KR100864919B1 - Structure for supporting transfer pipe in tansfer apparatus - Google Patents
Structure for supporting transfer pipe in tansfer apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- KR100864919B1 KR100864919B1 KR1020010087761A KR20010087761A KR100864919B1 KR 100864919 B1 KR100864919 B1 KR 100864919B1 KR 1020010087761 A KR1020010087761 A KR 1020010087761A KR 20010087761 A KR20010087761 A KR 20010087761A KR 100864919 B1 KR100864919 B1 KR 100864919B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- support
- support structure
- transfer pipe
- pin
- fixing pin
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L3/00—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
본 발명은 이송장치용 이송관 지지구조체에 관한 것으로, 지지구조체에 이송관을 고정 및 해제하는 작동이 간단하게 이루어짐과 함께 이송관 교체시 이송관이 안전하게 수평으로 지지된 상태를 유지할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해 본 발명은, 이송관의 일단부 외측에 위치하는 지지대와, 상기 지지대의 상단에 형성된 관통공과, 상기 관통공을 통해 이송관의 일단부에 삽입되는 고정핀을 구비하여 이송관의 일단부를 해제가능하게 지지하는 제 1지지구조체와; 이송관의 타단부 외측에 위치하는 지지대와, 상기 지지대 내측에 고정되게 형성되어 이송관의 타단부에 삽입되며 지지하는 고정핀을 구비한 제 2지지구조체를 포함하여 구성된 것에 있어서, 상기 제 1지지구조체의 고정핀에는 외측으로 돌출된 결합핀이 일체로 형성되고, 상기 지지대의 관통공 외측에는 180°이상의 원형 단면을 갖도록 일측면이 절개되어 상기 고정핀 및 결합핀이 삽입 결합되는 원통형 지지브라켓이 일체로 형성되고, 상기 원통형 지지브라켓에는 고정핀의 결합핀이 삽입되도록 원주방향을 따라 결합홈이 형성된 것을 특징으로 하는 이송장치의 이송관 지지구조체를 제공한다.
이송장치, 이송관, 석영관, 지지구조체
The present invention relates to a transfer pipe support structure for a transfer device, and to simplify the operation of fixing and releasing the transfer pipe to the support structure and to maintain the transport pipe is safely supported horizontally when the transfer pipe replacement. .
To this end, the present invention, the support is located on one end of the transfer pipe, the through hole formed in the upper end of the support, and the fixing pin is inserted into one end of the transfer pipe through the through hole, one end of the transfer pipe A first support structure for releasably supporting; And a second support structure having a support positioned outside the other end of the transfer pipe and a fixing pin formed to be fixed to the inside of the support and inserted into and supported at the other end of the transfer pipe. The fixing pin of the structure is integrally formed with a coupling pin protruding outward, the cylindrical support bracket is inserted into the fixing pin and the coupling pin is cut into one side to have a circular cross section of 180 ° or more outside the through hole of the support It is formed integrally, and the cylindrical support bracket provides a transfer pipe support structure of the transfer device, characterized in that the coupling groove is formed along the circumferential direction so that the coupling pin of the fixing pin is inserted.
Conveyer, Feeder Tube, Quartz Tube, Support Structure
Description
도 1은 종래의 이송관 지지구조체에 의해 이송관이 지지된 상태를 나타낸 정면도1 is a front view showing a state in which a transport pipe is supported by a conventional transport pipe support structure;
도 2는 도 1의 이송관 지지구조체의 제 1지지구조체의 정면도FIG. 2 is a front view of the first support structure of the feed tube support structure of FIG. 1; FIG.
도 3a 와 도 3b는 각각 도 1의 이송관 지지구조체의 제 1지지구조체의 측면도 및 분해도3A and 3B are side and exploded views, respectively, of the first support structure of the feed tube support structure of FIG.
