KR100780267B1 - Contact type UV radiation apparatus having movable tip - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 접촉식 자외선 경화장치는, 하단에 개방부(11)가 형성되어 있는 자외선 조사관(10)과, 자외선 조사관(10)의 하단에 연장되도록 결합되며 측면 둘레에는 수평 오목홈(22)이 형성되고 하단에는 자외선 조사관(10)의 하단 개방부와 직선 연장선 상에 위치하도록 개방부(21)가 형성되어 있는 엔드캡(20)과, 윗단이 안쪽으로 절곡되어 엔드캡(20)의 수평 오목홈(22)에 끼워져서 엔드캡(20)의 하단에 연장되도록 결합되며 하단에는 엔드캡(20)의 하단 개방부(21)와 직선 연장선 상에 위치하도록 개방부(31)가 형성되어 있는 유동캡(31)과, 유동캡(31)의 윗단 절곡부(32)의 위 아래에 각각 위치하도록 엔드캡(20)의 수평 오목홈(22)을 둘러싸도록 설치되며 탄성재질로 이루어지는 오링(40)을 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 오링(40)의 탄성력에 의하여 유동캡(30)이 수직방향으로 유동성을 갖기 때문에 자외선 경화장치가 유리기판에 대해서 완전한 수직을 이루지 못하더라도 유리기판과의 접촉면에 변화가 없게 되어 기판 전체에 균일한 가압을 이루면서 균일한 자외선 경화공정을 진행할 수 있게 된다. Contact ultraviolet curing device according to the present invention, the UV irradiation tube 10 is formed with an open portion 11 at the lower end is coupled to extend to the lower end of the UV irradiation tube 10 and the horizontal concave groove 22 around the side The end cap 20 is formed at the lower end and the opening 21 is formed on the lower end of the ultraviolet irradiation tube 10 and the straight extension line, and the upper end is bent inward to the horizontal of the end cap 20 Is inserted into the recess 22 is coupled to extend to the lower end of the end cap 20, the lower end is formed with an open portion 31 to be positioned on a straight extension line with the lower opening 21 of the end cap 20 O-ring 40 is formed to surround the horizontal concave grooves 22 of the end cap 20 to be positioned above and below the flow cap 31 and the upper bent portion 32 of the flow cap 31, respectively. It is characterized by comprising: According to the present invention, since the flow cap 30 has the fluidity in the vertical direction by the elastic force of the O-ring 40, even if the UV curing apparatus does not make a perfect perpendicular to the glass substrate, there is no change in the contact surface with the glass substrate. A uniform ultraviolet curing process can be performed while uniformly pressing the entire substrate.

유동캡, 엔드캡, 오링, 자외선 경화, 접촉, 실링제, FPDFlow Cap, End Cap, O-Ring, UV Curing, Contact, Sealing Agent, FPD

Description

유동팁을 가지는 접촉식 자외선 경화장치{Contact type UV radiation apparatus having movable tip}Contact type UV curing apparatus having a flow tip {Contact type UV radiation apparatus having movable tip}

도 1a 및 도 1b는 종래의 자외선 경화장치를 설명하기 위한 도면들;1A and 1B are views for explaining a conventional ultraviolet curing device;

도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 접촉식 자외선 경화장치를 설명하기 위한 도면들;2A and 2B are views for explaining a contact ultraviolet curing device according to the present invention;

도 3은 도 2a의 자외선 조사관(10)이 약간 기울어 졌을 때의 상태를 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining a state when the ultraviolet irradiation tube 10 of FIG. 2A is slightly inclined.

<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명><Description of reference numbers for the main parts of the drawings>

100: 상부유리기판 101: 하부유리기판100: upper glass substrate 101: lower glass substrate

105: 실링제 200: 상판105: sealing agent 200: top plate

201: 하판 10, 110: 자외선 조사관201: lower plate 10, 110: ultraviolet irradiation tube

11, 21: 하단 개방부 12: 자외선 조사램프11, 21: lower opening 12: UV irradiation lamp

20: 엔드캡 22: 수평 오목홈20: end cap 22: horizontal recess

30: 유동캡 32: 절곡부30: flow cap 32: bend

40a, 40b, 70: 오링 50: 스프링40a, 40b, 70: O-ring 50: spring

60: 석영60: quartz

본 발명은 접촉식 자외선 경화장치에 있어서, 특히 유동팁을 가지는 접촉식 자외선 경화장치에 관한 것이다. The present invention relates to a contact ultraviolet curing device, in particular to a contact ultraviolet curing device having a flow tip.

