KR100845492B1 - Brake prevention apparatus for forming large quarts dome - Google Patents

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KR100845492B1
KR100845492B1 KR1020070016156A KR20070016156A KR100845492B1 KR 100845492 B1 KR100845492 B1 KR 100845492B1 KR 1020070016156 A KR1020070016156 A KR 1020070016156A KR 20070016156 A KR20070016156 A KR 20070016156A KR 100845492 B1 KR100845492 B1 KR 100845492B1
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박태욱
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(주)엔케이산기
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Abstract

A device for preventing breakage in cooling after molding a large quartz dome is provided to absorb difference of the contraction and expansion ratios in a separated distance part by forming the separated distance at a vertical part of the large quartz dome by making the rim vertical part of a lower mold larger than the sum of an edge mold and an upper mold. A device for preventing breakage in cooling after molding a large quartz dome is composed of: a lower mold(100) having a dome protruded part(101) formed at the upper side and a vertical part(102) formed at the lateral side; a support ring(110) supporting the lower mold, wherein a fixing pole(120) is vertically set up about a space for supporting a quartz panel to be molded; an edge mold(140) vertically moving along the fixing pole and having an inner diameter smaller than a diameter of the quartz panel; an upper mold(150) supported by an upper mold support sill(142) larger than the inner diameter of the edge mold, wherein the bottom side of the upper mold forms a dome groove(151); and a pole fixing ring(160) fixing the upper end of the fixing pole.

Description

대형 석영돔의 몰드 성형후 냉각시 파손방지장치{Brake prevention apparatus for forming large quarts dome}Brake prevention apparatus for forming large quarts dome}

도 1 은 일반적인 벨자의 구성을 나타낸 사시도,1 is a perspective view showing the configuration of a typical bell jar,

도 2a 는 종래의 벨자 제조용 석영판의 예비 가공 상태를 나타낸 평면도,2A is a plan view showing a pre-processing state of a conventional quartz plate for bellza production,

도 2b 는 도 2a 에 의한 단위 석영판을 예비 가공한 상태의 사시도,2B is a perspective view of a state in which the unit quartz plate according to FIG. 2A is preliminarily processed;

도 2c 는 도 2c 의 단위 예비 가공 석영판을 용접하여 돔 형상으로 제조한 돔부의 예시도,2C is an exemplary view of a dome portion manufactured by welding the unit pre-processed quartz plate of FIG. 2C to a dome shape;

도 3 은 종래의 벨자를 제조하는 다른 방식을 나타낸 구성도,3 is a configuration diagram showing another method of manufacturing a conventional bell jar,

도 4 는 종래의 다른 방식으로 사용되는 카본몰드의 단면 예시도,4 is a cross-sectional view of a carbon mold used in another conventional manner;

도 5 는 도 4 의 제조 장치를 나타낸 단면도,5 is a sectional view showing the manufacturing apparatus of FIG. 4;

도 6 은 종래의 또 다른 예를 나타낸 구성도,6 is a configuration diagram showing another conventional example;

도 7 은 도 6 에서 하몰드를 나타낸 평면도,7 is a plan view showing a lower mold in FIG.

도 8 은 본 발명의 단면도,8 is a cross-sectional view of the present invention;

도 9 는 본 발명의 평면도이다.9 is a plan view of the present invention.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

100;하몰드 101;돔돌부 102;수직부 110;받침링 111;하고정홈 112;하몰드 받 침턱 120;고정폴 130;석영판 131;대형석영돔 140;에지몰드 141;링홈 142;상몰드 받침턱 150;상몰드 151;돔홈 152;수평에지부 153;손잡이부 160;폴고정링 161;상고정홈 100; lower mold 101; dome protrusion 102; vertical portion 110; support ring 111; fixed groove 112; lower mold support jaw 120; fixed pole 130; quartz plate 131; large quartz dome 140; edge mold 141; ring groove 142; top mold Base jaw 150; Top mold 151; Dome groove 152; Horizontal edge portion 153; Handle portion 160; Pole fixing ring 161; Top fixing groove

