KR100795400B1 - Lighting Inspection Apparatus for Display Panel - Google Patents

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KR100795400B1
KR100795400B1 KR1020060094606A KR20060094606A KR100795400B1 KR 100795400 B1 KR100795400 B1 KR 100795400B1 KR 1020060094606 A KR1020060094606 A KR 1020060094606A KR 20060094606 A KR20060094606 A KR 20060094606A KR 100795400 B1 KR100795400 B1 KR 100795400B1
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유타카 코사카
요시유끼 안도
스스무 오쯔
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

본 발명은, 육안 점등검사 및 자동 점등검사를 선택적으로 행할 수 있음에 상관없이, 육안 점등검사 및 자동 점등검사의 어느 경우도 검사 정밀도를 향상시키기 위한 것이다. 점등 검사장치는, 표시용 패널을 받아 이것을 점등시키는 패널 받음장치로서 하우징 및 상기 하우징 내에 배치된 검사 스테이지를 갖추고, 표시용 패널을 상기 검사 스테이지에 받는 패널 받음장치와, 검사 스테이지에 배치된 표시 패널을 위쪽에서 촬영하는 비디오카메라를 갖춘 패널 촬영장치를 포함한다. 하우징은 검사 스테이지에 받은 표시용 패널을 그 하우징의 전면 쪽에서 볼 수 있는 개구를 갖는다.The present invention is intended to improve the inspection accuracy in any of the naked eye lighting inspection and the automatic lighting inspection, regardless of whether the naked eye lighting inspection and the automatic lighting inspection can be selectively performed. The lighting inspection device is a panel receiving device that receives a display panel and turns it on, which includes a housing and an inspection stage disposed in the housing, the panel receiving device receiving the display panel at the inspection stage, and a display panel disposed at the inspection stage. It includes a panel photographing device having a video camera for shooting from above. The housing has an opening through which the display panel received at the inspection stage can be seen from the front side of the housing.

점등 검사장치, 표시용 패널, 하우징, 검사 스테이지, 촬영장치 Lighting inspection device, display panel, housing, inspection stage, photographing device

Description

표시용 패널의 점등 검사장치{Lighting Inspection Apparatus for Display Panel}Lighting Inspection Apparatus for Display Panel

도1은 본 발명에 따른 검사장치의 한 실시예를 나타내는 사시도로서, 육안 점등검사를 하기 위해 커버를 벗긴 상태로 나타낸 도면이다.1 is a perspective view showing an embodiment of an inspection apparatus according to the present invention, with the cover removed for the naked eye inspection.

도2는 도1에 나타낸 검사장치를 폐쇄 패널을 떼어 낸 상태로 나타낸 정면도이다.FIG. 2 is a front view showing the inspection apparatus shown in FIG. 1 with the closed panel removed. FIG.

도3은 도1에 나타낸 검사장치를 폐쇄 패널을 떼어 낸 상태로 나타낸 우측면도이다.FIG. 3 is a right side view of the inspection apparatus shown in FIG. 1 with the closing panel removed. FIG.

도4는 도1에 나타낸 검사장치에서 이용하는 검사 스테이지, 변위기구 및 패널 반송수도장치의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.FIG. 4 is a perspective view showing one embodiment of an inspection stage, a displacement mechanism, and a panel conveyance water supply apparatus used in the inspection apparatus shown in FIG.

도5는 도1에 나타낸 검사장치에서 이용하는 삼차원 이동기구의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.FIG. 5 is a perspective view showing one embodiment of the three-dimensional moving mechanism used in the inspection apparatus shown in FIG.

도6은 도1에 나타낸 검사장치에서 이용하는 패널 반송장치의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.FIG. 6 is a perspective view showing an embodiment of the panel conveying apparatus used in the inspection apparatus shown in FIG.

도7은 점등검사를 할 때의 개구 및 비디오카메라에 대한 검사 스페이지의 상태를 나타내는 도면이다.Fig. 7 is a diagram showing the state of the aperture and the inspection step for the video camera when the lighting inspection is performed.

도8은 육안 점등검사를 하는 경우의 다른 이용방법의 실시예를 나타내는 도면이다.8 is a view showing an embodiment of another method of use when visual lighting test is performed.

도9는 육안 점등검사를 하는 경우의 또 다른 이용방법의 실시예를 나타내는 도면이다.9 is a view showing an embodiment of another method of use when visual lighting test is performed.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings

10: 검사장치 12: 표시용 패널10: inspection device 12: display panel

14: 패널 받음장치 16: 변위기구14: Panel receiving device 16: Displacement mechanism

18: 패널 촬영장치 20: 패널 반송장치18: panel photographing apparatus 20: panel conveying apparatus

22: 패널 반송수도장치 24: 패널 받음장치의 하우징22: panel conveying water supply device 24: housing of the panel receiving device

26: 검사 스테이지 28: 프레임26: inspection stage 28: frame

30: 폐쇄 패널 32: 개구30 closed panel 32 opening

34: 커버 받이 36: 커버34: cover receiving 36: cover

38: 홈 40: 관통구멍38: groove 40: through hole

41: 나사구멍 42: 워크 테이블41: screw hole 42: work table

44: 백라이트 유닛 46: 테이블 이동기구44: backlight unit 46: table moving mechanism

48: 지지대 50: 지지부재48: support 50: support member

52: 액츄에이터 54: 패널 촬영장치의 하우징52: actuator 54: housing of the panel imaging device

56: 비디오카메라 58: 삼차원 이동기구56: video camera 58: three-dimensional moving mechanism

60: 리니어 레일 62: 리니어 가이드60: linear rail 62: linear guide

64: 블라켓 66: 롤러 조립체64: blanket 66: roller assembly

68: 프레임 70: 얼라이먼트 장치68: frame 70: alignment device

72: 수도(受渡)기구 74: 패널 센서72: water supply mechanism 74: panel sensor

76: 위치결정 부재 78: 리프터 핀76: positioning member 78: lifter pin

80: 가이드 기구 82: 암(arm)80: guide mechanism 82: arm

84: 흡착 패드84: adsorption pad

발명의 분야Field of invention

본 발명은, 액정표시패널과 같은 표시용 패널의 점등 검사를 하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting lighting of a display panel such as a liquid crystal display panel.

발명의 배경Background of the Invention

액정표시패널과 같은 표시용 패널은 각 화소가 바르게 기능하는지 아닌지 점등검사가 이루어진다. 이 점등검사는 표시용 패널의 뒷면을 백라이트로 조명하면서, 그 표시용 패널에 통전하여 그 표시용 패널을 소정의 패턴으로 점등시키고, 그 표시용 패널의 점등 상태를 확인함으로써 행해진다.In a display panel such as a liquid crystal display panel, a lighting test is performed to determine whether or not each pixel functions properly. This lighting test is conducted by energizing the display panel while illuminating the back side of the display panel with a backlight, lighting the display panel in a predetermined pattern, and confirming the lighting state of the display panel.

표시용 패널은 작업자가 점등 상태를 눈으로 보고 판단하는 소위 육안 점등검사(일본 특개평10-253498호 공보), 또는 점등 상태를 비디오카메라로 촬영하여 그 출력신호를 화상 처리하여 판정하는 소위 자동 점등검사(일본 특개2004-170495호 공보)에 의해 양부(良否)가 판정된다.The display panel is a so-called visual lighting test (Japanese Patent Laid-Open No. 10-253498) in which the operator visually judges the lighting state, or a so-called automatic lighting in which the lighting state is photographed with a video camera to determine the output signal. Acceptance is judged by inspection (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-170495).

이들 점등검사는 외부의 빛이 점등되어 있는 표시용 패널 근방에 들어오지 않도록, 검사해야할 표시용 패널을 하우징 내에서 점등시킨 상태로 행해진다.These lighting tests are performed in a state in which the display panel to be inspected is turned on in the housing so that the external light does not enter the display panel in which the external light is turned on.

