KR100838661B1 - 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 1회용 전기화학적 바이오센서용 전극에 관한 것으로, 플렉시블한 절연 플라스틱필름, 예컨대 폴리에틸렌 필름위에 작업 전극과 기준전극의 재료인 구리필름을 라미네이팅 방식으로 접착하고 포토리소그래피 방식으로 선택적으로 전극을 패터닝 한 후 니켈도금, 금도금 방식을 이용하여 센서를 다수배열형성 시켜 극히 낮은 저항(0.1Ω이하)을 가지는 전극을 균일하고 재현성 있게 생산할 수 있다. 또한 생체시료에 있는 특정물질을 분석하는데 있어 전극 저항값 변수를 해결할 수 있었다. 상기 전극위에 효소를 폴리우레탄 튜브의 수축팽창을 이용한 로테이션 방식의 멀티디스펜싱을 이용하여 정량 고정화하였다. 특히 당뇨환자의 혈액속의 혈당물질인 글루코스 측정 시에는 혈액속의 여러 가지 간섭물질인 이온 끌림 현상을 극 저전압(0.055V이하)을 인가전압으로 사용하여 효과적으로 저하 시키면서 빠른 효소산화반응을 유도할 수 있었으며 3초 이내의 측정시간을 가지는 측정용 센서를 제작함으로써 환자들의 병원 및 가정용 임상 화학진단에 있어 보다 빠르고 정확한 측정이 가능한 효과가 있다.
전기화학적 바이오센서, 전극, 저항, 전압, 효소, 산화반응, 고정화

Description

전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법{Electrode preparation method for electrochemical biosensor}
도 1은 본 발명의 실시예에 따라 가로(24)*세로(13)의 개수를 가지는 바이오센서용 전극배열방식을 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명에 적용되는 전기화학 측정용 전극 셀들의 종류와 측정개념을 보여주는 등가회로도이다.
도 3은 본 발명의 전기화학적 바이오센서 스트립에 대한 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 전기화학적 바이오센서용 전극 제조의 공정순서도이다.
도 5는 도 3의 전기화학적 바이오센서 스트립의 전체 결합 방식을 보인 분해사시도이다.
도 6은 본 발명에 적용되는 전기화학적 바이오센서의 전압범위를 결정하는 순환 전류 전압 법을 보인 개념도이다.
도 7은 도 4에 따라 제조된 바이오센서의 글루코스 표준용액에 대한 검정곡선이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10-상판 11-생체시료 공기배출구
12-생체시료 주입구 13-중판
14-생체시료 삽입유로 15-측정기 연결부
16-작업 전극(working electrode) 17-기준 전극(reference electrode)
18-하판
본 발명은 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법 및 그에 따른 전극구조에 관한 것이다.
본 분야에서 알려진 바로서, 효소의 활성을 이용한 전기화학적 바이오센서 전극제조에 있어서 생체시료에 있는 특정물질, 예컨대 임상 화학 검사에서는 글루코스(Glucose)센서, 요산(尿酸)센서, 단백질 센서, DNA센서, 쉬크로스 센서, 간기능 검사에서는 GOT(Glutamate-Oxaloacetate Transaminase)또는 GPT(Glutamate-Pyruvate Transaminase)등의 효소활성을 보다 빠르고 재현성 있게 측정하는 것이 매우 중요한 사항이다. 여기서, 바이오센서는 측정대상을 식별하는 부위와 전기신호로 변환하는 부위로 나뉘어 구성되어있다. 식별부위에는 생체물질이 쓰이고, 생체 물질이 측정대상을 인식하면, 화학변화나 물리변화가 생긴다. 이러한 변화를 전기 신호로 변환하는 것이 변화부위라고하며 이를 통칭하여 바이오센서용 전극(electrode)이라고 부른다.
바이오센서용 전극 제조방법에 있어서 기존의 실크 프린팅(silk printing)방 식을 이용한 백금, 카본 및 은/염화은 잉크의 인쇄방식은 장치비가 저렴한 반면 재현성 있는 센서용 전극제조에 있어 저항편차 조절이 어려운 문제점이 있었다.
