KR100853664B1 - 공기압으로 작동되고 전력고장시 해제되는 얇은 형상의도킹모듈 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 시험헤드를 주변장치와 도킹시키기 위한 도킹기구에 있어서,래치배럴;상기 래치배럴내에서 이동가능하게 배치되어 있는 래치핀;래칭된 상태를 확립하도록 제 1 방향으로 상기 래치핀에 힘을 가하는 포싱기구; 및래칭해제된 상태를 확립하도록 상기 제 1 방향과 반대 방향인 제 2 방향으로 상기 래치핀에 바이어싱 힘을 가하는 바이어싱기구를 포함하고, 상기 포싱기구는 전력이 끊긴 후에 힘을 발생하지 않고, 상기 바이어싱기구는 전력이 끊긴 후에도 그 힘을 유지하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 1 항에 있어서, 상기 포싱기구는 래칭된 상태를 확립하기 위해서 상기 래치배럴에 대해 상기 래치핀을 이동시키는 유압을 가하도록 배열되어 있는 유압원을 포함하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 2 항에 있어서, 상기 바이어싱기구는 상기 래치핀 및 상기 래치배럴에 결합되어 상기 래치핀과 상기 래치배럴 사이에 힘을 발휘하는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 1 항에 있어서, 상기 포싱기구는 래칭된 상태를 확립하기 위해 상기 래치배럴에 대해 상기 래치핀을 이동시키는 힘을 가하도록 상기 래치핀에 결합된 솔레노이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 4 항에 있어서, 상기 바이어싱기구는 상기 래치핀 및 상기 래치배럴에 결합되어 상기 래치핀과 상기 래치배럴 사이에 힘을 발휘하는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 1 항에 있어서,중공의 원통형 챔버; 및상기 챔버내에 이동가능하게 배치되어 있는 제 1 부분 및 상기 제 1부분으로부터 챔버내의 구멍을 통하여 뻗어있는 제 2 부분을 갖는 피스톤을 더 포함하고,상기 피스톤은 피스톤의 표면에 가해지는 유압에 반응하여 챔버내에서 이동되고, 상기 래치배럴은 피스톤의 제 2 부분의 개구부로부터 뻗어있는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 6 항에 있어서, 상기 피스톤은 피스톤의 하부 표면(324)에 가해지는 유압에 반응하여 상기 제 1 방향으로 이동되고, 상기 피스톤의 상부 표면(322)에 가해지는 유압에 반응하여 상기 제 2 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 6 항에 있어서, 상기 래치핀, 상기 래치배럴, 및 상기 피스톤은 수직축에 대해 모두 동심적으로 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 6 항에 있어서, 상기 피스톤의 제 1 부분은 상부 표면(322)을 갖고, 상기 챔버는 상기 피스톤의 상기 상부 표면에 유압을 제공하기 위한 유체통로를 포함하고, 유체통로에 의해 제공되는 유압은 상기 피스톤의 제 2 부분을 챔버내로 적어도 일부 후퇴시키는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 9 항에 있어서, 상기 유체통로는 챔버내로의 개구부를 갖고, 상기 피스톤의 제 1 부분의 상부 표면은 유압에 의해 챔버내로의 개구부에 결합되는 경감영역을 포함하고, 상기 경감부분은 유압을 피스톤을 이동시키는 데 충분한 힘으로 변환시킬만큼 충분히 큰 표면적을 갖는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 9 항에 있어서, 상기 유체통로를 거쳐서 가해지는 유압의 분산을 방지하는, 피스톤과 챔버 사이의 적어도 하나의 유체 저항 시일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 시험헤드를 주변장치와 도킹시키기 위한 도킹기구에 있어서,중공의 원통형 챔버;상기 챔버내에 이동가능하게 배치되어 있는 제 1 부분 및 상기 제 1 부분으로부터 챔버의 구멍을 통하여 뻗어있는 제 2 부분을 갖는 피스톤; 및주변장치와의 래칭 상태 및 래칭해제 상태를 확립하기 위해서 피스톤의 제 2 부분의 개구부로부터 뻗어있는 래칭기구를 포함하고, 상기 피스톤은 피스톤의 표면에 가해지는 유압에 반응하여 챔버내에서 이동되는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 12 항에 있어서, 상기 피스톤은 피스톤의 하부 표면(324)에 가해지는 유압에 반응하여 제 1 방향으로 이동되고, 상기 피스톤의 상부 표면(322)에 가해지는 유압에 반응하여 상기 제 1 방향과 반대방향인 제 2 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 