육안 점등검사는, 하우징에 설치된 창을 통하여 작업자가 하우징 내의 표시용 패널을 비스듬히 눈으로 봄으로써 검사 정밀도를 높이고 있지만, 정부(正否) 판정의 기준이 애매하고, 또 검사능률이 낮다.In the visual lighting test, the inspection accuracy is improved by the operator viewing the display panel in the housing at an angle through a window provided in the housing, but the criterion of the government judgment is ambiguous and the inspection efficiency is low.

이에 대하여, 자동 점등검사는 이것이 자동 점등 검사장치에 의해 자동적으로 행해지기 때문에, 검사능률이 높은 반면, 점결점, 반결점 등, 일부 결함에 대해서 그것이 진짜 결함인지 아닌지에 대한 판정이 곤란한 경우가 많다. 그와 같은 표시용 패널은 그레이존 그룹으로 모아져, 별도의 육안 점등검사장치에 의해 다시 검사(이 경우는 육안 점등검사)를 행하고 있다.On the other hand, since the automatic lighting inspection is automatically performed by the automatic lighting inspection apparatus, the inspection efficiency is high, but for some defects such as point defects and semi defects, it is often difficult to determine whether or not it is a genuine defect. . Such display panels are collected in a gray zone group, and are inspected again (in this case, a visual lighting test) by a separate visual lighting test apparatus.

상기 과제를 해결하기 위해, 육안 점등검사와 자동 점등검사를 선택적으로 행하는 육안 겸 자동 점등기술이 제안되어 있다(일본 특개평9-258157호 공보).In order to solve the said subject, the naked eye and automatic lighting technique which selectively performs visual lighting test and automatic lighting test is proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 9-258157).

상기 육안 겸 자동 점등기술은 표시용 패널을 수평면에 대하여 경사시킨 상태로 검사 스테이지에 받아 점등 상태로 두고, 육안 검사의 경우는 작업자가 표시용 패널을 하우징에 설치된 창을 통하여 비스듬히 위쪽에서 눈으로 보고, 자동 점등검사의 경우는 표시용 패널을 하우징에 설치된 반사경을 통하여 옆에서 촬영한 다.In the visual and automatic lighting technology, the display panel is inclined with respect to the horizontal plane and is turned on by the inspection stage, and in the case of visual inspection, the operator sees the display panel at an angle from the top through the window installed in the housing. In case of automatic lighting test, the display panel is photographed from the side through the reflector installed in the housing.

이 때문에, 상기 종래의 육안 겸 자동 점등기술에서는, 육안 검사의 경우에는, 작업자가 표시용 패널을 이것에 수직인 방향에서 볼 수 있기 때문에 검사 정밀도는 향상한다. 그러나 자동 점등검사의 경우에는, 표시용 패널을 비디오카메라에 의해 반사경을 통하여 비스듬히 촬영하게 되므로 촬영 정밀도가 저하하고, 검사 정밀도가 저하한다.For this reason, in the conventional visual and automatic lighting technique, in the case of visual inspection, the inspection accuracy is improved because the operator can see the display panel in a direction perpendicular to this. However, in the case of the automatic lighting inspection, since the display panel is photographed at an angle through the reflecting mirror by the video camera, the photographing accuracy is lowered and the inspection precision is lowered.

본 발명의 목적은, 육안 점등검사 및 자동 점등검사를 선택적으로 행할 수 있음에 상관없이, 육안 점등검사 및 자동 점등검사 어느 경우도 검사 정밀도를 향상시키는데 있다.An object of the present invention is to improve the inspection accuracy in both the visual lighting test and the automatic lighting test, regardless of whether the visual lighting test and the automatic lighting test can be selectively performed.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.

발명의 요약Summary of the Invention

본 발명에 따른 점등 검사장치는, 표시용 패널을 받아 이것을 점등시키는 패널 받음장치로서 하우징 및 상기 하우징 내에 배치된 검사 스테이지를 갖추고, 상기 표시용 패널을 상기 검사 스테이지에 받는 패널 받음장치와, 상기 검사 스테이지에 배치된 표시 패널을 위쪽에서 촬영하는 비디오카메라를 갖춘 패널 촬영장치를 포함한다. 상기 하우징은 상기 검사 스테이지에 받은 표시용 패널을 상기 하우징의 전면 쪽에서 눈으로 볼 수 있는 개구를 갖는다.A lighting test apparatus according to the present invention is a panel receiving device for receiving a display panel and lighting the panel, the panel receiving device including a housing and an inspection stage disposed in the housing, and receiving the display panel to the inspection stage, and the inspection. And a panel photographing apparatus having a video camera for photographing a display panel arranged on a stage from above. The housing has an opening through which the display panel received at the inspection stage can be seen from the front side of the housing.

게다가, 본 발명에 따른 점등 검사장치는, 상기 검사 스테이지에 받은 표시용 패널을 상기 개구 및 상기 비디오카메라로 선택적으로 향하도록, 상기 검사 스테이지는 변위시키는 변위기구와 상기 개구를 개방 가능하게 폐쇄하는 커버를 포함한다.In addition, the lighting inspection apparatus according to the present invention includes a cover for opening the closing mechanism and a displacement mechanism for displacing the inspection stage so that the display panel received by the inspection stage is selectively directed to the opening and the video camera. It includes.

상기 패널 촬영장치는 상기 패널 받음장치의 위쪽에 배치되어 있어도 좋고, 또 상기 하우징은 상기 비디오카메라가 상기 표시용 패널을 촬영하는 것을 허락하는 제2 개구를 갖추고 있어도 좋다.The panel photographing apparatus may be disposed above the panel receiving apparatus, and the housing may be provided with a second opening allowing the video camera to photograph the display panel.

하우징의 개구는 육안 검사 동안에 개방되고, 자동 점등검사 동안에 커버에 의해 닫힌다.The opening of the housing is opened during visual inspection and closed by the cover during automatic lighting inspection.

작업자가 육안 검사를 위해 표시용 패널을 하우징의 개구를 통하여 볼 때, 검사 스테이지는 변위기구에 의해 변위되어 받고 있는 표시용 패널을 개구로 향하고, 그 상태를 유지한다. 이 때문에, 작업자는 표시용 패널을 이것에 수직인 방향에서 볼 수 있으므로 육안 점등검사에서의 검사 정밀도가 높아진다.When the operator sees the display panel through the opening of the housing for visual inspection, the inspection stage points the display panel, which is being displaced by the displacement mechanism, to the opening and maintains the state. For this reason, since the operator can see the display panel in the direction perpendicular to this, the inspection precision in visual lighting inspection becomes high.

이에 대하여, 자동 점등검사 동안, 검사 스테이지는 받고 있는 표시용 패널을 비디오카메라를 향하도록 변위기구에 의해 변위되어 그 상태로 유지된다. 이 때문에 점등된 표시용 패널을 이것에 수직인 위쪽에서 비디오카메라에 의해 촬영할 수 있으므로 촬영 정밀도가 높고, 그 결과 자동 점등검사에서의 검사 정밀도도 높 아진다.On the other hand, during the automatic lighting inspection, the inspection stage is displaced by the displacement mechanism so as to face the video camera and is maintained in the state. For this reason, the illuminated display panel can be photographed by a video camera from above perpendicular to this, so that the photographing accuracy is high, and as a result, the inspection precision in the automatic lighting inspection is also increased.

상기 패널 촬영장치는 상기 패널 받음장치의 위쪽에 배치되어 있어도 좋다. 이 경우, 상기 하우징은 상기 비디오카메라가 상기 표시용 패널을 촬영하는 것을 허락하도록 상부를 개방하고 있다.The panel photographing apparatus may be disposed above the panel receiving apparatus. In this case, the housing is open at the top to allow the video camera to photograph the display panel.

게다가, 상기 패널 촬영장치는 상기 비디오카메라가 배치된 제2 하우징으로서 상기 패널 받음장치의 하우징 위에 탈부착 가능하게 배치된 제2 하우징과, 상기 제2 하우징에 지지된 삼차원 이동기구로서 상기 비디오카메라를 아래를 향하게 지지함과 동시에, 상하, 좌우 및 전후의 3방향으로 변위시키는 삼차원 이동기구를 갖출 수 있다.In addition, the panel photographing apparatus includes a second housing in which the video camera is disposed, a second housing detachably disposed on the housing of the panel receiving device, and the video camera as a three-dimensional moving mechanism supported by the second housing. At the same time, it can be provided with a three-dimensional moving mechanism for displacing in three directions of up, down, left and right and back.

상기 커버는 복수의 나사에 의해 상기 하우징에 탈부착 가능하게 설치되어 있어도 좋다. 그러나 상기 커버는 힌지에 의해 상기 하우징에 이것의 개구를 개폐 가능하게 설치되어 있어도 좋다.The cover may be detachably attached to the housing by a plurality of screws. However, the cover may be provided to open and close its opening in the housing by a hinge.

상기 검사 스테이지는 상기 표시용 패널을 받는 워크 테이블과, 상기 워크 테이블에 배치된 백라이트 유닛과, 상기 워크 테이블을 최소한 상하방향으로 이동시키는 테이블 이동기구를 갖출 수 있고, 또 상기 변위기구는 상기 표시용 패널을 상기 개구 및 상기 비디오카메라로 선택적으로 향하도록 상기 테이블 이동기구를 변위시키는 것이어도 좋다.The inspection stage may include a work table for receiving the display panel, a backlight unit disposed on the work table, and a table moving mechanism for moving the work table in at least the vertical direction. The table moving mechanism may be displaced so that the panel is selectively directed to the opening and the video camera.

상기 변위기구는, 상기 하우징 내에 배치된 지지대와, 상기 지지대에 X방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전 가능하게 지지된 지지부재로서 상기 검사 스테이지를 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재를 상기 축선 주위로 각도적 으로 회전시키는 액츄에이터를 갖출 수 있다.The displacement mechanism includes a support member disposed in the housing, a support member supporting the inspection stage as a support member rotatably supported at an angle around an axis extending in the X direction, and the support member. An actuator can be provided that rotates angularly around the axis.

게다가, 본 발명에 따른 점등 검사장치는, 미검사 표시용 패널 및 검사완료 표시용 패널을 수평으로 반송하는 패널 반송장치와, 미검사 표시용 패널을 상기 패널 반송장치로부터 수평으로 받아 상기 검사 스테이지에 수평으로 건넴과 동시에, 검사완료 표시용 패널을 상기 검사 스테이지로부터 수평으로 받아 상기 패널 반송장치로 수평으로 건네는 패널 반송수도장치를 포함할 수 있다. 이 경우, 검사 스테이지에 대한 표시용 패널의 수도(受渡)는 수평상태로 행해진다.Moreover, the lighting inspection apparatus which concerns on this invention is a panel conveying apparatus which horizontally conveys the non-inspection display panel and the inspection completion display panel, and receives a non-inspection display panel horizontally from the said panel conveyance apparatus, and supplies it to the said inspection stage. And a panel conveyance device for horizontally passing the inspection completion display panel horizontally from the inspection stage and horizontally passing the inspection completion display panel to the panel conveying apparatus. In this case, the water supply of the display panel with respect to the inspection stage is performed in a horizontal state.

발명의 상세한 설명Detailed description of the invention

[용어에 대해서][About a term]

이하, 도2에 있어서 검사 스테이지나 패널 수도기구 등에 받아진 표시용 패널과 평행한 면내에서의 한 방향 및 이것과 직각인 방향을 각각 X방향 및 Y방향이라고 하고, 상기 표시용 패널에 수직인 방향을 Z방향이라고 한다. 그러나 그들 방향은 검사해야 할 표시용 패널을 점등 검사장치에 배치하는 자세, 즉 점등 검사장치에 배치된 표시용 패널의 자세에 따라 다르다.Hereinafter, in Fig. 2, one direction and a direction perpendicular to the surface parallel to the display panel received on the inspection stage, the panel water fixture, or the like are referred to as the X direction and the Y direction, respectively, and the direction perpendicular to the display panel. Is called the Z direction. However, their directions differ depending on the posture of arranging the display panel to be inspected in the lighting inspection apparatus, that is, the posture of the display panel arranged in the lighting inspection apparatus.

따라서 상기 방향은 실제 점등 검사장치에 따라 X방향 및 Y방향이 수평면, 수평면에 대하여 경사진 경사면, 및 수평면에 수직인 수직면의 어느 한 면 내가 되도록 결정해도 좋고, 그들 면의 조합이 되도록 결정해도 좋다.Therefore, the direction may be determined to be within one of the horizontal plane, the inclined plane inclined with respect to the horizontal plane, the vertical plane perpendicular to the horizontal plane, or a combination of these planes depending on the actual lighting inspection device. .

[실시예]EXAMPLE

도1 내지 도3을 참조하면, 점등 검사장치(10)는 사각형의 평면 형상을 갖는 표시용 패널(12)의 육안 점등검사와 자동 점등검사를 선택적으로 행할 수 있다. 도시한 예에서는, 표시용 패널(12)은 다수의 표시 화소를 가짐과 동시에, 그들 표시 화소에 전기적으로 접속된 공지의 패널이다.1 to 3, the lighting inspection apparatus 10 may selectively perform visual lighting inspection and automatic lighting inspection of the display panel 12 having a rectangular planar shape. In the example shown in figure, the display panel 12 is a well-known panel which has many display pixels and is electrically connected to those display pixels.

점등 검사장치(10)는, 표시용 패널(12)을 받아 이것을 점등시키는 패널 받음장치(14), 패널 받음장치(14)에 배치된 표시용 패널(12)을 전향시키는 전향장치 즉 변위기구(16), 표시용 패널(12)을 촬영하는 패널 촬영장치(18), 표시용 패널(12)을 수평으로 반송하는 패널 반송장치(20) 및 패널 받음장치(14) 및 패널 반송장치(20)에 대한 표시용 패널(12)의 반송 및 수도를 하는 패널 반송수도장치(22)를 포함한다. The lighting inspection device 10 is a panel receiving device 14 which receives the display panel 12 and turns it on, and a deflecting device or displacement mechanism for turning the display panel 12 disposed on the panel receiving device 14. 16), the panel photographing apparatus 18 which photographs the display panel 12, the panel conveying apparatus 20 which conveys the display panel 12 horizontally, the panel receiving apparatus 14, and the panel conveying apparatus 20 And a panel conveyance water supply device 22 for conveying and watering the display panel 12.

패널 받음장치(14)는 하우징(24) 내에 검사 스테이지(26)를 배치해 두고, 또 표시용 패널(12)을 검사 스테이지(26)에 받는다. 하우징(24)은 복수의 긴 부재를 입방체(立法體) 상으로 결합시켜 프레임(28)을 형성하고, 프레임(28)의 윗면을 제외한 각 면에 폐쇄 패널(30)을 나사로 설치하고 있다.The panel receiving device 14 arranges the inspection stage 26 in the housing 24, and receives the display panel 12 from the inspection stage 26. The housing 24 combines a plurality of elongate members into a cube to form a frame 28, and the closing panel 30 is provided with screws on each surface except the upper surface of the frame 28. As shown in FIG.

하우징(24)의 정면에 위치하는 폐쇄 패널(30)에는 검사 스테이지(26)에 받아진 표시용 패널(12)을 비스듬히 위쪽에서 볼 수 있는 개구(32)가 사각형의 커버 받이(34)에 의해 형성되어 있다.The closing panel 30 positioned in front of the housing 24 has an opening 32 for viewing the display panel 12 received at the inspection stage 26 at an angle upwards by a rectangular cover support 34. Formed.

커버 받이(34)는 프레임(28)을 형성하고 있는 긴 부재 중, 하우징(24)의 정면 쪽을 상하방향으로 연장하는 한 쌍의 긴 부재에 나사로 고정되어 있다. 개구(32)는 평판상의 커버(36)에 의해 개방 가능하다. 커버 받이(34)는 커버(36)의 아래 가장자리를 받도록 위쪽으로 개방하고 X방향(도2에 있어서, 좌우방향이고, 이하 동일)으로 연장하는 홈(38)을 갖는다.The cover base 34 is screwed to a pair of elongate members which extend the front side of the housing 24 vertically among the elongate members which form the frame 28. The opening 32 is openable by the flat cover 36. The cover 34 has a groove 38 that opens upwards to receive the lower edge of the cover 36 and extends in the X direction (left and right in FIG. 2, the same below).

커버(36)는, 복수의 나사부재(도시하지 않음)에 의해 하우징(24)에 탈부착 가능하게 커버 받이(34)에 설치되어 있다. 이 때문에 커버(36)는 나사부재를 위해 복수의 관통구멍(40)을 갖고 있고, 커버 받이(34)는 나사부재용 복수의 나사구멍(41)을 갖고 있다.The cover 36 is attached to the cover base 34 to be detachably attached to the housing 24 by a plurality of screw members (not shown). For this reason, the cover 36 has the some through-hole 40 for a screw member, and the cover base 34 has the some screw hole 41 for screw members.

커버(36)는 작업자에 의한 육안 점등검사 동안, 커버 받이(34)에서 떼어 내진다. 이에 대하여, 자동 점등검사를 하는 경우, 커버(36)는 커버 받이(34)에 설치되어, 외부의 빛이 하우징(24) 내에 들어가는 것을 방지한다.The cover 36 is detached from the cover 34 during the visual lighting test by the operator. In contrast, in the case of the automatic lighting inspection, the cover 36 is provided on the cover 34 to prevent external light from entering the housing 24.

검사 스테이지(26)는, 도2 내지 도4에 나타낸 바와 같이, 표시용 패널(12)을 받는 워크 테이블(42), 워크 테이블(42)에 배치된 백라이트 유닛(44), 및 워크 테이블(42)을 이동시키는 테이블 이동기구(46)를 갖추고 있고, 또 테이블 이동기구(46)에 있어서 변위기구(16)에 지지되어 있다.2 to 4, the inspection stage 26 includes a work table 42 that receives the display panel 12, a backlight unit 44 disposed on the work table 42, and a work table 42. Is provided, and is supported by the displacement mechanism 16 in the table movement mechanism 46.

워크 테이블(42)은, 사각형을 한 판상부의 중앙영역에 사각형의 관통구멍을 형성하고 있고, 상기 관통구멍의 주위 상부에 사각형의 받음부를 단상으로 또는 림(rim)상으로 형성하고 있다. 표시용 패널(12)은 받음부의 윗면에 받아져 해제가능하게 진공 흡착된다.The work table 42 forms a rectangular through-hole in the center region of the rectangular plate-shaped portion, and forms a rectangular receiving portion in a single phase or a rim in the upper portion of the periphery of the through-hole. The display panel 12 is received by the upper surface of the receiving part and vacuum-adsorbed so as to be releaseable.

백라이트 유닛(44)은 워크 테이블(42)에 받아진 표시용 패널에 백색광을 아래쪽에서 조사하여 조명하도록, 워크 테이블(42)과 함께 테이블 이동기구(46)에 지지되어 있다.The backlight unit 44 is supported by the table moving mechanism 46 together with the work table 42 to illuminate the display panel received by the work table 42 by illuminating white light from below.

테이블 이동기구(46)는, 최소한 상하방향, 바람직하게는 X, Y, Z의 삼차원적으로, 보다 바람직하게는 X, Y, Z의 3방향과 Z방향으로 연장하는 θ 축선 주위로 이동시키는 공지의 기구이다.The table moving mechanism 46 is known to move around at a θ axis extending at least in the up-down direction, preferably in three dimensions of X, Y, Z, more preferably in three directions of the X, Y, Z and Z directions. It is a framework of.

변위기구(16)는, 도2 내지 도4에 나타낸 바와 같이, 하우징(24) 내에 배치된 역문형(逆門型)의 지지대(48)에 지지부재(50)를 X방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전 가능하게 지지시키고 있고, 또 검사 스테이지(26)의 테이블 이동기구(18)를 지지부재(50)에 지지시키고 있다.2 to 4, the displacement mechanism 16 is arranged around the axis extending the support member 50 in the X direction to the inverted support 48 disposed in the housing 24. It is rotatably supported at an angle, and the support member 50 is supporting the table moving mechanism 18 of the inspection stage 26.

지지부재(50)는, 액츄에이터(52)에 의해 X방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전된다. 이에 의해, 검사 스테이지(26)가 표시용 패널(12)과 함께 마찬가지로 각도적으로 회전되고, 표시용 패널(12)이 전향 즉 변위된다.The supporting member 50 is rotated angularly around an axis extending in the X direction by the actuator 52. Thereby, the inspection stage 26 is rotated angularly similarly with the display panel 12, and the display panel 12 is turned forward, ie, displaced.

액츄에이터(52)로서, 서보모터(servomotor)와 같은 전동기와 그 출력을 감속시키는 감속기구를 이용할 수 있다.As the actuator 52, an electric motor such as a servomotor and a deceleration mechanism for decelerating its output can be used.

도2, 도3, 도4 및 도7에 실선으로 나타낸 바와 같이, 패널 받음장치(14)와 패널 반송수도장치(22)와의 사이에서 표시용 패널(12)의 수도를 하는 동안, 및 자동 점등검사를 하는 동안, 변위기구(16)는 검사 스테이지(26)에 받아져 있는 표시용 패널(12)을 위쪽을 향해 수평으로 유지하도록, 검사 스테이지(26)를 변위시켜 그 상태로 유지한다.As shown in solid lines in FIGS. 2, 3, 4, and 7, the display panel 12 is switched between the panel receiving device 14 and the panel conveyance conveying device 22, and is automatically turned on. During the inspection, the displacement mechanism 16 displaces and holds the inspection stage 26 so as to horizontally hold the display panel 12 received by the inspection stage 26 upward.

이에 대하여, 도1 및 도9에 실선으로 나타내고, 도7에 점선으로 나타낸 바와 같이, 작업자가 검사 스테이지(26)에 받아져 있는 표시용 패널(12)을 눈으로 볼 때, 변위기구(16)는 표시용 패널(12)을 경사 위쪽의 개구(32)를 향해 비스듬히 위 를 향하는 자세로 유지하도록, 검사 스테이지(26)를 변위시켜 그 상태로 유지한다.On the other hand, as shown by the solid line in FIGS. 1 and 9 and the dotted line in FIG. 7, when the operator visually sees the display panel 12 received by the inspection stage 26, the displacement mechanism 16 is shown. The inspection stage 26 is displaced and maintained in such a state that the display panel 12 is held obliquely upward toward the opening 32 above the inclination.

패널 촬영장치(18)는 도1 내지 도3에 나타낸 바와 같이, 패널 받음장치(14)의 하우징(24) 위에 탈부착 가능하게 나사 고정된 하우징(54), 하우징(54) 내에 배치된 비디오카메라(56), 및 하우징(54)에 지지된 삼차원 이동기구(58)를 갖춘다.As shown in FIGS. 1 to 3, the panel photographing apparatus 18 includes a housing 54 which is detachably screwed onto the housing 24 of the panel receiving device 14, and a video camera disposed in the housing 54. 56, and a three-dimensional moving mechanism 58 supported by the housing 54.

하우징(54)은 하우징(24)과 동일하게, 복수의 긴 부재를 입방체 상으로 결합시켜 프레임을 형성하고, 프레임의 아래면을 제외한 각 면에 폐쇄 패널을 나사에 의해 설치하고 있다.In the housing 54, similarly to the housing 24, a plurality of elongate members are joined to a cube to form a frame, and a closing panel is provided by screws on each side except the bottom of the frame.

하우징(24 및 54)이 폐쇄 패널을 상기와 같이 갖춘 구조를 가짐으로써, 하우징(24 및 54) 내의 공간은 외부의 빛이 들어가지 않도록 폐쇄 패널에 의해 폐쇄되어 있다.Since the housings 24 and 54 have a structure with the closure panels as described above, the space in the housings 24 and 54 is closed by the closure panels so that no external light enters.

비디오카메라(56)는 자동 초점 맞춤 기능을 갖춘 카메라이고, 또 검사 스테이지(26)에 받아진 표시용 패널(12)을 위쪽에서 촬영할 수 있도록, 아래를 향해 삼차원 이동기구(58)에 지지되어 있다.The video camera 56 is a camera having an autofocusing function, and is supported by the three-dimensional moving mechanism 58 downward so that the display panel 12 received by the inspection stage 26 can be photographed from above. .

하우징(24 및 54)은 하우징(24)의 윗면 및 하우징(54)의 아래면에 대응하는 곳의 각각에 폐쇄 패널이 배치되어 있지 않기 때문에, 비디오카메라(56)에 의한 표시용 패널(12)의 촬영을 방해하지 않는다.Since the housings 24 and 54 are not arranged with closing panels in each of the upper surface of the housing 24 and the lower surface of the housing 54, the display panel 12 by the video camera 56 is provided. Does not disturb the shooting.

삼차원 이동기구(58)는 비디오카메라(56)를 상하, 좌우 및 전후의 3방향으로 변위시키도록 하우징(54)에 설치되어 있다.The three-dimensional movement mechanism 58 is provided in the housing 54 so as to displace the video camera 56 in three directions of up, down, left and right, and front and rear.

그와 같은 삼차원 이동기구(58)는, 도5에 나타낸 바와 같이, 각각이 고정자 즉 리니어 레일(60)과 이 리니어 레일(60)에 이동 가능하게 결합된 가동자 즉 리니 어 가이드(62)를 갖춘 3쌍의 리니어 모터를 이용하여 구성할 수 있다.Such a three-dimensional moving mechanism 58, as shown in Fig. 5, each of the stator, that is, the linear rail 60 and the mover, or linear guide 62, which is movably coupled to the linear rail 60, respectively. It can be configured using three pairs of linear motors.

도5에 나타낸 예에서는, 1쌍의 리니어 모터의 리니어 가이드(62)는 X방향으로 연장하도록 하우징(54)에 블라켓(64)을 통하여 설치되어 있고, 다른 1쌍의 리니어 모터의 리니어 가이드(62)는 블라켓(64)을 통하여 왼쪽 전후방향으로 연장하도록 가장 상부에 위치하는 리니어 모터의 리니어 가이드(62)에 설치되어 있고, 남은 1쌍의 리니어 모터의 리니어 가이드(62)는 상하방향으로 연장하도록 중간 리니어 모터의 리니어 가이드(62)에 블라켓(64)을 통하여 설치되어 있다.In the example shown in Fig. 5, the linear guides 62 of the pair of linear motors are provided in the housing 54 via the bracket 64 so as to extend in the X direction, and the linear guides 62 of the other pair of linear motors. ) Is installed in the linear guide 62 of the linear motor located at the top so as to extend in the left front-rear direction through the bracket 64, and the linear guide 62 of the remaining pair of linear motors extends in the vertical direction. The linear guide 62 of the intermediate linear motor is provided via the bracket 64.

비디오카메라(56)는 블라켓(64)을 통하여 가장 하부에 위치하는 리니어 모터의 리니어 가이드(62)에 설치되어 있다.The video camera 56 is attached to the linear guide 62 of the linear motor located at the bottom through the bracket 64.

삼차원 이동기구(58)는, 검사 스테이지(26)에 받아져 있는 표시용 패널(12)을 촬영할 때, 비디오카메라(56)를 소정의 높이 위치로 이동시켜 그 높이 위치를 유지한 상태로 비디오카메라를 XY방향으로 이차원적으로 이동시킨다.When the three-dimensional movement mechanism 58 photographs the display panel 12 received by the inspection stage 26, the video camera 56 is moved to a predetermined height position to maintain the height position. Move two-dimensionally in the XY direction.

패널 반송장치(20)는, 도6에 나타낸 바와 같이, 패널 받음장치(14)의 뒤에 배치되어 있고, 또 각각이 복수의 롤러를 회전축에 이것의 축선방향으로 간격을 둔 상태로 설치한 복수의 롤러 조립체(66)를 갖춘다.As shown in FIG. 6, the panel conveying apparatus 20 is arrange | positioned behind the panel receiving apparatus 14, and each of the several which provided the some roller in the state which spaced apart in the axial direction on the rotating shaft With a roller assembly 66.

롤러 조립체(66)는 패널(12)의 반송방향(도시한 예에서는 X방향)으로 간격을 두고 프레임(68)에 회전이 자유롭게 지지되어 있고, 또 도시하지 않은 구동기구에 의해 함께 회전된다.The roller assembly 66 is rotatably supported by the frame 68 at intervals in the conveyance direction (X direction in the illustrated example) of the panel 12, and is rotated together by a drive mechanism (not shown).

패널 반송장치(20)는, 도6에 있어서, 미검사 표시용 패널(12)을 왼쪽 단부의 로딩 위치에 배치되어 있는 복수의 롤러 조립체(66)에 받아 패널의 반송방향 중앙 부의 수도위치로 반송하고, 미검사 및 검사완료 표시용 패널(12)을 수도위치에서 패널 받음장치(14)에 대하여 수도하고, 검사완료 표시용 패널(12)을 오른쪽 단부의 언로딩 위치로 반송한다.The panel conveyance apparatus 20 receives the non-inspection display panel 12 by the some roller assembly 66 arrange | positioned at the loading position of a left edge part, and conveys to the water supply position of the center part of the conveyance direction of a panel in FIG. Then, the non-inspected and inspected display 12 is transferred to the panel receiving device 14 at the water supply position, and the inspected display 12 is conveyed to the unloading position at the right end.

즉, 패널 반송장치(20)는 검사완료 표시용 패널(12)을 수도위치에서 패널 반송수도장치(22)로부터 받아 도6에서 오른쪽 단부로 반송하고, 미검사 표시용 패널(12)을 도6에서 왼쪽 단부에서 수도위치까지 반송한다. 미검사 및 검사완료 표시용 패널(12)을 패널 받음장치(14)에 대하여 수도할 때, 패널 반송장치(20)는 정지된다.That is, the panel conveying apparatus 20 receives the inspection completion display panel 12 from the panel conveying water supply apparatus 22 at the water supply position and conveys it to the right end in FIG. 6, and the uninspected display panel 12 is conveyed to FIG. Conveys from the left end to the water supply position. When the non-inspection and inspection completion display panel 12 is also provided to the panel receiving device 14, the panel conveying device 20 is stopped.

또 패널 반송장치(20)는, 미검사 표시용 패널(12)의 얼라이먼트를 하는 얼라이먼트 장치(70)와, 미검사 및 검사완료 표시용 패널(12)을 패널 반송수도장치(22)에 대하여 수도하는 수도기구(72)를 수도위치에 배치하고 있다.Moreover, the panel conveying apparatus 20 can also carry out the alignment apparatus 70 which aligns the uninspected display panel 12, and the uninspected and inspected completion display panel 12 with respect to the panel conveyance water supply apparatus 22. As shown in FIG. A water supply mechanism 72 is disposed at a water supply position.

얼라이먼트 장치(70)는, 미검사 표시용 패널(12)이 수도위치로 반송되어 온 것을 패널 센서(74)로 감지하고, 그에 의해 2조(組)의 위치결정부재(76)를 서로 접근하는 방향으로 이동시켜 그들 위치결정부재(76)에 의해 표시용 패널(12)의 마주보는 2변을 끼움으로써, 표시용 패널(12)의 센터링을 한다. 이에 의해, 미검사 표시용 패널(12)은 얼라이먼트된다.The alignment device 70 senses that the non-inspection display panel 12 has been conveyed to the water supply position by the panel sensor 74, thereby approaching two sets of positioning members 76 to each other. The display panel 12 is centered by moving in the direction to sandwich two opposite sides of the display panel 12 by the positioning members 76. As a result, the non-inspection display panel 12 is aligned.

위치결정부재(76)는 표시용 패널(12)이 수도위치로 반송되어 올 때까지는 그 상단부가 패널 반송장치(22)에 의한 패널 반송로의 아래쪽 대기위치에 위치하는 상태로 대기하고 있다.The positioning member 76 waits in the state where the upper end part is located in the standby position below the panel conveyance path by the panel conveyance apparatus 22 until the display panel 12 is conveyed to the water supply position.

그러나 표시용 패널(12)이 패널 센서(74)에 의해 감지되면, 위치결정부 재(76)는 그 상단부가 패널 반송로에 돌출되어 표시용 패널(12)을 정지시킴과 동시에, 서로 접근하는 방향으로 이동되어 그 표시용 패널(12)을 끼운다.However, when the display panel 12 is sensed by the panel sensor 74, the positioning member 76 protrudes on the panel conveyance path to stop the display panel 12 and approach each other. Is moved in the direction to sandwich the display panel 12.

얼라이먼트 장치(70)는, 표시용 패널(12)의 센터링을 한 후, 위치결정부재(76)를 역방향으로 이동시켜 대기위치로 되돌리고, 표시용 패널(12)을 해방한다.After centering the display panel 12, the alignment device 70 moves the positioning member 76 in the reverse direction to return to the standby position, and releases the display panel 12.

수도기구(72)는 패널 반송장치(18)에 의한 패널 반송로에 출입되는 복수의 리프터 핀(78)을 갖춘다.The water supply mechanism 72 is equipped with the some lifter pin 78 which enters and exits the panel conveyance path by the panel conveyance apparatus 18. As shown in FIG.

수도기구(72)는 리프터 핀(78)을 도시하지 않은 구동기구에 의해 패널 반송장치(18)에 의한 패널 반송로에 함께 돌출시킴으로써, 표시용 패널(12)을 리프터 핀(78)에 패널 반송장치(20) 또는 패널 반송수도장치(22)로부터 받는다.The water supply mechanism 72 protrudes the display panel 12 to the lifter pin 78 by projecting the lifter pin 78 together to the panel conveyance path by the panel conveying apparatus 18 by the drive mechanism which is not shown in figure. It receives from the apparatus 20 or the panel conveyance water supply apparatus 22. FIG.

또 수도기구(72)는, 리프터 핀(78)을 상기 구동기구에 의해 패널 반송장치(18)에 의한 패널 반송로의 아래쪽으로 함께 후퇴시킴으로써, 표시용 패널(12)을 패널 반송장치(20) 또는 패널 반송수도장치(22)로 건넨다.Moreover, the water supply mechanism 72 retracts the lifter pin 78 together below the panel conveyance path by the panel conveyance apparatus 18 by the said drive mechanism, and the display panel 12 is conveyed by the panel conveyance apparatus 20. FIG. Or it is handed over to the panel conveyance water supply device 22.

도2 내지 도4에 나타낸 바와 같이, 전후방향으로 간격을 두고 마주보는 상태로 패널 받음장치(14)의 하우징(24)에 지지된 한 쌍의 가이드 기구(80)와, 각각이 가이드 기구(80)로부터 상대의 가이드 기구(80) 쪽으로 연장하는 상태로 가이드 기구(80)에 설치된 한 쌍의 암(82)과, 각 암(82)의 선단부에 설치된 복수의 흡착 패드(84)를 갖춘다.As shown in Figs. 2 to 4, a pair of guide mechanisms 80 supported by the housing 24 of the panel receiving device 14 in a state of facing each other in the front-rear direction and each of the guide mechanisms 80 ) And a pair of arms 82 provided in the guide mechanism 80 and a plurality of suction pads 84 provided at the distal end of each arm 82 in a state extending toward the opposing guide mechanism 80.

각 가이드 기구(80)는 리니어 모터이고, 고정자를 전후방향으로 수평으로 연장하는 상태로 하우징(24)에 설치하고, 가동자에 암(82)을 설치하고 있다. 양 가이드 기구(80)는 표시용 패널(12)을 검사 스테이지(26)의 위쪽과 패널 반송장치(20) 의 위쪽으로 반송하도록 연장해 있고, 또 대응하는 암(82)을 함께 반대로 전후방향으로 이동시킨다.Each guide mechanism 80 is a linear motor, is provided in the housing 24 in the state which extends a stator horizontally in the front-back direction, and the arm 82 is attached to the movable body. Both guide mechanisms 80 extend the display panel 12 to the upper side of the inspection stage 26 and the upper side of the panel conveying apparatus 20, and move the corresponding arms 82 together in the forward and backward directions together. Let's do it.

각 가이드 기구(80)를 리니어 모터로 하는 대신에, 암(82)을 가이드 기구에 대하여 이동시키는 이동기구를 갖추어도 좋다.Instead of using each guide mechanism 80 as a linear motor, a moving mechanism for moving the arm 82 relative to the guide mechanism may be provided.

상기와 같이 양 가이드 기구(80)가 패널 받음장치(14)로부터 그 뒤쪽으로 돌출해 있기 때문에, 하우징(24)의 뒷면에 배치된 폐쇄 패널(30)은 패널 반송수도장치(22)가 표시용 패널(12)의 반송을 방해하지 않는 개구를 갖고 있다.Since both guide mechanisms 80 protrude rearward from the panel receiving device 14 as described above, the panel conveyance device 22 is used for display in the closed panel 30 disposed on the rear surface of the housing 24. It has an opening which does not prevent the conveyance of the panel 12.

각 흡착 패드(84)는 표시용 패널(12)을 진공 흡착하는 공지의 패드이고, 대응하는 암(82)이 전후방향으로 이동됨으로써 표시용 패널(12)을 수평으로 반송한다.Each adsorption pad 84 is a well-known pad which vacuum-adsorbs the display panel 12, and the corresponding arm 82 is moved to the front-back direction, and conveys the display panel 12 horizontally.

양 가이드 기구(80)에 의한 패널 반송위치는 그들의 높이 위치가 겹치지 않도록 상하방향으로 물러져 있다.The panel conveyance position by both guide mechanisms 80 is backed up and down so that these height positions may not overlap.

패널 반송수도장치(22)는 먼저 미검사 표시용 패널(12)을 패널 반송장치(20)로부터 한쪽 흡착 패드(84)에 받고, 검사완료 표시용 패널(12)을 패널 받음장치(14)로부터 다른쪽 흡착 패드(84)에 받는다.The panel conveying water supply device 22 first receives the non-inspection display panel 12 from the panel conveying device 20 by one suction pad 84, and receives the inspection completion display panel 12 from the panel receiving device 14. The other suction pad 84 is received.

이어서, 패널 반송수도장치(22)는 양 암(82)을 역방향으로 이동시켜, 미검사 표시용 패널(12)을 패널 받음장치(14)로 반송하고, 검사완료 표시용 패널(12)을 패널 반송장치(20) 쪽으로 반송한다.Subsequently, the panel conveyance water supply device 22 moves both arms 82 in the reverse direction, conveys the non-inspection display panel 12 to the panel receiving device 14, and returns the inspection completion display panel 12 to the panel. It conveys to the conveying apparatus 20 side.

계속해서, 패널 반송수도장치(22)는 흡착하고 있는 표시용 패널(12)을 패널 받음장치(14) 및 패널 반송장치(20)에 건넨 후, 암(82) 및 흡착 패드(84)를 점등검 사에 방해되지 않는 위치에 대기시킨다.Subsequently, the panel conveyance water supply device 22 passes the display panel 12 that is adsorbed to the panel receiving device 14 and the panel conveying device 20, and then turns on the arm 82 and the suction pad 84. Wait in a location where it will not interfere with inspection

상기 점등 검사장치(10)는 하기와 같이 동작하고, 그에 의해 표시용 패널(12)은 하기와 같이 처리된다.The lighting inspection apparatus 10 operates as follows, whereby the display panel 12 is processed as follows.

미검사 표시용 패널(12)은 패널 반송장치(20)에 의해 수도위치에 수평상태로 반송되고, 얼라이먼트 장치(70)에 의해 수평상태로 얼라이먼트되어, 패널 반송수도장치(22)의 한쪽 흡착 패드(84)에 수평상태로 건네짐과 동시에 그들 흡착 패드(84)에 의해 검사 스테이지(26)의 위쪽에 수평상태로 반송된다.The non-inspection display panel 12 is conveyed in a horizontal state to the water supply position by the panel conveying apparatus 20, is aligned in a horizontal state by the alignment apparatus 70, and one suction pad of the panel conveying water supply apparatus 22 is used. It is passed in the horizontal state to 84, and is conveyed in the horizontal state above the test | inspection stage 26 by those adsorption pads 84. FIG.

상기와 병행하여, 검사완료 표시용 패널(12)은 검사 스테이지(26)에 의해 수평상태로 유지된 상태로 워크 테이블(42)이 상승된 후 하강됨으로써, 패널 반송수도장치(22)의 다른쪽 흡착 패드(84)에 수평상태로 건네지고, 그들 흡착 패드(84)에 의해 패널 반송장치(20)의 위쪽에 수평상태로 반송된다.In parallel with the above, the inspection completion display panel 12 is lowered after the work table 42 is raised and lowered in a state where the inspection completion display panel 12 is maintained in a horizontal state. It is passed to the suction pad 84 in a horizontal state, and is conveyed in a horizontal state above the panel conveying apparatus 20 by these suction pads 84.

검사 스테이지(26)의 위쪽에 반송된 미검사 표시용 패널(12)은 워크 테이블(42)이 상승된 후 하강됨으로써, 패널 반송수도장치(22)의 한쪽 흡착 패드(84)로부터 검사 스테이지(26)로 수평상태로 건네진다.The non-inspection display panel 12 conveyed above the inspection stage 26 is lowered after the work table 42 is raised, so that the inspection stage 26 is removed from one suction pad 84 of the panel conveyance water supply device 22. Is passed horizontally).

그 후, 미검사 표시용 패널(12)은 워크 테이블(42)이 소정의 높이 위치 및 자세로 유지된 상태로, 점등 검사된다. 이 점등 검사 시, 미검사 표시용 패널(12)은 백라이트 유닛(44)에 의해 배면으로부터 조명됨과 동시에, 도시하지 않은 프로브에 의해 통전(通電)되고, 소정의 점등 상태가 된다.Thereafter, the non-inspection display panel 12 is lighted and inspected while the work table 42 is held at a predetermined height position and posture. At this lighting test, the uninspected display panel 12 is illuminated from the back by the backlight unit 44, and is energized by a probe (not shown) to be in a predetermined lighting state.

이에 대하여, 패널 반송장치(20)의 위쪽에 반송된 검사완료 표시용 패널(12)은 리프터 핀(78)이 상승됨으로써, 그 표시용 패널(12)을 리프터 핀(78)에 받고, 리프터 핀(78)이 하강됨으로써 롤러 조립체(66)에 건넨다.On the other hand, the inspection completion display panel 12 conveyed above the panel conveyance apparatus 20 receives the display panel 12 by the lifter pin 78 by lifting the lifter pin 78, and the lifter pin 78 lifts the pin. The 78 is lowered to pass it to the roller assembly 66.

그 후, 검사완료 표시용 패널은 도6에서 오른쪽 끝으로 반송되고, 인력 또는 로봇에 의해 패널 반송장치(20)로부터 제거된다. 이와 병행하여, 다음 표시용 패널(12)이 도6에서 패널 반송장치(20)의 왼쪽 끝에 놓이고 패널 반송장치(20)에 의해 수도위치로 반송된다.Thereafter, the inspection completion display panel is conveyed to the right end in Fig. 6, and removed from the panel conveying apparatus 20 by human or robot. In parallel with this, the next display panel 12 is placed at the left end of the panel conveying apparatus 20 in FIG. 6 and conveyed to the water supply position by the panel conveying apparatus 20.

육안 점등검사 동안, 커버(36)는 하우징(24)으로부터 떼어 내어져 개구(32)를 개방하고 있다.During the visual lighting test, the cover 36 is removed from the housing 24 to open the opening 32.

그러나 검사 스테이지(26)는 받고 있는 표시용 패널(12)을 작업자가 육안 검사를 위해 개구(32)를 통하여 눈으로 볼 때만, 그 표시용 패널(12)을 개구로 향하고, 그 상태를 유지하도록 변위기구(16)에 의해 도7에서 점선으로 나타낸 바와 같이 변위된다. 이 때문에, 작업자는 표시용 패널(12)을 이것에 수직인 방향에서 눈으로 볼 수 있고, 높은 검사 정밀도로 육안 점등검사를 할 수 있다.However, the inspection stage 26 is directed so that the display panel 12 faces the opening only when the operator visually sees the display panel 12 that is being received through the opening 32 for visual inspection. It is displaced by the displacement mechanism 16 as shown by the dotted line in FIG. For this reason, the operator can visually see the display panel 12 in the direction perpendicular | vertical to this, and can visually test a lighting with high inspection precision.

육안 점등검사가 종료하면, 검사 스테이지(26)는 받고 있는 표시용 패널(12)을 비디오카메라(56)를 향해 위로 향하는 상태를 유지하도록, 변위기구(16)에 의해 도6에 실선으로 나타낸 바와 같이 변위된다.When the visual lighting test is finished, the inspection stage 26 is shown by the displacement mechanism 16 in a solid line in FIG. 6 so as to maintain the display panel 12 under the upward direction toward the video camera 56. As displaced.

자동 점등검사 동안, 커버(36)는 하우징(24)에 설치되어, 개구(32)를 폐쇄하고 있다. 또 검사 스테이지(26)는 도6에 실선으로 나타낸 바와 같이, 받고 있는 표시용 패널(12)을 비디오카메라(56)를 향한 수평상태로 유지한다.During the automatic lighting test, the cover 36 is provided in the housing 24 to close the opening 32. In addition, the inspection stage 26 maintains the received display panel 12 in the horizontal state toward the video camera 56, as shown by the solid line in FIG.

상기 상태로, 비디오카메라(56)는 표시용 패널(12)을 촬영하고, 촬영한 화상 신호를 테스터에서의 화상 처리 및 패널의 양부(良否)판정 처리를 위해 테스터에 출력한다. 이 때문에, 점등된 표시용 패널(12)을 이것에 수직인 위쪽에서 비디오카메라(56)에 의해 촬영할 수 있으므로, 촬영 정밀도가 높고, 그 결과 자동 점등검사에서의 검사 정밀도도 높아진다.In this state, the video camera 56 photographs the display panel 12, and outputs the photographed image signal to the tester for image processing in the tester and for both sides determination processing of the panel. For this reason, since the lighted display panel 12 can be image | photographed by the video camera 56 from the upper perpendicular | vertical to this, imaging precision is high and as a result, the inspection precision in automatic lighting inspection also becomes high.

상기와 같이, 표시용 패널(12)의 반송 및 수도 동안, 표시용 패널(12)을 수평상태로 유지하면, 그 사이 표시용 패널(12)이 안정하여, 반송 및 수도를 정확하고 확실하게 안정하게 행할 수 있다.As described above, when the display panel 12 is held in a horizontal state during the conveyance and water supply of the display panel 12, the display panel 12 is stable in the meantime, so that the conveyance and water supply can be accurately and reliably stabilized. I can do it.

상기 점등 검사장치(10)는, 이것을 육안 점등검사 전용기로서 이용할 때는 도1에 나타낸 바와 같이 커버(36)를 하우징(24)으로부터 떼어 낸 상태로 사용해도 좋지만, 도8에 나타낸 바와 같이 패널 촬영장치(18)를 떼어 내고 사용해도 좋고, 도9에 나타낸 바와 같이 패널 촬영장치(18) 및 패널 반송장치(20)를 떼어 내고 사용해도 좋다.The lighting inspection apparatus 10 may use the cover 36 with the cover 36 removed from the housing 24 as shown in FIG. 1 when using this as a visual lighting inspection dedicated device. However, as shown in FIG. (18) may be removed and used, or the panel photographing apparatus 18 and the panel conveying apparatus 20 may be removed and used as shown in FIG.

상기와 같이, 점등 검사장치(10)는 표시용 패널(12)을 경사시킨 상태 및 수평을 유지한 상태의 어느 한 상태로 검사를 하기 때문에, 표시용 패널(12)의 검사 동안만 프로브를 표시용 패널(12)의 전극에 누르고, 그 외의 동안에는 특히 패널의 수도 동안은, 프로브를 수도 작업에 방해가 되지 않는 위치로 퇴피(退避)시키는 프로브 유닛을 이용하는 것이 바람직하다.As described above, since the lighting inspection device 10 inspects the display panel 12 in either a state in which the display panel 12 is inclined or in a horizontal state, the probe is displayed only during the inspection of the display panel 12. It is preferable to use the probe unit which presses on the electrode of the panel 12 for repellence, and retracts a probe to the position which does not interfere with water service | work especially during other times of water supply of a panel.

