KR100904685B1 - An optic module for observing multi-wavelength light using micro-mirror - Google Patents

An optic module for observing multi-wavelength light using micro-mirror Download PDF

Info

Publication number
KR100904685B1
KR100904685B1 KR1020080019609A KR20080019609A KR100904685B1 KR 100904685 B1 KR100904685 B1 KR 100904685B1 KR 1020080019609 A KR1020080019609 A KR 1020080019609A KR 20080019609 A KR20080019609 A KR 20080019609A KR 100904685 B1 KR100904685 B1 KR 100904685B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical signal
mirror
wavelength range
signal detector
optical
Prior art date
Application number
KR1020080019609A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박일흥
박재형
박용선
남신우
Original Assignee
이화여자대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이화여자대학교 산학협력단 filed Critical 이화여자대학교 산학협력단
Priority to KR1020080019609A priority Critical patent/KR100904685B1/en
Priority to PCT/KR2008/004234 priority patent/WO2009110666A1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100904685B1 publication Critical patent/KR100904685B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
    • G01J3/32—Investigating bands of a spectrum in sequence by a single detector
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
    • G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors

Abstract

An optic module for observing multi-wavelength light is provided to analyze a signal from an object effectively by splitting the signal using a mirror capable of varying the reflection angle at high speed and an optical signal detector. An optic module for observing multi-wavelength light comprises a mirror(110) capable of varying the reflection angle at high speed, an aperture(115) formed beneath the mirror, a first optical signal detector(120) for detecting an optical signal(125) from the signal reflected by the mirror, second optical signal detectors(130,140) for detecting optical signal in a first wavelength range and optical signal in the other wavelength ranges from the signal reflected by the mirror, a controller controlling the mirror, and a body(150) providing an optical path from the mirror to the first or second optical signal detector.

Description

마이크로미러를 이용한 다파장 측정 광학 모듈{AN OPTIC MODULE FOR OBSERVING MULTI-WAVELENGTH LIGHT USING MICRO-MIRROR}Multi-wavelength measurement optical module using micromirror {AN OPTIC MODULE FOR OBSERVING MULTI-WAVELENGTH LIGHT USING MICRO-MIRROR}

본 발명은 다파장 측정 광학 모듈에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 고속으로 반사각을 변화시켜 빛의 경로를 바꾸어 줄 수 있는 마이크로미러와, 서로 다른 위치에 인접하게 배치되어 서로 다른 파장 범위의 광 신호를 검출할 수 있는 복수 개의 광 신호 검출부를 포함함으로써, 관측하고자 하는 대상의 분광 특성을 매우 빠른 속도로 효과적으로 측정할 수 있는 분광 시스템(spectrometer)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-wavelength measurement optical module, and more particularly, a micromirror capable of changing a path of light by changing a reflection angle at a high speed, and an optical signal of different wavelength ranges disposed adjacent to different positions. The present invention relates to a spectrometer capable of effectively measuring spectral characteristics of an object to be observed at a very high speed by including a plurality of optical signal detectors that can be detected.

본 발명의 다파장 측정 광학 모듈과 같은 분광 시스템(spectrometer)은, 광 신호로부터 서로 다른 종류의 광을 분리하는 시스템이다. 광 신호에는 서로 다른 종류의 다양한 광이 포함되어 있을 수 있다. 예컨대, 우주로부터 유입되는 우주선에도 다양한 종류의 광이 포함되어 있을 수 있다. 즉, 우주선에는, 적외선 범위의 광 신호, 자외선 범위의 광 신호, 및 가시광선 범위의 광 신호가 포함될 수 있으며, 경우에 따라서는 적외선보다 긴 파장의 광 신호 및 자외선보다 짧은 파장의 광 신호도 포함될 수 있다.A spectrometer, such as the multiwavelength measurement optical module of the present invention, is a system that separates different kinds of light from an optical signal. The optical signal may include various types of light of different types. For example, spacecraft entering from space may contain various kinds of light. That is, the spacecraft may include an optical signal in the infrared range, an optical signal in the ultraviolet range, and an optical signal in the visible range, and in some cases, may include an optical signal having a wavelength longer than infrared rays and an optical signal having a shorter wavelength than ultraviolet rays. Can be.