본 발명은 반도체 제조용 벨자를 이루는 대형 석영돔의 몰드 성형후 냉각시 파손방지하도록 하몰드가 위로 돌출한 돔돌부를 이루고 상몰드는 아래가 오목한 돔홈을 이루며, 상하몰드 사이에 에지몰드와 석영판을 두고, 하몰드의 테두리는 수직부를 두어 성형완료시, 에지몰드에 의하여 성형물의 직선 구간 형성할 때 상몰드의 테두리 부분이 공간을 두도록 되어, 대형 석영돔의 냉각시 수축 팽창율의 차이로 인한 차이를 공간이 흡수토록 함으로써 석영관의 냉각시 파손을 방지토록 하는 대형 석영돔의 몰드 성형후 냉각시 파손방지장치에 관한 것이다.The present invention forms a domed protrusion protruding from the top of the lower mold to prevent damage during cooling after molding a large quartz dome forming a bell for semiconductor manufacturing. When the molding is completed, the edge of the lower mold has a vertical part, and when the straight section of the molding is formed by the edge mold, the edge of the upper mold has a space. The present invention relates to a device for preventing breakage during cooling after mold molding of a large quartz dome which prevents breakage during cooling of the quartz tube.

일반적으로 석영 제품은 화학적 안정성, 높은 내열성, 높은 광 투시성 및 전기적 안정성 등의 특징을 지녀 전기, 전자,정보통신, 자동차등 산업 전반에 걸쳐 광범위하게 사용되고 있다. 석영 제품은 반도체 제조에도 사용되는바, 모든 반도체생산설비중 각종 전기로에 필요한 벨자 나 아우터튜브(Outer Tube)의 반구형 돔부에 많이 사용된다. 특히 이 재품이 반구형이어야 하는 이유는 모든 반도체의 열처리 조건이 진공상태이어야하므로, 효과적인 진공조건을 이루기 위해서는 튜브의 상부는 반구 형이 효과적인 이유이다. In general, quartz products are widely used in the electrical, electronic, telecommunications, and automotive industries because of their chemical stability, high heat resistance, high light transmission, and electrical stability. Quartz products are also used in semiconductor manufacturing, and are used in the hemispherical dome of Belza or outer tube, which is required for various electric furnaces among all semiconductor production facilities. In particular, the reason for this product to be hemispherical is that all heat treatment conditions of the semiconductor must be vacuum, and the reason why the hemispherical shape is effective at the top of the tube is effective to achieve the effective vacuum condition.

벨자(10)는 도 1 과 같이 관체형 튜브부(11)와, 튜브부(11)의 입구를 이루는 프랜지부(12)와, 튜브부(11)의 상단을 막는 돔부(13)로 이루어진다.The bell jar 10 includes a tubular tube portion 11, a flange portion 12 forming an inlet of the tube portion 11, and a dome portion 13 blocking an upper end of the tube portion 11 as shown in FIG. 1.

현재 벨자(10)의 돔부(13)를 제조하는 방식은 도 2a 와 같이 평편한 석영판을 원형으로 절단하고 다시 방사상으로 균등 분할시켜 단위 석영판(1)을 이루게 한다. 단위 삭영판(1)을 각각 도 2b 와 같이 곡면 석영판(2)으로 곡면 성형한다.Currently, the method of manufacturing the dome part 13 of the bell jar 10 cuts the flat quartz plate in a circular shape as shown in FIG. 2A and divides it evenly radially to form the unit quartz plate 1. Each of the unit cutting plates 1 is curved into a curved quartz plate 2 as shown in Fig. 2B.

