KR100886614B1 - Apparatus for testing semiconductor device having touch panel - Google Patents

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Abstract

A semiconductor device testing device having a touch panel is provided to enable a display unit of a touch panel to control the operation of a fixture, consequently a user is able to control the operation without a keyboard and mouse. Semiconductor products to be tested at plural fixtures, and a master computer(120) outputs a test execution signal to the fixtures. A touch screen(131) receives a fixture control key signal and displays test result data. A display unit includes a touch panel driving unit(133) which outputs a fixture control signal corresponding to the fixture control key signal. A switching unit(140) includes a key input unit, a switching control unit and a clock signal generator. A first interface unit includes a fixture control signal from an input pin, and a second interface includes plural output pins. A controller contains a switching element which outputs the fixture control signal to the plural output pins in sequence.

Description

터치패널을 갖는 반도체 제품 테스트 장치{APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING TOUCH PANEL}Semiconductor product tester with touch panel {APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING TOUCH PANEL}

본 발명은 반도체 제품 테스트 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 터치패널을 통해 픽스처의 운영 동작을 제어하여 반도체 제품의 테스트 효율이 향상된 반도체 제품 테스트 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a semiconductor product test apparatus, and more particularly, to a semiconductor product test apparatus having improved test efficiency of a semiconductor product by controlling an operation of a fixture through a touch panel.

일반적으로 반도체 제품의 신뢰성 테스트는 조립이 완료된 다수의 반도체 제품을 픽스처(Fixture) 등의 검사 장비에 장착시키고, 픽스처에 연결된 입출력 장치를 통해 테스트의 실행 및 테스트 결과의 확인이 이루어진다. In general, in the reliability test of a semiconductor product, a plurality of assembled semiconductor products are mounted on inspection equipment such as a fixture, and the test is executed and the test result is confirmed through an input / output device connected to the fixture.

종래의 반도체 제품 테스트 장치는 반도체 제품이 장착된 픽스처와, 픽스처를 제어하는 마스터 컴퓨터와, 테스트 결과를 확인하기 위한 모니터 및 각각의 픽스처에 연결되어 이들의 테스트 동작을 제어하는 키보드 또는 마우스 등의 입력 장치를 포함한다. 픽스처는 하나 또는 둘 이상의 반도체 제품이 장착 가능한 다수의 소켓을 포함하여 이루어지며, 반도체 제품의 테스트는 마스터 컴퓨터로부터 또는 픽스처 자체에서 실행되는 테스트 프로그램을 바탕으로 진행된다. 이때, 픽스처에 연결된 각각의 키보드와 마우스는 픽스처의 동작을 제어한다. 또한, 픽스처로부터 출력되는 테스트 결과는 픽스처 각각에 연결된 다수의 모니터에 각각 전달되거나 또는 다수의 테스트 결과를 표시하도록 연결된 다중 분할 모니터에 동시에 전달되어 관리자를 통해 이상 유무를 판단하도록 이루어진다. Conventional semiconductor product test apparatus includes a fixture equipped with a semiconductor product, a master computer controlling the fixture, a monitor for checking the test result, and a keyboard or mouse connected to each fixture to control the test operation thereof. Device. The fixture comprises a plurality of sockets into which one or more semiconductor products can be mounted, and the testing of the semiconductor product is based on a test program executed from the master computer or on the fixture itself. At this time, each keyboard and mouse connected to the fixture controls the operation of the fixture. In addition, the test result output from the fixture is transmitted to each of a plurality of monitors connected to each of the fixtures or simultaneously to multiple split monitors connected to display a plurality of test results are made to determine whether there is an abnormality through the administrator.

상술한 종래의 반도체 제품 테스트 장치는 대량 생산된 반도체 제품을 테스트할 경우, 다수의 픽스처에 대응하는 개수의 키보드 및 마우스를 모두 설치해야 하므로 이에 따른 공간이 낭비되는 문제점이 있었다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 평상시에는 키보드를 연결하지 않고 픽스처에 문제가 생겼을 경우에만 키보드를 연결하는 방법이 사용되고 있으나, 키보드의 연결 및 분리가 번거롭고 그만큼 반도체 제품의 테스트 시간이 지연되는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 통상적인 키보드에 비하여 상대적으로 크기가 작은 미니 키보드를 연결하여 사용하는 방법 등이 연구되고 있으나, 이 또한 공간 활용에 한계가 있으며 픽스처마다 관리 인력을 배치해야 한다는 점에서 효율적이지 못한 문제점이 있다. The conventional semiconductor product test apparatus described above has a problem in that space is wasted because a number of keyboards and mice corresponding to a plurality of fixtures must be installed when testing a mass-produced semiconductor product. In order to solve such a problem, a method of connecting a keyboard is used only when a fixture is normally used without a keyboard connected, but there is a problem in that connection and disconnection of the keyboard are cumbersome and the test time of the semiconductor product is delayed. In order to solve this problem, a method of connecting and using a mini keyboard that is relatively smaller than a conventional keyboard has been studied. However, this method is also effective in that there is a limitation in space utilization and management personnel must be arranged for each fixture. There is a problem.

한편, 종래의 반도체 제품 테스트 장치 중 마스터 컴퓨터는 각각의 픽스처에 테스트 프로그램을 실행하기 위한 신호만을 전달할 수 있으나 픽스처의 테스트 동작을 별도로 제어하는 제어 신호를 전달하는 것이 어려운 문제점이 있다. 실질적으로 통상적인 반도체 제품 테스트 장치 중 마스터 컴퓨터와 픽스처의 연결은 테스트 결과의 확인을 위해 연결되며, 테스트 중의 제어는 모두 픽스처에 연결된 각각의 키보드 또는 마우스 등의 입력 장치를 통해서만 가능하였다. On the other hand, among the conventional semiconductor product test apparatus, the master computer may transmit only a signal for executing a test program to each fixture, but it is difficult to transmit a control signal for separately controlling the test operation of the fixture. In practice, the connection between the master computer and the fixture of the conventional semiconductor product test apparatus is connected to confirm the test result, and the control during the test is only possible through an input device such as each keyboard or mouse connected to the fixture.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로, 특히 터치패널을 통해 픽스처의 운영 동작을 제어하여 반도체 제품의 테스트를 위한 공간 활용이 넓어지고 반도체 장비의 운영 효율이 향상된 반도체 제품 테스트 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, in particular, to control the operation operation of the fixture through the touch panel to provide a semiconductor product test apparatus that has a wider space utilization for the test of the semiconductor product, the operation efficiency of the semiconductor equipment is improved Its purpose is to.