한편, 지상 또는 우주에 기초한 검출기의 무선 주파수를 관찰하고 그 이미지를 현상하는 것에 의해, 지구 극궤도(Earth polar orbit) 근처로부터 우주를 관찰하는 방법이 연구되고 있다. 이러한 방법은, 실질적으로 지구의 모든 지형 영역에서, 실질적으로 인공위성의 모든 동작 시간 동안에 대기 전기 활동에 대한 정보를 제공할 수 있다는 점에서 장점이 있다. 이와 같이, 검출기의 무선 주파수를 관찰하고 그 이미지를 현상하는 것에 의해 우주선을 연구하는 방법에 있어서, 우주선의 파장 범위에 따라 서로 다른 검출기를 이용하여 각각의 광 신호를 분리하여 분석할 수 있다면 매우 효과적인 관찰이 가능할 것으로 기대된다. 다만, 우주선이 고속으로 이동하며 그 지속시간이 매우 짧으므로, 우주선을 실시간으로 추적하여 효과적으로 분광하기 위해서는, 고속으로 회전(tilting) 각도를 변화시킬 수 있는 미러를 사용하는 다파장 측정 광학 모듈이 필요하다. 물론, 이와 같은 다파장 측정 광학 모듈의 용도를 우주선의 관찰로 한정시킬 필요는 없다.On the other hand, by observing the radio frequency of the detector based on the ground or the space and developing the image, a method of observing the universe from near the Earth polar orbit has been studied. This method is advantageous in that it can provide information on atmospheric electrical activity during virtually all operational time of the satellite, in virtually all terrain regions of the earth. As such, in the method of studying a spacecraft by observing a radio frequency of a detector and developing the image, it is very effective if each optical signal can be separated and analyzed using different detectors according to the wavelength range of the spacecraft. It is expected to be possible to observe. However, since the spacecraft moves at high speed and its duration is very short, in order to track the spacecraft in real time and effectively spectroscopically, a multiwavelength measurement optical module using a mirror capable of changing the tilting angle at high speed is required. Do. Of course, it is not necessary to limit the use of such a multi-wavelength measurement optical module to observation of the spacecraft.

한편, 마이크로 전기 기계 장치(micro-electro-mechanical system; MEMS)라고 하여, 센서 밸브, 기어, 반사경 및 반도체 칩 작동기 등의 작은 기계 장치와 컴퓨터를 조합시킨 기술이 요즘 새롭게 각광받고 있다. MEMS는‘스마트 메터(smart matter)'라고도 하며, 반사경이나 센서와 같은 기계 장치 제작 시에 넣는 작은 실리콘 칩의 마이크로 회로를 가진 장치로서, 자동차 에어백에서 감지된 속도와 보호자의 체중에 맞게 에어백을 팽창시키는 장치, 화물 수송의 연속 추적과 취급 과정을 알 수 있는 전 세계적 위치 시스템 센서, 비행기 날개의 표면 공기저항에 따라 공기 흐름의 변화를 감지하여 상호작용하는 센서, 20 나노초의 속도로 광 신호를 낼 수 있는 광 스위칭 장치, 센서 조작 냉온 장치, 대기 압력에 반응하는 물질의 유연성을 변화시키는 빌딩 내 센서 등 여러 용도로 쓰이고 있다. MEMS 기술의 특징 및 장점들을 고려할 때, MEMS 기술을 앞서 설명한 다파장 측정 광학 모듈에 적용해 볼 필요성이 있다.On the other hand, as a micro-electro-mechanical system (MEMS), a technology that combines a computer with a small mechanical device such as a sensor valve, a gear, a reflector, and a semiconductor chip actuator is emerging. MEMS, also known as 'smart matter', is a device with a small silicon chip microcircuit that is used in the manufacture of mechanical devices such as reflectors and sensors, inflating the airbag to match the speed detected by the car airbag and the weight of the guardian. Global positioning system sensor for continuous tracking and handling of cargo transport, interactive sensor to detect changes in air flow according to the surface air resistance of the aircraft wing, and to produce optical signals at speeds of 20 nanoseconds It is used in many applications such as light switching devices, sensor-operated cold and warm devices, and sensors in buildings that change the flexibility of materials reacting to atmospheric pressure. Given the features and advantages of MEMS technology, there is a need to apply MEMS technology to the multi-wavelength measurement optical module described above.