이어 곡면 성형한 곡면 석영판(2)의 측면을 상호 용접하여 돔 형상의 돔부(13)를 이룬 도 2c 형상으로 성형을 완성한다. 이를 도 1 의 돔부(13) 형태로 튜브부(11) 선단에 용접한다.Subsequently, the side surfaces of the curved quartz plate 2 formed by the curved surface are welded to each other to complete the molding in the shape of FIG. 2C forming the dome-shaped dome 13. This is welded to the tip of the tube portion 11 in the form of the dome portion 13 of FIG.

벨자(10)를 만드는 다른 방식으로는 도 3 과 같이 벨자의 내면 형상과 동일한 끼움지그(4)와, 끼움지그(4)를 지지하고 회전시키는 회전수단(5)과, 끼움지그(4)에 끼워지는 튜브형 석영관(6)과, 상기 석영관(6)의 상단을 가열하는 버너(8)와. 상기 석영관(6)의 상단을 끼움지그(4)의 상단 돔 형태를 이루도록 프레싱 하는 프레스 툴(7)로 이루어진다. 그런데 이러한 방식은 돔 부위를 지속적으로 균일한 형태로 성형 작업을 할 수 없어 후처리 가공시 자동화가 않 되어 전적으로 수작업에 의존할 수밖에 없어 생산성이 낮아지고 품질관리에 어려움을 주며 분할작업으로 인한 용접면 증가는 후처리 가공기간을 증가시키는 요인이 된다. 또한 홈을 가지는 링 형 다이에 원판 상의 석영 글래스 판을 안치시키고 돌출형 중량체를 올려놓고 연화점으로 열처리하여 돔형상의 석영돔을 만드는 기술이 일본 공개특허 평 8-295522호에서 알려져 있으나, 단순히 중량체를 올려놓는 것이어서 석영 등의 두께가 일정하 지않는 문제점이 있다.As another method of making the bell jar 10, the fitting jig 4 having the same inner shape of the bell jar as shown in FIG. 3, the rotating means 5 for supporting and rotating the fitting jig 4, and the fitting jig 4 A tubular quartz tube (6) to be fitted, and a burner (8) for heating the upper end of the quartz tube (6). The press tool 7 presses the upper end of the quartz tube 6 to form the upper dome of the fitting jig 4. However, this method is not able to continuously form the dome part uniformly, and it is not automated at the time of post-treatment processing, so it has to rely solely on manual labor, which leads to low productivity and difficulty in quality control. The increase is a factor in increasing the post-treatment period. In addition, although a technique of making a dome-shaped quartz dome by placing a quartz glass plate on a disc in a ring-shaped die having a groove, placing a protruding weight body, and heat-treating with a softening point is known in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-295522, There is a problem that the thickness of the quartz is not constant because it is put on.

돔 형상의 홈을 가진 카본 몰드 상단에 석영판을 안치시키고, 진공로 내에 투입한 후 석영판을 연화점 이상으로 가열한 후 프레스로 프레싱 하여 균일한 두께의 돔 형상의 돔부를 제조토록 하는 기술이 알려졌는바, 이는 도 4 와 같이 카본몰드(20) 위에 원형의 석영판(21)을 안치시킨 상태를 나타낸 단면도로, 카본몰드(20)의 상면에 돔홈(22)을 형성시키고, 돔홈(22)을 덮도록 석영판(21)을 안치시킨 구성이다.It is known that a quartz plate is placed on top of a carbon mold having a dome-shaped groove, put into a vacuum furnace, heated to a softening point or more, and then pressed into a press to produce a dome portion having a uniform thickness. Bar, which is a cross-sectional view showing a state in which the circular quartz plate 21 is placed on the carbon mold 20 as shown in FIG. 4, forming a dome groove 22 on the upper surface of the carbon mold 20, and forming the dome groove 22. The quartz plate 21 is settled so that it may cover.