12 항에 있어서, 상기 피스톤의 제 1 부분은 상부 표면(322)을 갖고, 상기 챔버는 상기 피스톤의 상기 상부 표면에 유압을 제공하기 위한 유체통로를 포함하고, 유체통로에 의해 제공되는 유압은 피스톤의 제 2 부분을 챔버내로 적어도 일부 후퇴시키는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 14 항에 있어서, 상기 유체통로는 챔버내로의 개구부를 갖고, 피스톤의 제 1 부분의 상부 표면은 유압에 의해 챔버내로의 개구부에 결합되는 경감영역을 포함하고, 상기 경감부분은 유압을 피스톤을 이동시키는 데 충분한 힘으로 변환시킬만큼 충분히 큰 표면적을 갖는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 14 항에 있어서, 상기 유체통로를 거쳐서 가해지는 유압의 분산을 방지하는, 피스톤과 챔버 사이의 적어도 하나의 유체 저항 시일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 14 항에 있어서, 상기 피스톤의 제 1 부분은 하부 표면을 갖고, 상기 챔버는 피스톤의 상기 하부 표면에 유압을 제공하기 위한 제 2 유체통로를 포함하고, 유압은 피스톤의 제 2 부분을 챔버 외부로 적어도 일부 전진시키려고 하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 17 항에 있어서, 상기 제 2 유체통로는 챔버내로의 개구부를 갖고, 피스톤의 제 1 부분의 하부 표면은 유압에 의해 챔버내로의 제 2 유체통로의 개구부에 결합되는 경감영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 12 항에 있어서,상기 피스톤의 제 2 부분의 개구부로부터 뻗어있는 래치배럴;상기 래치배럴내에서 이동가능하게 배치된 래치핀;래칭된 상태를 확립하도록 제 1 방향으로 상기 래치핀에 힘을 가하는 포싱기구; 및래칭해제된 상태를 확립하도록 제 1 방향과 반대 방향인 제 2 방향으로 상기 래치핀에 바이어싱 힘을 가하는 바이어싱기구를 더 포함하고, 상기 포싱기구는 전력이 끊어진 후에 힘을 발생하지 않고, 상기 바이어싱기구는 전력이 끊어진 후에도 그 힘을 유지하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 19 항에 있어서,상기 피스톤의 제 2 부분은 적어도 하나의 내부 측방향 표면(310b')을 갖는 중공의 영역을 포함하고,상기 래치핀은 유체 저항 시일을 거쳐서 상기 중공의 영역의 적어도 하나의 내부 측방향 표면과 접촉하는 기부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 20 항에 있어서, 상기 챔버는 상기 래치핀의 기부에 유압을 제공하기 위한 제 2 유체통로를 갖는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 21 항에 있어서, 상기 래치핀의 기부에 대하여 유압에 의해 가해진 힘은 상기 래치핀을 래칭된 상태로 이동시키는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 22 항에 있어서, 상기 바이어싱기구는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 23 항에 있어서, 상기 래치배럴은 상기 피스톤의 제 2 부분내에 이동가능하게 배치되어 상기 래치배럴의 제 2 부분의 개구부를 통하여 일부 뻗어있는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 제 24 항에 있어서, 상기 스프링은 상기 래치핀과 동축으로 배치되고 상기 래치핀의 기부로부터 상기 래치배럴로 뻗어있어서 상기 래치핀과 상기 래치배럴 사이에 반발력을 발휘하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 시험헤드를 주변장치와 도킹시키기 위한 도킹기구에 있어서,중공의 원통형 챔버;상기 챔버내에 이동가능하게 배치되어 있는 제 1 부분 및 상기 제 1부분으로부터 챔버의 구멍을 통하여 뻗어있는 제 2 부분을 갖는 피스톤; 및주변장치와의 래칭 상태 및 래칭해제 상태를 확립하기 위한 래칭기구를 포함하고,상기 피스톤은 피스톤의 표면에 가해지는 유압에 반응하여 챔버내에서 이동되고,상기 래칭기구는,상기 피스톤의 제 2 부분의 개구부로부터 뻗어있는 래치배럴;상기 래치배럴내에서 이동가능하게 배치된 래치핀;래칭된 상태를 확립하도록 제 1 방향으로 상기 래치핀에 힘을 가하는 포싱기구; 및래칭해제된 상태를 확립하도록 상기 제 1 방향과 반대 방향인 제 2 방향으로 상기 래치핀에 바이어싱 힘을 가하는 바이어싱기구를 포함하고, 상기 포싱기구는 전력이 끊어진 후에 힘을 발생하지 않고, 상기 바이어싱기구는 전력이 끊어진 후에도 그 힘을 유지하는 것을 특징으로 하는 도킹기구.
