KR100752237B1 - Method for measuring distance between nozzle and gap sensor of paste dispenser - Google Patents

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KR100752237B1 KR1020060091435A KR20060091435A KR100752237B1 KR 100752237 B1 KR100752237 B1 KR 100752237B1 KR 1020060091435 A KR1020060091435 A KR 1020060091435A KR 20060091435 A KR20060091435 A KR 20060091435A KR 100752237 B1 KR100752237 B1 KR 100752237B1
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Abstract

A method for measuring the distance between a gap sensor and a nozzle of a paste dispenser is provided to rapidly and accurately perform measurement of distance between the gap sensor and the nozzle even if plural head units are installed on the paste dispenser. A method for measuring distance between a gap sensor and a nozzle of a paste dispenser comprises the steps of forming a Y-axis paste coating part on a substrate by coating paste in predetermined length from the nozzle(S210), calculating distance between a gap sensor and a nozzle in X-axis direction by scanning the Y-axis paste coating part(S220), forming an X-axis paste coating part on the substrate by coating the paste in the predetermined length from the nozzle(S230), and calculating distance between a gap sensor and a nozzle in Y-axis direction by scanning the X-axis paste coating part(S240).

Description

페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리 측정방법{Method for measuring distance between nozzle and gap sensor of paste dispenser}Method for measuring distance between nozzle and gap sensor of paste dispenser}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리 측정방법이 적용되는 페이스트 디스펜서의 일 예를 도시한 사시도. 1 is a perspective view illustrating an example of a paste dispenser to which a distance measuring method between a nozzle and a gap sensor of a paste dispenser according to an embodiment of the present invention is applied;

도 2는 도 1에 있어서, 헤드 유닛을 발췌하여 도시한 사시도. FIG. 2 is a perspective view of the head unit shown in FIG. 1;

도 3은 도 1에 도시된 페이스트 디스펜서에 있어서, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리 측정방법에 의해 거리를 측정하는 방법에 대한 흐름도. 3 is a flowchart illustrating a method of measuring a distance by a distance measuring method between a nozzle and a gap sensor according to an embodiment of the present invention in the paste dispenser shown in FIG. 1;

도 4a 및 도 4b는 도 3에 있어서, X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법을 설명하기 위한 도면. 4A and 4B are diagrams for explaining a method of measuring a distance between a nozzle and a gap sensor in the X-axis direction in FIG.

도 5a 및 도 5b는 도 3에 있어서, Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법을 설명하기 위한 도면. 5A and 5B are diagrams for explaining a method of measuring a distance between a nozzle and a gap sensor in the Y-axis direction in FIG.

〈도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명〉<Brief description of the major symbols in the drawings>

10..기판 140..헤드 유닛10. Substrate 140. Head unit

151..노즐 161..갭 센서 151..Nozzle 161.Gap Sensor

DX..X축에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리Distance between nozzle and gap sensor along DX..X axis

DY..X축에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리Distance between nozzle and gap sensor along DY..X axis

본 발명은 페이스트 디스펜서에 있어서, 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 정확하고 신속하게 측정할 수 있는 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method in which a paste dispenser can accurately and quickly measure the distance between a nozzle and a gap sensor.

일반적으로, 평판 디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치를 일컫는다. 이러한 평판 디스플레이로는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마 디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출 디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기 EL(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다. In general, a flat panel display (FPD) refers to an image display device that is thinner and lighter than a television or a monitor employing a CRT. Such flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), field emission displays (FEDs), organic light emitting diodes (OLEDs), and the like. It is used.

이 중에서, 액정 디스플레이는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정 디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작 전압이 낮은 장점 등이 있어 널리 이용되고 있다. 이러한 액정 디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정 패널의 제조 방법을 일 예로 설명하면 다음과 같다. Among them, the liquid crystal display is a display device in which a desired image is displayed by individually supplying data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix to adjust light transmittance of the liquid crystal cells. Liquid crystal displays are widely used because of their thinness, light weight, low power consumption and low operating voltage. A manufacturing method of a liquid crystal panel generally employed in such a liquid crystal display will be described as an example.

먼저, 상부 글라스 기판에 컬러 필터 및 공통 전극을 패턴 형성하고, 상부 글라스 기판과 대향이 되는 하부 글라스 기판에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소 전극을 패턴 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막 을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층의 액정분자에 프리틸트 각(pretilt angle)과 배향 방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다. First, a color filter and a common electrode are patterned on the upper glass substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are patterned on the lower glass substrate facing the upper glass substrate. Subsequently, after the alignment films are applied to the substrates, the alignment films are rubbed to provide a pretilt angle and an orientation direction to the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer to be formed therebetween.

그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성한 후 액정 패널을 제조하게 된다. Then, paste is applied to a substrate in a predetermined pattern to form a paste pattern so as to maintain a gap between the substrates and to prevent leakage of liquid crystal to the outside and to seal the substrates, and then form a paste pattern between the substrates. After the liquid crystal layer is formed, a liquid crystal panel is manufactured.

이처럼 액정 패널의 제조에 있어서, 기판 위에 페이스트 패턴을 형성하기 위해 페이스트 디스펜서(paste dispenser)라는 장비가 이용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 기판이 탑재되는 스테이지와, 스테이지에 탑재된 기판에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착된 헤드 유닛, 및 헤드 유닛을 지지하는 헤드 지지부를 포함하여 구성된다. 여기서, 페이스트 디스펜서는 대면적의 기판에 다수의 페이스트 패턴을 동시에 형성하여 생산성 향상을 도모할 수 있도록, 헤드 유닛을 다수 개로 구비하기도 한다. As described above, in the manufacture of the liquid crystal panel, a device called a paste dispenser is used to form a paste pattern on a substrate. The paste dispenser includes a stage on which a substrate is mounted, a head unit equipped with a nozzle for discharging paste to a substrate mounted on the stage, and a head support portion for supporting the head unit. Here, the paste dispenser may be provided with a plurality of head units so that a large number of paste patterns may be simultaneously formed on a large-area substrate to improve productivity.

이러한 페이스트 디스펜서는 각각의 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서 노즐로부터 기판에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 각각의 헤드 유닛에 장착된 노즐을 Z축 방향으로 상하 이동시켜 노즐과 기판 사이의 갭(gap)을 일정하게 제어하면서, 노즐 및/또는 기판을 X축 방향과 Y축 방향으로 수평 이동시킴으로써, 노즐로부터 기판에 페이스트 패턴을 형성한다. Such a paste dispenser forms a paste pattern from the nozzle to the substrate while varying the relative position between each nozzle and the substrate. That is, the paste dispenser moves the nozzles mounted on the respective head units up and down in the Z-axis direction to constantly control the gap between the nozzle and the substrate, while moving the nozzle and / or the substrate in the X-axis direction and Y-axis direction. By moving horizontally, the paste pattern is formed in the substrate from the nozzle.