일반적으로 LCD, PDP 등의 FPD는 두개의 유리기판을 합착시켜 만든다. 이 때 두개의 유리기판 사이에는 실링제가 개재되며, 상기 실링제는 통상 자외선으로 경화한다. 이러한 자외선 경화는 통상 두가지 상황에서 이루어진다. 하나는 기판의 외각에 있는 더미 실런트를 자외선 경화하는 경우이고, 또 하나는 더미 실런트 바깥에 존재하는 별도의 실런트를 경화하는 경우이다. 전자의 경우에는 진공챔버가 진공상태에서 대기상태로 변화되며 일어나는 대기압의 힘에 의한 가압 즉 2차적 가압으로 기판을 전면적으로 고르게 누르는 현상에 의해 더미 실런트 부위가 눌러지기 때문에 별도의 기계적 가압이 필요없다. 후자의 경우에는 2차적 가압으로도 기판이 눌려지지 않기 때문에 자외선 경화장치를 이용하여 별도로 기계적으로 가압할 필요가 있다. In general, FPDs such as LCD and PDP are made by joining two glass substrates together. At this time, a sealing agent is interposed between the two glass substrates, and the sealing agent is usually cured by ultraviolet rays. Such ultraviolet curing usually occurs in two situations. One is to cure the dummy sealant on the outer surface of the substrate by UV curing, and the other is to cure a separate sealant existing outside the dummy sealant. In the former case, the vacuum chamber is changed from the vacuum state to the atmospheric state, and the dummy sealant portion is pressed by the pressurization caused by the atmospheric pressure, that is, the second pressurization, and the entire pressure is evenly applied. . In the latter case, since the substrate is not pressed even by the secondary press, it is necessary to pressurize mechanically using an ultraviolet curing device.

도 1a 및 도 1b는 종래의 자외선 경화장치를 설명하기 위한 도면들로서, 도 1a는 자외선 경화장치가 유리기판에 비접촉되었을 때의 문제점을 설명하기 위한 것이고, 도 1b는 자외선 경화장치가 기울어졌을 경우의 문제점을 설명하기 위한 것이 다. 1A and 1B are views for explaining a conventional UV curing apparatus, and FIG. 1A is for explaining a problem when the UV curing apparatus is not in contact with a glass substrate, and FIG. 1B is a case where the UV curing apparatus is tilted. To illustrate the problem.

도 1a를 참조하면, 자외선 경화는 상판(200)과 하판(201)에 상부유리기판(100) 및 하부유리기판(101)을 흡착시키고 이들 유리기판(100, 101)을 서로 합착시킨 후에 이루어진다. 자외선 조사관(110)은 상판(200)에 형성된 관통홀을 통하여 상부유리기판(100)까지 하강하여 자외선을 조사하여 유리합판(100, 101) 내의 실링제(105)를 경화시킨다. 이 때, 자외선 조사관(110)의 끝단이 상부유리기판(100)의 윗면에 정확히 닿지 않고 약간 떨어진다면 도 1a에 도시된 바와 같이 자외선이 옆으로 퍼져 실링제(105)만이 아니라 그 주위 부분까지 조사된다. 따라서 원하지 부분에도 자외선이 조사되어 공정에러가 발생하게 된다. 따라서 자외선 조사관(110)을 상부유리기판(100)에 밀착시켜 자외선을 조사한다. Referring to FIG. 1A, ultraviolet curing is performed after adsorbing the upper glass substrate 100 and the lower glass substrate 101 onto the upper plate 200 and the lower plate 201 and bonding the glass substrates 100 and 101 to each other. The ultraviolet irradiation tube 110 descends to the upper glass substrate 100 through the through hole formed in the upper plate 200 to irradiate ultraviolet rays to cure the sealing agent 105 in the glass laminates 100 and 101. At this time, if the end of the ultraviolet irradiation tube 110 falls slightly without touching the upper surface of the upper glass substrate 100, as shown in FIG. 1A, the ultraviolet rays are spread to the side to irradiate not only the sealing agent 105 but also the surrounding portion thereof. do. Therefore, ultraviolet rays are also irradiated to the desired portion, resulting in process errors. Therefore, the ultraviolet irradiation tube 110 is in close contact with the upper glass substrate 100 to irradiate ultraviolet rays.

