KR100903857B1 - 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법 및 이로부터 제조된 탄소나노튜브 전계 방출 소자 - Google Patents
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Abstract
Description
아크 방전챔버내에 기판을 삽입하고 아크 방전시키는 단계;
상기 아크 방전 챔버내에서 아크 플라즈마에 의해 기화된 탄소 원자와 촉매 금속원자들을 상기 기판상에 증착시켜 단일벽 또는 이중벽 탄소나노튜브를 기판의 상부에 배치하며,
이때 상기 탄소나노튜브의 벽면 및 끝 부분에는 정제 공정 처리를 하지 않은 아크 방전에 의해 생성된 Ni, Fe, Co, Mo, Pt, Pd, Au의 혼합물 혹은 단일 금속 입자가 불순물로서 탄소나노튜브와 강한 물리적 결합을 이루게 되며, 나아가 이들 불순물은 비정질 탄소로 둘러쌓여 있는 형태로 형성되어 있는, 단계;
상기 탄소나노튜브가 배치된 기판을 유기용매로 표면처리하여 상기 기판상에 탄소나노튜브를 수평으로 정렬하는 단계;
상기 기판을 불활성 가스, 산화성 가스 혹은 진공 분위기하에 열처리하여 상기 기판상에서 유기용매와 비정질 탄소를 제거하고 불순물로서 탄소나노튜브의 벽면 및 끝 부분에 강한 물리적 결합을 갖는 불순물들인 Ni, Fe, Co, Mo, Pt, Pd, Au의 혼합물 혹은 단일 금속 입자를 노출시키는 단계; 및
본 발명의 제2 견지에 의하면,
ITO 코팅된 유리 기판, 코닝 유리, 소다라임 유리기판, SiO2가 증착되어 있는 Si 기판, 석영기판, 사파이어 기판, GaAs 기판 또는 MgO 기판으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 기판상에 주석 접합층을 증착시킨 다음 아크 방전챔버내에 상기 기판을 삽입하고 아크 방전시키는 단계;
상기 아크 방전 챔버내에서 아크 플라즈마에 의해 기화된 탄소 원자와 촉매 금속원자들을 상기 기판상에 증착시켜 단일벽 또는 이중벽 탄소나노튜브를 기판의 상부에 배치하며,
이때 상기 탄소나노튜브의 벽면 및 끝 부분에는 정제 공정 처리를 하지 않은 아크 방전에 의해 생성된 Ni, Fe, Co, Mo, Pt, Pd, Au의 혼합물 혹은 단일 금속 입자가 불순물로서 탄소나노튜브와 강한 물리적 결합을 이루게 되며, 나아가 이들 불순물은 비정질 탄소로 둘러쌓여 있는 형태로 형성되어 있는, 단계;
상기 탄소나노튜브가 배치된 기판을 유기용매로 표면처리하여 상기 기판상에 탄소나노튜브를 수평으로 정렬하는 단계;
상기 기판을 산화성 가스 분위기하에 열처리하여 유기용매를 제거하고 상기 기판상에서 유기용매와 비정질 탄소를 제거하고 불순물로서 탄소나노튜브의 벽면 및 끝 부분에 강한 물리적 결합을 갖는 불순물들인 Ni, Fe, Co, Mo, Pt, Pd, Au의 혼합물 혹은 단일 금속 입자를 노출시키고, 상기 기판상에 증착된 주석 접합층으로부터 주석 산화물을 생성하는 단계; 및
상기 주석 산화물이 생성된 기판을 전계소자로 활성화하여 탄소나노튜브를 수직으로 정렬한 탄소나노튜브를 제작하는 단계; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법. 을 제공한다.
[실시예 1]
발명예 1 : 촉매 금속 입자를 접합 입자로 이용하며 용매처리한 경우(도 1 및 도 3a참조)
도 1의 공정 개략도를 참조하여, 아크 방전 도중 아크 방전 챔버내에 Sn 및 SiO2가 통상의 방법에 의해 증착되어 있는 ITO 글라스, 글라스, 금속 전극층이 증착되어 있는 글라스를 삽입하여 아크 플라즈마에 의해 기화된 탄소 원자와 촉매 금속원자들이 냉각 및 응축하는 과정에서 단일벽 혹은 이중벽 탄소나노튜브가 기판에 약한 결합으로 흡착배치된 기판을 수득하였다. 상기 기판을 메탄올에 기판이 완전히 담궈질 정도의 용량으로 수초동안 침지시켰다.