도 5 는 도 4 상태의 카본몰드(20)를 진공로(30) 내에 안치시킨 상태를 나타낸 도면으로, 진공로(30) 내에는 내장한 히터(40)가 외부로 열 발산 하는 것을 차단하는 챔버(50)를 수장하고, 챔버(50) 및 히터(40)는 카본 몰드(20)의 출입을 안내하는 도어수단과 결합한다. 상기 챔버(50) 및 히터(40)의 상단에는 하단에 돔헤드(61)를 가지는 프레스 로드(60)가 안내되도록 하는 안내공(51, 41)을 가지며, 상기 프레스 로드(60)의 상단의 진공로(30) 외부 일측에는 프레스 로드(60)의 신장 및 복원을 가능토록 하는 프레싱 수단(62)을 설치한다.FIG. 5 is a view showing a state in which the carbon mold 20 of FIG. 4 is placed in the vacuum furnace 30. The chamber 40 blocks the heat dissipation of the heater 40 built in the vacuum furnace 30 to the outside. The chamber 50 and the heater 40 are coupled to the door means for guiding the entry and exit of the carbon mold 20. At the upper end of the chamber 50 and the heater 40 has guide holes 51 and 41 to guide the press rod 60 having the dome head 61 at the lower end of the chamber 50 and the heater 40. One side of the vacuum furnace 30 is provided with a pressing means 62 to allow extension and restoration of the press rod 60.

이와 같은 구성의 작동을 설명하면, 도 4 와 같이 카본몰드(20)의 돔홈(22)을 덮도록 석영판(21)을 안치시키고(단계(S1)), 이를 도 5 와 같이 진공로(30) 내의 챔버(50) 내로 안치시켜 진공로(30)의 도어(도시하지 않음)를 닫고 챔버(50) 내에 내장한 히터(40)를 가열시킨다. 아울러 진공로(30) 내의 공기를 진공펌프를 이용하여 빼내 진공(- 3 내지 - 5 토르의 압력을 유지) 상태가 된 후 질소가스를 투입하여 질소분위기를 만든다. 그리고 가열을 시작한다. Referring to the operation of this configuration, the quartz plate 21 is placed to cover the dome groove 22 of the carbon mold 20 as shown in FIG. 4 (step S1), and this is the vacuum furnace 30 as shown in FIG. ), The door (not shown) of the vacuum furnace 30 is closed by placing it in the chamber 50 in the chamber 50 to heat the heater 40 embedded in the chamber 50. In addition, by taking out the air in the vacuum furnace 30 by using a vacuum pump to become a vacuum (maintain the pressure of -3 to -5 Torr) state, nitrogen gas is added to make a nitrogen atmosphere. Then start heating.

이어 진공로(30) 내의 급격한 온도 상승은 열충격에 의해 내부 성형물을 파손시킬 우려가 있으므로 석영판의 연화점인 약 1600도에 이르기까지 3단계로 구분하여 온도를 상승시키는데 바람직하기는 약 500도 구간으로 구분하여 상승시킴이 좋다(단계(S2)). 물론 온도의 상승은 내부에 설치한 온도계나 센서 등을 사용하여 감지 가능하다. Subsequently, the rapid temperature rise in the vacuum furnace 30 may damage the internal moldings due to thermal shock, so the temperature is divided into three stages up to about 1600 degrees, which is the softening point of the quartz plate. It is good to separate and raise (step S2). Of course, the rise in temperature can be detected using a thermometer or sensor installed inside.

이어 프레스 로드(60)를 신장시키도록 프레싱 수단(62)(예를 들어 실린더)을 작동시키면 설정치까지 프레스 로드(60)를 신장시켜, 석영판(21)을 누르면 돔헤드(61)가 석영판(21)을 눌러 돔홈(22)과 일치하는 형태로 프레싱 한다. 따라서 연화점 이상으로 가열된 석영판(21)은 돔 형상으로 찌그러져 성형 된다(단계(S3)). 이렇게 성형이 완료되면, 히터(40)의 전원을 차단하여 열 공급을 중지하고 개스 냉각장치로 상온까지 냉각시킨다(단계(S4)). Then, when the pressing means 62 (for example, a cylinder) is operated to stretch the press rod 60, the press rod 60 is stretched to a set value, and when the quartz plate 21 is pressed, the dome head 61 moves to the quartz plate. Press (21) to press in a shape consistent with the dome groove (22). Therefore, the quartz plate 21 heated above the softening point is crushed into a dome shape and molded (step S3). When the molding is completed in this way, the power supply of the heater 40 is cut off, the heat supply is stopped and cooled to room temperature by the gas cooling device (step S4).