본 발명에 의한 반도체 제품 테스트 장치는 테스트될 반도체 제품이 장착된 다수의 픽스처(110), 상기 다수의 픽스처(110)에 테스트 실행 신호를 출력하는 마스터 컴퓨터(120), 상기 마스터 컴퓨터(120)에 설치되되, 터치패널을 통해 상기 다수의 픽스처(110)의 운영 동작을 제어하기 위한 픽스처 제어 키 신호를 입력받고, 상기 다수의 픽스처(110)로부터 출력되는 테스트 결과 데이터를 화면에 표시하는 터치스크린(131) 및 상기 픽스처 제어 키 신호에 대응하는 픽스처 제어 신호를 출력하는 터치패널 구동부(133)를 포함하는 디스플레이부(130), 상기 다수의 픽스처(110)로부터 입력된 상기 테스트 결과 데이터 중 어느 하나를 선택하기 위한 키 신호를 출력하는 키 입력부(141)와, 상기 마스터 컴퓨터(120)에 연결된 제 1 입력 포트(142)를 통해 입력된 상기 테스트 실행 신호를 다중화하여 상기 다수의 픽스처(110)와 연결된 제 1 출력 포트(144)에 출력하고, 상기 다수의 픽스처(110)에 연결된 제 2 입력 포트(143)를 통해 입력된 테스트 결과 데이터를 상기 키 입력부(141)의 키 신호에 따라 선택하여 상기 디스플레이부(130)에 연결된 제 2 출력 포트(145)에 출력하고, 상기 테스트 실행 신호의 입력에 따라 제어 신호를 생성하여 출력하는 스위칭 제어부(146)와, 상기 스위칭 제어부(146)로부터 출력된 제어 신호에 따라 일정한 시간 간격으로 클록 신호를 출력하는 클록 신호 발생부(147)를 포함하는 스위칭부(140), 상기 클록 신호 발생부(147)의 클록 신호에 동기화되어 상기 터치패널 구동부(133)로부터 출력된 픽스처 제어 신호를 상기 다수의 픽스처(110)에 순차적으로 출력하는 콘트롤러(150)를 포함하는 것을 특징으로 한다. The semiconductor product test apparatus according to the present invention includes a plurality of fixtures 110 equipped with a semiconductor product to be tested, a master computer 120 outputting a test execution signal to the plurality of fixtures 110, and a master computer 120. The touch screen is installed, and receives a fixture control key signal for controlling an operation of the plurality of fixtures 110 through a touch panel, and displays test result data output from the plurality of fixtures 110 on the screen. 131 and a display unit 130 including a touch panel driver 133 for outputting a fixture control signal corresponding to the fixture control key signal, and any one of the test result data input from the plurality of fixtures 110. The test execution input through a key input unit 141 for outputting a key signal for selection and a first input port 142 connected to the master computer 120. Multiplexing a call and outputting it to a first output port 144 connected to the plurality of fixtures 110, and the test result data input through the second input port 143 connected to the plurality of fixtures 110 to the key The switching control unit 146 which selects according to the key signal of the input unit 141 and outputs it to the second output port 145 connected to the display unit 130, and generates and outputs a control signal according to the input of the test execution signal. And a clock signal generator 147 for outputting a clock signal at regular time intervals according to the control signal output from the switching controller 146, and the clock of the clock signal generator 147. And a controller 150 which sequentially outputs the fixture control signals output from the touch panel driver 133 to the plurality of fixtures 110 in synchronization with the signals.

여기서, 상기 콘트롤러(150)는 상기 터치패널 구동부(133)에 연결되어 입력핀(151a)으로부터 상기 픽스처 제어 신호를 입력받는 제 1 인터페이스(151), 상기 다수의 픽스처(110)에 각각 연결되는 다수의 출력핀(153b)을 갖는 제 2 인터페이스(153) 및 상기 제 1 인터페이스(151) 및 상기 제 2 인터페이스(153) 사이에 연결되어 상기 클록 신호 발생부(147)의 상기 클록 신호에 따라 상기 다수의 출력핀(153b)에 순차적으로 상기 픽스처 제어 신호를 출력하는 스위칭 소자(155)를 포함할 수 있다.Here, the controller 150 is connected to the touch panel driver 133 and is connected to the first interface 151 and the plurality of fixtures 110 that receive the fixture control signal from an input pin 151a, respectively. Is connected between the second interface 153 having the output pin 153b and between the first interface 151 and the second interface 153 according to the clock signal of the clock signal generator 147. It may include a switching element 155 for sequentially outputting the fixture control signal to the output pin (153b) of the.

또한, 상기 스위칭 소자(155)는 상기 제 1 인터페이스(151) 및 상기 제 2 인터페이스(153) 각각의 시그널 그라운드핀(151c, 153c)에 연결될 수 있다. In addition, the switching element 155 may be connected to the signal ground pins 151c and 153c of the first interface 151 and the second interface 153, respectively.

본 발명은 상기 다수의 픽스처(110) 각각에 연결되어 상기 반도체 제품의 테스트가 진행되는 동안에 상기 픽스처(110)의 운영 동작을 제어하는 키 신호를 출력하는 다수의 키보드 장치(160)를 더 포함하되, 상기 키보드 장치(160)로부터 출력되는 키 신호는 부팅 에러 정정 신호, 방향 전환 신호 및 입출력 선택 신호를 포함하여 이루어질 수 있다. The present invention further includes a plurality of keyboard devices 160 connected to each of the plurality of fixtures 110 and outputting key signals for controlling the operation of the fixture 110 during the test of the semiconductor product. The key signal output from the keyboard device 160 may include a boot error correction signal, a direction change signal, and an input / output selection signal.

