KR100884307B1 - NOX Sensor - Google Patents

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Abstract

본 발명은 질소산화물 센서에 관한 것으로서, 일산화질소 및 이산화질소에 대한 센서 신호의 출력방향을 동일하게 하여 질소산화물의 총량을 더욱 정확하게 측정할 수 있고 산화물 감지전극의 형성방법에 따라 이산화질소에만 반응하도록 할 수 있는 질소산화물 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a nitrogen oxide sensor, the output direction of the sensor signal for nitrogen monoxide and nitrogen dioxide can be the same to more accurately measure the total amount of nitrogen oxide and to react only with nitrogen dioxide according to the method of forming the oxide sensing electrode. The present invention relates to a nitrogen oxide sensor.

본 발명의 질소산화물 센서(100)는 산소이온 전도성 고체전해질(10); 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)에 하나 이상 형성되는 산화물 감지전극(20); 상기 산화물 감지전극(20)에 형성되는 제 1 귀금속 전극(30); 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)에 형성되는 제 2 귀금속 전극(40); 및 상기 산화물 감지전극(20)과 제 2 귀금속 전극(40)을 전기적으로 연결하고 연장되는 기전력 리드선(50)으로 이루어지고, 상기 산화물 감지전극(20)과 제 2 귀금속 전극(40)은 병렬연결되는 것을 특징으로 한다.  Nitrogen oxide sensor 100 of the present invention is oxygen ion conductive solid electrolyte 10; An oxide sensing electrode 20 formed on the oxygen ion conductive solid electrolyte 10; A first precious metal electrode 30 formed on the oxide sensing electrode 20; A second precious metal electrode 40 formed on the oxygen ion conductive solid electrolyte 10; And an electromotive force lead wire 50 which electrically connects and extends the oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40, and the oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40 are connected in parallel. It is characterized by.

이에 따라, 본 발명의 질소산화물 센서는 일산화질소 및 이산화질소에 대한 센서 신호의 출력방향을 동일하게 하여 고온 및 저농도의 악조건에서도 질소산화물의 총량을 측정하거나 이산화질소에만 반응하게 하여 이산화질소 농도측정을 더욱 정확하고 안정적으로 측정할 수 있다.Accordingly, the nitrogen oxide sensor of the present invention measures the total amount of nitrogen oxide or reacts only with nitrogen dioxide even under adverse conditions of high temperature and low concentration by making the output direction of the sensor signal for nitrogen monoxide and nitrogen dioxide more accurate and It can be measured reliably.

또한, 본 발명의 질소산화물 센서는 전체 질소산화물의 농도를 측정가능한 센서 및 이산화질소의 농도를 측정가능한 센서를 이용하여 일산화질소 및 이산화질소의 농도를 산출함으로써 질소저감장치에서 정확한 양의 촉매량을 분사할 수 있는 효과가 있다.In addition, the nitrogen oxide sensor of the present invention can inject the correct amount of catalyst in the nitrogen reducing device by calculating the concentration of nitrogen monoxide and nitrogen dioxide using a sensor capable of measuring the concentration of total nitrogen oxide and a sensor capable of measuring the concentration of nitrogen dioxide. It has an effect.

일산화질소, 이산화질소, 질소저감장치, 기전력 Nitrogen Monoxide, Nitrogen Dioxide, Nitrogen Reduction Device, Electromotive Force

Description

질소산화물 센서{NOX Sensor}NOx Sensor

도 1은 종래의 전류식 질소산화물 센서를 나타낸 개략도.1 is a schematic view showing a conventional current type nitrogen oxide sensor.

도 2a는 혼합전위방식을 이용한 질소산화물 센서를 나타낸 개략도.Figure 2a is a schematic diagram showing a nitrogen oxide sensor using a mixed potential method.

도 2b는 상기 도 2a에 도시한 질소산화물 센서에 산화물 감지전극으로 NiO가 형성된 경우의 기전력 그래프.2B is an electromotive force graph when NiO is formed as an oxide sensing electrode in the nitrogen oxide sensor illustrated in FIG. 2A.

도 2c는 상기 도 2a에 도시한 질소산화물 센서에 산화물 감지전극으로 CuO가 형성된 경우의 기전력 그래프.2C is an electromotive force graph when CuO is formed as an oxide sensing electrode in the nitrogen oxide sensor illustrated in FIG. 2A.

도 3은 종래의 다른 혼합전위 방식의 질소산화물 센서를 나타낸 개략도.Figure 3 is a schematic diagram showing another conventional mixed potential nitrogen oxide sensor.

도 4는 본 발명의 질소산화물 센서를 나타낸 개략도.4 is a schematic view showing a nitrogen oxide sensor of the present invention.

도 5는 상기 도 4에 도시한 질소산화물 센서에 양의 산화물 감지전극으로 NiO, 음의 산화물 감지전극으로 CuO가 형성된 경우의 전압 그래프.FIG. 5 is a voltage graph when NiO is formed as a positive oxide sensing electrode and CuO is formed as a negative oxide sensing electrode in the nitrogen oxide sensor illustrated in FIG. 4.

도 6은 본 발명의 질소산화물 센서의 다른 예를 나타낸 개략도.6 is a schematic view showing another example of the nitrogen oxide sensor of the present invention.

도 7은 상기 도 6에 도시한 질소산화물 센서에 산화물 감지전극으로 NiO가 형성된 경우의 전압 그래프.FIG. 7 is a voltage graph when NiO is formed as an oxide sensing electrode in the nitrogen oxide sensor illustrated in FIG. 6.

도 8a는 산화물 감지전극이 귀금속 전극과 병렬로 연결되어 있지 않는 질소산화물 센서의 개략도.8A is a schematic diagram of a nitrogen oxide sensor in which the oxide sensing electrode is not connected in parallel with the precious metal electrode.