도 4는 도 1의 이송관 지지구조체의 제 2지지구조체의 측면도4 is a side view of a second support structure of the feed tube support structure of FIG.
도 5는 본 발명에 따른 이송관 지지구조체에 의해 이송관이 지지된 상태를 나타낸 정면도 5 is a front view showing a state in which the transport pipe is supported by the transport pipe support structure according to the present invention;
도 6은 도 5의 이송관 지지구조체의 제 1지지구조체의 정면도6 is a front view of the first support structure of the feed pipe support structure of FIG.
도 7a 와 도 7b는 각각 도 5의 이송관 지지구조체의 제 1지지구조체의 측면도 및 분해도7A and 7B are side and exploded views, respectively, of the first support structure of the feed tube support structure of FIG.
도 8은 도 5의 이송관 지지구조체의 제 2지지구조체의 측면도8 is a side view of a second support structure of the feed tube support structure of FIG.
도 9는 도 5의 이송관 지지구조체의 제 2지지구조체의 정면도9 is a front view of a second support structure of the feed tube support structure of FIG.
* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *Explanation of Reference Symbols in Major Parts of Drawings
1 : 이송관 20 : 제 1지지구조체 1: transfer pipe 20: first support structure
201 : 지지대 201a : 관통공201: support 201a: through hole
202 : 원통형 지지브라켓 203 : 고정핀 202: cylindrical support bracket 203: fixing pin
204 : 결합핀 205 : 지지핀 204: coupling pin 205: support pin
30 : 제 2지지구조체 301 : 지지대 30: second support structure 301: support
302 : 고정핀 303 : 지지핀302: fixing pin 303: support pin
본 발명은 이송장치의 이송관을 지지하는 구조체에 관한 것으로, 특히 액정표시장치의 기판(substrate)을 안착시켜 이송하는 이송장치의 이송관을 안정되게 지지하여 줄 수 있도록 한 이송장치의 이송관 지지구조체에 관한 것이다. The present invention relates to a structure for supporting a conveying tube of a conveying apparatus, and in particular, a conveying tube support of a conveying apparatus for stably supporting a conveying tube of a conveying apparatus for seating a substrate of a liquid crystal display device. It is about a structure.
일반적으로, 액정표시장치는 특수하게 표면처리된 2개의 얇은 유리판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정물질을 주입해 상하 유리판 위의 전극의 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 영상을 표시하는 작동원리를 갖는 바, 액정표시장치의 제조공정에서는 2개의 얇은 유리판을 기판 이송장치를 이용하여 여러 공정 간에 이송하는 작업이 이루어진다.In general, a liquid crystal display device injects a liquid crystal material, which is an intermediate material between a solid and a liquid, between two specially surface-treated thin glass plates, and generates a contrast by changing an arrangement of liquid crystal molecules by a voltage difference between electrodes on upper and lower glass plates. In the manufacturing process of the liquid crystal display device, two thin glass plates are transported between various processes using a substrate transfer device.
