얼룩 영역 선분」이라 한다.)이 특정되고, 줄무늬 얼룩 영역 선분을 제외하는 모든 줄무늬 영역 선분이 줄무늬 얼룩 영역 선분상에 겹쳐진다. 구체적으로는, 도 10에 나타낸 줄무늬 영역 선분(724d)이 줄무늬 얼룩 영역 선분으로서 특정된 것으로 하면, 줄무늬 얼룩 영역 선분(724d)과 같은 영역 그룹에 포함되는 다른 줄무늬 영역 선분(724e)의 각각은, 각 단점(725d, 726d)로부터 줄무늬 얼룩 영역 선분(724d)에 내린 수직선과의 교점(728e, 729e)을 단점으로 하는 선분으로 갱신된다.In addition, in the stripe spot detection unit 262, similarly to the representative stripe area line segment in the second embodiment, the longest of the plurality of stripe area segments included in the area group (in the following description, the "stripe spot area segment" is described. ), And all the stripe area segments except the stripe spot area segment overlap on the stripe spot area segment. Specifically, assuming that the striped region segment 724d shown in FIG. 10 is specified as a striped speckle region segment, each of the other striped region segment 724e included in the same area group as the striped speckle region segment 724d, From each of the shortcomings 725d and 726d, the intersections 728e and 729e with the vertical lines lowered to the striped uneven region line segment 724d are updated to the shorting segments.

도 14 중의 복수의 2치 화상(72)에서는 위쪽에 위치하는 것일수록 대응하는 임계값이 커지고 있고, 줄무늬 영역 선분(731, 732, 733a, 733b)의 길이는 대응하는 임계값이 배경값으로부터 멀어짐에 따라 짧아지고 있다. 또한, 도 14 중의 줄무늬 영역 선분(733a, 733b)과 같이 동일한 2치 화상에 포함됨과 함께 동일한 영역 그룹에 속하는 것은, 필요에 따라 연결되어도 된다.In the plurality of binary images 72 in FIG. 14, the corresponding thresholds are increased as they are positioned upwards, and the lengths of the stripe region line segments 731, 732, 733a, and 733b move away from the background values. It is getting shorter. Incidentally, those included in the same binary image as the striped region line segments 733a and 733b in FIG. 14 and belonging to the same region group may be connected as necessary.

줄무늬 얼룩 검출부(262)에서는, 줄무늬 얼룩 영역 선분에 대응하는 2치 화상 중의 줄무늬 영역이, 줄무늬 얼룩 결함을 나타낸 줄무늬 얼룩 영역으로서 검출된다(단계 S2155). 통상, 줄무늬 얼룩 영역은 거의 선형상의 영역이 되기 때문에, 본 실시형태에서는, 각 줄무늬 얼룩 영역에 대응하는 대상 화상 중의 영역(이하, 마찬가지로 「줄무늬 얼룩 영역」이라 한다.)은, 줄무늬 얼룩 영역 선분으로 특정된다. 따라서, 실제로는, 상기의 줄무늬 얼룩 영역 선분을 특정하는 처리가 줄무늬 얼룩 영역을 검출하는 처리가 된다. 그리고, 줄무늬 얼룩 영역 선분의 위치를 나타낸 화상(이하, 「줄무늬 얼룩 화상」이라 한다.)이 생성된다. 또한, 줄무늬 얼룩 화상 대신, 줄무늬 얼룩 영역 선분의 위치를 나타낸 리스트가 기억되어도 된다(후술하는 점 결함 화상 및 부분 얼룩 후보 화상에 있어서 동일). 또, 줄무늬 얼룩 영역을 줄무늬 얼룩 영역 선분으로 특정하지 않는(즉, 줄무늬 얼룩 영역인 채로 취급한다) 경우라도, 특별히 언급하는 경우를 제외하고, 이하의 처리는 동일해진다.In the stripe spot detection unit 262, the stripe area in the binary image corresponding to the stripe spot area segment is detected as the stripe spot area showing the stripe spot defect (step S2155). Usually, since the striped uneven area becomes an almost linear area, in this embodiment, the area | region (henceforth a "stripe uneven area" similarly) in the target image corresponding to each striped uneven area is referred to as a striped uneven area line segment. Is specified. Therefore, in practice, the above process of specifying the stripe spot area segment is a process of detecting the stripe spot area. Then, an image (hereinafter referred to as a "stripe spot image") showing the position of the stripe spot area line segment is generated. Instead of the streaked spot image, a list indicating the position of the streaked spot area line segment may be stored (the same in the point defect image and the partial spot candidate image described later). In addition, even when the striped uneven area is not specified by the striped uneven area (that is, treated as a striped uneven area), the following processing is the same except when specifically mentioned.

줄무늬 얼룩 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분으로 특정되면, 판정부(266)의 평가값 취득부(2661)에서는, 각 줄무늬 얼룩 영역 선분에 관해서, 영역 그룹에 포함되는 줄무늬 영역 선분이 존재하는 2치 화상에 대응하는 2치화시의 임계값의 범위가 줄무늬 얼룩 최대 강도로서 취득된다(도 18a:단계 S216). 예를 들어, 도 14의 경우에서는, 줄무늬 영역 선분이 3개의 2치 화상(72)에 존재하기 때문에, 줄무늬 영역 선분(731, 732, 733a, 733b)을 포함하는 영역 그룹(73)의 줄무늬 얼룩 최대 강도는 3이 된다. 줄무늬 얼룩 최대 강도는 줄무늬 얼룩 영역 선분에 대응지어져 평가값 취득부(2661)에서 기억된다.When the streaked spot area is specified by the streak spot area segment, the evaluation value obtaining unit 2661 of the determining unit 266, in each of the stripe spot area segments, has a binary image in which the stripe area line segment included in the area group exists. The range of the threshold value at the time of corresponding binarization is acquired as the stripe spot maximum intensity (FIG. 18A: step S216). For example, in the case of Fig. 14, since the stripe area line segments exist in the three binary images 72, the stripe unevenness of the area group 73 including the stripe area line segments 731, 732, 733a, and 733b. The maximum intensity is three. The stripe spot maximum intensity is stored in the evaluation value obtaining unit 2661 in association with the stripe spot area segment.

이어서, 마스크 화상 생성부(265)에서는, 각 2치 화상에 있어서 영역 그룹에 포함되는 줄무늬 영역 선분을 소정의 화소만 굵게 하는 처리(팽창 처리)가 행해지고, 처리 후의 복수의 2치 화상에 있어서 서로 대응하는 화소의 값을 가산함으로써, 도 20에 나타낸 바와 같이 새로운 화상(후술하는 바와 같이, 다른 결함을 나타낸 화상에 있어서 줄무늬 얼룩 결함에 대응하는 영역을 실질적으로 마스크하기 위한 화상이기 때문에, 이하, 「마스크 화상」이라 한다.)이 생성된다(단계 S217). 또한, 도 20에서는, 마스크 화상의 일부만을 나타냄과 함께, 줄무늬 얼룩 영역 선분을 부호 741을 붙이는 일점 쇄선으로 나타내고, 실제로는, 도 20 중의 평행 사선을 붙이는 영역(742)은 농담(濃淡)을 가지고 있다. Subsequently, the mask image generation unit 265 performs a process (expansion processing) to thicken the stripe region line segment included in the area group in each binary image only by a predetermined pixel, and in each of the plurality of binary images after the processing, By adding the values of the corresponding pixels, as shown in Fig. 20, a new image (as described below, an image for substantially masking an area corresponding to a streaked spot defect in an image showing another defect, Mask image ”is generated (step S217). In addition, in FIG. 20, only a part of a mask image is shown and the stripe uneven region line segment is shown by the dashed-dotted line which attaches code | symbol 741, and the area | region 742 which attaches the parallel oblique line in FIG. 20 actually has a shade. have.

여기에서, 기술한 바와 같이, 2치 화상에 있어서의 줄무늬 영역은, 어느 하임계값 또는 상임계값의 2치 화상에서 검출되어도, 배경값에 가까운 하임계값 또는 상임계값의 2치 화상에서는 같은 위치에 가로 세로비가 작은 폐영역이 나타나는 일이 있어, 반드시 줄무늬 영역이 검출된다고는 할 수 없다. 따라서, 상임계값 또는 하임계값이, 대상 화상 중의 줄무늬 얼룩 영역의 농도와, 줄무늬 얼룩 영역의 주위 영역의 농도의 사이가 되는 경우에, 이 임계값에 대응하는 2치 화상에서 줄무늬 얼룩 영역에 대응하는 줄무늬 영역이 나타나게 된다. 마스크 화상 중의 각 화소는, 해당 위치가 줄무늬 영역(정확하게는, 팽창 처리가 실시된 줄무늬 영역 선분)에 포함되는 2치 화상의 개수에 따른 값이 부여되기 때문에, 마스크 화상은 대상 화상 중의 각 줄무늬 얼룩 영역에 있어서, 주위의 영역을 기준으로 한 줄무늬 얼룩 결함의 강도 분포를 실질적으로 나타낸 화상으로 되어 있다. 또한, 각 줄무늬 얼룩 영 역 선분의 줄무늬 얼룩 최대 강도는 마스크 화상 중의 대응하는 영역 내의 화소의 값의 최대값에 상당한다. 또, 마스크 화상의 생성 시에, 줄무늬 영역 선분을 굵게 한 2치 화상을 이용하는 일 없이, 복수의 2치 화상 중에 줄무늬 영역이 그대로 남겨지고, 이들 2치 화상에 있어서 서로 대응하는 화소의 값을 가산함으로써, 마스크 화상이 생성되어도 된다.Here, as described above, even if a stripe area in a binary image is detected in a binary image of any high threshold value or a high threshold value, the same position is set in a binary image of a high threshold value or a high threshold value close to a background value. A closed area with a small aspect ratio may appear, and a striped area may not necessarily be detected. Therefore, when the upper threshold value or the lower threshold value is between the density of the striped spot area in the target image and the density of the surrounding area of the striped spot area, it corresponds to the striped spot area in the binary image corresponding to this threshold. Striped areas appear. Each pixel in the mask image is given a value corresponding to the number of binary images whose position is included in the stripe region (exactly, the stripe region line segment subjected to the expansion process), so that the mask image is uneven in the target image. In the region, the image substantially shows the intensity distribution of the streaked spot defects based on the surrounding region. In addition, the maximum stripe spot intensity of each stripe spot region line segment corresponds to the maximum value of the pixel value in the corresponding area in the mask image. In addition, when generating a mask image, without using the binary image which thickened the stripe area line segment, the stripe area | region remains as it is among several binary images, and the value of the pixel corresponding to each other in these binary images is added. By doing this, a mask image may be generated.

마스크 화상이 생성되면, 점 결함 검출부(263)에서는 대상 화상으로부터 기판(9) 상의 점 결함을 나타낸 점 결함 영역이 검출된다(단계 S218). 도 21은, 점 결함 검출부(263)가 점 결함 영역을 검출하는 처리의 흐름을 나타낸 도로, 도 18a 중의 단계 S218에서 행해지는 처리를 나타내고 있다. When the mask image is generated, the point defect detection unit 263 detects a point defect area indicating the point defect on the substrate 9 from the target image (step S218). FIG. 21 is a road showing the flow of processing by which the point defect detection unit 263 detects a point defect area, and shows a process performed in step S218 in FIG. 18A.

점 결함 검출부(263)에서는, 우선, 배경값(127)보다 충분히 큰 값(167)을 임계값으로 하여, 대상 화상에 있어서 값이 167 이상의 화소에 「1」을 부여하고, 167보다 작은 화소에 「0」을 부여함으로써, 1개의 2치 화상이 취득된다. 이어, 배경값(127)보다 충분히 작은 값(87)을 임계값으로 하여, 대상 화상에 있어서 값이 87 이하의 화소에 「1」을 부여하고, 87보다 큰 화소에 「0」을 부여함으로써, 다른 하나의 2치 화상이 취득된다(단계 S2181).In the point defect detection unit 263, first, a value 167 sufficiently larger than the background value 127 is set as a threshold value, and a value of "1" is given to a pixel having a value of 167 or more in the target image, and to a pixel smaller than 167. By giving "0", one binary image is acquired. Subsequently, by setting the value 87 sufficiently smaller than the background value 127 as the threshold value, "1" is assigned to pixels having a value of 87 or less in the target image, and "0" is given to pixels larger than 87, Another binary image is acquired (step S2181).

2개의 임계값에 각각 대응하는 2개의 2치 화상이 취득되면, 각 2치 화상에 대해 수축 처리를 실시한 후, 팽창 처리를 실시함으로써, 값이 1의 화소의 집합 중 미소한 것이 삭제된다. 그 후, 2개의 2치 화상에 있어서, 서로 대응하는 화소의 값의 논리합을, 같은 위치의 화소의 값으로 하는 화상이 점 결함 화상으로서 생성된다(단계 S2182). 점 결함 화상에서는, 대상 화상에 있어서 값이 배경값(127)으로부 터 충분히 떨어진 화소(정확하게는, 40 이상 떨어진 화소)에 대해 값 1이 부여되고 있다. 점 결함 검출부(263)에서는, 점 결함 화상에 있어서, 라벨링에 의해 서로 연속하는 값 1의 화소의 집합(즉, 폐영역)이 특정되고, 도 22에 나타낸 바와 같이, 면적이 소정 범위내가 되는 폐영역(751, 752, 753)이 점 결함을 나타낸 점 결함 영역(이하, 폐영역(751~753)과 같은 부호를 붙인다.)으로서 검출되고, 다른 폐영역은 점 결함 화상으로부터 삭제된다(단계 S2183). 또한, 이 단계에서는, 점 결함 화상 중의 모든 점 결함 영역(751~753)이 반드시 실제 점 결함(즉, 기판(9) 상에 있어서의 미소한 불요물의 존재나, 레지스트 액의 도포 시의 액적의 의도하지 않은 적하 등에 기인하는 점 결함)을 나타낸 것은 아니다.When two binary images corresponding to the two thresholds are obtained, the shrinkage process is performed on each binary image, and then the expansion process is performed, whereby a minute value among the set of pixels having one value is deleted. Thereafter, in the two binary images, an image in which the logical sum of the values of the pixels corresponding to each other is the value of the pixels at the same position is generated as the point defect image (step S2182). In the point defect image, a value 1 is assigned to a pixel (a pixel precisely 40 or more apart) whose value is sufficiently far from the background value 127 in the target image. In the point defect detection unit 263, in the point defect image, a set (that is, a closed area) of pixels having a value 1 continuous to each other is identified by labeling, and as shown in Fig. 22, the area within the predetermined range is closed. Areas 751, 752, and 753 are detected as point defect areas (hereinafter, denoted by the same reference signs as closed areas 751 to 753) showing point defects, and other closed areas are deleted from the point defect image (step S2183). ). In this step, all of the point defect regions 751 to 753 in the point defect image are necessarily the actual point defects (i.e., the presence of minute undesired matter on the substrate 9, or the droplets upon application of the resist liquid). Point defects due to unintended dropping).