본 발명에 의한 반도체 제품 테스트 장치에 따르면 터치패널을 갖는 디스플레이부를 포함하여 터치패널 디스플레이부가 픽스처의 운영 동작을 제어함으로써, 키보드 및 마우스 장치를 사용하지 않아도 픽스처의 운영 동작을 제어할 수 있기 때문에 테스트 효율이 향상되는 효과가 있고, 이에 따라 키보드 및 마우스 장치를 생략 가능하므로 공간 활용이 효율적인 효과가 있다. According to the semiconductor product test apparatus according to the present invention, since the touch panel display unit controls the operation operation of the fixture, including the display unit having the touch panel, it is possible to control the operation operation of the fixture without using a keyboard and a mouse device, thereby improving test efficiency. There is an effect to be improved, and accordingly it is possible to omit the keyboard and the mouse device there is an efficient use of space.

이하에서 첨부된 도면과 실시예를 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제품 테스트 장치에 대해 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 사용하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a semiconductor product test apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and embodiments. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and like reference numerals designate like parts throughout the specification.

먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제품 테스트 장치에 대해서 설명하기로 한다. First, a semiconductor product test apparatus according to an embodiment of the present invention will be described.

도 1에는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제품 테스트 장치를 개략적으로 나타낸 블록도가 도시되어 있고, 도 2에는 도 1의 반도체 제품 테스트 장치 중 스위칭부를 나타낸 블록도가 도시되어 있다. 또한, 도 3에는 도 1의 반도체 제품 테스트 장치 중 콘트롤러를 나타낸 블록도가 도시되어 있다. 1 is a block diagram schematically illustrating a semiconductor product test apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram illustrating a switching unit of the semiconductor product test apparatus of FIG. 1. 3 is a block diagram illustrating a controller in the semiconductor product test apparatus of FIG. 1.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제품 테스트 장치(100)는 다수의 픽스처(Fixture, 110), 마스터 컴퓨터(120), 디스플레이부(130), 스위치부(140), 콘트롤러(150) 및 다수의 키보드 장치(160)를 포함하여 이루어질 수 있다. 여기서 디스플레이부(130)는 터치패널을 갖는 터치스크린(131) 및 이를 구동하는 터치패널 구동부(133)를 포함한다. 본 발명은 터치스크린(131)을 포함하여 테스트 관리자로부터 다수의 픽스처(110)의 운영 동작을 제어하기 위한 픽스처 제어 키 신호를 터치패널을 통해 입력받으며, 이를 구동하는 터치패널 구동부(133)가 픽스처 제어 키 신호를 픽스처(110)가 인식 가능한 픽스처 제어 신호로 변환하여 컨트롤부(160)를 통해 각각의 픽스처(110)에 순차적으로 전달한다. 이에 따라, 본 발명은 디스플레이부(130)를 통해 다수의 테스트 결과 데이터를 모니터링함과 동시에 픽스처(110)의 운영 동작을 제어하여 보다 효율적으로 반도체 제품의 테스트가 진행되도록 돕는다. Referring to FIG. 1, a semiconductor product test apparatus 100 according to an exemplary embodiment may include a plurality of fixtures 110, a master computer 120, a display 130, a switch 140, and a controller. And a plurality of keyboard devices 160. The display unit 130 includes a touch screen 131 having a touch panel and a touch panel driver 133 for driving the touch screen 131. According to the present invention, a fixture control key signal for controlling an operation operation of a plurality of fixtures 110 including a touch screen 131 is received from a test manager through a touch panel, and the touch panel driver 133 for driving the fixture is driven by the fixture. The control key signal is converted into a fixture control signal recognizable by the fixture 110 and sequentially transmitted to each fixture 110 through the controller 160. Accordingly, the present invention monitors a plurality of test result data through the display 130 and controls the operation of the fixture 110 to help the test of the semiconductor product more efficiently.

먼저, 다수의 픽스처(FX1 내지 FXn, 110)는 다수의 반도체 제품(미도시)을 테스트하는 데 필요한 구동 제품이다. 각각의 픽스처(110)에는 반도체 제품이 전기 접속될 수 있도록 다수의 소켓이 형성되어 하나 또는 둘 이상의 반도체 제품이 장착될 수 있다. 픽스처(110)는 하술할 마스터 컴퓨터(120)로부터 입력되는 테스트 실행 신호에 따라 반도체 제품의 테스트를 시작하고, 이에 따른 테스트 결과 데이터를 하술할 디스플레이부(130)로 출력한다. 또한, 다수의 픽스처(110)는 반도체 제품의 테스트가 진행되는 동안에 각각에 연결된 키보드 장치(160) 및 터치스크린(131)을 통해 운영 동작이 제어될 수 있다. First, the plurality of fixtures FX1 to FXn 110 are driving products required to test a plurality of semiconductor products (not shown). Each fixture 110 may be formed with a plurality of sockets to be electrically connected to the semiconductor product may be mounted with one or more semiconductor products. The fixture 110 starts the test of the semiconductor product according to a test execution signal input from the master computer 120 to be described below, and outputs the test result data to the display unit 130 to be described below. In addition, the plurality of fixtures 110 may be operated by the keyboard device 160 and the touch screen 131 connected to each other during the test of the semiconductor product.

상기 마스터 컴퓨터(MPC, 120)는 다수의 픽스처(110)에 테스트 실행 신호를 출력한다. 본 발명에서, 반도체 제품의 테스트를 위한 테스트 프로그램은 마스터 컴퓨터(120) 또는 다수의 픽스처(110)에 각각 내장될 수 있다. 이때, 마스터 컴퓨 터(120)는 테스트 프로그램의 실행을 위한 테스트 실행 신호를 다수의 픽스처(110)에 동시에 또는 순차적으로 전달한다.  The master computer (MPC) 120 outputs a test execution signal to a plurality of fixtures (110). In the present invention, a test program for testing a semiconductor product may be embedded in the master computer 120 or the plurality of fixtures 110, respectively. In this case, the master computer 120 simultaneously or sequentially delivers a test execution signal for executing the test program to the plurality of fixtures 110.