이처럼 페이스트 패턴을 형성하는 과정에서, 노즐과 기판 사이의 갭을 일정하게 제어하기 위해, 각각의 헤드 유닛에는 갭 센서가 장착된다. 갭 센서는 노즐과 기판 사이의 갭을 측정한 갭 데이터를 디스펜서의 제어부로 제공함으로써, 상기 제어부가 갭 데이터를 토대로 노즐과 기판 사이의 갭을 일정하게 제어할 수 있게 한다. 즉, 노즐과 기판 중 적어도 하나를 X축 방향과 Y축 방향으로 수평 이동시켜가면서 페이스트 패턴을 형성하는 과정에서, 기판 면이 고르지 않거나 그 밖의 다른 원인으로 노즐과 기판 사이의 갭이 변하게 되면, 페이스트 패턴이 형성된 후 페이스트 패턴의 폭과 높이 등이 설정된 범위를 벗어나는 페이스트 패턴 불량이 발생할 수 있다. 이러한 문제를 방지하고자, 페이스트 디스펜서는 갭 센서를 구비하는 것이다. In this process of forming the paste pattern, in order to constantly control the gap between the nozzle and the substrate, each head unit is equipped with a gap sensor. The gap sensor provides gap data measuring the gap between the nozzle and the substrate to the controller of the dispenser, thereby allowing the controller to constantly control the gap between the nozzle and the substrate based on the gap data. That is, in the process of forming the paste pattern while horizontally moving at least one of the nozzle and the substrate in the X-axis direction and the Y-axis direction, if the gap between the nozzle and the substrate changes due to uneven or other causes, the paste After the pattern is formed, a paste pattern defect may occur in which the width and height of the paste pattern are out of a set range. To avoid this problem, the paste dispenser has a gap sensor.

그런데, 전술한 바와 같이, 노즐과 갭 센서는 헤드 유닛에 장착되는 구조로 이루어지므로, 노즐과 갭 센서가 초기 장착된 상태나 교체된 상태에서 노즐과 갭 센서 사이의 실제 거리 값이 설정된 거리 값과 차이를 보일 수 있다. 그에 따라, 갭 센서의 측정 포인트가 달라질 수 있는바, 정확한 갭 데이터가 획득되지 않을 수 있다. 그 결과, 페이스트 패턴이 형성된 후 페이스트 패턴의 폭과 높이 등이 설정된 범위를 벗어나는 페이스트 패턴 불량이 발생할 수 있다.
이를 방지하기 위해, 노즐과 갭 센서 사이의 실제 거리 값이 정확히 측정될 필요가 있는 것이다. 즉, 측정된 실제 거리 값을 설정된 거리 값과 비교하여 큰 차이가 있다면 사용자로 하여금 노즐 및/또는 갭 센서를 다시 장착하게 하거나, 큰 차이가 없다면 디스펜서의 제어부로 하여금 갭 데이터를 보정하게 할 수 있다.
또한, 노즐과 갭 센서는 헤드 유닛마다 장착되는데, 헤드 유닛들에 의해 페이스트 패턴들이 형성된 후 페이스트 패턴들 중 어느 하나라도 불량이 없도록 헤드 유닛마다 노즐과 갭 센서 사이의 실제 거리 값이 정확히 측정될 필요가 있는 것이다. However, as described above, since the nozzle and the gap sensor are configured to be mounted to the head unit, the actual distance value between the nozzle and the gap sensor in the state where the nozzle and the gap sensor are initially mounted or replaced is set to the distance value. The difference can be seen. Accordingly, the measurement point of the gap sensor may vary, so that accurate gap data may not be obtained. As a result, after the paste pattern is formed, a paste pattern defect may occur in which the width and height of the paste pattern, etc., are out of the set range.
To prevent this, the actual distance value between the nozzle and the gap sensor needs to be measured accurately. That is, by comparing the measured actual distance value with the set distance value, if there is a big difference, the user may remount the nozzle and / or gap sensor, or if there is no big difference, the controller of the dispenser may correct the gap data. .
Further, the nozzle and the gap sensor are mounted for each head unit, and after the paste patterns are formed by the head units, the actual distance value between the nozzle and the gap sensor needs to be accurately measured for each head unit so that any one of the paste patterns is not defective. There is.

게다가, 갭 센서가 초기 장착된 상태나 교체된 상태에서 갭 센서의 측정 포인트가 기판의 페이스트 도포 위치를 벗어나 기판에 형성된 배향막 등에 위치할 수도 있는바, 배향막 등과의 간섭에 의해 측정 오류가 발생할 수도 있다. 따라서, 헤드 유닛마다 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 정확하게 측정함으로써, 모든 헤드 유닛에서 갭 센서를 전술한 바와 같은 측정 오류를 발생시키지 않도록 위치시킬 필요가 있다. In addition, in the state where the gap sensor is initially mounted or replaced, the measurement point of the gap sensor may be located outside the paste coating position of the substrate and placed on an alignment film formed on the substrate. Measurement errors may also occur due to interference with the alignment film. . Therefore, by accurately measuring the distance between the nozzle and the gap sensor for each head unit, it is necessary to position the gap sensor in all the head units so as not to generate the measurement error as described above.

이를 위해, 종래에 따르면, 노즐과 갭 센서 사이의 거리 측정을 작업자가 수작업으로 수행하고 있다. 즉, 작업자는 기판이 탑재되는 스테이지를 이동시켜가면서 비전 기기를 통해 노즐과 갭 센서의 위치를 확인함으로써, 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 계산하여 측정하는 방식을 이용하고 있다. To this end, according to the related art, the operator manually measures the distance between the nozzle and the gap sensor. That is, the operator uses a method of calculating and measuring the distance between the nozzle and the gap sensor by checking the position of the nozzle and the gap sensor through the vision device while moving the stage on which the substrate is mounted.