- 시험헤드를 주변장치와 도킹시키는 방법에 있어서,시험헤드 및 주변장치 중 하나에 부착되어 있는 래치배럴을 시험헤드 및 주변장치 중 다른 하나에 부착되어 있는 리셉터클내로 삽입하는 단계;래치핀을 리셉터클과 래칭된 위치로 이동시키도록 상기 래치배럴내에 배치되어 있는 래치핀에 이동력을 가하는 단계; 및상기 래치핀에 이동력과 반대 방향의 바이어싱 힘을 가하는 단계를 포함하고, 상기 이동력은 전력이 끊어진 후에 소멸하고, 상기 바이어싱 힘은 래치배럴내의 래치핀을 리셉터클에 대해 래칭해제된 위치로 이동시키려고 하고, 상기 바이어싱 힘은 전력이 끊어진 후에도 유지되는 것을 특징으로 하는 도킹방법.
- 제 27 항에 있어서, 시험헤드와 주변장치 사이의 거리를 감소시키도록 래치배럴을 안으로 당기는 단계를 더 포함하고, 상기 단계는 챔버내의 피스톤에 유압을 가하는 단계를 포함하고, 상기 피스톤은 피스톤의 이동이 래치배럴의 이동으로 전환되도록 래치배럴에 기계적으로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 도킹방법.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/778,694 US6551122B2 (en) | 2000-10-04 | 2001-02-07 | Low profile pneumatically actuated docking module with power fault release |
US09/778,694 | 2001-02-07 | ||
PCT/US2002/003349 WO2002063315A1 (en) | 2001-02-07 | 2002-02-04 | Low profile pneumatically actuated docking module with power fault release |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030011818A KR20030011818A (ko) | 2003-02-11 |
KR100853664B1 true KR100853664B1 (ko) | 2008-08-25 |
Family
ID=25114156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020027013407A KR100853664B1 (ko) | 2001-02-07 | 2002-02-04 | 공기압으로 작동되고 전력고장시 해제되는 얇은 형상의도킹모듈 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6551122B2 (ko) |
EP (1) | EP1370878B1 (ko) |
JP (1) | JP4139224B2 (ko) |
KR (1) | KR100853664B1 (ko) |
CN (2) | CN1217198C (ko) |
AT (1) | ATE287089T1 (ko) |
DE (1) | DE60202593T2 (ko) |
MY (1) | MY134572A (ko) |
TW (1) | TW513812B (ko) |
WO (1) | WO2002063315A1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20240040502A (ko) | 2022-09-21 | 2024-03-28 | (주)케미텍 | 반도체 테스트 장치 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6551122B2 (en) * | 2000-10-04 | 2003-04-22 | Teradyne, Inc. | Low profile pneumatically actuated docking module with power fault release |
US6756800B2 (en) * | 2002-04-16 | 2004-06-29 | Teradyne, Inc. | Semiconductor test system with easily changed interface unit |
US20040018048A1 (en) * | 2002-07-26 | 2004-01-29 | Sausen Earl W. | Pneumatic docking system |
KR100495819B1 (ko) * | 2003-06-14 | 2005-06-16 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 안착장치 |
JP4355543B2 (ja) * | 2003-09-11 | 2009-11-04 | 株式会社アドバンテスト | 半導体試験システム |
WO2007077807A1 (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Advantest Corporation | 着脱装置、テストヘッド及び電子部品試験装置 |
JP5202297B2 (ja) * | 2006-03-02 | 2013-06-05 | 株式会社アドバンテスト | 移動装置及び電子部品試験装置 |
US7764076B2 (en) * | 2007-02-20 | 2010-07-27 | Centipede Systems, Inc. | Method and apparatus for aligning and/or leveling a test head |
US20090291576A1 (en) * | 2008-05-23 | 2009-11-26 | Sony Ericsson Mobile Communications Ab | Connector |
DE102010062689A1 (de) * | 2010-12-09 | 2012-06-14 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Vorrichtung zum Kontaktieren wenigstens einer Kontaktfläche einer Haushaltsgeräte-Elektronik |
US8736288B2 (en) | 2011-05-16 | 2014-05-27 | Teradyne, Inc. | Liquid cooling during testing |
WO2013009817A1 (en) * | 2011-07-12 | 2013-01-17 | Intest Corporation | Method and apparatus for docking a test head with a peripheral |
DE102012112271A1 (de) * | 2012-12-14 | 2014-03-27 | Turbodynamics Gmbh | Zusammenführvorrichtung |
CN105453244B (zh) * | 2013-05-14 | 2018-04-06 | 佛姆法克特股份有限公司 | 可互换探针头的自动附接和拆卸 |
EP3052951A1 (en) * | 2013-09-30 | 2016-08-10 | inTEST Corporation | Method and apparatus for docking a test head with a peripheral |
TWI581892B (zh) * | 2015-03-27 | 2017-05-11 | 信昌機械廠股份有限公司 | 可替換式流體供應裝置 |
MX2018005765A (es) * | 2015-11-09 | 2018-08-01 | Feinmetall Gmbh | Punta de contacto que tiene una fuente de luz y disposicion de punta de contacto que tiene una fuente de luz. |
DE102016105975A1 (de) | 2016-04-01 | 2017-10-05 | Harting Ag & Co. Kg | Verriegelungsvorrichtung für Steckverbinder |
KR102033560B1 (ko) * | 2018-11-26 | 2019-10-17 | (주)케미텍 | 반도체 테스트 장치 |
KR101968985B1 (ko) * | 2018-12-19 | 2019-08-26 | (주)테크윙 | 테스트핸들러용 인서트 |
