KR100836815B1 - Control method for optimal carrying of agv system - Google Patents

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Abstract

무인 반송 시스템의 최적 반송 제어 방법을 개시한다. 본 발명은 두 개의 핸드를 가진 무인 반송차를 운용하는 무인 반송 시스템에서 최적화된 반송 스케줄링을 통해 무인 반송차의 이동량과 통신량을 크게 감소시켜 보다 효율적인 무인 반송 시스템을 구현하는데 그 목적이 있다. 이와 같은 목적의 본 발명에 따른 무인 반송 시스템은 두 개의 핸드를 가진 무인 반송차를 구비하고, 이 무인 반송차는 동일한 목적지를 가진 적어도 두 개의 작업 명령을 해당 목적지에서 두 개의 핸드를 이용하여 동시에 수행한다. An optimal conveyance control method of an unmanned conveying system is disclosed. An object of the present invention is to implement a more efficient unmanned carrier system by greatly reducing the amount of traffic and the amount of communication of the unmanned carrier through an optimized carrier scheduling in an unmanned carrier system operating an unmanned carrier having two hands. The unmanned conveying system according to the present invention for this purpose includes an unmanned conveying vehicle having two hands, which performs at least two work orders having the same destination simultaneously using two hands at the corresponding destination. .

Description

무인 반송 시스템의 최적 반송 제어 방법{CONTROL METHOD FOR OPTIMAL CARRYING OF AGV SYSTEM} Optimal conveyance control method of unmanned conveying system {CONTROL METHOD FOR OPTIMAL CARRYING OF AGV SYSTEM}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 두 개의 핸드를 구비한 무인 반송차를 나타낸 도면. 1 illustrates an unmanned carrier vehicle having two hands in accordance with an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 무인 반송 시스템의 구성을 나타낸 블록도. Figure 2 is a block diagram showing the configuration of an unmanned conveying system according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 무인 반송 시스템의 최적 반송 제어 방법을 나타낸 순서도. 3 is a flow chart showing an optimal conveyance control method of an unmanned conveying system according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 나타낸 무인 반송 시스템의 최적 반송 제어 방법에서 언로딩-로딩 패턴의 설정을 설명하기 위한 도면. FIG. 4 is a diagram for explaining setting of an unloading-loading pattern in the optimum conveyance control method of the unmanned conveying system shown in FIG.

도 5는 도 3에 나타낸 무인 반송 시스템의 최적 반송 제어 방법에서 로딩-로딩 패턴의 설정을 설명하기 위한 도면. FIG. 5 is a diagram for explaining setting of a loading-loading pattern in the optimal conveyance control method of the unmanned conveying system shown in FIG.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 무인 반송 시스템의 패턴 셋 운용 방법을 나타낸 순서도. 6 is a flowchart illustrating a pattern set operating method of an unmanned carrier system according to an exemplary embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* * Description of the symbols for the main parts of the drawings *

102, 206 : 레일 102, 206: Rail

114, 118 : 핸드 114, 118: hand

124, 202a~202j : 공정 장비 124, 202a ~ 202j: process equipment                 

126, 208 : 스토커 126, 208: stalker

128 : 기판 128: Substrate

204 : RGV 204: RGV

210 : 스토커 테이블 210: Stalker Table

본 발명은 무인 반송 시스템에 관한 것으로, 특히 스토커와 공정 장비 사이에서 웨이퍼나 LCD 기판 등을 미리 정해진 작업 스케줄에 따라 반송하는 무인 반송 시스템의 제어 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an unmanned conveying system, and more particularly to a control method of an unmanned conveying system for conveying a wafer, an LCD substrate, or the like between a stocker and a process equipment according to a predetermined work schedule.

일반적으로 무인 반송 시스템은 물건의 적재 및 운반을 자동화하기 위한 것으로서, 무인 반송차를 이용한다. 무인 반송차 즉, AGV(Automatic Guided Vehicle)는 바닥에 설치된 가이드 라인을 따라 이동하거나, 별도의 위치 측정 시스템을 이용하여 목적하는 위치로 이동하면서 적재물을 반송한다. 가이드 라인은 자기 테이프가 바닥에 연속적으로 설치된 것인데, AGV는 자기 센서를 이용하여 이 가이드 라인으로부터의 자기를 검출함으로써 가이드 라인의 위치를 확인하여 이 가이드 라인을 따라 주행하게 된다. 이와 달리 RGV(Rail Guided Vehicle)는 바닥에 설치된 레일을 따라 이동하면서 적재물을 반송한다. In general, an unmanned conveying system is used to automate the loading and transport of goods, and uses an unmanned conveying vehicle. An unmanned carrier vehicle, or AGV (Automatic Guided Vehicle), carries a load while moving along a guideline installed on the floor or moving to a desired position using a separate positioning system. The guideline is a magnetic tape continuously installed on the floor, and the AGV detects the magnetism from the guideline by using a magnetic sensor to identify the position of the guideline and travel along the guideline. In contrast, rail guided vehicles (RGVs) carry loads while moving along rails mounted on the floor.