그러나, 전술한 바와 같이, 작업자가 육안으로 확인하면서 헤드 유닛마다 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하게 됨에 따라, 페이스트 디스펜서에 다수의 헤드 유닛이 구비된 경우, 노즐과 갭 센서 사이의 거리 측정에 많은 시간이 소요될 수 있다. 그리고, 숙련되지 않은 작업자가 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하기에는 어려움이 있을 수 있다. 게다가, 작업자가 육안으로 노즐과 갭 센서 사이 의 거리를 측정함에 따라 정확도가 떨어지는 문제가 있을 수 있다. However, as described above, as the operator visually checks the distance between the nozzle and the gap sensor for each head unit, when the paste dispenser is provided with a plurality of head units, the distance between the nozzle and the gap sensor is measured. It can take a lot of time. And, it may be difficult for an inexperienced worker to measure the distance between the nozzle and the gap sensor. In addition, there may be a problem of inaccuracy as the operator visually measures the distance between the nozzle and the gap sensor.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 노즐과 갭 센서 사이의 거리 측정을 자동화할 수 있게 함으로써, 페이스트 디스펜서가 다수의 헤드 유닛을 구비한 경우에라도 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 정확하고 신속하게 측정할 수 있는 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리 측정방법을 제공함에 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problem, and by allowing the distance measurement between the nozzle and the gap sensor to be automated, the distance between the nozzle and the gap sensor can be accurately and quickly even when the paste dispenser is equipped with a plurality of head units. It is an object of the present invention to provide a method for measuring a distance between a nozzle and a gap sensor of a paste dispenser that can be measured easily.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리 측정방법은, 노즐과 기판 중 적어도 하나를 X축 및 Y축 방향으로 이동시키는 한편, 상기 노즐과 기판 사이의 갭(gap)을 측정하는 갭 센서로부터 제공되는 갭 데이터를 토대로 상기 갭을 일정하게 유지하면서, 상기 노즐로부터 상기 기판에 소정 패턴으로 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서에 있어서, 상기 노즐과 기판 중 적어도 하나를 Y축 방향으로 이동시켜가면서 상기 노즐로부터 페이스트를 소정 길이로 도포하여 상기 기판에 Y축 페이스트 도포부를 형성하는 단계; 상기 갭 센서와 기판 중 적어도 하나를 X축 방향으로 이동시켜가면서 상기 Y축 페이스트 도포부를 스캔하여 X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 산출하는 단계; 상기 노즐과 기판 중 적어도 하나를 X축 방향으로 이동시켜가면서 상기 노즐로부터 페이스트를 소정 길이로 도포하여 상기 기판에 X축 페이스트 도포부를 형성하는 단계; 및 상기 갭 센서와 기판 중 적어도 하나를 Y축 방향으로 이동시켜가면서 상기 X축 페이스트 도포부를 스캔하여 Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 산출하는 단계를 포함한다. In the distance measuring method between the nozzle and the gap sensor of the paste dispenser according to the present invention for achieving the above object, while moving at least one of the nozzle and the substrate in the X-axis and Y-axis direction, the gap between the nozzle and the substrate A paste dispenser for applying paste in a predetermined pattern from the nozzle to the substrate while keeping the gap constant based on gap data provided from a gap sensor measuring a gap, wherein at least one of the nozzle and the substrate is Y Applying a paste from the nozzle to a predetermined length while moving in the axial direction to form a Y-axis paste coating part on the substrate; Calculating the distance between the nozzle and the gap sensor along the X-axis direction by scanning the Y-axis paste coating part while moving at least one of the gap sensor and the substrate in the X-axis direction; Moving the at least one of the nozzle and the substrate in the X-axis direction to apply a paste from the nozzle to a predetermined length to form an X-axis paste coating part on the substrate; And calculating the distance between the nozzle and the gap sensor along the Y-axis direction by scanning the X-axis paste coating part while moving at least one of the gap sensor and the substrate in the Y-axis direction.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 바람직한 실시예에 따른 본 발명을 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리 측정방법이 적용되는 페이스트 디스펜서의 일 예를 도시한 사시도이다. 1 is a perspective view illustrating an example of a paste dispenser to which a distance measuring method between a nozzle and a gap sensor of a paste dispenser according to an embodiment of the present invention is applied.

도 1에 도시된 페이스트 디스펜서(100)는, 노즐(151)과 기판(10) 중 적어도 하나를 X축 및 Y축 방향으로 이동시키는 한편, 노즐(151)과 기판(10) 사이의 갭(gap)을 일정하게 유지하면서, 노즐(151)로부터 기판(10) 위에 소정 패턴으로 페이스트(paste)를 도포하는 것으로, 프레임(110)을 구비한다. 상기 프레임(110)은 지면에 지지가 됨으로써, 페이스트 디스펜서(110) 전체가 지면에 지지가 될 수 있게 한다. The paste dispenser 100 shown in FIG. 1 moves at least one of the nozzle 151 and the substrate 10 in the X-axis and Y-axis directions, while a gap between the nozzle 151 and the substrate 10. ), The frame 110 is provided by applying a paste from the nozzle 151 onto the substrate 10 in a predetermined pattern. The frame 110 is supported on the ground, so that the entire paste dispenser 110 can be supported on the ground.

이러한 프레임(110)의 상측에는 페이스트가 토출될 기판(10)을 지지하기 위한 스테이지(120)가 배치된다. 여기서, 상기 스테이지(120)는 프레임(110)의 일 측에서 공급되어 적재된 기판(10)을 하측에서 지지할 수 있게 형성된다. The stage 120 for supporting the substrate 10 on which the paste is to be discharged is disposed above the frame 110. Here, the stage 120 is formed to support the substrate 10 loaded and loaded from one side of the frame 110 from the lower side.

상기 스테이지(120)는 프레임(110)에 지지가 될 수 있다. 여기서, 스테이지(120)는 스테이지용 액추에이터에 의해 Y축 및/또는 X축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있게 프레임(110)에 지지가 될 수 있다. 물론, 스테이지(120)가 프레임(110)에 고정되어 지지가 되는 것도 가능하다. The stage 120 may be supported by the frame 110. Here, the stage 120 may be supported on the frame 110 so that the stage 120 can slide in the Y-axis and / or X-axis directions by the stage actuator. Of course, the stage 120 may be fixed to the frame 110 to be supported.

이러한 스테이지(120)의 상측에는 헤드 지지부(130)가 배치된다. 즉, 상기 헤드 지지부(130)는 스테이지(120)의 상측에 X축 방향으로 길게 연장되며, 프레임(110)에 양단이 지지가 된다. 여기서, 상기 헤드 지지부(130)는 헤드 지지부용 Y축 액추에이터에 의해 Y축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있게 프레임(110)에 지지가 될 수 있다. 상기 헤드 지지부(130)는 기판(10)이 대면적으로 이루어진 경우, 생산성을 높이기 위해 복수 개로 구비될 수 있다. The head support 130 is disposed above the stage 120. That is, the head support 130 is extended in the X-axis direction on the upper side of the stage 120, both ends are supported by the frame 110. Here, the head support 130 may be supported on the frame 110 to slide in the Y-axis direction by the Y-axis actuator for the head support. When the substrate 10 is made of a large area, the head support 130 may be provided in plural in order to increase productivity.

이러한 헤드 지지부(130)의 일 측에 헤드 유닛(140)이 배치된다. 헤드 유닛(140)은 스테이지(120)에 적재된 기판(10) 위에 페이스트를 토출하는 것이다. 상기 헤드 유닛(140)은 헤드 지지부(130)에 대해 X축 방향을 따라 슬라이드 이동 가능하게 지지가 되며, 헤드 유닛용 X축 액추에이터에 의해 X축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있다. 상기 헤드 유닛(140)은 복수 개로 구비될 수 있다. 이는 대면적의 기판(10)에 다수의 페이스트 패턴(P, 도 2 참조)을 동시에 형성하여 생산성 향상을 도모할 수 있도록 하기 위함이다. The head unit 140 is disposed on one side of the head support 130. The head unit 140 discharges paste onto the substrate 10 mounted on the stage 120. The head unit 140 is supported to be slidably movable along the X axis direction with respect to the head support unit 130, and can be slidably moved in the X axis direction by the X axis actuator for the head unit. The head unit 140 may be provided in plurality. This is to increase productivity by simultaneously forming a plurality of paste patterns P (see FIG. 2) on the large-area substrate 10.

상기 헤드 유닛(140)은 도 2에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다. The head unit 140 may be configured as shown in FIG. 2.