상기 디스플레이부(130)는 마스터 컴퓨터(120)에 설치되어, 다수의 픽스처(110)로부터 출력되는 테스트 결과 데이터를 화면에 표시한다. 이에 따라, 반도체 제품의 테스트 결과 데이터가 화면을 통해 모니터링될 수 있다. 보다 상세하게 설명하면, 디스플레이부(130)는 터치패널을 갖는 터치스크린(TS, 131)과 이를 구동하는 터치패널 구동부(TPD, 133)를 포함한다. 디스플레이부(130)는 터치스크린(131)을 통해 테스트 결과 데이터를 모니터링함과 동시에 터치패널을 통해 다수의 픽스처(110)의 운영 동작을 제어하는 픽스처 제어 키 신호를 입력받는다. 즉, 테스트 관리자는 반도체 제품을 테스트하는 동안에 디스플레이부(130)를 통해 테스트 결과 데이터를 모니터링 할 수 있으며, 픽스처(110)로부터 출력되는 테스트 결과 데이터에 이상이 있을 경우, 즉시 터치스크린(131)을 눌러 터치패널로부터 픽스처 제어 키 신호가 출력되도록 할 수 있다. 터치스크린(131)은 하술할 스위치부(140)를 통해 출력되는 테스트 결과 데이터를 화면 분할로 표시하거나, 테스트 관리자의 선택에 따라 다수의 픽스처(110) 중 어느 하나의 테스트 결과 데이터를 선택적으로 모니터링 할 수 있다. 이때, 터치패널 구동부(133)는 터치패널로부터 출력되는 픽스처 제어 키 신호를 픽스처(110)가 인식 가능한 픽스처 제어 신호로 변환하여 하술할 콘트롤러(150)에 출력하고, 콘트롤러(150)는 픽스처 제어 신호를 다수의 픽스처(110)에 순차적으로 전달할 수 있다. The display unit 130 is installed in the master computer 120 to display test result data output from the plurality of fixtures 110 on the screen. Accordingly, test result data of the semiconductor product may be monitored through the screen. In more detail, the display 130 includes a touch screen TS 131 having a touch panel and a touch panel driver 133 driving the same. The display 130 monitors the test result data through the touch screen 131 and receives a fixture control key signal for controlling the operation of the plurality of fixtures 110 through the touch panel. That is, the test manager may monitor the test result data through the display unit 130 while testing the semiconductor product. If there is an error in the test result data output from the fixture 110, the test manager immediately changes the touch screen 131. Press to output the fixture control key signal from the touch panel. The touch screen 131 displays the test result data output through the switch unit 140 to be described below in screen division, or selectively monitors the test result data of any one of the plurality of fixtures 110 according to the selection of the test manager. can do. In this case, the touch panel driver 133 converts the fixture control key signal output from the touch panel into a fixture control signal recognizable by the fixture 110, and outputs it to the controller 150 to be described below, and the controller 150 fixes the fixture control signal. May be sequentially delivered to the plurality of fixtures 110.

상기 스위치부(SW, 140)는 마스터 컴퓨터(120)로부터 입력된 테스트 실행 신 호를 다중화하여 다수의 픽스처(110)에 각각 전달하고, 다수의 픽스처(110)로부터 입력되는 테스트 결과 데이터를 선택적으로 출력하여 디스플레이부(130)에 전달한다. 또한, 스위치부(140)는 반도체 제품의 테스트가 진행되는 동안에 하술할 콘트롤러(150)에 일정 시간 간격으로 클록 신호를 출력하여 디스플레이부(130)로부터 출력되는 픽스처 제어 신호가 다수의 픽스처(110)에 순차적으로 전달되도록 한다. The switch unit (SW) 140 multiplexes a test execution signal input from the master computer 120 to each of the plurality of fixtures 110 and selectively transmits the test result data input from the plurality of fixtures 110. The output is transmitted to the display unit 130. In addition, the switch unit 140 outputs a clock signal to the controller 150 to be described below at a predetermined time interval during the test of the semiconductor product, and the fixture control signals output from the display unit 130 include a plurality of fixtures 110. To be delivered sequentially.

도 2를 참조하면, 스위치부(140)는 키 입력부(141), 제 1 및 제 2 입력 포트(142, 143), 제 1 및 제 2 출력 포트(144, 145), 스위칭 제어부(146) 및 클록 신호 발생부(147)를 포함한다. 키 입력부(SW_KEY, 141)는 다수의 픽스처(110)로부터 각각 출력되는 다수의 테스트 결과 데이터 중 어느 하나를 선택하기 위한 키 신호를 출력한다. 실질적으로 키 입력부(141)는 테스트 관리자가 스위치부(140)에 설치된 키 버튼(미도시)을 누르면 이에 대응하는 키 신호를 출력한다. 제 1 입력 포트 내지 제 2 출력 포트(142 내지 145)는 각각 다수의 픽스처(110)와 마스터 컴퓨터(120) 또는 다수의 픽스처(110)와 디스플레이부(130) 사이에 출력되는 신호 및 데이터를 전달하기 위한 연결 수단의 역할을 한다. 제 1 입력 포트(MPC_I, 142)는 마스터 컴퓨터(120)와 연결되어 테스트 실행 신호를 입력받으며, 제 2 입력 포트(FX_I, 143)는 다수의 픽스처(110)와 연결되어 테스트 결과 데이터를 입력받는다. 또한, 제 1 출력 포트(TS_O, 144)는 디스플레이부(130)와 연결되어 다수의 테스트 결과 데이터 중 선택된 어느 하나 또는 그 이상을 출력하고, 제 2 출력 포트(FX_O, 145)는 다수의 픽스처(110)에 연결되어 테스트 실행 신호를 출력한다. 스위칭 제어부(SWC, 146)는 마스터 컴퓨터(120)로부터 입력된 테스트 실행 신호를 다 중화하여 제 2 출력 포트(145)로 출력하고, 키 입력부(141)의 키 신호에 따라 다수의 픽스처(110)로부터 각각 입력되는 다수의 테스트 결과 데이터 중 어느 하나 이상을 선택하여 제 1 출력 포트(144)로 출력한다. 또한, 스위치 제어부(146)는 테스트 실행 신호가 입력됨과 동시에 클록 신호 발생부(147)에 반도체 제품의 테스트가 시작되었음을 알리는 제어 신호를 출력하여 클록 신호 발생부(147)를 작동시킨다. 클록 신호 발생부(CON_CLK, 147)는 일정 시간 간격으로 클록 신호를 생성하여 하술할 콘트롤러(150)에 전송한다. 이때, 클록 신호는 터치패널 구동부(133)로부터 출력되는 픽스처 제어 신호가 각각의 픽스처(110)에 순차적으로 전달되도록 콘트롤러(150)를 동기화한다. Referring to FIG. 2, the switch unit 140 includes a key input unit 141, first and second input ports 142 and 143, first and second output ports 144 and 145, a switching control unit 146, and The clock signal generator 147 is included. The key input unit SW_KEY 141 outputs a key signal for selecting any one of a plurality of test result data respectively output from the plurality of fixtures 110. Substantially, the key input unit 141 outputs a key signal corresponding to the test manager pressing a key button (not shown) installed in the switch unit 140. The first input port to the second output port 142 to 145 transfer signals and data output between the plurality of fixtures 110 and the master computer 120 or the plurality of fixtures 110 and the display 130, respectively. It serves as a connection means for The first input ports MPC_I and 142 are connected to the master computer 120 to receive a test execution signal, and the second input ports FX_I and 143 are connected to the plurality of fixtures 110 and receive test result data. . In addition, the first output ports TS_O and 144 may be connected to the display 130 to output any one or more selected from among a plurality of test result data, and the second output ports FX_O and 145 may include a plurality of fixtures ( 110) to output a test execution signal. The switching control unit (SWC) 146 multiplexes the test execution signal input from the master computer 120 to the second output port 145 and outputs the plurality of fixtures 110 according to the key signal of the key input unit 141. Any one or more of a plurality of test result data input from each other are selected and output to the first output port 144. In addition, the switch controller 146 operates the clock signal generator 147 by inputting a test execution signal and outputting a control signal to the clock signal generator 147 indicating that the test of the semiconductor product has started. The clock signal generators CON_CLK 147 generate clock signals at predetermined time intervals and transmit the generated clock signals to the controller 150 to be described below. At this time, the clock signal synchronizes the controller 150 such that the fixture control signal output from the touch panel driver 133 is sequentially transmitted to each fixture 110.