최근에는 분할 하부 금형 테두리에 석영판을 안치시키고, 하중의 의한 프레싱으로 성형하는 방식이 사용되는바, 이는 도 6 과 같은 단면도와, 도 7 과 같은 평면도로 이루어지고, 4개로 분할되는 단위 하몰드(71)의 조합을 하단에서는 하몰드 하부 결합링(75)으로 결합하고, 상부에서는 상부 결합링(80)으로 결합된 구성의 하몰드(70)를 완성한다. 상부 결합링(81) 역시 단위 결합호(85)가 각각의 단부에서 결합판(81)을 덧대고, 각 결합판(81)은 결합나사(82)로 각각의 단위 결합호(85)를결합토록 고정한다.Recently, a quartz plate is placed on the divided lower mold rim, and a method of forming by pressing under load is used. The unit lower mold is divided into four sections and a plan view as shown in FIG. Combination of the (71) is coupled to the lower mold lower coupling ring 75 at the bottom, and the lower mold 70 of the configuration coupled to the upper coupling ring 80 at the top. The upper coupling ring 81 also has unit couplings 85 padding the coupling plates 81 at each end, and each coupling plate 81 couples the respective unit couplings 85 with the coupling screws 82. Fix it forever.

이를 사용할 때는 진공 상태의 가열로에서 석영판의 용융 온도인 1600도에 이르도록 가열하고 상몰드(87)의 하중에 의하여 판상의 석영판(90)은 용융되면서 하강하여 하몰드(70)의 내부 공간과 상몰드(87)의 하단 형상의 형태가 이루어진다. 그러나 이러한 방식은 12인치와 같은 대형 규격을 성형하고자할 때는 금형이 커져야하고, 진공로의 용량도 커져야 하므로, 생산성 효율에도 문제가 있다. When using this, in a vacuum furnace, it is heated up to 1600 degrees, which is the melting temperature of the quartz plate, and the plate-shaped quartz plate 90 is melted and lowered by the load of the upper mold 87 to lower the interior of the lower mold 70. The shape of the space and the bottom shape of the upper mold 87 is made. However, this method has a problem in productivity efficiency because the mold has to be large and the capacity of the vacuum furnace has to be large when a large size such as 12 inch is to be molded.

본 발명은 이를 해결하고자 하는 것으로, 본 발명의 목적은 냉각시 성형된 석영돔과 성형을 위한 몰드의 팽창 및 수축율의 차이로 인한 대형의 성형 석영돔의 파손을 막도록 상몰드의 수축율 차이를 상몰드를 지지하는 에지몰드와 상몰드의 하강으로 인한 성형시 상몰드와 에지몰드가 상하가 이격되도록 분리시켜 대형 석영돔의 냉각시 파손을 방지토록 하여 생산성을 향상시킨 대형 석영돔의 몰드 성형 후 냉각시 파손방지장치를 제공하려는 것이다.The present invention is to solve this problem, an object of the present invention is to increase the shrinkage rate of the upper mold to prevent breakage of the large shaped quartz dome due to the difference in the expansion and shrinkage rate of the molded quartz dome and the molding for cooling. Cooling after molding of large quartz dome which improved productivity by separating upper mold and edge mold so that the upper and lower parts are separated from the upper and lower spaces during molding due to the falling of edge mold and upper mold supporting mold. It is to provide a breakage prevention device.