도 1a의 구성은 진공챔버(미도시) 내에 설치되며, 자외선 조사관(110)은 상기 진공챔버를 관통하도록 설치된다. 그러나 어떠한 이유에 의해서 상기 진공챔버 또는 상판(200)이 기울어지거나 또는 상부유리기판(100)이 기울어지는 경우에는, 도 1b의 참조부호 A로 도시한 바와 같이, 자외선 조사관(110)이 상부유리기판(100)에 완전히 밀착되지 못하게 된다. 그러면 자외선 조사가 제대로 이루어지지 않을 뿐만 아니라 상부유리기판(100)과 하부유리기판(101)이 틀어지는 현상이 발생한다. 이러한 문제는 유리기판이 대형화될수록 현저하게 나타난다. The configuration of Figure 1a is installed in a vacuum chamber (not shown), the ultraviolet radiation tube 110 is installed to penetrate the vacuum chamber. However, when the vacuum chamber or the upper plate 200 is inclined or the upper glass substrate 100 is inclined for some reason, as shown by reference numeral A of FIG. 1B, the ultraviolet irradiation tube 110 is the upper glass substrate. It may not be completely adhered to the 100. Then, not only ultraviolet irradiation is not made properly, but the upper glass substrate 100 and the lower glass substrate 101 are distorted. This problem is remarkable as the glass substrate becomes larger.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 자외선 경화장치가 약간 기울어지는 경우라도 자외선 경화장치의 끝단이 유리기판에 완전하게 밀착된 상태를 유지할 수 있도록 하는 접촉식 자외선 경화장치를 제공하는 데 있다.  Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a contact type ultraviolet curing device that can be maintained in a state in which the end of the ultraviolet curing device is completely in contact with the glass substrate even when the ultraviolet curing device is slightly inclined.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 접촉식 자외선 경화장치는, 하단이 개방되는 자외선 조사관; 위쪽 개방부와 아래쪽 개방부를 가지며, 상기 위쪽 개방부로는 상기 자외선 조사관의 하단이 삽입되며, 상기 아래쪽 개방부는 상기 자외선 조사관의 하단 개방부와 직선 연장선 상에 위치하도록 형성되며, 외측면 둘레에는 수평 오목홈이 형성되는 엔드캡; 상기 엔드캡의 하단 개방부를 막도록 상기 엔드캡 내부에 놓여지는 투명판; 상기 투명판이 탄성력에 위해 고정되도록 상기 투명판과 상기 자외선 조사관 사이에 설치되는 스프링; 윗단이 안쪽으로 절곡되어 상기 엔드캡의 수평 오목홈에 끼워지며 하단에는 상기 엔드캡의 하단 개방부와 직선 연장선 상에 위치하도록 개방부가 형성되어 있는 유동캡; 및 상기 유동캡의 윗단 절곡부의 위 아래에 각각 위치하도록 상기 엔드캡의 수평 오목홈을 둘러싸도록 설치되며 탄성재질로 이루어지는 오링;을 구비하는 것을 특징으로 한다. Contact ultraviolet curing device according to the present invention for achieving the above technical problem, the ultraviolet irradiation tube is open at the bottom; It has an upper opening and a lower opening, the upper opening is inserted into the lower end of the ultraviolet irradiation tube, the lower opening is formed so as to be located on a straight extension line with the lower opening of the ultraviolet irradiation tube, the horizontal concave around the outer surface An end cap in which grooves are formed; A transparent plate placed inside the end cap to close the bottom opening of the end cap; A spring installed between the transparent plate and the ultraviolet irradiation tube such that the transparent plate is fixed for elastic force; A flow cap having an upper end bent inward and fitted into a horizontal concave groove of the end cap and having an opening formed at a lower end of the end cap on a straight extension line; And an O-ring formed to surround a horizontal concave groove of the end cap so as to be positioned above and below the upper end bent portion of the flow cap, and formed of an elastic material.

