KR100762393B1 - 평판디스플레이 패널용 검사/수정시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판디스플레이 패널의 결점을 검사하고 수정하는 시스템에 관한 것이다.
본 발명은 상면에 패널(10)이 안착되는 테이블(80)과, 상기 테이블(80)의 양 측단에 구비되고, 상기 패널(10)의 양 측단을 고정하여 상기 패널(10)의 이동방향으로 이동가능하게 구성된 글래스 그리퍼(80')와, 상기 테이블(80)의 상면에 구비되고, 상기 테이블(80)의 상면에서 상방으로 압축공기를 분출하는 에어분출단(81)과, 상기 테이블(80)의 양 측단에 지지되어 상기 패널(10)을 검사 및 수정하며 상기 패널(10)의 이동방향으로 이동가능하게 구성되는 갠트리부(90)를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명에 의하면 갠트리부(90)의 이동행정이 감소하여 공정시간이 단축되고, 압축공기의 세밀한 분사에 의해 작업정밀도가 향상되며, 테이블 면적이 감소하여 작업공간의 효율성이 증대되는 효과가 있다.
갠트리부, 글래스 그리퍼, 조명부, 검사/수정부

Description

평판디스플레이 패널용 검사/수정시스템 {Review/Repair System For Flat display pannel}
도 1은 종래 기술에 의한 평판디스플레이 패널용 검사/수정시스템의 구성을 보인 사시도.
도 2는 도 1의 A-A'선 단면도.
도 3은 다른 종래 기술에 의한 평판디스플레이 패널용 검사/수정시스템의 구성을 보인 사시도.
도 4는 도 3의 B-B'선 단면도.
도 5는 본 발명의 평판 디스플레이용 패널용 검사/수정시스템의 바람직한 실시예의 구성을 보인 사시도.
도 6은 도 5의 C-C'선 단면도.
도 7은 본 발명의 평판 디스플레이용 패널용 검사/수정시스템을 분해하여 보인 부분분해사시도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
80: 테이블 80': 글래스 그리퍼
81: 에어분출단 85: 지지대 안착단
87: 척글래스 90: 갠트리부
91: 갠트리바 93: 헤드이동부
95: 검사/수정부 97: 갠트리 지지대
99: 갠트리 이동부 100: 조명부
101: 조명케이스 103: 투과조명
본 발명은 평판 디스플레이 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이 패널의 상태를 검사하고 수정하는 검사/수정시스템에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Ekectro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 디스플레이 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 상용화되고 있다.
이와 같은 평판 디스플레이 장치가 일반적인 화면표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위화상을 얼마나 구현할 수 있는가가 관건이다. 그리고 이러한 평판 디스플레이 장치의 제작공정 중 제품자체의 결함을 검사하는 공정은 제품에 대한 신뢰도와 직결되므로 중요한 공정에 해당한다고 볼 수 있다.
평판 디스플레이 패널의 검사/수정시스템은 크게 두가지로 구분된다. 이러한 검사/수정시스템은 갠트리가 이동하는 갠트리 이동형과 에어부상에 의해 패널이 이동하는 패널이동형으로 구분된다.
도 1 및 도 2에는 종래기술에 의한 평판 디스플레이 패널의 갠트리 이동형 검사/수정시스템이 도시되어 있다.
도시된 바와 같이, 제품자체의 결함 검사 및 수정이 진행되는 패널(10)이 구비된다. 상기 패널(10)은 상면이 평평하게 형성된 테이블(20)에 안착된다. 상기 테이블(20)의 상면에는 상기 패널(10)이 안착되는 척글래스(21)가 구비된다. 상기 척글래스(21)는 유리재질로 형성되어 아래에서 설명할 투과조명(45)에서 발생되는 빛이 통과한다. 상기 척글래스(21)는 양단에 구비된 글래스 지지다리(23)에 의해 지지된다. 상기 테이블(20)의 하면에는 외부로부터 전달되는 진동을 흡수하는 제진대(25)가 형성된다.
상기 테이블(20)의 양단은 상방으로 단차지게 형성되어 지지대 안착단(27)이 형성된다. 상기 지지대 안착단(27)에는 아래에서 설명할 갠트리 이동부(31)가 안착된다. 그리고 상기 지지대 안착단(27)의 상면에는 갠트리 이동레일(27')이 구비된다. 상기 갠트리 이동레일(27')에 의해 아래에서 설명할 갠트리부(30)가 패널의 이동방향, 즉 패널의 이동방향과 수직된 방향을 X축으로 정의하는 경우 Y축방향으로 이동한다.
