KR100814847B1 - 유기 발광 표시 장치 제조용 증착 장치 - Google Patents
유기 발광 표시 장치 제조용 증착 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (8)
- 진공 챔버;상기 진공 챔버 내부의 저면에 배치되고 분출구를 통해 증착 물질을 분출하는 용기;상기 용기의 분출구에 대향하여 배치되고 상기 증착 물질이 증착되는 기판;상기 기판과 상기 용기 사이에 배치되고 상기 기판의 일 부분을 마스킹하는 마스크;상기 기판을 사이에 두고 상기 마스크 위로 배치되며, 어레이판, 상기 어레이판에 배열되는 복수개의 자석들 및 상기 어레이판에 삽입되어 배열되는 복수개의 물관들을 포함하는 자석 어레이; 및상기 기판과 상기 자석 어레이 사이에 배치되는 갭 플레이트를 포함하고,상기 복수개의 자석들은 인접한 자석들의 엔드 표면 극성이 반대의 극성을 가지면서 배열되는 증착 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 물관이 상기 자석들 사이에 배열되는 증착 장치.
- 제2 항에 있어서,상기 자석과 상기 물관이 각각 서로 평행하게 배열되는 증착 장치.
- 제3 항에 있어서,상기 자석과 상기 물관이 각각 20 내지 25mm 의 피치를 가지는 증착 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 자석의 최상부 표면이 상기 어레이판의 표면 보다 낮은 증착 장치.
- 제5 항에 있어서,상기 갭 플레이트가 상기 자석과의 대응 면에 볼록부를 가지는 증착 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 자석이 고무 자석으로 이루어지는 증착 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 마스크가 스테인레스 스틸, 니켈, 니켈 합금 또는 니켈-코발트 합금을 포함한 얇은 금속판으로 이루어지는 증착 장치.
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