KR100891243B1 - 엑시머 램프 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 유전체를 개재한 방전에 의해 자외광을 방사하는 엑시머 램프와, 이 엑시머 램프를 수용하는 램프하우스를 구비하고,상기 램프로부터의 방사광을 취출하는 개구가 램프하우스에 형성되어, 램프하우스 내부 공간이 피처리물이 처리되는 처리실 내부 공간과 이 개구를 통해 연통되어 이루어지는 엑시머 램프 장치로서,상기 엑시머 램프의 적어도 한쪽의 단부에 급전 부재가 접속되어 급전 결합부가 형성되어 이루어지며,램프하우스의 내부에, 급전 결합부가 형성된 램프 단부 영역과 램프하우스 내부 공간을 구분하는 칸막이 부재가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치.
- 제1항에 있어서,상기 칸막이 부재가 자외광에 대해 차광성을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 엑시머 램프에는, 방전 용기의 단부에 자외광의 차광막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,램프 단부 영역의 내부에, 오존 분해 물질이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 램프하우스의 램프 단부 영역에 불활성 가스를 유입, 충전하는 가스 공급 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치.
- 제5항에 있어서,상기 램프 단부 영역 내의 압력과 처리실 내부 공간 내의 압력 또는 대기압을 검출하기 위한 압력 검지 수단과, 제어 수단을 구비하여 이루어지고,상기 제어 수단은, 상기 압력 검지 수단으로부터의 검출 신호에 근거하여, 램프 단부 영역 내의 압력이 처리실 내부 공간 내의 압력 또는 대기압보다도 항상 높은 상태가 되도록 제어하는 신호를, 가스 공급 기구에 송신하는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치.
- 제5항에 있어서,상기 램프 단부 영역 내의 압력과 처리실 내부 공간 내의 압력 또는 대기압을 검출하기 위한 압력 검지 수단과, 제어 수단을 구비하여 이루어지고,상기 제어 수단은, 상기 압력 검지 수단으로부터의 검출 신호에 근거하여, 램프 단부 영역 내의 압력이 처리실 내부 공간 내의 압력 또는 대기압보다도 항상 높은 경우에 상기 엑시머 램프를 점등시키는 신호를, 램프 점등 전원에 송신하는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치.
- 제5항에 있어서,반송 기구에 의해 반송되어 온 피처리물에 엑시머광을 조사하는 엑시머 램프 장치로서, 상기 램프 단부 영역 내의 압력과 처리실 내부 공간 내의 압력 또는 대기압을 검출하기 위한 압력 검지 수단과, 제어 수단을 구비하여 이루어지고,상기 제어 수단은, 상기 압력 검지 수단으로부터의 검출 신호에 근거하여, 램프 단부 영역 내의 압력이 처리실 내부 공간 내의 압력 또는 대기압보다도 항상 높은 경우에 피처리물의 반송을 가능하게 하는 신호를, 상기 반송 기구에 송신하는 것을 특징으로 하는 액시머 램프 장치.
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