도 2에 도시된 헤드 유닛(140)은 도포 헤드(141)를 구비한다. 상기 도포 헤드(141)에는 노즐(151)이 장착되며, 상기 노즐(151)과 연결된 시린지(syringe, 152)가 장착된다. 노즐(151)은 기판(10) 위에 페이스트를 토출하기 위한 것이며, 시린지(152)는 페이스트가 저장되어 노즐(151)로 페이스트를 공급하기 위한 것이다. The head unit 140 shown in FIG. 2 has an application head 141. The nozzle 151 is mounted to the application head 141, and a syringe 152 connected to the nozzle 151 is mounted. The nozzle 151 is for discharging paste onto the substrate 10, and the syringe 152 is for supplying paste to the nozzle 151 by storing the paste.

그리고, 도포 헤드(141)에는 갭 센서(161)가 장착될 수 있다. 갭 센서(161)는 기판(10)과 노즐(151) 사이의 갭을 측정하여, 측정된 갭 데이터를 페이스트 디 스펜서(100)를 전반적으로 제어하는 제어부로 제공함으로써, 제어부가 갭 데이터를 토대로 노즐(151)과 기판(10) 사이의 갭을 일정하게 제어할 수 있게 한다. The gap sensor 161 may be mounted on the application head 141. The gap sensor 161 measures the gap between the substrate 10 and the nozzle 151 and provides the measured gap data to the control unit which controls the paste dispenser 100 as a whole, so that the control unit controls the nozzle based on the gap data. It is possible to constantly control the gap between the 151 and the substrate 10.

상기 갭 센서(161)는 다양하게 구성될 수 있는데, 일 예로 발광부(162)와 수광부(163)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 발광부(162)는 레이저 광을 발산하는 기능을 하며, 수광부(163)는 발광부(162)로부터 발산된 레이저 광이 기판(10)의 상면에 부딪혀 반사되는 레이저 광을 받아들이는 기능을 함으로써, 갭 센서(161)와 기판(10) 사이의 상하 갭을 측정할 수 있게 한다. 따라서, 갭 센서(161)와 노즐(151) 사이의 상하 갭은 미리 알고 있는 값이므로, 노즐(151)과 기판(10) 사이의 갭을 측정할 수 있게 되는 것이다. 한편, 헤드 유닛(140)에는 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정하기 위한 단면적 센서(145)도 구비될 수 있다. The gap sensor 161 may be configured in various ways. For example, the gap sensor 161 may include a light emitter 162 and a light receiver 163. Here, the light emitting unit 162 serves to emit laser light, and the light receiving unit 163 receives the laser light emitted from the light emitting unit 162 to be reflected by hitting the upper surface of the substrate 10. As a result, the vertical gap between the gap sensor 161 and the substrate 10 can be measured. Therefore, since the vertical gap between the gap sensor 161 and the nozzle 151 is a known value, the gap between the nozzle 151 and the substrate 10 can be measured. On the other hand, the head unit 140 may also be provided with a cross-sectional area sensor 145 for measuring the cross-sectional area of the paste pattern (P).

이러한 도포 헤드(141)는 노즐(151)의 상하 위치를 조정할 수 있게 Z축 구동기구(171)에 의해 승강 가능하게 될 수 있다. 상기 Z축 구동기구(171)는 Z축 모터(172)의 구동력에 의해 Z축으로 승강 가능하게 된 승강부를 도포 헤드(141)의 헤드 브래킷(142)에 고정 결합시킴으로써, 도포 헤드(141)를 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다. The application head 141 may be lifted and lowered by the Z-axis driving mechanism 171 to adjust the vertical position of the nozzle 151. The Z-axis driving mechanism 171 fixes the application head 141 by fixedly coupling the lifting portion, which is capable of lifting up and down the Z axis by the driving force of the Z-axis motor 172, to the head bracket 142 of the application head 141. It can raise and lower in the Z-axis direction.

또한, 도포 헤드(141)는 노즐(151)을 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있게 Y축 구동기구(181)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 될 수 있다. 여기서, Y축 구동기구(181)는 Z축 구동기구(171) 측에 설치될 수 있다. 즉, Y축 구동기구(181)에서 Y축 방향으로 모터 등의 구동력에 의해 이동 가능하게 된 이동부를 Z축 구동기구(171)에 고정 결합시킴으로써, Z축 구동기구(171)와 함께 도포 헤드(141)가 Y 축 방향으로 이동할 수 있다. In addition, the application head 141 may be movable in the Y-axis direction by the Y-axis drive mechanism 181 to horizontally move the nozzle 151 in the Y-axis direction. Here, the Y-axis drive mechanism 181 may be installed on the Z-axis drive mechanism 171 side. In other words, the moving head, which is movable in the Y-axis direction by the driving force of the motor in the Y-axis direction, is fixedly coupled to the Z-axis driving mechanism 171 to thereby apply the coating head together with the Z-axis driving mechanism 171. 141 may move in the Y axis direction.

상기 도포 헤드(141)에는 노즐(151)의 상하 위치를 미세 조정하기 위한 ZZ축 구동기구(191)가 더 마련될 수 있다. ZZ축 구동기구(191)는 전술한 Z축 구동기구(171)에 의해 노즐(151)을 Z축 방향으로 승강시키는 것과는 별개로 노즐(151)을 Z축 방향으로 승강시켜 노즐(151)의 상하 위치를 조정하기 위한 것이다. The application head 141 may be further provided with a ZZ axis driving mechanism 191 for finely adjusting the vertical position of the nozzle 151. The ZZ axis drive mechanism 191 lifts and lowers the nozzle 151 in the Z axis direction by raising and lowering the nozzle 151 in the Z axis direction by the aforementioned Z axis drive mechanism 171. It is to adjust the position.

여기서, ZZ축 구동기구(191)에 의해 노즐(151)이 승강할 수 있도록, 헤드 브래킷(142)에 승강 블록(143)을 승강 가능하게 설치하고, 상기 승강 블록(143)에 노즐(151), 시린지(152), 및 갭 센서(161)를 장착시킬 수 있다. 그리고, ZZ축 구동기구(191)에서 모터 등의 구동력에 의해 승강 가능하게 된 승강부를 승강 블록(143)에 연결함으로써, 노즐(151)을 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다. Here, the lifting block 143 is provided on the head bracket 142 so that the nozzle 151 can be lifted and lowered by the ZZ axis drive mechanism 191, and the nozzle 151 is mounted on the lifting block 143. , The syringe 152, and the gap sensor 161 can be mounted. Then, the nozzle 151 can be lifted in the Z-axis direction by connecting the lifting block 143 to the lifting block 143 which is capable of lifting and lowering by the driving force of a motor or the like in the ZZ axis driving mechanism 191.

상기와 같이 구성된 페이스트 디스펜서(100)에 있어서, 기판(10) 위에 페이스트 패턴(P)을 형성하기에 앞서, 각각의 헤드 유닛(140)에 장착된 노즐(151)과 갭 센서(161) 사이의 거리를 정확하게 측정할 필요가 있다. In the paste dispenser 100 configured as described above, before forming the paste pattern P on the substrate 10, the gap between the nozzle 151 and the gap sensor 161 mounted on each head unit 140 is provided. It is necessary to measure the distance accurately.