반도체 제조 공정에서 웨이퍼나 LCD 기판 등을 반송하는 무인 반송차에는 웨이퍼나 LCD 기판을 파지하기 위한 핸드가 마련되는데, 이 핸드가 하나뿐인 종래의 무 인 반송차는 공정 장비와 스토커 사이를 왕래하면서 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는데 있어서, 오직 하나의 핸드만을 이용하기 때문에 로딩과 언로딩에 있어서 비교적 자유롭지 못하고, 한 위치에서 로딩 및 언로딩을 동시에 수행할 수 없기 때문에 공정 장비와 스토커 사이를 왕래하는 회수와 그 이동 거리가 크게 증가하게 된다. 무엇보다도 로딩과 언로딩을 별개의 작업으로서 수행해야 하기 때문에 작업 시간의 증가는 물론 메인 제어 장치와 무인 반송차 사이의 통신 회수 및 통신량도 함께 증가한다. In the semiconductor manufacturing process, an unmanned transport vehicle carrying wafers or LCD substrates is provided with a hand for holding a wafer or LCD substrate. A conventional unmanned transport vehicle, which has only one hand, travels between the process equipment and the stocker and moves the wafer. In loading and unloading, since only one hand is used, it is relatively free in loading and unloading, and the loading and unloading between the processing equipment and the stocker and the loading and unloading at the same time cannot be performed simultaneously. The moving distance is greatly increased. Above all, loading and unloading must be performed as separate tasks, thereby increasing the working time and increasing the number of times of communication and the amount of communication between the main control unit and the unmanned carrier.

본 발명은 두 개의 핸드를 가진 무인 반송차를 운용하는 무인 반송 시스템에서 최적화된 반송 스케줄링을 통해 무인 반송차의 이동량과 통신량을 크게 감소시켜 보다 효율적인 무인 반송 시스템을 구현하는데 그 목적이 있다. An object of the present invention is to implement a more efficient unmanned carrier system by greatly reducing the amount of traffic and the amount of communication of the unmanned carrier through an optimized carrier scheduling in an unmanned carrier system operating an unmanned carrier having two hands.

이와 같은 목적의 본 발명에 따른 무인 반송 시스템은 두 개의 핸드를 가진 무인 반송차를 구비하고, 이 무인 반송차는 동일한 목적지를 가진 적어도 두 개의 작업 명령을 해당 목적지에서 두 개의 핸드를 이용하여 동시에 수행한다. The unmanned conveying system according to the present invention for this purpose includes an unmanned conveying vehicle having two hands, which performs at least two work orders having the same destination simultaneously using two hands at the corresponding destination. .

본 발명에 따른 무인 반송 시스템은 버퍼 및 두 개의 핸드를 가진 무인 반송차를 구비하고, 무인 반송차가 복수개의 제 1 작업 위치와 복수개의 제 2 작업 위치 사이를 이동하면서 물체를 반송하도록 이루어지는데, 이와 같은 본 발명에 따른 무인 반송 시스템의 제어 방법은 먼저 버퍼에 여유 공간이 있을 때 동일한 작업 위치를 목적지로 가진 로딩 명령 및 언로딩 명령의 조합과 동일한 작업 위치를 목적지 로 가진 두 개의 로딩 명령의 조합 가운데 적어도 하나의 명령의 조합이 포함되도록 제 1 패턴을 설정하여 메모리에 저장한다. 버퍼에 여유 공간이 있고 제 1 패턴의 로딩 명령이 수행되지 않는 상태일 때 제 1 패턴에 포함되지 않은 단일의 작업 명령들 각각을 제 2 패턴으로 설정하여 메모리에 저장한다. 버퍼에 여유 공간이 없을 때 버퍼에 탑재되어 있는 물체를 해당 목적지에 로딩하기 위한 로딩 명령만을 검색하여 메모리에 저장한다. The unmanned conveying system according to the present invention includes an unmanned conveying vehicle having a buffer and two hands, and the unmanned conveying vehicle is configured to convey objects while moving between a plurality of first working positions and a plurality of second working positions. The control method of the unmanned conveying system according to the present invention is a combination of two loading commands having the same working position as the destination and a combination of a loading command and an unloading command having the same working position as the destination when there is free space in the buffer. The first pattern is set to be included in at least one command combination and stored in the memory. When there is free space in the buffer and the loading command of the first pattern is not performed, each of the single work instructions not included in the first pattern is set as the second pattern and stored in the memory. When there is no free space in the buffer, only the loading command for loading the object loaded in the buffer to the corresponding destination is searched and stored in the memory.

