KR100763814B1 - Condensation particle counter - Google Patents

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Abstract

A condensation particle counter is provided to use water as actuating fluid and to measure particles easily and accurately by an optical method. A condensation particle counter includes a condenser(20). The condenser condenses saturation gas to generate a fluid drop by a particle(P) supplied from a saturation unit(10), as a nucleus. The condenser includes a condenser tube(21). The condenser tube is installed to connect the saturation unit and an optical particle counter. The condenser tube is formed with a hydrophilic surface layer(23) on the inner surface. The temperature of the saturation unit is kept in a range of 60~70 degrees to evaporate water. The temperature of the condenser is kept at about 20 degrees to condense vapor.

Description

응축핵 계수기{CONDENSATION PARTICLE COUNTER}Condensation Nucleus Counter {CONDENSATION PARTICLE COUNTER}

도 1은 본 발명에 따른 응축핵 계수기의 구성을 나타낸 단면도,1 is a cross-sectional view showing the configuration of a condensation nucleus counter according to the present invention;

도 2는 본 발명에 따른 응축핵 계수기의 응축기 튜브 안에서 미립자를 핵으로 액체방울이 생성되는 상태를 확대하여 나타낸 도면,Figure 2 is an enlarged view showing a state in which droplets are generated in the condenser tube of the condenser nucleus counter according to the present invention, the droplets to the nucleus,

도 3은 본 발명의 응축핵 계수기와 종래기술의 응축핵 계수기에 대한 성능 설험의 결과를 나타낸 그래프,Figure 3 is a graph showing the results of the performance test for the condensation nucleus counter of the present invention and the conventional condensation nucleus counter,

도 4와 도 5는 본 발명의 응축핵 계수기와 물을 작동유체로 사용한 종래기술의 응축핵 계수기에 대한 성능 실험의 결과를 나타낸 그래프들이다.4 and 5 are graphs showing the results of performance experiments on the condensation nucleus counter of the present invention using the condensation nucleus counter and water of the present invention as a working fluid.

♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣♣ Explanation of symbols for the main parts of the drawing ♣

10: 포화기 11: 저수지10: Saturator 11: Reservoir

13: 포화기 튜브 15: 히터13: saturator tube 15: heater

20: 응축기 21: 응축기 튜브20: condenser 21: condenser tube

22: 열전냉각소자 23: 친수성 표면층22: thermoelectric cooling element 23: hydrophilic surface layer

30: 광학입자 계수기 31: 하우징30: optical particle counter 31: housing

32: 광원 35: 광검출기32: light source 35: photodetector

36: 컴퓨터 D: 액체방울36: Computer D: Droplets

P: 미립자 W: 작동유체P: Particles W: Working Fluid

본 발명은 응축핵 계수기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 작동유체(Working fluid)로 물을 사용할 수 있는 응축핵 계수기에 관한 것이다.The present invention relates to a condensation nucleus counter, and more particularly, to a condensation nucleus counter that can use water as a working fluid.

응축핵 계수기는 포화기, 응축기와 광학입자 계수기(Optical Particle Counter, OPC)로 구성되어 미립자의 개수와 크기를 측정하는데 많이 사용되고 있다. 응축핵 계수기의 포화기에는 에어로졸(Aerosol), 즉 미립자가 부유하고 있는 기체의 포화를 위하여 작동유체가 수용되어 있다. 작동유체는 알코올, 부탄올, 아이소프로필 알코올(Isopropyl alcohol) 등 알코올계, 에틸렌글리콜(Ethylene glycol) 등의 유기화합물이 사용되고 있다. Condensation nucleus counter is composed of saturator, condenser and optical particle counter (OPC), and is widely used to measure the number and size of particulates. The saturator of the condensation nucleus counter contains a working fluid for saturation of aerosol, ie, gas in which particulates are suspended. As the working fluid, alcohols such as alcohol, butanol, and isopropyl alcohol, and organic compounds such as ethylene glycol are used.

