KR100759578B1 - Organic light emitting display device and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

An organic light emitting display device and a manufacturing method thereof are provided to improve the precision of a pattern by preventing the distortion of a first align mark or the abnormal pattern of the first align mark. An organic light emitting display device includes a substrate(10), an organic light-emitting device, a first align mark(12), and a separator(14). The organic light-emitting device is formed on the substrate(10). The first align mark(12) is formed on the substrate, and is placed at the outer side of the organic light-emitting device. The separator(14) is formed on the substrate, and is placed around the first align mark. The first align mark is formed at one surface of the substrate. The separator is formed at the other surface of the substrate.

Description

유기 발광 표시장치 및 그 제조방법 {Organic light emitting display device and manufacturing method thereof}Organic light emitting display device and manufacturing method thereof

도 1은 증착 장치의 개략적 단면도,1 is a schematic cross-sectional view of a deposition apparatus,

도 2는 본 발명에 따라 증착이 이뤄질 증착용 기판의 평면도,2 is a plan view of a deposition substrate to be deposited according to the present invention,

도 3은 증착용 기판과 마스크의 얼라인 상태의 일 예를 도시한 단면도,3 is a cross-sectional view showing an example of an alignment state of a deposition substrate and a mask;

도 4는 증착용 기판과 마스크의 얼라인 상태의 다른 일 예를 도시한 단면도,4 is a cross-sectional view showing another example of an alignment state between a deposition substrate and a mask;

도 5는 도 2의 유기 발광부의 일 예인 패시브 매트릭스형 유기 발광 표시부의 단면도,5 is a cross-sectional view of a passive matrix organic light emitting display as an example of the organic light emitting unit of FIG. 2;

도 6은 도 2의 유기 발광부의 다른 일 예인 액티브 매트릭스형 유기 발광 표시부의 단면도.6 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display unit as another example of the organic light emitting unit of FIG. 2.

본 발명은 유기 발광 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 증착에 대한 정밀도 및 품질이 더욱 향상될 수 있는 유기 발광 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same that can further improve the precision and quality of deposition.

유기 발광 표시장치는 능동 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 표시 소자로서 주목을 받고 있다. Organic light emitting display devices are attracting attention as next generation display devices because they have the advantages of wide viewing angle, excellent contrast, and fast response speed.

이러한 유기 발광 표시장치는 무기 발광 소자에 비해 휘도, 응답속도 등의 특성이 우수하고, 컬러 디스플레이가 가능하다는 장점을 가지고 있다.Such an organic light emitting diode display has advantages such as brightness, response speed, and the like, as compared with an inorganic light emitting diode, and enables color display.

유기 발광 표시장치는 투명한 절연기판 상에 소정 패턴으로 형성된 제1전극과, 이 제1전극이 형성된 절연기판 상에는 진공증착법에 의해 형성된 유기막과, 상기 유기 발광층의 상면에 형성되며 캐소오드 전극층인 제2전극을 포함한다. The organic light emitting diode display includes a first electrode formed in a predetermined pattern on a transparent insulating substrate, an organic film formed by vacuum deposition on the insulating substrate on which the first electrode is formed, and a cathode electrode layer formed on an upper surface of the organic light emitting layer. It includes two electrodes.

이와 같이 구성된 유기 발광 표시장치를 제작함에 있어서, 상기 제1전극은 포토리소그래피법과 같은 습식 식각법에 의해 패터닝될 수 있다. 그러나 상기 유기막, 이 중 특히, 소정의 색상을 구현하는 발광층은 이러한 습식 식각법에 의해 패터닝할 수 없다. 이는 발광층을 형성하는 유기막이 수분 및 산소에 치명적이기 때문이다.In manufacturing the organic light emitting display device configured as described above, the first electrode may be patterned by a wet etching method such as a photolithography method. However, the organic layer, particularly the light emitting layer that implements a predetermined color, cannot be patterned by such a wet etching method. This is because the organic film forming the light emitting layer is deadly to moisture and oxygen.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 유기 발광층을 증착과 동시에 패터닝하는 제조방법이 제안되었다.In order to solve this problem, a manufacturing method for simultaneously patterning an organic light emitting layer is proposed.

이러한 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시장치를 제작하기 위해서는 화소 전극 등이 형성된 증착용 기판에 소정의 개구 패턴이 형성된 마스크를 밀착시켜 유기막, 특히, 발광층을 형성한다. In order to fabricate an organic light emitting display device using such a deposition method, a mask in which a predetermined opening pattern is formed is closely attached to a deposition substrate on which a pixel electrode or the like is formed to form an organic layer, in particular, a light emitting layer.