본 발명에 따른 무인 반송 시스템은 작업 명령을 발생시키는 메인 제어 장치와 작업 명령을 수신하여 작업을 수행하는 무인 반송차를 구비하는데, 이와 같은 본 발명에 따른 무인 반송 시스템의 제어 방법은 먼저 메인 제어 장치로부터 발생되는 작업 명령의 조합으로 이루어지는 복수개의 패턴들 가운데 사용할 패턴들을 선택하고, 선택된 각 패턴들의 수행 순서와 전체 실시 시간을 결정하며, 선택된 패턴들을 하나의 패턴 셋으로서 등록하고, 등록된 각각의 패턴 셋 사이의 실시 순서를 결정하여 실시 순서대로 실시한다. The unmanned conveying system according to the present invention includes a main control device for generating a work command and an unmanned transport vehicle for receiving a work command to perform a work. The control method of the unmanned conveying system according to the present invention firstly includes a main control device. Select patterns to be used from among a plurality of patterns consisting of a combination of work instructions generated from the user, determine the execution order and the total execution time of each selected pattern, register the selected patterns as one pattern set, and each registered pattern Determine the order of execution between the three sets.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 바람직한 실시예를 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다. 먼저 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 두 개의 핸드를 구비한 무인 반송차를 나타낸 도면이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 무인 반송차인 RGV(100)는 공정 장비(124)와 스토커(126) 사이에서 기판(128)이나 웨이퍼(미도시)를 반송한다. 이 RGV(100)는 레일(102)을 따라 직선 운동하도록 설치되며 X-Y 평면상에서 360도 회전이 가능하다. 레일(102)의 길이는 필요에 따라 연장할 수 있다. RGV(100)에 마련되는 두 개의 핸드(114, 118)를 이용하면 한 주기의 동작 사이클 동안에 2개의 기판 또는 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩할 수 있어 더 효율적이다. 이와 같은 RGV(100)에 임시 저장 공간인 버퍼(미도시)를 장착하고, 이 버퍼에 다수의 웨이퍼 또는 LCD 기판 등을 적재하여 운반하도록 한다. Referring to Figures 1 to 5 a preferred embodiment of the present invention made as described above are as follows. 1 is a diagram illustrating an unmanned carrier having two hands according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the RGV 100, which is an unmanned carrier vehicle according to an embodiment of the present invention, conveys a substrate 128 or a wafer (not shown) between the process equipment 124 and the stocker 126. The RGV 100 is installed to linearly move along the rail 102 and can rotate 360 degrees on the X-Y plane. The length of the rail 102 can extend as needed. The use of two hands 114 and 118 provided in the RGV 100 is more efficient by loading or unloading two substrates or wafers during one cycle of operation cycle. A buffer (not shown) which is a temporary storage space is mounted on the RGV 100, and a plurality of wafers or LCD substrates are loaded and transported in the buffer.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 무인 반송 시스템의 구성을 나타낸 블록도이다. 도 2에 나타낸 바와 같이, RGV(204)가 미리 설치된 레일(206)을 따라 이동하며, 레일(206) 주변에 공정 장비(202a~202j)와 스토커(208), 스토커 테이블(210) 등이 마련된다. RGV(204)는 레일(206)을 따라 이동하면서 공정 장비(202a~202j)와 스토커(208) 사이에 웨이퍼 또는 기판 등을 반송한다. 2 is a block diagram showing the configuration of an unmanned conveying system according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, the RGV 204 is moved along the rail 206 pre-installed, and the process equipment 202a-202j, the stocker 208, the stocker table 210, and the like are provided around the rail 206. do. The RGV 204 conveys a wafer, a substrate, or the like between the process equipment 202a-202j and the stocker 208 while moving along the rail 206.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 무인 반송 시스템의 최적 반송 제어 방법을 나타낸 순서도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, RGV(204)의 버퍼에 여유 공간이 있는지를 확인하고(302), RGV(204)의 버퍼에 여유 공간이 있으면 적어도 언로딩 작업(즉 공정 장비(202a~202j) 또는 스토커(208)의 물건을 들어올려 RGV(204)의 버퍼에 탑재하는 동작)을 수행할 수 있는 조건이 되므로 언로딩 명령 및 로딩 명령(즉 RGV(204)의 버퍼에 있는 물건을 목적하는 공정 장비(202a~202j) 또는 스토커(208)에 내려놓는 동작 명령)을 검색하여 서로 관련된 것끼리 연결지어 언로딩-로딩 패턴들을 정한다(304). 3 is a flowchart illustrating an optimal conveyance control method of an unmanned conveying system according to an exemplary embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, it is checked whether there is free space in the buffer of the RGV 204 (302), and if there is free space in the buffer of the RGV 204, at least an unloading operation (ie, process equipment 202a to 202j) or Process equipment for unloading and loading instructions (i.e., objects in the buffer of the RGV 204) is a condition that can carry out the lifting of the stocker 208 to be loaded into the buffer of the RGV 204. (202a to 202j) or an operation command to be placed on the stocker 208) to determine the unloading-loading patterns by associating with each other (304).

반대로, RGV(204)의 버퍼가 모두 웨이퍼로 채워져 있어 여유 공간이 없으면 더 이상의 언로딩 작업은 수행할 수 없으므로 현재 RGV(204)의 버퍼에 있는 웨이퍼를 공정 장비(202a~202j) 또는 스토커(208)에 로딩하기 위한 로딩 명령들을 검색하여 저장한다(324). On the contrary, since the buffers of the RGV 204 are all filled with wafers and there is no free space, no further unloading operation can be performed. Therefore, the wafers currently in the buffers of the RGV 204 are processed by the process equipment 202a to 202j or the stocker 208. Search for and load loading instructions for loading (at step 324).                     

언로딩-로딩 패턴 설정(304)에 이어서, 로딩-로딩 패턴을 설정한다(306). 앞서 언급한 언로딩-로딩 패턴 설정 시 패턴으로 설정되지 못한 EQ-로딩 명령(EL)들 가운데, 동일한 목적지(공정 장비)를 가진 EQ-로딩 명령(EL)들을 검색하여 로딩-로딩 패턴들을 설정한다(306). 여기서 EQ는 공정 장비(Equipment)를 의미한다. Unloading-loading pattern setting 304 is followed by setting a loading-loading pattern 306. Set the loading-loading patterns by searching for the EQ-loading commands (EL) having the same destination (process equipment) among the EQ-loading commands (EL) that are not set as the pattern when setting the aforementioned unloading-loading pattern. (306). EQ stands for Process.