상기 테이블(20)의 상방에는 갠트리부(30)가 구비된다. 상기 갠트리부(30)는 패널(10)의 결함을 검사/수정하기 위한 것으로, 바형태로 형성되어 상기 테이블(20)의 양단에 이동가능하게 지지된다. 상기 갠트리부(30)의 양단에는 갠트리 이동 부(31)가 구비된다. 상기 갠트리 이동부(31)는 상기 테이블(20)의 양단에 형성된 갠트리 이동레일(27')에 안착된다. 상기 갠트리 이동부(31)는 갠트리 이동레일(27')에 안착되어 상기 테이블(20)의 내부에 구비된 별도의 구동장치(미도시)에 의해 Y축 방향으로 이동한다.
상기 갠트리 이동부(31)의 상면에는 갠트리 지지대(33)가 구비된다. 그리고 상기 갠트리 지지대(33) 사이에는 갠트리바(35)가 구비된다. 상기 갠트리바(35)의 양단은 상기 갠트리 지지대(33)에 의해 지지된다. 상기 갠트리바(35)의 상면에는 헤드이동레일(35')이 구비된다. 상기 헤드이동레일(35')에는 헤드이동부(37)가 안착되고, 상기 헤드이동부(37)는 별도의 구동장치에 의해 X축 방향으로 이동한다.
상기 헤드이동부(37)의 전면에는 검사/수정부(39)가 구비된다. 상기 검사/수정부(39)는 현미경 또는 CCD카메라로 구성되는 검사유닛(39a)과 레이저등을 이용한 수정유닛(39b)으로 구성될 수 있다. 상기 검사유닛(39a)과 수정유닛(39b)은 각각 설치될 수도 있고, 동시에 설치될 수도 있다. 상기 검사유닛(39a)에 의해 패널(10)에 발생한 결점을 발견하며, 이를 수정유닛(39b)에 의해 수정한다.
상기 테이블(20)의 상면에는 조명부(40)가 구비된다. 상기 조명부(40)는 갠트리부(30)와 일체로 구비된다. 따라서 상기 갠트리부(30)가 갠트리이동레일(27')을 따라 Y축방향으로 이동하면, 상기 조명부(40)도 같은 방향으로 이동한다.
상기 조명부(40)에는 이동가이드(41)가 X축방향으로 구비된다. 상기 이동가이드(41)의 양단은 갠트리부(30)의 갠트리 이동부(31)와 연결된다. 상기 이동가이드(41)에는 조명이동대(43)가 구비된다. 상기 조명이동대(43)는 이동가이드(41)에 안착되어 X축 방향으로 이동한다.
상기 조명이동대(43)에는 투과조명(45)이 구비된다. 상기 투과조명(45)은 상기 검사유닛(39a)의 이동방향과 동일한 방향으로 이동하면서 상방으로 빛을 조사한다. 이때 상기 척 글래스(21)가 유리재질로 구성되어 상기 투과조명(45)이 조사하는 빛이 상기 척 글래스(21)를 투과하여 상기 검사유닛(39a)에 도달한다.
도 3 및 도 4에는 종래기술에 의한 평판디스플레이 패널의 패널이동형 검사/수정시스템이 도시되어 있다.
도시된 바와 같이, 검사/수정공정이 실시되는 패널(10)이 구비되고 상기 패널(10)은 상면이 평평하게 형성된 테이블(60)에 안착된다. 상기 테이블(60)의 상면에는 패널(10)의 이동방향, 즉 패널(10)의 이동방향과 수직인 방향을 X축으로 정의할 경우 Y축방향으로 다수개의 에어분출단(61)이 구비된다. 상기 에어분출단(61)은 상방으로 돌출되어 상기 테이블(60)의 상면과 단차지게 형성된다. 상기 에어분출단(61)은 패널(10)의 하면으로 공기를 배출하여 공기의 부양력에 의해 패널(10)을 부양시키는 역할을 하는 것이다. 상기 패널(10)이 테이블(60)의 상면에 부양하여 일측단부터 타측단까지 이동하면서 작업이 실시되므로, 상기 에어분출단(61)의 상면 면적은 실제로 작업되는 패널(10) 면적의 2배가 되어야 한다.
상기 에어분출단(61)의 상면에는 압축공기가 분출되는 다수개의 에어분출공(61')이 형성된다. 상기 에어분출공(61')은 상기 테이블(60)의 내부에 형성된 에어유로(61f)에 연결된다. 상기 에어유로(61f)는 압축공기를 발생시키는 에어구동부(61g)에 연결된다. 따라서 상기 에어구동부(61g)에 의해 발생하는 압축공기는 상기 에어분출공(61')을 통해 분출되어 상방에 위치하는 패널(10)을 지지하므로 상기 패널(10)이 부양된다.
