KR100812096B1 - 글라스 식각장치 및 식각방법 - Google Patents

글라스 식각장치 및 식각방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 목적은 하나의 배스 내에서 식각공정, 세정공정, 건조공정이 모두 진행될 수 있도록 함으로써 장비의 소형화로 인한 제작원가절감 및 공정시간 단축이 가능한 글라스 식각장치 및 식각방법을 제공하는 것이다.
이를 위해 본 발명은 바닥면이 일정 각도 경사지게 형성되는 하나의 배스; 상기 배스의 바닥면 일측에 연결되어 배스 내부로 글라스 식각액을 공급하는 제 1배관; 상기 배스의 측면에 연결되어 배스 내부로 글라스의 세정을 위한 세정액과 글라스의 건조를 위한 CDA를 선택적으로 공급하는 제 2배관; 그리고, 상기 배스의 바닥면 중앙부에 연결되어 글라스의 식각 및 세정에 사용된 후 배스 바닥면에 고이는 식각액과 세정액을 배출시키는 배수관을 포함하여 이루어지는 글라스 식각장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 배스의 바닥면 일측에 연결된 제 1배관을 통해 배스 내부로 식각액을 공급되는 단계; 상기 배스 내부로 글라스를 투입하여 글라스의 표면을 식각하는 단계; 상기 글라스의 식각이 완료되면 식각액을 배스의 바닥면에 연결된 배수관을 통해 배출시키는 단계; 상기 배스의 측면에 연결된 제 2배관을 통해 배스 내부에 세정액을 공급하여 글라스의 표면을 세정하는 단계; 그리고, 상기 세정에 사용된 세정액을 배수관을 통해 외부로 배출하고 상기 제 2배관을 통해 배스 내부로 CDA를 공급하여 글라스의 표면을 건조하는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 단계들은 모두 하나의 배스 내에서 이루어지는 글라스 식각방법을 제공한다.
식각장치, 배스

Description

글라스 식각장치 및 식각방법{APPARATUS AND METHOD FOR GLASS ETCHING}
도 1은 본 발명에 따른 글라스 식각장치의 정면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 글라스 식각장치의 측면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
100: 배스 110: 배스 바닥면
120: 버블 생성장치 130: 노즐
200: 제 1배관 300: 제 2배관
310: 초순수 공급밸브 320: 에어 공급밸브
400: 배수관
본 발명은 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display Device)용 글라스를 식각하기 위한 글라스 식각장치 및 식각방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 장비의 소형화로 제작원가 절감 및 공정시간 단축이 가능한 글라스 식각장치 및 식각방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치용 글라스를 식각(에칭: etching)하기 위한 식각장 치는 식각 배스, 세정(QDR: Quick Dump Rinse) 배스, 건조 배스로 이루어지며, 식각 배스의 하부에는 질소기체 버블(bubble)을 균일하게 생성할 수 있는 다공성의 버블판이 설치된다.
이러한 식각장치를 통해 이루어지는 종래의 글라스 식각방법은 불산(HF)을 이용한 식각 배스에서의 식각 공정, 세정 배스에서의 초순수를 이용한 세정공정, 건조 배스에서의 건조 공기를 이용한 건조 공정으로 이루어진다.
이때, 상기 글라스는 카세트에 다수개가 적층되어 각 배스 사이로 이송된다. 즉, 다수의 글라스는 카세트에 수직방향으로 일정한 간격을 유지하도록 적층되고, 글라스가 적층된 카세트가 로봇 암 등의 이송수단에 의해 각 배스 내부로 이송됨으로써 상기 각 공정이 진행된다.
하지만, 이러한 종래의 식각장치는 불산, 초순수 등의 공급을 위한 복잡한 배관 구성을 가지는 3개의 배스를 별도로 구비하여야 하기 때문에 전체적인 장비의 대형화가 불가피하며 이에 따라 제작원가가 증가하는 문제점이 있었다.
또한, 하나의 공정이 완료되면 다음 공정 진행을 위해 글라스를 이송시켜야 하기 때문에 공정시간이 많이 소요되며, 특히 글라스를 이송하는 과정에서 글라스에 유착된 식각액에 의해 장치 내부가 오염되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 하나의 배스 내에서 식각공정, 세정공정, 건조공정이 모두 진행될 수 있도록 함으로써 장비의 소형화로 인한 제작원가절감 및 공정시간 단축이 가능한 글라 스 식각장치 및 식각방법을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은 바닥면이 일정 각도 경사지게 형성되는 하나의 배스; 상기 배스의 바닥면 일측에 연결되어 배스 내부로 글라스 식각액을 공급하는 제 1배관; 상기 배스의 측면에 연결되어 배스 내부로 글라스의 세정을 위한 세정액과 글라스의 건조를 위한 CDA를 선택적으로 공급하는 제 2배관; 그리고, 상기 배스의 바닥면 중앙부에 연결되어 글라스의 식각 및 세정에 사용된 후 배스 바닥면에 고이는 식각액과 세정액을 배출시키는 배수관을 포함하여 이루어지는 글라스 식각장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 배스의 바닥면 일측에 연결된 제 1배관을 통해 배스 내부로 식각액을 공급되는 단계; 상기 배스 내부로 글라스를 투입하여 글라스의 표면을 식각하는 단계; 상기 글라스의 식각이 완료되면 식각액을 배스의 바닥면에 연결된 배수관을 통해 배출시키는 단계; 상기 배스의 측면에 연결된 제 2배관을 통해 배스 내부에 세정액을 공급하여 글라스의 표면을 세정하는 단계; 그리고, 상기 세정에 사용된 세정액을 배수관을 통해 외부로 배출하고 상기 제 2배관을 통해 배스 내부로 CDA를 공급하여 글라스의 표면을 건조하는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 단계들은 모두 하나의 배스 내에서 이루어지는 글라스 식각방법을 제공한다.
이하, 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다.
도 1은 본 발명에 따른 글라스 식각장치의 정면도이며, 도 2는 본 발명에 따 른 글라스 식각장치의 측면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 글라스 식각장치는 하나의 배스(bath)(100)와, 식각액의 공급을 위한 제 1배관(200)과, 세정액과 CDA(Clean Dry Air)의 공급을 위한 제 2배관(300)과, 상기 식각액과 세정액의 배출을 위한 배수관(400)을 포함하여 이루어진다.
상기 제 1배관(200)은 배스(100)의 바닥면(110) 일측에 연결되어 배스(100) 내부로 글라스의 식각을 위한 식각액을 공급한다. 이를 위해 상기 제 1배관(200)에는 제어 신호에 의해 제 1배관(200)을 자동으로 개폐시키는 밸브(210)가 설치된다. 따라서, 제 1배관(200)으로 유입되기 전 식각에 적합하도록 농도와 온도가 보정된 식각액은 밸브(210)에 의해 제 1배관(200)이 개방되면 배스(100) 내부로 공급된다.
상기 제 2배관(300)은 배스(100)의 측면에 연결되어 배스(100) 내부로 글라스의 세정을 위한 세정액과, 글라스의 건조를 위한 CDA를 선택적으로 공급한다. 좀더 상세히 설명하면, 상기 제 2배관(300)은 글라스의 세정 공정시 배스(100) 내부로 세정액을 공급하며, 건조 공정시 배스(100) 내부로 CDA를 공급한다. 즉, 하나의 제 2배관(300)을 통해 배스(100) 내부에는 세정액 또는 CDA가 선택적으로 공급된다. 이를 위해 상기 제 2배관(300)에는 세정 공정시 제 2배관(300)을 개방시켜 세정액이 배스(100) 내부로 공급되게 하는 세정액 공급밸브(310)와, 건조 공정시 제 2배관(300)을 개방시켜 CDA가 배스(100) 내부로 공급되게 하는 에어 공급밸브(320)가 각각 설치된다. 상기 세정액 공급밸브(310) 및 에어 공급 밸브(320) 역시 상술한 제 1배관(200)에 설치되는 밸브(210)와 같이 제어신호에 의해 제 2배관(300)을 자동 개폐시킨다.
이와 같이 세정액과 CDA가 하나의 제 2배관(300)을 통해 배스(100) 내부로 공급되게 하면 배관의 구성을 단순화할 수 있어 장비제작원가를 절감시킬 수 있다.
한편, 상기 배스(100)의 내측면에는 제 2배관(300)에 연결되는 다수개의 노즐(130)이 설치된다. 따라서, 세정 및 건조공정시 제 2배관(300)을 통해 배스(100) 내부로 공급되는 세정액과 CDA는 노즐(130)을 통해 글라스 표면에 균일하게 분사된다.
상기 배수관(400)은 배스(100)의 바닥면(110) 중앙부에 연결되어 글라스의 식각 및 세정에 사용된 후 배스 바닥면(110)에 고이는 식각액과 세정액을 배출시킨다. 식각공정 및 세정공정에 사용된 식각액 및 세정액은 식각물질 등의 이물질을 포함한 오염된 상태이기 때문에 각 공정이 완료되면 배수관(400)을 통해 신속히 외부로 배출된다. 상기 배수관(400)을 통한 식각액과 세정액의 신속한 배출을 위해 상기 배스 바닥면(110)은 경사지게 형성됨이 바람직하다.
이와 같이 배수관(400)을 통해 외부로 배출되는 식각액은 재생탱크 등으로 보내진 후 이물질이 제거되는 작업을 거쳐 재사용된다. 따라서, 상기 식각액은 세정액과 분리된 상태로 외부로 배출되어짐이 바람직하다. 이를 위해 상기 배수관(400)은 배스 바닥면(110)에서 연장되어 식각액을 배출시키는 제 1배수관(410)과, 세정액을 배출시키는 제 2배수관(420)으로 분리된다.
즉, 상기 식각액은 제 1배수관(410)을 통해 외부로 배출되고, 상기 세정액은 제 2배수관(420)을 통해 외부로 배출된다. 그리고, 상기 제 1, 2배수관(410, 420) 에도 제어신호에 의해 작동하는 밸브(411, 421)가 각각 설치된다. 따라서, 제 1배수관(410)을 통해 식각액이 배출되면 제 2배수관(420)은 밸브(421)에 의해 폐쇄되고 제 2배수관(420)을 통해 세정액이 배출되면 제 1배수관(410)이 밸브(411)에 의해 폐쇄된다.
한편, 상기 배스(100)의 하부에는 버블 생성장치(120)가 구비된다. 상기 버블 생성장치(120)는 질소기체 버블을 생성시켜 식각공정시 식각액에 의한 글라스의 균일한 식각이 이루어지도록 함과 동시에 세정공정시 세정액에 의한 효율적인 글라스 세정이 이루어지도록 하는 기능을 수행한다.
이와 같이 구성되는 본 발명에 따른 글라스 식각장치를 이용한 글라스 식각방법에 대하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 밸브(210)에 의해 제 1배관(200)이 개방되어 농도, 온도가 보정된 식각액이 배스(100) 내부로 공급되면 글라스가 배스(100) 내부로 투입되어 식각공정이 진행된다. 이때, 배스(100) 하부에 설치된 버블 생성장치(130)가 질소 기체를 발생시켜 글라스가 균일하게 식각되도록 한다. 일반적으로 글라스는 다수개가 카세트(미도시)에 적재되어 배스(100) 내부로 이송되지만 설명의 편의를 위해 하나의 글라스만이 배스(100) 내부로 이송된다고 가정한다.
이후, 식각공정이 완료되면 식각물질을 함유한 상태로 배스 바닥면(110)에 고여있는 식각액이 배수관(400)을 통해 배출된다. 이때, 밸브(411, 421)에 의해 제 1배수관(410)은 개방되고 제 2배수관(420)은 폐쇄되기 때문에 식각액은 제 1배수관(410)을 통해 외부로 배출된다.
그리고, 제 1배수관(410)을 통한 식각액의 배출이 완료되면 세정액 공급밸브(310)에 의해 제 2배관(300)이 개방되어 배스(100) 내부로 세정액이 공급된다. 이와 같이 배스(100) 내부로 공급되는 세정액은 노즐(130)에 의해 글라스 표면으로 분사되어 글라스를 세정한다. 한편, 세정액에 의한 세정공정이 진행되는 동안 상술한 식각공정과 동일하게 배스(100) 하부에 설치된 버블 생성장치(130)가 질소 기체를 발생시켜 글라스의 균일한 세정을 돕는다.