이를 위한 본원발명은 하몰드를 상단이 돌출부를 이루고 측면이 수직부를 이루도록 하고,The present invention for this purpose is to make the lower mold to the top of the protrusion forming a vertical portion,

돌출부에는 석영판을 두고, 석영판 테두리 위에는 석영판의 테두리를 성형하는 에지몰드를 두고,Put the quartz plate on the protrusion, and the edge mold forming the edge of the quartz plate on the quartz plate border,

에지몰드에는 에지몰드와 함께 석영판을 눌러 성형하고 상기 하몰드 돌출부에 대응하는 돔홈을 가지는 상몰드를 두고,The edge mold is formed by pressing a quartz plate together with the edge mold and forming an upper mold having a dome groove corresponding to the lower mold protrusion.

상기 받침링에는 수직의 고정폴을 두어 상단에서 폴고정링으로 고정하고,The bearing ring has a vertical fixing pole fixed at the top with a pole fixing ring,

상기 고정폴에는 에지몰드가 상하 이동 가능토록 이루어진 대형 석영돔의 몰드 성형후 냉각시 파손방지장치를 제공한다.The fixed pole provides a breakage prevention device during cooling after mold molding of a large quartz dome made of an edge mold capable of vertical movement.

이하 본원 발명의 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 8 은 본 발명의 요부 단면도, 도 9 는 도 8 의 평면도로,8 is a cross-sectional view of main parts of the present invention, FIG. 9 is a plan view of FIG. 8;

상부에 돔돌부(101)를 가지고 측면은 수직부(102)를 이룬 하몰드(100)와;A lower mold 100 having a domed protrusion 101 on an upper side thereof and forming a vertical portion 102;

하몰드(100)를 받치며 성형할 석영판(130)을 받치는 공간을 두고 수직으로 고정폴(120)을 입설하는 받침링(110)과;A support ring 110 for placing the fixed pole 120 vertically with a space supporting the lower mold 100 to support the quartz plate 130 to be molded;

상기 고정폴(120)을 따라 상하 이동하며 내경이 석영판(130)의 직경 보다 작은 에지몰드(140)와;An edge mold 140 which moves up and down along the fixing pole 120 and whose inner diameter is smaller than the diameter of the quartz plate 130;

에지몰드(140)의 내경보다는 큰 상몰드 받침턱(142)에 받쳐지며 저면이 돔홈(151)을 이룬 상몰드(150); 및An upper mold 150 supported by the upper mold supporting jaw 142 larger than the inner diameter of the edge mold 140 and having a dome groove 151 formed thereon; And

상기 고정폴(120)의 상단을 고정하는 링상의 폴고정링(160)을 포함하도록 구성한다.It is configured to include a pole fixing ring 160 on the ring for fixing the top of the fixing pole 120.

상기 받침링(110)에는 하몰드(100)의 하단을 정 위치에 고정하는 하몰드 받침턱(112)을 형성한다.The support ring 110 forms a lower mold support jaw 112 for fixing the lower end of the lower mold 100 at a fixed position.

상기 하몰드(100)의 수직부(102)는 하몰드 받침턱(112)의 높이(a)와, 상몰드 받침턱(142)의 깊이(b)의 합보다 크며, 상몰드(150)의 돔홈(151) 단부의 수평 에지부(152)는 최종 성형시 상몰드 받침턱(142)과 이격거리(c)를 갖도록 구성한다.The vertical portion 102 of the lower mold 100 is greater than the sum of the height (a) of the lower mold support jaw 112 and the depth (b) of the upper mold support jaw 142, the upper mold 150 The horizontal edge portion 152 of the end of the dome groove 151 is configured to have a distance (c) and the upper mold base 142 in the final molding.

이와 같이 구성한 본원발명은 진공로에서 가열시 석영돔의 형상이 상하몰드(150)(100)의 형상대로 잘 이루어진다.The present invention configured as described above is well formed in the shape of the upper and lower molds 150 and 100 when the quartz dome is heated in a vacuum furnace.