상기 콘트롤러(CON, 150)는 디스플레이부(130)로부터 출력되는 픽스처 제어 신호를 다수의 픽스처(110)에 순차적으로 전달한다. 콘트롤러(150)는 스위치부(140)로부터 출력되는 클록 신호에 동기화되어, 디스플레이부(130) 중 터치패널 구동부(133)로부터 출력되는 픽스처 제어 신호를 각각의 픽스처(110)에 순차적으로 전달한다. The controllers CON and 150 sequentially transmit the fixture control signals output from the display 130 to the plurality of fixtures 110. The controller 150 is synchronized to the clock signal output from the switch unit 140 and sequentially transmits the fixture control signal output from the touch panel driver 133 of the display unit 130 to each fixture 110.

도 3을 참조하면, 콘트롤러(150)는 제 1 인터페이스(151), 제 2 인터페이스(153) 및 스위칭 소자(155)를 포함한다. 먼저, 제 1 인터페이스(CON_I, 151)는 터치패널 구동부(TPD, 133)에 연결되는 입력핀(151a), 제 2 인터페이스(153)에 연결된 출력핀(151b) 및 스위칭 소자(155)에 연결되는 시그널 그라운드핀(151c)을 포함한다. 제 1 인터페이스(151)는 입력핀(151a)을 통해 터치패널 구동부(133)의 픽스처 제어 신호를 출력핀(151b)에 전달한다. 이때, 픽스처 제어 신호는 클록 신호 에 의해 동기화되는 스위칭 소자(155)의 동작에 따라 다수의 픽스처(110)에 순차적으로 전달된다. 제 2 인터페이스(CON_O1 내지 CON_O2, 153)는 제 1 인터페이스(151)의 출력핀(151b)에 연결된 다수의 입력핀(153a), 다수의 픽스처(110)에 각각 연결된 다수의 출력핀(153b) 및 스위칭 소자(155)에 연결되는 다수의 시그널 그라운드핀(153c)을 포함한다. 제 2 인터페이스(153)는 입력핀(152a)으로부터 전달되는 픽스처 제어 신호를 출력핀(153b)을 통해 픽스처(110)에 전달한다. 여기서, 제 1 인터페이스(151) 및 제 2 인터페이스(153)는 각각, RS-232C(Recommended Standard-232C) 방식으로 연결될 수 있다. 스위칭 소자(155)는 제 1 인터페이스(151)의 시그널 그라운드핀(151c)과 제 2 인터페이스(153)의 시그널 그라운드핀(153c) 사이에 전기적으로 연결된다. 스위칭 소자(155)는 제 1 인터페이스(151)의 시그널 그라운드핀(151c)에 연결된 제 1 단자(155a)와 제 2 인터페이스(153)의 시그널 그라운드핀(153c)에 연결된 다수의 제 2 단자(155b) 및 클록 신호를 입력받는 제 3 단자(155c)를 포함한다. 본 발명에서, 스위칭 소자(155)는 스위치부(SW, 140)로부터 출력되는 클록 신호에 따라 동기화되어 동작하되, 클록 신호의 주기에 따라 제 1 단자(155a)와 다수의 제 2 단자(155b)를 순차적으로 연결한다. 이에 따라, 터치패널 구동부(133)로부터 출력된 픽스처 제어 신호가 첫 번째 픽스처(FX1, 110)부터 마지막 번째 픽스처(FXn, 110)까지 순차적으로 전달되므로, 디스플레이부(130)를 통해 픽스처(110)의 운영 동작이 제어된다. Referring to FIG. 3, the controller 150 includes a first interface 151, a second interface 153, and a switching element 155. First, the first interface CON_I and 151 are connected to an input pin 151a connected to the touch panel driver TPD 133, an output pin 151b connected to the second interface 153, and a switching element 155. And a signal ground pin 151c. The first interface 151 transmits the fixture control signal of the touch panel driver 133 to the output pin 151b through the input pin 151a. In this case, the fixture control signal is sequentially transmitted to the plurality of fixtures 110 according to the operation of the switching element 155 synchronized by the clock signal. The second interfaces CON_O1 to CON_O2 and 153 may include a plurality of input pins 153a connected to the output pins 151b of the first interface 151, a plurality of output pins 153b respectively connected to the plurality of fixtures 110, and A plurality of signal ground pins 153c are connected to the switching element 155. The second interface 153 transfers the fixture control signal transmitted from the input pin 152a to the fixture 110 through the output pin 153b. Here, the first interface 151 and the second interface 153 may be connected by RS-232C (Recommended Standard-232C), respectively. The switching element 155 is electrically connected between the signal ground pin 151c of the first interface 151 and the signal ground pin 153c of the second interface 153. The switching element 155 includes a plurality of second terminals 155b connected to the first terminal 155a connected to the signal ground pin 151c of the first interface 151 and the signal ground pin 153c of the second interface 153. ) And a third terminal 155c for receiving a clock signal. In the present invention, the switching element 155 is operated in synchronization with the clock signal output from the switch unit (SW) 140, the first terminal 155a and the plurality of second terminals 155b in accordance with the cycle of the clock signal Connect sequentially. Accordingly, since the fixture control signal output from the touch panel driver 133 is sequentially transmitted from the first fixtures FX1 and 110 to the last fixture FXn and 110, the fixture 110 is displayed through the display 130. The operating behavior of is controlled.