이러한 세정공정이 완료되면 배스 바닥면(110)에 고인 세정액이 제 2배수관(400)을 통해 배출된다. 이때, 밸브가 조절되어 상기 제 1배수관(410)은 폐쇄되고 제 2배수관(420)만이 개방되기 때문에 상기 세정액은 제 2배수관(420)을 통해 외부로 배출된다.
이후, 상기 에어 공급밸브(320)에 의해 제 2배관(300)이 개방되어 배스(100) 내부로 CDA가 공급됨으로써 글라스의 표면이 건조된다.
이러한 본 발명에 따른 글라스 식각장치 및 식각방법은 다음과 같은 효과를 가진다.
첫째, 본 발명은 하나의 배스 내에서 글라스의 식각공정, 세정공정, 건조공정이 모두 이루어지기 때문에 종래와 같은 글라스의 이송이 불필요하다. 따라서, 공정의 단순화가 가능해지고 공정시간 단축을 통해 생산량을 2배 이상 증가시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 식각공정 후 세정공정이 바로 진행되기 때문에 글라스에 식각액이 묻어있는 시간을 단축시켜 제품의 질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
둘째, 본 발명은 공정진행을 위해 하나의 배스만을 필요로 할 뿐만 아니라 세정액과 CDA가 동일한 배관을 통해 배스 내부로 공급되게 함으로써 장비의 소형화를 통한 제작원가절감의 효과가 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (6)

  1. 바닥면이 일정 각도 경사지게 형성되는 하나의 배스;
    상기 배스의 바닥면 일측에 연결되어 배스 내부로 글라스 식각액을 공급하는 제 1배관;
    상기 배스의 측면에 연결되어 배스 내부로 글라스의 세정을 위한 세정액과 글라스의 건조를 위한 CDA를 선택적으로 공급하는 제 2배관;
    상기 배스의 하부에 형성되며, 질소기체 버블을 생성시켜 식각액에 침지된 글라스의 균일한 식각 및 세정액에 의한 글라스의 균일한 세정을 가능하게 하는 버블 생성장치; 그리고,
    상기 배스의 바닥면 중앙부에 연결되어 글라스의 식각 및 세정에 사용된 후 배스 바닥면에 고이는 식각액과 세정액을 배출시키는 배수관을 포함하여 이루어지는 글라스 식각장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2배관에는 세정액의 공급을 위한 세정액 공급밸브와, CDA의 공급을 위한 에어 공급밸브가 각각 설치되는 것을 특징하는 글라스 식각장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 배스의 내측면에는 제 2배관에 연결되어 세정액과 CDA를 글라스에 분사하는 노즐이 설치되는 것을 특징으로 하는 글라스 식각장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 배수관은 바닥면에서 연장되어 세정액이 배출되는 제 1배수관과, 식각액이 배출되는 제 2배수관으로 분리되는 것을 특징으로 하는 글라스 식각장치.
  5. 삭제
  6. 배스의 바닥면 일측에 연결된 제 1배관을 통해 배스 내부로 식각액이 공급되는 단계;
    상기 배스 내부로 글라스가 투입되어 식각액에 침지되면 배스의 하부에 형성된 버블 생성장치에서 질소기체 버블을 생성하여 글라스의 표면을 균일하게 식각하는 단계;
    상기 글라스의 식각이 완료되면 식각액을 배스의 바닥면에 연결된 배수관을 통해 배출시키는 단계;
    상기 배스의 측면에 연결된 제 2배관을 통해 배스 내부로 세정액이 공급되면, 상기 버블생성장치에서 질소기체 버블을 생성하여 글라스의 표면을 균일하게 세정하는 단계; 그리고,
    상기 세정에 사용된 세정액을 배수관을 통해 외부로 배출하고 상기 제 2배관을 통해 배스 내부로 CDA를 공급하여 글라스의 표면을 건조하는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 단계들은 모두 하나의 배스 내에서 이루어지는 글라스 식각방법.
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