본 발명은 상기와 같은 필요성을 충족시키기 위해 제안된 것으로서, 고속으로 반사각을 변화시킬 수 있는 미러와, 서로 다른 위치에 인접하게 배치되어 서로 다른 파장 범위의 광 신호를 검출할 수 있는 복수 개의 광 신호 검출부를 포함함으로써, 관측하고자 하는 대상의 분광 특성을 매우 빠른 속도로 효과적으로 측정할 수 있는 다파장 측정 광학 모듈을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention has been proposed to meet the above needs, and includes a mirror capable of changing the reflection angle at high speed, and a plurality of optical signals disposed adjacent to different positions to detect optical signals having different wavelength ranges. It is an object of the present invention to provide a multi-wavelength measurement optical module capable of effectively measuring the spectral characteristics of an object to be observed at a very high speed by including a detection unit.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 다파장 측정 광학 모듈은,Multi-wavelength measurement optical module according to a feature of the present invention for achieving the above object,

(1) 반사각을 변화시킬 수 있는 미러;(1) a mirror capable of changing the reflection angle;

(2) 상기 미러에 의해 전달되는 신호로부터 제1 파장 범위에 해당하는 광 신호를 검출하기 위한 제1 광 신호 검출부;(2) a first optical signal detector for detecting an optical signal corresponding to a first wavelength range from the signal transmitted by the mirror;

(3) 상기 미러에 의해 전달되는 신호로부터 제1 파장 범위와 다른 파장 범위에 해당하는 광 신호를 검출하기 위한 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부;(3) at least one second optical signal detector for detecting an optical signal corresponding to a wavelength range different from the first wavelength range from the signal transmitted by the mirror;

(4) 상기 미러를 제어하여, 광 신호의 파장 범위에 따라 상기 제1 광 신호 검출부 또는 상기 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부에서 상기 광 신호가 검출될 수 있도록 빛의 경로를 바꾸어 주는 제어부; 및(4) a controller for controlling the mirror so as to change a path of light so that the optical signal can be detected by the first optical signal detector or the at least one second optical signal detector according to a wavelength range of the optical signal; And

(5) 상기 미러, 상기 제1 광 신호 검출부, 상기 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부 및 상기 제어부를 그 내부에 구비하고, 상기 미러에 대한 개 구(aperture)를 더 구비하며, 상기 미러로부터 상기 제1 광 신호 검출부 또는 상기 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부로의 광 경로를 제공하는 보디(body)를 포함하는 것을 그 특징으로 한다.(5) the mirror, the first optical signal detector, the at least one or more second optical signal detectors, and the controller are provided therein, and further provided with an aperture to the mirror; And a body for providing an optical path to the first optical signal detector or the at least one second optical signal detector.

바람직하게는, 상기 제1 파장 범위 및 제1 파장 범위와 다른 상기 파장 범위에는, 적외선 파장 범위, 자외선 파장 범위 및 가시광선 파장 범위가 포함된다.Preferably, the wavelength range different from the first wavelength range and the first wavelength range includes an infrared wavelength range, an ultraviolet wavelength range, and a visible wavelength range.

바람직하게는, 상기 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부는, 상기 제1 광 신호 검출부에 인접하게 배치된다.Preferably, the at least one second optical signal detector is disposed adjacent to the first optical signal detector.

또한 바람직하게는, 상기 미러는 마이크로 전기 기계 장치(Micro Electro Mechanical System; MEMS)에 의한 미러로서, 회전(tilting) 각도가 고속으로 변화한다.Also preferably, the mirror is a mirror by a Micro Electro Mechanical System (MEMS), and the tilting angle changes at a high speed.