이는 다음과 같은 이유에서이다. 헤드 유닛(140)들 중에는 노즐(151)과 갭 센서(161)가 초기 장착된 상태나 교체된 상태에서 노즐(151)과 갭 센서(161) 사이의 실제 거리 값이 설정된 거리 값과 차이를 보이는 것이 있을 수 있다. 그에 따라, 갭 센서(161)의 측정 포인트가 달라질 수 있는바, 정확한 갭 데이터가 획득되지 않을 수 있다. 그 결과, 페이스트 패턴이 형성된 후 페이스트 패턴의 폭과 높이 등이 설정된 범위를 벗어나는 페이스트 패턴 불량이 발생할 수 있기 때문이다.
또한, 갭 센서(161)의 측정 포인트가 기판(10)의 페이스트 도포 위치를 벗어나 기판(10)에 형성된 배향막 등에 위치할 수도 있으므로, 배향막 등과의 간섭에 의해 측정 오류가 발생할 수도 있다. This is for the following reason. Among the head units 140, the actual distance value between the nozzle 151 and the gap sensor 161 differs from the set distance value when the nozzle 151 and the gap sensor 161 are initially mounted or replaced. There may be one. Accordingly, the measurement point of the gap sensor 161 may vary, so accurate gap data may not be obtained. As a result, after the paste pattern is formed, a paste pattern defect may occur in which the width and height of the paste pattern, etc., are out of the set range.
In addition, since the measurement point of the gap sensor 161 may be located outside the paste coating position of the substrate 10 and the alignment film formed on the substrate 10, a measurement error may occur due to interference with the alignment film or the like.

따라서, 모든 헤드 유닛(140)에 의해 형성된 페이스트 패턴들 중 어느 하나라도 불량으로 형성되지 않도록, 헤드 유닛(140)마다 노즐(151)과 갭 센서(161) 사이의 거리를 정확하게 측정할 필요가 있는 것이다. Therefore, it is necessary to accurately measure the distance between the nozzle 151 and the gap sensor 161 for each head unit 140 so that none of the paste patterns formed by all the head units 140 are formed as defective. will be.

상기와 같은 페이스트 디스펜서(100)에 있어서, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐(151)과 갭 센서(161) 사이의 거리를 측정하는 방법(200)에 대하여, 도 3 내지 도 5b를 참조하여 설명하면 다음과 같다. In the paste dispenser 100 as described above, a method 200 for measuring the distance between the nozzle 151 and the gap sensor 161 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 5B. The explanation is as follows.

먼저, S210 단계에서는, 도 4a에 도시된 바와 같이, 노즐(151)과 기판(10) 중 적어도 하나를 Y축 방향으로 이동시켜가면서 기판(10)에 Y축 페이스트 도포부(PY)를 형성한다. 여기서, Y축 페이스트 도포부(PY)를 형성하는 동안 노즐(151)과 기판(10) 사이의 갭은, 실제로 페이스트 도포가 수행될 때 설정되는 갭과 동일하게 이루어질 수 있다. 그리고, Y축 페이스트 도포부(PY)의 길이는 후술할 S220 단계에서 갭 센서(161)가 충분히 스캔할 수 있을 정도로 이루어진다. First, in step S210, as shown in FIG. 4A, the Y-axis paste coating part PY is formed on the substrate 10 while moving at least one of the nozzle 151 and the substrate 10 in the Y-axis direction. . Here, the gap between the nozzle 151 and the substrate 10 during the formation of the Y-axis paste application portion PY can be made equal to the gap set when the paste application is actually performed. In addition, the length of the Y-axis paste coating unit PY is such that the gap sensor 161 can be sufficiently scanned in step S220 to be described later.

상기 S210 단계에 의해 Y축 페이스트 도포부(PY)가 형성된 후, S220 단계에서는, 도 4b에 도시된 바와 같이, 갭 센서(161)와 기판(10) 중 적어도 하나를 X축 방향으로 이동시켜가면서 Y축 페이스트 도포부(PY)를 스캔함으로써, X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DX)를 산출한다. 여기서, 상기 X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DX)는 노즐(151)의 도포 포인트와 갭 센서(161)의 측정 포인트 사이의 X축 방향 거리로 정의하여 이하 설명하기로 한다. After the Y-axis paste coating unit PY is formed by the step S210, in step S220, as shown in FIG. 4B, at least one of the gap sensor 161 and the substrate 10 is moved in the X-axis direction. By scanning the Y-axis paste application part PY, the distance DX between the nozzle and the gap sensor along the X-axis direction is calculated. Here, the distance DX between the nozzle and the gap sensor along the X-axis direction will be described below by defining the distance in the X-axis direction between the application point of the nozzle 151 and the measurement point of the gap sensor 161.

그리고, 상기 220 단계에서, 갭 센서(161)는 Y축 페이스트 도포부(PY)를 스캔할 수 있게 Y축 방향을 따라 소정 거리만큼 이동한다. 상기 갭 센서(161)의 스 캔 거리는 정확하게 스캔할 수 있는 범주 내에서, 스캔시 소요되는 시간이 최대한 단축될 수 있을 정도로 설정되는 것이 바람직하다. In operation 220, the gap sensor 161 is moved by a predetermined distance along the Y-axis direction to scan the Y-axis paste coating unit PY. The scan distance of the gap sensor 161 is preferably set within a range that can be accurately scanned so that the time required for scanning can be shortened as much as possible.

상기 X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DX)는, 갭 센서(161)가 최초 스캔 위치(LIX), 즉 최초 측정 포인트로부터 Y축 페이스트 도포부의 중앙 위치(LX)까지 이동한 거리를 측정함으로써 산출할 수 있다. 상기 Y축 페이스트 도포부의 중앙 위치(LX)는 노즐(151)의 도포 포인트에 해당하는바, Y축 페이스트 도포부의 중앙 위치(LX)를 검출하게 되면, X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DX)를 산출할 수 있게 되는 것이다. The distance DX between the nozzle and the gap sensor along the X-axis direction is the distance that the gap sensor 161 moves from the initial scan position LIX, that is, from the initial measurement point to the center position LX of the Y-axis paste coating portion. It can be calculated by measuring. The center position LX of the Y-axis paste applicator corresponds to an application point of the nozzle 151. When the center position LX of the Y-axis paste applicator is detected, a gap between the nozzle and the gap sensor along the X-axis direction is detected. The distance DX can be calculated.