도 8b는 도8a에 도시한 질소산화물 센서에 산화물 감지전극으로 NiO를 형성 한 경우의 전압변화 그래프.FIG. 8B is a graph of voltage change when NiO is formed as an oxide sensing electrode in the nitrogen oxide sensor shown in FIG. 8A.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

100 : 질소산화물 센서100: nitrogen oxide sensor

10 : 산소이온 전도성 고체전해질10: oxygen ion conductive solid electrolyte

20, 20-1, 20-2 : 산화물 감지전극20, 20-1, 20-2: oxide sensing electrode

30 : 제 1 귀금속 전극30: first precious metal electrode

40 : 제 2 귀금속 전극40: second precious metal electrode

50 : 기전력 리드선50: electromotive force lead wire

본 발명은 질소산화물 센서에 관한 것으로서, 일산화질소 및 이산화질소에 대한 센서 신호의 출력방향을 동일하게 하여 질소산화물의 총량을 더욱 정확하게 측정할 수 있고 산화물 감지전극의 형성방법에 따라 이산화질소에만 반응하도록 할 수 있는 질소산화물 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a nitrogen oxide sensor, the output direction of the sensor signal for nitrogen monoxide and nitrogen dioxide can be the same to more accurately measure the total amount of nitrogen oxide and to react only with nitrogen dioxide according to the method of forming the oxide sensing electrode. The present invention relates to a nitrogen oxide sensor.

질소산화물은 연소공기 및 연료에 함유된 질소가 온도 등의 영향을 받아 산소와 결합하여 생성된 것으로 일산화질소(NO), 이산화질소(NO2), 및 삼산화이질 소(N2O3)를 포함하여 총칭하여 NOX로 표시한다. Nitrogen oxides are produced by combining nitrogen in combustion air and fuel with the influence of temperature, including nitrogen monoxide (NO), nitrogen dioxide (NO 2 ), and dinitrogen trioxide (N 2 O 3 ). Genericly expressed as NO X.

특히, 상기 이산화질소는 적갈색의 자극성 냄새가 있는 유독한 기체로, 상기 질소산화물은 일산화질소 및 이산화질소가 대부분을 차지하며 자동차와 같은 운송수단에 의해 많이 유발되어 대기오염원으로 작용하게되므로 질소산화물 농도 측정의 필요성이 증가되고 있다.In particular, the nitrogen dioxide is a toxic gas with a reddish brown irritating odor, the nitrogen oxide occupies most of the nitrogen monoxide and nitrogen dioxide and is caused by a vehicle such as a vehicle to act as an air pollution source of nitrogen oxide concentration measurement The need is increasing.

질소산화물 전체의 농도를 측정할 수 있는 센서는 다양한 방법이 제안된 바 있으며, 먼저 평형전위를 이용한 방법을 설명한다.Various methods have been proposed for a sensor that can measure the total concentration of nitrogen oxides, and first, a method using an equilibrium potential will be described.

상기 평형전위를 이용한 센서는 고체전해질에 질소산화물 성분을 포함하는 고체 상태의 질산염을 감지전극으로 형성하고 고체전해질 내의 전도이온 활동도를 일정하게 하는 귀금속 전극으로 형성하여 전기화학셀을 구성함으로써 이 셀에서 발생되는 기전력을 이용하여 질소산화물의 농도를 측정한다. 그러나, 상기 평형전위를 이용한 센서는 상기 감지전극의 녹는점이 낮아 가스의 온도가 고온인 상황에서는 작동에 한계가 있는 문제점이 있다. 실제, 상기 평형전위를 이용한 센서에서 상기 감지전극으로 형성되는 Ba(NO3)2의 녹는점은 592℃이다.The sensor using the equilibrium potential forms an electrochemical cell by forming a nitrate in a solid state containing a nitrogen oxide component in a solid electrolyte as a sensing electrode and a noble metal electrode which makes the conduction ion activity in the solid electrolyte constant. The concentration of nitrogen oxide is measured by using the electromotive force generated in. However, the sensor using the equilibrium potential has a problem in that the operating point is limited in a situation where the melting point of the sensing electrode is low and the temperature of the gas is high. In fact, the melting point of Ba (NO 3 ) 2 formed as the sensing electrode in the sensor using the equilibrium potential is 592 ° C.

두 번째로, 전류식 질소산화물 센서가 제안된 바 있으며 이를 도 1에 도시하였다. 상기 전류식 질소산화물 센서는 상기 산소펌핑셀(150)을 이용하여 일산화질소로 변환하고 상기 일산화질소를 분해하여 얻어진 산소이온(O2-)에 의한 전류를 측정하여 질소산화물의 농도를 측정하는 것이다.Second, a current-type nitrogen oxide sensor has been proposed and shown in FIG. 1. The current type nitrogen oxide sensor is to measure the concentration of nitrogen oxide by measuring the current by the oxygen ion (O 2- ) obtained by converting to nitrogen monoxide using the oxygen pumping cell 150 and decomposing the nitrogen monoxide. .

상기 전류식 질소산화물 센서는 배기가스가 유입되는 상류측에 형성되어 이 산화질소를 일산화질소로 단일화하는 산소펌핑셀; 유입된 일산화질소를 질소와 산소로 분해하여 상기 분해된 산소를 이용하여 전류를 측정하는 측정셀로 이루어진다. The current-type nitrogen oxide sensor includes an oxygen pumping cell formed at an upstream side into which exhaust gas is introduced to unite the nitrogen oxide with nitrogen monoxide; It is composed of a measuring cell for decomposing nitrogen monoxide introduced into nitrogen and oxygen to measure current using the decomposed oxygen.

그러나, 상기 전류식 질소산화물 센서는 상기 산소펌핑셀에 의해 이산화질소의 전량을 일산화질소로 변환할 수 있다면 질소산화물의 총량에 비례하는 전류를 얻을 수 있지만, 산소이온에 의한 전류 측정은 온도에 의해 변화가 크고 농도가 수백ppm 이하의 조건에서는 측정전류가 매우 작아져 질소산화물의 총량을 측정하는데 어려움이 있다.However, the current-type nitrogen oxide sensor can obtain a current proportional to the total amount of nitrogen oxide if the total amount of nitrogen dioxide can be converted to nitrogen monoxide by the oxygen pumping cell, but the current measurement by oxygen ion changes with temperature At high and high concentrations of several hundred ppm or less, the measurement current becomes very small, making it difficult to measure the total amount of nitrogen oxides.