상기 다수의 키보드 장치(K1 내지 Kn, 160)는 다수의 픽스처(110)에 각각 연결되어 반도체 제품의 테스트가 진행되는 동안에 픽스처(110)의 운영 동작을 제어 하는 키 신호를 출력한다. 본 발명에 따르면, 다수의 키보드 장치(160)는 통상적인 키보드, 미니 키보드 및 마우스 중 어느 하나 또는 그 이상을 포함할 수 있다. 이러한 키보드 장치(160)로 출력되는 키 신호는 픽스처(110)의 부팅 에러를 정정하는 부팅 에러 정정 신호, 방향 전환을 위한 방향 전환 신호, 데이터의 입력 및 출력을 선택하는 입출력 선택 신호 등을 포함할 수 있다. 이때, 키보드 장치(160)는 테스트 관리자의 별도 제어 없이도 부팅 에러 정정 신호를 송출하도록 이루어질 수 있으나, 본 발명에서 이를 한정하지는 않는다. 또한, 키보드 장치(160)로부터 출력되는 키 신호 디스플레이부(130)로부터 출력되는 픽스처 제어 신호와 동일한 것일 수 있으므로 테스트 장소의 공간을 효율적으로 사용하기 위해 생략 될 수도 있으며, 본 발명에서 이를 한정하지는 않는다. The plurality of keyboard devices K1 to Kn and 160 are connected to the plurality of fixtures 110, respectively, and output key signals for controlling the operation of the fixture 110 during the test of the semiconductor product. According to the present invention, the plurality of keyboard devices 160 may include any one or more of a conventional keyboard, a mini keyboard and a mouse. The key signal output to the keyboard device 160 may include a boot error correction signal for correcting a boot error of the fixture 110, a direction change signal for direction change, an input / output selection signal for selecting data input and output, and the like. Can be. In this case, the keyboard device 160 may be configured to transmit a boot error correction signal without additional control of the test manager, but the present invention is not limited thereto. In addition, since it may be the same as the fixture control signal output from the key signal display unit 130 output from the keyboard device 160, it may be omitted to efficiently use the space of the test location, but the present invention is not limited thereto. .

다음으로 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제품 테스트 장치(100)를 이용하여 픽스처(110)의 테스트 동작을 제어하는 방법에 대해 상세하게 설명하기로 한다. Next, a method of controlling the test operation of the fixture 110 using the semiconductor product test apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail.

먼저, 반도체 제품 테스트 장치(100)는 마스터 컴퓨터(120)가 테스트 실행 신호를 출력하면 마스터 컴퓨터(120) 또는 다수의 픽스처(110)에 설치된 테스트 프로그램이 실행되면서 반도체 제품의 테스트가 시작된다. 다수의 픽스처(110)는 테스트 프로그램이 실행되는 동안 테스트 결과 데이터를 스위치부(140)에 출력하며, 스위치부(140)는 다수의 테스트 결과 데이터 중 테스트 관리자가 선택한 픽스처(110)의 테스트 결과 데이터를 디스플레이부(130)에 출력하여 화면에 표시한다. 디스플레이부(130)의 터치스크린(131)은 다수의 테스트 결과 데이터를 화면 분할 모드로 모니터링하거나, 하나의 테스트 결과 데이터를 전체 화면 모드로 모니터링 할 수 있다. 화면 분할 모드 또는 전체 화면 모드의 선택은 스위치부(140) 중 키 입력부(141)로부터 입력되는 신호에 의해 선정될 수 있다. First, when the master computer 120 outputs a test execution signal, the semiconductor product test apparatus 100 starts a test of the semiconductor product while a test program installed in the master computer 120 or the plurality of fixtures 110 is executed. The plurality of fixtures 110 outputs the test result data to the switch unit 140 while the test program is executed, and the switch unit 140 performs test result data of the fixture 110 selected by the test manager among the plurality of test result data. The output to the display unit 130 to display on the screen. The touch screen 131 of the display 130 may monitor a plurality of test result data in a screen division mode or monitor one test result data in a full screen mode. The selection of the screen division mode or the full screen mode may be selected by a signal input from the key input unit 141 of the switch unit 140.