점 결함 영역의 검출 시에는, 줄무늬 얼룩 영역의 검출시에 있어서의 임계값보다 대상 화상의 평균 농도인 배경값으로부터 멀어진 값을 임계값으로 하여 2치 화상이 취득되기 때문에, 점 결함 영역(751~753)은, 통상, 줄무늬 얼룩 영역의 농도보다 배경값과의 차가 큰 농도를 가지고 있다. 실제로는, 점 결함 영역(751~753)의 농도는, 대상 화상의 평균 농도를 중심으로 한 대상 화상에 있어서의 평균적인 농도의 변동 범위(예를 들면, 대상 화상의 화소값의 분포에 있어서, 배경값을 중심으로 하여 통계적으로 50%의 화소가 포함되는 범위)를 넘고 있다.At the time of detection of a point defect area | region, since a binary image is acquired by making into a threshold value the value which moved away from the background value which is an average density of a target image rather than the threshold value at the time of detection of a streak spot area | region, the point defect area | regions 751-- 753) generally has a density that is larger than the background value than that of the striped uneven region. In practice, the density of the point defect areas 751 to 753 is a variation range of the average density in the target image centered on the average density of the target image (for example, in the distribution of pixel values of the target image, The background value is statistically 50% of the pixel) centered on the background).

점 결함 영역이 검출되면, 판정부(266)에서는, 점 결함 화상 중의 하나의 점 결함 영역이 선택된다. 예를 들면, 도 22 중의 점 결함 영역(751)이 선택되었다고 하면, 판정부(266)의 평가값 취득부(2661)에서는 대상 화상 중의 이 점 결함 영역(751)에 대응하는 영역(이하, 마찬가지로 「점 결함 영역」이라 한다.)에 있어서, 화소의 값과 배경값(127)과의 차의 절대값의 평균값이 점 결함 영역(751)에 있어서의 점 결함의 강도에 관한 평가값(A)으로서 구해진다. 기술한 바와 같이, 대상 화상 중의 점 결함 영역(751)의 화소의 값은, 도 21의 단계 S2181에서 2치 화상을 취득할 때에 이용된 임계값 87보다 작기 때문에, 또는, 임계값 167보다 크기 때문에, 평가값 A는 40 이상이 된다. When the point defect area is detected, the determination unit 266 selects one point defect area in the point defect image. For example, if the point defect area 751 in FIG. 22 is selected, the evaluation value acquisition unit 2661 of the determination unit 266 corresponds to an area corresponding to this point defect area 751 in the target image (hereinafter, similarly). The average value of the absolute value of the difference between the pixel value and the background value 127 is an evaluation value (A) regarding the intensity of the point defect in the point defect area 751. Obtained as As described above, since the value of the pixel of the point defect area 751 in the target image is smaller than the threshold value 87 used when the binary image is acquired in step S2181 in FIG. 21, or is larger than the threshold value 167. , Evaluation value A becomes 40 or more.

그러나, 평가값 A는, 대상 화상 중의 점 결함 영역(751)에 포함되는 화소의 값과 대상 화상의 평균 농도와의 차의 절대값의 평균값으로서 구해지기 때문에, 평가값 A의 산출은, 대상 화상 중의 점 결함 영역의 농도와 대상 화상의 평균 농도와의 차를 나타낸 화상에 있어서 점 결함 영역(751)에 대응하는 영역에 포함되는 화소의 값의 평균값을 구하는 것과 등가이다(후술의 평가값 E에 있어서 동일.). 물론, 점 결함의 강도에 관한 평가값 A는, 평균값 이외의 대표값(예를 들면, 중앙값)이어도 된다(후술하는 평가값 B, C, E∼G에 있어서 동일.).However, since evaluation value A is calculated | required as an average value of the absolute value of the difference of the value of the pixel contained in the point defect area | region 751 in a target image, and the average density of a target image, calculation of evaluation value A is a target image. In the image showing the difference between the density of the point defect area and the average density of the target image, it is equivalent to obtaining the average value of the pixels included in the area corresponding to the point defect area 751 (to the evaluation value E described later). In the same.). Of course, the evaluation value A regarding the intensity | strength of a point defect may be representative values (for example, median value) other than an average value (the same in evaluation values B, C, E-G mentioned later.).

이어, 도 20에 나타낸 마스크 화상에 있어서 이 점 결함 영역(751)에 대응하는 영역(도 20 중의 부호 743을 붙이는 2점 쇄선으로 나타낸 영역)의 화소의 값의 평균값이 평가값 B로서 구해진다. 여기에서, 마스크 화상 중의 영역(743)에 포함되는 거의 모든 화소는 줄무늬 얼룩 영역 선분(741)에 대응하는 직사각형의 영역(742)에 포함되기 때문에, 평가값 B는 줄무늬 얼룩 영역 선분(741)이 나타낸 줄무늬 얼룩 결함(즉, 줄무늬 얼룩 영역 선분(741)에 대응하는 줄무늬 얼룩 영역에 있어서의 줄무늬 얼룩 결함)의 강도에 관한 평가값이 된다. 또, 기술한 바와 같이, 마스크 화상은 대상 화상 중의 각 줄무늬 얼룩 영역에 있어서 주위의 영역을 기준 으로 한 줄무늬 얼룩 결함의 강도 분포를 나타낸 화상이기 때문에, 평가값 B는 대상 화상 중의 줄무늬 얼룩 영역의 농도와 줄무늬 얼룩 영역 주위의 영역의 농도와의 차에 의거하는 값으로 되어 있다.Next, in the mask image shown in FIG. 20, the average value of the pixel value of the area | region corresponding to this point defect area | region 751 (the area | region represented by the dashed-dotted line with the code | symbol 743 in FIG. 20) is calculated | required as evaluation value B. FIG. Here, since almost all the pixels included in the area 743 in the mask image are included in the rectangular area 742 corresponding to the striped uneven area line segment 741, the evaluation value B is determined by the striped uneven area line segment 741. It becomes an evaluation value regarding the intensity | strength of the streaked spot defect (namely, the streaked spot defect in the striped spot area corresponding to the striped spot area line segment 741) shown. As described above, since the mask image is an image showing the intensity distribution of the streaked spot defects based on the surrounding area in each of the streaked spot regions in the target image, the evaluation value B is the density of the streaked spot regions in the target image. The value is based on the difference between the density and the density of the area around the striped uneven area.

판정부(266)에서는, 평가값 취득부(2661)에서 점 결함 영역(751)에 대한 대상 화상으로부터의 평가값 A와 마스크 화상으로부터의 평가값 B가 구해지면, 평가값 A와 평가값 B의 비(평가값 A/평가값 B)가 소정의 임계값 이하가 되는지의 여부가 확인된다. 여기에서는, 점 결함 영역(751)에 대한 평가값 A와 평가값 B의 비가 임계값 이하가 되는 것이 확인됨으로써, 점 결함 영역(751)의 점 결함 화상으로부터의 삭제가 필요하다고 판정된다.In the determination unit 266, when the evaluation value A from the target image and the evaluation value B from the mask image for the point defect area 751 are obtained in the evaluation value obtaining unit 2661, the evaluation value A and the evaluation value B are determined. It is confirmed whether or not the ratio (evaluation value A / evaluation value B) falls below a predetermined threshold. Here, by confirming that the ratio of the evaluation value A to the evaluation value B with respect to the point defect area 751 becomes below a threshold value, it is determined that the deletion from the point defect image of the point defect area 751 is necessary.

또, 도 22 중의 점 결함 영역(752)이 선택된 경우에는, 대상 화상 중의 점 결함 영역(752)에 있어서 화소의 값과 배경값(127)과의 차의 절대값의 평균값이 평가값 A로서 구해지고, 도 20에 나타낸 마스크 화상에 있어서 점 결함 영역(752)에 대응하는 영역(도 20에 있어서 부호 744를 붙이는 2점 쇄선으로 나타낸 영역)의 화소의 값의 평균값이 평가값 B로서 구해진다. 또한, 마스크 화상 중의 영역(744)에 포함되는 거의 모든 화소의 값은 0이기 때문에, 점 결함 영역(752)에 대한 평가값(B)은 한없이 0에 가까운 값이 된다. 그리고, 판정부(266)에서는, 점 결함 영역(752)에 대한 평가값 A와 평가값 B의 비가 소정의 임계값보다 커지는 것이 확인됨으로써, 점 결함 영역(752)의 점 결함 화상으로부터의 삭제가 불필요하다고 판정된다.In addition, when the point defect area | region 752 in FIG. 22 is selected, the average value of the absolute value of the difference of the value of a pixel and the background value 127 in the point defect area 752 of a target image is calculated | required as evaluation value A. FIG. In the mask image shown in FIG. 20, the average value of the pixel values of the region corresponding to the point defect region 752 (the region indicated by the dashed-dotted line indicated by the numeral 744 in FIG. 20) is obtained as the evaluation value B. As shown in FIG. In addition, since the value of almost all the pixels contained in the area 744 in the mask image is zero, the evaluation value B for the point defect area 752 is infinitely close to zero. Then, the determination unit 266 confirms that the ratio of the evaluation value A and the evaluation value B with respect to the point defect area 752 becomes larger than a predetermined threshold value, so that the deletion from the point defect image of the point defect area 752 is eliminated. It is determined that it is unnecessary.

이와 같이, 판정부(266)에서는, 점 결함 화상 중의 각 점 결함 영역에 대해, 대상 화상 중의 대응하는 영역의 농도와 대상 화상의 평균 농도와의 차에 의거하는 값인 평가값 A와, 마스크 화상 중의 대응하는 영역의 농도에 의거하는 값인 평가값 B를 비교함으로써, 이 점 결함 영역의 삭제의 필요여부(要否)가 판정된다(단계 S219). 그리고, 삭제가 필요하다고 판정된 점 결함 영역은, 점 결함 화상으로부터 삭제된다(단계 S220).Thus, in the determination part 266, with respect to each point defect area | region in a point defect image, the evaluation value A which is a value based on the difference of the density | concentration of the corresponding area | region in a target image, and the average density of a target image, and in a mask image By comparing the evaluation value B which is a value based on the density | concentration of a corresponding area | region, the necessity of deletion of this point defect area | region is determined (step S219). Then, the point defect area determined to be deleted is deleted from the point defect image (step S220).

실제로는, 도 22 중의 점 결함 영역(752)과 같이, 점 결함 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분과 겹치지 않는 경우에는, 항상 이 점 결함 영역의 점 결함 화상으로부터의 삭제는 불필요하다고 판정된다. 한편, 도 22 중의 점 결함 영역(751)과 같이, 점 결함 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분의 적어도 일부와 겹치는 경우에는, 이 점 결함 영역이 점 결함 화상으로부터의 삭제가 필요로 되는 경우가 있다(도 22 중의 점 결함 영역(751)과 같이 반드시 삭제되는 것은 아니다.). 따라서, 단계 S219에 있어서의 판정부(266)의 처리는, 실질적으로는 점 결함 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분의 적어도 일부와 중복하는 경우에, 점 결함 영역에 있어서의 점 결함의 강도에 관한 평가값 A와, 줄무늬 얼룩 영역 선분이 나타낸 줄무늬 얼룩 결함의 강도에 관한 평가값 B를 비교함으로써 점 결함 영역의 삭제의 필요여부를 판정하는 공정으로 되어 있다. 또한, 이와 같이 점 결함 영역이 삭제되는 것을 고려하면, 점 결함 영역은 점 결함의 후보를 나타내고, 점 결함 검출부(263)는 결함의 후보를 나타낸 영역을 검출하는 결함 후보 검출부라고 파악할 수 있다.In fact, like the point defect area 752 in FIG. 22, when the point defect area does not overlap with the streaked spot area line segment, it is determined that deletion from the point defect image of this point defect area is unnecessary at all times. On the other hand, as in the point defect area 751 in FIG. 22, when the point defect area overlaps at least a part of the streaked spot area line segment, the point defect area may need to be deleted from the point defect image (FIG. It is not necessarily deleted like the point defect area 751 in 22). Therefore, the process of the determination part 266 in step S219 substantially evaluates the value of the intensity | strength of the point defect in a point defect area | region when a point defect area | region overlaps with at least one part of stripe uneven region line segment. By comparing A with the evaluation value B regarding the intensity of the streaked spot defect indicated by the streaked spot region line segment, it is a step of determining whether the point defective area is deleted. In addition, considering that the point defect area is deleted in this manner, the point defect area indicates a candidate for the point defect, and the point defect detection unit 263 can be understood as a defect candidate detection unit for detecting the area indicating the candidate for the defect.

삭제가 필요하다 판정되는 점 결함 영역이 삭제되면, 판정부(266)에서는, 예를 들면, 줄무늬 얼룩 화상 중의 각 줄무늬 얼룩 영역 선분에 대응하는 점 결함 화 상 중의 화소의 값을 참조함으로써, 도 23에 나타낸 바와 같이, 줄무늬 얼룩 영역 선분(741a)(도 23 중에 2점 쇄선으로 나타낸다.)를 포함하는 점 결함 영역(754)이 특정된다. 이어, 특정된 점 결함 영역(754)에 대해 대상 화상 중의 대응하는 영역의 화소의 값의 평균값이 평가값 C로서 구해진다. 그리고, 이 점 결함 영역(754)에 포함되는 줄무늬 얼룩 영역 선분(741a)의 줄무늬 얼룩 최대 강도를 평가값 D로 하여, 평가값 C와 평가값 D와의 비(평가값 C/평가값 D)가 소정의 임계값 이상인 경우에는, 줄무늬 얼룩 영역 선분(741a)의 줄무늬 얼룩 화상으로부터의 삭제가 필요하다고 판정되고, 해당 비가 임계값 미만인 경우에는 줄무늬 얼룩 영역 선분(741a)의 삭제는 불필요로 된다(단계 S221).When the point defect area determined to be deleted is deleted, the determination unit 266 refers to, for example, the value of the pixel in the point defect image corresponding to each of the stripe spot area segments in the stripe spot image, so that FIG. As shown in Fig. 2, a point defect region 754 including a striped uneven region line segment 741a (indicated by a dashed-dotted line in FIG. 23) is specified. Next, with respect to the specified point defect area 754, the average value of the pixel values of the corresponding area in the target image is obtained as the evaluation value C. The ratio of the evaluation value C to the evaluation value D (evaluation value C / evaluation value D) is set to the evaluation value D as the maximum value of the stripes unevenness of the striped uneven area line segment 741a included in the point defect area 754. If it is more than the predetermined threshold value, it is determined that deletion of the striped blot area line segment 741a from the striped blot image is necessary. If the ratio is less than the threshold value, deletion of the striped blot area line segment 741a becomes unnecessary (step). S221).

이때, 단계 S219의 처리에서 삭제가 필요하다고 판정된 점 결함 영역에 대해서는, 이미 점 결함 화상 중에 존재하지 않기 때문에, 만일 해당 점 결함 영역에 포함되어 있던 줄무늬 얼룩 영역 선분이 존재하는 경우라도, 이 줄무늬 얼룩 영역 선분은 특정되지 않는다. 따라서, 단계 S221에 있어서의 판정부(266)의 처리는, 단계 S219에 있어서 점 결함 영역의 삭제가 불필요하다고 판정된 경우에, 이 점 결함 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분을 포함하는지의 여부를 확인하고, 포함하는 경우에 이 줄무늬 얼룩 영역 선분의 삭제의 필요여부를 판정하는 처리로 되어 있다. 그리고, 삭제가 필요로 된 줄무늬 얼룩 영역 선분은 줄무늬 얼룩 화상으로부터 삭제된다(단계 S222). At this time, since the point defect area determined to be deleted in the process of step S219 is not already present in the point defect image, even if there is a streaked spot area line segment included in the point defect area, this stripe is present. Smear area segments are not specified. Therefore, the process of the determination part 266 in step S221 confirms whether this point defect area | region contains the striped uneven region line segment, when it is determined in step S219 that deletion of a point defect area | region is unnecessary. , It is a process of determining whether the stripe uneven region line segment needs to be deleted. Then, the streaked spot area line segment that needs to be deleted is deleted from the streaked spot image (step S222).