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상기 엔드캡 및 유동캡은 금속재질로 이루어지는 것이 바람직하다. The end cap and the flow cap is preferably made of a metal material.

상기 오링은 바이톤 재질 또는 실리콘 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. The O-ring is preferably made of a Viton material or a silicon material.

상기 유동캡의 하단 개방부는 상기 엔드캡의 하단 개방부보다 더 큰 것이 바람직하다. The bottom opening of the flow cap is preferably larger than the bottom opening of the end cap.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. The following examples are only presented to understand the content of the present invention, and those skilled in the art will be capable of many modifications within the technical spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as limited to these embodiments.

도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 접촉식 자외선 경화장치를 설명하기 위한 도면들로서, 도 2a는 외관을 나타낸 것이고, 도 2b는 단면을 나타낸 것이다. 2a and 2b are views for explaining a contact ultraviolet curing device according to the present invention, Figure 2a shows the appearance, Figure 2b shows a cross-section.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 자외선 조사램프(12)에서 출사되는 자외선은 자외선 조사관(10)의 안내를 받아 진행하여 자외선 조사관(10)의 하단 개방부(11)를 통하여 빠져나간다. 자외선 조사관(10)의 하단에 연장되도록 엔드캡(end-cap, 20)이 설치되는데, 엔드캡(20)의 측면에는 수평 오목홈(22)이 형성되어 있다. 엔드캡(20)의 하단에는 자외선 조사관(10)의 하단 개방부(11)와 직선 연장선 상에 위치하도록 개방부(21)가 형성된다. 2A and 2B, ultraviolet rays emitted from the ultraviolet irradiation lamp 12 proceed with the guidance of the ultraviolet irradiation tube 10 and exit through the lower opening 11 of the ultraviolet irradiation tube 10. End caps (end-cap) 20 is installed to extend to the bottom of the ultraviolet irradiation tube 10, the horizontal concave groove 22 is formed on the side of the end cap (20). An opening 21 is formed at the lower end of the end cap 20 so as to be positioned on the lower opening 11 of the ultraviolet irradiation tube 10 and on a straight extension line.

엔드캡(20) 내부에는 자외선의 자유로운 투과를 위한 투명한 밀폐용 석영(60)이 설치되며, 석영(60)과 자외선 조사관(10)의 끝단 사이에는 스프링(50)이 설치된다. 석영(60)과 엔드캡(20) 하단 사이에는 오링(70)이 설치된다. 스프링(50)에 의해 석영(60)이 밑으로 눌리게 되고 그로 인해 오링(70)이 압착됨으로써 엔드캡(20)의 밀폐가 이루어진다. Inside the end cap 20, a transparent sealing quartz 60 for free transmission of ultraviolet rays is installed, and a spring 50 is installed between the quartz 60 and the end of the ultraviolet irradiation tube 10. The O-ring 70 is installed between the quartz 60 and the lower end of the end cap 20. The quartz 60 is pushed downward by the spring 50 and thus the O-ring 70 is compressed to seal the end cap 20.

유동캡(30)은 엔드캡(30)의 하단에 연장되도록 결합된다. 유동캡(30)의 윗단(32)은 안쪽으로 절곡되어 엔드캡(20)의 수평오목홈(22)에 끼워진다. 유동캡(30)의 하단에는 엔드캡(20)의 하단 개방부(21)와 직선 연장선상에 위치하도록 개방부(31)가 형성된다. Flow cap 30 is coupled to extend to the bottom of the end cap (30). The upper end 32 of the flow cap 30 is bent inwardly and fitted into the horizontal recessed groove 22 of the end cap 20. An opening 31 is formed at a lower end of the flow cap 30 so as to be positioned on a straight extension line with the lower opening 21 of the end cap 20.