이어서 RGV(204)의 버퍼에 여유 공간이 있는지를 한번 더 확인하고(308), 또 로딩 작업이 이미 시작되었는지를 확인한다(310). 만약 RGV(204)의 버퍼에 여유 공간이 있는 상태에서 아직 로딩 작업이 시작되지 않았으면 RGV(204)의 버퍼의 여유 공간에 웨이퍼를 더 채우기 위하여 스토커 테이블(210)로부터 웨이퍼를 언로딩하기 위한 ST-언로딩 명령(SU)이 존재하는지를 검색하여 메모리에 저장한다(312). 여기서 ST는 스토커 테이블을 의미한다. Then it is checked once again whether there is free space in the buffer of the RGV 204 (308), and if the loading operation has already started (310). If the loading operation has not yet started while there is free space in the buffer of the RGV 204, the ST for unloading the wafer from the stocker table 210 to further fill the wafer in the free space of the buffer of the RGV 204. Search for whether an unloading instruction SU exists and store it in memory (312). ST stands for stocker table.

이 때 메모리에 저장되는 ST-언로딩 명령(SU)의 수는 미리 설정된 최대 값까지로 제한되며, 메모리의 ST-언로딩 명령(SU)의 수가 다음의 조건 가운데 적어도 어느 하나에 도달하면 ST-언로딩 명령(SU)의 검색 및 저장은 중단된다. At this time, the number of ST-unloading instructions (SU) stored in the memory is limited to a preset maximum value. When the number of ST-unloading instructions (SU) in the memory reaches at least one of the following conditions, the ST- The retrieval and storage of the unloading instruction SU is stopped.

(1) nSU = nMaxSU : 저장된 ST-언로딩 명령(SU)의 수가 미리 설정된 최대 허용 저장 수(nMaxSU)에 도달한 경우 (1) nSU = nMaxSU: When the number of stored ST-unloading instructions (SU) reaches the preset maximum allowed number of stored (nMaxSU)

(2) nSU = nBufferLeft : 저장된 ST-언로딩 명령(SU)의 수가 비어있는 버퍼 공간의 수(nBufferLeft)에 도달한 경우 (2) nSU = nBufferLeft: When the number of stored ST-unloading instructions (SU) reaches the number of empty buffer space (nBufferLeft)

(3) nSU = nTCQty : 저장된 ST-언로딩 명령(SU)의 수가 메인 제어 장치로부터 전송된 작업 명령의 수(nTCQty)에 도달한 경우 (3) nSU = nTCQty: When the number of stored ST-unloading instructions (SU) reaches the number of work instructions (nTCQty) transmitted from the main control unit.

만약 RGV(204)의 버퍼에 여유 공간이 없거나, 공정 장비(202a~202j) 또는 스토 커 테이블(210)로의 로딩이 이미 시작된 경우 스토커 테이블(210)로부터의 추가 언로딩을 수행하는 것은 불가능하거나 비효율적이므로, 앞서 설명한 바와 같이, 스토커 테이블(210) 또는 공정 장비(202a~202j)에 웨이퍼를 로딩하기 위한 로딩 명령이 존재하는지를 검색하여 저장한다(324). If there is no free space in the buffer of the RGV 204 or if loading into the process equipment 202a-202j or stocker table 210 has already begun, it is impossible or inefficient to perform further unloading from the stocker table 210. Therefore, as described above, the storage device 210 searches for and stores whether there is a loading command for loading the wafer in the stocker table 210 or the process equipment 202a to 202j (324).

한편, ST-언로딩 명령(SU)이 존재하는지를 검색하여 저장하는 동안 메모리에 여유가 있는 경우, 즉 메모리에 저장되는 작업 명령의 수(nMemoryJob)가 미리 설정된 최대 값(nMaxWindow) 이하이고(314) 또 메인 제어 장치로부터 전송된 작업 명령 수(nTCQty)에 도달하지 않은 경우에는(316), EQ-언로딩 명령(EU)과 EQ-로딩 명령(EL), ST-로딩 명령(SL)을 추가적으로 검색하여 저장한다(318, 320, 322). On the other hand, when there is room in the memory while searching for and storing whether the ST-unloading instruction SU exists, that is, the number of job instructions nMemoryJob stored in the memory is equal to or less than the preset maximum value nMaxWindow (314). When the number of work commands (nTCQty) transmitted from the main control unit is not reached (316), the EQ-unloading command (EU), the EQ-loading command (EL), and the ST-loading command (SL) are additionally searched. Store them (318, 320, 322).

이와 반대로, 메모리에 여유가 없는 경우, 즉 메모리에 저장되는 작업 명령의 수(nMemoryJob)가 미리 설정된 최대 값(nMaxWindow)을 초과하고 메인 제어 장치로부터 전송된 작업 명령 수(nTCQty)에 도달한 경우에는, EQ-언로딩 명령(EU)은 제외하고 EQ-로딩 명령(EL)과 ST-로딩 명령(SL)만을 추가적으로 검색하여 저장한다(즉, 블록 314 및 316에서 ‘아니오’의 경우 블록 320 및 322로 진행한다). On the contrary, when there is no room in the memory, that is, when the number of job commands (nMemoryJob) stored in the memory exceeds the preset maximum value (nMaxWindow) and reaches the number of job commands (nTCQty) transmitted from the main control unit. Only the EQ-loading command (EL) and the ST-loading command (SL) are additionally retrieved and stored, excluding the EQ-unloading command (EU) (i.e. blocks 320 and 322 for NO in blocks 314 and 316). Proceed to).