이러한 발광층을 증착하는 증착 공정은, 마스크에 형성되어 있는 얼라인 마크와 증착용 기판에 형성되어 있는 얼라인 마크를 서로 정렬시켜 기판과 마스크의 위치를 맞추고, 이에 따라 정확한 위치에 패턴을 형성한다. In the deposition step of depositing such a light emitting layer, the alignment mark formed on the mask and the alignment mark formed on the deposition substrate are aligned with each other to align the position of the substrate and the mask, thereby forming a pattern at an accurate position.

그런데, 이 때, 마스크나 프레임에 이물이 묻어 있거나 하면, 기판과 마스크의 얼라인 시, 얼라인용 촬상 카메라로 인식되는 얼라인 마크에 물결 무늬가 발생할 수 있다. 그러면, 이로 인해 기판과 마스크의 얼라인 불량이 발생하고, 이는 결국, 패턴 정밀도를 떨어뜨리는 요인이 된다.At this time, if foreign matters are placed on the mask or the frame, a wave pattern may occur in the alignment mark recognized by the alignment imaging camera when the substrate and the mask are aligned. As a result, misalignment of the substrate and the mask occurs, which in turn causes a decrease in pattern accuracy.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 마스크와 기판의 얼라인 불량을 사전에 막아 패턴 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있는 유기 발광 표시장치 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, which can further improve pattern accuracy by preventing misalignment between a mask and a substrate in advance.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 기판과, 상기 기판 상에 형성된 유기 발광 소자와, 상기 기판 상에 형성되고, 상기 유기 발광 소자의 외측에 위치하는 제1얼라인 마크와, 상기 기판 상에 형성되고, 상기 제1얼라인 마크의 주위에 위치하는 세퍼레이터를 포함하는 유기 발광 표시장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate, an organic light emitting element formed on the substrate, a first alignment mark formed on the substrate and positioned outside the organic light emitting element, An organic light emitting display device is provided on a substrate, and includes a separator positioned around the first alignment mark.

상기 제1얼라인 마크는 상기 기판의 일면에 형성되고, 상기 세퍼레이터는 상기 기판의 타면에 형성될 수 있다.The first alignment mark may be formed on one surface of the substrate, and the separator may be formed on the other surface of the substrate.

상기 제1얼라인 마크 및 세퍼레이터는 상기 기판의 일면에 형성될 수 있다.The first alignment mark and the separator may be formed on one surface of the substrate.

상기 기판은 투명하게 구비될 수 있다.The substrate may be provided transparently.

본 발명은 또한, 제1얼라인 마트를 갖춘 기판을 준비하는 단계와, 상기 제1얼라인 마크와 정렬되는 제2얼라인 마크를 갖추고, 증착용 개구부를 구비한 마스크 프레임 조립체를 준비하는 단계와, 상기 제1얼라인 마크와 제2얼라인 마크가 정렬되도록 상기 기판과 마스크 프레임 조립체를 정렬하는 단계와, 상기 증착용 개구부를 통해 상기 기판에 유기 발광 소자의 일 층을 증착하는 단계를 포함하고, 상기 제1얼라인 마크 또는 제2얼라인 마크의 주위에는 상기 기판 및 마스크 프레임 조립체의 서로 접촉되는 부분이 서로 소정 간격 이격되도록 세퍼레이터가 더 형성되도록 하는 단계를 더 포함하는 유기 발광 표시장치의 제조방법을 제공한다.The present invention also provides a method of preparing a mask frame assembly, comprising: preparing a substrate having a first alignment mart, having a second alignment mark aligned with the first alignment mark, and preparing a mask frame assembly having an opening for deposition; And aligning the substrate and the mask frame assembly such that the first align mark and the second align mark are aligned, and depositing a layer of an organic light emitting device on the substrate through the deposition opening. And forming a separator around the first align mark or the second align mark such that separators are formed to be spaced apart from each other by a predetermined distance. Provide a method.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 유기 발광 표시장치를 제조하는 증착 장치를 개략적으로 도시하였다.1 schematically illustrates a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting display device of the present invention.