상기 테이블(60)의 양단에는 그리퍼 이동레일(63)이 구비된다. 상기 그리퍼 이동레일(63)의 상면에는 글래스 그리퍼(65)가 안착된다. 상기 글래스 그리퍼(65)는 상기 패널(10)의 양단의 길이에 대응하게 형성되고, 상기 패널(10)의 양단을 고정시킨다. 그리고 상기 글래스 그리퍼(65)는 상기 그리퍼 이동레일(63)에 안착되어 상기 테이블(60) 내부의 구동장치(미도시)에 의해 Y축 방향으로 이동한다. 상기 패널(10)은 글래스 그리퍼(65)와 고정되므로 상기 글래스 그리퍼(65)의 이동과 대응하여 이동된다.
상기 테이블(60)의 상방에는 갠트리부(70)가 구비된다. 상기 갠트리부(70)는 아래에서 설명할 검사/수정부(77)를 이동시키기 위한 것으로 바형태로 구성된다. 상기 갠트리부(70)의 양단에는 갠트리 지지대(71)가 구비된다. 상기 갠트리 지지대(71)는 테이블(60)의 양측단에 고정된다. 상기 갠트리 지지대(71) 사이에는 갠트리바(73)가 구비된다. 상기 갠트리바(73)의 양 측면에는 헤드이동레일(73')이 구비된다. 상기 헤드이동레일(73')에는 헤드이동부(75)가 안착되며, 상기 헤드이동부(75)는 별도의 구동장치에 의해 X축 방향으로 이동한다.
상기 헤드이동부(75)의 전면에는 검사/수정부(77)가 구비된다. 상기 검사/수정부(77)는 현미경 또는 CCD카메라로 구성되는 검사유닛(77a)과 레이저등을 이용한 수정유닛(77b)으로 구성될 수 있다. 상기 검사유닛(77a)과 수정유닛(77b)은 각각 설치될 수도 있고, 동시에 설치될 수도 있다. 상기 검사유닛(77a)에 의해 패널(10) 에 발생한 결점을 발견하여, 수정유닛(77b)에 의해 발견된 결점을 수정한다.
상기 갠트리부(70)의 하방에 대응되는 상기 테이블(60)의 상면에는 투과조명(81)이 구비된다. 상기 투과조명(81)은 봉형태의 조명원으로써, 상기 검사유닛(77a)에 빛을 조사한다. 상기 투과조명(81)은 갠트리부(70)의 위치에 대응하여 상기 갠트리부(70)의 하방에 위치한다.
이하에서는 상기한 바와 같은 구성을 가지는 종래기술에 의한 평판 디스플레이 패널의 검사/수정시스템의 작용을 상세하게 설명한다.
먼저, 갠트리이동형에 의한 검사/수정시스템의 작용을 설명한다.
테이블(20)의 상면에 구비된 척글래스(21)의 상면에 패널(10)을 안착시킨다. 그리고 상기 갠트리부(30)를 상기 패널(10)의 일측단에 정렬시킨다. 그리고 상기 갠트리부(30)에 구비된 헤드이동부(37)가 갠트리바(35)의 상면에 구비된 헤드레일(35')을 따라 이동하면서 상기 헤드이동부(37)에 구비된 검사유닛(39a)이 상기 패널(10)의 결함을 검사한다. 이때 상기 테이블(20)의 상면에 구비된 조명부(40)도 상기 헤드이동부(37)에 구비된 검사유닛(39a)의 이동방향과 대응하여 이동하며 상기 검사유닛(39a)에 빛을 조사한다.
상기 검사유닛(39a)에 의해 상기 패널(10)의 상단 일부의 검사가 종료되면, 상기 갠트리부(30)의 양단에 구비된 갠트리 이동부(31)가 갠트리 이동레일(27')을 따라 Y축 방향으로 소정간격만큼 이동한다. 그리고 다시 상기 검사유닛(39a)이 X축 방향으로 이동하면서 상기 패널(10)의 결함을 검사한다. 이와 같은 방법에 의해 상기 패널(10)의 전면을 모두 검사할 수 있다.
또한 상기 검사유닛(39a)에 의해 패널(10)을 검사하는 중에 상기 패널(10)의 결함이 발견되면, 상기 헤드이동부(37)에 구비된 수정유닛(39b)에 의해 상기 패널(10)의 결함을 수정한다. 이때, 상기 수정유닛(39b)은 레이저 등을 이용하여 패널(10) 내부에 발생한 전극 단락등을 제거하여 상기 패널(10)의 결함을 제거한다.
이어서, 에어부상에 의한 패널이동형 검사/수정시스템의 작용을 설명한다.
테이블(60)의 상면에 패널(10)을 안착시킨다. 이때 상기 테이블(60)의 상면에 구비된 에어분출구(61')에서 압축공기가 분출되어 상기 패널(10)의 중심부가 상방으로 지지된다. 그리고 상기 패널(10)의 양단을 글래스 그리퍼(65)가 고정한다. 상기 패널(10)이 상기 글래스그리퍼(65)에 의해 상기 테이블(60)의 상면에 고정되어 안착되면, 헤드이동부(75)가 Y축 방향으로 이동한다. 그리고 상기 헤드이동부(75)에 구비된 검사유닛(77a)에 의해 상기 패널(10)의 결함을 검사한다. 이때 상기 테이블(60)의 상면에 구비된 투과조명(81)에서 빛이 조사되어 상기 검사유닛(77a)에 전달된다.