이렇게 하여 얻어진 기판을 산소 분위기하에 400℃에서 20 분간 열처리를 거쳐 비정질 탄소를 제거하고 상기 비정질 탄소가 둘러싸고 있던 촉매 금속 나노입자를 노출시켜 접합층으로 이용하였다. 열처리 공정에 따른 시편의 변화를 관찰하기 위하여 주사 전자 현미경으로 관찰하고 그 결과를 도 3a로서 나타내었다.
도 3a에서 보듯이, 탄소나노튜브와 촉매 금속입자들이 서로 응축되어 혼합되어 있으며 이를 통해 기판상에 고착되어 있음을 확인할 수 있었다.
대조예 1 : 촉매 금속 입자를 접합 입자로 이용하며 용매처리하지 않은 경우(도 3b참조)
메탄올에 침지하는 마지막 단계를 제외하고는 상술한 발명예 1과 동일한 방법을 반복하여 단일벽 혹은 이중벽 탄소나노튜브가 약한 결합으로 흡착배치된 기판을 수득하였다.
이렇게 하여 얻어진 기판을 산소 분위기하에 400℃에서 20 분간 열처리를 거친 다음 상기 열처리 공정에 따른 시편의 변화를 관찰하기 위하여 주사 전자 현미경으로 관찰하고 그 결과를 도 3b로서 나타내었다.
그 결과, 도 3b에서는 도 3a와는 달리, 탄소나노튜브와 촉매 금속입자들이 서로 응축되어 혼합된 정도가 불량하여 이를 통해 기판상에 고착된 정도가 훨씬 불량한 것을 확인할 수 있었다.
발명예 2 : 주석을 접합 입자로 이용하며 용매처리한 경우(도 2 및 도 3c참조)
도 2의 공정 개략도를 참조하여, 기판상에 Sn 및 SiO2가 증착되어 있는 ITO 글라스, 글라스, 금속 전극층이 증착되어 있는 글라스를 아크 방전 도중 아크 방전 챔버내에 삽입하여 아크 플라즈마에 의해 기화된 탄소 원자와 촉매 금속원자들이 냉각 및 응축하는 과정에서 단일벽 혹은 이중벽 탄소나노튜브가 기판에 약한 결합으로 흡착배치된 기판을 수득하였다. 상기 기판을 메탄올에 기판이 완전히 담궈질 정도의 용량으로 수초동안 침지시켰다.
이렇게 하여 얻어진 기판을 산소 분위기하에 400℃에서 20 분간 수행하여 상기 비정질 탄소가 둘러싸고 있던 촉매 금속 나노입자를 노출시켜 주석 산화물과 함께 접합층으로 이용하였다. 열처리 공정에 따른 시편의 변화를 관찰하기 위하여 주사 전자 현미경으로 관찰하고 그 결과를 도 3c로서 나타내었다.
도 3c에서 보듯이, 탄소나노튜브와 촉매 금속입자들 그리고 주석 산화물이 서로 응축되어 혼합되어 있으며, 이를 통해 기판상에 고착되어 있음을 확인할 수 있었다.
대조예 2 : 주석을 접합 입자로 이용하며 용매처리하지 않은 경우(도 3d참조)
메탄올에 침지하는 마지막 단계를 제외하고는 상술한 발명예 2와 동일한 방법을 반복하여 단일벽 혹은 이중벽 탄소나노튜브가 약한 결합으로 흡착배치된 기판을 수득하였다.
이렇게 하여 얻어진 기판을 상술한 발명예 2와 동일한 열처리 공정을 반복하고 주사 전자 현미경으로 관찰하고 그 결과를 도 3d로서 나타내었다.
그 결과, 도 3d에서는 도 3c와는 달리, 탄소나노튜브와 촉매 금속 입자 그리고 주석 산화물이 서로 응축되어 혼합된 정도가 불량하여 이를 통해 기판상에 고착된 정도가 훨씬 불량한 것을 확인할 수 있었다.