한편, 테스트 관리자는 반도체 제품의 테스트가 진행되는 동안 다수의 픽스처(110)의 동작 상태를 확인하고, 이상이 있을 경우 디스플레이부(130) 또는 키보드 장치(160)를 통해 픽스처 제어 신호를 출력하여 테스트가 원활하게 진행되도록 픽스처(110)를 제어할 수 있다. 예를 들어, 디스플레이부(130)는 터치패널을 포함하는 터치스크린(131)을 통해 테스트 관리자로부터 픽스처(110)의 운영 동작을 제어하는 픽스처 제어 키 신호를 입력 받은 후, 터치패널 구동부(133)를 통해 픽스처(110)에 픽스처 제어 신호를 출력한다. 본 발명에 따르면, 픽스처 제어 신호는 콘트롤러(150)를 통해 다수의 픽스처(110)에 순차적으로 전달될 수 있다. 이때, 콘트롤러(150)는 테스트의 실행과 동시에 픽스처 제어 신호를 순차적으로 출력하도록 스위치부(140)로부터 동기화될 수 있다. 또한, 다수의 픽스처(110)는 각각에 연결된 키보드 장치(160)를 통해 테스트 동작이 제어될 수 있다. 키보드 장치(160)는 픽스처(110)의 부팅 에러를 정정하기 위한 부팅 에러 정정 신호, 방향 선택 신호 및 데이터 입출력 신호 등을 포함한 키 신호를 테스트 관리자의 선택에 따라 또는 미리 설정된 시간에 자동으로 픽스처(110)에 출력하여 테스트의 진행이 원활해지도록 돕는다. Meanwhile, the test manager checks the operation state of the plurality of fixtures 110 while the semiconductor product is being tested, and if there is an error, outputs the fixture control signal through the display unit 130 or the keyboard device 160 to test it. The fixture 110 may be controlled to smoothly proceed. For example, the display 130 receives a fixture control key signal for controlling the operation of the fixture 110 from the test manager through the touch screen 131 including the touch panel, and then the touch panel driver 133. The fixture control signal is output to the fixture 110 through. According to the present invention, the fixture control signal may be sequentially transmitted to the plurality of fixtures 110 through the controller 150. In this case, the controller 150 may be synchronized from the switch unit 140 to sequentially output the fixture control signal at the same time as the test is executed. In addition, the plurality of fixtures 110 may be controlled to the test operation through the keyboard device 160 connected to each. The keyboard device 160 automatically fixes a key signal including a boot error correction signal, a direction selection signal, a data input / output signal, and the like for correcting a boot error of the fixture 110 at a preset time or at a preset time. 110) to facilitate the progress of the test.

상술한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 반도체 제품 테스트 장치(100)는 터 치패널을 갖는 디스플레이부(130)를 포함하여 디스플레이부(130)가 픽스처(110)의 운영 동작을 제어할 수 있어 테스트 효율이 향상될 수 있다. 즉, 디스플레이부(130)는 터치스크린(131)을 통해 테스트 결과 데이터를 모니터링 하며, 모니터링 도중에 테스트 결과 데이터에 이상이 있을 경우 테스트 관리자가 터치스크린(131)을 눌러 픽스처(110)의 운영 동작을 제어하는 픽스처 제어 키 신호를 입력할 수 있다. 디스플레이부(130)는 터치패널 구동부(133)를 통해 픽스처 제어 키 신호를 콘트롤러(150)가 인식 가능한 픽스처 제어 신호로 변환 후 출력하며, 콘트롤러(150)는 스위치부(140)로부터 출력되는 클록 신호에 동기화되어 각각의 픽스처(110)에 픽스처 제어 신호를 순차적으로 출력할 수 있다. 본 발명에 따르면, 픽스처 제어 신호는 RS232C 통신 방식을 통해 디스플레이부(130)에서 콘트롤러(150)를 거쳐 다수의 픽스처(110)에 각각 전달된다. 이에 따라, 테스트관리자는 다수의 픽스처(110)에 연결된 키보드 장치(160)를 직접 제어하지 않고, 모니터링 현장에서 바로 픽스처(110)의 운영 동작을 제어할 수 있으므로, 테스트의 진행이 보다 순조롭게 이루어질 수 있다. 즉, 다수의 픽스처(110)는 각각에 연결된 키보드 장치(160) 및 디스플레이부(130) 모두를 사용할 수 있으므로, 보다 효율적인 테스트의 진행이 가능해지며, 필요에 따라 다수의 키보드 장치(160)를 생략하여 테스트 장소의 공간을 넓게 사용할 수도 있다. According to the exemplary embodiment of the present invention, the semiconductor product test apparatus 100 may include a display unit 130 having a touch panel so that the display unit 130 may control an operation of the fixture 110. Test efficiency can be improved. That is, the display 130 monitors the test result data through the touch screen 131, and if there is an error in the test result data during the monitoring, the test manager presses the touch screen 131 to operate the fixture 110. A fixture control key signal can be input. The display 130 converts the fixture control key signal into a fixture control signal that can be recognized by the controller 150 through the touch panel driver 133, and outputs the clock signal output from the switch unit 140. The fixture control signals may be sequentially output to the fixtures 110 in synchronization with each other. According to the present invention, the fixture control signal is transmitted from the display unit 130 to the plurality of fixtures 110 through the controller 150 through the RS232C communication scheme. Accordingly, the test manager may control the operation operation of the fixture 110 directly at the monitoring site without directly controlling the keyboard device 160 connected to the plurality of fixtures 110, so that the test proceeds more smoothly. have. That is, since the plurality of fixtures 110 can use both the keyboard device 160 and the display unit 130 connected to each other, more efficient testing can be performed, and a plurality of keyboard devices 160 are omitted as necessary. This makes it possible to use more space at the test site.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에 서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형의 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 특허청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다. The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and any person skilled in the art without departing from the gist of the invention as claimed in the claims may practice various modifications. Of course, such changes are within the scope of the claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제품 테스트 장치의 블록도.1 is a block diagram of a semiconductor product test apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 반도체 제품 테스트 장치 중 스위칭부의 블록도.FIG. 2 is a block diagram of a switching unit of the semiconductor product test apparatus of FIG. 1. FIG.