앞서 설명한 로딩 명령 검색 및 저장 동작(324)에 이어서, 메인 제어 장치로부터 전송된 작업 명령들 가운데 패턴으로 설정되지 않은 ST-언로딩 명령(SU)이 존재하는지를 검색한다(326). 만약 패턴으로 설정되지 않은 ST-언로딩 명령(SU)이 존재하지 않으면 곧바로 스케줄링을 종료한다. 반대로, 패턴으로 설정되지 않은 ST-언로딩 명령(SU)이 존재하면, ST-언로딩 명령(SU)의 검색(312)을 진행하여 다시 한번 작업 스케줄링을 실시한다. 리스케줄링은 한번만 실시하기 때문에 현재의 리스케줄 링이 첫 번째 리스케줄링인지를 판별하여, 첫 번째 리스케줄링일 경우 ST-언로딩 명령(SU) 검색 동작(312)을 진행하고, 이미 한번의 리스케줄링이 실시되었다면 더 이상의 리스케줄링은 실시하지 않고 스케줄링을 종료한다(328). Subsequent to the loading command retrieval and storage operation 324 described above, it is searched whether there is an ST-unloading command SU which is not set as a pattern among the work commands transmitted from the main control device (326). If there is no ST-unloading instruction (SU) not set in the pattern, the scheduling is terminated immediately. On the contrary, if there is an ST-unloading instruction SU not set in the pattern, the search 312 of the ST-unloading instruction SU is performed to perform job scheduling once again. Since rescheduling is performed only once, it is determined whether the current rescheduling is the first rescheduling. In the case of the first rescheduling, the ST-unloading instruction (SU) search operation 312 is performed. If so, the scheduling ends without further rescheduling (328).

도 4는 도 3에 나타낸 무인 반송 시스템의 최적 반송 제어 방법에서 언로딩-로딩 패턴의 설정을 설명하기 위한 도면으로서, 보다 효율적인 반송 작업을 위해 메인 제어 장치로부터 전달된 작업 명령을 분석하여 상호 연관된 것끼리 묶어 적어도 하나의 패턴으로 설정하고, 이와 같이 마련된 패턴들에 따라 작업을 수행하기 위한 방법을 나타낸 도면이다. 4 is a view for explaining the setting of the unloading-loading pattern in the optimal conveyance control method of the unmanned conveying system shown in FIG. 3, and analyzing and correlating work commands transmitted from the main control device for more efficient conveying operation. It is a view showing a method for binding to each other to set at least one pattern, and to perform the operation according to the patterns provided in this way.

도 4에 나타낸 바와 같이, RGV(204)의 버퍼에 여유 공간이 있을 때 메인 제어 장치에서 RGV(204)로 전송된 모든 웨이퍼 반송 명령 중에 공정 장비(202a~202j)로부터 웨이퍼를 인출하기 위한 EQ-언로딩 명령(EU_a~EU_j)이 존재하는지를 먼저 검색한다(일례로, 도 4에서, 공정 장비(202b)에 위치한 웨이퍼(W1)를 언로딩하기 위한 EQ-언로딩 명령(EU_b)이 검색되었다고 가정하자). As shown in Fig. 4, the EQ- for fetching the wafer from the process equipment 202a to 202j during all wafer transfer commands sent from the main control device to the RGV 204 when there is free space in the buffer of the RGV 204. First, it is searched if there are unloading commands EU_a to EU_j (for example, in FIG. 4, it is assumed that an EQ-unloading command EU_b for unloading the wafer W1 located in the process equipment 202b has been searched). lets do it).

이번에는 이 공정 장비(202b)로 웨이퍼를 반송하여 로딩하기 위한 EQ-로딩 명령(EL_b)이 존재하는지를 검색한다. 즉, 공정 장비(202b)에서 웨이퍼(W1)를 언로딩한 다음 비어있는 공정 장비(202b)에 새롭게 로딩할 웨이퍼(일례로 도 4의 웨이퍼 W2 또는 W3)에 대한 EQ-로딩 명령(EL_b)이 존재하는지를 검색한다. 이와 같이 검색된 EQ-언로딩 명령(EU)과 EQ-로딩 명령(EL)을 묶어 하나의 언로딩-로딩 패턴을 설정한다. This time, it is searched whether there is an EQ-loading instruction EL_b for conveying and loading the wafer to the process equipment 202b. That is, the EQ-loading instruction EL_b for the wafer (for example, wafer W2 or W3 in FIG. 4) to be unloaded from the process equipment 202b and then newly loaded into the empty process equipment 202b is generated. Search for existence The unloading-loading pattern is set by combining the retrieved EQ-unloading command EU and the EQ-loading command EL.