상기 Y축 페이스트 도포부의 중앙 위치(LX)는, 갭 센서(161)가 Y축 페이스트 도포부(PY)를 스캔하는 과정에서, 갭 센서(161)로부터 측정되는 값이 기준 값보다 작아지기 시작하는 제1 위치(LX1)와, 기준 값에 도달하기 시작하는 제2 위치(LX2)를 검출한 후, 상기 제1 위치(LX1)와 제2 위치(LX2) 사이의 중간 위치로 설정할 수 있다. 즉, Y축 페이스트 도포부(PY)에서 상기 제1,2 위치(LX1)(LX2)에 각각 해당하는 X축 방향에 따른 경계 위치들을 검출하고, 상기 경계 위치들의 중간 위치를 Y축 페이스트 도포부의 중앙 위치(LX)로 설정하는 것이다. The center position LX of the Y-axis paste applicator is such that, while the gap sensor 161 scans the Y-axis paste applicator PY, the value measured from the gap sensor 161 starts to become smaller than the reference value. After detecting the first position LX1 and the second position LX2 starting to reach the reference value, the first position LX1 may be set to an intermediate position between the first position LX1 and the second position LX2. That is, the Y-axis paste coating unit PY detects the boundary positions along the X-axis direction corresponding to the first and second positions LX1 and LX2, respectively, and the intermediate positions of the boundary positions are the Y-axis paste coating unit. It is set to the center position (LX).

이렇게 Y축 페이스트 도포부의 중앙 위치(LX)를 검출하는 과정에서, 기준 값은 Y축 페이스트 도포부(PY)의 형성시 설정된 갭 값이 될 수 있다. 여기서, 기준 값은 제1,2 위치(LX1)(LX2)를 검출함에 있어 오류를 최소화할 수 있게 기판(10)의 평탄도를 감안하여 설정되는 것이 바람직하다. 예컨대, 기판(10)의 평탄도가 ±5㎛라면, 기준 값은 설정된 갭 값에 5㎛를 뺀 값이 될 수 있다. In the process of detecting the center position LX of the Y-axis paste coating unit, the reference value may be a gap value set when the Y-axis paste coating unit PY is formed. Here, the reference value is preferably set in consideration of the flatness of the substrate 10 to minimize errors in detecting the first and second positions LX1 and LX2. For example, if the flatness of the substrate 10 is ± 5 μm, the reference value may be a value obtained by subtracting 5 μm from the set gap value.

다른 대안으로, X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DX)는, 갭 센서(161)가 최초 스캔 위치로부터 Y축 페이스트 도포부(PY)의 피크 위치까지 이동한 거리를 측정하여 산출하는 것도 가능하다. 이 경우, Y축 페이스트 도포부(PY)의 피크 위치는 갭 센서(161)의 스캔시 측정된 갭 데이터를 분석하여 최소값의 위치에 해당할 수 있다. Alternatively, the distance DX between the nozzle and the gap sensor along the X-axis direction is calculated by measuring the distance that the gap sensor 161 has moved from the initial scan position to the peak position of the Y-axis paste applicator PY. It is also possible. In this case, the peak position of the Y-axis paste coating unit PY may correspond to the position of the minimum value by analyzing the gap data measured during the scan of the gap sensor 161.

그리고, X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DX)를 더욱 정확하게 측정할 수 있도록, 갭 센서(161)를 Y축 페이스트 도포부(PY)에 대해 2회 이상 스캔하여 산출한 거리 값들을 평균하는 것도 가능하다. 여기서, 갭 센서(161)는 동일한 경로를 따라 2회 이상 스캔하는 것도 가능하나, Y축 방향을 따라 조금씩 이동하면서 2회 이상 스캔하는 것도 가능하다. The distance value calculated by scanning the gap sensor 161 at least twice with respect to the Y-axis paste coating part PY so as to more accurately measure the distance DX between the nozzle and the gap sensor along the X-axis direction. It is also possible to average them. Here, the gap sensor 161 may scan two or more times along the same path, but may also scan two or more times while moving little by little along the Y-axis direction.

상기 S220 단계에서 X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서의 거리(DX)가 측정된 후, S230 단계에서는, 도 5a에 도시된 바와 같이, 노즐(151)과 기판(10) 중 적어도 하나를 X축 방향으로 이동시켜가면서 기판(10)에 X축 페이스트 도포부(PX)를 형성한다. 여기서, X축 페이스트 도포부(PX)를 형성하는 동안 노즐(151)과 기판(10) 사이의 갭은, 전술한 S210 단계에서와 마찬가지로, 실제로 페이스트 도포가 수행될 때 설정되는 갭과 동일하게 이루어질 수 있다. 그리고, X축 페이스트 도포부(PX)의 길이는 후술할 S240 단계에서 갭 센서(161)가 충분히 스캔할 수 있을 정도로 이루어진다. After the distance DX of the nozzle and the gap sensor along the X-axis direction is measured in step S220, in step S230, at least one of the nozzle 151 and the substrate 10 is X-axis as shown in FIG. 5A. The X-axis paste coating portion PX is formed on the substrate 10 while moving in the direction. Here, the gap between the nozzle 151 and the substrate 10 during the formation of the X-axis paste coating part PX is made equal to the gap set when the paste coating is actually performed, as in step S210 described above. Can be. In addition, the length of the X-axis paste coating unit PX is such that the gap sensor 161 can be sufficiently scanned in step S240 to be described later.

상기 S230 단계에 의해 X축 페이스트 도포부(PX)가 형성된 후, S240 단계에서는, 도 5b에 도시된 바와 같이, 갭 센서(161)와 기판(10) 중 적어도 하나를 Y축 방향으로 이동시켜가면서 X축 페이스트 도포부(PX)를 스캔함으로써, Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DY)를 산출한다. 여기서, 상기 Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DY)는 노즐(151)의 도포 포인트와 갭 센서(161)의 측정 포인트 사이의 Y축 방향 거리로 정의하여 이하 설명하기로 한다.After the X-axis paste coating unit PX is formed by the step S230, in step S240, as shown in FIG. 5B, at least one of the gap sensor 161 and the substrate 10 is moved in the Y-axis direction. By scanning the X-axis paste coating unit PX, the distance DY between the nozzle and the gap sensor along the Y-axis direction is calculated. Here, the distance DY between the nozzle and the gap sensor along the Y-axis direction will be described below by defining the distance in the Y-axis direction between the application point of the nozzle 151 and the measurement point of the gap sensor 161.

그리고, 상기 S240 단계에서, 갭 센서(161)는 X축 페이스트 도포부(PX)를 스캔할 수 있게 X축 방향을 따라 소정 거리만큼 이동한다. 상기 갭 센서(161)의 스캔 거리는, 전술한 S210 단계에서와 같이 정확하게 스캔할 수 있는 범주 내에서, 스캔시 소요되는 시간이 최대한 단축될 수 있을 정도로 설정되는 것이 바람직하다. In operation S240, the gap sensor 161 moves by a predetermined distance along the X-axis direction to scan the X-axis paste coating unit PX. The scan distance of the gap sensor 161 is preferably set in such a manner that the time required for the scan can be shortened as much as possible within the range in which the gap sensor 161 can be accurately scanned as in step S210.