포화기는 히터의 가열에 의하여 주위의 온도보다 높은 온도로 유지되므로, 포화기에 수용되어 있는 작동유체는 증발된다. 미립자가 부유하고 있는 기체가 포화기에 유입되면, 기체는 작동유체에 의하여 포화되어 포화기체로 되고, 포화기체는 포화기로부터 응축기로 공급된다. 작동유체로 알코올이 사용되는 경우, 포화기의 온도는 약 35℃로 유지되며, 응축기의 온도는 약 10℃로 유지된다. 포화기체는 응축기에서 온도의 저하에 따라 과포화기체로 되고, 응축현상이 발생된다. 작동유체증기의 응축현상은 미립자를 핵으로 일어나 액체방울이 성장되며, 성장된 액체방울은 광학입자 계수기로 공급되어 검출된다. Since the saturator is maintained at a temperature higher than the ambient temperature by the heating of the heater, the working fluid contained in the saturator is evaporated. When the gas in which the fine particles are suspended flows into the saturator, the gas is saturated by the working fluid to become a saturated gas, and the saturated gas is supplied from the saturator to the condenser. When alcohol is used as the working fluid, the temperature of the saturator is maintained at about 35 ° C and the temperature of the condenser is maintained at about 10 ° C. The saturated gas becomes a supersaturated gas as the temperature decreases in the condenser, and condensation occurs. Condensation of the working fluid vapor causes particles to grow into the nucleus and droplets are grown. The droplets are then fed to an optical particle counter and detected.

한편, 포화기체의 확산속도가 온도전달속도보다 빠르게 일어나면, 포화기체 는 과포화되지 못한다. 즉, 포화기체는 미립자의 주위에서 응축되지 못하고, 응축기의 벽면에서만 응축이 발생된다.On the other hand, if the diffusion rate of the saturated gas is faster than the temperature transfer rate, the saturated gas is not supersaturated. That is, the saturated gas cannot condense around the fine particles, and condensation occurs only on the wall of the condenser.

그러나 종래기술의 응축핵 계수기는 작동유체로 유기화합물을 사용하고 있으므로, 인체에 유해하고, 냄새가 많이 발생되는 문제가 있다. 뿐만 아니라, 인화물질인 유기화합물의 취급에 많은 어려움이 수반되고 있다. 특히, 반도체의 제조 공정에서 응축핵 계수기의 작동유체로 알코올계의 유기화합물이 사용될 경우, 유기화합물이 오염물질로 작용되어 불량의 원인이 되고 있다. 또한, 유기화합물의 작동유체는 기체에 포함되어 있는 수분을 흡수하여 장시간 사용 시 응축핵 계수기의 성능을 저하시키게 된다. 따라서 작동유체는 주기적으로 교환해야 하는 번거로운 문제가 있다.However, since the conventional condensation nucleus counter uses an organic compound as a working fluid, it is harmful to the human body and has a problem of generating a lot of odors. In addition, a lot of difficulties are involved in the handling of flammable organic compounds. In particular, when an alcohol-based organic compound is used as a working fluid of the condensation nucleus counter in the semiconductor manufacturing process, the organic compound acts as a contaminant and causes a defect. In addition, the working fluid of the organic compound absorbs the moisture contained in the gas and degrades the performance of the condensation nucleus counter when used for a long time. Therefore, the working fluid has a cumbersome problem that must be replaced periodically.