불필요한 줄무늬 얼룩 영역 선분이 삭제되면, 평가값 취득부(2661)에 의해 점 결함 화상 중의 점 결함 영역에 대해 정도가 작은(후술의 단계 S230에 있어서의 부분 얼룩 후보 영역의 팽창의 정도보다 작은) 팽창 처리가 실시된다. 이에 의해, 서로 근접하는 점 결함 영역은 결합되어 1개의 클러스터(이하, 마찬가지로 「점 결함 영역」이라 부른다.)가 되고, 고립하고 있는 점 결함 영역은 약간 커진다. 그리고, 팽창 후의 각 점 결함 영역에 대해, 대상 화상 중의 팽창 처리전의 점 결함 영역에 포함되는 화소의 값의 평균값(복수의 점 결함 영역이 결합된 팽창 후의 점 결함 영역에서는, 팽창전의 복수의 점 결함 영역에 포함되는 화소의 값의 평균값)이 이 점 결함 영역의 강도(이하, 「점 결함 강도」라고 한다.)로서 취득된다(단계 S223).When the unnecessary streaked spot area segment is deleted, the evaluation value obtaining unit 2661 expands the degree of the spot defect area in the spot defect image (smaller than the degree of expansion of the partial spot candidate area in step S230 described later). Processing is carried out. As a result, the adjacent point defect regions are combined to form one cluster (hereinafter, also referred to as "point defect region"), and the isolated point defect regions become slightly larger. And for each point defect area | region after expansion, the average value of the value of the pixel contained in the point defect area | region before expansion process in a target image (in the point defect area | region after expansion with which several point defect area | region was combined, several point defect before expansion | expansion) The average value of the values of the pixels included in the area is acquired as the intensity (hereinafter, referred to as "point defect intensity") of this point defect area (step S223).

또, 마스크 화상 생성부(265)에서는, 대상 화상 중의(팽창 후의) 점 결함 영역에 있어서, 각 화소의 값과 배경값(127)과의 차의 절대값을 소정의 계수를 곱하면서 마스크 화상의 대응하는 화소의 값에 가산함으로써, 도 24에 나타낸 바와 같이, 도 20의 마스크 화상이 갱신된다(단계 S224). 이에 의해, 갱신 후의 마스크 화상은, 대상 화상 중의 줄무늬 얼룩 영역에 있어서의 줄무늬 얼룩 결함의 강도 분포를 나타냄과 함께 점 결함 영역의 농도와 대상 화상의 평균 농도와의 차도 나타낸 화상이 된다. 또한, 도 24의 마스크 화상에서는, 상기 처리에서 삭제가 불필요하다고 판정된 도 22 중의 점 결함 영역(752, 753)에 대응하는 영역(744, 745)에 값이 부여되어 있고, 실제로는, 영역(744, 745)은 농담을 가지고 있다.The mask image generating unit 265 also controls the mask image while multiplying the absolute value of the difference between the value of each pixel and the background value 127 by a predetermined coefficient in the point defect area (after expansion) of the target image. By adding to the value of the corresponding pixel, as shown in FIG. 24, the mask image of FIG. 20 is updated (step S224). Thereby, the mask image after updating shows the intensity distribution of the streak spot defect in the streaked spot area | region in a target image, and also becomes an image which shows the difference between the density | concentration of a point defect area | region and the average density of a target image. In the mask image of FIG. 24, values are assigned to regions 744 and 745 corresponding to the point defect regions 752 and 753 in FIG. 22 that are determined to be unnecessary in the above process, and in reality, the region ( 744, 745 have a joke.

이상과 같이, 얼룩 검사장치(1)에서는, 점 결함 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분의 적어도 일부와 중복하는 경우에, 판정부(266)에서 점 결함 영역에 있어서의 점 결함의 강도에 관한 평가값과, 줄무늬 얼룩 영역 선분에 있어서의 줄무늬 얼룩 결함의 강도에 관한 평가값을 비교함으로써, 점 결함 영역의 삭제의 필요여부를 용이하게 판정할 수 있다. 또, 줄무늬 얼룩 결함의 강도에 관한 평가값이, 대상 화상 중의 줄무늬 얼룩 영역의 농도와 줄무늬 얼룩 영역의 주위의 영역의 농도와의 차에 의거하는 값으로 됨으로써, 가로 세로비가 큰 일정 농도의 영역상에 존재하는 줄무늬 얼룩 결함 등이어도, 줄무늬 얼룩 결함의 특징에 따른 평가값을 이용하여 점 결함 영역의 삭제의 필요여부를 정밀도 있게 판정할 수 있다. 또한, 점 결함 영역의 삭제가 불필요하다고 판정되었을 경우에, 점 결함 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분을 포함하는지의 여부를 확인하고, 포함하는 경우에 줄무늬 얼룩 영역 선분의 삭제의 필요여부가 판정됨으로써, 불필요한 줄무늬 얼룩 영역 선분을 적절히 삭제할 수 있다.As described above, in the spot inspection apparatus 1, when the point defect area overlaps at least a part of the streaked spot area line segment, the determination unit 266 evaluates the evaluation value of the intensity of the point defect in the point defect area. By comparing the evaluation values relating to the intensity of the streaked spot defects in the streaked spot region line segments, it is possible to easily determine whether the point defective areas should be deleted. Moreover, the evaluation value regarding the intensity | strength of a streak spot defect is a value based on the difference between the density | concentration of the streak spot area | region in a target image, and the density | concentration of the area | region around the streak spot area | region, and therefore an area | region of the fixed density with a large aspect ratio is shown. Even if the streaked spot defects and the like exist in the above, it is possible to accurately determine whether or not the deletion of the point defect area is necessary using an evaluation value according to the characteristic of the streaked spot defects. In addition, when it is determined that deletion of the point defect area is unnecessary, it is checked whether or not the point defect area includes the streaked spot area line segment, and if it is included, it is determined that the need to delete the streaked spot area line segment is determined. Striped spot area segments can be deleted as appropriate.

다음으로, 얼룩 검사장치(1)에서는, 부분 얼룩 검출부(264)에 있어서 부분 얼룩 결함의 후보를 나타낸 부분 얼룩 후보 영역이 검출된다(단계 S225). 여기에서, 부분 얼룩 결함이란, 일정값 이상의 명암 변동을 가지는 얼룩 결함 중 줄무늬 얼룩 결함을 제외하는 것이다. 부분 얼룩 후보 영역의 검출은, 점 결함 검출부(263)에 있어서의 점 결함 영역의 검출과 동일한 알고리즘으로 행해지기 때문에, 이하, 부분 얼룩 검출부(264)에 있어서의 처리를 도 21에 준하여 설명한다. Next, in the spot inspection apparatus 1, the partial spot detection part 264 detects the partial spot candidate area | region which showed the candidate of a partial spot defect (step S225). Here, partial spot defects exclude stripe spot defects among spot defects having a variation in contrast or more than a predetermined value. Since the detection of the partial spot candidate area is performed by the same algorithm as the detection of the point defect area in the point defect detection unit 263, the processing in the partial spot detection unit 264 will be described below with reference to FIG. 21.

부분 얼룩 검출부(264)에서는, 우선, 배경값(127)보다 크면서 127에 가까운 값 132을 임계값으로 하여, 대상 화상에 있어서 값이 132 이상의 화소에 「1」을 부여하고, 132보다 작은 화소에 「0」을 부여함으로써, 1개의 2치 화상이 취득된다. 이어, 배경값 127보다 작으면서 127에 가까운 값 122를 임계값으로 하여, 대상 화상에 있어서 값이 122 이하의 화소에 「1」을 부여하고, 122보다 큰 화소에 「0」을 부여함으로써, 다른 하나의 2치 화상이 취득된다(단계 S2181). In the partial spot detection unit 264, first, a value 132 close to 127 which is larger than the background value 127 is set as a threshold value, and a value of "132" is given to a pixel having a value of 132 or more in the target image, and a pixel smaller than 132 is obtained. By giving "0" to, one binary image is obtained. Subsequently, by setting the value 122 close to 127 but smaller than the background value 127 as a threshold value, "1" is assigned to pixels having a value of 122 or less in the target image, and "0" is assigned to a pixel larger than 122, One binary image is acquired (step S2181).

2개의 임계값에 각각 대응하는 2개의 2치 화상이 취득되면, 각 2치 화상에 대해 수축 처리를 실시한 후, 팽창 처리를 실시함으로써, 값이 1의 화소의 집합 중 미소한 것이 삭제된다. 그 후, 2개 2치 화상에 있어서, 서로 대응하는 화소의 값의 논리합을, 같은 위치의 화소의 값으로 하는 화상이 부분 얼룩 후보 화상으로서 생성된다(단계 S2182).When two binary images corresponding to the two thresholds are obtained, the shrinkage process is performed on each binary image, and then the expansion process is performed, whereby a minute value among the set of pixels having one value is deleted. Then, in the two binary images, an image in which the logical sum of the values of the pixels corresponding to each other is the value of the pixels at the same position is generated as the partial spot candidate image (step S2182).

도 25는, 부분 얼룩 후보 화상의 일부를 나타낸 도면이다. 부분 얼룩 후보 화상에서는, 대상 화상에 있어서 값이 배경값 127로부터 일정값(본 실시형태에서는 5) 이상 떨어진 화소에 대해 값 1이 부여되고 있다. 부분 얼룩 검출부(264)에서는, 부분 얼룩 후보 화상에 있어서, 라벨링에 의해 서로 연속하는 값 1의 화소의 집합(즉, 폐영역)이, 부분 얼룩 결함의 후보를 나타낸 부분 얼룩 후보 영역으로서 검출된다(단계 S2183). 도 25에서는, 3개의 부분 얼룩 후보 영역에 부호 761, 762, 763을 각각 부여하고 있다. 이상과 같이, 부분 얼룩 검출부(264)는, 대상 화상에 있어서 줄무늬 얼룩 결함 및 점 결함 이외의 다른 결함의 후보를 나타낸 결함 후보 영역을 검출하는 결함 후보 검출부로 되어 있다.25 is a diagram illustrating a part of the partial spot candidate image. In the partial unevenness candidate image, a value 1 is assigned to a pixel whose value is more than a fixed value (5 in the present embodiment) from the background value 127 in the target image. In the partial spot candidate image, in the partial spot candidate image, a set (that is, a closed area) of pixels having a value 1 continuous to each other by labeling is detected as a partial spot candidate area indicating a candidate for partial spot defects ( Step S2183). In FIG. 25, reference numerals 761, 762, and 763 are assigned to the three partial spot candidate regions, respectively. As described above, the partial spot detection unit 264 is a defect candidate detection unit that detects a defect candidate area indicating candidates of defects other than streak spot defects and point defects in the target image.

부분 얼룩 후보 영역이 검출되면, 판정부(266)에서는, 부분 얼룩 후보 화상 중의 하나의 부분 얼룩 후보 영역이 선택된다. 예를 들어, 도 25 중의 부분 얼룩 후보 영역(761)이 선택되었다고 하면, 평가값 취득부(2661)에서는 대상 화상 중의 부분 얼룩 후보 영역(761)에 대응하는 영역(이하, 마찬가지로 「부분 얼룩 후보 영 역」이라고 한다.)에 있어서 화소의 값과 배경값(127)과의 차의 절대값의 평균값이 부분 얼룩 후보 영역에 있어서의 부분 얼룩 결함의 강도에 관한 평가값 E로서 구해진다.When the partial spot candidate area is detected, the determination unit 266 selects one partial spot candidate area among the partial spot candidate images. For example, if the partial spot candidate area 761 in FIG. 25 is selected, the evaluation value obtaining unit 2661 corresponds to the area corresponding to the partial spot candidate area 761 in the target image (hereinafter, similarly referred to as "partial spot candidate zero"). The average value of the absolute value of the difference between the pixel value and the background value 127 is obtained as an evaluation value E regarding the intensity of the partial spot defect in the partial spot candidate region.

이어서, 도 26에 나타낸 마스크 화상에 있어서 이 부분 얼룩 후보 영역(761)에 대응하는 영역(도 26 중의 농담을 가지는 영역(771)에 거의 겹치는 영역)의 화소의 값의 평균값이 평가값 F로서 구해진다. 여기에서, 부분 얼룩 후보 영역(761)에 대응하는 마스크 화상 중의 영역은 농담을 가지는 영역(771)에 거의 겹쳐 있고, 영역(771)은 기술한 마스크 화상의 갱신시에 점 결함 영역에 유래하여 값이 부여된 영역이기 때문에, 평가값 F는 점 결함 영역에 있어서의 점 결함의 강도에 관한 평가값이 된다. 평가값 취득부(2661)에서 부분 얼룩 후보 영역(761)에 대한 대상 화상으로부터의 평가값 E와 마스크 화상으로부터의 평가값 F가 구해지면, 판정부(266)에서는, 평가값 E와 평가값 F와의 비(평가값 E/평가값 F)가 소정의 임계값 이하인지의 여부가 판정된다. 여기에서는, 해당 비가 임계값 이하가 되는 것이 확인됨으로써, 부분 얼룩 후보 영역(761)의 부분 얼룩 후보 화상으로부터의 삭제가 필요하다고 판정된다. Subsequently, in the mask image shown in FIG. 26, the average value of the pixel values of the region corresponding to this partial spot candidate region 761 (the region almost overlapping with the shade 777 in FIG. 26) is determined as the evaluation value F. In the mask image shown in FIG. Become. Here, the area in the mask image corresponding to the partial spot candidate area 761 almost overlaps with the shaded area 771, and the area 771 is derived from the point defect area at the time of updating the mask image described above. Since it is this provided area | region, the evaluation value F becomes an evaluation value regarding the intensity | strength of the point defect in a point defect area | region. When the evaluation value E from the target image for the partial spot candidate area 761 and the evaluation value F from the mask image are obtained by the evaluation value obtaining unit 2661, the evaluation unit 266 evaluates the evaluation value E and the evaluation value F. It is determined whether or not the ratio (evaluation value E / evaluation value F) is equal to or less than a predetermined threshold value. Here, by confirming that the ratio becomes less than or equal to the threshold value, it is determined that the deletion from the partial spot candidate image of the partial spot candidate area 761 is necessary.

또, 도 25 중의 부분 얼룩 후보 영역(762)이 선택된 경우에는, 대상 화상으로부터 평가값 E가 구해진 후, 도 26에 나타낸 마스크 화상에 있어서 이 부분 얼룩 후보 영역(762)에 대응하는 영역(도 26 중의 농담을 가지는 영역(772)에 거의 겹치는 영역)의 화소의 값의 평균값이 평가값 F로서 구해진다. 이때, 영역(772)은 도 26 중에 일점 쇄선으로 나타낸 줄무늬 얼룩 영역 선분(772a)에 유래하여 값이 부여 된 영역이기 때문에, 평가값 F는 줄무늬 얼룩 영역 선분(772a)이 나타낸 줄무늬 얼룩 결함의 강도에 관한 평가값이 된다. 그리고, 판정부(266)에서 평가값 E와 평가값 F와의 비가 소정의 임계값 이하가 되는 것이 확인됨으로써, 부분 얼룩 후보 영역(762)의 부분 얼룩 후보 화상으로부터의 삭제가 필요하다고 판정된다. In addition, when the partial unevenness candidate area 762 in FIG. 25 is selected, after evaluation value E is calculated | required from a target image, the area | region corresponding to this partial unevenness candidate area 762 in FIG. 26 (FIG. 26). The average value of the value of the pixel of the area | region which overlaps with the area | region 772 which has the light and dark shades of the inside of the inside of an image is calculated | required as evaluation value F. FIG. At this time, since the region 772 is a region assigned a value derived from the striped speckle region segment 772a indicated by a dashed-dotted line in FIG. 26, the evaluation value F is the intensity of the striped speckle defect indicated by the striped speckle region segment 772a. It is an evaluation value about. And it is determined by the determination part 266 that the ratio of the evaluation value E and the evaluation value F becomes below a predetermined threshold value, and it is determined that deletion from the partial spot candidate image of the partial spot candidate area 762 is necessary.