공정 장비(202b)에 웨이퍼(W2 또는 W3)를 로딩하기 위해서는 먼저 스토커 테이 블(210) 또는 공정 장비(202j)로부터 웨이퍼(W2 또는 W3)를 언로딩해야 한다. 따라서 웨이퍼(W2 또는 W3)를 언로딩하기 위한 언로딩 명령을 검색하여 앞서 설정한 언로딩-로딩 패턴과 하나의 쌍으로서 메모리에 저장한다. 웨이퍼(W2)를 언로딩하기 위한 명령은 스토커 테이블(stocker table, 210)에서 웨이퍼(W2)를 언로딩하기 위한 ST-언로딩 명령(SU) 또는 공정 장비(202j)에서 웨이퍼(W3)를 언로딩하기 위한 EQ-언로딩 명령(EU_j)이 된다. In order to load the wafer W2 or W3 into the process equipment 202b, the wafer W2 or W3 must first be unloaded from the stocker table 210 or the process equipment 202j. Therefore, an unloading command for unloading the wafer W2 or W3 is retrieved and stored in the memory as a pair with the previously unloading-loading pattern. The command to unload the wafer W2 is to unload the wafer W3 from the ST-unloading instruction SU or the process equipment 202j to unload the wafer W2 from the stocker table 210. This is the EQ-unloading command EU_j for loading.

작업 명령의 패턴을 설정하기 위해 EU_b - EL_b - SU(EU_j)의 순서로 작업 명령을 검색하지만, 실제의 작업은 SU(EU_j) - EL_b - EU_b의 순서로 수행된다. 즉, RGV(204)가 스토커 테이블(210)에 접근하여 웨이퍼(W2)를 언로딩하거나 공정 장비(202j)에 접근하여 웨이퍼(W3)를 언로딩하고, 이렇게 언로딩된 웨이퍼(W2 또는 W3)를 공정 장비(202b)까지 반송한다. 공정 장비(202b)에 접근한 RGV(204)는 두 개의 핸드를 구비하기 때문에, 웨이퍼(W2 또는 W3)를 홀딩하고 있는 핸드를 제외한 나머지 비어있는 핸드를 이용하여 공정 장비(202b)에 있는 웨이퍼(W1)를 언로딩한 다음 반송한 웨이퍼(W2 또는 W3)를 공정 장비(202b)에 로딩한다(EL_b). 이 때 로딩과 언로딩이 RGV(204)의 두 개의 핸드를 통해 수행되므로 작업 시간과 이동 거리를 크게 줄일 수 있고, 또 언로딩과 로딩을 하나의 패턴으로 묶어 작업하기 때문에 메인 제어 장치에 작업 결과를 송부하기 위한 통신량도 크게 감소된다. In order to set the pattern of the work instruction, the work instruction is searched in the order of EU_b-EL_b-SU (EU_j), but the actual work is performed in the order of SU (EU_j)-EL_b-EU_b. That is, the RGV 204 approaches the stocker table 210 to unload the wafer W2 or approaches the process equipment 202j to unload the wafer W3 and thus unloads the wafer W2 or W3. To the process equipment 202b. Since the RGV 204 approaching the process equipment 202b has two hands, the wafer in the process equipment 202b may be formed using an empty hand other than the hand holding the wafer W2 or W3. After unloading W1), the conveyed wafer W2 or W3 is loaded into the process equipment 202b (EL_b). At this time, since loading and unloading are performed through two hands of the RGV 204, the work time and moving distance can be greatly reduced, and the unloading and loading are combined in one pattern so that the result of work on the main control device The amount of communication for sending a message is also greatly reduced.

도 5는 도 3에 나타낸 무인 반송 시스템의 최적 반송 제어 방법에서 로딩-로딩 패턴의 설정을 설명하기 위한 도면으로서, 보다 효율적인 반송 작업을 위해 주어진 작업 명령을 분석하여 상호 연관된 것끼리 묶어 하나의 패턴으로 설정하고, 이와 같이 마련된 패턴들에 따라 작업을 수행하기 위한 스케줄링 방법을 나타낸 도면이다. FIG. 5 is a diagram for explaining setting of a loading-loading pattern in the optimal conveyance control method of the unmanned conveying system shown in FIG. FIG. 7 is a diagram illustrating a scheduling method for setting and performing a task according to the patterns provided as described above.

도 5에 나타낸 바와 같이, 공정 장비(202e)에 두 개의 웨이퍼(W4, W5)를 로딩하기 위한 두 개의 EQ-로딩 명령(EL_e1 및 EL_e2)이 검색되면, 이 두 로딩 명령을 묶어 하나의 로딩-로딩 패턴으로 설정한다. As shown in Fig. 5, when two EQ-loading instructions EL_e1 and EL_e2 are retrieved for loading two wafers W4 and W5 into the process equipment 202e, the two loading instructions are bundled and one loading- Set to the loading pattern.

또, 스토커 테이블(210)에서 웨이퍼(W4)를 언로딩하기 위한 ST-언로딩 명령(SU)과 공정 장비(202h)에서 웨이퍼(W5)를 언로딩하기 위한 EQ-언로딩 명령(EU_h)을 검색하여 앞서 설정한 로딩-로딩 패턴과 하나의 쌍으로서 메모리에 저장한다. In addition, the ST-unloading instruction SU for unloading the wafer W4 from the stocker table 210 and the EQ-unloading command EU_h for unloading the wafer W5 from the process equipment 202h are provided. It is retrieved and stored in memory as a pair with the loading-loading pattern set previously.

이 경우 RGV(204)는 작업 우선순위에 따라 스토커 테이블(210)의 웨이퍼(W4)와 공정 장비(202h)의 웨이퍼(W5)를 언로딩하여 자신의 버퍼에 탑재하고, 목적지인 공정 장비(202e)로 이동하여 자신의 버퍼에 탑재되어 있는 두 개의 웨이퍼(W4, W5)를 공정 장비(202e)에 로딩한다. In this case, the RGV 204 unloads the wafer W4 of the stocker table 210 and the wafer W5 of the process equipment 202h according to the job priority, loads it into its buffer, and the process equipment 202e as a destination. ), Two wafers W4 and W5 mounted in its buffer are loaded into the process equipment 202e.

본 발명의 실시예에 따른 RGV(204)는 두 개의 핸드를 구비하고 있기 때문에 두 개의 웨이퍼(W4 및 W5)를 공정 장비(202e)에 동시에 로딩하는 것이 가능하다. 따라서 하나의 핸드를 사용하는 RGV보다 로딩 시간이 크게 단축되고, 더불어 전체 반송 시간도 크게 단축된다. Since the RGV 204 according to the embodiment of the present invention has two hands, it is possible to simultaneously load two wafers W4 and W5 into the processing equipment 202e. Therefore, the loading time is significantly shorter than the RGV using one hand, and the overall conveying time is also greatly shortened.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 무인 반송 시스템의 패턴 셋 운용 방법을 나타낸 순서도로서, 사용할 패턴을 결정하여 하나의 패턴 셋으로서 등록하고, 이와 같은 패턴 셋들을 순서대로 운용함으로써 반송 효율을 향상시키기 위한 방법을 나타낸 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 패턴 설정은 각각의 작업 명령을 우선순위 (priority) 별로 분류하고, 우선순위가 같은 작업 명령들 가운데 서로 관련된 작업 명령들을 묶어 하나의 패턴으로 설정한다. 또 가장 가까운 곳의 작업을 먼저 수행하고, 그 다음으로 메인 제어 장치가 강제로 지정하는 작업을 수행하며, 각 패턴의 순서 및 각 패턴 셋의 순서도 이를 만족하도록 결정된다. FIG. 6 is a flowchart illustrating a method for operating a pattern set of an unmanned carrier system according to an embodiment of the present invention, in which a pattern to be used is determined and registered as one pattern set, thereby improving conveying efficiency by operating such pattern sets in order. It shows the way. The pattern setting according to the embodiment of the present invention classifies each work command by priority and sets the work commands related to each other among the work orders having the same priority as one pattern. In addition, the work of the nearest place is first performed, and then the main control device performs the designation forcibly, and the order of each pattern and the order of each pattern set are determined to satisfy this.

도 6에 나타낸 바와 같이, 먼저 작업 명령의 패턴들(UL, LL, U, L) 가운데 사용할 패턴들을 선택한다(602). 사용할 패턴들이 체크되면 각각의 패턴 셋 내에서 패턴들을 어떤 순서로 운용할 것인지를 결정하고, 또 이 패턴 셋의 실시 시간도 결정한다(604). 여기서 패턴 셋의 실시 시간은 하나의 패턴 셋을 실시하는 전체 시간으로서, 시스템 운영자가 가장 효율적일 것으로 예상되는 시간으로 결정한다. 예를 들어 어느 하나의 패턴 셋이 결정되고 그 실시 시간을 20분으로 결정하면 물류의 반송이 해당 패턴 셋에 따라 20분동안 실시된다. 이와 같이 패턴 셋 내에서의 패턴 순서와 실시 시간이 결정되면 해당 패턴 셋을 시스템에 등록한다(606). 패턴 셋의 등록이 완료되면 각 패턴 셋 사이의 순서를 결정하여 시스템에 적용한다(608). 이로써 각각의 패턴 셋은 설정된 고유의 실시 시간동안 정해진 순서대로 실시된다. 이 때 현재 실시되고 있는 패턴 셋의 고유 실시 시간이 경과하는지를 일정 시간 간격(예를 들면 1초 간격)으로 체크하다가(610), 고유의 실시 시간이 경과하면 다음 순서의 패턴 셋을 해당 설정 시간동안 실시한다(612). As shown in FIG. 6, first, patterns to be used among the patterns UL, LL, U, and L of a work command are selected (602). If the patterns to be used are checked, it is determined in what order to operate the patterns in each pattern set, and the execution time of the pattern set is also determined (604). Here, the execution time of the pattern set is the total time of executing one pattern set, and is determined as the time when the system operator is expected to be the most efficient. For example, if one pattern set is determined and the execution time is set to 20 minutes, the return of logistics is performed for 20 minutes according to the pattern set. When the pattern order and execution time in the pattern set are determined as described above, the corresponding pattern set is registered in the system (606). When the registration of the pattern set is completed, the order between each pattern set is determined and applied to the system (608). This allows each set of patterns to be performed in a given order during a set unique execution time. At this time, it is checked whether the inherent execution time of the currently executed pattern set has elapsed at a predetermined time interval (for example, one second interval) (610). 612.

본 발명에 따른 무인 반송 시스템의 제어 방법은, 두 개의 핸드를 구비하는 무인 반송차를 이용여 반송 작업을 수행함으로써 로딩과 언로딩이 보다 효율적으로 이루어지고, 이로 인하여 무인 반송차의 이동 거리와 이동 시간, 메인 제어 장치와의 통신 회수 및 통신량을 크게 감소시켜 보다 효율적인 무인 반송 시스템을 구현할 수 있도록 한다. In the control method of the unmanned conveying system according to the present invention, loading and unloading is performed more efficiently by performing a conveying operation using an unmanned conveying vehicle having two hands, thereby moving and moving the unmanned conveying vehicle. The time, the number of times of communication with the main control device, and the amount of communication are greatly reduced, enabling a more efficient unmanned carrier system.

Claims (11)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 버퍼 및 두 개의 핸드를 가진 무인 반송차를 구비하고, 복수개의 제 1 작업 위치와 복수개의 제 2 작업 위치 사이를 이동하면서 물체를 반송하는 무인 반송 시스 템의 제어 방법에 있어서, In the control method of the unmanned conveying system which has an unmanned conveying vehicle which has a buffer and two hands, and conveys an object moving between a some 1st working position and a some 2nd working position, 상기 버퍼에 여유 공간이 있을 때 동일한 작업 위치를 목적지로 가진 로딩 명령 및 언로딩 명령의 조합과 상기 동일한 작업 위치를 목적지로 가진 두 개의 로딩 명령의 조합 가운데 적어도 하나의 명령의 조합이 포함되도록 제 1 패턴을 설정하여 메모리에 저장하고; A first combination such that a combination of a loading command and an unloading command having a same work position as a destination and a combination of two loading instructions having the same work position as a destination is included when there is free space in the buffer; Set a pattern and store it in memory; 상기 버퍼에 여유 공간이 있고 상기 제 1 패턴의 상기 로딩 명령이 수행되지 않는 상태일 때 상기 제 1 패턴에 포함되지 않은 단일의 작업 명령들 각각을 제 2 패턴으로 설정하여 상기 메모리에 저장하며; When there is free space in the buffer and the loading command of the first pattern is not performed, each of the single work instructions not included in the first pattern is set as a second pattern and stored in the memory; 상기 버퍼에 여유 공간이 없을 때 상기 버퍼에 탑재되어 있는 물체를 해당 목적지에 로딩하기 위한 로딩 명령만을 검색하여 상기 메모리에 저장하는 무인 반송 시스템의 제어 방법. And a loading command for loading an object mounted in the buffer to a corresponding destination when there is no free space in the buffer, and storing the loaded command in the memory. 제 4 항에 있어서, 상기 버퍼에 여유 공간이 있고 상기 제 1 패턴의 상기 로딩 명령이 수행되지 않는 상태일 때, The method of claim 4, wherein when there is free space in the buffer and the loading command of the first pattern is not performed, 상기 복수개의 제 1 작업 위치를 목적지로 갖는 언로딩 명령을 검색하여 저장하고; Retrieve and store an unloading command having the plurality of first working locations as a destination; 작업 명령의 상기 메모리에 여유가 있을 때 상기 복수개의 제 2 작업 위치를 목적지로 갖는 언로딩 명령 및 로딩 명령과 상기 복수개의 제 1 작업 위치를 목적지로 갖는 로딩 명령을 차례로 검색하여 저장하는 무인 반송 시스템의 제어 방법. Unmanned conveying system for retrieving and storing an unloading command and a loading command having the plurality of second working positions as a destination and a loading command having the plurality of first working positions as a destination in order when the memory of the work command is free. Control method. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 무인 반송 시스템은 상기 무인 반송차로 작업 명령을 전송하는 메인 제어 장치를 더 포함하고; The unmanned conveying system further includes a main control device for transmitting a work command to the unmanned conveying vehicle; 상기 메모리에 저장된 작업 명령의 수가 미리 설정된 최대 값 이하이고 또 상기 메인 제어 장치로부터 전송된 총 작업 명령 수보다 작을 때 상기 메모리에 여유가 있는 것으로 판정하는 무인 반송 시스템의 제어 방법. And determining that there is room in the memory when the number of work commands stored in the memory is less than or equal to a preset maximum value and less than the total number of work commands transmitted from the main control device. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 메모리에 여유가 없을 때 상기 복수개의 제 2 작업 위치를 목적지로 갖는 로딩 명령과 상기 복수개의 제 1 작업 위치를 목적지로 갖는 로딩 명령을 차례로 검색하여 저장하는 무인 반송 시스템의 제어 방법. And a loading command having the plurality of second working positions as a destination and a loading command having the plurality of first working positions as a destination in order when the memory is not free. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 버퍼에 여유 공간이 없을 때 상기 버퍼에 탑재되어 있는 물체를 해당 목적지에 로딩하기 위한 로딩 명령만을 검색하여 상기 메모리에 저장한 다음, 복수개의 제 1 작업 위치를 목적지로 갖는 작업 명령 가운데 패턴으로 설정되지 않은 작업 명령이 존재하면 1회의 리스케줄링을 실시하여 상기 복수개의 제 1 작업 위치를 목적지로 갖는 언로딩 명령을 검색하여 저장하는 무인 반송 시스템의 제어 방법. When there is no free space in the buffer, only a loading instruction for loading an object mounted in the buffer to a corresponding destination is searched and stored in the memory, and then set as a pattern among the work instructions having a plurality of first working positions as a destination. And re-scheduling one or more unscheduled work commands to retrieve and store unloading commands having the plurality of first work positions as destinations. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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