TWI685461B (zh) * | 2019-07-16 | 2020-02-21 | 鴻勁精密股份有限公司 | 電子元件作業裝置及其應用之作業分類設備 |
CN116736011B (zh) * | 2023-06-09 | 2024-01-12 | 江苏研恒电力科技有限公司 | 一种充电桩运维巡检仪及其方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5068601A (en) | 1991-02-11 | 1991-11-26 | Credence Systems Corporation | Dual function cam-ring system for DUT board parallel electrical inter-connection and prober/handler docking |
EP0699913A2 (en) * | 1994-09-01 | 1996-03-06 | Teradyne, Inc. | Interface apparatus for automatic test equipment |
US5744974A (en) | 1993-09-17 | 1998-04-28 | Xilinx, Inc. | Test head interface with vacuum-activated interconnection components |
US5923180A (en) | 1997-02-04 | 1999-07-13 | Hewlett-Packard Company | Compliant wafer prober docking adapter |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2983978A (en) * | 1957-10-31 | 1961-05-16 | Aerpat Ag | Connecting devices |
US4980800A (en) * | 1989-09-27 | 1990-12-25 | Sun Microsystems, Inc. | Electronic unit retention system |
US5002500A (en) * | 1990-03-02 | 1991-03-26 | General Motors Corporation | Quick connect/disconnector for high amperage current |
US5138291A (en) * | 1991-04-10 | 1992-08-11 | Ail Corporation | Proportional solenoid actuator |
US5982182A (en) | 1994-09-01 | 1999-11-09 | Chiu; Michael A. | Interface apparatus for automatic test equipment with positioning modules incorporating kinematic surfaces |
KR0150334B1 (ko) * | 1995-08-17 | 1998-12-01 | 남재우 | 수직형니들을 가지는 프로브카드 및 그 제조방법 |
US6551122B2 (en) * | 2000-10-04 | 2003-04-22 | Teradyne, Inc. | Low profile pneumatically actuated docking module with power fault release |
-
2001
- 2001-02-07 US US09/778,694 patent/US6551122B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-02-04 CN CN028002342A patent/CN1217198C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-04 CN CNB2004100824192A patent/CN100405566C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-04 DE DE60202593T patent/DE60202593T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-04 WO PCT/US2002/003349 patent/WO2002063315A1/en active IP Right Grant
- 2002-02-04 EP EP02717394A patent/EP1370878B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-04 KR KR1020027013407A patent/KR100853664B1/ko active IP Right Grant
- 2002-02-04 AT AT02717394T patent/ATE287089T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-02-04 JP JP2002563008A patent/JP4139224B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-05 TW TW091101961A patent/TW513812B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-02-06 MY MYPI20020412A patent/MY134572A/en unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5068601A (en) | 1991-02-11 | 1991-11-26 | Credence Systems Corporation | Dual function cam-ring system for DUT board parallel electrical inter-connection and prober/handler docking |
US5744974A (en) | 1993-09-17 | 1998-04-28 | Xilinx, Inc. | Test head interface with vacuum-activated interconnection components |
EP0699913A2 (en) * | 1994-09-01 | 1996-03-06 | Teradyne, Inc. | Interface apparatus for automatic test equipment |
US5923180A (en) | 1997-02-04 | 1999-07-13 | Hewlett-Packard Company | Compliant wafer prober docking adapter |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20240040502A (ko) | 2022-09-21 | 2024-03-28 | (주)케미텍 | 반도체 테스트 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4139224B2 (ja) | 2008-08-27 |
CN1457431A (zh) | 2003-11-19 |
DE60202593D1 (de) | 2005-02-17 |
WO2002063315A1 (en) | 2002-08-15 |
EP1370878B1 (en) | 2005-01-12 |
US6551122B2 (en) | 2003-04-22 |
CN100405566C (zh) | 2008-07-23 |
US20020106927A1 (en) | 2002-08-08 |
JP2004518961A (ja) | 2004-06-24 |
KR20030011818A (ko) | 2003-02-11 |
EP1370878A1 (en) | 2003-12-17 |
TW513812B (en) | 2002-12-11 |
DE60202593T2 (de) | 2005-12-29 |
CN1595630A (zh) | 2005-03-16 |
MY134572A (en) | 2007-12-31 |
CN1217198C (zh) | 2005-08-31 |
ATE287089T1 (de) | 2005-01-15 |
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