한편, 도 25 중의 부분 얼룩 후보 영역(763)이 선택된 경우에는, 대상 화상 중의 부분 얼룩 후보 영역(763)에 있어서 화소의 값과 배경값(127)과의 차의 절대값의 평균값이 평가값 E로서 구해지고, 도 26에 나타낸 마스크 화상에 있어서 부분 얼룩 후보 영역(763)에 대응하는 영역(도 26에 있어서 부호 773을 붙이는 2점 쇄선으로 나타낸 영역)의 화소의 값의 평균값이 평가값 F로서 구해진다. 마스크 화상 중의 영역(773)에 포함되는 거의 모든 화소의 값은 0이기 때문에, 부분 얼룩 후보 영역(763)에 대한 평가값 F는 한없이 0에 가까운 값이 된다. 그리고, 부분 얼룩 후보 영역(763)에 대한 평가값 E와 평가값 F와의 비가 소정의 임계값보다 커지는 것이 확인됨으로써, 부분 얼룩 후보 영역(763)의 점 결함 화상으로부터의 삭제가 불필요하다고 판정된다.On the other hand, when the partial spot candidate area 763 in Fig. 25 is selected, the average value of the absolute value of the difference between the pixel value and the background value 127 in the partial spot candidate area 763 in the target image is the evaluation value E. In the mask image shown in FIG. 26, the average value of the pixels in the region corresponding to the partial unevenness candidate region 763 (indicated by the dashed-dotted line denoted by the reference numeral 773 in FIG. 26) is an evaluation value F. FIG. Is saved. Since the value of almost all the pixels included in the area 773 in the mask image is zero, the evaluation value F for the partial spot candidate area 763 is infinitely close to zero. Then, it is confirmed that the ratio between the evaluation value E and the evaluation value F with respect to the partial spot candidate area 763 is larger than a predetermined threshold value, so that it is determined that the deletion from the point defect image of the partial spot candidate area 763 is unnecessary.

이와 같이, 판정부(266)에서는, 부분 얼룩 후보 화상 중의 각 부분 얼룩 후보 영역에 대해, 대상 화상 중의 대응하는 영역의 농도와 대상 화상의 평균 농도와의 차에 의거하는 값인 평가값 E와, 마스크 화상 중의 대응하는 영역의 농도에 의거하는 값인 평가값 F를 비교함으로써, 이 부분 얼룩 후보 영역의 삭제의 필요여부가 판정된다(단계 S226). 그리고, 삭제가 필요하다고 판정된 부분 얼룩 후보 영역은 부분 얼룩 후보 화상으로부터 삭제된다(단계 S227). 도 25에 나타낸 부분 얼룩 후보 화상에서는, 부분 얼룩 후보 영역(763)만이 남고, 이 부분 얼룩 후보 영역(763)은 실제 부분 얼룩 결함을 나타낸 것이 된다(후술의 도 28 참조).Thus, in the determination part 266, with respect to each partial spot candidate area in a partial spot candidate image, the evaluation value E which is a value based on the difference of the density | concentration of the corresponding area | region in a target image, and the average density of a target image, and a mask, By comparing the evaluation value F which is a value based on the density | concentration of the corresponding area | region in an image, it is determined whether the deletion of this partial unevenness candidate area | region is needed (step S226). Then, the partial spot candidate area determined to be deleted is deleted from the partial spot candidate image (step S227). In the partial spot candidate image shown in FIG. 25, only the partial spot candidate area 763 remains, and this partial spot candidate area 763 indicates an actual partial spot defect (see FIG. 28 described later).

실제로는, 도 25 중의 부분 얼룩 후보 영역(763)과 같이, 부분 얼룩 후보 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분 및 점 결함 영역의 어느 것과도 겹치지 않는 경우에는, 항상 이 부분 얼룩 후보 영역(763)의 부분 얼룩 후보 화상으로부터의 삭제는 불필요하다고 판정된다. 한편, 도 25 중의 부분 얼룩 후보 영역(761, 762)와 같이, 부분 얼룩 후보 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분 또는 점 결함 영역의 적어도 일부와 겹치는 경우에, 이 부분 얼룩 후보 영역이 부분 얼룩 후보 화상으로부터의 삭제가 필요로 되는 경우가 있다(도 25 중의 부분 얼룩 후보 영역(761, 762)과 같이 삭제된다고는 할 수 없다.). 따라서, 단계 S226에 있어서의 판정부(266)의 처리는, 실질적으로는 부분 얼룩 후보 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분 또는 점 결함 영역의 적어도 일부와 중복하는 경우에, 부분 얼룩 후보 영역에 있어서의 부분 얼룩 결함의 강도에 관한 평가값 E와, 줄무늬 얼룩 영역 선분 또는 점 결함 영역에 있어서의 줄무늬 얼룩 결함 또는 점 결함의 강도에 관한 평가값 F를 비교함으로써 부분 얼룩 후보 영역의 삭제의 필요여부를 판정하는 공정으로 되어 있다. 단계 S227의 처리 후의 부분 얼룩 후보 화상 중의 부분 얼룩 후보 영역은 실제 부분 얼룩 결함을 나타내기 때문에, 이하의 설명에서는, 적절히, 부분 얼룩 후보 영역을 동일한 부호를 붙이면서 부분 얼룩 영역이라 부르고, 부분 얼룩 후보 화상을 부분 얼룩 화상이라 부른다.In fact, as in the partial spot candidate area 763 in FIG. 25, when the partial spot candidate area does not overlap with any of the striped spot area segment and the point defect area, it is always partial spot in the partial spot candidate area 763. Deletion from the candidate image is determined to be unnecessary. On the other hand, like the partial spot candidate areas 761 and 762 in FIG. 25, when the partial spot candidate areas overlap at least part of the striped spot area segments or the point defect areas, the partial spot candidate areas are separated from the partial spot candidate images. There is a case where deletion is required (it is not necessarily deleted like the partial spot candidate areas 761 and 762 in FIG. 25). Therefore, the processing of the determination unit 266 in step S226 substantially eliminates partial spots in the partial spot candidate area when the partial spot candidate area overlaps at least a part of the striped spot area segment or the point defect area. A process of determining whether the deletion of the partial spot candidate region is necessary by comparing the evaluation value E regarding the intensity of the defect with the evaluation value F regarding the intensity of the streaked spot defect or the spot defect in the striped spot area segment or the spot defect area. It is. Since the partial spot candidate area in the partial spot candidate image after the process of step S227 represents the actual partial spot defect, in the following description, the partial spot candidate area is appropriately referred to as a partial spot area with the same reference numerals, and the partial spot candidate image is described below. This is called a partial stain image.

불필요한 부분 얼룩 후보 영역이 삭제되면, 판정부(266)에서는, 예를 들면, 줄무늬 얼룩 화상 중의 각 줄무늬 얼룩 영역 선분에 대응하는 부분 얼룩 후보 화상 중의 화소의 값을 참조함으로써, 도 27에 나타낸 바와 같이, 줄무늬 얼룩 영역 선분(741b)(도 27 중에 2점 쇄선으로 나타낸다.)을 포함하는 부분 얼룩 영역(764)이 특정된다. 이어, 특정된 부분 얼룩 영역(764)에 대해 대상 화상 중의 대응하는 영역의 화소의 값의 평균값이 평가값 G로서 구해진다. 그리고, 이 부분 얼룩 영역(764)에 포함되는 줄무늬 얼룩 영역 선분(741b)의 줄무늬 얼룩 최대 강도를 평가값 H로 하여, 평가값 G와 평가값 H와의 비(평가값 G/평가값 H)가 소정의 임계값 이상인 경우에는, 줄무늬 얼룩 영역 선분(741b)의 줄무늬 얼룩 화상으로부터의 삭제가 필요하다고 판정되고, 해당 비가 임계값 미만인 경우에는 줄무늬 얼룩 영역 선분(741b)의 삭제는 불필요로 된다(단계 S228).When the unnecessary partial unevenness candidate area is deleted, the determination unit 266 refers to, for example, the value of the pixel in the partial unevenness candidate image corresponding to each striped unevenness area segment in the striped unevenness image, as shown in FIG. 27. The partial spot area 764 including the striped spot area line segment 741b (indicated by a dashed-dotted line in FIG. 27) is specified. Next, with respect to the specified partial uneven area 764, an average value of the values of pixels of the corresponding area in the target image is obtained as the evaluation value G. The ratio of the evaluation value G to the evaluation value H (evaluation value G / evaluation value H) is set to the evaluation value H as the maximum value of the stripes unevenness of the striped uneven area line 741b included in the partial uneven area 764. If it is more than a predetermined threshold value, it is determined that deletion of the striped blot area line segment 741b from the striped blot image is necessary. If the ratio is less than the threshold value, the deletion of the striped blot area line segment 741b becomes unnecessary (step). S228).

이때, 단계 S226의 처리에서 삭제가 필요하다고 판정된 부분 얼룩 후보 영역에 대해서는, 이미 부분 얼룩(후보) 화상 중에 존재하지 않기 때문에, 만일 해당 부분 얼룩 후보 영역에 포함되어 있던 줄무늬 얼룩 영역 선분이 존재하는 경우라도, 이 줄무늬 얼룩 영역 선분은 특정되지 않는다. 따라서, 단계 S228에 있어서의 판정부(266)의 처리는, 단계 S226에 있어서 부분 얼룩 후보 영역의 삭제가 불요하다고 판정된 경우에, 이 부분 얼룩 후보 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분을 포함하는지의 여부를 확인하고, 포함하는 경우에 이 줄무늬 얼룩 영역 선분의 삭제의 필요여부를 판정하는 처리로 되어 있다.At this time, since the partial spot candidate area determined to be deleted in the process of step S226 does not already exist in the partial spot (candidate) image, if the striped spot area segment included in the partial spot candidate area exists, Even in this case, this striped spot area segment is not specified. Therefore, the processing of the determination unit 266 in step S228 determines whether or not the partial spot candidate area contains the striped spot area line segment when it is determined in step S226 that deletion of the partial spot candidate area is unnecessary. In the case of confirmation and inclusion, it is a process of determining whether or not the stripe uneven region line segment needs to be deleted.

또, 점 결함 영역을 포함하는 부분 얼룩 영역도 동일하게 하여 특정되고, 부분 얼룩 영역에 대해 대상 화상 중의 대응하는 영역의 화소의 값의 평균값이 평가 값 G로서 구해진다. 그리고, 이 부분 얼룩 영역에 포함되는 점 결함 영역의 점 결함 강도를 평가값 H로 하여, 평가값 G와 평가값 H와의 비가 소정의 임계값 이상인 경우에는, 점 결함 영역의 점 결함 화상으로부터의 삭제가 필요하다고 판정되고, 해당 비가 임계값 미만인 경우에는 점 결함 영역의 삭제는 불필요로 된다(단계 S228). 그리고, 삭제가 필요로 된 줄무늬 얼룩 영역 선분 또는 점 결함 영역은 줄무늬 얼룩 화상 또는 점 결함 화상으로부터 삭제된다(단계 S229). Moreover, the partial spot area | region containing a point defect area | region is also specified similarly, and the average value of the value of the pixel of the corresponding area | region in a target image is calculated | required as the evaluation value G with respect to a partial spot area | region. And when the point defect intensity of the point defect area | region contained in this partial uneven area | region is made into the evaluation value H, and the ratio of evaluation value G and evaluation value H is more than a predetermined threshold value, it removes from a point defect image of a point defect area. Is determined to be necessary, and if the ratio is less than the threshold value, the deletion of the point defect area is unnecessary (step S228). Then, the stripe blot area line segment or dot defect area that needs to be deleted is deleted from the stripe blot image or the dot defect image (step S229).

불필요한 점 결함 영역 및 줄무늬 얼룩 영역 선분의 삭제가 종료하면, 부분 얼룩 화상에 있어서 부분 얼룩 영역에 대해 정도가 큰(상술의 단계 S223에 있어서의 점 결함 영역의 팽창의 정도보다 큰) 팽창 처리가 실시된다. 이에 의해, 서로 인접하는 부분 얼룩 영역은 결합되어 하나의 클러스터(이하, 마찬가지로 「부분 얼룩 영역」이라 부른다.)가 되고, 도 28에 나타낸 바와 같이 고립하는 부분 얼룩 영역(763)은, 그 면적이 커진다(단, 도 28에서는 팽창 처리 후의 부분 얼룩 영역(763a)을 파선으로 나타내고, 단계 S227에서 삭제된 부분 얼룩 후보 영역을 2점 쇄선으로 나타내고 있다.). 그리고, 각 부분 얼룩 영역(763a)에 대해, 대상 화상 중의 팽창 처리전의 부분 얼룩 영역에 포함되는 화소의 값의 평균값(복수의 부분 얼룩 영역이 결합된 팽창 후의 부분 얼룩 영역에서는, 팽창전의 복수의 부분 얼룩 영역에 포함되는 화소의 값의 평균값)이 이 부분 얼룩 영역의 강도(이하, 「부분 얼룩 결함 강도」라 한다.)로서 취득된다(단계 S230).When the deletion of the unnecessary spot defect area and the stripe uneven area line segment is completed, an expansion process is performed with a larger degree (more than the degree of expansion of the point defect area in step S223 described above) in the partial uneven image. do. As a result, the partial spot areas adjacent to each other are joined to form a cluster (hereinafter, also referred to as a "part spot area"). As shown in FIG. 28, the isolated partial spot areas 763 have an area of the same. (However, in FIG. 28, the partial unevenness area 763a after the expansion process is indicated by a broken line, and the partial unevenness candidate area deleted in step S227 is indicated by a dashed-dotted line). And for each partial spot area 763a, the average value of the pixel included in the partial spot area before the expansion process in the target image (in the partial spot area after expansion in which a plurality of partial spot areas are combined, the plurality of parts before expansion The average value of the values of the pixels included in the spot area is acquired as the intensity of the partial spot area (hereinafter referred to as " partial spot defect intensity ") (step S230).

얼룩 검사장치(1)에서는, 필요에 따라 줄무늬 얼룩 영역 선분, 점 결함 영역 및 부분 얼룩 영역의 각각 대해, 취득되는 강도(즉, 줄무늬 얼룩 최대 강도, 점 결 함 강도 또는 부분 얼룩 결함 강도) 및 영역의 면적(줄무늬 얼룩 결함의 경우에는, 줄무늬 얼룩 영역 선분에 대응하는 줄무늬 얼룩 영역의 면적 또는 줄무늬 얼룩 영역 선분의 길이)을, 결함의 종별마다 다른 소정의 강도 임계값 및 면적 임계값(길이 임계값)과 각각 비교함으로써, 해당 영역이 나타낸 결함이 허용되는지의 여부의 판정이 행해진다. 또, 줄무늬 얼룩 영역 선분, 점 결함 영역 및 부분 얼룩 영역의 각각에 대해, 소정의 강도 범위에 속하는 것, 또는, 소정의 면적 범위(길이 범위)에 속하는 것만의 존재 위치가, 예를 들면, 그 강도 또는 면적에 따른 색의 선을 이용하는 등 하여, 강도 또는 면적이 특정 가능하게 디스플레이(55)에 표시되어도 된다. 이 경우에, 조작자가 디스플레이(55)에 표시되는 결함 영역을 확인하여, 허락 여부의 판정시의 강도 임계값 또는 면적 임계값을 입력부(56)를 통해 입력하는 것도 가능하다.In the spot inspection apparatus 1, for each of the stripe spot area segment, point defect area and partial spot area as necessary, the acquired intensity (i.e., the band spot maximum intensity, spot defect intensity or partial spot defect intensity) and the area. A predetermined intensity threshold and an area threshold (length threshold value) different from the area (in the case of the striped spot defect, the area of the striped spot area or the length of the striped spot area segment corresponding to the striped spot area line segment) for each type of the defect ), The determination is made as to whether or not the defect indicated by the region is allowed. Moreover, for each of the stripe uneven region line segment, the point defect area, and the partial uneven area, the existence position of only one belonging to a predetermined intensity range or belonging to a predetermined area range (length range) is, for example, The intensity or area may be displayed on the display 55 so that the intensity or area can be specified, for example, by using a line of color corresponding to the intensity or area. In this case, it is also possible for the operator to check the defect area displayed on the display 55 and input the intensity threshold or the area threshold at the time of the determination of permission through the input part 56.