본 발명의 다파장 측정 광학 모듈에 따르면, 고속으로 반사각을 변화시켜 빛의 경로를 바꾸어 줄 수 있는 마이크로미러와, 서로 다른 위치에 인접하게 배치되어 서로 다른 파장 범위의 광 신호를 검출할 수 있는 복수 개의 광 신호 검출부를 포함함으로써, 관측하고자 하는 대상의 분광 특성을 매우 빠른 속도로 효과적으로 측정할 수 있다.According to the multi-wavelength measuring optical module of the present invention, a micromirror capable of changing the path of light by varying the reflection angle at high speed, and a plurality of optical mirrors disposed adjacent to different positions to detect optical signals having different wavelength ranges By including two optical signal detectors, the spectral characteristics of the object to be observed can be effectively measured at a very high speed.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여, 본 발명에 따른 실시예에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다파장 측정 광학 모듈의 구성을 나타내 는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 다파장 측정 광학 모듈(100)은, 고속으로 반사각을 변화시킬 수 있는 미러(110), 미러(110)에 의해 전달되는 신호로부터 제1 파장 범위에 해당하는 광 신호(125)를 검출하기 위한 제1 광 신호 검출부(120), 미러(110)에 의해 전달되는 신호로부터 제1 파장 범위와 다른 파장 범위에 해당하는 광 신호(135, 145)를 검출하기 위한 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부(130, 140), 및 미러(110), 제1 광 신호 검출부(120) 및 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부(130, 140)를 그 내부에 구비하고, 미러에 대한 개구(aperture)(115)를 더 구비하며, 미러(110)로부터 제1 광 신호 검출부(120) 또는 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부(130, 140)로의 광 경로를 제공하는 보디(body)(150)를 포함한다. 또한, 도 1에 명확하게 도시되지는 않았지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 다파장 측정 광학 모듈(100)은, 광 신호의 파장 범위에 따라 제1 광 신호 검출부(120) 또는 상기 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부(130, 140)에서 광 신호가 검출될 수 있도록 미러(110)를 제어하는 제어부를 더 포함한다.1 is a view showing the configuration of a multi-wavelength measurement optical module according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the multi-wavelength measurement optical module 100 according to an exemplary embodiment of the present invention may be configured from a signal transmitted by the mirror 110 and the mirror 110, which may change the reflection angle at high speed. The optical signal 135 corresponding to a wavelength range different from the first wavelength range from the signal transmitted by the first optical signal detector 120 and the mirror 110 to detect the optical signal 125 corresponding to one wavelength range, At least one or more second optical signal detectors 130 and 140 for detecting 145 and the mirror 110, the first optical signal detector 120 and at least one or more second optical signal detectors 130 and 140. And having an aperture 115 for the mirror, the optical path from the mirror 110 to the first optical signal detector 120 or at least one second optical signal detector 130, 140. It includes a body (150) to provide. In addition, although not clearly illustrated in FIG. 1, the multi-wavelength measurement optical module 100 according to an exemplary embodiment of the present invention may include the first optical signal detector 120 or the at least one or more according to the wavelength range of the optical signal. The control unit may further include a control unit configured to control the mirror 110 so that the optical signal may be detected by the second optical signal detectors 130 and 140.

미러(110)는 관찰하고자 하는 대상의 신호를 제어부에 의해 제어되는 반사각으로 제1 광 신호 검출부(120) 또는 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부(130, 140)로 전달하는 역할을 한다. 미러(110)는 반사각을 고속으로 변화시킴으로써, 대상에 대한 이미지의 광 경로를 제1 광 신호 검출부(120) 또는 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부(130, 140)로 임의로 바꿀 수 있게 된다. 여기서, 미러(110)는 고속으로 반사각을 변화시킬 수 있는 MEMS 마이크로미러 어레이인 것이 바람직하다.The mirror 110 transmits a signal of an object to be observed to the first optical signal detector 120 or at least one or more second optical signal detectors 130 and 140 at a reflection angle controlled by the controller. The mirror 110 may change the reflection angle at high speed, and may arbitrarily change the optical path of the image of the object to the first optical signal detector 120 or at least one second optical signal detector 130 or 140. Here, the mirror 110 is preferably a MEMS micromirror array capable of changing the reflection angle at high speed.