세 번째로, 종래의 질소산화물의 농도를 측정할 수 있는 센서로 혼합전위방식을 이용하는 질소산화물 센서가 제안된 바 있으며, 상기 혼합전위방식을 이용한 질소산화물 센서를 도 2a에 도시하였다.Third, a nitrogen oxide sensor using a mixed potential method has been proposed as a sensor capable of measuring the concentration of a conventional nitrogen oxide, and the nitrogen oxide sensor using the mixed potential method is illustrated in FIG. 2A.

상기 도 2a에 도시한 혼합전위방식을 이용하는 질소산화물 센서는 안정화 지르코니아를 이용하는 산소이온 전도체(110); 상기 산소이온 전도체의 일측면에 형성되는 산화물 감지전극(120); 상기 산화물 감지전극(120)에 형성되는 제 1 귀금속 전극(130); 및 제 2 귀금속 기준전극(140)으로 형성되며, 상기 제 1 귀금속 전극(130) 및 제 2 귀금속 기준전극(140) 양단의 기전력을 측정하는 것을 특징으로 한다.The nitrogen oxide sensor using the mixed potential method shown in FIG. 2A includes an oxygen ion conductor 110 using stabilized zirconia; An oxide sensing electrode 120 formed on one side of the oxygen ion conductor; A first precious metal electrode 130 formed on the oxide sensing electrode 120; And a second precious metal reference electrode 140, and the electromotive force at both ends of the first precious metal electrode 130 and the second precious metal reference electrode 140 is measured.

상기 혼합전위방식을 이용하는 질소산화물 센서는 산화물 감지전극이 질소산화물과 산소에 반응성을 가지나 귀금속 기준전극은 산소에만 반응성을 갖고 있어, 가스 중에 포함된 질소산화물의 농도에 따라 상기 산화물 감지전극과 귀금속 기준 전극간의 전압차이가 발생하게 되므로 이 기전력의 차이를 측정함으로서 질소산화물의 양을 측정하는 방식이다.In the nitrogen oxide sensor using the mixed potential method, the oxide sensing electrode has reactivity with nitrogen oxide and oxygen, but the precious metal reference electrode has only reactivity with oxygen, so that the oxide sensing electrode and the precious metal standard have different concentrations according to the concentration of nitrogen oxide contained in the gas. Since the voltage difference occurs between the electrodes, the amount of nitrogen oxide is measured by measuring the difference in electromotive force.

더욱 상세하게, 상기 혼합전위방식을 이용하는 질소산화물 센서는 이산화질소가 존재하는 경우에는 아래의 식(1) 및 식(2)과 같은 반응이 일어나며, 일산화질소가 존재하는 경우에는 아래의 식(3) 및 식(4)와 같은 반응이 일어난다.More specifically, the nitrogen oxide sensor using the mixed potential method, when nitrogen dioxide is present, a reaction occurs as shown in the following formulas (1) and (2), and when nitrogen monoxide is present, the following formula (3) And a reaction as in formula (4) occurs.

NO2의 경우 : NO2 + 2e - → NO + O2 - ........ (1)In the case of NO2: NO 2 + 2 e - → NO + O 2 - ........ (1)

O2 - → 1/2O2 + 2e - ........ (2) O 2 - → 1 / 2O 2 + 2 e - ........ (2)

NO의 경우 : NO + O2 - → NO2 + 2e - ........ (3)In the case of NO: NO + O 2 - → NO 2 + 2 e - ........ ( 3)

1/2O2 + 2e - → O2 - ........ (4) 1 / 2O 2 + 2 e - → O 2 - ........ (4)

상기 식(1) 내지 식(4)를 통해 표현되는 바와 같이, 일산화질소가 존재할 때 귀금속 전극과 감지전극 사이에 발생되는 기전력의 부호는 이산화 질소가 존재할 때의 귀금속 전극과 감지전극 사이에 발생되는 기전력의 부호와 서로 상반된다. 이에 따라, 실제 대기상태와 같이 일산화질소 및 이산화질소가 혼재되어 있는 경우에 상기 혼합전위를 이용하는 질소산화물 센서는 기전력이 서로 반대로 변화하는 특성에 의해 질소산화물의 총량을 측정하기는 힘든 단점이 있다.As represented by the above formulas (1) to (4), the sign of electromotive force generated between the noble metal electrode and the sensing electrode when nitrogen monoxide is present is generated between the noble metal electrode and the sensing electrode when nitrogen dioxide is present. It is contrary to the sign of electromotive force. Accordingly, in the case where nitrogen monoxide and nitrogen dioxide are mixed as in the actual atmospheric state, the nitrogen oxide sensor using the mixed potential has a disadvantage in that it is difficult to measure the total amount of nitrogen oxide due to the characteristic that the electromotive force changes in opposite directions.

도 2b는 상기 도 2a에 도시한 질소산화물 센서에 감지전극으로 NiO가 형성된 경우의 기전력 그래프이고, 도 2c는 상기 도 2a에 도시한 질소산화물 센서에 감지 전극으로 CuO가 형성된 경우의 기전력 그래프로, 상기 도 2b 및 도 2c를 통해 이산화질소 농도가 일정히 유지되거나 변화하더라도 일산화질소의 농도 증가에 따른 기전력의 감소로 센서의 정확성이 저하됨을 확인가능하다. 이는 이산화질소와 일산화질소가 혼재된 혼합가스의 경우 단순한 혼합전위를 이용하는 질소산화물 센서를 이용할 수 없음을 보여준다.2B is an electromotive force graph when NiO is formed as a sensing electrode in the nitrogen oxide sensor illustrated in FIG. 2A, and FIG. 2C is an electromotive force graph when CuO is formed as a sensing electrode in the nitrogen oxide sensor illustrated in FIG. 2A. 2B and 2C, even if the concentration of nitrogen dioxide is kept constant or changed, it is possible to confirm that the accuracy of the sensor is lowered due to the decrease in electromotive force due to the increase of the concentration of nitrogen monoxide. This shows that a nitrogen oxide sensor using a simple mixing potential cannot be used for a mixed gas containing nitrogen dioxide and nitrogen monoxide.