이상에 설명한 바와 같이, 얼룩 검사장치(1)에서는, 부분 얼룩 후보 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분 또는 점 결함 영역의 적어도 일부와 중복하는 경우에, 판정부(266)에서 부분 얼룩 후보 영역에 있어서의 부분 얼룩 결함의 강도에 관한 평가값과, 줄무늬 얼룩 영역 선분에 있어서의 줄무늬 얼룩 결함의 강도에 관한 평가값, 또는, 점 결함 영역에 있어서의 점 결함의 강도에 관한 평가값이 비교된다. 이에 의해, 부분 얼룩 후보 영역의 삭제의 필요여부를 용이하게 판정할 수 있고, 그 결과, 줄무늬 얼룩 영역 선분, 점 결함 영역 및 부분 얼룩(후보) 영역을 적확하게 검출할 수 있다. As described above, in the spot inspection apparatus 1, when the partial spot candidate region overlaps at least a part of the striped spot area segment or point defect area, the part in the partial spot candidate region in the determination unit 266. The evaluation value regarding the intensity | strength of a spot defect is compared with the evaluation value regarding the intensity | strength of the stripe spot defect in the stripe spot area | region segment, or the evaluation value about the intensity of the point defect in a point defect area | region. As a result, it is possible to easily determine whether or not deletion of the partial unevenness candidate area is possible, and as a result, the streaked unevenness area line, the point defect area and the partial unevenness (candidate) area can be detected accurately.

여기에서, 만일 도 25 중의 복수의 부분 얼룩 후보 영역(761∼763)의 전부가 삭제되는 일 없이 단계 S230에 있어서의 팽창 처리가 실시된 경우에는, 도 29 중에서 부호 763b를 붙이는 파선으로 나타낸 바와 같이, 줄무늬 얼룩 결함 또는 점 결함을 나타낸 부분 얼룩 후보 영역(761, 762)도 최종적인 부분 얼룩 결함을 나타낸 영역에 포함되어 버린다. 이에 대해, 본 실시형태에 있어서의 얼룩 검사장치(1)에서는, 복수의 부분 얼룩 후보 영역 중, 줄무늬 얼룩 결함 또는 점 결함으로서의 강도가 부분 얼룩 결함으로서의 강도보다 강한 것이 삭제됨으로써, 부분 얼룩 결함을 나타낸 영역을 정밀도 있게 취득하는 것이 실현된다.Here, if the expansion processing in step S230 is performed without deleting all of the plurality of partial spot candidate areas 761 to 763 in FIG. 25, as indicated by the broken line denoted by 763b in FIG. In addition, partial spot candidate areas 761 and 762 showing streaked spot defects or spot defects are also included in the areas showing final partial spot defects. In contrast, in the spot inspection apparatus 1 according to the present embodiment, among the plurality of spot spots, the spot spot defects or the spot spot defects having stronger strengths than the spot spot defects are deleted, thereby indicating partial spot defects. Acquiring the area with precision is realized.

또, 판정부(266)에서는, 부분 얼룩 후보 영역의 삭제의 필요여부를 판정할 때에, 부분 얼룩 후보 영역에 관한 평가값이, 실질적으로 대상 화상 중의 부분 얼룩 후보 영역의 농도와 대상 화상의 평균 농도와의 차를 나타낸 화상에 있어서 부분 얼룩 후보 영역에 대응하는 영역에 포함되는 화소의 값의 대표값으로서 구해지고, 줄무늬 얼룩 영역 선분 또는 점 결함 영역에 관한 평가값이, 대상 화상 중의 줄무늬 얼룩 영역에 있어서의 줄무늬 얼룩 결함의 강도 분포를 나타냄과 함께 점 결함 영역의 농도와 대상 화상의 평균 농도와의 차도 나타낸 화상에 있어서 부분 얼룩 후보 영역에 대응하는 영역에 포함되는 화소의 값의 대표값으로서 구해진다. 이와 같이, 부분 얼룩 후보 영역의 삭제의 필요여부의 판정시에, 부분 얼룩 결함의 농도 및 줄무늬 얼룩 결함 또는 점 결함의 농도를 나타낸 2의 화상에 있어서, 부분 얼룩 후보 영역에 대응하는 영역으로부터 각각 인도되는 2개의 평가값이 이용됨으로써, 부분 얼룩 후보 영역의 삭제의 필요여부를 적절히 판정할 수 있다.When the determination unit 266 determines whether or not the partial spot candidate area is deleted, the evaluation value for the partial spot candidate area is substantially the density of the partial spot candidate area in the target image and the average density of the target image. In the image showing the difference between the two and the uneven color candidate area, the value of the pixel included in the area corresponding to the partial unevenness candidate area is obtained. In the image showing the intensity distribution of the streaked spot defects in the graph, the difference between the density of the point defect area and the average density of the target image is also obtained as a representative value of the value of the pixel included in the region corresponding to the partial spot candidate area. . As described above, when determining whether the partial spot candidate area is required to be deleted, in the 2 image showing the density of the partial spot defects and the density of the streaked spot defects or the dot defects, the respective images are delivered from the areas corresponding to the partial spot candidate areas. By using two evaluation values, it is possible to appropriately determine whether or not deletion of the partial spot candidate region is necessary.

또한, 얼룩 검사장치(1)에서는, 부분 얼룩 후보 영역의 삭제가 불필요하다고 판정된 경우에, 부분 얼룩 후보 영역이 줄무늬 얼룩 영역 선분 또는 점 결함 영역을 포함하는지의 여부를 확인하고, 포함하는 경우에 줄무늬 얼룩 영역 선분 또는 점 결함 영역의 삭제의 필요여부가 판정됨으로써, 불필요한 줄무늬 얼룩 영역 선분 또는 점 결함 영역을 적절히 삭제할 수 있다. 이에 의해, 줄무늬 얼룩 영역 선분, 점 결함 영역 및 부분 얼룩 영역을 정밀도 있게 특정하면서 각 결함의 강도를 취득할 수 있고, 그 결과, 결함의 허락 여부의 판정을 고정밀도로 행하는 것이 실현된다. 또, 서로 다른 요인에 의해 발생한다고 생각되는 줄무늬 얼룩 결함, 점 결함 및 부분 얼룩 결함의 발생 원인을 효율적으로 특정하는 것이 실현되고, 제조 프로세스나 형성하는 패턴을 개선하는 것이 가능해진다.Further, in the spot inspection apparatus 1, when it is determined that the deletion of the partial spot candidate area is unnecessary, it is checked whether or not the partial spot candidate area includes a streaked spot area line segment or a point defect area and is included. By determining whether the deletion of the striped uneven region line segment or the point defect region is necessary, the unnecessary striped uneven region segment or the point defective region can be appropriately deleted. Thereby, the intensity | strength of each defect can be acquired, pinpointing stripe uneven region line segment, point defect area | region, and partial uneven area | region, and as a result, it is implement | achieved to judge with high precision whether to permit a defect. In addition, it is possible to efficiently identify the causes of the generation of streaked spot defects, spot defects, and partial spot defects that are thought to be caused by different factors, and it is possible to improve the manufacturing process and the pattern to be formed.

이상, 본 발명의 실시형태에 대해 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것이 아니라, 여러가지 변형이 가능하다.As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, A various deformation | transformation is possible.

제1 실시형태에 있어서, 도 1의 얼룩 검사장치(1)에서는, 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)에 있어서 줄무늬 얼룩 요소 영역이 줄무늬 얼룩 요소 선분으로 특정되는 일 없이 줄무늬 얼룩 검사가 행해져도 된다. 이 경우, 줄무늬 얼룩 요소 영역의 특정시에, 줄무늬 영역 갱신부(632)에서는 각 2치 화상에 있어서, 길이방향이 동일하고, 길이방향에 배열되고, 또한, 서로 근접하는 복수의 줄무늬 영역이 1개의 줄무늬 영역으로 갱신되고, 영역 그룹 취득부(633)에서는, 임계값이 인접하는 2개의 2치 화상에 있어서 서로 겹치는 줄무늬 영역을 동일한 영역 그룹에 포함시키는 그룹화에 의해 각각이 줄무늬 얼룩 요소를 나타낸 영역 그룹이 구해진다. 여기에서, 줄무늬 얼룩 요소 영역은 영역 그룹에 포함되는 복수의 줄무늬 영역 중 길이방향의 길이가 최장의 것으로 되기 때문에, 상기 줄무늬 영역 갱신부(632)에 있어서의 처리는, 실질적으로는, 2치 화상에 있어서 하나의 직사각형 표시 영역 중에 특정되는 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 길이방향이 동일하고, 길이방향에 배열되고, 또한, 서로 근접하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하여, 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 한개의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로 갱신하는 처리에 상당한다. 또, 줄무늬 얼룩 검출부(64)에서는, 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 길이방향이 동일하고, 길이방향에 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 표시 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 처리가 행해지고, 표시 제어부(65)에서는, 검출된 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 연결한 연결 영역이 생성되고, 연결 영역의 에지를 나타낸 선으로 연결 영역의 존재 위치가 대상 화상에 겹쳐 디스플레이(55)에 표시된다. 단, 복수의 직사각형 표시 영역에 걸쳐 신장되는 줄무늬 얼룩을 보다 용이하게 검출한다고 하는 관점에서는, 줄무늬 얼룩 요소 특정부(63)에 있어서 줄무늬 얼룩 요소 영역이 해당 영역을 대표하는 줄무늬 얼룩 요소 선분으로 특정되고, 줄무늬 얼룩 검출부(64) 및 표시 제어부(65)에 있어서, 줄무늬 얼룩 요소 선분이, 대응하는 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 다루어져 처리의 간소화가 도모되는 것이 바람직하다.In the spot inspection apparatus 1 of FIG. 1, the stripe spot inspection may be performed in the stripe spot element specifying unit 63 without specifying the stripe spot element region as the stripe spot element line segment. In this case, at the time of specifying the streaked spot element area, the stripe area updating unit 632 has a plurality of striped areas having the same longitudinal direction, arranged in the longitudinal direction, and adjacent to each other in each binary image. Area region acquisition unit 633, in which two stripes are adjacent to each other in the same region group by grouping the stripes region overlapping each other in the two binary images adjacent to the threshold value. The group is saved. Here, in the stripe spot element area, the length in the longitudinal direction is the longest among the plurality of stripe areas included in the area group, so that the processing in the stripe area update unit 632 is substantially a binary image. In the plurality of striped blot element areas specified in one rectangular display area, two stripe blot element elements having the same longitudinal direction, arranged in the longitudinal direction, and adjacent to each other are detected to detect two stripe blot elements. It corresponds to a process of updating an area to one striped blob element area. Further, in the stripe spot detection unit 64, a process of detecting two stripe spot element areas among the plurality of stripe spot elements in which the longitudinal directions are the same, arranged in the longitudinal direction, and present in the adjacent rectangular display area. Is performed, and the display control part 65 produces | generates the connection area | region which connected the detected two stripe spot element areas, and the presence position of the connection area | region overlaps the target image by the line which shows the edge of the connection area | region, and is displayed on the display 55. FIG. Is displayed. However, from the viewpoint of more easily detecting streaks unevenly stretched over a plurality of rectangular display areas, in the streaks smear element specifying portion 63, streaks smear element areas are identified by streaks smear element segments representing the area. In the stripe spot detection unit 64 and the display control unit 65, it is preferable that the stripe spot element line segment is treated as a corresponding stripe spot element region to simplify the processing.

상기 제1 실시형태에서는, 대상 화상으로부터 복수의 임계값을 이용하여 인도되는 복수의 2치 화상으로부터 줄무늬 얼룩 요소 선분(또는 줄무늬 얼룩 요소 영역)이 특정되는데, 1개의 임계값만을 이용하여 2치 화상을 취득할 때에는, 해당 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역이 그대로 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정되어도 된다. In the first embodiment, streaked blob element line segments (or streaked blot element areas) are specified from a plurality of binary images guided from a target image using a plurality of threshold values. When obtaining, the plurality of closed areas whose ratio between the length in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction is equal to or larger than a predetermined value in the binary image is identified as the plurality of streaked spot element areas as they are. You may be.

제1 실시형태에 있어서, 줄무늬 얼룩 검출부(64)에서는, 인접하는 직사각형 표시 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 각 조합에 있어서 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 중심을 통과하는 직선과 각 단점과의 거리, 및, 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 사이에 있어서 가장 가까운 단점간 거리 및 가장 먼 단점간 거리의 각각과 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 길이의 합의 비를 구함으로써, 연결 가능한 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분이 검출되는데, 연결 가능하다고 판정되는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분은, 적어도 길이방향이 동일하고, 길이방향에 배열되고, 또한, 서로 인접하는 2개의 직사각형 표시 영역 내에 각각 존재하면 되고, 반드시 근접하고 있을 필요는 없다. 또, 연결 가능한 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 검출은, 예를 들면, 인접하는 직사각형 표시 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분의 각 조합에 있어서 2개의 줄무늬 얼룩 요소 선분을 연장한 2개의 직선이 이루는 각을 구할 등, 다른 알고리즘에 의해 행하는 것도 가능하다.In the first embodiment, the stripe spot detection unit 64 includes a straight line passing through the center of the two stripe spot element segments in each combination of two stripe spot element segments present in the adjacent rectangular display area, and the respective disadvantages. Two stripe blobs that can be connected by obtaining the ratio of the sum of the distances of the two stripe blot element segments to the distance between the two stripe blot elements and the distance between the closest and shortest shortcomings between the two stripe blot element segments. The element segment is detected, and the two striped uneven element segments which are determined to be connectable should be present in two rectangular display regions each having at least the same longitudinal direction, arranged in the longitudinal direction, and adjacent to each other, and necessarily adjacent to each other. You don't have to be. In addition, the detection of two connectable stripe stain element segments may include, for example, two straight lines extending two stripe spot element segments in each combination of two stripe spot element segments present in adjacent rectangular display areas. It is also possible to carry out by other algorithms, such as finding the angle to be made.