한편, 응축핵 계수기의 작동유체는 인체에 무해하고, 냄새와 오염물질의 발생이 없는 물을 사용하는 것이 많은 장점을 갖는다. 그런데, 물의 물질전달계수, 열전달계수 등의 특성은 유기화합물과 전혀 다르다. 따라서 종래기술의 응축핵 계수기에서 물을 작동유체로 사용하게 되면, 수증기는 저온의 응축기 벽면에서만 응축이 발생되고, 미립자를 핵으로 하는 응축이 일어나지 못하여 미립자가 그대로 배출되어 광학입자 계수기에 의하여 계수하지 못하는 문제가 있다. On the other hand, the working fluid of the condensation nucleus counter is harmless to the human body, it has many advantages to use water without the generation of odors and pollutants. By the way, the properties of the water transfer coefficient, heat transfer coefficient and the like are completely different from organic compounds. Therefore, when water is used as a working fluid in the prior art condensation nucleus counter, water vapor condenses only on the wall of the low temperature condenser, and condensation does not occur due to nuclei as fine particles. There is no problem.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 여러 가지 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 응축기 튜브의 내면이 친수성층으로 구성되어 작동유체로 물을 사용할 수 있는 응축핵 계수기를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the various problems of the prior art as described above, an object of the present invention is to provide a condensation nucleus counter that can be used as the working fluid of the inner surface of the condenser tube is composed of a hydrophilic layer have.

이와 같은 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 미립자가 부유되고 있는 기체를 작동유체로 포화시켜 포화기체를 생성하는 포화기와, 포화기로부터 공급되는 미립자를 핵으로 액체방울이 생성되도록 포화기체를 응축하는 응축기와, 응축기로부터 공급되는 액체방울을 광학적으로 검출하는 광학입자 계수기를 구비하는 응축핵 계수기에 있어서, 응축기는 포화기와 광학입자 계수기를 연결하는 응축기 튜브를 가지며, 응축기 튜브의 내면에 친수성 표면층이 형성되어 있는 응축핵 계수기에 있다.A characteristic of the present invention for achieving the above object is a saturator to saturate a gas in which fine particles are suspended with a working fluid to produce a saturated gas, and to condense the saturated gas so that droplets are generated from the fine particles supplied from the saturator into a nucleus. A condensation nucleus counter having a condenser and an optical particle counter for optically detecting droplets supplied from the condenser, the condenser has a condenser tube connecting the saturator and the optical particle counter, and a hydrophilic surface layer is formed on the inner surface of the condenser tube. In the condensation nucleus counter.

또한, 친수성 표면층은 산화티탄층으로 이루어지고, 작동유체는 물로 이루어지는 것에 있다.The hydrophilic surface layer consists of a titanium oxide layer, and the working fluid consists of water.

이하, 본 발명에 따른 응축핵 계수기에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the condensation nucleus counter according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 응축핵 계수기는 미립자(P)가 부유되고 있는 기체를 작동유체로 포화시켜 포화기체를 생성하는 포화기(10), 포화기체를 응축하는 응축기(20)와 미립자(P)의 개수와 크기를 광학적으로 검출하여 산출하는 광학입자 계수기(30)로 구성되어 있다.First, referring to Figure 1, the condensation nucleus counter of the present invention is a saturator (10) to saturate the gas suspended in the particles (P) with a working fluid to produce a saturated gas, condenser 20 for condensing the saturated gas And an optical particle counter 30 that optically detects and calculates the number and size of the fine particles P.