제1 광 신호 검출부(120)는 미러(110)로부터 입사되는 신호로부터 제1 파장 범위에 해당하는 광 신호(125)를 검출하는 역할을 한다. 이에 비하여, 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부(130, 140)는 미러(110)로부터 입사되는 신호로부터 제1 파장 범위와 다른 파장 범위에 해당하는 광 신호(135, 145)를 검출하는 역할을 한다. 제1 광 신호 검출부(120) 및 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부(130, 140)에 의해 검출 가능한 광 신호의 영역은 제한될 필요가 없다. 즉, 제1 파장 범위에 해당하는 광 신호 및 제1 파장 범위와 다른 파장 범위에 해당하는 광 신호에는, 적외선, 자외선 및 가시광선이 포함될 수 있으며, 경우에 따라서는 적외선보다 파장이 더 긴 광 신호 또는 자외선보다 파장이 더 짧은 광 신호도 포함될 수 있다.The first optical signal detector 120 detects the optical signal 125 corresponding to the first wavelength range from the signal incident from the mirror 110. In contrast, the at least one second optical signal detector 130 and 140 detects the optical signals 135 and 145 corresponding to a wavelength range different from the first wavelength range from the signal incident from the mirror 110. . The area of the optical signal detectable by the first optical signal detector 120 and the at least one second optical signal detector 130, 140 need not be limited. That is, the optical signal corresponding to the first wavelength range and the optical signal corresponding to a wavelength range different from the first wavelength range may include infrared rays, ultraviolet rays, and visible rays, and in some cases, optical signals having a longer wavelength than infrared rays. Alternatively, an optical signal having a shorter wavelength than ultraviolet rays may be included.

보디(150)는 미러(110), 제1 광 신호 검출부(120), 및 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부(130, 140)를 그 내부에 구비하며, 미러(110)로부터 제1 광 신호 검출부(120) 또는 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부(130, 140)로의 광 경로를 제공하는 역할을 한다. 또한, 보디(150)는 미러(110) 하부에 개구(115)를 더 포함하는데, 개구(115)는 개구 조준기(도시 안함)를 포함할 수 있다.The body 150 includes a mirror 110, a first optical signal detector 120, and at least one second optical signal detector 130, 140 therein, and the first optical signal detector from the mirror 110. It serves to provide an optical path to the 120 or at least one second optical signal detection unit (130, 140). In addition, the body 150 further includes an opening 115 under the mirror 110, which may include an opening collimator (not shown).

제어부는 광 신호의 파장 범위에 따라 제1 광 신호 검출부(120) 또는 상기 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부(130, 140)에서 광 신호가 검출될 수 있도록 미러(110)를 제어하는 역할을 한다. 물론, 제어부는 시스템 전체를 제어하는 역할도 할 수 있으며, 따라서 시스템 전체에 대한 제어부와 다파장 측정 광학 모듈에 대한 제어부가 별도로 존재할 수 있다.The controller controls the mirror 110 so that the optical signal can be detected by the first optical signal detector 120 or the at least one second optical signal detector 130 or 140 according to the wavelength range of the optical signal. . Of course, the controller may also play a role of controlling the entire system, and thus, a controller for the entire system and a controller for the multi-wavelength measurement optical module may exist separately.

도 1에 도시되지는 않지만, 본 발명에 따른 다파장 측정 광학 모듈(100)은 데이터 저장부, 인터페이스부, 전원공급부 등과 함께 사용될 수 있다. 데이터 저장부는 검출된 광 신호를 저장하기 위한 부분으로서, 하드 디스크 등이 사용될 수 있다. 인터페이스부는 기기 간을 연결하기 위한 부분으로서, 버스 인터페이스 등이 사용될 수 있다. 전원공급부는 시스템 내의 기기들에게 전원을 공급하기 위한 부분이다.Although not shown in FIG. 1, the multi-wavelength measurement optical module 100 according to the present invention may be used together with a data storage unit, an interface unit, a power supply unit, and the like. The data storage unit may be a hard disk or the like as a part for storing the detected optical signal. The interface unit is a part for connecting devices, and a bus interface or the like may be used. The power supply is a part for supplying power to the devices in the system.

이상 설명한 본 발명은 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양한 변형이나 응용이 가능하며, 본 발명에 따른 기술적 사상의 범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.The present invention described above may be variously modified or applied by those skilled in the art, and the scope of the technical idea according to the present invention should be defined by the following claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다파장 측정 광학 모듈의 구성을 나타내는 도면.1 is a view showing the configuration of a multi-wavelength measurement optical module according to an embodiment of the present invention.