첨부된 도면의 도 1 내지 도 4는 상기와 같이 액정표시장치의 기판 이송장치를 구성하는 이송관 및 이 이송관을 지지하는 지지구조체를 보여주는데, 도면에 도시된 것과 같이 기판(미도시)이 얹혀져 이송되는 이송관(1)의 양단부에 이송관(1)의 양단을 지지하게 되는 제 1지지구조체(2)와 제 2지지구조체(3)가 각각 설치된 다.1 to 4 of the accompanying drawings show a transfer tube constituting the substrate transfer apparatus of the liquid crystal display device and a support structure for supporting the transfer tube as described above, the substrate (not shown) is placed as shown A first support structure 2 and a
상기 제 1지지구조체(2)는 'L'자 형태의 지지대(21)와, 이 지지대(21)의 외측 중간부분에 설치된 브라켓(22)과, 상기 지지대(21)의 상단에 형성된 관통공(21a)을 통해 삽입되어 이송관(1)의 일단부에 삽입되는 고정핀(23)과, 상기 고정핀(23)의 끝단에 일체로 형성되며 상기 브라켓(22)의 홈(22a)에 삽입되는 결합편(24) 및, 상기 브라켓(22) 외측에서부터 브라켓(22)을 관통하며 결합되어 상기 결합편(24)을 가압하여 고정시키는 볼트(25)로 구성되어, 상기 이송관(1)의 일단을 해제가능하게 고정시킨다.The first support structure (2) is a 'L'
그리고, 상기 제 2지지구조체(3)는 단지 이송관(1)의 타단을 지지하여 주는 역할만을 수행하게 되는 바, 제 2지지구조체(3)는 'L'자형의 지지대(31)의 내측에 이송관(1)의 타단부에 삽입되는 고정핀(32)이 일체로 형성된 구성으로 되어 있다.And, the second support structure (3) only serves to support the other end of the transfer pipe (1), the second support structure (3) inside the 'L'
따라서, 작업자가 이송관(1)을 지지구조체에 결합시키고자 할 경우, 이송관(1)의 외측단을 제 2지지구조체(3)의 고정핀(32)에 삽입한 후, 제 1지지구조체(2)의 지지대(21)의 관통공(21a)과 이송관(1)의 내측단을 일치시킨 상태에서 상기 관통공(21a)을 통해 이송관(1)에 고정핀(23)을 삽입하여 결합시키고, 이어서 고정핀(23)의 결합편(24)을 90°회전시켜 브라켓(22)의 홈(22a)에 삽입한 후 볼트(25)로 단단히 고정시키면 된다.Therefore, when the operator wants to couple the
이송관(1)을 제 1,2지지구조체(2, 3)로부터 분리하여 교체하는 작업은 상기와 같은 결합작업을 역순으로 행하면 된다.The operation of separating and replacing the
그런데, 상기와 같은 종래의 이송관 지지구조체는, 이송관(1)의 교체작업 도 중 볼트(25)를 해제하여 고정핀(23)을 이송관(1)의 내측단에서 분리시킬 때 이송관(1)을 지지하여 주는 별도의 구조물이 마련되어 있지 않음으로 인하여 이송관(1)이 바닥에 떨어져 파손되는 현상이 종종 발생하였다.However, the conventional transport pipe support structure as described above, the transfer pipe when the
특히, 액정표시장치의 기판을 이송하는 이송관(1)들은 이송관(1)과 기판 간의 마찰에 의한 정전기 발생을 방지하기 위하여 통상적으로 석영으로 만들어지는 바, 교체 작업시 석영관이 작업자의 부주의나 기타 요인에 의해 바닥에 떨어지게 되면 파손이 발생하게 된다.In particular, the
또한, 상기 이송관(1)의 고정 및 해제를 위해서는 제 1지지구조체(2)의 고정핀(23)의 결합편(24)을 90°회전 작동시키고 볼트(25)를 체결하거나 해제해야 하므로 고정 및 해제 작동이 불편함과 함께 고정핀(23)이 정확하게 수평상태에서 체결되지 않을 경우 이송관이 기울어져 기판이 한쪽으로 기울어지는 현상이 발생하는 문제점도 있었다.In addition, in order to fix and release the
