KR100768889B1 - 소형 초음파 리니어 액추에이터 어레이 및 그 제조방법 - Google Patents
소형 초음파 리니어 액추에이터 어레이 및 그 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (3)
- 각각이 탄성체 시트의 상면 또는 하면이나 상면 및 하면에 압전세라믹 시트가 부착되어 이루어진 진동체와 상기 상면측 압전세라믹 시트면에서 수직 방향으로 부착된 이동축 및 상기 이동축에 마찰 삽입되어 상기 이동축 상에서 전/후진하는 이동체를 구비하여 이루어진 다수의 초음파 리니어 액추이에터;상기 탄성체 시트를 각각을 상호 연결하는 2개 이상의 지지팔 및가장자리에 존재하는 상기 탄성체 시트의 상기 지지팔과 연결되어 인쇄회로기판의 전극 패턴과 접촉되는 지지 프레임을 포함하여 이루어진 소형 초음파 리니어 액추에이터 어레이.
- (a) 탄성체시트 원판을 준비하는 단계;(b) 상기 탄성체 시트 원판을 가공하여 다수의 초음파 리니어 액추에이터 어레이를 구성하는 다수의 개별 탄성체 시트와 상기 개별 탄성체 시트를 상호 연결하는 지지팔 및 인쇄회로기판의 전극 패턴과 접촉되는 지지 프레임으로 이루어진 초음파 리니어 액추에이터 어레이 패턴을 형성하는 단계;(c) 상기 개별 탄성체 시트의 상면이나 하면 또는 상/하면에 압전세라릭 전용의 접착제를 도포하는 단계;(d) 상기 접착제 상에 개별 압전세라믹 시트를 부착한 후에 상기 접착제를 열경화시키는 단계;(e) 상기 개별 압전세라믹 시트의 상면측에 이동축 고정용 접착제를 점 도포하는 단계 및(f) 상기 점 도포된 접착세 상에 이동축을 일괄 부착하는 단계를 포함하여 이루어진 소형 초음파 리니어 액추에이터 어레이 제조방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 접착제는 에폭시 수지인 것을 특징으로 하는 소형 초음파 리니어 액추에이터 어레이 제조방법.
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