실제로, 상기 도 2b와 같이 감지전극으로 NiO가 이용되는 경우에 일산화질소의 농도를 10ppm에서 100ppm으로 변화시키면 기전력의 변화는 -6.5mV가 되지만 이산화질소의 농도를 10ppm에서 100ppm으로 변화시키면 기전력의 변화는 83.7mV이고, 상기 도 2c와 같이 감지전극으로 CuO가 이용되는 경우에 일산화질소의 농도를 10ppm에서 100ppm으로 변화시키면 기전력의 변화는 -3.4mV가 되지만 이산화질소의 농도를 10ppm에서 100ppm으로 변화시키면 기전력은 66.0mV이다.In fact, when NiO is used as the sensing electrode as shown in FIG. 2B, when the concentration of nitrogen monoxide is changed from 10 ppm to 100 ppm, the change in electromotive force becomes -6.5 mV, but when the concentration of nitrogen dioxide is changed from 10 ppm to 100 ppm, the change in electromotive force is When CuO is used as the sensing electrode as shown in FIG. 2C, when the concentration of nitrogen monoxide is changed from 10 ppm to 100 ppm, the change in electromotive force is -3.4 mV, but when the concentration of nitrogen dioxide is changed from 10 ppm to 100 ppm, the electromotive force is 66.0 mV.

상술한 바와 같이 종래의 혼합전위방식을 이용한 질소산화물 센서는 일산화질소가 높은 농도를 갖는다 할지라도 이를 감지 하지 못하는 문제점이 있다.As described above, the nitrogen oxide sensor using the conventional mixed potential method has a problem in that even though nitrogen monoxide has a high concentration, it cannot be detected.

상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 적층형 구조를 갖도록 형성되고 측정가스가 유입되는 유입구에 질소산화물을 하나의 형태로 변환하는 변환셀(160)을 형성하여 이산화질소 또는 일산화질소로 단일화함으로써 질소산화물의 총량을 측정하는 방법이 제안된 바 있으며 이를 도 3에 도시하였다.In order to solve the above problems, the total amount of nitrogen oxides is formed by forming a conversion cell 160 having a stacked structure and converting nitrogen oxides into one form at an inlet through which a measurement gas is introduced, thereby unifying it with nitrogen dioxide or nitrogen monoxide. A method of measuring is proposed and shown in FIG. 3.

상기 방법은 이산화질소를 모두 일산화질소로 단일화하거나, 일산화질소를 모두 이산화질소로 단일화하는 과정을 거치게 되지만 변환셀은 전체를 일산화질소 또는 이산화질소로 변환하는 것에는 한계가 있어 이 또한 전체 질소산화물의 총량 을 측정하기 힘든 문제점이 있다.The method involves unifying all of nitrogen dioxide with nitrogen monoxide or unifying all of nitrogen monoxide with nitrogen dioxide, but the conversion cell is limited in converting the whole into nitrogen monoxide or nitrogen dioxide, which also measures the total amount of nitrogen oxides. There is a problem that is difficult to do.

한편, 배기관에 삽입되고, 촉매물질을 분사하여 상기 촉매물질과 질소산화물이 직접 반응함으로써 배기가스 내의 질소를 저감하는 질소저감장치는 질소산화물의 양에 따라 적정량의 촉매 분사량이 정해져 있어 질소산화물 농도의 정확한 측정이 필수적이다. On the other hand, a nitrogen reducing device inserted into an exhaust pipe and injecting a catalyst material to directly react the catalyst material with nitrogen oxides to reduce nitrogen in the exhaust gas has an appropriate amount of catalyst injection determined according to the amount of nitrogen oxides. Accurate measurement is essential.

또한, 상기 질소저감장치는 일산화질소 및 이산화질소의 농도에 따라 촉매의 분사량이 각각 달라지게 되므로 일산화질소 및 이산화질소의 정확한 농도측정이 필요하지만 종래의 질소산화물센서는 일산화질소 및 이산화질소의 농도를 개별적으로 산출해낼 수 없는 문제점이 있다.In addition, the nitrogen reduction device requires a precise measurement of nitrogen monoxide and nitrogen dioxide because the injection amount of the catalyst is different depending on the concentration of nitrogen monoxide and nitrogen dioxide, respectively, but the conventional nitrogen oxide sensor calculates the concentrations of nitrogen monoxide and nitrogen dioxide separately. There is a problem that cannot be solved.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 일산화질소 및 이산화질소에 대한 센서 신호의 출력방향을 동일하게 하여 고온 및 저농도의 가스환경에서도 질소산화물의 총량을 측정하거나 이산화질소에만 반응하게 하여 이산화질소 농도측정을 더욱 정확하고 안정적으로 측정할 수 있는 질소산화물 센서를 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention is to measure the total amount of nitrogen oxides even in high temperature and low concentration gas environment by the same output direction of the sensor signal for nitrogen monoxide and nitrogen dioxide The present invention provides a nitrogen oxide sensor capable of reacting only nitrogen dioxide to more accurately and stably measure nitrogen dioxide concentration measurement.

또한, 본 발명의 목적은 2개 이상의 질소산화물 센서를 이용하여 일산화질소 및 이산화질소의 농도를 개별적으로 산출함으로써 정확한 양의 촉매량을 분사할 수 있도록 함에 있다.In addition, an object of the present invention is to enable the injection of the correct amount of catalyst amount by separately calculating the concentration of nitrogen monoxide and nitrogen dioxide using two or more nitrogen oxide sensors.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 질소산화물 센서(100)는 산소이온 전도성 고체전해질(10); 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)에 하나 이상 형성되는 산화물 감지전극(20); 상기 산화물 감지전극(20)에 형성되는 제 1 귀금속 전극(30); 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)에 형성되는 제 2 귀금속 전극(40); 및 상기 산화물 감지전극(20)과 제 2 귀금속 전극(40)을 전기적으로 연결하고 연장되는 기전력 리드선(50)으로 이루어지고, 상기 산화물 감지전극(20)과 제 2 귀금속 전극(40)은 병렬연결되는 것을 특징으로 한다.The nitrogen oxide sensor 100 of the present invention for achieving the above object is an oxygen ion conductive solid electrolyte (10); An oxide sensing electrode 20 formed on the oxygen ion conductive solid electrolyte 10; A first precious metal electrode 30 formed on the oxide sensing electrode 20; A second precious metal electrode 40 formed on the oxygen ion conductive solid electrolyte 10; And an electromotive force lead wire 50 which electrically connects and extends the oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40, and the oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40 are connected in parallel. It is characterized by.