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 지지구조체에 이송관을 고정 및 해제하는 작동이 간단하게 이루어짐과 더불어, 이송관의 고정 및 해제 작동도중 이송관이 안전하게 수평으로 지지된 상태를 유지할 수 있도록 한 이송장치의 이송관 지지구조체를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above problems, the operation of fixing and releasing the transfer pipe to the support structure is made simple, while the transfer pipe is securely supported horizontally during the fixing and release operation of the transfer pipe It is an object of the present invention to provide a conveying tube support structure of a conveying apparatus to maintain a state.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 이송관의 일단부 외측에 위치하는 지지대와, 상기 지지대의 상단에 형성된 관통공과, 상기 관통공을 통해 이 송관의 일단부에 삽입되는 고정핀을 구비하여 이송관의 일단부를 해제가능하게 지지하는 제 1지지구조체와; 이송관의 타단부 외측에 위치하는 지지대와, 상기 지지대 내측에 고정되게 형성되어 이송관의 타단부에 삽입되며 지지하는 고정핀을 구비한 제 2지지구조체를 포함하여 구성된 것에 있어서, 상기 제 1지지구조체의 고정핀에는 외측으로 돌출된 결합핀이 일체로 형성되고, 상기 지지대의 관통공 외측에는 180°이상의 원형 단면을 갖도록 일측면이 절개되어 상기 고정핀 및 결합핀이 삽입 결합되는 원통형 지지브라켓이 일체로 형성되고, 상기 원통형 지지브라켓에는 고정핀의 결합핀이 삽입되도록 원주방향을 따라 결합홈이 형성된 것을 특징으로 하는 이송장치의 이송관 지지구조체를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, the support is located on one end of the transfer pipe, a through hole formed in the upper end of the support, and a fixing pin inserted into one end of the feed pipe through the through hole A first support structure for releasably supporting one end of the feed pipe; And a second support structure having a support positioned outside the other end of the transfer pipe and a fixing pin formed to be fixed to the inside of the support and inserted into and supported at the other end of the transfer pipe. The fixing pin of the structure is integrally formed with a coupling pin protruding outward, the cylindrical support bracket is inserted into the fixing pin and the coupling pin is cut into one side to have a circular cross section of 180 ° or more outside the through hole of the support It is formed integrally, the cylindrical support bracket provides a transfer pipe support structure of the transfer device, characterized in that the coupling groove is formed along the circumferential direction so that the coupling pin of the fixing pin is inserted.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 이송장치의 이송관 지지구조체의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the transfer pipe support structure of the transfer apparatus according to the present invention.
도 5는 본 발명의 이송관 지지구조체에 의해 이송관(1)이 지지된 상태를 나타낸 도면으로, 이송관(1)의 일단부 외측에는 그의 고정핀(203)이 이송관(1)의 일단부에 삽입되어 이송관(1)을 회전가능한 상태로 지지하는 제 1지지구조체(20)가 배치되고, 이송관(1)의 타단부 외측에는 그의 고정핀(302)이 이송관(1)의 타단부에 삽입되어 이송관(1)을 회전가능한 상태로 지지하는 제 2지지구조체(30)가 배치된다.5 is a view showing a state in which the