포화기(10)는 작동유체(W)를 수용하는 저수지(Pool: 11)를 가지며, 저수지(11)는 에어로졸, 즉 미립자(P)가 부유되고 있는 기체가 도입되는 입구(12)와 연결되어 있다. 저수지(11)의 한쪽에 포화기체의 흐름을 유도하는 포화기 튜브(Saturator tube: 13)가 연결되어 있고, 포화기 튜브(13)는 포화기체를 배출하는 출구(14)를 갖는다. 작동유체(W)의 수위는 그 위로 기체의 흐름이 유도되도록 입구(12)와 출구(14)보다 낮게 유지되어 있다. 포화기(10)의 외측에 히터(15)가 장착되어 있으며, 히터(15)는 저수지(11)에 수용되어 있는 작동유체(W)가 증발되도록 열을 가한다. 포화기 튜브(13)의 내면에 작동유체(W)의 증발을 촉진시킬 수 있도록 저수지(11)의 작동유체(W)를 흡수하는 흡수재(16)가 부착되어 있다. 작동유체(W)는 물, 알코올계 등이 사용되며, 바람직하게는 물이 사용된다. The saturator 10 has a reservoir (Pool) 11 for receiving the working fluid (W), the reservoir 11 is connected to the inlet 12 through which the aerosol, that is, the gas in which the particulate (P) is suspended is introduced have. A saturator tube 13 is connected to one side of the reservoir 11 to induce the flow of saturation gas, and the saturator tube 13 has an outlet 14 for discharging the saturation gas. The level of the working fluid W is kept lower than the inlet 12 and the outlet 14 so that gas flow is induced thereon. The heater 15 is mounted to the outside of the saturator 10, and the heater 15 heats the working fluid W accommodated in the reservoir 11 to evaporate. An absorber 16 is attached to the inner surface of the saturator tube 13 to absorb the working fluid W of the reservoir 11 so as to promote the evaporation of the working fluid W. As the working fluid W, water, alcohol, or the like is used, and preferably water is used.

응축기(20)는 포화기(10)와 연결되어 있으며, 포화기(10)로부터 공급되는 미립자(P)를 핵으로 액체방울(D)이 생성되도록 포화기체를 응축한다. 응축기(20)는 포화기(10)의 출구(14)와 연결되어 있는 응축기 튜브(21)를 갖추고 있다. 응축기 튜브(Condenser tube: 21)의 외면에 응축기 튜브(21)의 온도를 강하시키는 냉각수단으로 열전냉각소자(Thermo electric cooler: 22)가 장착되어 있다. 냉각수단은 응축기 튜브(21)의 외면을 둘러싸는 쿨링챔버(Cooling chamber)와, 이 쿨링챔버에 냉매를 공급하여 응축기 튜브(21)의 온도를 강하시키는 냉동사이클(Refrigerating cycle)을 갖는 냉각장치로 구성될 수 있다. The condenser 20 is connected to the saturator 10 and condenses the saturated gas so that droplets D are generated from the fine particles P supplied from the saturator 10 as nuclei. The condenser 20 has a condenser tube 21 which is connected to the outlet 14 of the saturator 10. A thermoelectric cooler 22 is mounted on the outer surface of the condenser tube 21 as cooling means for lowering the temperature of the condenser tube 21. The cooling means is a cooling device having a cooling chamber surrounding the outer surface of the condenser tube 21 and a refrigerating cycle for lowering the temperature of the condenser tube 21 by supplying a refrigerant to the cooling chamber. Can be configured.

응축기 튜브(21)의 내면에는 작동유체(W)로 물을 사용할 수 있도록 하기 위하여 친수성 표면층(23)이 형성되어 있다. 친수성 표면층(23)은 응축기 튜브(21)의 내면에 친수성 물질, 예를 들어 산화티탄(TiO2)층이 코팅(Coating)에 의하여 형성되거나 플라즈마 표면개질(Plasma surface modification)에 의하여 형성될 수 있다. 플라즈마 표면개질은 잘 알려진 플라즈마 표면개질장치의 플라즈마를 이용하여 응 축기 튜브(21)의 내면에 산화티탄층을 형성한다.A hydrophilic surface layer 23 is formed on the inner surface of the condenser tube 21 so that water can be used as the working fluid W. The hydrophilic surface layer 23 may be formed by coating a hydrophilic material, for example titanium oxide (TiO 2 ), on the inner surface of the condenser tube 21 or by plasma surface modification. . Plasma surface modification uses a plasma of a well known plasma surface modification apparatus to form a titanium oxide layer on the inner surface of the condenser tube 21.