또 다른 방식으로서, 진공증착 및 스퍼터(sputter) 방식을 이용하여 바이오센서용 전극 제조방식은 초기 투자비용이 많이 소요되며 값비싼 금속을 패터닝(patterning)된 마스크(Mask)를 이용하여 스퍼터(sputter) 혹은 진공증착의 방법을 통하여 제조하는 것이므로, 귀금속의 회수에 따른 어려운 문제점이 있고 전극저항을 극히 낮추기 위해 생산 단가의 상승부담을 감수해야하는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점들을 해결할 수 있는 개선된 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법 및 그에 따른 전극구조를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 반복 재현성이 높고 저항편차가 낮은 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법 및 그에 따른 전극구조를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 귀금속의 회수 부담을 없애고 제조에 소요되는 귀금속의 량을 최소화 또는 감소시킬 수 있는 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법 및 그에 따른 전극구조를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 0.1Ω이하의 낮은 저항을 가지는 전극을 균일하고 재현성 있게 생산할 수 있는 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법 및 그에 따른 전극구조를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 생체시료에 있는 특정물질을 분석하는데 있어 전극 저항값 변수를 해결하고 전극위의 효소를 정량 고정화할 수 있는 전기화학적 바 이오센서용 전극 제조방법 및 그에 따른 전극구조를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 글루코스 측정 시에 극 저전압(0.055V이하)을 인가전압으로서 사용하고 약 3초 이내의 측정소요시간을 얻을 수 있는 측정용 스트립을 제공함에 있다.
상기의 목적들을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예적 구체화에 따라, 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법은,
상판 아래에 위치되는 양면접착 중판 필름의 하부에 형성되는 배열전극 하판을 제조하기 위하여, 절연 기판위에 제1 도전성 박막을 라미네이팅(laminating) 방식으로 접착하여 형성하는 단계와;
상기 제1 도전성 박막의 상부에 감광성 드라이 필름을 코팅한 다음 사진식각공정을 수행하여 리드라인, 작업전극, 및 기준전극을 일체로 구성하게 될 상기 제1 도전성 박막 재질의 전극 패턴을 형성하는 단계와;
상기 전극 패턴의 표면에 상기 전극 패턴의 전기 전도성보다 높은 전기 전도성을 갖는 제2 도전성 박막을 도금(plating)하여 형성하는 단계를 구비함을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 양상에 따라, 전기화학적 바이오센서용 전극구조는,
생체시료 공기배출구와 생체시료 주입구가 형성된 상판과;
상기 상판의 하부에 위치되며 상기 생체시료가 이송될 수 있도록 하는 삽입유로가 상기 생체시료 주입구에 대응하는 영역에 형성된 양면접착 중판 필름과;
상기 양면접착 중판 필름의 하부에 형성되는 배열전극 하판을 구비하며,
상기 배열전극 하판은,
절연 기판위에 구리 재질로 동일 층에 일체로 형성된 리드라인, 작업전극, 및 기준전극을 구성하는 전극 패턴층과;
상기 전극 패턴층의 상부에 형성된 니켈 또는 크롬 도금층과;
상기 니켈 또는 크롬 도금층의 상부에 형성된 금 또는 백금 도금층을 구비함을 특징으로 한다.
상기한 본 발명에 따르면, 센서의 제조비용이 저렴하고, 센서용 전극의 저항 편차가 개선됨에 따라 신뢰성이 있는 테스트 결과를 제공하는 효과가 있다.
이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다양한 실시예에서의 설명들은 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가지는 자에게 본 발명의 보다 철저한 이해를 돕기 위한 의도 이외에는 다른 의도 없이 예를 들어 도시되고 한정된 것에 불과하므로, 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 사용되어서는 아니 될 것이다.
먼저, 본 발명에서는 국내에 있는 인프라를 가장 잘 활용하면서도 비교적 저렴하게 고품질의 전기화학적 바이오센서용 전극을 제조하는데 있어서 기존 바이오센서 제조방식이 아닌 절연체필름위에 반도체 배선의 폭 한계를 극복하기위해 대두된 재료로서 구리(Cu) 혹은 카파(copper)라고도 불리는 구리필름(copper film)을 마련하고 이를 패트필름(PET film)에 라미네이팅 방식으로 접착시키고 이를 포토리소그래피(Photolithography)방식을 이용하여 선택적으로 패터닝(patterning) 한 후 화학용액에 부식시키는 습식식각 공정을 거치고, 바이오센서용 전극 표면을 일차적으로 니켈(Ni) 도금(plating)한 후, 금(Au)을 얇게 도금(plating) 함으로써 전기화학적 측정방식의 바이오센서를 다수 배열방식으로 생산함으로써 대량으로 비교적 저렴하게 제조할 수가 있다.