도 6 내지 도 7b에 도시된 것과 같이, 상기 제 1지지구조체(20)는 고정핀(203)에 의한 이송관(1)의 지지상태가 해제가능하도록 구성되는 바, 제 1지지구조체(20)의 'L'자형 지지대(201)의 상단에는 고정핀(203)이 삽입되는 관통공(201a)이 형성되고, 상기 관통공(201a)의 외측부분에는 외측에서부터 고정핀(203)이 삽입되어 결합되는 중공의 원통형 지지브라켓(202)이 일체로 형성된다. 여기서, 상기 고정핀(203)의 일측부에는 외측으로 연장된 결합핀(204)이 일체로 형성되어 있다.As shown in Figure 6 to 7b, the
그리고, 상기 원통형 지지브라켓(202)의 상측은 고정핀(203)의 삽입시 결합핀(204)이 삽입되는 통로를 형성하도록 절개되어 원통형 지지브라켓(202)은 약 270°의 원형 단면을 갖도록 되어 있으며, 원통형 지지브라켓(202)의 일측에는 상기 절개된 부분에서부터 원주방향으로 상기 결합핀(204)이 삽입되는 결합홈(202a)이 형성되어 있다.The upper side of the
또한, 제 1지지구조체(20)의 지지대(201) 내측면에는 이송관(1)의 일단부가 안착되며 지지되도록 2개의 지지핀(205)이 일체로 형성된다. In addition, two
한편, 도 8과 도 9는 상기 제 2지지구조체(30)의 형태를 나타내는 바, 도 8과 도 9에 도시된 것과 같이 제 2지지구조체(30)는 'L'자형 지지대(301)와, 상기 지지대(301)의 내측면 상단에 일체로 형성되어 이송관(1)의 타단부에 삽입되는 고정핀(302) 및, 상기 고정핀(302)의 아래쪽에 고정되게 형성되어 이송관(1)의 타단부가 안착되며 지지되는 2개의 지지핀(303)으로 이루어진다.Meanwhile, FIGS. 8 and 9 show the shape of the
상기와 같이 구성된 이송관 지지구조체에 이송관(1)을 결합 및 해제시키는 작업은 다음과 같이 이루어진다.The operation of coupling and releasing the
먼저, 제 1,2지지구조체(20, 30)에 이송관(1)을 결합시키고자 할 경우, 이송관(1)의 외측단을 제 2지지구조체(30)의 고정핀(302)에 삽입시킴과 동시에 지지핀(303)에 안착시키고, 이송관(1)의 내측단을 제 1지지구조체(20)의 지지핀(205) 상에 안착시킨다. 이로써 상기 이송관(1)은 양측의 제 1,2지지구조체(20, 30)의 지지핀(205, 303)에 의해 수평한 상태로 지지된다.First, when the
상기와 같이 이송관(1)이 수평하게 지지된 상태에서 제 1지지구조체(20)의 원통형 지지브라켓(202) 외측에서부터 고정핀(203)을 삽입하면, 고정핀(203)은 관통공(201a)을 통해 이송관(1)의 내측단에 삽입된다.When the
이어서, 고정핀(203)을 회전시키면 고정핀(203)의 결합핀(204)이 원통형 지지브라켓(202)의 결합홈(202a)에 삽입되면서 고정핀(203)이 원통형 지지브라켓(202)으로부터 이탈되지 않게 되고, 이로써 결합 작업이 완료된다.Subsequently, when the
이송관(1)을 교체하기 위해 상기와 같은 결합 상태를 해제하고자 할 경우에는 전술한 결합 작업을 역으로 수행하여 이송관(1)을 제 1,2지지구조체(20, 30)로부터 분리하고, 새로운 이송관(1)으로 교체하여 결합시키면 된다.In order to release the coupling state as described above in order to replace the
한편, 상기 이송관(1)은 액정표시장치 기판을 이송하는 공정에서는 석영으로 만들어질 수 있으며, 액정표시장치의 기판이나 모듈 또는 액정표시장치 이외의 다른 물체를 이송하는 이송장치에서는 이송 대상 물체의 종류나 공정 특성에 따라 합성수지재나 임의의 광물질로 만들어질 수도 있다.Meanwhile, the
또한, 전술한 실시예에서는 이송관(1)을 지지하여 주는 지지핀(205, 303)들이 지지대(201, 301)에 일체로 고정된 것으로 하여 설명하였으나, 이송관(1)의 원활한 회전을 위해서 상기 지지핀들을 지지대(201, 301)에 회전가능하게 구성할 수도 있을 것이다.In addition, in the above-described embodiment, the
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 지지핀에 의해 이송관이 수평하게 지지된 상태에서 고정핀의 결합 작업이 이루어지게 되므로 이송관의 교체 작업시 이송관이 바닥에 떨어져 파손되는 현상이 방지될 뿐만 아니라 이송관의 수평도 유지가 용이하게 이루어지게 된다.As described above, according to the present invention, since the coupling operation of the fixing pin is made in the state in which the transport pipe is horizontally supported by the support pin, the phenomenon that the transport pipe falls to the floor and is damaged when the transport pipe is replaced is prevented. It is also easy to maintain the level of the transfer pipe.