상기 Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DY)는, 갭 센서(161)가 최초 스캔 위치(LIY), 즉 스캔시 최초 측정 포인트로부터 X축 페이스트 도포부의 중앙 위치(LY)까지 이동한 거리를 측정함으로써 산출할 수 있다. 즉, X축 페이스트 도포부의 중앙 위치(LY)는 노즐(151)의 도포 포인트에 해당하는바, X축 페이스트 도포부의 중앙 위치(LY)를 검출하게 되면, Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DY)를 산출할 수 있게 되는 것이다. The distance DY between the nozzle and the gap sensor along the Y axis direction is such that the gap sensor 161 moves from the initial scan position LIY, that is, from the initial measurement point at the time of scanning, to the center position LY of the X-axis paste coating part. It can calculate by measuring one distance. That is, the center position LY of the X-axis paste coating unit corresponds to the application point of the nozzle 151. When the center position LY of the X-axis paste coating unit is detected, the nozzle and the gap sensor along the Y-axis direction are detected. DY can be calculated.

상기 X축 페이스트 도포부의 중앙 위치(LY)는, 갭 센서(161)가 X축 페이스트 도포부(PX)를 스캔하는 과정에서, 갭 센서(161)로부터 측정되는 값이 기준 값보다 작아지기 시작하는 제3 위치(LY1)와, 기준 값에 도달하기 시작하는 제4 위치(LY2)를 검출한 후, 상기 제3 위치(LY1)와 제4 위치(LY2) 사이의 중간 위치로 설정할 수 있다. 즉, X축 페이스트 도포부(PX)에서 상기 제3,4 위치(LY1)(LY2)에 해당하는 Y축 방향에 따른 경계 위치들을 검출하고, 상기 경계 위치들의 중간 위치를 X축 페 이스트 도포부의 중앙 위치(LY)로 설정하는 것이다. The center position LY of the X-axis paste coating unit is such that the value measured from the gap sensor 161 starts to become smaller than the reference value while the gap sensor 161 scans the X-axis paste coating unit PX. After detecting the third position LY1 and the fourth position LY2 starting to reach the reference value, the third position LY1 may be set to an intermediate position between the third position LY1 and the fourth position LY2. That is, the X-axis paste coating unit PX detects the boundary positions along the Y-axis direction corresponding to the third and fourth positions LY1 and LY2, and sets the intermediate positions of the boundary positions to the X-axis paste coating unit. It is set to the center position (LY).

이렇게 X축 페이스트 도포부의 중앙 위치(LY)를 검출하는 과정에서, 기준 값은 X축 페이스트 도포부(PX)의 형성시 설정된 갭 값이 될 수 있다. 여기서, 기준 값은 제3,4 위치(LY1)(LY2)를 검출함에 있어 오류를 최소화할 수 있게 기판(10)의 평탄도를 감안하여 설정되는 것이 바람직하다. In the process of detecting the center position LY of the X-axis paste coating unit, the reference value may be a gap value set when the X-axis paste coating unit PX is formed. Here, the reference value is preferably set in consideration of the flatness of the substrate 10 to minimize errors in detecting the third and fourth positions LY1 and LY2.

다른 대안으로, Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DY)는, 갭 센서(161)가 최초 스캔 위치로부터 X축 페이스트 도포부(PX)의 피크 위치까지 이동한 거리를 측정하여 산출하는 것도 가능하다. 이 경우, X축 페이스트 도포부(PX)의 피크 위치는 갭 센서(161)의 스캔시 측정된 갭 데이터를 분석하여 최소값의 위치에 해당할 수 있다. Alternatively, the distance DY between the nozzle and the gap sensor along the Y-axis direction is calculated by measuring the distance that the gap sensor 161 has moved from the initial scan position to the peak position of the X-axis paste applicator PX. It is also possible. In this case, the peak position of the X-axis paste coating unit PX may correspond to the position of the minimum value by analyzing the gap data measured during the scan of the gap sensor 161.

그리고, Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DY)를 더욱 정확하게 측정할 수 있도록, 전술한 S220 단계에서와 같이, 갭 센서(161)를 X축 페이스트 도포부(PX)에 대해 2회 이상 스캔하여 산출한 거리 값들을 평균하는 것도 가능하다. 여기서, 갭 센서(161)는 동일한 경로를 따라 2회 이상 스캔하는 것도 가능하나, X축 방향을 따라 조금씩 이동하면서 2회 이상 스캔하는 것도 가능하다. Then, in order to more accurately measure the distance DY between the nozzle and the gap sensor along the Y-axis direction, the gap sensor 161 is set to 2 with respect to the X-axis paste coating part PX, as in step S220 described above. It is also possible to average the distance values calculated by scanning more than once. Here, the gap sensor 161 may scan two or more times along the same path, but may also scan two or more times while moving little by little along the X-axis direction.

한편, X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DX)를 측정하는 과정은, Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DY)를 측정하는 과정 이후에 수행되는 것도 가능하므로, 전술한 순서에 반드시 한정되지는 않는다. Meanwhile, since the process of measuring the distance DX between the nozzle and the gap sensor in the X-axis direction may be performed after the process of measuring the distance DY between the nozzle and the gap sensor in the Y-axis direction, It is not necessarily limited to the order mentioned above.

상술한 바와 같은 과정을 거쳐 각각의 헤드 유닛(140)에서 X축 및 Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리(DX)(DY)가 정확하게 측정되면, 측정된 정보는 헤드 유닛들 중 가장 양호하게 페이스트 패턴을 형성할 수 있는 최상의 헤드 유닛을 선택하는데 이용될 수 있다. 따라서, 실제로 페이스트 도포를 수행하는 과정에서, 최상의 헤드 유닛을 제어하는 것을 기준으로 나머지 헤드 유닛들도 제어하게 되면, 헤드 유닛들에 의해 형성되는 페이스트 패턴들 간에 도포 상태의 차이를 최대한 줄일 수 있다. 뿐만 아니라, 페이스트 패턴들 모두가 양호한 상태로 형성될 수 있다. If the distance DX (DY) between the nozzle and the gap sensor along the X-axis and Y-axis directions is accurately measured in each head unit 140 through the above-described process, the measured information is the most of the head units. It can preferably be used to select the best head unit that can form a paste pattern. Therefore, in the process of actually performing paste application, if the remaining head units are also controlled based on controlling the best head unit, it is possible to minimize the difference in the coating state between the paste patterns formed by the head units. In addition, all of the paste patterns can be formed in a good state.

그리고, 갭 센서(161)의 측정 포인트가 기판(10)의 페이스트 도포 위치를 벗어나 기판(10)에 형성된 배향막 등에 위치하는 경우를 손쉽게 찾아낼 수 있으므로, 페이스트 패턴 불량을 사전에 차단할 수 있다. In addition, since the case where the measurement point of the gap sensor 161 is located outside the paste coating position of the substrate 10 and located on the alignment film formed on the substrate 10 can be easily found, a poor paste pattern can be blocked in advance.

또한, 전술한 일련의 과정들은 알고리즘 형태로 만들어져 페이스트 디스펜서(100)의 제어부에 포함되거나 연계되면, 노즐(151)과 갭 센서(161) 사이의 거리를 측정하는 과정이 자동화될 수 있다. In addition, if the above-described series of processes are made in an algorithm form and included in or linked to the control unit of the paste dispenser 100, the process of measuring the distance between the nozzle 151 and the gap sensor 161 may be automated.