도 3은 도 1의 반도체 제품 테스트 장치 중 콘트롤러의 블록도.3 is a block diagram of a controller in the semiconductor product test apparatus of FIG. 1.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100 : 반도체 제품 테스트 장치 110 : 픽스처100: semiconductor product test apparatus 110: fixture

120 : 마스터 컴퓨터 130 : 디스플레이부120: master computer 130: display unit

131 : 터치스크린 133 : 터치패널 구동부131: touch screen 133: touch panel driver

140 : 스위칭부 150 : 콘트롤러140: switching unit 150: controller

151 : 제 1 인터페이스 153 : 제 2 인터페이스151: first interface 153: second interface

155 : 스위칭 소자 160 : 키보드 장치155: switching element 160: keyboard device

Claims (4)

테스트될 반도체 제품이 장착된 다수의 픽스처(110);A plurality of fixtures 110 on which the semiconductor product to be tested is mounted; 상기 다수의 픽스처(110)에 테스트 실행 신호를 출력하는 마스터 컴퓨터(120);A master computer 120 outputting a test execution signal to the plurality of fixtures 110; 상기 마스터 컴퓨터(120)에 설치되되, 터치패널을 통해 상기 다수의 픽스처(110)의 운영 동작을 제어하기 위한 픽스처 제어 키 신호를 입력받고, 상기 다수의 픽스처(110)로부터 출력되는 테스트 결과 데이터를 화면에 표시하는 터치스크린(131) 및 상기 픽스처 제어 키 신호에 대응하는 픽스처 제어 신호를 출력하는 터치패널 구동부(133)를 포함하는 디스플레이부(130);Is installed in the master computer 120, receives a fixture control key signal for controlling the operation of the plurality of fixtures 110 through a touch panel, and outputs the test result data output from the plurality of fixtures 110 A display unit 130 including a touch screen 131 displayed on a screen and a touch panel driver 133 for outputting a fixture control signal corresponding to the fixture control key signal; 상기 다수의 픽스처(110)로부터 입력된 상기 테스트 결과 데이터 중 어느 하나를 선택하기 위한 키 신호를 출력하는 키 입력부(141)와, 상기 마스터 컴퓨터(120)에 연결된 제 1 입력 포트(142)를 통해 입력된 상기 테스트 실행 신호를 다중화하여 상기 다수의 픽스처(110)와 연결된 제 1 출력 포트(144)에 출력하고, 상기 다수의 픽스처(110)에 연결된 제 2 입력 포트(143)를 통해 입력된 테스트 결과 데이터를 상기 키 입력부(141)의 키 신호에 따라 선택하여 상기 디스플레이부(130)에 연결된 제 2 출력 포트(145)에 출력하고, 상기 테스트 실행 신호의 입력에 따라 제어 신호를 생성하여 출력하는 스위칭 제어부(146)와, 상기 스위칭 제어부(146)로부터 출력된 제어 신호에 따라 일정한 시간 간격으로 클록 신호를 출력하는 클록 신호 발생부(147)를 포함하는 스위칭부(140);Through a key input unit 141 for outputting a key signal for selecting any one of the test result data input from the plurality of fixtures 110, and through a first input port 142 connected to the master computer 120 The inputted test execution signal is multiplexed and output to the first output port 144 connected to the plurality of fixtures 110, and the test input through the second input port 143 connected to the plurality of fixtures 110. Selecting the result data according to the key signal of the key input unit 141 to output to the second output port 145 connected to the display unit 130, and generates and outputs a control signal in accordance with the input of the test execution signal A switching unit 140 including a switching control unit 146 and a clock signal generation unit 147 outputting a clock signal at regular time intervals according to the control signal output from the switching control unit 146; 상기 클록 신호 발생부(147)의 클록 신호에 동기화되어 상기 터치패널 구동부(133)로부터 출력된 픽스처 제어 신호를 상기 다수의 픽스처(110)에 순차적으로 출력하되, 상기 터치패널 구동부(133)에 연결되어 입력핀(151a)으로부터 상기 픽스처 제어 신호를 입력받는 제 1 인터페이스(151), 상기 다수의 픽스처(110)에 각각 연결되는 다수의 출력핀(153b)을 갖는 다수의 제 2 인터페이스(153) 및 상기 제 1 인터페이스(151) 및 상기 제 2 인터페이스(153) 사이에 연결되어 상기 클록 신호 발생부(147)의 상기 클록 신호에 따라 상기 다수의 출력핀(153b)에 순차적으로 상기 픽스처 제어 신호를 출력하는 스위칭 소자(155)를 갖는 콘트롤러(150)를 포함하되, Synchronized with the clock signal of the clock signal generator 147 to sequentially output the fixture control signals output from the touch panel driver 133 to the plurality of fixtures 110, and connected to the touch panel driver 133. A plurality of second interfaces 153 having a first interface 151 for receiving the fixture control signal from an input pin 151a, a plurality of output pins 153b respectively connected to the plurality of fixtures 110, and It is connected between the first interface 151 and the second interface 153 and sequentially outputs the fixture control signal to the plurality of output pins 153b according to the clock signal of the clock signal generator 147. Including a controller 150 having a switching element 155, 상기 스위칭 소자(155)는 상기 제 1 인터페이스(151)의 시그널 그라운드핀(151c)에 연결된 제 1 단자(155a)와, 상기 제 2 인터페이스(153)의 시그널 그라운드 핀(151c)에 연결된 제 2 단자(155b) 및 상기 클록 신호를 입력 받는 제 3 단자(155c)를 포함하여, 상기 클록 신호의 입력에 대응하여 상기 제 1 단자(155a) 및 상기 제 2 단자(155b)를 순차적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 반도체 제품 테스트 장치. The switching element 155 may include a first terminal 155a connected to the signal ground pin 151c of the first interface 151 and a second terminal connected to the signal ground pin 151c of the second interface 153. And a third terminal 155c for receiving the clock signal, and sequentially connecting the first terminal 155a and the second terminal 155b corresponding to the input of the clock signal. Semiconductor product test apparatus. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다수의 픽스처(110) 각각에 연결되어 상기 반도체 제품의 테스트가 진행되는 동안에 상기 픽스처(110)의 운영 동작을 제어하는 키 신호를 출력하는 다수의 키보드 장치(160)를 더 포함하되, The apparatus may further include a plurality of keyboard devices 160 connected to each of the plurality of fixtures 110 and outputting key signals for controlling an operation of the fixture 110 during the test of the semiconductor product. 상기 키보드 장치(160)로부터 출력되는 키 신호는 부팅 에러 정정 신호, 방향 전환 신호 및 입출력 선택 신호를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제품 테스트 장치.The key signal output from the keyboard device 160 includes a boot error correction signal, a direction change signal, and an input / output selection signal.
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