또한, 다른 방법으로서, 상기 절연 필름에 구리필름을 접착하고, 니켈과 금을 순차적으로 도금한 후에 포토리소그래피 공정으로 작업전극 및 기준전극 등을 형성할 수도 있다.
도 1에서는 본 발명인 생산제조방식에 있어서 가로(24)*세로(13)의 개수를 가지는 바이오센서용 전극배열방식을 보인 설계 개념도이다. 도면에서, 기판(100)상에 복수로 형성된 셀 전극(2)이 매트릭스 구조로 배열됨을 확인할 수 있다.
일반적으로, 용액 내에서 전극 전위를 측정하려면 두 개의 전극을 사용하여 두 점 사이의 전위차를 측정하여야한다. 전위차를 측정할 때 일반적으로 사용되는 셀 구성 개념도를 도 2 에 나타내었다. 도면에서 전원공급기는 참조부호 3으로서 표시되어있고, 작업전극, 기준전극은 각기 참조 부호 16과 17로 표시되어 있다. 또한, 참조 부호 19는 카운터 전극을 가리킨다.
각 셀에서 측정하고자 하는 전극을 작업 전극(working electrode)이라 하며, 여기에 다른 또 하나의 전극을 연결하여 전위차를 측정하게 된다. 도 2의 좌측에서 보여지는 2 전극 셀은 작업 전극과 기준전극(reference electrode)으로 구성되고, 셀 전류는 두 전극 사이를 통하여 흐른다. 두 전극 사이에 전압(Eappl)을 인가하게 되면 전류 i가 흐르는데, 이 때 작업 전극의 전위(E)는 다음 식(1)과 같이 나타낼 수 있다.
E=Eappl-i Rs ---- 식(1)
여기에서 Rs는 전해질 용액의 저항이다. 전위의 변화에 따라 전류를 측정하는 전압전류법(voltammetry)에서는 용액의 저항으로 인한 전압강하(potential drop) 때문에 작업 전극의 전위는 가한 전위와 i Rs만큼 차이가 나게 된다. 또한 기준전극을 통하여 큰 전류가 흐르면 기준전극의 전위를 결정하는 전극/전해질 계면에서 전기화학 활성종인 산화제와 환원제의 농도가 변화하여 기준전극의 전위는 평형 값으로부터 벗어난다.
이로 인하여 작업 전극의 전위는 인가한 실제 전위보다 감소된 값을 갖게 되므로 측정 시 유의해야 한다. 그러나 i Rs 값이 1mV 보다 작게 되는 조건에서는 도 2에서 (a) 2 전극 셀을 이용하여 측정하여도 무방하다. 따라서 도 2에서 (a) 2전극 셀을 사용하여 전기화학 분석을 하는 경우에는, 전해질 용액의 저항을 가능한 낮추고, 전류를 작게 흐르게 하여 전압 강하를 가능한 작게 하여야 한다.
전해질 저항이 높거나, 흐르는 전류가 큰 경우에는 i Rs 에 의한 오차를 가능한 최소화하기 위하여 도 2에서 (b) 3 전극 셀을 이용해야 한다. 이때의 전기화학 셀은 작업 전극, 기준전극 및 상대전극(counter electrode)으로 구성된다. 도 2의 우측에 보여지는 3 전극 셀에서는 전류가 작업 전극과 상대전극의 사이에서 흐 르고, 작업 전극의 전위는 기준전극을 기준으로 하여 전위조절기로 조절된다. 이때 작업 전극과 기준전극 사이의 전위차는 전극 반응에 의해 흐르는 전류 값에 관계없이 정확하게 측정할 수 있다.
본 발명에서는 도 3에서 작업 전극(working electrode)(16)과 기준전극(reference electrode)(17) 그리고 리드단자(Lead line)(15)를 필요한 부분만 남기고 나머지는 제거하는 선택적 방식으로 패터닝(patterning)하고, 식각화법(蝕刻畵法) 에칭(etching)하여 전기화학적 바이오센서(electrochemical biosensor) 전극(electrode)을 형성하는 방법을 새로이 시도하였다.