도 1과 같이, 챔버(60) 내에 프레임(30)에 용접 고정된 마스크(40)를 장착하고, 이 챔버(60)로 증착을 행할 증착용 기판(10)을 투입한다. 이 증착용 기판(10)은 마스크(40) 상에 배치되며, 마스크(40)와의 얼라인 후에는 마그넷 유닛(62)에 의해 마스크(40)와 밀착된다. 그 후에는 증착 소오스(61)에 의해 증착이 이루어진다.As shown in FIG. 1, the mask 40 fixed to the frame 30 by welding is mounted in the chamber 60, and the deposition substrate 10 to be deposited is introduced into the chamber 60. The vapor deposition substrate 10 is disposed on the mask 40, and is in close contact with the mask 40 by the magnet unit 62 after alignment with the mask 40. Thereafter, deposition is performed by the deposition source 61.

도 2는 증착용 기판(10)을 도시한 것이다. 증착용 기판(10)에는 마스크(40)와의 얼라인을 위한 제1얼라인 마크(12)가 형성되어 있고, 이 제1얼라인 마크(12) 의 주위에는 세퍼레이터(14)가 형성되어 있다. 이 제1얼라인 마크(12) 및 세퍼레이터(14)의 내측에는 유기 발광부(200)가 구비된다. 이 유기 발광부(200)에 대한 상세한 설명은 후술한다.2 shows a substrate 10 for deposition. A first alignment mark 12 for aligning with the mask 40 is formed on the vapor deposition substrate 10, and a separator 14 is formed around the first alignment mark 12. The organic light emitting part 200 is provided inside the first alignment mark 12 and the separator 14. The organic light emitting unit 200 will be described in detail later.

도 3은 증착용 기판(10)과 마스크(40)와의 얼라인을 행하는 상태를 도시한 것이다. 마스크(40)에는 증착용 기판(10)의 제1얼라인 마크(12)에 대응하는 제2얼라인 마크(42)가 형성되어 있다. 이들 얼라인 마크들(12)(42)의 직상에는 얼라인용 촬상 카메라(63)가 설치되어 있다. 증착용 기판(10)과 마스크(40)의 얼라인은 이 촬상 카메라(63)를 이용하여, 제1얼라인 마크(12)와 제2얼라인 마크(42)의 위치를 조정함으로써 이루어진다. 촬상이 원활하게 이뤄질 수 있도록 상기 기판(10)은 투명한 글라스 또는 플라스틱재가 바람직하다.3 shows a state in which the deposition substrate 10 and the mask 40 are aligned. The second alignment mark 42 corresponding to the first alignment mark 12 of the deposition substrate 10 is formed on the mask 40. Immediately above these alignment marks 12 and 42, an alignment imaging camera 63 is provided. Alignment of the vapor deposition board | substrate 10 and the mask 40 is performed by adjusting the position of the 1st alignment mark 12 and the 2nd alignment mark 42 using this imaging camera 63. FIG. The substrate 10 is preferably transparent glass or plastic so that imaging can be performed smoothly.

한편, 본 발명에 따르면, 상기 제1얼라인 마크(12)의 주변에는 세퍼레이터(14)가 형성되어 있어, 이 세퍼레이터(14)에 의해 증착용 기판(10)과 마스크(40)는 서로 소정 간격을 유지할 수 있게 된다. On the other hand, according to the present invention, the separator 14 is formed around the first alignment mark 12, the separator 14 is a predetermined interval between the deposition substrate 10 and the mask 40. It can be maintained.

이 때, 제1얼라인 마크(12)는 도 3에서 볼 수 있듯이, 상기 세퍼레이터(14)와 같은 면에 형성되어 있을 수 있고, 또는 도 4에서 볼 수 있듯이, 상기 세퍼레이터(14)의 반대 면에 형성되어 있을 수도 있다.In this case, as shown in FIG. 3, the first alignment mark 12 may be formed on the same surface as the separator 14, or as shown in FIG. 4, the opposite surface of the separator 14. It may be formed in.

이러한 세퍼레이터(14)에 의해, 증착용 기판(10)과 마스크(40)의 표면은 서로 소정 간격 이격되어 있을 수 있게 되므로, 마스크(40)나 프레임(30)에 묻은 이물에 의해 제1얼라인 마크(12)가 왜곡되거나 제1얼라인 마크(12)에 이상무늬가 발생되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 더욱 정교한 패턴 정밀도를 얻을 수 있 다.The separator 14 allows the deposition substrate 10 and the surface of the mask 40 to be spaced apart from each other by a predetermined distance, so that the first alignment is caused by foreign matter on the mask 40 or the frame 30. It is possible to prevent the mark 12 from being distorted or the occurrence of an abnormal pattern in the first alignment mark 12. As a result, more precise pattern precision can be obtained.