상기 제1 실시형태에서는, 기판(9) 상에 레지스트의 막이 형성되는데, 주면상에 액체가 도포됨으로써 형성되는 것이라면, 기판상에 형성되는 막의 재료는 레지스트 액 이외이어도 된다. 얼룩 검사장치(1)는, 유리의 기판상의 줄무늬 얼룩의 검사에 특히 적합하지만, 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 표시 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 복수의 직사각형 표시 영역에 따라서 다면따기 되는 다른 기판상의 줄무늬 얼룩의 검사에 이용되어도 된다. In the first embodiment, a film of resist is formed on the substrate 9, but if the film is formed by applying liquid on the main surface, the material of the film formed on the substrate may be other than the resist liquid. The spot inspection apparatus 1 is particularly suitable for inspecting streaks of spots on a glass substrate, but a plurality of rectangular display areas having the same pattern are set to be arranged horizontally and vertically with a gap therebetween. It may be used for inspection of streaks and stains on other substrates to be picked up.

제2 실시형태에 있어서의 얼룩 검사장치(1)에서는, 줄무늬 영역 특정부(163)에 있어서 줄무늬 영역이 줄무늬 영역 선분으로서 특정되는 일 없이 줄무늬 얼룩 검사가 행해져도 된다. 이 경우, 줄무늬 영역 특정부(163)에서는, 길이방향이 동일하고, 길이방향에 배열되고, 또한, 서로 근접하는 복수의 줄무늬 영역이 하나의 줄무늬 영역으로 갱신되고, 영역 그룹 취득부(164)에서는, 임계값이 인접하는 2개의 2치 화상에 있어서 서로 겹치는 줄무늬 영역을 동일한 영역 그룹에 포함시키는 그룹화에 의해 각각이 줄무늬 얼룩을 나타낸 영역 그룹이 구해지고, 줄무늬 얼룩 강도 취득부(165)에서는, 각 영역 그룹에 관해서 줄무늬 영역이 존재하는 2치 화상에 대응하는 임계값, 또는, 줄무늬 영역의 길이방향의 길이 혹은 면적의 합이 줄무늬 얼룩 강도로서 취득된다. 또, 표시 제어부(166)에서는, 예를 들면, 영역 그룹에 포함되는 복수의 줄무늬 영역 중 길이방향의 길이가 최장이 되는 대표 줄무늬 영역의 에지를 나타낸 선이 대상 화상에 겹쳐 표시되고, 줄무늬 얼룩이 존재하는 영역이 확인 가능하게 된다. 단, 줄무늬 얼룩의 검출 및 줄무늬 얼룩 강도의 취득을 용이하게 행한다는 관점에서는, 줄무늬 영역 특정부(163)에 있어서 줄무늬 영역이 해당 영역을 대표하는 줄무늬 영역 선분으로 특정되고, 영역 그룹 취득부(164) 및 줄무늬 얼룩 강도 취득부(165)에 있어서, 줄무늬 영역 선분이, 대응하는 줄무늬 영역으로서 다루어져 처리의 간소화가 도모되는 것이 바람직하다.In the spot inspection apparatus 1 according to the second embodiment, the stripe spot inspection may be performed without the stripe area being identified as the stripe area line segment in the stripe area specifying unit 163. In this case, in the stripe region specifying unit 163, a plurality of stripe regions which are the same in the longitudinal direction, arranged in the longitudinal direction, and adjacent to each other are updated to one stripe region, and in the region group acquisition unit 164 In the two binary images adjacent to the threshold value, the grouping of the banded areas overlapping each other is included in the same area group, thereby obtaining a group of areas each showing stripe unevenness. The threshold value corresponding to the binary image in which the stripe area exists with respect to the area group, or the sum of the length or the area in the longitudinal direction of the stripe area is obtained as the stripe spot intensity. In addition, in the display control unit 166, for example, a line showing the edge of the representative striped region having the longest length in the longitudinal direction among the plurality of striped regions included in the region group is displayed on the target image, and streaks are present. This area can be confirmed. However, in terms of facilitating the detection of streaked spots and the acquisition of streaked spot intensities, in the banded area specifying unit 163, the banded areas are identified by the banded area line segments representing the area, and the area group obtaining unit 164 In the stripe unevenness intensity acquisition unit 165, the stripe area line segment is preferably treated as a corresponding stripe area to simplify the processing.

영역 그룹 취득부(164)에서는, 1개의 영역 그룹만이 구해지는 경우도 있고, 이 경우도 줄무늬 얼룩 강도 취득부(165) 및 표시 제어부(166)에 있어서의 처리는 상기와 동일하다. 즉, 얼룩 검사장치(1)에서는, 영역 그룹 취득부(164)에서 적어도 하나의 영역 그룹이 구해지는 경우에, 줄무늬 얼룩 강도 취득부(165)에서 적어도 하나의 영역 그룹의 각각에 관해 줄무늬 얼룩 강도가 취득되고, 표시 제어부(166)에 의해 적어도 1개의 영역 그룹의 존재 위치 또는 적어도 1개의 영역 그룹 중 특정의 것의 존재 위치가 대상 화상에 겹쳐 표시된다.In the area group acquisition part 164, only one area group may be calculated | required, and also in this case, the process in the stripe unevenness intensity acquisition part 165 and the display control part 166 is the same as the above. That is, in the spot inspection apparatus 1, when at least one area group is obtained in the area group acquisition unit 164, the stripe spot strength for each of the at least one area group in the stripe spot strength acquisition unit 165 is obtained. Is obtained, and the display control unit 166 displays the existence position of at least one area group or the existence position of a specific one of the at least one area group on the target image.

제2 실시형태에 있어서, 대상 화상의 2치화 시의 복수의 임계값은 반드시 연속하는 값일 필요는 없고, 또, 상임계값 및 하임계값의 쌍방이 이용될 필요도 없다. 2치 화상 취득부(162)에서 생성되는 2치 화상의 개수는 2 이상이라면 임의의 개수로 되어도 되는데, 연산부(16)에 있어서의 연산량을 저감하면서, 줄무늬 얼룩의 검출 및 줄무늬 얼룩 강도의 취득을 일정한 정밀도로 실현한다고 하는 관점에서는, 5 이상의 임계값을 이용하여 5 이상의 2치 화상이 취득되는 것이 바람직하다.In the second embodiment, the plurality of threshold values at the time of binarization of the target image need not necessarily be continuous values, and neither the upper threshold nor the lower threshold need be used. The number of binary images generated by the binary image acquisition unit 162 may be any number as long as it is two or more. However, while the calculation amount in the calculation unit 16 is reduced, detection of streaked spots and acquisition of streaked spot strengths are performed. From the viewpoint of realizing with a certain precision, it is preferable that five or more binary images are acquired using five or more threshold values.

그러나, 촬상부(41)에서는 기판(9)으로부터의 간섭광을 수광함으로써 원 화상이 취득되는데, 간섭광의 강도는 막두께에 대해 주기적으로 변화하기 때문에, 검사 대상의 기판상의 막의 두께가 변경되면, 원 화상의 평균 농도(화소값의 평균값)도 변화하게 된다. 따라서, 상기 실시형태에서는, 대상 화상 생성부(161)(또는, 대상 화상 생성부(261))에 있어서 식 (1)∼식 (4)를 참조하여 설명한 상기 처리에 의해 화상의 평균 농도가 거의 일정해지는 대상 화상이 준비되고, 2치 화상 취득부(162)(또는, 줄무늬 얼룩 검출부(262), 점 결함 검출부(263) 및 부분 얼룩 검출부(264). 이하 동일.)에 있어서의 대상 화상의 2치화 시에 일정한 임계값을 이용하는 것이 가능하게 된다. 그러나, 촬상부(41)가 기판(9)을 촬상할 때에 간섭광을 이용하지 않는 경우나, 2치 화상 취득부(162)에 있어서의 2치화의 임계값을 원 화상의 평균 농도에 맞추어 변경하는 경우 등에는, 촬상부(41)에서 취득되는 원 화상이 그대로 대상 화상이 되고, 원 화상으로부터 복수의 2치 화상이 취득되어도 된다(또는, 줄무늬 얼룩 영역, 점 결함 영역 및 부분 얼룩 후보 영역이 직접 검출되어도 된다). 즉, 2치 화상 취득부(162)에 있어서의 2치화의 대상이 되는 대상 화상(또는, 줄무늬 얼룩 영역, 점 결함 영역 및 부분 얼룩 후보 영역이 검출되는 대상 화상)은, 원 화상 또는 원 화상으로부터 인도되는 화상이면 된다.However, in the imaging section 41, the original image is obtained by receiving the interference light from the substrate 9, but since the intensity of the interference light changes periodically with respect to the film thickness, when the thickness of the film on the substrate to be inspected is changed, The average density (average of pixel values) of the original image also changes. Therefore, in the above embodiment, the average density of the images is almost reduced by the above-described processing described in the target image generation unit 161 (or the target image generation unit 261) with reference to equations (1) to (4). The target image to be fixed is prepared, and the target image in the binary image acquisition unit 162 (or the streaked spot detection unit 262, the point defect detection unit 263, and the partial spot detection unit 264. It is possible to use a constant threshold value in binarization. However, when the imaging section 41 does not use the interfering light when imaging the substrate 9 or changes the threshold value of the binarization in the binary image acquisition section 162 in accordance with the average density of the original image. In such a case, the original image acquired by the imaging unit 41 may be a target image as it is, and a plurality of binary images may be obtained from the original image (or streaked spot regions, point defect regions, and partial spot candidate regions). May be detected directly). That is, the target image (or the target image in which the striped unevenness area, the point defect area | region, and the partial unevenness candidate area are detected) in the binary image acquisition part 162 is detected from an original image or an original image. It may be an image to be delivered.

또, 줄무늬 영역 특정부(163)에서는, 2치 화상 중의 각 폐영역에 대해 반드시 모멘트가 구해질 필요는 없고, 폐영역에 대해 미리 정해진 복수의 방향을 따라 각각 신장되는 복수의 외접 직사각형이 구해지고, 이들 외접 직사각형 중 면적이 최소가 되는 것의 길이방향의 길이와 길이방향에 수직인 방향의 폭과의 비가 소정값과 비교되어, 해당 폐영역이 줄무늬 영역인지의 여부가 판정되어도 된다. 단, 어느 위치로부터 여러가지 각도에서 방사상으로 신장되는 복수의 줄무늬 영역(예를 들면, 스핀 코트 방식의 도포 장치를 이용하여 기판상에 레지스트의 막을 형성할 때에, 처리 직전의 기판상에 불요물이 존재함으로써 불요물을 기점으로 하여 방사상으로 형성되는 줄무늬 얼룩에 기인하는 것) 등, 줄무늬 영역을 정밀도 있게 특정하기 위해서는, 연산량을 저감하기 위해, 폐영역의 모멘트를 산출함으로써 줄무늬 영역이 특정되는 것이 바람직하다.In addition, in the stripe area specifying unit 163, moments are not necessarily determined for each closed area in the binary image, and a plurality of circumscribed rectangles are respectively obtained which extend in a plurality of predetermined directions with respect to the closed area. The ratio between the length in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction in which the area becomes the smallest among these circumscribed rectangles may be compared with a predetermined value to determine whether the closed area is a striped area. However, when a film of resist is formed on a substrate using a plurality of striped regions (for example, a spin coat coating apparatus) that extends radially at various angles from a certain position, an unnecessary substance exists on the substrate immediately before the treatment. In order to precisely specify the stripe area, such as due to streaks formed radially from the undesired point), the stripe area is preferably specified by calculating the moment of the closed area in order to reduce the amount of calculation. .

제2 및 제3 실시형태에 있어서의 얼룩 검사장치(1)에 있어서 검사 대상이 되는 기판은 반드시 레지스트 막 등의 박막이 형성된 것이 아니어도 된다. 또, 얼룩 검사장치(1)는, 표시장치에 이용되는 유리 기판이나 반도체 기판 등, 복수의 부위 에 절단될 예정의 기판상의 줄무늬 얼룩의 검사에 특히 적합한데, 기판 이외의 대상 물상의 줄무늬 얼룩의 검사에 이용하는 것도 가능하다.In the spot inspection apparatus 1 in 2nd and 3rd embodiment, the board | substrate used as an inspection object does not necessarily need to be formed with thin films, such as a resist film. In addition, the stain inspection apparatus 1 is particularly suitable for inspection of streaks stains on substrates scheduled to be cut into a plurality of portions, such as glass substrates and semiconductor substrates used for display devices, It can also be used for inspection.

제3 실시형태에 있어서의 얼룩 검사장치(1)에서는, 점 결함 영역 또는 부분 얼룩 후보 영역이 줄무늬 얼룩 영역(또는 줄무늬 얼룩 영역 선분)이 적어도 일부와 중복하는 경우에, 점 결함 영역 또는 부분 얼룩 후보 영역의 삭제의 필요여부가 판정되는데, 줄무늬 얼룩 영역과 비교하여 삭제의 필요여부가 판정되는 결함은, 점 결함 및 부분 얼룩 결함의 쌍방의 후보를 나타낸 영역이나, 이들 이외의 결함의 후보를 나타낸 영역이어도 된다. 즉, 얼룩 검사장치(1)에서는, 줄무늬 얼룩 결함을 나타낸 줄무늬 얼룩 영역이 검출되는 경우에 있어서, 대상 화상을 2치화함으로써 검출됨과 함께, 대상 화상 중의 다른 결함의 후보를 나타낸 결함 후보 영역이, 줄무늬 얼룩 영역의 적어도 일부와 중복하는 경우에, 결함 후보 영역에 있어서의 결함의 강도에 관한 평가값과, 줄무늬 얼룩 영역에 있어서의 줄무늬 얼룩 결함의 강도에 관한 평가값을 비교함으로써, 결함 후보 영역의 삭제의 필요여부가 용이하게 판정되고, 그 결과, 줄무늬 얼룩 영역 및 결함 후보 영역을 적확하게 검출할 수 있다.In the spot inspection apparatus 1 according to the third embodiment, when the spot defect area or the partial spot candidate area overlaps at least a part of the band spot area (or the band spot area), the spot defect area or the spot spot candidate is overlapped. The necessity of deletion of the area is determined, and the defect in which the necessity of deletion is determined in comparison with the striped unevenness area is the area indicating both candidates of the point defect and the partial unevenness defect, or the area indicating the candidate of other defects. It may be. That is, in the spot inspection apparatus 1, when the stripe spot area | region which showed the stripe spot defect was detected, it is detected by binarizing a target image, and the defect candidate area which showed the candidate of the other defect in a target image is streaked. In the case of overlapping with at least a part of the uneven area, the defect candidate area is deleted by comparing the evaluation value of the intensity of the defect in the defect candidate area with the evaluation value of the intensity of the uneven area of the striped uneven area. The necessity of is easily determined, and as a result, the streaked spot region and the defect candidate region can be detected accurately.

또, 마찬가지로, 점 결함 영역과 비교하여 삭제의 필요여부가 판정되는 결함은, 줄무늬 얼룩 결함 및 부분 얼룩 결함의 쌍방의 후보를 나타낸 영역이나, 이들 이외의 결함의 후보를 나타낸 영역이어도 된다. 즉, 얼룩 검사장치(1)에서는, 점 결함을 나타낸 점 결함 영역이 검출되는 경우에 있어서, 대상 화상을 2치화함으로써 검출됨과 함께, 대상 화상 중의 다른 결함의 후보를 나타낸 결함 후보 영역이, 점 결함 영역의 적어도 일부와 중복하는 경우에, 결함 후보 영역에 있어서의 결함의 강도에 관한 평가값과, 점 결함 영역에 있어서의 점 결함의 강도에 관한 평가값을 비교함으로써, 결함 후보 영역의 삭제의 필요여부가 용이하게 판정되고, 그 결과, 점 결함 영역 및 결함 후보 영역을 적확하게 검출할 수 있다.Similarly, the defect in which the necessity of deletion is determined as compared with the point defect area may be an area indicating both candidates of streaked spot defects and partial spot defects, or areas showing candidates for defects other than these. That is, in the spot inspection apparatus 1, when the point defect area | region which showed a point defect is detected, it detects by binarizing a target image, and the defect candidate area which shows the candidate of another defect in a target image is a point defect. In the case of overlapping with at least a part of the region, it is necessary to delete the defect candidate region by comparing the evaluation value regarding the intensity of the defect in the defect candidate region with the evaluation value regarding the intensity of the point defect in the point defect region. It is easily determined whether the point defect area and the defect candidate area can be detected accurately.