또한, 상기 질소산화물 센서(100)는 상기 병렬연결된 산화물 감지전극(20) 및 제 2 귀금속 전극(40)은 다른 병렬연결된 산화물 감지전극(20) 및 제 2 귀금속 전극(40)과 전기적으로 연결되고, 일정한 전류를 인가하여 측정되는 전압을 통해 이산화질소(NO2) 또는 질소산화물(NOX)의 전체 농도를 측정하는 것을 특징으로 한다.In addition, the nitrogen oxide sensor 100 is electrically connected to the oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40 connected in parallel is electrically connected to the oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40 connected in parallel. The total concentration of nitrogen dioxide (NO 2 ) or nitrogen oxide (NO X ) is measured through a voltage measured by applying a constant current.

또, 상기 질소산화물 센서(100)는 상기 산화물 감지전극(20)이 같은 물질로 형성되는 경우에 이산화질소의 농도가 측정되는 것을 특징으로 하고, 상기 질소산화물 센서(100)는 상기 산화물 감지전극(20)이 각각 다른 물질로 형성되는 경우에 전체 질소산화물의 농도가 측정되는 것을 특징으로 한다.In addition, the nitrogen oxide sensor 100 is characterized in that the concentration of nitrogen dioxide is measured when the oxide sensing electrode 20 is formed of the same material, the nitrogen oxide sensor 100 is the oxide sensing electrode 20 Is formed of different materials, the concentration of the total nitrogen oxides is measured.

아울러, 상기 산화물 감지전극(20)은 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10) 의 상면 및 하면에 형성되거나, 상기 산화물 감지전극(20)은 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)의 일면에 둘 이상 형성가능한 것을 특징으로 한다.In addition, the oxide sensing electrode 20 is formed on the upper and lower surfaces of the oxygen ion conductive solid electrolyte 10, or the oxide sensing electrode 20 is formed on two or more surfaces of the oxygen ion conductive solid electrolyte 10. It is characterized by possible.

또한, 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)은 안정화 지르코니아, CeO2, 또는 ThO2에서 선택되는 1종으로 형성되는 것을 특징으로 하고, 상기 산화물 감지전극(20)은 NiO, CuO, NiO-YSZ, LaCoO3, 또는 2CuO·Cr2O3에서 선택되는 1종 이상의 산화물로 형성되는 것을 특징으로 하며, 상기 제 1 귀금속 전극(30) 및 제 2 귀금속 전극(40)은 백금, 또는 금으로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the oxygen ion conductive solid electrolyte 10 is characterized in that formed of one type selected from stabilized zirconia, CeO 2 , or ThO 2 , the oxide sensing electrode 20 is NiO, CuO, NiO-YSZ, LaCoO 3 or 2CuOCr 2 O 3 It is characterized in that it is formed of one or more oxides, wherein the first precious metal electrode 30 and the second precious metal electrode 40 is formed of platinum or gold It features.

이하, 상술한 바와 같은 특징을 가지는 본 발명의 질소산화물 센서(100)를 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다.Hereinafter, the nitrogen oxide sensor 100 of the present invention having the characteristics as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 질소산화물 센서(100)는 산소이온 전도성 고체전해질(10); 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)에 하나 이상 형성되는 산화물 감지전극(20); 상기 산화물 감지전극(20)에 형성되는 제 1 귀금속 전극(30); 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)에 형성되는 제 2 귀금속 전극(40); 및 상기 산화물 감지전극(20)과 제 2 귀금속 전극(40)을 전기적으로 연결하고 연장되는 기전력 리드선(50)으로 이루어지고, 상기 산화물 감지전극(20)과 제 2 귀금속 전극(40)은 병렬연결되는 것을 특징으로 한다.Nitrogen oxide sensor 100 of the present invention is oxygen ion conductive solid electrolyte 10; An oxide sensing electrode 20 formed on the oxygen ion conductive solid electrolyte 10; A first precious metal electrode 30 formed on the oxide sensing electrode 20; A second precious metal electrode 40 formed on the oxygen ion conductive solid electrolyte 10; And an electromotive force lead wire 50 which electrically connects and extends the oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40, and the oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40 are connected in parallel. It is characterized by.

본 발명의 질소산화물 센서(100)는 또한, 상기 질소산화물 센서(100)는 상기 병렬연결된 산화물 감지전극(20) 및 제 2 귀금속 전극(40)은 다른 병렬연결된 산화 물 감지전극(20) 및 제 2 귀금속 전극(40)과 전기적으로 연결되고, 일정한 전류를 인가하여 측정되는 전압을 통해 이산화질소 또는 질소산화물의 농도를 측정가능하다. In addition, the nitrogen oxide sensor 100 of the present invention, the nitrogen oxide sensor 100 is the oxide connection electrode 20 and the second noble metal electrode 40 is connected in parallel to the other oxide connection electrode 20 and the second electrode 2 is electrically connected to the noble metal electrode 40, it is possible to measure the concentration of nitrogen dioxide or nitrogen oxide through a voltage measured by applying a constant current.

본 발명의 질소산화물 센서(100)는 상기 산화물전극(20)과 제 2 귀금속 전극(40)이 병렬로 연결되어 일산화질소와 이산화질소의 전압변화 방향 및 전압변화 크기가 서로 같으므로 일산화질소와 이산화질소의 혼합 가스에서 두 종류의 가스가 갖는 서로 다른 특성에 의한 측정오차의 문제점을 해결할 수 있다. In the nitrogen oxide sensor 100 of the present invention, since the oxide electrode 20 and the second noble metal electrode 40 are connected in parallel, the direction of voltage change and the magnitude of voltage change of nitrogen monoxide and nitrogen dioxide are the same, so that The problem of measurement error due to the different characteristics of the two types of gas in the mixed gas can be solved.