한편, 상기와 같은 세퍼레이터(14)는 반드시 증착용 기판(10)의 면에 형성되어야 할 필요는 없다. 이러한 세퍼레이터는 마스크(40)의 제2얼라인 마크(42)의 주위로 형성되어도 무방하다.On the other hand, the separator 14 as described above does not necessarily need to be formed on the surface of the substrate 10 for deposition. Such a separator may be formed around the second alignment mark 42 of the mask 40.

도 5 및 도 6에 상기와 같은 증착 방법에 의해 형성될 유기 발광부(200)의 PM(Passive Matrix)형 일 예 및 AM(Active Matrix)형 일 예를 각각 도시하였다.5 and 6 illustrate an example of a passive matrix (PM) type and an example of an active matrix (AM) type of the organic light emitting unit 200 to be formed by the deposition method as described above.

먼저, 도 5에는 상기 유기 발광부(200)의 일 예인 패시브 매트릭스방식의 일 예를 도시하였다.First, FIG. 5 illustrates an example of a passive matrix method as an example of the organic light emitting unit 200.

기판(100) 상에 제 1 전극층(221)이 스트라이프 패턴으로 형성되고, 이 제 1 전극층(221)의 상부로 유기층(226) 및 제 2 전극층(227)이 순차로 형성된다. 상기 제 1 전극층(221)의 각 라인 사이에는 절연층(222)이 더 개재될 수 있으며, 상기 제 2 전극층(227)은 상기 제 1 전극층(221)의 패턴과직교하는 패턴으로 형성될 수 있다. The first electrode layer 221 is formed in a stripe pattern on the substrate 100, and the organic layer 226 and the second electrode layer 227 are sequentially formed on the first electrode layer 221. An insulating layer 222 may be further interposed between the lines of the first electrode layer 221, and the second electrode layer 227 may be formed in a pattern orthogonal to the pattern of the first electrode layer 221. .

상기 유기층(226)은 저분자 또는 고분자 유기층이 사용될 수 있는 데, 저분자 유기층을 사용할 경우, 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer) 등의 제1유기층(223)과, 유기 발광층(EML: Emission Layer, 224), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: ElectronInjection Layer) 등의 제2유기층(224)이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있으며, 사용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘 (N,N'- Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB) , 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양하게 적용 가능하다. 이들 저분자 유기층은 진공증착의 방법으로 형성된다.The organic layer 226 may be a low molecular or polymer organic layer. When the low molecular organic layer is used, the first organic layer 223 such as a hole injection layer (HIL) or a hole transport layer (HTL) may be used. And a second organic layer 224 such as an organic emission layer (EML), an electron transport layer (ETL), and an electron injection layer (EIL), stacked in a single or complex structure. Organic materials that can be used include copper phthalocyanine (CuPc), N, N-di (naphthalen-1-yl) -N, N'-diphenyl-benzidine (N, N'-Di (naphthalene- 1-yl) -N, N'-diphenyl-benzidine (NPB), tris-8-hydroxyquinoline aluminum (Alq3) and the like can be variously applied. These low molecular weight organic layers are formed by the vacuum deposition method.

고분자 유기층의 경우에는 대개 홀 수송층(HTL) 등의 제1유기층(223) 및 유기 발광층(EML:224)으로 구비된 구조를 가질 수 있으며, 이 때, 제2유기층(225)은 사용되지 않을 수 있다. 상기 홀 수송층으로 PEDOT를 사용하고, 발광층으로 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 유기물질을 사용할 수 있다.In the case of the polymer organic layer, a structure including a first organic layer 223 and an organic light emitting layer (EML) 224, such as a hole transport layer (HTL), may be generally provided. In this case, the second organic layer 225 may not be used. have. PEDOT may be used as the hole transport layer, and polymer organic materials such as polyvinylvinylene (PPV) and polyfluorene may be used as the light emitting layer.

상기 유기층(226) 중 유기 발광층(224)이 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)으로 구비되어 풀칼라를 구현할 수 있는 데, 이 때, 전술한 세퍼레이터 구조에 의해 패턴 정밀도가 더욱 향상될 수 있게 되는 것이다. The organic light emitting layer 224 of the organic layer 226 may be provided with red (R), green (G), and blue (B) to implement a full color. In this case, the pattern precision is improved by the above-described separator structure. It can be improved further.

상기 제 1 전극층(221)은 애노우드 전극의 기능을 하고, 상기 제 2 전극층(227)은 캐소오드 전극의 기능을 한다. 물론, 이들 제 1 전극층(221)과 제 2 전극층(227)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.The first electrode layer 221 functions as an anode electrode, and the second electrode layer 227 functions as a cathode electrode. Of course, the polarities of the first electrode layer 221 and the second electrode layer 227 may be reversed.

상기 제 1 전극층(221)은 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있는 데, 투명전극으로 사용될 때에는 ITO, IZO, ZnO, 또는 In2O3로 구비될 수 있고, 반사형 전극으로 사용될 때에는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, 및 이들의 화합물 등으로 반사막을 형성한 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO, 또는 In2O3를 형성할 수 있다.The first electrode layer 221 may be provided as a transparent electrode or a reflective electrode, when used as a transparent electrode may be provided with ITO, IZO, ZnO, or In2O3, when used as a reflective electrode, Ag, Mg, After forming a reflective film with Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, a compound thereof, or the like, ITO, IZO, ZnO, or In 2 O 3 can be formed thereon.

한편, 상기 제 2 전극층(227)도 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있는 데, 투명전극으로 사용될 때에는 이 제 2 전극층(227)이 캐소오드 전극으로 사용되므로, 일함수가 작은 금속 즉, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg, 및 이들의 화합물이 유기층(226)의 방향을 향하도록 증착한 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO, 또는 In2O3 등의 투명 전극 형성용 물질로 보조 전극층이나 버스 전극 라인을 형성할 수 있다. 그리고, 반사형 전극으로 사용될 때에는 위 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg, 및 이들의 화합물을 증착하여 형성한다.Meanwhile, the second electrode layer 227 may also be provided as a transparent electrode or a reflective electrode. When the second electrode layer 227 is used as a transparent electrode, the second electrode layer 227 is used as a cathode electrode, so that the work function of the metal is small. After depositing Li, Ca, LiF / Ca, LiF / Al, Al, Ag, Mg, and compounds thereof in the direction of the organic layer 226, thereon a transparent electrode such as ITO, IZO, ZnO, or In2O3 The auxiliary electrode layer or the bus electrode line may be formed of the forming material. And, when used as a reflective electrode is formed by depositing the above Li, Ca, LiF / Ca, LiF / Al, Al, Ag, Mg, and their compounds.

도면으로 도시되지는 않았지만, 이러한 유기 발광 표시장치는 외부의 산소 및 수분의 침투가 차단되도록 밀봉된다.Although not illustrated in the drawings, the organic light emitting diode display is sealed to block the penetration of oxygen and moisture from the outside.

도 6에는 액티브 매트릭스형(AM type)유기 전계 발광 표시장치의 한 부화소의 일 예를 도시하였다. 도 6에서 부화소들은 적어도 하나의 TFT와 자발광 소자인 EL소자(OLED)를 갖는다. FIG. 6 shows an example of one subpixel of an active matrix type organic electroluminescent display. 6, the subpixels have at least one TFT and an EL element OLED which is a self-luminous element.

상기 TFT는 반드시 도 6에 도시된 구조로만 가능한 것은 아니며, 그 수와 구조는 다양하게 변형 가능하다. 이러한 액티브 매트릭스형 유기 발광 표시장치를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.The TFT is not necessarily possible only with the structure shown in FIG. 6, and the number and structure can be variously modified. The active matrix organic light emitting display will be described in more detail as follows.

도 6에서 볼 수 있듯이, 기판(100)상에 버퍼층(230)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(230) 상부로 전술한 TFT가 구비된다. As shown in FIG. 6, a buffer layer 230 is formed on the substrate 100, and the above-described TFT is provided above the buffer layer 230.

상기 TFT는 버퍼층(230) 상에 형성된 반도체 활성층(231)과, 이 활성층(231)을 덮도록 형성된 게이트 절연막(232)과, 게이트 절연막(232) 상부의 게이트 전극(233)을 갖는다. 이 게이트 전극(233)을 덮도록 층간 절연막(234)이 형성되며, 층간 절연막(234)의 상부에 소스 및 드레인 전극(235)이형성된다. 이 소스 및 드레 인 전극(235)은 게이트 절연막(232) 및 층간 절연막(234)에 형성된 컨택홀에 의해 활성층(231)의 소스 영역 및 드레인 영역에 각각 접촉된다. The TFT has a semiconductor active layer 231 formed on the buffer layer 230, a gate insulating film 232 formed to cover the active layer 231, and a gate electrode 233 on the gate insulating film 232. An interlayer insulating layer 234 is formed to cover the gate electrode 233, and source and drain electrodes 235 are formed on the interlayer insulating layer 234. The source and drain electrodes 235 are in contact with the source region and the drain region of the active layer 231 by contact holes formed in the gate insulating layer 232 and the interlayer insulating layer 234.

활성층(231)은 무기반도체 또는 유기반도체로부터 선택되어 형성될 수 있는 것으로, 소스 영역과 드레인 영역에 n형 또는 p형 불순물이 도핑될 수 있고, 이 소스 영역과 드레인 영역을 연결하는 채널 영역을 구비한다.The active layer 231 may be selected from an inorganic semiconductor or an organic semiconductor, and may be doped with n-type or p-type impurities in the source region and the drain region, and have a channel region connecting the source region and the drain region. do.

상기 활성층(231)을 형성하는 무기반도체는 CdS, GaS, ZnS, CdSe, CaSe, ZnSe, CdTe, SiC, 및 Si를 포함하는 것일 수 있다.The inorganic semiconductor forming the active layer 231 may include CdS, GaS, ZnS, CdSe, CaSe, ZnSe, CdTe, SiC, and Si.

그리고, 활성층(231)을 형성하는 유기반도체로는, 밴드갭이 1eV 내지 4eV인 반도체성 유기물질로 구비될 수 있는 데, 고분자로서, 폴리티오펜 및 그 유도체, 폴리파라페닐렌비닐렌 및 그 유도체, 폴리파라페닐렌 및 그 유도체, 폴리플로렌 및 그 유도체, 폴리티오펜비닐렌 및 그 유도체, 폴리티오펜-헤테로고리방향족 공중합체 및 그 유도체를 포함할 수 있고, 저분자로서, 펜타센, 테트라센, 나프탈렌의 올리고아센 및 이들의 유도체, 알파-6-티오펜, 알파-5-티오펜의 올리고티오펜 및 이들의 유도체, 금속을 함유하거나 함유하지 않은 프탈로시아닌 및 이들의 유도체, 파이로멜리틱 디안하이드라이드 또는 파이로멜리틱 디이미드 및 이들의 유도체, 퍼릴렌테트라카르복시산 디안하이드라이드 또는 퍼릴렌테트라카르복실릭 디이미드 및 이들의 유도체를 포함할 수 있다.The organic semiconductor forming the active layer 231 may be formed of a semiconducting organic material having a band gap of 1 eV to 4 eV. As a polymer, polythiophene and derivatives thereof, polyparaphenylene vinylene, and the like Derivatives, polyparaphenylenes and derivatives thereof, polyfluorenes and derivatives thereof, polythiophenevinylene and derivatives thereof, polythiophene-heterocyclic aromatic copolymers and derivatives thereof, and as a low molecule, pentacene, Oligoacenes and derivatives thereof of tetracene, naphthalene, oligothiophenes and derivatives thereof of alpha-6-thiophene, alpha-5-thiophene, phthalocyanine and derivatives thereof, with or without metal, pyromelli Tic dianhydride or pyromellitic diimide and derivatives thereof, perylenetetracarboxylic acid dianhydride or perylenetetracarboxylic diimide and derivatives thereof Can.

상기 게이트 절연막(232)은 SiO2 등으로 구비될 수 있는 데, 이 외에도 SiNx 등이 사용될 수 있고, SiO2와 SiNx의 이중막으로 구비될 수도 있으며, 이 외 유기물로도 형성될 수 있다.The gate insulating layer 232 may be formed of SiO 2 or the like. In addition, SiNx may be used, and the gate insulating layer 232 may be formed of a double layer of SiO 2 and SiN x, or may be formed of other organic materials.

이 게이트 절연막(232) 상부의 소정 영역에는 MoW, Al, Cr, Al/Cu 등의 도전성 금속막으로 게이트 전극(233)이형성된다. 상기 게이트 전극(233)을 형성하는 물질에는 반드시 이에 한정되지 않으며, 도전성 폴리머 등 다양한 도전성 물질이 게이트 전극(233)으로 사용될 수 있다. 상기 게이트 전극(233)이 형성되는 영역은 활성층(231)의 채널 영역에 대응된다.The gate electrode 233 is formed of a conductive metal film such as MoW, Al, Cr, Al / Cu, etc. in a predetermined region above the gate insulating film 232. The material forming the gate electrode 233 is not necessarily limited thereto, and various conductive materials such as a conductive polymer may be used as the gate electrode 233. The region where the gate electrode 233 is formed corresponds to the channel region of the active layer 231.

상기 층간 절연막(234)은 SiO2나 SiNx 또는 이들의 화합물로 형성될 수 있고, 소스/드레인 전극(235)은 전술한 게이트 전극(233)과 동일한 재질로 형성될 수 있다.The interlayer insulating layer 234 may be formed of SiO 2, SiN x, or a compound thereof, and the source / drain electrode 235 may be formed of the same material as the gate electrode 233 described above.

소스 및 드레인 전극(235) 상부로는SiO2, SiNx 등으로 이루어진 패시베이션막(234)이 형성되고, 이 패시베이션 막(234)의 상부에는 아크릴, 폴리 이미드 등에 의한 평탄화막(237)이 형성되어 있다. A passivation film 234 made of SiO 2, SiN x, or the like is formed on the source and drain electrodes 235, and a planarization film 237 made of acryl, polyimide, or the like is formed on the passivation film 234. .

비록 도면으로 도시하지는 않았지만, 상기 TFT에는 적어도 하나의 커패시터가 연결된다.Although not shown in the drawings, at least one capacitor is connected to the TFT.

한편, 상기 소스/드레인 전극(235)에 유기 발광 소자(OLED)가 연결되는 데, 상기 유기 발광 소자(OLED)의 애노우드 전극이 되는 제 1 전극층(221)에 연결된다. 상기 제 1 전극층(221)은 평탄화막(237) 상부에 형성되어 있으며, 이 제 1 전극층(221)을 덮도록 화소정의막(Pixel defining layer: 238)이 형성된다. 그리고, 이 화소정의막(238)에 소정의 개구부를 형성한 후, 유기 발광 소자(OLED)를 형성한다. The OLED is connected to the source / drain electrode 235, and is connected to the first electrode layer 221 which becomes an anode of the OLED. The first electrode layer 221 is formed on the planarization layer 237, and a pixel defining layer 238 is formed to cover the first electrode layer 221. After the predetermined openings are formed in the pixel definition layer 238, the organic light emitting element OLED is formed.

상기 유기 발광 소자(OLED)는 전류의 흐름에 따라 적, 녹, 청색의 빛을 발광하여 소정의 화상 정보를 표시하는 것으로, TFT의 소스/드레인 전극(235)에 연결되 어 이로부터 플러스 전원을 공급받는 제 1 전극층(221)과, 전체 화소를 덮도록 구비되어 마이너스 전원을 공급하는 제 2 전극층(227), 및 이들 제 1 전극층(221)과 제 2 전극층(227)의 사이에 배치되어 발광하는 유기층(226)으로 구성된다.The organic light emitting diode OLED displays predetermined image information by emitting red, green, and blue light according to the flow of electric current, and is connected to the source / drain electrodes 235 of the TFT to supply positive power therefrom. The first electrode layer 221 to be supplied, the second electrode layer 227 provided to cover all the pixels to supply negative power, and disposed between the first electrode layer 221 and the second electrode layer 227 to emit light. The organic layer 226 is formed.

상기 유기층(226)은 전술한 도 6에 따른 유기층과 동일하므로, 그 상세한 설명은 생략한다. 이러한 액티브 매트릭스형 유기 발광 표시장치에 있어서도, 유기층(226)의 유기 발광층(EML)을 형성할 때에, 전술한 세퍼레이터 구조(14)에 의해 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있게 되는 것이다.Since the organic layer 226 is the same as the organic layer according to FIG. 6 described above, a detailed description thereof will be omitted. In such an active matrix type organic light emitting display device, the separator structure 14 described above can further improve the precision when forming the organic light emitting layer EML of the organic layer 226.

한편, 상기 제 1 전극층(221)은 전술한 패시브 매트릭스형과 같이,투명 전극 또는 반사형 전극으로 형성될 수 있는 데, 각 부화소의 개구 형태에 대응되는 형태로 형성될 수 있다. 또, 제 2 전극층(227)은 투명전극 또는 반사형 전극을 디스플레이 영역 전체에 전면 증착하여 형성할 수 있다. 그러나, 이 제 2 전극층(227)은 반드시 전면 증착될 필요는 없으며, 다양한 패턴으로 형성될 수 있음은 물론이다. 상기 제 1 전극층(221)과 제 2 전극층(227)은 서로 위치가 반대로 적층될 수도 있음은 물론이다.Meanwhile, the first electrode layer 221 may be formed as a transparent electrode or a reflective electrode like the aforementioned passive matrix type, and may be formed in a shape corresponding to the opening shape of each subpixel. In addition, the second electrode layer 227 may be formed by depositing a transparent electrode or a reflective electrode on the entire display area. However, the second electrode layer 227 does not necessarily have to be entirely deposited, and of course, may be formed in various patterns. Of course, the first electrode layer 221 and the second electrode layer 227 may be stacked opposite to each other.

이러한 유기 발광 표시장치는 외부의 산소 및 수분의 침투가 차단되도록 밀봉된다.The organic light emitting diode display is sealed to block penetration of oxygen and moisture from the outside.

전술한 증착 패턴은 유기 발광 표시장치의 발광층 패턴이 될 수 있다. 이 때, 발광층이 적색, 녹색, 청색으로 구비될 경우에는, 각각의 패턴 증착을 위한 마스크를 세 개 구비해, 별도의 공정으로 진행한다. 그리고, AM 유기 발광 표시장치의 경우에는 증착용 기판은 TFT를 포함하는 기판일 수 있다.The deposition pattern described above may be a light emitting layer pattern of the organic light emitting diode display. In this case, when the light emitting layer is provided in red, green, and blue, three masks for pattern deposition are provided, and the process proceeds to a separate process. In the AM organic light emitting diode display, the deposition substrate may be a substrate including a TFT.

본 발명은 상기와 같은 세퍼레이터에 의해, 증착용 기판과 마스크의 표면은 서로 소정 간격 이격되어 있을 수 있게 되므로, 마스크나 프레임에 묻은 이물에 의해 제1얼라인 마크가 왜곡되거나 제1얼라인 마크에 이상무늬가 발생되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 더욱 정교한 패턴 정밀도를 얻을 수 있다.According to the present invention, the surface of the deposition substrate and the mask may be spaced apart from each other by the separator as described above, and thus, the first alignment mark may be distorted by the foreign matter on the mask or the frame, Abnormal pattern can be prevented from occurring. As a result, more precise pattern precision can be obtained.

본 명세서에서는 본 발명을 한정된 실시예를 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능하다. 또한 설명되지는 않았으나, 균등한 수단도 또한 본 발명에 그대로 결합되는 것이라 할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.In the present specification, the present invention has been described with reference to limited embodiments, but various embodiments are possible within the scope of the present invention. In addition, although not described, equivalent means will also be referred to as incorporated in the present invention. Therefore, the true scope of the present invention will be defined by the claims below.

Claims (5)

기판;Board; 상기 기판 상에 형성된 유기 발광 소자;An organic light emitting element formed on the substrate; 상기 기판 상에 형성되고, 상기 유기 발광 소자의 외측에 위치하는 제1얼라인 마크; 및A first alignment mark formed on the substrate and positioned outside the organic light emitting diode; And 상기 기판 상에 형성되고, 상기 제1얼라인 마크의 주위에 위치하는 세퍼레이터;를 포함하는 유기 발광 표시장치.And a separator formed on the substrate and positioned around the first alignment mark. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1얼라인 마크는 상기 기판의 일면에 형성되고,The first alignment mark is formed on one surface of the substrate, 상기 세퍼레이터는 상기 기판의 타면에 형성된 유기 발광 표시장치.The separator is formed on the other surface of the substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1얼라인 마크 및 세퍼레이터는 상기 기판의 일면에 형성된 유기 발광 표시장치. The first alignment mark and the separator are formed on one surface of the substrate. 제2항 또는 제3항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 기판은 투명하게 구비된 유기 발광 표시장치.The substrate is transparently provided. 제1얼라인 마트를 갖춘 기판을 준비하는 단계;Preparing a substrate having a first alignment mart; 상기 제1얼라인 마크와 정렬되는 제2얼라인 마크를 갖추고, 증착용 개구부를 구비한 마스크 프레임 조립체를 준비하는 단계;Preparing a mask frame assembly having a second alignment mark aligned with the first alignment mark and having an opening for deposition; 상기 제1얼라인 마크와 제2얼라인 마크가 정렬되도록 상기 기판과 마스크 프레임 조립체를 정렬하는 단계; 및Aligning the substrate and mask frame assembly such that the first and second alignment marks are aligned; And 상기 증착용 개구부를 통해 상기 기판에 유기 발광 소자의 일 층을 증착하는 단계;를 포함하고,Depositing a layer of an organic light emitting device on the substrate through the deposition opening; 상기 제1얼라인 마크 또는 제2얼라인 마크의 주위에는 상기 기판 및 마스크 프레임 조립체의 서로 접촉되는 부분이 서로 소정 간격 이격되도록 세퍼레이터가 더 형성되도록 하는 단계를 더 포함하는 유기 발광 표시장치의 제조방법.And forming a separator around the first align mark or the second align mark such that portions of the substrate and the mask frame assembly which are in contact with each other are separated from each other by a predetermined distance. .
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