상기 제3 실시형태에 있어서 도 18a의 단계 S221에서는, 전체가 점 결함 영역에 포함되는 줄무늬 얼룩 영역 선분의 삭제의 필요여부가 판정되는데, 삭제의 필요여부가 판정되는 줄무늬 얼룩 영역 선분은 대부분(줄무늬 얼룩 영역 선분의 길이(또는, 줄무늬 얼룩 영역의 면적)에 대해 1에 가까운 일정한 비율 이상의 길이(면적))가 점 결함 영역에 포함되는 것이어도 된다. 도 18b의 단계 S228에 있어서도 마찬가지로, 삭제의 필요여부가 판정되는 줄무늬 얼룩 영역 선분 또는 점 결함 영역은 대부분이 부분 얼룩 후보 영역에 포함되는 것이어도 된다. In the third embodiment, in step S221 of FIG. 18A, it is determined whether or not the deletion of the stripe stain area segment included in the whole point defect area is necessary. The point defect area may include a length (area) equal to or greater than 1 relative to the length (or area of the striped spot area) of the spotted area segment. Similarly, in step S228 of FIG. 18B, most of the striped uneven region line segment or the point defective region in which the necessity of deletion is determined may be included in the partial uneven candidate region.

또, 상기 제3 실시형태에서는, 줄무늬 얼룩 검출부(262)에서 복수의 2치 화상을 생성하고, 각 2치 화상에 있어서의 줄무늬 영역 선분을 그룹화함으로써 대상 화상 중의 줄무늬 얼룩 영역이 검출되는데, 길이방향의 길이와 길이방향에 수직인 방향의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 줄무늬 얼룩 결함을 나타낸 줄무늬 얼룩 영역이 검출되는 것이라면, 줄무늬 얼룩 영역의 검출은 다른 수법에 의해 행해져도 된다. 또, 줄무늬 얼룩 영역, 점 결함 영역 및 부분 얼룩 후보 영역을 검출할 때에 있어서의, 대상 화상의 2치화의 임계값은 적절히 변경되어 되고, 또한, 반드시 복수의 임계값이 이용될 필요는 없다. 단, 점 결함 영역 및 부분 얼룩 후보 영역을 정밀도 있게 검출한다고 하는 관점에서는, 복수의 임계값으로 대상 화상을 2치화함 으로써 복수의 2치 화상이 취득되고, 복수의 2치 화상에 있어서 서로 대응하는 화소의 값의 논리합을 구함으로써, 점 결함 영역 및 부분 얼룩 후보 영역이 검출되는 것이 바람직하다. 또, 같은 수법에 의해, 줄무늬 얼룩 영역을 검출하는 것도 가능하고, 이 경우, 상임계값을 이용하여 특정되는 줄무늬 영역 및 하임계값을 이용하여 특정되는 줄무늬 영역은 같은 종별의 것으로서 취급된다.In the third embodiment, the stripe spot detection unit 262 generates a plurality of binary images and groups the stripe area line segments in each binary image to detect the stripe spot areas in the target image. The stripe spot area may be detected by another method as long as the stripe spot area indicating the stripe spot defect that has a ratio between the length of the and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction is equal to or greater than a predetermined value. In detecting the streaked spot region, the point defect region and the partial spot candidate region, the threshold value of the binarization of the target image is appropriately changed, and a plurality of threshold values need not necessarily be used. However, from the viewpoint of accurately detecting the point defect area and the partial unevenness candidate area, a plurality of binary images are obtained by binarizing the target image with a plurality of threshold values, and corresponding to each other in the plurality of binary images. By obtaining the logical sum of the values of the pixels, it is preferable that the point defect area and the partial unevenness candidate area be detected. It is also possible to detect the striped uneven area by the same method, and in this case, the striped area specified using the upper threshold value and the striped area specified using the high threshold value are treated as the same type.

이 발명을 상세하게 묘사하여 설명했는데, 기술한 설명은 예시적으로 한정적인 것은 아니다. 따라서, 이 발명의 범위를 일탈하지 않는 한, 다수의 변형이나 형태가 가능한 것이 이해된다.While this invention has been described and described in detail, the description is not by way of limitation. Accordingly, it is understood that many modifications and forms are possible without departing from the scope of this invention.

Claims (31)