상기 산화물전극(20)에 형성되는 제 1 귀금속 전극(30)과 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)에 형성되는 제 2 귀금속 전극(40)은 형성되는 물질은 같으나, 상기 산화물전극(20)에 형성되는 제 1 귀금속 전극(30)은 상기 산화물전극(20)과 상기 고체전해질(10)에 형성되는 제 2 귀금속 전극(40)과의 전기적연결을 위한 구성이고, 제 2 귀금속 전극(40)은 산소 이온에 대한 촉매전극으로, 다른 도면부호를 통해 구분하였다.The first precious metal electrode 30 formed on the oxide electrode 20 and the second precious metal electrode 40 formed on the oxygen ion conductive solid electrolyte 10 have the same material, but are formed on the oxide electrode 20. The first precious metal electrode 30 formed is a component for electrical connection between the oxide electrode 20 and the second precious metal electrode 40 formed on the solid electrolyte 10, and the second precious metal electrode 40 is Catalytic electrodes for oxygen ions, which are identified by different reference numerals.

상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)은 안정화 지르코니아, CeO2, 또는 ThO2에서 선택되는 1종으로 형성되고, 상기 산화물 감지전극(20)은 NiO, CuO, NiO-YSZ, LaCoO3, 2CuO·Cr2O3에서 선택되는 1종 이상의 산화물을 이용하여 형성될 수 있다.The oxygen ion conductive solid electrolyte 10 is formed of one selected from stabilized zirconia, CeO 2 , or ThO 2 , and the oxide sensing electrode 20 is formed of NiO, CuO, NiO-YSZ, LaCoO 3 , 2CuO · Cr. It can be formed using one or more oxides selected from 2 O 3 .

본 발명의 질소산화물 센서(100)는 다양한 형태로 형성할 수 있고, 상기 산화물 감지전극(20)의 형성방법에 따라 이산화질소 또는 질소산화물의 농도를 측정 할 수 있으며, 이는 아래에서 더욱 상세히 설명한다.The nitrogen oxide sensor 100 of the present invention may be formed in various forms, and may measure the concentration of nitrogen dioxide or nitrogen oxide according to the method of forming the oxide sensing electrode 20, which will be described in more detail below.

도 4는 본 발명의 질소산화물 센서(100)를 나타낸 개략도로, 상기 도 4에 도시한 질소산화물 센서(100)는 상기 산화물 감지전극(20)이 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)의 상면 및 하면에 형성되고, 각각 다른 물질(20-1, 20-2)로 형성된 예를 나타내었다.4 is a schematic view of the nitrogen oxide sensor 100 of the present invention, the nitrogen oxide sensor 100 shown in FIG. 4 is the oxide sensing electrode 20 is the top surface of the oxygen ion conductive solid electrolyte 10 and An example is provided on the lower surface and formed of different materials 20-1 and 20-2, respectively.

상기 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 산화물 감지전극(20-1, 20-2)이 각각 다른 물질로 형성되는 경우에 본 발명의 질소산화물 센서(100)는 전체 질소산화물의 농도가 측정된다.As shown in FIG. 4, when the oxide sensing electrodes 20-1 and 20-2 are formed of different materials, the nitrogen oxide sensor 100 of the present invention measures the concentration of the entire nitrogen oxide.

도 5는 상기 도 4에 도시한 질소산화물 센서(100)에 양의 감지전극(20-1)으로 NiO, 음의 감지전극(20-2)으로 CuO가 형성되고, 산소이온 전도성 고체전해질(10)은 안정화 지르코니아로 이루어지며, 상기 제 1 귀금속 전극(30) 및 제 2 귀금속 전극(40)은 백금으로 형성되어 700℃, 산소분압 10%에서 2μA의 일정한 전류를 인가하였을 경우의 전압 그래프이다.FIG. 5 illustrates that NiO is formed as the positive sensing electrode 20-1 and CuO is formed as the negative sensing electrode 20-2 in the nitrogen oxide sensor 100 shown in FIG. 4. ) Is made of stabilized zirconia, and the first precious metal electrode 30 and the second precious metal electrode 40 are formed of platinum, and a voltage graph when a constant current of 2 μA is applied at 700 ° C. and an oxygen partial pressure of 10%.

도시한 바와 같이, 본 발명의 질소산화물 센서(100)는 질소산화물의 전체 농도에 비례하여 출력값이 비례하는 것을 확인할 수 있다. As shown, the nitrogen oxide sensor 100 of the present invention can confirm that the output value is proportional to the total concentration of the nitrogen oxide.

도 6은 본 발명의 질소산화물 센서의 다른 예를 나타낸 개략도로 상기 산화물 감지전극(20)이 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)의 상면 및 하면에 형성되고, 같은 물질로 형성된 예를 나타내었다.FIG. 6 is a schematic view showing another example of the nitrogen oxide sensor of the present invention, in which the oxide sensing electrode 20 is formed on the upper and lower surfaces of the oxygen ion conductive solid electrolyte 10 and is formed of the same material.

도 7은 상기 도 6에 도시한 질소산화물 센서(100)에 산화물 감지전극(20)으 로 NiO가 형성되고, 산소이온 전도성 고체전해질(10)로는 안정화 지르코니아, 상기 제 1 귀금속 전극(30) 및 제 2 귀금속 전극(40)으로는 백금을 이용하여 700℃, 산소분압 10%에서 2μA의 일정한 전류를 인가하였을 경우의 전압 그래프이다.FIG. 7 illustrates that NiO is formed as the oxide sensing electrode 20 in the nitrogen oxide sensor 100 shown in FIG. 6, and stabilized zirconia as the oxygen ion conductive solid electrolyte 10, the first precious metal electrode 30 and The second precious metal electrode 40 is a voltage graph when a constant current of 2 μA is applied at 700 ° C. and 10% oxygen partial pressure using platinum.