전기화학적 바이오센서의 전극은 전류측정 방식인 것을 감안하였으며 위 설명에서 산화전류 또는 환원전류는 단위 전극 표면적에서 일어나는 반응에 의한 것이기 때문에 실은 단위면적당의 전류이며 이를 전류밀도(current density)라고 한다. 전극 표면의 넓이를 A라 하면 전류밀도가 균일할 때 전극 표면 전체를 통하여 흐르는 전류 I는 전류밀도 i에 A를 곱한 것이다.
따라서 I = iA이며 전류는 전극표면을 따라 흐르는 성질 즉 가장자리효과를 적절하게 응용 고안하였으며 전기화학적 측정방식에서 전극표면반응인 점에 착안하여 표면에만 귀금속 물질, 금 또는 백금 등을 얇게 도금(plating)함으로서 생산단가를 낮추면서도 전기적 산화 환원반응에 참가하지 않게 함으로써 측정하고자하는 성분의 신호만 선택적으로 측정할 수 있게 된다.
본 발명에서는 전기화학식 바이오센서의 측정용 전극의 저항(resistance)을 일정하면서도 전자의 흐름(즉 전류)을 원활히 하기위하여 저항성분을 극히 낮추어 약 0.1Ω이하로 일정하게 생산함으로써 바이오센서용 전극의 품질 안정화 및 새로운 제작방식을 고안하였다. 나아가서는 일회용 및 연속측정용 바이오센서 전극으로 사용되어 진단테스트를 하고자하는 사람 및 환자들에게 빠른 시간 내에 보다 정확한 측정결과를 제공 하고자한다.
상기의 기술적 과제를 달성하기 위해 도 4에서 첫 번째 공정인 자재 재단공정인데 치수에 맞게 필름을 절단한다. 다음으로 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름 일명 패트 필름(PET film)(6)위에 구리 필름(copper film)(7)을 라미네이팅 방식으로 접착한다. 다음은 전극 형성을 위한 감광성 드라이필름(dry film)(8)을 기판 표면에 라미네이팅 방식으로 미리 예열된 100~120℃정도의 온도에서 라미네이팅 기계로 롤링 코팅(rolling coating) 시키는 단계를 거친다.
다음은 도 4에서 두 번째 공정인 노광 공정이다. 라미네이션(lamination)된 드라이필름(dry film)위에 작업용 필름(working film)(9),즉 음각용 필름(negative film)을 정합하여 맞춘 후, 정해진 노광량(intensity)과 노광시간(exposure time)의 빛 에너지(energy)를 공급하여 회로가 될 부분의 드라이 필름(dry film)을 단량체(monomer)에서 중합체(polymer)로 반응시켜 필요한 패턴이미지(pattern image)(20)를 재현해 내는 공정을 거친다.
다음은 도 4에서 세 번째 공정인 현상 공정인데 노광에서 광경화 중합체(polymer)로 변하지 않은 드라이 필름(dry film)부분 즉, 빛을 받지 않은 부분인 미경화 단량체(monomer)부분을 화학적으로 탄산나트륨(Na2Co3)을 이용해 제거하는 공정이다.
다음은 도 4에서 네 번째 공정인 부식 및 박리 공정인데 부식은 패트필름(PET film)위의 구리필름(copper film)중 드라이 필름(dry film)으로 덮여진 부분 이외 즉, 회로 패턴(pattern)(20)이 아닌 부분의 노출된 구리를 산성부식액(acid-etchant: CuCl2, FeCl2) 등으로 제거하는 공정이다.
다음은 도 4에서 다섯 번째 공정인 니켈(Ni)도금(plating)공정이다. 세척공정을 거치고 다음공정으로 진행될 제2 도전성 박막의 형성 시 도금할 도전성 물질의 밀착력을 향상시키기 위하여 일차적으로 니켈층을 도금하여 개재시킨다. 상기 니켈 대신에 크롬(Cr) 등의 물질이 사용될 수 있다.
다음은 도 4에서 여섯 번째 공정으로 제2 도전성 박막을 형성하기 위해 금(Au) 또는 백금(Pt)을 도금(plating)하는 공정인데, 니켈 도금 후 전기적인 전류를 흘려서 실시하고 세척공정을 거치는데 금 또는 백금 도금 과정에서 표면에 묻은 용액 제거를 하고 이후에는 건조공정을 거쳐서 바이오센서용 전극이 완성된다. 도 5에서는 상기와 같이 제조된 전기화학적 바이오센서 전극의 전체결합 분해사시도를 나타내었다. 도 4에서 완성된 배열전극 하판(18)과 생체시료 삽입유로(14)가 생성된 양면접착 중판 절연체필름(13)과 생체시료 공기배출구(11)와 생체시료 주입구(12)가 구비된 상판(10)을 나타내었다.