삭제delete 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 상기 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 얼룩 검사방법으로서,A smudge inspection method for inspecting streaks on a substrate that is arranged in a plurality of rectangular regions having the same pattern vertically and horizontally with a gap therebetween, according to the plurality of rectangular regions, a) 상기 기판을 촬상하여 취득되는 다계조(多階調)의 원(元) 화상의 상기 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 준비하는 공정과,a) preparing a target image by masking an area corresponding to the gap of the multi-tone original image obtained by imaging the substrate; b) 상기 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 공정과,b) A plurality of streaked spot elements in a binary image obtained by binarizing the target image, wherein a plurality of closed areas whose ratio in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction are equal to or larger than a predetermined value are formed. Process to identify as an area, c) 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 공정을 구비하고,c) a step of detecting two striped spot element areas of the plurality of striped spot element areas that are the same in the longitudinal direction, are arranged in the length direction and are present in an adjacent rectangular area, 상기 b) 공정에 있어서 줄무늬 얼룩 요소 영역이 해당 영역을 대표하는 줄무늬 얼룩 요소 선분으로 특정되고, 상기 c) 공정에 있어서 줄무늬 얼룩 요소 선분이 대응하는 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 다루어지는 얼룩 검사방법.The blob spotting element region in step b) is specified as a stripe blot element line segment representing the area, and in the step c) the stripe blot element line segment is treated as a corresponding stripe blot element region. 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 상기 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 얼룩 검사방법으로서,A smudge inspection method for inspecting streaks on a substrate that is arranged in a plurality of rectangular regions having the same pattern vertically and horizontally with a gap therebetween, according to the plurality of rectangular regions, a) 상기 기판을 촬상하여 취득되는 다계조(多階調)의 원(元) 화상의 상기 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 준비하는 공정과,a) preparing a target image by masking an area corresponding to the gap of the multi-tone original image obtained by imaging the substrate; b) 상기 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 공정과,b) A plurality of streaked spot elements in a binary image obtained by binarizing the target image, wherein a plurality of closed areas whose ratio in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction are equal to or larger than a predetermined value are formed. Process to identify as an area, c) 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 공정을 구비하고,c) a step of detecting two striped spot element areas of the plurality of striped spot element areas that are the same in the longitudinal direction, are arranged in the length direction and are present in an adjacent rectangular area, 상기 b) 공정이, 하나의 직사각형 영역 중에 특정되는 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 서로 근접하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을, 상기 c) 공정과 동일한 알고리즘에 의해 검출하고, 상기 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 1개의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로 갱신하는 공정을 구비하는 얼룩 검사방법.The step b) includes two stripe spot element areas of the plurality of stripe spot element areas specified in one rectangular area having the same length direction, arranged in the length direction, and adjacent to each other; And a step of updating the two striped spot element areas to one striped spot element area by the same algorithm as the above step. 삭제delete 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 상기 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 얼룩 검사방법으로서,A smudge inspection method for inspecting streaks on a substrate that is arranged in a plurality of rectangular regions having the same pattern vertically and horizontally with a gap therebetween, according to the plurality of rectangular regions, a) 상기 기판을 촬상하여 취득되는 다계조(多階調)의 원(元) 화상의 상기 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 준비하는 공정과,a) preparing a target image by masking an area corresponding to the gap of the multi-tone original image obtained by imaging the substrate; b) 상기 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 공정과,b) A plurality of streaked spot elements in a binary image obtained by binarizing the target image, wherein a plurality of closed areas whose ratio in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction are equal to or larger than a predetermined value are formed. Process to identify as an area, c) 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 공정을 구비하고,c) a step of detecting two striped spot element areas of the plurality of striped spot element areas that are the same in the longitudinal direction, are arranged in the length direction and are present in an adjacent rectangular area, 상기 b) 공정이,B) process, b1) 상기 대상 화상을 복수의 임계값으로 2치화함으로써, 상기 복수의 임계값에 각각 대응하는 복수의 2치 화상을 취득하는 공정과, b1) process of acquiring a plurality of binary images respectively corresponding to the plurality of threshold values by binarizing the target image to a plurality of threshold values; b2) 상기 복수의 2치 화상의 각각에 있어서, 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 줄무늬 영역을 특정하는 공정과, b2) in each of the plurality of binary images, a step of specifying a stripe area such that a ratio between a length in a longitudinal direction and a width in a direction perpendicular to the longitudinal direction is equal to or larger than a predetermined value; b3) 임계값이 인접하는 2개의 2치 화상에 있어서 서로 겹치는 줄무늬 영역을 동일한 영역 그룹에 포함시키는 그룹화에 의해, 각각이 줄무늬 얼룩을 나타낸 적어도 1개의 영역 그룹을 구함으로써, 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 특정하는 공정을 구비하고,b3) the plurality of striped blot elements by obtaining at least one area group each showing stripe blotches by grouping including stripe areas overlapping each other in the same area group in two adjacent binary images with threshold values; And a step of specifying an area, 상기 얼룩 검사방법이,The stain inspection method, d) 상기 적어도 하나의 영역 그룹의 각각에 관하여, 줄무늬 영역이 존재하는 2치 화상에 대응하는 임계값의 범위, 또는, 줄무늬 영역의 길이 혹은 면적의 합을, 줄무늬 얼룩 강도로서 취득하는 공정을 더 구비하는 얼룩 검사방법.d) for each of the at least one area group, further obtaining a range of threshold values corresponding to a binary image in which a stripe area exists, or a sum of lengths or areas of the stripe areas as stripe spot intensity; Stain test method provided. 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, e) 상기 적어도 하나의 영역 그룹의 각각의 대략의 줄무늬 얼룩 강도를 특정 가능하게 하면서, 상기 적어도 하나의 영역 그룹의 존재 위치를 표시부에 표시하는 공정을 더 구비하는 얼룩 검사방법.and e) displaying a presence position of said at least one region group on a display portion while enabling the respective approximate stripe stain intensity of said at least one region group to be specified. 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, f) 상기 적어도 하나의 영역 그룹 중, 소정의 줄무늬 얼룩 강도의 범위에 속하는 것의 존재 위치만을 표시부에 표시하는 공정을 더 구비하는 얼룩 검사방법.and f) displaying only the presence position of one of the at least one area group belonging to a range of predetermined striped spot intensities on the display unit. 청구항 7에 있어서,The method according to claim 7, 상기 f) 공정이, 상기 줄무늬 얼룩 강도의 범위를 변경하여 상기 적어도 1개의 영역 그룹 중, 변경 후의 상기 줄무늬 얼룩 강도의 범위에 속하는 것의 존재 위치만을 상기 표시부에 재표시하는 공정을 구비하는 얼룩 검사방법.And the step f) includes changing the range of the stripe spot intensity so as to re-display only the presence position of the at least one area group within the range of the stripe spot intensity after the change, on the display unit. . 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, 상기 b2) 공정에 있어서, 줄무늬 영역이 해당 영역을 대표하는 줄무늬 영역 선분으로 특정되고, 상기 b3) 공정 및 상기 d) 공정에 있어서, 줄무늬 영역 선분이, 대응하는 줄무늬 영역으로서 다루어지는 얼룩 검사방법.In the step b2), the stripe area is specified as a stripe area line segment representing the area, and in the step b3) and the step d), the stripe area line segment is treated as a corresponding stripe area. 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, 상기 b2) 공정에 있어서, 상기 복수의 2치 화상의 각각에 있어서 폐영역의 모멘트를 산출하여 길이방향을 결정한 다음, 상기 폐영역이 줄무늬 영역인지의 여부가 특정되는 얼룩 검사방법.In the step b2), in each of the plurality of binary images, the moment of the closed area is calculated to determine the longitudinal direction, and whether or not the closed area is a striped area is specified. 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, 상기 b2) 공정에 있어서, 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 서로 근접하는 복수의 줄무늬 영역이, 1개의 줄무늬 영역으로 갱신되는 얼룩 검사방법.In the step b2), a plurality of stripe regions having the same longitudinal direction, arranged in the longitudinal direction, and adjacent to each other are updated to one stripe region. 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, 상기 d) 공정에 있어서, 상기 복수의 직사각형 영역의 각각에 있어서의 줄무늬 얼룩 강도의 합계가 취득되는 것을 특징으로 하는 얼룩 검사방법.In the said d) process, the sum total of the stripe | staining spot intensity | strength in each of the said plurality of rectangular areas is acquired. 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 상기 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 얼룩 검사방법으로서,A smudge inspection method for inspecting streaks on a substrate that is arranged in a plurality of rectangular regions having the same pattern vertically and horizontally with a gap therebetween, according to the plurality of rectangular regions, a) 상기 기판을 촬상하여 취득되는 다계조(多階調)의 원(元) 화상의 상기 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 준비하는 공정과,a) preparing a target image by masking an area corresponding to the gap of the multi-tone original image obtained by imaging the substrate; b) 상기 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 공정과,b) A plurality of streaked spot elements in a binary image obtained by binarizing the target image, wherein a plurality of closed areas whose ratio in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction are equal to or larger than a predetermined value are formed. Process to identify as an area, c) 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 공정을 구비하고,c) a step of detecting two striped spot element areas of the plurality of striped spot element areas that are the same in the longitudinal direction, are arranged in the length direction and are present in an adjacent rectangular area, 상기 a) 공정 내지 상기 c) 공정의 실행에 의해, 상기 대상 화상으로부터, 길이방향의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 줄무늬 얼룩 결함을 나타낸 줄무늬 얼룩 영역이 검출되고,By performing the steps a) to c) above, a streaked spot region showing streaked spot defects having a ratio of a length in a longitudinal direction and a width in a direction perpendicular to the longitudinal direction is greater than or equal to a predetermined value from the target image. Detected, 상기 얼룩 검사방법이,The stain inspection method, g) 상기 대상 화상을 2치화함으로써 상기 대상 화상 중의 다른 결함의 후보를 나타내는 결함 후보 영역을 검출하는 공정과,g) detecting a defect candidate region indicating a candidate of another defect in the target image by binarizing the target image; h) 결함 후보 영역이 상기 줄무늬 얼룩 영역의 적어도 일부와 중복하는 경우에, 상기 결함 후보 영역에 있어서의 결함의 강도에 관한 제1 평가값과, 상기 줄무늬 얼룩 영역에 있어서의 줄무늬 얼룩 결함의 강도에 관한 제2 평가값을 비교함으로써, 상기 결함 후보 영역의 삭제의 필요여부를 판정하는 공정을 더 구비하는 얼룩 검사방법.h) in the case where the defect candidate region overlaps at least a part of the striped spot region, the first evaluation value relating to the intensity of the defect in the defective candidate region and the intensity of the striped spot defect in the striped spot region; And a step of determining whether or not the deletion of the defect candidate region is necessary by comparing the second evaluation value relating to the staining method. 청구항 13에 있어서,The method according to claim 13, i) 상기 대상 화상으로부터, 면적이 소정의 범위 내이고, 또한, 상기 줄무늬 얼룩 영역의 농도보다 상기 대상 화상의 평균 농도와의 차가 큰 농도를 가지는 영역을, 점 결함을 나타내는 점 결함 영역으로서 검출하는 공정과,i) From the said target image, the area which has an area in a predetermined range, and whose density | concentration is larger than the density | concentration of the said striped image area | region is larger than the density | concentration of the said striped unevenness area is detected as a point defect area | region which shows a point defect. Fair, j) 결함 후보 영역이 상기 점 결함 영역의 적어도 일부와 중복하는 경우에, 상기 결함 후보 영역에 있어서의 결함의 강도에 관한 제3 평가값과 상기 점 결함 영역에 있어서의 점 결함의 강도에 관한 제4 평가값을 비교함으로써, 상기 결함 후보 영역의 삭제의 필요여부를 판정하는 공정을 더 구비하는 얼룩 검사방법.j) in the case where the defect candidate region overlaps at least a part of the point defect region, a third evaluation value relating to the intensity of the defect in the defect candidate region and an agent relating to the intensity of the point defect in the point defect region. 4. The spot inspection method further comprising the step of determining whether or not the deletion of the defect candidate region is necessary by comparing the evaluation values. 청구항 13에 있어서,The method according to claim 13, 상기 제1 평가값이, 상기 대상 화상 중의 상기 결함 후보 영역의 농도와 상기 대상 화상의 평균 농도와의 차에 의거하는 값이며, 상기 제2 평가값이, 상기 대상 화상 중의 상기 줄무늬 얼룩 영역의 농도와 상기 줄무늬 얼룩 영역의 주위의 영역의 농도와의 차에 의거하는 값인 얼룩 검사방법.The first evaluation value is a value based on a difference between the density of the defect candidate area in the target image and the average density of the target image, and the second evaluation value is a density of the striped uneven area in the target image. And a value based on a difference between the density of the area around the striped spot area. 청구항 15에 있어서,The method according to claim 15, 상기 제1 평가값이, 상기 결함 후보 영역의 농도와 상기 대상 화상의 평균 농도와의 차를 나타낸 화상에 있어서 상기 결함 후보 영역에 대응하는 영역에 포함되는 화소의 값의 대표값이며, 상기 제2 평가값이, 상기 줄무늬 얼룩 영역에 있어서의 줄무늬 얼룩 결함의 강도 분포를 나타낸 화상에 있어서 상기 결함 후보 영역에 대응하는 영역에 포함되는 화소의 값의 대표값인 얼룩 검사방법.The first evaluation value is a representative value of a value of a pixel included in an area corresponding to the defect candidate area in the image showing the difference between the density of the defect candidate area and the average density of the target image, and wherein the second evaluation value is the second value. And an evaluation value is a representative value of a value of a pixel included in an area corresponding to the defect candidate area in an image showing the intensity distribution of the striped spot defect in the striped spot area. 청구항 15에 있어서,The method according to claim 15, 상기 h) 공정에 있어서 상기 결함 후보 영역의 삭제가 불필요하다고 판정된 경우에, 상기 결함 후보 영역이 상기 줄무늬 얼룩 영역의 대부분을 포함하는지의 여부를 확인하고, 포함하는 경우에 상기 줄무늬 얼룩 영역의 삭제의 필요여부가 판정되는 얼룩 검사방법.If it is determined in step h) that the deletion of the defect candidate area is unnecessary, it is checked whether the defect candidate area includes most of the stripe smear area, and if so, the deletion of the stripe smear area. Stain test method to determine the necessity of the. 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 상기 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 얼룩 검사방법으로서,A smudge inspection method for inspecting streaks on a substrate that is arranged in a plurality of rectangular regions having the same pattern vertically and horizontally with a gap therebetween, according to the plurality of rectangular regions, a) 상기 기판을 촬상하여 취득되는 다계조(多階調)의 원(元) 화상의 상기 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 준비하는 공정과,a) preparing a target image by masking an area corresponding to the gap of the multi-tone original image obtained by imaging the substrate; b) 상기 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 공정과,b) A plurality of streaked spot elements in a binary image obtained by binarizing the target image, wherein a plurality of closed areas whose ratio in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction are equal to or larger than a predetermined value are formed. Process to identify as an area, c) 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 공정과,c) a process of detecting two striped spot element areas of said plurality of striped spot element areas having the same longitudinal direction, arranged in said longitudinal direction, and present in an adjacent rectangular area; k) 상기 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 연결한 연결 영역의 존재 위치를 표시부에 표시하는 공정을 구비하는 얼룩 검사방법.k) A stain inspection method comprising the step of displaying the presence position of the connection region connecting the two striped stain element regions on the display unit. 청구항 18에 있어서,The method according to claim 18, l) 상기 k) 공정 전에, 상기 k) 공정에 있어서 존재 위치가 표시되는 연결 영역의 길이의 최소값의 입력을 접수하는 공정을 더 구비하는 얼룩 검사방법.l) before the step k), further comprising the step of accepting an input of a minimum value of the length of the connection region where the presence position is indicated in the step k). 삭제delete 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 상기 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 얼룩 검사장치로서, A plurality of rectangular areas having the same pattern is set to be aligned horizontally and vertically with a gap, and according to the plurality of rectangular areas, the spot inspection apparatus for inspecting the striped unevenness on the substrate, 상기 기판을 촬상하여 다계조의 원 화상을 취득하는 촬상부와,An imaging unit which picks up the substrate and acquires a multi-gradation original image; 상기 원 화상의 상기 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 생성하는 대상 화상 생성부와,A target image generation unit for generating a target image by masking a region corresponding to the gap of the original image; 상기 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 줄무늬 얼룩 요소 특정부와,In the binary image which binarized the said target image, the some closed area | region where ratio of the length in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular | vertical to the said longitudinal direction becomes more than a predetermined value is used as a plurality of streaked spot element area | regions. With the stripe stain element identification part to identify, 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 줄무늬 얼룩 검출부를 구비하고,A stripe blot detection unit for detecting two stripe blot element areas of the plurality of stripe blot element areas that are the same in the longitudinal direction and are arranged in the lengthwise direction and are present in adjacent rectangular areas, 상기 줄무늬 얼룩 요소 특정부에 있어서 줄무늬 얼룩 요소 영역이 해당 영역을 대표하는 줄무늬 얼룩 요소 선분으로 특정되고, 상기 줄무늬 얼룩 검출부에 있어서 줄무늬 얼룩 요소 선분이 대응하는 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 다루어지는 얼룩 검사장치.And a stripe stain element region in the stripe spot element specifying section is specified as a stripe spot element line segment representing the region, and the stripe spot element line segment is treated as a corresponding stripe spot element section in the stripe spot detection section. 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 상기 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 얼룩 검사장치로서, A plurality of rectangular areas having the same pattern is set to be aligned horizontally and vertically with a gap, and according to the plurality of rectangular areas, the spot inspection apparatus for inspecting the striped unevenness on the substrate, 상기 기판을 촬상하여 다계조의 원 화상을 취득하는 촬상부와,An imaging unit which picks up the substrate and acquires a multi-gradation original image; 상기 원 화상의 상기 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 생성하는 대상 화상 생성부와,A target image generation unit for generating a target image by masking a region corresponding to the gap of the original image; 상기 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 줄무늬 얼룩 요소 특정부와,In the binary image which binarized the said target image, the some closed area | region where ratio of the length in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular | vertical to the said longitudinal direction becomes more than a predetermined value is used as a plurality of streaked spot element area | regions. With the stripe stain element identification part to identify, 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 줄무늬 얼룩 검출부를 구비하고,A stripe blot detection unit for detecting two stripe blot element areas of the plurality of stripe blot element areas that are the same in the longitudinal direction and are arranged in the lengthwise direction and are present in adjacent rectangular areas, 상기 줄무늬 얼룩 요소 특정부에 있어서, 하나의 직사각형 영역 중에 특정되는 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 서로 근접하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역이, 상기 줄무늬 얼룩 검출부에 있어서의 처리와 동일한 알고리즘에 의해 검출되고, 상기 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역이 1개의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로 갱신되는 얼룩 검사장치.In the stripe spot element specifying section, among the stripe spot element areas specified in one rectangular area, two stripe spot element areas having the same longitudinal direction, arranged in the longitudinal direction, and adjacent to each other are provided. And a stripe blot element area detected by the same algorithm as the processing in the stripe blot detection unit, wherein the two stripe blot element areas are updated to one stripe blot element area. 삭제delete 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 상기 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 검사하는 얼룩 검사장치로서, A plurality of rectangular areas having the same pattern is set to be aligned horizontally and vertically with a gap, and according to the plurality of rectangular areas, the spot inspection apparatus for inspecting the striped unevenness on the substrate, 상기 기판을 촬상하여 다계조의 원 화상을 취득하는 촬상부와,An imaging unit which picks up the substrate and acquires a multi-gradation original image; 상기 원 화상의 상기 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 생성하는 대상 화상 생성부와,A target image generation unit for generating a target image by masking a region corresponding to the gap of the original image; 상기 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 줄무늬 얼룩 요소 특정부와,In the binary image which binarized the said target image, the some closed area | region where ratio of the length in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular | vertical to the said longitudinal direction becomes more than a predetermined value is used as a plurality of streaked spot element area | regions. With the stripe stain element identification part to identify, 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 줄무늬 얼룩 검출부와,A stripe blot detection unit for detecting two stripe blot element areas of the plurality of stripe blot element areas that are the same in the longitudinal direction and are arranged in the lengthwise direction and are present in adjacent rectangular areas; 상기 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 연결한 연결 영역의 존재 위치를 표시하는 표시부를 구비하는 얼룩 검사장치.And a display unit for indicating a location of a connection area connecting the two striped spot element areas. 청구항 24에 있어서,The method of claim 24, 상기 표시부에 있어서의 표시 전에, 상기 표시부에 있어서 존재 위치가 표시되는 연결 영역의 길이의 최소값의 입력이 접수되는 얼룩 검사장치.The spot inspection apparatus which accepts input of the minimum value of the length of the connection area | region where a presence position is displayed in the said display part before the display in the said display part. 삭제delete 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 상기 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 컴퓨터로 검사시키는 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록매체로서, 상기 프로그램의 상기 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, A computer-readable recording medium having recorded thereon a program for inspecting a stripe unevenness on a multi-faceted substrate according to the plurality of rectangular areas, the plurality of rectangular areas having the same pattern arranged vertically and horizontally with a gap, wherein Execution of the program by the computer is performed by the computer, a) 상기 기판을 촬상하여 취득되는 다계조의 원 화상의 상기 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 준비하는 공정과,a) preparing a target image by masking an area corresponding to the gap of the multi-gradation original image obtained by imaging the substrate; b) 상기 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 공정과,b) A plurality of streaked spot elements in a binary image obtained by binarizing the target image, wherein a plurality of closed areas whose ratio in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction are equal to or larger than a predetermined value are formed. Process to identify as an area, c) 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 공정을 실행시키고,c) performing a step of detecting two striped spot element areas of the plurality of striped spot element areas having the same longitudinal direction, arranged in the longitudinal direction, and present in an adjacent rectangular area, 상기 b) 공정에 있어서 줄무늬 얼룩 요소 영역이 해당 영역을 대표하는 줄무늬 얼룩 요소 선분으로 특정되고, 상기 c) 공정에 있어서 줄무늬 얼룩 요소 선분이 대응하는 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 다루어지는 기록매체.The recording medium of claim b, wherein the stripe blot element area is specified as a stripe blot element line segment representing the area, and in step c), the stripe blot element line segment is treated as a corresponding stripe blot element area. 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 상기 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 컴퓨터로 검사시키는 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록매체로서, 상기 프로그램의 상기 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, A computer-readable recording medium having recorded thereon a program for inspecting a stripe unevenness on a multi-faceted substrate according to the plurality of rectangular areas, the plurality of rectangular areas having the same pattern arranged vertically and horizontally with a gap, wherein Execution of the program by the computer is performed by the computer, a) 상기 기판을 촬상하여 취득되는 다계조의 원 화상의 상기 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 준비하는 공정과,a) preparing a target image by masking an area corresponding to the gap of the multi-gradation original image obtained by imaging the substrate; b) 상기 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 공정과,b) A plurality of streaked spot elements in a binary image obtained by binarizing the target image, wherein a plurality of closed areas whose ratio in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction are equal to or larger than a predetermined value are formed. Process to identify as an area, c) 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 공정을 실행시키고,c) performing a step of detecting two striped spot element areas of the plurality of striped spot element areas having the same longitudinal direction, arranged in the longitudinal direction, and present in an adjacent rectangular area, 상기 b) 공정이, 하나의 직사각형 영역 중에 특정되는 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 서로 근접하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을, 상기 c) 공정과 동일한 알고리즘에 의해 검출하고, 상기 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 1개의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로 갱신하는 공정을 구비하는 기록매체.The step b) includes two stripe spot element areas of the plurality of stripe spot element areas specified in one rectangular area having the same length direction, arranged in the length direction, and adjacent to each other; And a step of updating the two striped spot element areas to one striped spot element area by the same algorithm as the step. 삭제delete 똑같은 패턴을 가지는 복수의 직사각형 영역이 틈을 두고 가로 세로로 정렬하여 설정되고, 상기 복수의 직사각형 영역에 따라 다면따기 되는 기판상의 줄무늬 얼룩을 컴퓨터로 검사시키는 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록매체로서, 상기 프로그램의 상기 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, A computer-readable recording medium having recorded thereon a program for inspecting a stripe unevenness on a multi-faceted substrate according to the plurality of rectangular areas, the plurality of rectangular areas having the same pattern arranged vertically and horizontally with a gap, wherein Execution of the program by the computer is performed by the computer, a) 상기 기판을 촬상하여 취득되는 다계조의 원 화상의 상기 틈에 대응하는 영역을 마스크하여 대상 화상을 준비하는 공정과,a) preparing a target image by masking an area corresponding to the gap of the multi-gradation original image obtained by imaging the substrate; b) 상기 대상 화상을 2치화한 2치 화상에 있어서 길이방향에 있어서의 길이와 상기 길이방향에 수직인 방향에 있어서의 폭과의 비가 소정값 이상이 되는 복수의 폐영역을 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역으로서 특정하는 공정과,b) A plurality of streaked spot elements in a binary image obtained by binarizing the target image, wherein a plurality of closed areas whose ratio in the longitudinal direction and the width in the direction perpendicular to the longitudinal direction are equal to or larger than a predetermined value are formed. Process to identify as an area, c) 상기 복수의 줄무늬 얼룩 요소 영역 중, 상기 길이방향이 동일하고, 상기 길이방향으로 배열되고, 또한, 인접하는 직사각형 영역 내에 존재하는 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 검출하는 공정과,c) a process of detecting two striped spot element areas of said plurality of striped spot element areas having the same longitudinal direction, arranged in said longitudinal direction, and present in an adjacent rectangular area; d) 상기 2개의 줄무늬 얼룩 요소 영역을 연결한 연결 영역의 존재 위치를 표시부에 표시하는 공정을 실행시키는 기록매체.d) a recording medium which executes a process of displaying a present position of a connection area connecting said two striped spot element areas on a display portion. 청구항 30에 있어서,The method of claim 30, 상기 프로그램의 상기 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에,Execution of the program by the computer is performed by the computer. e) 상기 d) 공정 전에, 상기 d) 공정에 있어서 존재 위치가 표시되는 연결 영역의 길이의 최소값의 입력을 접수하는 공정을 더 실행시키는 기록매체.e) before the step d), further performing a step of accepting an input of the minimum value of the length of the connection region in which the presence position is indicated in the step d).

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