상기 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 산화물 감지전극(20)이 같은 물질로 형성되는 경우에 본 발명의 질소산화물 센서(100)는 일산화질소의 농도에는 관계없이 이산화질소의 농도에 의해 전압이 변화한다.As shown in FIG. 7, when the oxide sensing electrode 20 is formed of the same material, the nitrogen oxide sensor 100 of the present invention changes the voltage by the concentration of nitrogen dioxide regardless of the concentration of nitrogen monoxide. .

즉, 본 발명의 질소산화물 센서(100)는 상기 산화물 감지전극(20)이 같은 물질로 형성되는 경우에는 이산화질소의 농도가 측정되고, 상기 산화물 감지전극(20-1, 20-2)이 서로 다른 물질로 형성되는 경우에는 전체 질소산화물의 농도가 측정된다.That is, in the nitrogen oxide sensor 100 of the present invention, when the oxide sensing electrode 20 is formed of the same material, the concentration of nitrogen dioxide is measured, and the oxide sensing electrodes 20-1 and 20-2 are different from each other. When formed into a substance, the concentration of total nitrogen oxides is measured.

또한, 상기 도 4 및 도 6에 도시한 바와 같이 상기 산화물 감지전극(20)은 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)의 상면 및 하면에 형성가능하며, 이 뿐만 아니라 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)의 일면에 둘 이상이 형성될 수도 있다.In addition, as shown in FIGS. 4 and 6, the oxide sensing electrode 20 may be formed on the top and bottom surfaces of the oxygen ion conductive solid electrolyte 10, as well as the oxygen ion conductive solid electrolyte 10. Two or more may be formed on one side of the).

도 8a는 본 발명과의 비교를 위한 질소산화물 센서를 나타낸 도면으로 상기 도 8a에 도시한 질소산화물 센서는 본 발명의 질소산화물 센서(100)와는 달리, 상기 산화물 감지전극(220)이 귀금속 전극(230)과 병렬연결되지 않고 상기 산화물 감지전극(220)만이 리드선(240)에 연결된 예를 나타내었다.8A is a view illustrating a nitrogen oxide sensor for comparison with the present invention. Unlike the nitrogen oxide sensor 100 of the present invention, the nitrogen oxide sensor illustrated in FIG. 8A has a noble metal electrode. An example in which only the oxide sensing electrode 220 is connected to the lead wire 240 without being connected in parallel with 230 is illustrated.

상기 도 8b는 상기 도 8a에 도시한 질소산화물 센서에 산화물 감지전극(220)으로 NiO를 형성하고, 산소이온 전도성 고체전해질(210)로는 안정화 지르코니아, 귀금속 전극(230)으로는 백금을 이용하여 700℃, 산소분압 10%에서 10μA의 일정한 전류를 인가하였을 경우의 전압 그래프로서, 질소산화물이 존재하지 않을 때의 배경 전압값이 일정하지 않고 연속적으로 감소하여 정확도가 저하됨을 알 수 있다.FIG. 8B illustrates NiO formed as the oxide sensing electrode 220 in the nitrogen oxide sensor illustrated in FIG. 8A, stabilized zirconia as the oxygen ion conductive solid electrolyte 210, and platinum as the precious metal electrode 230 using 700. As a voltage graph when a constant current of 10 μA is applied at 10 ° C. and an oxygen partial pressure, it can be seen that the background voltage value when no nitrogen oxide is present is not constant and continuously decreases, thereby decreasing accuracy.

그러나, 본 발명의 질소산화물 센서(100)는(도 4참조) 상기 산화물 감지전극(20) 과 제 2 귀금속 전극(40)이 병렬로 연결되어 있는 구조로서 질소산화물이 존재하지 않을 경우, 도 5에서 보는 바와 같이 배경전압이 일정한 전압을 유지하여 측정의 정확성을 제고시킬 수 있음을 알 수 있다.However, the nitrogen oxide sensor 100 of the present invention (see FIG. 4) has a structure in which the oxide sensing electrode 20 and the second noble metal electrode 40 are connected in parallel, and when no nitrogen oxide exists, FIG. 5. As can be seen, the background voltage maintains a constant voltage to improve the accuracy of the measurement.

상술한 바와 같은 본 발명의 질소산화물 센서(100)는 다양한 분야에 이용가능하며, 더욱 구체적으로는 질소산화물을 감지하여 촉매물질을 분사함으로써 배기가스 내의 질소를 저감하는 질소저감장치(미도시)에 이용될 수 있다.As described above, the nitrogen oxide sensor 100 of the present invention can be used in various fields, and more specifically, to a nitrogen reduction device (not shown) that reduces nitrogen in exhaust gas by detecting nitrogen oxide and injecting a catalyst material. Can be used.

상기 질소저감장치(미도시)는 일산화질소를 제거하기 위해 필요한 촉매물질의 양과 이산화질소를 제거하기 위해 필요한 양이 각각 다르므로 전체 질소산화물의 농도를 측정하더라도 정확한 양을 분사하기 어려운 문제점이 있었다. 이에 본 발명의 질소저감장치(미도시)는 본 발명의 2종류의 질소산화물 센서(100)를 구비하여 하나의 질소산화물 센서(100)로부터 이산화질소의 농도를 다른 하나의 질소산화물 센서(100)로부터 전체 질소산화물의 농도를 측정하고, 상기 측정된 이산화질소의 농도와, 상기 측정된 전체 질소산화물의 농도에서 상기 측정된 이산화질소의 농도를 뺌으로써 산출된 일산화질소의 농도를 이용하여 분사되는 촉매의 양을 정확히 제어할 수 있는 장점이 있다.The nitrogen reduction device (not shown) has a problem in that it is difficult to inject the correct amount even when the concentration of the total nitrogen oxide is measured because the amount of catalyst material required to remove nitrogen monoxide and the amount required to remove nitrogen dioxide are different. Accordingly, the nitrogen reducing device (not shown) of the present invention is equipped with two types of nitrogen oxide sensors 100 of the present invention to change the concentration of nitrogen dioxide from one nitrogen oxide sensor 100 from another nitrogen oxide sensor 100. The amount of catalyst injected using the concentration of nitrogen monoxide calculated by measuring the concentration of total nitrogen oxides and subtracting the measured concentration of nitrogen dioxide from the measured concentration of nitrogen dioxide and the measured concentration of nitrogen dioxide from the measured total nitrogen oxide concentration It has the advantage of precise control.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다. The present invention is not limited to the above-described embodiments, and the scope of application is not limited, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims.