그리고 상기 검사유닛(77a)에 의해 패널(10)의 상단 일부가 검사되면, 상기 패널(10)의 양단에 고정된 글래스 그리퍼(65)가 그리퍼 이동레일(63)을 따라 Y축 방향으로 소정간격 이동한다. 이때 상기 에어분출구(61')에서 분출되는 압축공기에 의해 상기 패널(10)이 부상하므로 상기 패널(10)의 이동이 용이해지고 신속해진다. 그리고 상기 검사부(77a)에 의해 상기 패널(10)의 결함을 검사하고 수정부(77b)에 의해 결함을 수정할 수도 있다. 이와 같은 방법에 의해 상기 패널(10)의 전면을 검사할 수 있다.
그러나 상기한 바와 같은 종래기술에 의한 평판디스플레이 패널의 검사/수정시스템에는 다음과 같은 문제점이 있다.
먼저, 갠트리 이동형 검사/수정시스템은 갠트리부(30)가 이동하기 때문에, 패널(10)의 면적에 대응하는 테이블(20)이 필요하므로 장비의 크기가 상대적으로 작다는 이점이 있다. 그러나 이러한 갠트리 이동형은 테이블(20) 상면에 안착되는 패널(10)의 크기가 대면적화되면서 갠트리의 중량이 커지게 되고, 상기 갠트리부(30)의 중량으로 인한 진동때문에 상기 갠트리부(30)의 이동속도를 증가시키기 어려운 문제점이 있다.
그리고, 에어부상에 의한 패널이동형 검사/수정시스템은 압축공기에 의해 패널(10)을 부상시킨 후 글래스고정단(65)이 상기 패널(10)의 양단을 고정시켜 이동시키기 때문에 상기 패널(10)의 이동이 용이하고 상기 패널(10)의 이동속도가 증가하는 효과가 있다. 그러나 이러한 패널이동형은 갠트리부(70)가 고정되고 패널(10)이 이동하므로 상기 패널(10)의 길이방향의 2배에 해당하는 테이블(60)의 면적이 요구되는 문제점이 있다. 또한 대면적화로 인한 패널(10) 크기의 증가는 검사 및 수정작업에 있어서 상기 패널(10)의 중앙부가 처지는 현상이 발생하는 문제점도 있다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 갠트리의 이동거리를 단축시키는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 검사 및 수정작업에 요구되는 테이블 면적의 크기를 감소시키는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 대면적 패널의 중앙부 처짐현상을 방지하는 것이다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명은 상면에 패널이 안착되는 테이블과, 상기 테이블의 양 측단에 구비되고, 상기 패널의 양 측단을 지지하여 패널의 이동방향으로 이동가능하게 구성되는 글래스 그리퍼와, 상기 테이블의 상방에 위치하고, 상기 테이블의 양 측단에 지지되어 패널의 이동방향으로 이동가능하게 구성되고 상기 패널의 결점을 검사 및 수정하는 갠트리부와, 상기 테이블의 상면에 구비되고, 상방으로 압축공기를 분사하여 패널을 부상시키는 에어분출단을 포함하여 구성된다.
상기 글래스 그리퍼와 갠트리부는, 서로 반대방향으로 이동하여 패널의 전 영역을 검사 및 수정한다.
상기 갠트리부는, 상기 테이블의 양 측단에 지지되고, 패널의 이동방향으로 이동가능하게 구성되는 갠트리 이동부와, 상기 갠트리 이동부의 상면에 위치하고, 상기 갠트리부의 양단을 지지하는 갠트리 지지대와, 상기 갠트리 지지대에 양단이 지지되고, 상면에 헤드이동레일이 구비된 갠트리바와, 상기 갠트리바의 헤드이동레일에 안착되어 패널의 이동방향과 수직인 방향으로 이동가능하게 구성되는 헤드이동부와, 상기 헤드이동부의 전면에 구비되고, 상기 패널의 결점을 검사하거나 수정하는 검사/수정부를 포함하여 구성된다.
상기 검사/수정부는, 상기 패널의 결점을 검사하는 검사유닛과 상기 패널의 결점을 수정하는 수정유닛을 동시적 또는 택일적으로 포함하여 구성된다.
상기 갠트리부는, 상기 갠트리부와 일체로 구성되고, 상기 갠트리부의 검사/수정부의 하면에 빛을 조사하여 검사 및 수정을 보조하는 조명부를 더 포함하여 구성된다.
상기 조명부는, 투명재질로 구성되고, 내부에 소정공간이 형성된 조명케이스와, 상기 조명케이스의 내부에 구비되고, 상기 검사/수정부의 하면에 광원을 조사하는 투과조명을 포함하여 구성된다.
상기 에어분출단은, 상기 검사/수정부의 이동영역과 대응하여 구비되는 검사부 에어분출단과, 상기 테이블의 상면에서 상기 검사부 에어분출단이 형성된 지점을 제외한 지점에 구비되는 이동부 에어분출단을 포함하여 구성된다.
상기 검사부 에어분출단과 상기 이동부 에어분출단은, 상기 갠트리부의 이동거리와 테이블의 작업면적을 최소화하는 범위내에서 형성된다.
상기 검사부 에어분출단에는, 투명재질로 구성되며 각 모서리가 상기 검사부 에어분출단에 지지되어 상기 검사부 에어분출단의 상방에 구비되고, 상면에서부터 하면까지 관통되어 형성된 다수개의 에어분사공이 형성된 척글래스가 더 구비된다.
이와 같은 본 발명에 의한 평판 디스플레이 패널 검사/수정시스템에 의하면 갠트리의 이동행정감소로 인해 공정시간이 단축되고, 테이블 면적의 크기가 감소하여 작업공간의 효율성이 증대되며, 압축공기의 세밀한 분사로 인해 패널의 작업정밀도가 향상되는 이점이 있다.
이하에서는 본 발명에 의한 평판 디스플레이 패널 검사/수정시스템의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
도 5 내지 도 7에는 본 발명에 의한 평판 디스플레이 패널용 검사/수정시스템의 바람직한 실시예가 도시되어 있다.
도시된 바에 따르면, 평판 디스플레이를 구성하는 패널(10)이 구비된다. 상기 패널(10)은 상면이 평평한 테이블(80)에 안착된다. 상기 테이블(80)의 양 측단에는 글래스 그리퍼(80')가 구비된다. 상기 글래스 그리퍼(80')는 패널(10)의 양 측단을 고정하여 이동시키기 위한 것이다. 상기 글래스 그리퍼(80')는 아래에서 설명할 이동레일(85')을 따라 패널(10)의 이동방향, 즉 패널(10)의 이동방향과 수직한 방향을 X축으로 정의할 경우 Y축 방향으로 이동한다. 따라서 상기 글래스 그리퍼(80')에 의해 양 측단이 고정된 패널(10)은 상기 글래스 그리퍼(80')의 이동에 따라 Y축 방향으로 이동한다.
상기 테이블(80)의 상면에는 에어분출단(81)이 형성된다. 상기 에어분출단(81)은 테이블(80)의 상면 중앙부에 형성된 검사부 에어분출단(81a)과 상기 테이블(80)의 상면 양단의 소정위치에 형성된 이동부 에어분출단(81b)으로 구분된다. 상기 검사부 에어분출단(81a)은 상방으로 돌출되어 테이블(80)의 상면에서 소정거리가 단차지게 형성되며, 그 상면이 평평하게 형성된다. 상기 검사부 에어분출단(81a)은 패널(10)을 검사 및 수정하기 위한 작업테이블로서 아래에서 설명할 검사/수정부(95)의 이동영역과 대응하여 형성된다.
상기 검사부 에어분출단(81a)의 소정위치에는 다수개의 에어분출공(83)이 형 성된다. 상기 에어분출공(83)은 장치본체(80)의 내부에 형성된 에어유로(83f)와 연결된다. 상기 에어유로(83f)는 압축공기를 생성하는 에어구동부(83g)와 연결된다. 따라서 상기 에어구동부(83g)에서 발생되는 압축공기는 에어유로(83f)를 거쳐 에어분출공(83)으로 분출된다. 상기 패널(10) 검사시 평탄도를 향상시키기 위해 상기 검사부 에어분출단(81a)에서 분출되는 압축공기는 더욱 세밀하게 분사된다.
상기 이동부 에어분출단(81b)은 테이블(80)의 상면에서 소정거리가 단차지게 형성되며 Y축방향으로 다수개가 구비된다. 상기 이동부 에어분출단(81b)은, 도 5 의 부분사시도에 도시된 바와 같이, 에어분출공(83)이 형성되고 상방으로 돌출된 돌출부(81b-1)와 하방으로 요입된 요입부(81b-2)로 구성된다. 상기 에어분출단(81b)에 형성된 에어분출공(83)도 상기에서 설명한 에어유로(83f) 및 에어구동부(83g)와 연결되어 상기 에어구동부(83g)에서 생성된 압축공기가 상기 에어분출공(83)으로 분출된다.
상기 검사부 에어분출단(81a)과 이동부 에어분출단(81b)의 형성범위는 본 발명의 효과와 상관관계를 갖는다. 다시 말해, 상기 검사부 에어분출단(81a) 면적이 이동부 에어분출단(81b)의 면적보다 훨씬 넓은 경우 검사 및 수정작업을 위한 테이블(80)의 면적이 감소하는 장점이 있으나 상대적으로 아래에서 설명할 갠트리부(90)의 이동거리가 증가하여 공정시간이 증가하는 단점이 있다. 이와 반대의 경우 갠트리부(90)의 이동거리가 감소하여 전체 공정시간이 감소하는 이점이 있으나 테이블(80) 면적이 증가하는 단점이 있다. 따라서 상기 검사부 에어분출단(81a)과 이동부 에어분출단(81b)의 형성범위는 공정시간과 테이블 면적의 효과를 최대로 할 수 있는 소정의 범위내에서 형성됨이 바람직하다.
상기 테이블(80)의 양단에는 상방으로 돌출된 지지대 안착단(85)이 상기 테이블(80)의 상면과 단차지게 형성된다. 상기 지지대 안착단(85)의 상면에는 Y축 방향으로 형성된 이동레일(85')이 구비된다. 상기 이동레일(85')에는 아래에서 설명할 갠트리 이동부(99)가 안착된다.
상기 테이블(80)에 구비된 검사부 에어분출단(81a)의 상방에는 척글래스(87)가 구비된다. 상기 척글래스(87)는 검사부 에어분출단(81a)의 전체면적과 대응되게 형성된다. 상기 척글래스(87)는 유리재질로 구성되고, 상면이 평평하게 형성되어 상기 척글래스(87)의 상면에 패널(10)이 안착된다. 상기 패널(10)은 테이블(80) 상면에 평평하게 안착되어야 하므로 상기 척글래스(87)의 상면과 상기 이동부 에어분출단(81b)의 상면의 높이가 동일하게 형성되야 한다. 상기 척글래스(87)는 투명한 유리재질로 구성되므로 아래에서 설명할 투과조명(103)에서 조사되는 빛이 통과한다.
또한 상기 척글래스(87)에는 상기 테이블(80)의 상면에 형성된 에어분출공(83)에서 분사된 압축공기가 패널(10)의 하면에 분사되기 위한 일종의 통공인 에어분사공(87')이 형성된다. 따라서 상기 에어분사공(87')의 형성위치는 에어분출공(83)의 형성위치에 대응하여 형성된다. 상기 에어분사공(87')은 소정의 직경을 가지며 상기 척글래스(87)의 상면에서부터 하면까지 관통하여 형성된다. 따라서 상기 에어구동부(83g)에서 생성된 압축공기는 상기 에어분출공(83)을 지나 에어분사공(87')을 통해 분사된다.
상기 테이블(80)의 상방에는 갠트리부(90)가 구비된다. 상기 갠트리부(90)에는 X축 방향으로 길게 형성된 갠트리바(91)가 구비된다. 상기 갠트리바(91)의 상면에는 헤드이동레일(91')이 구비된다. 상기 헤드이동레일(91')에는 헤드이동부(93)가 안착되어 X축 방향으로 이동한다.
상기 헤드이동부(93)의 전면에는 검사/수정부(95)가 구비된다. 상기 검사/수정부(95)는 CCD 카메라나 현미경 등으로 구성된 검사유닛(95i)과 레이저등을 이용한 수정유닛(95r)으로 구성될 수 있다. 상기 검사유닛(95i)과 수정유닛(95r)은 동시에 구비될 수도 있고, 택일적으로 구성될 수도 있다. 상기 검사유닛(95i)을 통해 검사된 패널상의 결점은 상기 수정유닛(95r)을 이용하여 수정된다.
상기 갠트리바(91)의 양 끝단에는 갠트리 지지대(97)가 구비된다. 상기 갠트리 지지대(97)에 의해 상기 갠트리부(90)가 지지된다. 상기 갠트리 지지대(97)의 하면에는 갠트리 이동부(99)가 구비된다. 상기 갠트리 이동부(99)는 상기 테이블(80)의 양 측단에 형성된 지지대 안착단(85)에 안착된다. 상기 갠트리 이동부(99)는 지지대 안착단(85)에 안착되어 상기 지지대 안착단(85)의 상면에 구비된 상기 이동레일(85')을 따라 Y축 방향으로 이동한다. 따라서 상기 갠트리 이동부(99)의 이동에 의해 상기 갠트리부(90)가 이동한다.
상기 갠트리 이동부(99)의 안쪽면에는 연결플레이트(99')가 구비된다. 상기 연결플레이트(99')에는 조명부(100)가 연결된다. 상기 조명부(100)는 상기에서 설명한 테이블(80)의 상방과 척글래스(87)의 하방 사이에 구비된다. 상기 조명부(100)는 대략 장방형의 조명케이스(101)와 봉형상의 투과조명(103)으로 구성된다. 상기 조명케이스(101)의 상면은 투명한 재질로 구성되며 그 내부에는 투과조명(103)이 구비된다. 상기 투과조명(103)은 검사/수정부(95)의 하면에 빛을 조사한다. 상기 조명부(100)는 갠트리부(90)와 일체로 구성되므로 상기 갠트리부(90)와 일체로 이동하며, 상기 검사유닛(95i)의 하면에 빛을 조사하여 패널(10)에 형성된 결점을 조사하는 것을 보조한다.
이하에서는 본 발명에 의한 평판 디스플레이 패널용 검사/수정시스템의 작용을 상세하게 설명한다.
먼저 검사 및 수정의 대상이 되는 패널(10)이 테이블(80)의 상면에 안착된다. 이때 상기 테이블(80)의 지지대 안착단(85)의 상면에 구비된 글래스 그리퍼(80')가 상기 패널(10)의 양 측단을 고정한다. 그리고 상기 패널(10)이 테이블(80)의 상면에 안착됨과 동시에 상기 테이블(80)의 내부에 구비된 에어구동부(83g)에서 생성된 압축공기가 에어분출공(83) 및 에어분사공(87')을 통해 상방으로 분출된다. 따라서 상기 패널(10)은 테이블(80)의 상면에서 분출된 압축공기에 의해 상방으로 부상한다. 또는 상기 패널(10)의 하면에 압축공기를 분사한 이후에 상기 글래스 그리퍼(80')에 의해 상기 패널(10)의 양 측단이 고정될 수도 있다.
상기 패널(10)이 테이블(80)의 상면에 고정되면, 갠트리부(90)가 Y축 방향에 형성된 상기 패널(10)의 상측 또는 하측 단부에 정렬된다. 상기 갠트리부(90)가 정렬되면, 상기 갠트리부(90)에 구비된 헤드이동부(93)가 헤드이동레일(91')을 따라 X축 방향으로 일측 단부에서부터 타측 단부까지 이동한다. 이때 상기 갠트리부(90)에 구비된 검사유닛(95i)은 상기 패널(10)의 상측 또는 하측 단부의 소정지점을 검 사한다.
상기 검사유닛(95i)이 검사를 실시하는 동안 상기 갠트리부(90)와 일체로 형성된 조명부(100)가 상기 검사유닛(95i)의 하면에 빛을 조사하므로 상기 검사유닛(95i)은 패널(10) 상의 결점을 용이하게 검사할 수 있다. 상기 검사유닛(95i)에 의해 패널(10)상의 결점이 발견되면, 해당지점에서 수정유닛(95r)이 레이저등을 이용하여 패널(10)의 결점을 수정한다. 이때, 상기 패널(10)의 검사가 실시되는 영역에서는 검사부 에어분출단(81a)을 통해 압축공기가 더욱 세밀하게 분사되므로 검사 및 수정작업시 패널(10)의 평탄도가 향상된다.
상기 검사/수정부(95)에 의해 상기 패널(10)의 상측 또는 하측 단부의 소정지점의 검사가 완료되면, 상기 갠트리부(90)는 테이블(80)의 지지대 안착단(85)의 상면에 형성된 이동레일(85')을 따라 Y축 방향으로 소정거리만큼 이동한다. 이때 상기 패널(10)의 양 측단을 지지하고 있는 글래스 그리퍼(80')도 상기 갠트리부(90)의 이동방향과 반대방향으로 소정거리만큼 이동한다. 이때 상기 패널(10)은 압축공기에 의해 부상된 상태이므로 글래스 그리퍼(80')에 의한 이동이 용이해진다. 상기 갠트리부(90)와 글래스 그리퍼(80')가 동시에 이동하므로 상기 갠트리부(90)의 이동행정이 감소한다. 또한 종래의 패널이동형과는 달리 갠트리부(90)가 이동을 하므로 상기 갠트리부(90)의 이동길이에 비례하여 테이블(80)의 면적도 감소한다. 상기 갠트리부(90)와 글래스 그리퍼(80')의 이동이 완료되면, 상기에서 설명한 바와 같이 다시 검사/수정부(95)가 패널 상의 결점을 검사하고 수정한다.
이와 같은 방법에 의해 상기 패널(10)의 Y축 방향의 일측 상,하단부부터 타 측 상,하단부까지 상기 패널(10)의 모든 부분을 검사할 수 있다.
위에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 평판 디스플레이 패널용 검사/수정 시스템에 의하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
먼저, 글래스 그리퍼와 갠트리부가 동시에 구동하여 서로 반대방향으로 이동하여 갠트리부와 글래스 그리퍼의 이동행정이 감소하므로 공정시간이 단축되는 이점이 있다.
그리고, 글래스 그리퍼의 이동방향과 반대방향으로 갠트리부가 동시에 구동하여 패널을 정렬하므로, 글래스 그리퍼만으로 정렬하던 기존 방식에서 요구되는 이동길이가 단축되어 기존의 테이블면적보다 훨씬 적은 테이블면적으로 패널을 정렬하여 검사 및 수정을 하여 작업공간의 효율성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 테이블의 검사 및 수정작업 영역에서는 압축공기가 더욱 세밀하게 분사되므로 패널의 중앙부 처짐현상을 방지하여 평탄도를 향상시켜 작업정밀도를 향상시키는 이점이 있다.

Claims (9)

  1. 상면에 패널이 안착되는 테이블과,
    상기 테이블의 양 측단에 구비되고, 상기 패널의 양 측단을 지지하여 패널의 이동방향으로 이동가능하게 구성되는 글래스 그리퍼와,
    상기 테이블의 상방에 위치하고, 상기 테이블의 양 측단에 지지되어 패널의 이동방향으로 이동가능하게 구성되고 상기 패널의 결점을 검사 및 수정하는 갠트리부와,
    상기 테이블의 상면에 구비되고, 상방으로 압축공기를 분사하여 패널을 부상시키는 에어분출단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널용 검사/수정시스템.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 글래스 그리퍼와 갠트리부는,
    서로 반대방향으로 이동하여 패널의 전 영역을 검사 및 수정함을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널용 검사/수정시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 갠트리부는,
    상기 테이블의 양 측단에 지지되고, 패널의 이동방향으로 이동가능하게 구성되는 갠트리 이동부와,
    상기 갠트리 이동부의 상면에 위치하고, 상기 갠트리부의 양단을 지지하는 갠트리 지지대와,
    상기 갠트리 지지대에 양단이 지지되고, 상면에 헤드이동레일이 구비된 갠트리바와,
    상기 갠트리바의 헤드이동레일에 안착되어 패널의 이동방향과 수직인 방향으로 이동가능하게 구성되는 헤드이동부와,
    상기 헤드이동부의 전면에 구비되고, 상기 패널의 결점을 검사하거나 수정하는 검사/수정부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널용 검사/수정시스템.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 검사/수정부는,
    상기 패널의 결점을 검사하는 검사유닛과 상기 패널의 결점을 수정하는 수정유닛을 동시적 또는 택일적으로 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널용 검사/수정시스템.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 갠트리부는,
    상기 갠트리부와 일체로 구성되고, 상기 갠트리부의 검사/수정부의 하면에 빛을 조사하여 검사 및 수정을 보조하는 조명부를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널용 검사/수정시스템
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 조명부는,
    투명재질로 구성되고, 내부에 소정공간이 형성된 조명케이스와,
    상기 조명케이스의 내부에 구비되고, 상기 검사/수정부의 하면에 광원을 조사하는 투과조명을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널용 검사/수정시스템.
  7. 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 에어분출단은,
    상기 검사/수정부의 이동영역과 대응하여 구비되는 검사부 에어분출단과,
    상기 테이블의 상면에서 상기 검사부 에어분출단이 형성된 지점을 제외한 지점에 구비되는 이동부 에어분출단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널용 검사/수정시스템.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 검사부 에어분출단과 상기 이동부 에어분출단은,
    상기 갠트리부의 이동거리와 테이블의 작업면적을 최소화하는 범위내에서 형성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널용 검사/수정시스템.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 검사부 에어분출단에는,
    투명재질로 구성되며 각 모서리가 상기 검사부 에어분출단에 지지되어 상기 검사부 에어분출단의 상방에 구비되고, 상면에서부터 하면까지 관통되어 형성된 다수개의 에어분사공이 형성된 척글래스가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널용 검사/수정시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120016946A (ko) * 2010-08-17 2012-02-27 (주)에스와이리더 레이저 가공용 스테이지
KR102626389B1 (ko) * 2021-06-24 2024-01-17 에이치비솔루션㈜ 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05198662A (ja) * 1991-08-01 1993-08-06 Tokyo Electron Yamanashi Kk プローブ装置及び同装置におけるアライメント方法
JP2000019063A (ja) 1998-07-06 2000-01-21 Sokkia Co Ltd プラズマディスプレイパネルの電極パターン検査装置
KR20050082084A (ko) * 2004-02-17 2005-08-22 양 전자시스템 주식회사 평판표시장치의 프로브 검사장치 및 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05198662A (ja) * 1991-08-01 1993-08-06 Tokyo Electron Yamanashi Kk プローブ装置及び同装置におけるアライメント方法
JP2000019063A (ja) 1998-07-06 2000-01-21 Sokkia Co Ltd プラズマディスプレイパネルの電極パターン検査装置
KR20050082084A (ko) * 2004-02-17 2005-08-22 양 전자시스템 주식회사 평판표시장치의 프로브 검사장치 및 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10532896B2 (en) 2017-09-26 2020-01-14 Samsung Electronics Co., Ltd. Grip apparatus and substrate inspection system including the same, and method of manufacturing semiconductor device using the substrate inspection system

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