그러나 본원발명은 성형 후 냉각시 수축 팽창율의 차이로 인하여 하몰드(100)위에 성형된 대형 석영돔(131)을 가압한다 할지라도, 도 8 과 같이 성형된 대형 석영돔(131)의 수직부에서 상몰드 받침턱(142)의 깊이(b)와의 이격거리(c)만큼의 이격을 두므로, 이 이격거리(c)부위에서 성형시에는 에지몰드(140) 내경 부분이 용융 석영판(130)의 외면 테두리 부분을 평평하게 성형하는 작용을 하고, 일단 성형이 되면 노출된 공간에 의하여 수축 팽창에 따른 팽창율의 차이를 냉각시 흡수하여 발산하므로 대형의 석영돔을 성형하여도 성형된 대형 석영돔(131)의 냉각시 파손 없이 냉각 성형을 가능토록 한다.However, the present invention, although pressing the large quartz dome 131 formed on the lower mold 100 due to the difference in shrinkage expansion rate during cooling after molding, in the vertical portion of the large quartz dome 131 formed as shown in FIG. Since the spaced apart from the depth (b) of the upper mold support jaw 142 is spaced apart by the distance (c), when forming at this distance (c), the inner edge portion of the edge mold 140 is molten quartz plate 130 It acts to form the outer rim of the flat surface, and once molded, it absorbs and diverges the difference in expansion rate due to shrinkage expansion by the exposed space upon cooling, thus forming a large quartz dome even when a large quartz dome is molded ( 131) allows for cooling molding without breakage.

즉, 상몰드(150)의 돔홈(151)이 하몰드(100)의 돔돌부(101) 대응 부위만 덮는 형상이지만, 별도의 추가 에지몰드(140)가 상몰드(150)와 함께 하강하다가 상몰드(150)가 돔돌부(101)에 의하여 하강을 멈춘다 하여도, 자중에 의하여 도 8 의 점선 상태로 추가 하강하므로, 대형 석영돔(131)의 에지부분이 수직부(102) 형상에 대응하도록 매끈하게 성형이 완료된다. 이 경우 최종 성형이 완료되면 이격 거리(c) 만큼 상몰드(150) 하단의 에지몰드(140)와 하강한 점선 상의 에지몰드 받침턱(142)이 거리를 두므로, 상몰드(150)하단과 에지몰드(140)가 상호 이격되고, 이 상태에서 냉각을 시작하면서 발생하는 수축 팽창율의 차이를 이격거리(c)부위에서 흡수토록 하는 것이다.That is, although the dome groove 151 of the upper mold 150 is shaped to cover only the corresponding portion of the dome protrusion 101 of the lower mold 100, an additional additional edge mold 140 descends together with the upper mold 150 Even if the mold 150 stops descending by the dome protrusion 101, the weight 150 is further lowered in a dashed state of FIG. 8 by its own weight, so that the edge portion of the large quartz dome 131 corresponds to the shape of the vertical portion 102. The molding is completed smoothly. In this case, when the final molding is completed, the edge mold 140 at the bottom of the upper mold 150 and the edge mold supporting jaw 142 on the lowered dotted line are separated by the separation distance c, so that the bottom of the upper mold 150 The edge molds 140 are spaced apart from each other, and the difference in shrinkage and expansion rate generated by starting cooling in this state is to be absorbed at the distance (c).

이상과 같이 본원발명은 냉각시 성형된 대형 석영돔과 성형을 위한 몰드의 팽창 및 수축율의 차이로 인한 성형 대형 석영돔의 파손을 막도록 하몰드의 테두리 수직부가 에지몰드와 상몰드와의 합보다 크도록 하여 성형된 대형 석영돔의 수직부 에 이격거리가 생기도록 함으로써 수축율 차이를 이격 거리 부위에서 흡수토록 함으로써 석영돔의 생산성을 향상시킨다.As described above, the present invention is characterized in that the vertical edge of the lower mold is less than the sum of the edge mold and the upper mold so as to prevent breakage of the molded large quartz dome due to the difference in expansion and shrinkage rate of the molded large quartz dome and the mold for cooling. By increasing the separation distance to the vertical part of the large-size quartz dome molded to be large, the productivity of the quartz dome is improved by absorbing the shrinkage difference at the separation distance.