<도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

100: (본 발명의 일 실시예에 따른) 다파장 측정 광학 모듈 100 : multi-wavelength measurement optical module (according to an embodiment of the present invention)

110: 미러(마이크로미러 어레이)110: mirror (micromirror array)

115: 개구115: opening

120: 특정 파장의 빛을 검출할 수 있는 제1 광 신호 검출부120: a first optical signal detector capable of detecting light of a specific wavelength

125: 마이크로미러에 의해 제1 광 신호 검출부로 입사되는 광신호125: optical signal incident to the first optical signal detector by the micromirror

130, 140: 서로 다른 파장의 빛을 검출할 수 있는 적어도 하나 이상의 제2 광 신호 검출부130 and 140: at least one second optical signal detector capable of detecting light of different wavelengths

135, 145: 마이크로미러의 제어에 의해 다른 광 신호 검출부로 입사되는 광신호135, 145: an optical signal incident on another optical signal detection unit under control of the micromirror

150 : 보디150: body

Claims (4)

마이크로미러 전기 기계 장치MEMS)에 의해 고속으로 반사각을 변화시켜 광신호의 경로를 바꾸어 주는 미러;A mirror for changing the path of the optical signal by changing the reflection angle at high speed by the micromirror electromechanical device MEMS; 상기 미러에 의해 전달되는 광신호로부터 제1 파장 범위에 해당하는 광신호를 검출하는 제1 광신호 검출부;A first optical signal detector detecting an optical signal corresponding to a first wavelength range from the optical signal transmitted by the mirror; 상기 제1 광신호 검출부와 인접하게 배치되어 상기 미러에 의해 전달되는 광신호로부터 상기 제1 파장 범위와 다른 파장 범위에 해당하는 광신호를 검출하는 적어도 하나 이상의 제2 광신호 검출부;At least one second optical signal detector disposed adjacent to the first optical signal detector to detect an optical signal corresponding to a wavelength range different from the first wavelength range from the optical signal transmitted by the mirror; 상기 광신호의 위치를 감지하여 상기 미러를 상기 광신호의 방향으로 회전시키며, 상기 광신호의 파장 범위에 따라 상기 제1 광신호 검출부 또는 상기 적어도 하나 이상의 제2 광신호 검출부가 상기 광신호를 검출할 수 있도록 상기 미러의 반사각을 제어하는 제어부; 및Sensing the position of the optical signal and rotating the mirror in the direction of the optical signal, wherein the first optical signal detector or the at least one second optical signal detector detects the optical signal according to a wavelength range of the optical signal; A control unit for controlling a reflection angle of the mirror to enable; And 상기 미러, 상기 제1 광신호 검출부, 상기 적어도 하나 이상의 제2 광신호 검출부, 및 상기 제어부를 그 내부에 포함하고, 상기 미러의 하부에 형성된 상기 미러에 대한 개구(aperture)를 구비하며, 상기 미러로부터 상기 제1 광신호 검출부 또는 상기 적어도 하나 이상의 제2 광신호 검출부로의 광경로를 제공하는 보디(body)The mirror, the first optical signal detector, the at least one or more second optical signal detectors, and the controller therein; an aperture for the mirror formed under the mirror; A body providing an optical path from the first optical signal detector or the at least one second optical signal detector 를 포함하는 다파장 측정 광학 모듈.Multi-wavelength measurement optical module comprising a. 제1항에 있어서, 상기 미러는, 마이크로 전기 기계 장치(Micro Electro Mechanical System; MEMS)에 의한 마이크로미러 어레이(array)이고,The method of claim 1, wherein the mirror is a micromirror array (array) by a Micro Electro Mechanical System (MEMS), 상기 제1 파장 범위 및 제1 파장 범위와 다른 상기 파장 범위는, 적외선 파장 범위, 자외선 파장 범위 또는 가시광선 파장 범위 중 하나 인것을 특징으로 하는 다파장 측정 광학 모듈.The wavelength range different from the first wavelength range and the first wavelength range is one of an infrared wavelength range, an ultraviolet wavelength range, or a visible wavelength range. 삭제delete 삭제delete
KR1020080019609A 2008-03-03 2008-03-03 An optic module for observing multi-wavelength light using micro-mirror KR100904685B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080019609A KR100904685B1 (en) 2008-03-03 2008-03-03 An optic module for observing multi-wavelength light using micro-mirror
PCT/KR2008/004234 WO2009110666A1 (en) 2008-03-03 2008-07-19 An optic module for observing multi- wavelength light using micro-mirror