이에 따라, 본 발명의 질소산화물 센서는 일산화질소 및 이산화질소에 대한 센서 신호의 출력방향을 동일하게 하여 고온 및 저농도의 악조건에서도 질소산화물의 총량을 측정하거나 이산화질소에만 반응하게 하여 이산화질소 농도측정을 더욱 정확하고 안정적으로 측정할 수 있다.Accordingly, the nitrogen oxide sensor of the present invention measures the total amount of nitrogen oxide or reacts only with nitrogen dioxide even under adverse conditions of high temperature and low concentration by making the output direction of the sensor signal for nitrogen monoxide and nitrogen dioxide more accurate and It can be measured reliably.

또한, 본 발명의 질소저감장치는 전체 질소산화물의 농도를 측정가능한 센서 및 이산화질소의 농도를 측정가능한 센서를 이용하여 일산화질소 및 이산화질소의 농도를 산출함으로써 정확한 양의 촉매량을 분사할 수 있는 효과가 있다.In addition, the nitrogen reducing device of the present invention has the effect of injecting the correct amount of catalyst by calculating the concentration of nitrogen monoxide and nitrogen dioxide by using a sensor capable of measuring the concentration of total nitrogen oxides and a sensor capable of measuring the concentration of nitrogen dioxide. .

Claims (9)

산소이온 전도성 고체전해질(10); 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)에 하나 이상 형성되는 산화물 감지전극(20); 상기 산화물 감지전극(20)에 형성되는 제 1 귀금속 전극(30); 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)에 형성되는 제 2 귀금속 전극(40); 및 상기 산화물 감지전극(20)과 제 2 귀금속 전극(40)을 전기적으로 연결하고 연장되는 기전력 리드선(50)으로 이루어지고, Oxygen ion conductive solid electrolyte 10; An oxide sensing electrode 20 formed on the oxygen ion conductive solid electrolyte 10; A first precious metal electrode 30 formed on the oxide sensing electrode 20; A second precious metal electrode 40 formed on the oxygen ion conductive solid electrolyte 10; And an electromotive force lead wire 50 which electrically connects and extends the oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40. 상기 산화물 감지전극(20)과 제 2 귀금속 전극(40)은 병렬연결되며, The oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40 are connected in parallel, 상기 병렬연결된 산화물 감지전극(20) 및 제 2 귀금속 전극(40)은 다른 병렬연결된 산화물 감지전극(20) 및 제 2 귀금속 전극(40)과 전기적으로 폐쇠회로를 형성하고, 이 폐쇠회로에 전류를 인가하여 측정되는 전압을 통해 이산화질소(NO2) 또는 질소산화물(NOX)의 전체 농도를 측정하는 것을 특징으로 하는 질소산화물 센서.The parallel-connected oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40 form an electrically closed circuit with the other parallel-connected oxide sensing electrode 20 and the second precious metal electrode 40 and supply current to the closed circuit. The nitrogen oxide sensor, characterized in that for measuring the total concentration of nitrogen dioxide (NO 2 ) or nitrogen oxides (NO X ) through the voltage measured by applying. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 질소산화물 센서(100)는The nitrogen oxide sensor 100 상기 산화물 감지전극(20)이 같은 물질로 형성되는 경우에 이산화질소의 농도가 측정되는 것을 특징으로 하는 질소산화물 센서.Nitrogen oxide sensor, characterized in that the concentration of nitrogen dioxide is measured when the oxide sensing electrode 20 is formed of the same material. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 질소산화물 센서(100)는The nitrogen oxide sensor 100 상기 산화물 감지전극(20)이 각각 다른 물질로 형성되는 경우에 전체 질소산화물의 농도가 측정되는 것을 특징으로 하는 질소산화물 센서.Nitrogen oxide sensor, characterized in that the concentration of the total nitrogen oxides is measured when the oxide sensing electrode 20 is formed of a different material. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 산화물 감지전극(20)은The oxide sensing electrode 20 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)의 상면 및 하면에 형성되는 것을 특징으로 하는 질소산화물 센서.Nitrogen oxide sensor, characterized in that formed on the upper and lower surfaces of the oxygen ion conductive solid electrolyte (10). 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 산화물 감지전극(20)은The oxide sensing electrode 20 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)의 일면에 둘 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 질소산화물 센서.Nitrogen oxide sensor, characterized in that at least two formed on one surface of the oxygen ion conductive solid electrolyte (10). 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 산소이온 전도성 고체전해질(10)은The oxygen ion conductive solid electrolyte 10 안정화 지르코니아, CeO2, 또는 ThO2에서 선택되는 1종으로 형성되는 것을 특징으로 하는 질소산화물 센서.Nitrogen oxide sensor, characterized in that formed of one selected from stabilized zirconia, CeO 2 , or ThO 2 . 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 산화물 감지전극(20)은 NiO, CuO, NiO-YSZ, LaCoO3, 또는 2CuO·Cr2O3에서 선택되는 1종 이상의 산화물로 형성되는 것을 특징으로 하는 질소산화물 센서.The oxide sensing electrode 20 is nitrogen oxide sensor, characterized in that formed of at least one oxide selected from NiO, CuO, NiO-YSZ, LaCoO 3 , or 2CuOCr 2 O 3 . 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 귀금속 전극(30) 및 제 2 귀금속 전극(40)은 백금, 또는 금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 질소산화물 센서.The first precious metal electrode (30) and the second precious metal electrode (40) is nitrogen oxide sensor, characterized in that formed of platinum or gold.
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