그와 같은 프로브 유닛 및 그것을 이용한 검사장치, 예를 들어 일본 특개2002-350485호 공보에 개시되어 있다. 그와 같은 공지의 프로브 유닛은 본 발명의 경우, 전체가 검사 스테이지(26)와 함께 변위되도록 검사 스테이지(26)에 설치된다.Such a probe unit and an inspection apparatus using the same are disclosed, for example, in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-350485. Such known probe units are, in the case of the present invention, installed in the inspection stage 26 such that the whole is displaced with the inspection stage 26.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the spirit thereof.

본 발명은, 육안 점등검사 및 자동 점등검사를 선택적으로 행할 수 있음에 상관없이, 육안 점등검사 및 자동 점등검사 어느 경우도 검사 정밀도를 향상시킬 수 있는 발명의 효과를 갖는다.The present invention has the effect of the invention that the inspection accuracy can be improved in both the visual lighting test and the automatic lighting test, regardless of whether the visual lighting test and the automatic lighting test can be selectively performed.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

Claims (7)

표시용 패널을 받고 이것을 점등시키는 패널 받음장치로서 하우징 및 상기 하우징 내에 배치된 검사 스테이지를 갖추고, 상기 표시용 패널을 상기 검사 스테이지에 받는 패널 받음장치와, 상기 검사 스테이지에 배치된 표시 패널을 위쪽에서 촬영하는 비디오카메라를 갖춘 패널 촬영장치를 포함하고,A panel receiving device that receives a display panel and turns it on, includes a housing and an inspection stage disposed in the housing, the panel receiving device receiving the display panel at the inspection stage, and a display panel disposed at the inspection stage from above. Including a panel shooting device with a video camera to shoot, 상기 하우징은 상기 검사 스테이지에 받은 표시용 패널을 상기 하우징의 전면 쪽에서 눈으로 볼 수 있는 개구를 갖고,The housing has an opening through which the display panel received at the inspection stage can be seen from the front side of the housing, 상기 검사 스테이지에 받은 표시용 패널을 상기 개구 및 상기 비디오카메라에 선택적으로 향하도록, 상기 검사 스테이지를 변위시키는 변위기구와, 상기 개구를 개방 가능하게 폐쇄하는 커버와, 상기 개구를 규정하도록 상기 하우징에 배치된 사각형의 커버 받이로서 상기 커버의 아래 가장자리를 받도록 위쪽으로 개방하고 수평방향으로 연장하는 홈을 갖는 커버 받이를 더 포함하고,A displacement mechanism for displacing the inspection stage to selectively direct the display panel received at the inspection stage to the opening and the video camera, a cover for closing the opening so as to be openable, and a housing for defining the opening. A rectangular cover receiving disposed further comprising a cover receiving having a groove extending upwardly and horizontally extending to receive a lower edge of the cover; 상기 커버는, 복수의 나사부재에 의해 상기 커버 받이에 탈부착 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.And said cover is detachably attached to said cover base by a plurality of screw members. 제1항에 있어서, 상기 패널 촬영장치는 상기 패널 받음장치의 위쪽에 배치되어 있고,The apparatus of claim 1, wherein the panel photographing apparatus is disposed above the panel receiving apparatus. 상기 하우징은 상기 비디오카메라가 상기 표시용 패널을 촬영하는 것을 허락하도록 상부를 개방하고 있는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.And the housing is open at an upper portion to allow the video camera to photograph the display panel. 제2항에 있어서, 상기 패널 촬영장치는, 상기 비디오카메라가 배치된 제2 하우징으로서 상기 패널 받음장치의 하우징 위에 탈부착 가능하게 배치된 제2 하우징과, 상기 제2 하우징에 지지된 삼차원 이동기구로서 상기 비디오카메라를 아래를 향하게 지지함과 동시에, 상하, 좌우 및 전후의 3방향으로 변위시키는 삼차원 이동기구를 더 갖춘 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.3. The panel photographing apparatus of claim 2, wherein the panel photographing apparatus comprises a second housing in which the video camera is disposed, a second housing detachably disposed on a housing of the panel receiving apparatus, and a three-dimensional moving mechanism supported by the second housing. And a three-dimensional moving mechanism for supporting the video camera downward and displacing it in three directions of up, down, left and right, and front and rear. 제1항에 있어서, 상기 검사 스테이지는, 상기 표시용 패널을 받는 워크 테이블과, 상기 워크 테이블에 배치된 백라이트 유닛과, 상기 워크 테이블을 최소한 상하방향으로 이동시키는 테이블 이동기구를 갖추고, 상기 변위기구는 상기 표시용 패널을 상기 개구 및 상기 비디오카메라를 선택적으로 향하도록 상기 테이블 이동기구를 변위시키는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.The said inspection stage is provided with the work table which receives the said display panel, the backlight unit arrange | positioned at the said work table, and the table moving mechanism which moves the said work table at least up-down direction, The said displacement mechanism And displacing the table moving mechanism so that the display panel faces the opening and the video camera selectively. 제1항에 있어서, 상기 변위기구는, 상기 하우징 내에 배치된 지지대와, 상기 지지대에 X방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전 가능하게 지지된 지지부재로서 상기 검사 스테이지를 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재를 상기 축선 주위로 각도적으로 회전시키는 액츄에이터를 갖춘 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.The apparatus of claim 1, wherein the displacement mechanism comprises: a support disposed in the housing, a support member supporting the inspection stage as a support member rotatably supported at an angle about an axis extending in the X direction to the support; And an actuator for rotating the support member at an angle around the axis. 제1항에 있어서, 미검사 표시용 패널 및 검사완료 표시용 패널을 수평으로 반송하는 패널 반송장치와, 미검사 표시용 패널을 상기 패널 반송장치로부터 수평으로 받아 상기 검사 스테이지로 수평으로 건넴과 동시에, 검사완료 표시용 패널을 상기 검사 스테이지로부터 수평으로 받아 상기 패널 반송장치로 수평으로 건네는 패널 반송수도장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.A panel conveying apparatus for horizontally conveying an uninspected display panel and an inspection completion display panel, and a non-inspected display panel horizontally received from the panel conveying apparatus and being passed horizontally to the inspection stage. And a panel conveyance water supply device which horizontally receives the inspection completion display panel from the inspection stage and passes it horizontally to the panel conveyance device. 삭제delete
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006133099A (en) * 2004-11-08 2006-05-25 Micronics Japan Co Ltd Inspection device of display panel
US7717254B2 (en) * 2008-05-29 2010-05-18 Corning Incorporated Glass sheet guidance system and method for guiding glass sheets
CN102914889B (en) * 2012-11-15 2016-05-04 昆山迈致治具科技有限公司 LCD measurement jig
WO2017068646A1 (en) * 2015-10-20 2017-04-27 堺ディスプレイプロダクト株式会社 Testing device, testing method, and testing program
CN112059403B (en) * 2020-08-26 2022-07-15 苏州迈为科技股份有限公司 Follow-up OLED screen body laser repairing method for lighting mechanism

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09258157A (en) * 1996-03-26 1997-10-03 Nippon Maikuronikusu:Kk Liquid crystal panel inspecting device
KR20030078650A (en) * 2002-03-29 2003-10-08 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 Inspection Device for Device Under Test
KR20040094303A (en) * 2003-05-02 2004-11-09 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 Apparatus for Inspecting Display Panel

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10170398A (en) * 1996-12-10 1998-06-26 Micronics Japan Co Ltd Inspection equipment for liquid crystal panel
JP2000066164A (en) * 1998-08-25 2000-03-03 Toshiba Electronic Engineering Corp Substrate appearance inspection apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09258157A (en) * 1996-03-26 1997-10-03 Nippon Maikuronikusu:Kk Liquid crystal panel inspecting device
KR20030078650A (en) * 2002-03-29 2003-10-08 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 Inspection Device for Device Under Test
KR20040094303A (en) * 2003-05-02 2004-11-09 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 Apparatus for Inspecting Display Panel

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