광학입자 계수기(30)는 응축기 튜브(21)로부터 공급되는 액체방울(D)을 광학적으로 검출하여 미립자(P)의 개수와 크기를 산출한다. 광학입자 계수기(30)는 하우징(31), 광원(Light source: 32), 제1 렌즈군(33), 제2 렌즈군(34), 광검출기(Photo detector: 35)와 컴퓨터(36)로 구성되어 있다. The optical particle counter 30 optically detects the droplets D supplied from the condenser tube 21 to calculate the number and size of the fine particles P. The optical particle counter 30 includes a housing 31, a light source 32, a first lens group 33, a second lens group 34, a photo detector 35, and a computer 36. Consists of.

하우징(31)의 센싱체적(Sensing volume: 31a)은 입구(31b)와 출구(31c)에 연결되어 있으며, 하우징(31)의 입구(31b)에는 응축기 튜브(21)가 연결되어 있다. 광원(32)은 하우징(31)의 일측에 장착되어 있으며, 광원(32)으로부터 출력되는 광은 제1 렌즈군(33)을 통하여 하우징(31)의 센싱체적(31a)에 투사된다. 하우징(31)의 센싱체적(31a)에 투사되는 광은 하우징(31)의 타측에 장착되어 있는 제2 렌즈군(34)에 의하여 집광되고, 제2 렌즈군(34)을 통하여 집광되는 광은 광검출기(35)에 의하여 검출된다. The sensing volume 31a of the housing 31 is connected to the inlet 31b and the outlet 31c, and the condenser tube 21 is connected to the inlet 31b of the housing 31. The light source 32 is mounted on one side of the housing 31, and the light output from the light source 32 is projected onto the sensing volume 31a of the housing 31 through the first lens group 33. The light projected onto the sensing volume 31a of the housing 31 is collected by the second lens group 34 mounted on the other side of the housing 31, and the light collected through the second lens group 34 is It is detected by the photodetector 35.

광검출기(35)는 검출되는 광의 신호를 출력하여 컴퓨터(36)에 입력한다. 컴퓨터(36)는 광검출기(35)로부터 입력되는 신호를 프로그램에 의하여 프로세싱하여 미립자(P)의 개수와 크기를 산출한다. 광검출기(35)는 액체방울(D)들의 위치 데이터를 획득하기 위하여 이미지센서, 예를 들어 전하결합소자 카메라(Charge Coupled Device, CCD camera)나 쿼드러춰 검출기(Quadrature detector)로 구성될 수 있다. 컴퓨터(36)는 광검출기(35)의 신호를 처리하여 미립자(P)의 개수와 크기를 산출하여 출력하는 신호처리기(Signal processor)로 구성될 수 있다. 하우징(31)의 출구(31c)에는 유량의 제어를 위하여 유량계(40)와 기체의 도입을 위하여 에어펌 프(41)가 장착되어 있다.The photodetector 35 outputs a signal of the detected light and inputs it to the computer 36. The computer 36 processes the signal input from the photodetector 35 by a program to calculate the number and size of the particles P. The photodetector 35 may be configured as an image sensor, for example, a charge coupled device (CCD) camera or a quadrature detector, to acquire position data of the droplets D. The computer 36 may be configured as a signal processor that processes the signal of the photodetector 35 to calculate and output the number and size of the particles P. The outlet 31c of the housing 31 is equipped with an air pump 41 for introducing a flow meter 40 and gas for controlling the flow rate.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 응축핵 계수기에 있어서는, 포화기(10)의 저수지(11)에 작동유체(W)로 물을 수용하고, 히터(15)의 작동에 의하여 포화기(10)의 온도를 약 60~70℃로 유지하면, 물이 증발되어 수증기가 생성된다. 에어펌프(41)의 작동에 의하여 흡입력이 발생되면, 포화기(10)의 입구(12)를 통하여 저수지(11)에 미립자(P)가 부유되고 있는 기체가 도입된다. 기체는 수증기에 의하여 포화기체로 포화된 후, 출구(14)를 통하여 배출된다.In the condensation nucleus counter according to the present invention having such a configuration, water is stored in the reservoir 11 of the saturator 10 as the working fluid W, and the saturator 10 is operated by the operation of the heater 15. If the temperature is maintained at about 60 ~ 70 ℃, water is evaporated to produce steam. When a suction force is generated by the operation of the air pump 41, a gas in which particulates P are suspended in the reservoir 11 is introduced through the inlet 12 of the saturator 10. The gas is saturated with saturated gas by water vapor and then discharged through the outlet 14.

포화기(10)의 출구(14)와 연결되어 있는 응축기 튜브(21)는 열전냉각소자(22)의 작동에 의하여 포화기(10)의 온도보다 낮은 온도로 유지된다. 응축기 튜브(21)의 온도는 작동유체로 알코올계를 사용하는 종래기술의 응축핵 계수기보다 약 10℃ 높은 온도, 즉 약 20℃로 유지된다. 따라서 기체에 부유되고 있는 미립자(P)를 핵으로 수증기가 응축되면서 액체방울(D), 즉 물방울이 생성된다. 그리고 포화기(10)의 온도를 약 60~70℃로 유지하고, 응축기 튜브(21)의 온도를 약 20℃로 유지하는 것에 의하여 액체방울(D)의 생성을 최적화할 수 있으면서도 에너지의 효율을 높일 수 있다.The condenser tube 21, which is connected to the outlet 14 of the saturator 10, is maintained at a temperature lower than the temperature of the saturator 10 by the operation of the thermoelectric cooling element 22. The temperature of the condenser tube 21 is maintained at a temperature of about 10 [deg.] C., that is, about 20 [deg.] C., than the prior art condensation nucleus counter using an alcohol system as the working fluid. Therefore, as the water vapor condenses the fine particles (P) suspended in the gas to the nucleus, droplets (D), that is, water droplets are generated. By maintaining the temperature of the saturator 10 at about 60 to 70 ° C. and maintaining the temperature of the condenser tube 21 at about 20 ° C., it is possible to optimize the production of droplets D while maintaining the efficiency of energy. It can increase.

응축기 튜브(21)의 내면에서 발생되는 액체방울(D)은 중력에 의하여 친수성 표면층(23)을 타고 하방으로 쉽게 흘러내리게 된다. 응축기 튜브(21)의 내면이 소수성을 갖는 경우에는, 액체방울(D)이 흘러내리지 못하면서 맺히게 된다. 응축기 튜브(21)의 내면에 맺히는 액체방울(D)은 열전달을 방해하여 응축기 튜브(21) 안의 온도 분포를 불균일하게 만든다. 따라서 응축기 튜브(21) 안에서 과포화도는 매우 불균일하게 되고, 미립자(P)를 핵으로 하는 액체방울(D)의 성장을 방해하게 된다. Droplets (D) generated on the inner surface of the condenser tube 21 is easily flowed downward by the hydrophilic surface layer 23 by gravity. When the inner surface of the condenser tube 21 has hydrophobicity, it is formed without the droplet D flowing down. The droplets (D) entrained on the inner surface of the condenser tube 21 interfere with heat transfer, resulting in non-uniform temperature distribution in the condenser tube 21. Therefore, the degree of super saturation in the condenser tube 21 becomes very uneven, and hinders the growth of the droplet D having the fine particles P as nuclei.

도 1과 도 2를 참조하면, 액체방울(D)은 응축기 튜브(21)를 통하여 광학입자 계수기(30)의 센싱체적(31a)에 도입된 후, 센싱체적(31a)을 지나 출구(31c)를 통하여 하우징(31) 밖으로 배출된다. 광원(32)의 광은 제1 렌즈군(33)을 통하여 센싱체적(31a)에 투사되고, 광은 센싱체적(31a)을 따라 흐르는 액체방울(D)에 의하여 산란된다. 액체방울(D)에 의하여 산란되는 산란광은 제2 렌즈군(34)을 통하여 광검출기(35)에 보내지고, 광검출기(35)는 광을 검출하여 신호를 출력한다. 컴퓨터(36)는 광검출기(35)로부터 입력되는 신호를 프로그램에 의하여 프로세싱하여 미립자(P)의 개수와 크기를 산출하고, 산출되는 미립자(P)의 개수와 크기를 모니터 등의 디스플레이에 표시한다. 하우징(31)의 출구(31c)를 통하여 밖으로 배출되는 미립자(P)와 액체방울(D)은 필터의 필터링에 의하여 제거한다.1 and 2, the droplet D is introduced into the sensing volume 31a of the optical particle counter 30 through the condenser tube 21, and then passes through the sensing volume 31a and exits 31c. It is discharged out of the housing 31 through. The light of the light source 32 is projected onto the sensing volume 31a through the first lens group 33, and the light is scattered by the droplet D flowing along the sensing volume 31a. The scattered light scattered by the droplet D is sent to the photodetector 35 through the second lens group 34, and the photodetector 35 detects the light and outputs a signal. The computer 36 processes a signal input from the photodetector 35 by a program to calculate the number and size of the particles P, and displays the calculated number and size of the particles P on a display such as a monitor. . Particles P and droplets D discharged out through the outlet 31c of the housing 31 are removed by filtering the filter.

한편, 본 발명의 응축핵 계수기와 종래기술의 응축핵 계수기 각각에 대하여 성능 실험을 실시하여 도 3의 그래프에 나타냈다. 본 발명의 응축핵 계수기는 종래기술의 응축핵 계수기에서 응축기 튜브의 내면에 친수성 표면층으로 산화티탄층이 형성된 것이다. 본 발명의 응축핵 계수기에는 작동유체로 물이 사용되었으며, 종래기술의 응축핵 계수기에는 작용유체로 부탄올이 사용되었다. 도 3의 그래프를 보면, 직경(Dp)이 20nm, 40nm, 60nm인 미립자의 농도가 10,000개/cm3까지는 본 발명의 응축핵 계수기와 종래기술의 응축핵 계수기 각각에 의하여 미립자의 개수를 측정한 결과가 거의 일치하는 것을 알 수 있다. 또한, 본 발명의 응축핵 계수기와 종래기 술의 응축핵 계수기 각각에 의하여 미립자의 개수를 측정한 결과는 이론적 직선(Theoritical line)에 거의 일치하는 것을 알 수 있다.On the other hand, each of the condensation nucleus counter of the present invention and the conventional condensation nucleus counter was performed in the experiment shown in the graph of FIG. In the condensation nucleus counter of the present invention, the titanium oxide layer is formed as a hydrophilic surface layer on the inner surface of the condenser tube in the conventional condensation nucleus counter. Water was used as the working fluid in the condensation nucleus counter of the present invention, butanol was used as the working fluid in the conventional condensation nucleus counter. Referring to the graph of FIG. 3, the concentration of the fine particles having a diameter D p of 20 nm, 40 nm, and 60 nm is measured by the condensation nucleus counter of the present invention and the conventional condensation nucleus counter, respectively, up to 10,000 / cm 3. You can see that the results are almost identical. In addition, it can be seen that the result of measuring the number of particulates by each of the condensation nucleus counter of the present invention and the condensation nucleus counter of the related art almost coincides with a theoretical line.