[실시예 2]
발명예 A : 촉매 금속 나노입자를 접합층으로하여 열처리 공정후 전계 방출 특성 측정결과(도 4a 참조)
상술한 실시예 1의 발명예 1에서 얻어진 기판(도 3a)에 접합 본드가 도포되어 있는 테이프를 탄소나노튜브 필름에 부착시켰다가 이를 제거해주는 공정과 탄소나노튜브필름에 전계를 걸어 전계 방출이 이루어지면서 활성화시켜주는 공정을 동시에 활용하여 활성화한 다음 전계 방출 특성을 평가하고 그 결과를 도 4a로서 나타내었다.
그 결과, 도 4a에서 보듯이, Applied Field (V/um) 1.0 이상에서 탄소나노튜브의 제거가 비로소 이루어진 것을 확인할 수 있었을 뿐 아니라 이로부터 수평 배열되었던 대다수의 탄소나노튜브가 수직으로 배열되어 있음을 확인할 수 있었다.
대조예 A : 촉매 금속 나노입자를 접합층으로하되 유기용매 처리없이 열처리 공정후 전계 방출 특성 측정결과
상술한 실시예 1의 대조예 1에서 얻어진 기판(도 3b)에 상기 발명예 A와 동일한 활성화 공정을 수행하여 활성화한 다음 전계 방출 특성을 평가한 결과, 전계 방출은 아예 관찰되지 않았다. 즉, 유기 용매 처리를 하지 않은 경우 모든 탄소나노튜브가 제거되는 것을 확인할 수 있었다.
발명예 B : 주석을 접합층으로 하여 열처리 공정후 전계 방출 특성 측정결과(도 4b 참조)
상술한 실시예 1의 발명예 2에서 얻어진 기판(도 3c)에 본드가 도포되어 있는 테이프를 탄소나노튜브 필름에 부착시켰다가 이를 제거해주는 공정과 탄소나노튜브필름에 전계를 걸어 전계 방출이 이루어지면서 활성화시켜주는 공정을 동시에 활용하여 활성화한 다음 전계 방출 특성을 평가하고 그 결과를 도 4b로서 나타내었다.
그 결과, 도 4b에서 보듯이, Applied Field (V/um) 1.26 이상에서 탄소나노튜브의 제거가 비로소 이루어진 것을 확인할 수 있었을 뿐 아니라 이로부터 수평 배열되었던 대다수의 탄소나노튜브가 수직으로 배열되어 있음을 확인할 수 있었다. 이는 또한 주석을 접합층으로 하지 않고 처리한 발명예 A에서보다 개선된 결과를 보인 것이다.
대조예 B : 주석을 접합층으로하되 유기용매 처리없이 열처리 공정후 전계 방출 특성 측정결과
상술한 실시예 1의 대조예 2에서 얻어진 기판(도 3d)에 상기 발명예 B와 동일한 활성화 공정을 수행하여 활성화한 다음 전계 방출 특성을 평가한 결과, 전계 방출은 아예 관찰되지 않았다. 즉, 유기 용매 처리를 하지 않은 경우 모든 탄소나노튜브가 제거되는 것을 확인할 수 있었다.
본 발명이 속한 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 이상의 내용을 바탕으로 본 발명의 범주내에서 다양한 응용 및 변형이 가능할 것이다.
Claims (12)
- 아크 방전챔버내에 기판을 삽입하고 아크 방전시키는 단계;상기 아크 방전 챔버내에서 아크 플라즈마에 의해 기화된 탄소 원자와 촉매 금속원자들을 상기 기판상에 증착시켜 단일벽 또는 이중벽 탄소나노튜브를 기판의 상부에 배치하며,이때 상기 탄소나노튜브의 벽면 및 끝 부분에는 정제 공정 처리를 하지 않은 아크 방전에 의해 생성된 Ni, Fe, Co, Mo, Pt, Pd, Au의 혼합물 혹은 단일 금속 입자가 불순물로서 탄소나노튜브와 강한 물리적 결합을 이루게 되며, 나아가 이들 불순물은 비정질 탄소로 둘러쌓여 있는 형태로 형성되어 있는, 단계;상기 탄소나노튜브가 배치된 기판을 유기용매로 표면처리하여 상기 기판상에 탄소나노튜브를 수평으로 정렬하는 단계;상기 기판을 불활성 가스, 산화성 가스 혹은 진공 분위기하에 열처리하여 상기 기판상에서 유기용매와 비정질 탄소를 제거하고 불순물로서 탄소나노튜브의 벽면 및 끝 부분에 강한 물리적 결합을 갖는 불순물들인 Ni, Fe, Co, Mo, Pt, Pd, Au의 혼합물 혹은 단일 금속 입자를 노출시키는 단계; 및상기 불순물이 노출된 기판을 전계소자로 활성화하여 탄소나노튜브를 수직으로 정렬한 탄소나노튜브를 제작하는 단계; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 표면처리시 사용되는 유기 용매로는 메탄올, 아세톤, 에탄올, 트리클로로 에틸렌, 이소프로필 알콜, 톨루엔, n-헥산 및 DMF로 부터 선택된 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 유기 용매는 기판이 완전히 담궈질 정도의 함량으로 기판을 침지하거나 기판 표면을 완전히 덮을 함량으로 도포하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 기판으로는, ITO 코팅된 유리 기판, 코닝 유리, 소다라임 유리기판, SiO2가 증착되어 있는 Si 기판, 석영기판, 사파이어 기판, GaAs 기판, MgO 기판으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법.