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080019609A KR100904685B1 (en) 2008-03-03 2008-03-03 An optic module for observing multi-wavelength light using micro-mirror

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100904685B1 true KR100904685B1 (en) 2009-06-24

Family

ID=40983176

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080019609A KR100904685B1 (en) 2008-03-03 2008-03-03 An optic module for observing multi-wavelength light using micro-mirror

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR100904685B1 (en)
WO (1) WO2009110666A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014008359A1 (en) * 2012-07-06 2014-01-09 Smiths Detection, Inc. Dual spectrometer
KR20170002840A (en) 2015-06-30 2017-01-09 전자부품연구원 Photo detector for measuring a multi-wavelength

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960010675B1 (en) * 1991-01-30 1996-08-07 니홍 고오강 가부시끼가이샤 Ellipso meter and method of controlling coating thickness
US6753960B1 (en) 2001-12-05 2004-06-22 Capella Photonics, Inc. Optical spectral power monitors employing frequency-division-multiplexing detection schemes
KR20070049088A (en) * 2005-11-07 2007-05-10 웨이퍼마스터스, 인코퍼레이티드 Spectroscopy system

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1370828B1 (en) * 2001-03-02 2016-11-23 Accent Optical Technologies, Inc. Line profile asymmetry measurement using scatterometry

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960010675B1 (en) * 1991-01-30 1996-08-07 니홍 고오강 가부시끼가이샤 Ellipso meter and method of controlling coating thickness
US6753960B1 (en) 2001-12-05 2004-06-22 Capella Photonics, Inc. Optical spectral power monitors employing frequency-division-multiplexing detection schemes
KR20070049088A (en) * 2005-11-07 2007-05-10 웨이퍼마스터스, 인코퍼레이티드 Spectroscopy system

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014008359A1 (en) * 2012-07-06 2014-01-09 Smiths Detection, Inc. Dual spectrometer
KR20150037977A (en) 2012-07-06 2015-04-08 스미스 디텍션 인크. Dual spectrometer
US9869585B2 (en) 2012-07-06 2018-01-16 Smiths Detection Inc. Dual spectrometer
KR20170002840A (en) 2015-06-30 2017-01-09 전자부품연구원 Photo detector for measuring a multi-wavelength

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009110666A1 (en) 2009-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10126321B2 (en) Micro-opto-electromechanical systems (MOEMS) device
CN109983313B (en) Integrated spectral cell
US7297934B2 (en) Optical system
CN111615646A (en) LIDAR system and method
CN112236685A (en) Lidar system and method with internal light calibration
US7732751B2 (en) Optical systems and methods using microelectromechanical-systems mirrors exceeding thirty microns
US20210055416A1 (en) Integrated optical transmitter and receiver
US20180081037A1 (en) Methods Circuits Assemblies Devices Systems and Functionally Associated Machine Executable Code for Controllably Steering an Optical Beam
WO2009002004A1 (en) An optical module including a plurality of detectors for an optical signal
JP7358486B2 (en) Electro-optical system with heating element
CN113785217A (en) Electro-optical system and method for scanning illumination onto a field of view
CN114008483A (en) System and method for time-of-flight optical sensing
KR100904685B1 (en) An optic module for observing multi-wavelength light using micro-mirror
CN114144698A (en) Anti-reflection label for laser radar window
US9074882B1 (en) Image null-balance system with multisector-cell direction sensing
US20080205818A1 (en) Image null-balance system with multisector-cell direction sensing
AU2003300871A1 (en) Optical system
WO2019234503A2 (en) Mems mirror with resistor for determining a position of the mirror
US8367994B2 (en) Optical module, which is able to fire a beam
US20060262299A1 (en) Co-deployed optical referencing for responsive dust-based sensing system
McNie et al. A 2x2 multi-chip reconfigurable MOEMS mask: a stepping stone to large format microshutter arrays for coded aperture applications
KR100788271B1 (en) An optical module including a plurality of detectors for an optical signal
WO2008100097A1 (en) An optical module for observing an event or an object
US20230152888A1 (en) Light Scanner Having Closed-Loop Control Based on Optical Feedback
WO2009002003A1 (en) An optical system using a mirror which has the possibility of fast control of the angle of reflection

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130503

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140613

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151013

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee