KR100787742B1 - Probe card cognition apparatus and probe card cognition method using the same - Google Patents

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Abstract

A probe card recognition apparatus and a probe card recognition method using the same are provided to recognize whether the probe card is operated normally by measuring a voltage value or a current value which are outputted by adding the voltage or the current value using the binary scale. A main body(110) is connected electrically to a plurality of probe cards. A signal supply unit(130) is connected to the main body electrically, and provides an input signal to each probe card. A signal measuring unit(140) is connected to the main body electrically, measures an output signal of each probe card about the input signal from the signal supply unit. A display unit(120) displays an operation state of the probe card by comparing a predetermined output signal value to the output value outputted from the measuring unit.

Description

프로브 카드 인식장치 및 이를 이용한 프로브 카드 인식방법{PROBE CARD COGNITION APPARATUS AND PROBE CARD COGNITION METHOD USING THE SAME}PROBE CARD COGNITION APPARATUS AND PROBE CARD COGNITION METHOD USING THE SAME}

도 1은 본 발명의 프로브 카드 인식장치를 보여주는 평면도이다.1 is a plan view showing a probe card recognition apparatus of the present invention.

도 2는 프로브 카드에 인식장치가 설치된 것을 보여주는 평면도이다.2 is a plan view showing that the recognition device is installed on the probe card.

도 3은 본 발명의 프로브 카드 인식방법을 보여주는 흐름도이다.3 is a flowchart showing a probe card recognition method of the present invention.

본 발명은 프로브 카드 인식장치 및 이를 이용한 프로브 카드 인식방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 프로브 헤드에 장착되는 프로브 카드를 자동으로 인식할 수 있도록 할 수 있는 프로브 카드 인식장치 및 이를 이용한 프로브 카드 인식방법에 관한 것이다.The present invention relates to a probe card recognition device and a probe card recognition method using the same, and more particularly, a probe card recognition device and a probe card recognition using the same, which can automatically recognize a probe card mounted on a probe head. It is about a method.

일반적으로, 반도체 제조공정은 웨이퍼 상에 다수의 칩을 형성하는 패브릭케이션(Fabrication) 공정과, 웨이퍼 상에 형성된 각 칩의 전기적 특성을 검사하는 이디에스(EDS;Electric Die Sorting) 공정 및, 이디에스 공정에 의해 판별된 양품 칩을 개개로 분리시킨 다음 이 칩들이 외부의 기계적, 물리적, 화학적인 충격으로부터 보호되도록 칩들을 패키징(Packaging)하는 어셈블리(Assembly) 공정을 포함한 다.In general, a semiconductor manufacturing process includes a fabrication process for forming a plurality of chips on a wafer, an electric die sorting (EDS) process for inspecting electrical characteristics of each chip formed on a wafer, and It includes an assembly process in which the good chips identified by the process are individually separated and then packaged so that the chips are protected from external mechanical, physical and chemical shocks.

이들 공정 중에서 이디에스 공정은 웨이퍼 상에 형성된 칩들의 양ㆍ불량을 판별하기 위한 공정으로, 웨이퍼 상의 각 칩들에 소정 전기적인 신호를 전달한 다음 이 전달된 전기적 신호로부터 체크(Check)되는 신호에 의해 칩들의 양ㆍ불량을 판별한다.Among these processes, the DS process is a process for determining the quantity and defect of chips formed on the wafer. The chips are transferred to each chip on the wafer by a signal which is then checked by the transmitted electrical signal. Determine whether or not they are bad.

하지만, 웨이퍼 상에 형성된 각 칩들은 매우 작은 크기이기 때문에 소정 전기적인 신호를 발생하는 테스터(Tester)를 각 칩들에 직접 연결하는 것은 매우 난해하다. 따라서, 소정 전기적인 신호를 발생하는 테스터와 칩이 형성된 웨이퍼의 사이에는 다수개의 프로브 니들(Probe needle)이 구비된 프로브 카드(Probe card)가 그 중간 매개체로 사용되고 있다. 이에 따라, 테스터는 칩의 테스트를 위한 소정 전기적인 신호를 발생하여 이를 프로브 카드로 전달하게 되고, 프로브 카드는 이와 같이 전달된 소정 전기적인 신호를 그 프로브 니들을 통하여 각 칩들에 전달하게 된다. 따라서, 각 칩들의 양ㆍ불량은 이와 같이 전달되는 신호 및 이로부터 체크되는 신호에 의해 판별된다.However, since each chip formed on the wafer is very small in size, it is very difficult to directly connect a tester that generates a predetermined electrical signal to each chip. Therefore, a probe card having a plurality of probe needles is used as an intermediate medium between the tester generating a predetermined electrical signal and the wafer on which the chip is formed. Accordingly, the tester generates a predetermined electrical signal for testing the chip and transmits it to the probe card, and the probe card delivers the predetermined electrical signal to each chip through the probe needle. Therefore, the quantity or defect of each chip is determined by the signal transmitted in this way and the signal checked therefrom.

상기와 같이, 웨이퍼 상태의 전기적 특성 검사에서 프로브 카드의 중요성은 매우 크다. 상기 프로브 카드는 반도체 칩의 양품, 불량품 여부를 결정하는 중요 요소로 작용할 뿐만 아니라, 전체적인 검사 공정의 질과도 밀접한 관련이 있다.As mentioned above, the importance of the probe card is very important in the inspection of the electrical properties of the wafer state. The probe card not only acts as an important factor in determining whether the semiconductor chip is good or bad, but is also closely related to the quality of the entire inspection process.

따라서, 상기 프로브 카드에 대한 효율적인 관리가 필요하다.Therefore, there is a need for efficient management of the probe card.

그러나, 종래에는 프로브 카드의 관리를 작업자에게만 의존하여 대부분 수동으로 이루어지고 있어 관리에 어려움이 많은 문제점이 있다.However, in the related art, the management of the probe card is mostly done by the operator only, and thus the manual management is difficult.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결할 수 있도록 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 프로브 헤드에 장착되는 프로브 카드를 자동으로 인식할 수 있도록 할 수 있는 프로브 카드 인식장치 및 이를 이용한 프로브 카드 인식방법을 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is a probe card recognition device and probe card recognition using the same that can automatically recognize the probe card mounted on the probe head In providing a method.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 프로브 카드 인식장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a probe card recognition apparatus.

상기 인식장치는 다수개의 프로브 카드에 전기적으로 연결된 장치본체와; 상기 장치본체와 전기적으로 연결되어 상기 프로브 카드 각각에 입력신호를 제공하는 신호제공부와; 상기 장치본체와 전기적으로 연결되어 상기 신호제공부로부터 제공된 입력신호에 대한 상기 프로브 카드 각각의 출력신호를 측정하는 측정부; 및 상기 장치본체에 마련되되, 상기 측정부에서 측정되는 출력신호의 값과 기설정된 출력신호의 값과 비교하여 상기 프로브 카드의 정상작동 유무를 표시하여 주는 표시부를 포함한다.The recognition device includes an apparatus body electrically connected to a plurality of probe cards; A signal providing unit electrically connected to the apparatus main unit to provide an input signal to each of the probe cards; A measuring unit electrically connected to the apparatus main unit and measuring an output signal of each probe card with respect to an input signal provided from the signal providing unit; And a display unit provided in the apparatus body and displaying whether the probe card is normally operated by comparing the value of the output signal measured by the measurement unit with a value of a preset output signal.

여기서, 상기 입력신호는 전압값 또는 전류값 중 어느 하나 이고, 상기 출력신호는 상기 입력신호가 전압값인 경우에 전압값이고, 전류값인 경우에 전류값인 것이 바람직하다.Here, the input signal is either a voltage value or a current value, and the output signal is preferably a voltage value when the input signal is a voltage value and a current value when the current signal is a current value.

그리고, 상기 표시부에는 상기 프로브 카드들 각각의 고유인식번호가 마련되는 것이 바람직하다.In addition, the display unit is preferably provided with a unique identification number of each of the probe cards.

또한, 상기 표시부에는 상기 프로브 카드의 정상작동 유무가 이진법으로 표시되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the normal operation of the probe card is displayed on the display unit in binary manner.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 프로브 카드 인식방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a probe card recognition method.

상기 프로브 카드 인식방법은 다수개의 프로브 카드들이 설치된 프로브 헤드에 상기 프로브 카드들로 입력신호를 제공하고.The probe card recognition method provides an input signal to the probe cards in a probe head provided with a plurality of probe cards.

상기 프로브 카드들 각각으로부터의 상기 입력신호에 대한 출력신호의 값을 측정하고,Measure a value of an output signal for the input signal from each of the probe cards,

상기 측정되는 출력신호의 값을 기설정된 출력신호의 값과 비교하여 상기 프로브 카드들 각각의 정상작동유무를 판단한다.The value of the measured output signal is compared with a value of a preset output signal to determine whether each of the probe cards operates normally.

여기서, 상기 입력신호는 전압값 또는 전류값 중 어느 하나 이고, 상기 출력신호는 상기 입력신호가 전압값인 경우에 전압값이고, 전류값인 경우에 전류값인 것이 바람직하다.Here, the input signal is either a voltage value or a current value, and the output signal is preferably a voltage value when the input signal is a voltage value and a current value when the current signal is a current value.

그리고, 상기 출력신호는 상기 프로브 카드들 각각의 고유인식번호별로 측정되는 것이 바람직하다.The output signal is preferably measured for each unique identification number of each of the probe cards.

또한, 상기 프로브 카드의 정상작동 유무가 이진법으로 표시되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the normal operation of the probe card is displayed in binary.

이하, 첨부되는 도면들을 참조로 하여, 본 발명의 프로브 카드 인식장치 및 이를 사용한 프로브 카드 인식방법을 설명하도록 한다.Hereinafter, a probe card recognition apparatus and a probe card recognition method using the same will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 프로브 카드 인식장치를 보여주는 평면도이다. 도 2는 프로브 카드에 인식장치가 설치된 것을 보여주는 평면도이다. 도 3은 본 발명의 프로브 카드 인식방법을 보여주는 흐름도이다.1 is a plan view showing a probe card recognition apparatus of the present invention. 2 is a plan view showing that the recognition device is installed on the probe card. 3 is a flowchart showing a probe card recognition method of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조로 하면, 본 발명의 프로브 카드 인식장치는 다수개의 프로브 카드(200)에 전기적으로 연결된 장치본체(110)와, 상기 장치본체(110)와 전기적으로 연결되어 상기 프로브 카드들(200)에 각각 입력신호를 제공하는 신호제공부(130)와, 상기 장치본체(110)와 전기적으로 연결되어 상기 신호제공부(130)로부터 제공된 입력신호에 대한 상기 프로브 카드(200)를 각각의 출력신호를 측정하는 측정부 (140)및 상기 장치본체(110)에 마련되되, 상기 측정부(140)에서 측정되는 출력신호의 값과 기설정된 출력신호의 값과 비교하여 상기 프로브 카드(200)의 정상작동 유무를 표시하여 주는 표시부(120)를 구비한다.1 and 2, the probe card recognizing apparatus of the present invention includes a device main body 110 electrically connected to a plurality of probe cards 200, and a probe card electrically connected to the device main body 110. A signal providing unit 130 for providing an input signal to each of the fields 200 and the probe card 200 electrically connected to the apparatus main body 110 for the input signal provided from the signal providing unit 130. It is provided in the measuring unit 140 and the device main body 110 for measuring each output signal, and compares the value of the output signal measured by the measuring unit 140 with the value of the predetermined output signal (the probe card ( It is provided with a display unit 120 for indicating the normal operation of the 200.