본 발명의 응축핵 계수기와 종래기술의 응축핵 계수기 모두에 작용유체로 물을 사용한 성능 실험을 실시하여 도 4와 도 5의 그래프에 나타냈다. 도 4의 그래프는 유량(Flow rate)이 1.0lpm(liter per minute)인 에어로졸에 대하여 직경(Dp)이 20nm, 40nm, 60nm인 미립자에 대하여 측정한 결과를 나타냈다. 도 5의 그래프는 에어로졸의 유량을 1.0lpm, 0.8lpm, 0.5lpm, 0.3lpm으로 각각 다르게 하여 측정한 결과를 나타냈다. 도 4와 도 5의 그래프를 보면, 본 발명의 응축핵 계수기에 의하여 얻어지는 이론적 직선에 대하여 종래기술의 응축핵 계수기는 그 미립자의 계수 효율이 약 10%로 매우 낮은 것을 알 수 있다. Both the condensation nucleus counter of the present invention and the prior art condensation nucleus counter were subjected to performance experiments using water as the working fluid and are shown in the graphs of FIGS. 4 and 5. The graph of FIG. 4 shows the result of the measurement of the particles having a diameter D p of 20 nm, 40 nm, and 60 nm for an aerosol having a flow rate of 1.0 lpm (liter per minute). The graph of FIG. 5 shows the results of measuring the flow rate of the aerosol by 1.0lpm, 0.8lpm, 0.5lpm, 0.3lpm, respectively. 4 and 5, it can be seen that the condensation nucleus counter of the prior art has a very low counting efficiency of about 10% with respect to the theoretical straight line obtained by the condensation nucleus counter of the present invention.

이상에서 설명된 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다. The embodiments described above are merely to describe preferred embodiments of the present invention, the scope of the present invention is not limited to the described embodiments, those skilled in the art within the spirit and claims of the present invention It will be understood that various changes, modifications, or substitutions may be made thereto, and such embodiments are to be understood as being within the scope of the present invention.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 응축핵 계수기에 의하면, 응축기 튜브의 내면에 친수성 물질이 코팅 또는 플라즈마 표면개질에 의하여 형성됨으로써, 작동유체로 물을 사용할 수 있으면서도 광학적인 방법으로 미립자를 쉽고 정확 하게 계측할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the condensation nucleus counter according to the present invention, a hydrophilic material is formed on the inner surface of the condenser tube by coating or plasma surface modification, so that water can be used as a working fluid, and optical particles can be easily and accurately. There is an effect that can be measured.

Claims (4)

미립자가 부유되고 있는 기체를 작동유체로 포화시켜 포화기체를 생성하는 포화기와, 상기 포화기로부터 공급되는 상기 미립자를 핵으로 액체방울이 생성되도록 상기 포화기체를 응축하는 응축기와, 상기 응축기로부터 공급되는 상기 액체방울을 광학적으로 검출하는 광학입자 계수기를 구비하는 응축핵 계수기에 있어서,A saturator for saturating the gas in which the fine particles are suspended with a working fluid to produce a saturated gas, a condenser for condensing the saturated gas so that droplets are generated from the fine particles supplied from the saturator into a nucleus, and the supply from the condenser In the condensation nucleus counter having an optical particle counter for optically detecting droplets, 상기 응축기는 상기 포화기와 상기 광학입자 계수기를 연결하는 응축기 튜브를 가지며, 상기 응축기 튜브의 내면에 친수성 표면층이 형성되어 있는 응축핵 계수기.And the condenser has a condenser tube connecting the saturator and the optical particle counter, and a hydrophilic surface layer is formed on an inner surface of the condenser tube. 제 1 항에 있어서, 상기 친수성 표면층은 산화티탄층으로 이루어지는 응축핵 계수기.The condensation nucleus counter of claim 1, wherein the hydrophilic surface layer is formed of a titanium oxide layer. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 작동유체는 물로 이루어지는 응축핵 계수기.3. The condensation nucleus counter of claim 1 or 2, wherein said working fluid consists of water. 제 3 항에 있어서, 상기 포화기의 온도는 상기 물의 증발을 위하여 60~70℃로 유지되어 있으며, 상기 응축기의 온도는 수증기의 응축을 위하여 약 20℃로 유지되어 있는 응축핵 계수기.The condensation nucleus counter of claim 3, wherein the temperature of the saturator is maintained at 60 ° C. to 70 ° C. for evaporation of the water, and the temperature of the condenser is maintained at about 20 ° C. for condensation of water vapor.
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