엔드캡(20)의 수평 오목홈(22)에는 이를 둘러싸면서 탄성재질로 이루어지는 오링(40)이 설치된다. 오링(40)은 유동캡(30)의 윗단 절곡부(32)의 위 아래에 위치하도록 두개(40a, 40b)가 설치된다. 따라서 유동캡(30)의 윗단 절곡부(32)는 두개의 오링(40a, 40b) 사이에 끼워진다. The horizontal concave groove 22 of the end cap 20 is provided with an O-ring 40 made of an elastic material while surrounding it. O-ring 40 is provided with two (40a, 40b) to be positioned above and below the upper bent portion 32 of the flow cap (30). Therefore, the upper bent portion 32 of the flow cap 30 is fitted between the two O-rings (40a, 40b).

자외선의 조사는 열을 수반하므로 엔드캡(20)과 유동캡(30)은 금속재질로 이루어지는 것이 바람직하며, 오링(40)은 유동성의 확보를 위해 바이톤 재질 또는 실리콘 재질로 이루어진 것을 사용하는 것이 바람직하다. Since the irradiation of ultraviolet light involves heat, the end cap 20 and the flow cap 30 are preferably made of a metal material, and the O-ring 40 is made of a viton material or a silicon material to secure fluidity. desirable.

도 3은 자외선 조사관(10)이 약간 기울어 졌을 때의 상태를 설명하기 위한 도면이다. 자외선 조사관(10)이 약간 기울어지더라도 오링(40)의 탄성에 의하여 유동캡(30)이 한쪽 방향으로 기울질 수 있도록 유격이 생기기 때문에 유동캡(30)의 하단 개방부(31)는 여전히 상부유리기판(100)에 밀착된 상태로 존재하게 된다. 따라서 종래기술에서 설명한 바와 같이 어떠한 이유로 인해서 자외선 조사관(10)이 상부유리기판(100)에 대해서 수직하지 못하고 약간 기울어지는 경우에도 자외선 조사가 제대로 이루어지게 되고, 상부유리기판(100)을 누르는 힘에 큰 변화가 없게 된다. 유동캡(30)의 유동이 있더라도 자외선이 유동캡(30)의 하단 개방부(31)를 통해서 상부유리기판(100)에 도달할 수 있도록 유동캡(30)의 하단 개방부(31)는 엔드캡(20)의 하단 개방부(21)보다 더 큰 것이 바람직하다. 3 is a view for explaining a state when the ultraviolet irradiation tube 10 is slightly inclined. Even if the UV irradiation tube 10 is slightly inclined, the bottom opening 31 of the flow cap 30 is still upper because the gap is generated to allow the flow cap 30 to tilt in one direction due to the elasticity of the O-ring 40. It exists in close contact with the glass substrate 100. Therefore, as described in the prior art, even if the UV irradiation tube 10 is slightly inclined to the upper glass substrate 100 for some reason, the ultraviolet irradiation is properly made, and the force applied to the upper glass substrate 100 is reduced. There is no big change. Even though the flow cap 30 flows, the lower opening 31 of the flow cap 30 is end so that ultraviolet rays can reach the upper glass substrate 100 through the lower opening 31 of the flow cap 30. It is preferred that it is larger than the bottom opening 21 of the cap 20.