여기서, 상기 입력신호는 전압값 또는 전류값 중 어느 하나 이고, 상기 출력신호는 상기 입력신호가 전압값인 경우에 전압값이고, 전류값인 경우에 전류값일 수 있다.Here, the input signal may be any one of a voltage value and a current value, and the output signal may be a voltage value when the input signal is a voltage value and a current value when the input signal is a current value.

그리고, 상기 표시부(120)에는 상기 프로브 카드들(200) 각각의 고유인식번호가 마련될 수 있다.The display unit 120 may be provided with a unique identification number of each of the probe cards 200.

또한, 상기 표시부(120)에는 상기 프로브 카드(200)의 정상작동 유무가 이진법으로 표시될 수 있다. In addition, the display unit 120 may be displayed in the binary method whether the normal operation of the probe card 200.

다음은, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 프로브 카드 인식장치를 이용한 프로브 카드 인식방법을 도 1 내지 도 3을 참조로 하여 설명하도록 한다.Next, a probe card recognition method using the probe card recognition apparatus of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

상기 프로브 카드 인식방법은 신호제공부(130)를 통하여 일정의 전압값 또는 전류값을 다수개의 프로브 카드들(200)이 설치된 프로브 헤드(미도시)에 상기 프로브 카드들(200)로 입력신호를 제공한다.(S100)In the probe card recognition method, an input signal is input to the probe cards 200 through a signal providing unit 130 to a probe head (not shown) in which a plurality of probe cards 200 are installed. Provided. (S100)

이어, 상기 프로브 카드들(200) 각각으로부터의 상기 입력신호에 대한 출력신호의 값 즉 전압값 또는 전류값을 측정부(140)에서 측정한다.(S200)Subsequently, the measurement unit 140 measures the value of the output signal with respect to the input signal from each of the probe cards 200, that is, the voltage value or the current value (S200).

이어, 상기 측정부(140)는 상기 측정되는 출력신호의 값을 기설정된 출력신호의 값과 비교하여(S300) 상기 프로브 카드들(200) 각각의 정상작동유무를 판단한다.(S400)Subsequently, the measurement unit 140 compares the value of the measured output signal with a value of a predetermined output signal (S300) to determine whether each of the probe cards 200 operates normally.

여기서, 상기 입력신호는 전압값 또는 전류값 중 어느 하나 이고, 상기 출력신호는 상기 입력신호가 전압값인 경우에 전압값이고, 전류값인 경우에 전류값일 수 있다.Here, the input signal may be any one of a voltage value and a current value, and the output signal may be a voltage value when the input signal is a voltage value and a current value when the input signal is a current value.

그리고, 상기 출력신호는 상기 프로브 카드들(200) 각각의 고유인식번호별로 측정되는 것이 좋다.The output signal may be measured for each unique identification number of each of the probe cards 200.

또한, 상기 프로브 카드(200)의 정상작동 유무가 이진법으로 표시되는 것이 좋다.In addition, it is preferable that the normal operation of the probe card 200 is displayed in a binary method.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 여러 개의 프로브 카드들을 고유인식번호별로 구분하고, 이진법을 이용하여 전류값 또는 전압값을 인가하여 출 력되는 전압값 또는 전류값을 측정하여 프로브 카드의 정상작동 여부를 인식할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, a plurality of probe cards are classified by unique identification numbers, and a voltage value or a current value is measured by applying a current value or a voltage value using a binary method to measure the normality of the probe card. There is an effect that can recognize whether it works.

또한, 종래의 수동으로 진행되던 프로브 카드 인식 방법을 자동으로 인식하도록 하여 다수개의 프로브 카드들의 관리 효율성을 향상시키고 수작업에 의한 오류를 방지할 수 있는 효과도 있다.In addition, by automatically recognizing the conventional manual probe card recognition method has the effect of improving the management efficiency of a plurality of probe cards and prevent errors by manual operation.