- ITO 코팅된 유리 기판, 코닝 유리, 소다라임 유리기판, SiO2가 증착되어 있는 Si 기판, 석영기판, 사파이어 기판, GaAs 기판 또는 MgO 기판으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 기판상에 주석 접합층을 증착시킨 다음 아크 방전챔버내에 상기 기판을 삽입하고 아크 방전시키는 단계;상기 아크 방전 챔버내에서 아크 플라즈마에 의해 기화된 탄소 원자와 촉매 금속원자들을 상기 기판상에 증착시켜 단일벽 또는 이중벽 탄소나노튜브를 기판의 상부에 배치하며,이때 상기 탄소나노튜브의 벽면 및 끝 부분에는 정제 공정 처리를 하지 않은 아크 방전에 의해 생성된 Ni, Fe, Co, Mo, Pt, Pd, Au의 혼합물 혹은 단일 금속 입자가 불순물로서 탄소나노튜브와 강한 물리적 결합을 이루게 되며, 나아가 이들 불순물은 비정질 탄소로 둘러쌓여 있는 형태로 형성되어 있는, 단계;상기 탄소나노튜브가 배치된 기판을 유기용매로 표면처리하여 상기 기판상에 탄소나노튜브를 수평으로 정렬하는 단계;상기 기판을 산화성 가스 분위기하에 열처리하여 유기용매를 제거하고 상기 기판상에서 유기용매와 비정질 탄소를 제거하고 불순물로서 탄소나노튜브의 벽면 및 끝 부분에 강한 물리적 결합을 갖는 불순물들인 Ni, Fe, Co, Mo, Pt, Pd, Au의 혼합물 혹은 단일 금속 입자를 노출시키고, 상기 기판상에 증착된 주석 접합층으로부터 주석 산화물을 생성하는 단계; 및상기 주석 산화물이 생성된 기판을 전계소자로 활성화하여 탄소나노튜브를 수직으로 정렬한 탄소나노튜브를 제작하는 단계; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법.
- 제5항에 있어서, 상기 주석 접합층은 기판상에 주석 및 주석 산화물을 스퍼터링, 진공 승화법, 유기금속 화학 증착법, 혹은 무전해 또는 전해 도금의 코팅을 수행하여 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법.
- 삭제
- 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 산화성 가스 분위기는 공기, 산소, 오존, 질소산화물로부터 선택된 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법.
- 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 열처리 조건은 300~420℃ 범위내에서 20~360분간 수행하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법.
- 삭제
- 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 활성화는 상기 수직으로 정렬된 탄소나노튜브 필름상에 접합 본드를 도포한 테이프를 부착한 다음 상기 테이프를 탈착하거나, 또는 상기 탄소나노튜브에 전계를 걸어 전계 방출에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법.
- 제1항 또는 제5항의 방법에 의해 제조되어 전계 방출 안정성 및 광 투과성을 갖고, 양면 발광성 전계 방출 램프 또는 양면 발광형 탄소나노튜브 전계 방출 디스플레이를 제작가능한, 탄소나노튜브 전계 방출 소자.
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KR1020070122007A KR100903857B1 (ko) | 2007-11-28 | 2007-11-28 | 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법 및 이로부터 제조된 탄소나노튜브 전계 방출 소자 |
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