자외선 경화는 합착유리기판에 대하여 도 2a의 자외선 경화장치를 복수개 설치하여 복수군데에서 동시에 진행하기 때문에 도 2a의 자외선 경화장치를 사용하면 유리기판 전면적에 대해서 동일한 가압을 이루면서 균일한 자외선 경화공정을 진행할 수 있게 된다. Since UV curing proceeds in multiple places at the same time by installing a plurality of UV curing apparatuses of FIG. 2A with respect to the laminated glass substrate, the UV curing apparatus of FIG. 2A performs a uniform UV curing process while achieving the same pressure on the entire glass substrate. It becomes possible.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 오링(40)의 탄성력에 의하여 유동캡(30)이 수직방향으로 유동성을 갖기 때문에 자외선 경화장치가 유리기판에 대해서 완전한 수직을 이루지 못하더라도 유리기판과의 접촉면에 변화가 없게 되어 기판 전체에 균일한 가압을 이루면서 균일한 자외선 경화공정을 진행할 수 있게 된다. 또한 접촉을 시작할 때에는 선접촉이지만 오링의 탄성력에 의하여 면접척으로 바뀌어 기판의 틀어지는 현상이 발생하지 않는다,As described above, according to the present invention, since the flow cap 30 has the fluidity in the vertical direction due to the elastic force of the O-ring 40, even if the UV curing apparatus does not make a perfect perpendicular to the glass substrate, the contact surface with the glass substrate Since there is no change, a uniform ultraviolet curing process can be performed while uniformly pressing the entire substrate. In addition, the line contact at the start of contact, but due to the elastic force of the O-ring is changed to the interview chuck does not cause the substrate distortion

Claims (5)

하단이 개방되는 자외선 조사관;An ultraviolet irradiation tube whose bottom is opened; 위쪽 개방부와 아래쪽 개방부를 가지며, 상기 위쪽 개방부로는 상기 자외선 조사관의 하단이 삽입되며, 상기 아래쪽 개방부는 상기 자외선 조사관의 하단 개방부와 직선 연장선 상에 위치하도록 형성되며, 외측면 둘레에는 수평 오목홈이 형성되는 엔드캡;It has an upper opening and a lower opening, the upper opening is inserted into the lower end of the ultraviolet irradiation tube, the lower opening is formed so as to be located on a straight extension line with the lower opening of the ultraviolet irradiation tube, the horizontal concave around the outer surface An end cap in which grooves are formed; 상기 엔드캡의 하단 개방부를 막도록 상기 엔드캡 내부에 놓여지는 투명판;A transparent plate placed inside the end cap to close the bottom opening of the end cap; 상기 투명판이 탄성력에 위해 고정되도록 상기 투명판과 상기 자외선 조사관 사이에 설치되는 스프링;A spring installed between the transparent plate and the ultraviolet irradiation tube such that the transparent plate is fixed for elastic force; 윗단이 안쪽으로 절곡되어 상기 엔드캡의 수평 오목홈에 끼워지며 하단에는 상기 엔드캡의 하단 개방부와 직선 연장선 상에 위치하도록 개방부가 형성되어 있는 유동캡; 및 A flow cap having an upper end bent inward and fitted into a horizontal concave groove of the end cap and having an opening formed at a lower end of the end cap on a straight extension line; And 상기 유동캡의 윗단 절곡부의 위 아래에 각각 위치하도록 상기 엔드캡의 수평 오목홈을 둘러싸도록 설치되며 탄성재질로 이루어지는 오링;을 구비하는 것을 특징으로 하는 접촉식 자외선 경화장치. And an O-ring made of an elastic material and installed to surround the horizontal concave grooves of the end caps so as to be positioned above and below the upper end bent portion of the flow cap, respectively. 제1항에 있어서, 상기 엔드캡이 금속재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접촉식 자외선 경화장치. The contact type ultraviolet curing device according to claim 1, wherein the end cap is made of a metal material. 제1항에 있어서, 상기 유동캡이 금속재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접촉식 자외선 경화장치. The apparatus of claim 1, wherein the flow cap is made of a metal material. 제1항에 있어서, 상기 오링이 바이톤 재질 또는 실리콘 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접촉식 자외선 경화장치. The apparatus of claim 1, wherein the O-ring is made of a viton material or a silicon material. 제1항에 있어서, 상기 엔드캡의 하단 개방부보다 상기 유동캡의 하단 개방부가 더 큰 것을 특징으로 하는 접촉식 자외선 경화장치. The apparatus of claim 1, wherein the bottom opening of the flow cap is larger than the bottom opening of the end cap.
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