또한, 상기와 같이 프로브 카드들의 정상작동 여부를 자동으로 인식함을 통하여 신속한 피드백이 이루어져 검사 공정에서 수율 손실(Yield Loss)을 줄이는데 기여할 수 있는 효과도 있다.In addition, by automatically recognizing whether or not the normal operation of the probe card as described above, there is an effect that can contribute to reducing the yield loss (Yield Loss) in the inspection process.

Claims (8)

다수개의 프로브 카드에 전기적으로 연결된 장치본체;A device body electrically connected to the plurality of probe cards; 상기 장치본체와 전기적으로 연결되어 상기 프로브 카드 각각에 입력신호를 제공하는 신호제공부;A signal providing unit electrically connected to the apparatus main unit to provide an input signal to each of the probe cards; 상기 장치본체와 전기적으로 연결되어 상기 신호제공부로부터 제공된 입력신호에 대한 상기 프로브 카드 각각의 출력신호를 측정하는 측정부; 및A measuring unit electrically connected to the apparatus main unit and measuring an output signal of each probe card with respect to an input signal provided from the signal providing unit; And 상기 장치본체에 마련되되, 상기 측정부에서 측정되는 출력신호의 값과 기설정된 출력신호의 값과 비교하여 상기 프로브 카드의 정상작동 유무를 표시하여 주는 표시부를 포함하는 프로브 카드 인식장치.And a display unit provided in the apparatus main body, the display unit displaying whether the probe card is normally operated by comparing the value of the output signal measured by the measurement unit with a value of a preset output signal. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 입력신호는 전압값 또는 전류값 중 어느 하나 이고, 상기 출력신호는 상기 입력신호가 전압값인 경우에 전압값이고, 전류값인 경우에 전류값인 것을 특징으로 하는 프로브 카드 인식장치.And the input signal is one of a voltage value and a current value, and the output signal is a voltage value when the input signal is a voltage value and a current value when the input signal is a current value. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 표시부에는 상기 프로브 카드들 각각의 고유인식번호가 마련되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 인식장치.And the display unit is provided with a unique identification number of each of the probe cards. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 표시부에는 상기 프로브 카드의 정상작동 유무가 이진법으로 표시되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 인식장치.Probe card recognition device, characterized in that the display unit displays the normal operation of the probe card in binary. 다수개의 프로브 카드들이 설치된 프로브 헤드에 상기 프로브 카드들로 입력신호를 제공하고.Providing an input signal to the probe cards in a probe head having a plurality of probe cards installed therein; 상기 프로브 카드들 각각으로부터의 상기 입력신호에 대한 출력신호의 값을 측정하고,Measure a value of an output signal for the input signal from each of the probe cards, 상기 측정되는 출력신호의 값을 기설정된 출력신호의 값과 비교하여 상기 프로브 카드들 각각의 정상작동유무를 판단하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 인식방법.And detecting the normal operation of each of the probe cards by comparing the value of the measured output signal with a value of a preset output signal. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 입력신호는 전압값 또는 전류값 중 어느 하나 이고, 상기 출력신호는 상기 입력신호가 전압값인 경우에 전압값이고, 전류값인 경우에 전류값인 것을 특징으로 하는프로브 카드 인식방법.And the input signal is any one of a voltage value and a current value, and the output signal is a voltage value when the input signal is a voltage value and a current value when the input signal is a current value. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 출력신호는 상기 프로브 카드들 각각의 고유인식번호별로 측정되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 인식방법.And the output signal is measured for each unique identification number of each of the probe cards. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 프로브 카드의 정상작동 유무가 이진법으로 표시되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 인식방법.Probe card recognition method, characterized in that the normal operation of the probe card is displayed in binary.
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