상기한 설명에서 절연 기판으로서는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 기판을 사용하였으나, 이에 한정됨이 없이, 폴리에스테르(polyester), 폴리카보네이트 (polycarbonate), 폴리스틸렌(polystylene), 폴리이미드(polyimide), 폴리비닐클로라이드(polyvinylchloride), 폴리에틸렌(polyethylene)중에서 선택된 적어도 하나 이상의 고분자 화합물 필름이 사용될 수 있다. 또한, 전극 재질을 이루는 제1 도전성 박막으로서, 구리 필름(copper film)이 사용되었으나, 이에 한정됨이 없이, 황동이나 청동등과 같은 구리 성분이 일부 재질로서 함유된 구리 합금(alloy) 필름일 수 있다. 상기 감광성 드라이 필름의 코팅은, 약 110℃정도의 예열 온도로 상기 절연 기판의 표면에 라미네이션 방식으로 롤링 코팅(rolling coating)을 행하는 라미네이팅 기계에 의해 수행되는 것이 바람직하나, 타의 온도범위에서 코팅 될 수 있음은 물론이다.
상기 전기화학적 바이오센서는 글루코스 등의 테스트를 위한 테스트 스트립으로서 유용하다.
본 발명에서는 순환전압전류법(cyclic voltammetry, CV)을 사용하여 산화전류반응 전압 값을 결정하였다. 도 6에서 (a)와 같이 작업 전극의 전위를 일정속도로 순환시켜 전류를 측정하는 방법으로, 도 6의 (b)와 같은 순환전압전류곡선(cyclic voltammogram)을 얻을 수 있다. 순환전압전류법은 전극 표면에서 어떠한 반응이 일어나고 있는가를 직접적으로 파악할 수 있는 방법의 하나로 널리 사용되고 있으며 본 발명에서 적용한 전압범위는 극 저전압(0.055V이하)을 인가전압으로 사용하여 측정전압 인가 시 이온 끌림 현상을 최소한으로 저하 시키면서 빠른 효소 산화반응을 유도할 수 있었다.
또한 본 발명에서 제작된 바이오센서 전극에 포도당산화 효소를 고정하여 센 서의 반복재현성과 선형성 및 응답시간을 측정하는 실험을 실시하였다. 혈당측정용 효소용액 제조 조건으로서 PH7.3 버퍼용액에 글루코스 옥시다아제와 페리시아나이드 그리고 계면활성제를 적정비율로 섞어 시약을 제조하였으며 도 1과 도 4의 공정에서 제조된 하판전극위에 효소를 고정화 하였다. 이때 효소용액은 폴리우레탄 튜브의 수축팽창을 이용한 로테이션 방식의 멀티 디스펜싱을 이용하여 생체측정용 시료를 정량 고정화 하였다. 측정용액으로는 하트만용액과 덱스트로즈(글루코스)를 정량비율 buffer, 1.1mM, 2.8mM, 4.3mM, 6.7mM, 11.1mM,13.5mM, 22.2mM, 25mM, 33mM농도비로 섞어서 제조한 용액(즉 인간의 혈액성분과 유사한 실험용액)을 검체로 사용하였다. 그 결과 도 7에서와 같이 본 발명의 극히 낮은 저항(0.1Ω이하)을 가지는 전극을 사용하여 아주 적은 생체시료 용량인 0.25㎕이하의 샘플로 3초 이내의 측정시간을 가지며 r(n)=0.9893의 선형성을 가지는 재현성 있는 글루코스 검량곡선을 얻었다. 도 7에서 가로축은 글루코스 농도를 mg/dl 로 하고, 세로축은 마이크로 암페어 단위의 전류로 나타낸다.