또한 본원발명은 에지몰드가 고정폴에서 상하 이동토록 함으로써 정위치에서 대형 석영돔의 에지부를 돌출부 대응 형상 외에 추가 성형함으로써 대형 석영돔 이라도 일정한 형상의 석영돔을 이룰 수가 있고, 에지부를 분리하여 성형하는 방식이므로 그 만큼 상몰드의 무게를 줄일 수 있어 작업성을 향상시킨다.In addition, the present invention by forming the edge mold of the large quartz dome in addition to the protruding shape of the large quartz dome in the right position by allowing the edge mold to move up and down in the fixed pole, even a large quartz dome can form a quartz dome of a certain shape, and to separate the edge portion Because of this method, the weight of the upper mold can be reduced by that amount, improving workability.

Claims (3)

상부에 돔돌부(101)를 가지고 측면은 수직부(102)를 이룬 하몰드(100)와;A lower mold 100 having a domed protrusion 101 on an upper side thereof and forming a vertical portion 102; 하몰드(100)를 받치며 성형할 석영판(130)을 받치는 공간을 두고 수직으로 고정폴(120)을 입설하는 받침링(110)과;A support ring 110 for placing the fixed pole 120 vertically with a space supporting the lower mold 100 to support the quartz plate 130 to be molded; 상기 고정폴(120)을 따라 상하 이동하며 내경이 석영판(130)의 직경 보다 작은 에지몰드(140)와;An edge mold 140 which moves up and down along the fixing pole 120 and whose inner diameter is smaller than the diameter of the quartz plate 130; 에지몰드(140)의 내경보다는 큰 상몰드 받침턱(142)에 받쳐지며 저면이 돔홈(151)을 이룬 상몰드(150); 및An upper mold 150 supported by the upper mold supporting jaw 142 larger than the inner diameter of the edge mold 140 and having a dome groove 151 formed thereon; And 상기 고정폴(120)의 상단을 고정하는 링상의 폴고정링(160)을 포함하는 대형 석영돔의 몰드 성형후 냉각시 파손방지장치.Device for preventing damage during cooling after molding a large quartz dome comprising a ring-shaped pole fixing ring 160 for fixing the top of the fixed pole (120). 제 1 항에 있어서, 받침링(110)에는 하몰드(100)의 하단을 정위치에 고정하는 하몰드 받침턱(112)을 형성한 것을 특징으로 하는 대형 석영돔의 몰드 성형후 냉각시 파손방지장치.The method of claim 1, wherein the support ring 110 is formed of a lower mold support jaw 112 for fixing the lower end of the lower mold 100 in place to prevent damage during cooling after molding the large quartz dome Device. 제 1 항에 있어서, 상기 하몰드(100)의 수직부(102)는 하몰드 받침턱(112)의 높이(a)와, 상몰드 받침턱(142)의 깊이(b)의 합보다 크며, 상몰드(150)의 돔홈(151) 단부의 수평 에지부(152)는 최종 성형시 상몰드 받침턱(142)과 이격거리(c)를 갖도록 구성한 것을 특징으로 하는 대형 석영돔의 몰드 성형후 냉각시 파손방지장치.The method of claim 1, wherein the vertical portion 102 of the lower mold 100 is greater than the sum of the height (a) of the lower mold base (112) and the depth (b) of the upper mold base (142), The horizontal edge portion 152 at the end of the dome groove 151 of the upper mold 150 is configured to have a separation distance (c) from the upper mold base 142 at the time of final molding. Breakage prevention device.
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US5651827A (en) 1996-01-11 1997-07-29 Heraeus Quarzglas Gmbh Single-wafer heat-treatment apparatus and method of manufacturing reactor vessel used for same
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