또한, 볼트와 같은 체결수단없이 고정핀을 지지구조체에 고정시킬 수 있게 되므로 교체작업이 더욱 용이하게 이루어져 작업 효율성이 향상되는 효과도 있다.In addition, since the fixing pin can be fixed to the support structure without a fastening means such as a bolt, the replacement operation is made easier, thereby improving work efficiency.
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020010087761A KR100864919B1 (en) | 2001-12-29 | 2001-12-29 | Structure for supporting transfer pipe in tansfer apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020010087761A KR100864919B1 (en) | 2001-12-29 | 2001-12-29 | Structure for supporting transfer pipe in tansfer apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030057685A KR20030057685A (en) | 2003-07-07 |
KR100864919B1 true KR100864919B1 (en) | 2008-10-22 |
Family
ID=32215451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020010087761A KR100864919B1 (en) | 2001-12-29 | 2001-12-29 | Structure for supporting transfer pipe in tansfer apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100864919B1 (en) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4059180A (en) * | 1976-12-02 | 1977-11-22 | Rexnord Inc. | Roller assembly with improved mounting means |
JPS552815U (en) * | 1978-06-20 | 1980-01-10 | ||
JPH0748015A (en) * | 1993-03-02 | 1995-02-21 | Vesuvius Crucible Co | Conveyor roll |
KR970023453U (en) * | 1995-11-27 | 1997-06-18 | Conveyor Roller | |
JPH1013091A (en) * | 1996-06-27 | 1998-01-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Substrate transport apparatus |
-
2001
- 2001-12-29 KR KR1020010087761A patent/KR100864919B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4059180A (en) * | 1976-12-02 | 1977-11-22 | Rexnord Inc. | Roller assembly with improved mounting means |
JPS552815U (en) * | 1978-06-20 | 1980-01-10 | ||
JPH0748015A (en) * | 1993-03-02 | 1995-02-21 | Vesuvius Crucible Co | Conveyor roll |
KR970023453U (en) * | 1995-11-27 | 1997-06-18 | Conveyor Roller | |
JPH1013091A (en) * | 1996-06-27 | 1998-01-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Substrate transport apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20030057685A (en) | 2003-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5706439B2 (en) | Substrate support | |
CN108545440B (en) | Rotary recycling mechanism and automatic sorting production line with same | |
JP2007091397A (en) | Substrate conveying device | |
KR100864919B1 (en) | Structure for supporting transfer pipe in tansfer apparatus | |
CN209480532U (en) | A kind of article conveyer structure and article separator | |
JP2023040057A (en) | Container conveying device | |
KR101427281B1 (en) | Apparatus for conveying substrate and method for conveying the same | |
JP2017024854A (en) | Receiving pipe, wheel conveyor and circulation shelf device | |
KR20140101600A (en) | Substrate transfering apparatus | |
CN214296881U (en) | Switching piece storage frame | |
CN108257899B (en) | Sample rack | |
TWI363731B (en) | ||
KR101471004B1 (en) | injector and substrate processing apparatus having the same | |
GB2096561A (en) | A conveyor roller assembly | |
KR100541918B1 (en) | Apparatus for Ttransfering Plate | |
JP4739782B2 (en) | Removal machine | |
KR20030050724A (en) | A fixing apparatus for latch of pallet for moving panel | |
US20240116090A1 (en) | Tank Support Jig and Tank Cleaning Method | |
CN218260216U (en) | Conveyer and metal detector | |
CN216661324U (en) | Rib type mesh belt chain | |
KR20050111860A (en) | Transfer device for semi-conductor manufacture device | |
JP3585732B2 (en) | Weighing device with work guide | |
JP2001114410A (en) | Conveyor roller unit and conveyor | |
CN116825688A (en) | Boat structure and sheet transport device | |
KR200360379Y1 (en) | Transfer Device for Semi-conductor Manufacture Device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20110915 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |