KR100825974B1 - 진공챔버의 고정구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공챔버의 고정구조에 관한 것으로, 진공챔버는 위치고정장치, 위판, 아래 판과 승강장치를 가지며, 상기 위치고정장치는 서로 대칭되는 두 개의 측판을 포함하는데, 상기 두 개의 측판은 각각 짧은 홈을 위판에 오목으로 설치하고, 긴 홈을 아래 판에 오목으로 설치하며, 이 긴 홈의 아랫부분에는 위치고정대를 설치하는데, 이 위치고정대는 바퀴와 에어 실린더를 포함하며, 상기 승강장치는 하나의 구동장치와 제동부품을 포함하는데, 이 구동장치의 윗부분은 제동부품을 뚫고 씌워져 아래 판을 밀고 있다. 사용시 상기 구동장치의 윗부분이 아래 판을 위로 밀어 올려 아래 판이 상승하여 위판과 긴밀히 접합되었을 때 위판과 아래 판 내의 공간이 진공상태로 되며, 이 에어 실린더는 바퀴와 쐐기를 맞물리게 밀어 이 바퀴가 쐐기의 힘을 받아 위를 향해 아래 판을 밀어올리게 되어 위판과 아래 판이 긴밀한 봉합상태를 드러낼 때 공기에 압력을 가해 발생하는 작용력의 영향을 받지 않아 아래 판과 위판이 접합되는 과정 중의 긴밀한 봉합상테를 확보하며, 또한 이 바퀴는 임의의 각도로 쐐기에 진입하여도 맞물리는 상황이 발생하지 않게 된다. 또한 이 바퀴는 구르는 방식으로 쐐기에 진입하여 쐐기와 접촉하는 마찰력을 상쇄시킬수 있고, 사용시 바퀴와 쐐기의 마찰이 방해를 받아 발생하는 마모를 감소시키며 상대적으로 사용수명을 증가시킨다. 이렇게 하여 대폭적으로 종래구조의 불안정을 개선하고 쉽게 반작용의 미는 힘을 받아 확실히 공기가 쉽게 들어가게 하며 구동장치의 부하를 증가시키며 또한 해체가 복잡한 결점을 개선한다.

진공챔버, 인쇄회로기판, 막, 구동장치, 에어 실린더

Description

진공챔버의 고정구조{Fixing structure of vacuum chamber}

도 1은 본 발명인 진공챔버의 고정구조의 분해개략도

도 2는 본 발명인 진공챔버의 고정구조의 조립 외관입체도

도 3에서 5는 본 발명인 진공챔버의 고정구조의 사용개략도.

도 6은 본 발명의 에어 실린더 및 바퀴의 국부 확대개략도.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **

1：위치고정장치 11：위치고정대

111：에어 실린더 112：바퀴

113：쐐기 1131：위 쐐기

1132：아래 쐐기 12：측판

121：긴 홈 122：짧은 홈

2：위판 21：짧은 돌기

3：아래 판 31：긴 돌기

4：승강장치 41：구동장치

411：윗부분 412：맞물림 부분

42：제동부품 421：설치구멍

일본 공개특허 2005-035239호

대만 특허출원 제089123589호

본 발명은 진공챔버의 고정구조에 관한 것으로, 특히 바퀴를 이용해 아래 판을 밀어 위판과 아래 판이 접합된 상태를 확보하게 하는 발명에 관한 것이다.

최근 몇 년간 대만정부는 적극적으로 하이테크 산업의 육성을 지원하고 있어 하이테크 전자산업이 급속한 발전을 이루어 이미 전 세계적으로 주목받는 전자산업계의 실력자로 성장하였고, 이 분야는 또한 대만의 경제발전의 중추적 동력으로 그 잠재력을 인정받고 있다.

하이테크 전자산업에서 인쇄회로기판의 인쇄기술은 매우 중요한 부분인데, 인쇄회로기판을 제조하는데 있어서 여러 종류의 방식으로 재료를 가압성형하고 증착시키는데, 종래의 기술수단은 진공증착장치를 사용하여 상대적으로 가깝거나 혹은 나누어진 위판(상측 가압블록)과 아래 판(하측 가압블록)을 이용하고 위판과 아래 판 사이에 막과 기판을 삽입하며, 이 위판과 아래 판은 구동장치의 동력을 이용해 밀어 맞물리게 하고, 위판과 아래 판의 수용공간을 진공상태로 만들며, 위판과 아래 판에 압력을 가해 막이 더욱 긴밀히 기판에 붙게 하는데, 이는 일본 공개특허 2005-035239호의 "진공적층장치 및 방법"에서 제시한 바와 같다.

이 진공적층장치는 두 개의 보조 구동장치를 이용해 "∪"자형의 하측 하우징 부재를 지탱하여 밀고, 이 두 개의 보조 구동장치의 중간에는 주요 구동장치를 설치하는데, 이 주요 구동장치는 아래 판을 밀어 맞물리게 하고, 사용시 상기 보조 구동장치가 하측 하우징 부재와 상측 하우징 부재를 를 맞물리게 하여 긴밀히 결합시켜 진공상태가 되게 하고, 상기 주요 구동장치는 아래 판을 위로 밀어올려 위판과 결합시키고, 위판과 아래 판 내 수용공간을 진공으로 만들어 막과 기판의 긴밀한 결합이 이루어지게 한다.

그러나 종래의 이러한 진공적층장치는 보조 구동장치를 이용해 하측 하우징 부재를 밀어 맞물리게 하고 주요 구동장치를 이용해 아래 판을 밀어 맞물리게 하는데, 상기 구동장치는 유압, 기압 등 기술수단이며 종래기술은 다만 주요 구동장치로 아래 판을 밀어 맞물리게 하여 구동장치의 부하를 초래할 뿐만 아니라 주요 구동장치의 사용수명을 단축시키며, 위판과 아래 판을 수용하는 진공챔버의 밀폐성이 부족하여 기판과 막의 부착도 불량하여 틈이 생기고 불량률의 상승을 가져오며 생산원가를 제고시키게 된다.

또한 상기 진공적층장치는 보조 구동장치를 이용해 하측 하우징 부재를 밀어 맞물리게 하는데, 만약 사용하지 않을 경우 상기 보조 구동장치는 하강하고 하측 하우징 부재도 하강하여 보조 구동장치의 사용횟수를 증가하여 쉽게 마모되고, 상기 보조 구동장치 역시 반 작용력의 영향으로 동일하게 부하가 초래되어 사용수명이 단축된다. 이밖에 상기 위판과 아래 판은 진공적층장치에 고정으로 조립되는데 만약 해체할 경우 매우 번거롭다.

또한, 대만 특허출원 제089123589호인 "진공적층장치"는 위판과 아래 판의 통기구멍이 진공챔버의 공기를 뽑아 진공상태로 만들고, 그런 후 다시 아래 판의 통기구멍으로부터 압력을 가해 인근 아래판의 막이 공기의 밀림을 받아 기판에 긴밀히 결합되고, 위와 아래의 압력차이를 이용하여 막이 기판에 긴밀히 결합되게 한다.

그러나 이러한 방식은 비록 기판과 막의 긴밀한 결합을 확보할 수는 있지만, 공기에 압력을 가할 때 공기가 막의 막힘을 받아 반대로 미는 작용력이 발생하는데 이 작용력은 순간적으로 발생하며 그 작용력의 크기를 예측하기 어려워 아래 판을 미는 구동장치의 부하를 초래하게 되어 위판과 아래 판 사이가 긴밀히 결합되기 어려우며 진공챔버의 밀봉효과가 크게 감소되어 구동장치의 사용수명을 단축할 뿐만 아니라 상기 진공챔버가 더욱 많은 시간을 들여 진공상태로 해야하기 때문에 예상한 고도의 진공상태를 유지하기 어렵게 된다.

따라서 전체적으로 보아 확실히 개량의 필요가 있다고 여겨진다.

본 발명의 주요 목적은 진공챔버의 고정구조를 제공함에 있으며, 종래 구조의 불안정성과 작용력의 밀림을 받아 밀봉이 불확실하여 진공효과에 도달하기 어려운 점, 그리고 구동장치의 수명이 단축되고 해체와 조립이 어려운 점을 개선하였다.

상술한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 진공챔버의 고정구조에 관한 것으로, 진공챔버는 위치고정장치, 위판, 아래 판과 승강장치를 가지며, 상기 위치고정 장치는 서로 대칭되는 두 개의 측판을 포함하는데, 상기 두 개의 측판은 각각 짧은 홈을 위판에 오목으로 설치하고, 긴 홈을 아래 판에 오목으로 설치하며, 이 긴 홈의 아랫부분에는 위치고정대를 설치하는데, 이 위치고정대는 바퀴와 에어 실린더를 포함하며, 상기 승강장치는 하나의 구동장치와 제동부품을 포함하는데, 이 구동장치의 윗부분은 제동부품을 뚫고 씌워져 아래 판을 밀고 있고 이 제동부품은 구동장치에 밀려져 윗부분과 연동된다.

사용시 상기 구동장치의 윗부분이 아래 판을 위로 밀어 올려 아래 판이 상승하여 위판과 긴밀히 접합되었을 때 위판과 아래 판 내의 수용공간이 진공상태로 되며, 에어 실린더는 긴 홈에 돌출되게 설치된 바퀴와 아래 판과 긴 홈 사이에 설치되는 쐐기를 맞물리게 밀고 이 바퀴가 쐐기의 힘을 받아 위를 향해 아래 판을 밀어올리게 되어 공기 압력강화로 인해 발생하는 반 작용력을 상쇄시키고 아래 판이 위판과 긴밀히 결합할 때 반 작용력을 받아 반대로 밀지않게 되어 아래 판과 위판이 붙어 결합되는 과정에서 확실히 긴밀한 봉합상태를 드러내게 되어 반 작용력으로 인해 구동장치가 갑자기 아래로 밀려 위판과 아래 판이 확실히 결합하지 못하여 진공상태에 이르지 못하는 것을 방지한다.

또한, 이 바퀴는 원형의 무한한 절단면의 특성을 가지고 있는 것을 이용해 이 바퀴가 임의의 각도로 쐐기에 진입하여도 맞물려서 움직이지 않는 상황이 발생하지 않게 된다. 또한 이 바퀴는 구르는 방식으로 쐐기에 진입하여 쐐기와 접촉하는 마찰력을 상쇄시킬 수 있고, 사용시 바퀴와 쐐기의 마찰이 방해를 받아 발생하는 마모를 감소시키며 상대적으로 사용수명을 증가시킨다.

또한, 이 구동장치는 제동부품을 통해 아래 판을 밀게 되는데, 만약 진공챔버가 작동하지 않을 때 원래 위치로 회복하는 상태가 되어 이 아래 판이 제동부품으로 지탱되어 구동장치와 접촉하지 않게 되며 이렇게 하여 구동장치의 부담을 줄이고 사용수명의 단축상황도 개선하게 된다. 또한, 이 위판과 아래 판은 짧고 긴 홈을 이용해 뽑아 내거나 혹은 삽입하게 되는데 이렇게 하여 사용자가 쉽게 위판과 아래 판을 해체하여 수리 등 작업을 진행할 수 있게 된다.

이렇게 본 발명은 실용성과 진보성을 가진 발명으로 산업계에 널리 추천할 만한 것으로 판단된다.

본 발명은 진공챔버의 고정구조로서, 도 1과 도 2의 분해개략도 및 조립 외관입체도를 참고하면, 이 진공챔버는 하나의 위치고정장치(1), 하나의 승강장치(4), 하나의 위판(2), 하나의 아래 판(3)을 포함한다.

상기 위치고정장치는 서로 대칭되는 두 개의 측판(12)을 포함하는데, 이 두 개의 측판(12)에는 각각 서로 대응되는 두 개의 긴 홈(121)을 오목으로 설치하고, 이 두 개의 측판(12)에는 역시 각각 서로 대응되게 두 개의 짧은 홈(122)을 오목으로 설치하되, 이 두 개의 짧은 홈(122)은 두 개의 긴 홈(121)의 상방에 설치하고, 이 서로 대응되는 두 개의 짧은 홈(122)은 위판(2)을 설치하는데 쓰이며, 또한 이 서로 대응되는 두 개의 긴 홈(121)은 아래 판(3)을 설치하는데 쓰인다. 그리고 이 측판(12) 각각의 긴 홈(121) 아랫부분에는 두 개의 위치고정대(11)가 설치된다.

상기 위치고정대(11)는 에어 실린더(111), 바퀴(112)와 쐐기(113)를 포함하는데, 상기 바퀴(112)는 강철구조의 바퀴(112)이고, 이 바퀴(112)는 긴 홈(121) 내 에 설치되며, 동시에 에어 실린더(111) 동력으로 통제되어 긴 홈(121)에 들어가거나 혹은 나오게 되며, 이 에어 실린더(111)는 위치고정장치(1)의 두 개의 측판(12) 외측에 설치되며, 이 에어 실린더(111)의 내부에는 수용공간이 있어 바퀴(112)를 수용하고, 상기 쐐기(113)는 바퀴(112)의 밀림을 받으며, 이 쐐기(113)는 도 6에서처럼 그 한쪽 단의 폭이 비교적 넓고 다른 한쪽 단의 폭이 비교적 좁은 경사진 구조를 가지고 있는데, 비교적 폭이 좁은 다른 한쪽 단의 연장방향은 진공챔버의 내측으로 향해 있고, 이 쐐기(113)는 위 쐐기(1131)와 아래 쐐기(1132)로 나누어지며, 이 위 쐐기(1131)는 위판(2)의 아래로 향한 단면에 위치하고, 이 아래 쐐기(1132)는 긴 홈(121)의 내부의 바퀴(112)에 인접한 곳에 위치한다.

상기 승강장치(4)는 하나의 제동부품(42)과 하나의 구동장치(41)를 포함하는데, 상기 제동부품(42)은 "∪"자형 구조이며, 이 내부로 함몰된 부분에는 하나의 설치구멍(421)이 뚫고 설치되며, 이 설치구멍(421)은 구동장치(41)가 끼워져 씌워져 있으며, 이 구동장치(41)에는 하나의 윗부분(411)과 하나의 맞물림 부분(412)이 설치되고, 이 윗부분(411)은 움직이며 신축되는 구조이고, 이 윗부분(411)은 아래 판(3)을 미는데 제공되며, 이 맞물림 부분(412)은 윗부분(411)의 아랫단 및 고정되고 작동되지 않는 곳에 위치하며, 이 맞물림 부분(412)은 제동부품(42)을 맞물려 설치하는데 제공된다.

상기 위판(2)은 상기 짧은 홈(122) 내에 설치되는데 제공되고, 이 위판(2)과 긴 홈(121)의 이음단에는 각각 짧은 돌기(21)가 설치되고, 이 짧은 돌기(21)는 피차의 위치에 전후좌우로 위판(2)과 짧은 홈(122)의 두 이음 단면에 대칭되며, 이로 써 위판(2)이 짧은 홈(122)을 따라 미끄러져 움직이며 뽑아져 나오거나 삽입된다.

상기 아래 판(3)은 상기 긴 홈(121) 내에 설치되며, 이 아래 판(3)과 긴 홈(121)의 이음단에는 각각 긴 돌기(31)가 설치되고, 이 아래 판(3)은 두 개의 긴 돌기(31)를 이용해 긴 홈(121)과 맞물리며, 이로써 이 아래 판(3)은 긴 홈(121)을 따라 활동적으로 나오거나 삽입되며, 또한 이 아래 판(3)은 구동장치(41)의 윗부분(411)의 밀림을 받고, 아래 판(3)은 승강장치(4)의 밀림을 받아 긴 홈(121) 내에서 상하로 활동하며 위치를 이동한다.

상술한 바와 같이, 상기 아래 판(3)은 승강장치(4)의 위를 향해 밀거나 혹은 아래를 향해 내리는 힘을 받아 위판(2)과 아래 판(3)이 활동적으로 두 측변(12) 사이에서 나오거나 삽입되며, 상기 에어 실린더(111)는 바퀴(112)를 밀어 긴 홈(121)으로 나오며, 또한 상기 바퀴(112)는 긴밀히 압박하는 방식으로 아래 판(3)을 밀어 아래 판(3)을 안정되게 하고 위판(2)과 접합하게 하며, 이로써 본 발명의 위치고정효과에 도달한다.

도 3을 살펴보면, 본 발명을 작동시키지 않을 때, 구동장치(41)의 윗부분(411)은 아래 판(3)을 밀지 않아 하강하여 줄어드는데 아래 판(3) 역시 동시에 하강한다. 그러나 상술한 바와 같이 구동장치(41)는 제동부품(42)의 설치구멍(421)에 끼워져 아래 판(41)을 밀며, 또한 이 구동장치(41)는 하나의 맞물림 부분(412)을 설치하여 제동부품(42)을 맞물리게 한다. 상기 아래 판(3)이 하강할 때 이 제동부품(42)의 "∪"자형 구조의 양측 돌출부분은 아래 판(3)을 밀고, 이 제동부품(42)의 "∪"자형 구조의 내부 오목부분은 맞물림 부분(412)의 지탱을 받게 된다.

상기 제동부품(42)은 상기 아래 판(3)의 무게를 "∪"자형 구조 내 오목부분을 통해 구동장치(41)의 고정부위에 이어지게 하고, 윗부분(411)이 아래 판(3)의 무게를 받아 구동장치(41) 내에서 반복적으로 줄어들어 마모가 일어나지 않게 한다.

도 4에서 6을 참고하면, 작동된 상태에서 이 아래 판(3)은 구동장치(41)의 윗부분(411)이 위를 향해 미는 작용을 받아 이 윗부분(411)이 아래 판(3)을 위를 향해 미는 높이가 제동부품(42)의 "∪"자형 구조의 돌출된 부분을 초과할 때, 이 제동부품(42)은 아래 판(3)과 그 작동이 관련되지 않게 된다. 또한 이 아래 판(3)은 밀림을 받아 위판(2)과 긴밀히 접합되어 위판(2)과 아래 판(3) 내에 하나의 밀폐된 수용공간을 형성하고 진공펌프(도면에는 미표시)를 이용해 수용공간을 진공으로 만든다.

위판(2)과 아래 판(3)이 긴밀히 접합될 때, 상기 에어 실린더(111)는 바퀴(112)를 에어 실린더(111) 내부의 수용공간에서 밀어내고 동시에 긴 홈(121)에 돌출되게(도 6을 참고) 하며, 이 바퀴(112)는 에어 실린더(111)의 미는 동력의 힘을 받게 되고, 이 바퀴(112) 역시 쐐기(113)를 밀게 된다. 이 쐐기(113)의 측변(12)에 인접된 한쪽 단은 비교적 폭이 넓어 이 바퀴(112)가 쉽게 쐐기(113)에 들어가며, 이 쐐기(113)의 다른 한쪽 단은 비교적 좁아 이 바퀴(112)는 긴밀한 방식으로 쐐기(113)의 비교적 폭이 좁은 단을 밀어 이 미는 힘이 쐐기(113)를 지탱하여 쐐기(113)의 위 쐐기(1131)가 위를 향해 밀려지는 힘을 취득하고, 아래 판(3)은 바퀴(112)의 안정된 미는 힘을 받아 위를 향해 밀려지며 아래 판(3)이 확실히 위 판(2)에 접합되게 한다.

위판(2)과 아래 판(3) 내 수용공간이 진공이 될 때 압력을 가하는 공기장치(도면에는 미표시)를 이용해 아래 판(3)의 위치가 공기를 불어넣어 막(도면에는 미표시)을 밀게 된다. 막이 미는 힘을 받아 순간적으로 공기에 압력을 가하는 반 작용력이 발생하여 아래 판(3)을 밀게 되면, 이 반 작용력은 바퀴(112)로 지탱해 반 작용력을 상쇄시키고 이 아래 판(3)은 확실히 위를 향해 밀봉되게 된다.

이렇게 하여 구동장치(41)가 반 작용력을 받아 밀려져 순간적으로 하향하는 부하현상을 초래하게 되며, 동시에 위판(2)과 아래 판(3)의 긴밀한 결합이 불확실하게 되어 위판과 아래 판 내 수용공간이 밀봉상태를 유지할 수 없게 되어 예상하는 고도의 진공상태가 되지 못하며 불량률을 제고하고 구동장치(41)의 사용수명이 단축되는 현상이 발생하는 것을 방지하게 된다.

또한 원형은 무한한 절단면의 특성을 가지는데 바퀴(112)는 원형의 이러한 특성을 이용해 바퀴(112)가 임의의 각도로 쐐기(113)에 진입하여도 맞물려서 움직이지 않는 상황이 발생하지 않게 된다. 또한 이 바퀴(112)가 쐐기(113)에 진입할 때, 이 바퀴(112)는 구르는 방식으로 작동하여 바퀴(112)와 쐐기(113)가 접촉하는 마찰력을 상쇄시킬 수 있고, 사용시 바퀴(112)와 쐐기(113)의 마찰이 방해를 받아 발생하는 마모를 감소시키며 상대적으로 사용수명을 증가시킨다.

상술한 것은 본 발명의 비교적 구체적인 실시예이며 결코 이에 본 발명을 제한하는 것은 아니며 무릇 본 발명의 기술정신 하에서 어떠한 수식이나 변화를 가한 것도, 예를 들어 바퀴(112)와 제동부품(42)이 어떠한 형태로 실시되거나 혹은 에어 실린더(111)가 실시예와 동일한 효과를 가지거나 혹은 위판(2)이 위치고정장치(1)에 고정설치되거나 하는 것은 모두 본 발명의 권리범위에 드는 것임을 밝혀둔다.

본 발명의 구조설계는 사용 실용성과 원가 효익에서 산업발전에 부합되며 제시한 구조 역시 미공개된 것으로 신규성의 조건에 부합되고 특허요건에 저촉되지 않아 법에 의해 출원하는 바이다.

Claims (6)

1. 하나의 위치고정장치, 하나의 승강장치 및 하나의 위판과 아래 판을 포함하는 진공챔버에 있어서,

   상기 위치고정장치는 상기 위판이 위치고정되게 조립되는데 제공되고, 상기 위치고정장치에는 하나의 긴 홈이 설치되어 상기 승강장치에 의해 승강되는 아래 판의 조립설치에 제공되고, 위치고정장치의 긴 홈 아랫부분에는 한 조의 신축이 가능한 위치고정대가 설치되며, 이 위치고정대의 전단에는 바퀴가 설치되고 이 바퀴는 긴 홈에 들어가거나 나오게 되며 바퀴가 긴 홈 내에 들어가 상기 승강장치에 의해 상승된 아래 판을 들어올려 아래 판의 위치고정효과를 증가시키는 것을 특징으로 하는 진공챔버의 고정구조.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 위치고정장치에는 서로 대응되는 측판을 설치하고, 이 측판은 평행으로 대칭되는 구조이며, 이 측판에는 서로 대칭되는 짧은 홈이 설치되고, 이 짧은 홈은 긴 홈의 상방에 위치하며, 이 짧은 홈은 위판을 설치하는데 제공 되고, 이 위판은 짧은 홈을 따라 나오거나 삽입되는 것을 특징으로 하는 진공챔버의 고정구조.
4. 제1항에 있어서, 상기 긴 홈은 아래 판을 설치하는데 쓰이며, 상기 아래 판은 긴 홈을 따라 나오거나 삽입되고, 아래 판은 상기 승강장치에 의해 상승 또는 하강하는 작동을 하게 되는 것을 특징으로 하는 진공챔버의 고정구조.
5. 제1항에 있어서, 상기 위치고정장치에는 쐐기가 설치되고, 상기 바퀴는 쐐기를 이용해 아래 판을 밀어 올리는 것을 특징으로 하는 진공챔버의 고정구조.
6. 제1항에 있어서, 상기 승강장치에는 제동부품이 설치되고, 이 제동부품은 아래 판을 지탱하는 것을 특징으로 하는 진공챔버의 고정구조.

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