전기화학적 측정방식을 이용하는 바이오센서용 전극 및 제조에 있어 기존 회사들이 생산 비용 절감과 대량생산을 위해 시도 되어 왔던 전극용 재료인 카본(carbon)전극, 금(Au) 전극, 염화은(Ag/AgCl) 전극 등 생체 시료측정용 전극저항의 품질에 있어서 저항 편차에 대한 측정 결과치의 오차발생 요인을 가진 것이 사실이었다. 이러한 오차요인은 건강 상태를 진단하고자 하는 소비자나 환자들에게 정확하지 않은 측정값을 제공해 줄 수가 있다. 그렇지만, 본 발명에서는 새로운 바이오센서용 전극의 제조 및 생산방식을 발명하여 센서용 전극의 저항편차를 획기적으로 개선하였으며 이는 측정값의 원천적 오차의 요인을 최소화 시켰으며 전기화학적인 산화 환원을 측정하여 결과 값을 제공하는 방식에 있어서 환자 및 일반인에게 보다 빠르고 정확한 측정으로 양호한 검진 결과를 알려 주게 된다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 공정 재현성이 우수하고 전극 형성에 필요한 귀금속의 량을 최소화함으로써 바이오센서의 제조비용이 저렴해지는 효과가 있다. 또한 센서용 전극의 저항편차가 개선됨에 따라 보다 신뢰성이 있는 테스트 결과를 신속히 제공하는 이점이 있다.

Claims (12)

  1. 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법에 있어서:
    테스트 스트립을 구성할 상판 아래에 위치되는 양면접착 중판 필름의 하부에 형성되는 배열전극 하판을 제조하기 위하여, 절연 기판위에 제1 도전성 박막을 라미네이팅 방식으로 접착하여 형성하는 단계와;
    상기 제1 도전성 박막의 상부에 감광성 드라이 필름을 라미네이팅 방식으로 코팅한 다음 사진식각공정을 수행하여 리드라인, 작업전극 및 기준전극을 일체로 구성하게 될 상기 제1 도전성 박막 재질의 전극 패턴을 형성하는 단계와;
    상기 전극 패턴의 표면에 상기 전극 패턴의 전기 전도성보다 높은 전기 전도성을 갖는 제2 도전성 박막을 도금(plating)하여 형성하는 단계를 구비함을 특징으로 하는 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 절연 기판은, 폴리에스테르, 폴리카보네이트, 폴리스틸렌, 폴리이미드, 폴리비닐클로라이드, 폴리에틸렌, 또는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)재질 중에서 선택된 재질을 갖는 고분자 화합물 필름임을 특징으로 하는 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 도전성 박막은 구리 재질 또는 구리 합금(alloy) 재질로 이루어짐을 특징으로 하는 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 도전성 박막과 상기 제2 도전성 박막 사이에 접착력 향상을 위한 니켈 또는 크롬층을 개재시키는 것을 특징으로 하는 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제2 도전성 박막은 금 또는 백금임을 특징으로 하는 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 중판은, 상기 하판의 작업전극 상부에 대응적으로 위치되는 생체시료 삽입유로를 형성한 양면접착 절연체 필름임을 특징으로 하는 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 상판은, 생체시료 공기배출구와 생체시료 주입구를 상기 생체시료 삽입유로의 상부에 대응적으로 형성한 것임을 특징으로 하는 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법.
  8. 전기화학적 바이오센서용 전극 제조방법에 있어서:
    절연체 기판의 재료로서는 폴리에스테르, 폴리카보네이트, 폴리스틸렌, 폴리이미드, 폴리비닐클로라이드, 폴리에틸렌, 또는 폴리에틸렌테레프탈레이트필름 위에 라미네이팅 방식으로 구리필름을 접착하는 단계와;
    상기 구리필름 상에 접착력 향상을 위한 니켈 또는 크롬을 도금하고, 상기 니켈 또는 크롬이 도금된 기판상에 금 또는 백금을 도금하는 단계와;
    상기 금 또는 백금이 도금된 기판상에 라미네이팅 방식으로 감광성 드라이 필름을 코딩하는 공정을 포함하는 포토리소그래피 공정으로, 작업전극과 기준전극 그리고 리드라인을 형성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 전극제조방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 바이오센서용 전극은 기판에서 복수로 배열되며, 각각의 전극은 0.1Ω이하의 저저항을 균일 산포로 갖는 것을 특징으로 하는 전극제조방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 전기화학적 바이오센서용 전극은 테스트 스트립에 적용될 경우에 0.055V 이하의 저전압으로 구동되며 3초 이내의 측정시간을 가짐을 특징으로 하는 전극제조방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 테스트 스트립은 최소 생체시료 용량이 0.25μl이하인 것을 특징으로 하는 전극제조방법.
  12. 삭제
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