따라서, 종래와 같이 수작업으로 이루어진 경우에 비해 노즐(151)과 갭 센서(161) 사이의 거리를 측정하는 시간이 상당히 단축될 수 있다. 특히, 페이스트 디스펜서(100)에 다수의 헤드 유닛(140)이 구비되더라도, 전체적으로 노즐(151)과 갭 센서(161) 사이의 거리 측정이 신속하게 이루어질 수 있다. 그리고, 숙련되지 않은 작업자도 노즐(151)과 갭 센서(161) 사이의 거리를 손쉽게 측정할 수 있을 뿐 아니라, 작업자가 육안으로 거리를 측정하는 것에 비해 정확도도 높일 수 있게 된다. Therefore, the time for measuring the distance between the nozzle 151 and the gap sensor 161 can be significantly shortened as compared with the case of the manual work as in the related art. In particular, even if the paste dispenser 100 is provided with a plurality of head units 140, the distance measurement between the nozzle 151 and the gap sensor 161 as a whole can be made quickly. In addition, an inexperienced operator can easily measure the distance between the nozzle 151 and the gap sensor 161, and can also increase the accuracy compared to the operator measuring the distance with the naked eye.

상술한 바와 같은 본 발명에 따르면, 종래와 같이 수작업으로 이루어진 경우 에 비해, 페이스트 디스펜서에 다수의 헤드 유닛이 구비되더라도, 노즐과 갭 센서 사이의 거리 측정이 신속하고 정확하게 이루어질 수 있다. 그리고, 숙련되지 않은 작업자도 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 손쉽게 측정할 수 있다. According to the present invention as described above, even if the paste dispenser is provided with a plurality of head units, as compared with the case made by hand as in the prior art, the distance measurement between the nozzle and the gap sensor can be made quickly and accurately. And even an inexperienced operator can easily measure the distance between the nozzle and the gap sensor.

따라서, 정확하게 측정된 노즐과 갭 센서 사이의 거리 정보는, 모든 헤드 유닛들에 의해 형성되는 페이스트 패턴들 간에 도포 상태의 차이를 최대한 줄일 수 있는데 이용될 뿐 아니라, 페이스트 패턴들 모두가 양호한 상태로 형성되게 할 수 있다. 게다가, 갭 센서의 측정 포인트가 기판의 페이스트 도포 위치를 벗어나 기판에 형성된 배향막 등에 위치하는 경우를 손쉽게 찾아낼 수 있게 하므로, 페이스트 패턴 불량을 사전에 차단할 수 있는 효과가 있게 된다. Therefore, the distance information between the accurately measured nozzle and the gap sensor is used not only to minimize the difference in the coating state between the paste patterns formed by all the head units, but also to form all the paste patterns in a good state. It can be done. In addition, it is possible to easily find a case where the measurement point of the gap sensor is located on the alignment film formed on the substrate, out of the paste coating position of the substrate, thereby preventing the paste pattern defect in advance.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다. Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the accompanying drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Could be. Accordingly, the true scope of protection of the invention should be defined only by the appended claims.

Claims (9)

노즐과 기판 중 적어도 하나를 X축 및 Y축 방향으로 이동시키는 한편, 상기 노즐과 기판 사이의 갭(gap)을 측정하는 갭 센서로부터 제공되는 갭 데이터를 토대로 상기 갭을 일정하게 유지하면서, 상기 노즐로부터 상기 기판에 소정 패턴으로 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서에 있어, 상기 노즐과 갭 센서가 헤드 유닛에 장착된 상태에서 상기 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법으로서, While moving at least one of the nozzle and the substrate in the X-axis and Y-axis directions while keeping the gap constant based on gap data provided from a gap sensor that measures a gap between the nozzle and the substrate, the nozzle In a paste dispenser for applying a paste in a predetermined pattern on the substrate from the paste, the method for measuring the distance between the nozzle and the gap sensor with the nozzle and the gap sensor mounted on the head unit, 상기 노즐과 기판 중 적어도 하나를 Y축 방향으로 이동시켜가면서 상기 노즐로부터 페이스트를 소정 길이로 도포하여 상기 기판에 Y축 페이스트 도포부를 형성하는 단계; Moving the at least one of the nozzle and the substrate in the Y-axis direction and applying a paste from the nozzle to a predetermined length to form a Y-axis paste coating part on the substrate; 상기 갭 센서와 기판 중 적어도 하나를 X축 방향으로 이동시켜가면서 상기 Y축 페이스트 도포부를 스캔하여 X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 산출하는 단계; Calculating the distance between the nozzle and the gap sensor along the X-axis direction by scanning the Y-axis paste coating part while moving at least one of the gap sensor and the substrate in the X-axis direction; 상기 노즐과 기판 중 적어도 하나를 X축 방향으로 이동시켜가면서 상기 노즐로부터 페이스트를 소정 길이로 도포하여 상기 기판에 X축 페이스트 도포부를 형성하는 단계; 및 Moving the at least one of the nozzle and the substrate in the X-axis direction to apply a paste from the nozzle to a predetermined length to form an X-axis paste coating part on the substrate; And 상기 갭 센서와 기판 중 적어도 하나를 Y축 방향으로 이동시켜가면서 상기 X축 페이스트 도포부를 스캔하여 Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법. Scanning the X-axis paste coating unit while moving at least one of the gap sensor and the substrate in the Y-axis direction to calculate a distance between the nozzle and the gap sensor along the Y-axis direction. How to measure the distance between the nozzle and the gap sensor. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리는: The distance between the nozzle and the gap sensor along the X axis direction is: 상기 갭 센서가 최초 스캔 위치로부터 상기 Y축 페이스트 도포부의 중앙 위치까지 이동한 거리를 측정하여 산출하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법. And measuring the distance traveled by the gap sensor from an initial scan position to a center position of the Y-axis paste applicator, and measuring the distance between the nozzle and the gap sensor of the paste dispenser. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 Y축 페이스트 도포부의 중앙 위치는: The central position of the Y-axis paste coating unit is: 상기 갭 센서가 상기 Y축 페이스트 도포부를 스캔하는 과정에서, 상기 갭 센서로부터 측정되는 값이 기준 값보다 작아지기 시작하는 제1 위치와, 상기 기준 값에 도달하기 시작하는 제2 위치를 각각 검출한 후, 상기 제1 위치와 제2 위치 사이의 중간 위치로 설정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법. In the process of scanning the Y-axis paste coating part by the gap sensor, a first position at which a value measured from the gap sensor starts to become smaller than a reference value and a second position at which the reference value starts to be detected are respectively detected. And then setting the intermediate position between the first position and the second position to measure the distance between the nozzle and the gap sensor of the paste dispenser. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리는: The distance between the nozzle and the gap sensor along the X axis direction is: 상기 갭 센서가 최초 스캔 위치로부터 상기 Y축 페이스트 도포부의 피크 위치까지 이동한 거리를 측정하여 산출하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법. And measuring the distance traveled by the gap sensor from an initial scan position to a peak position of the Y-axis paste applicator, and measuring the distance between the nozzle and the gap sensor of the paste dispenser. 제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 2 to 4, 상기 X축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리는: The distance between the nozzle and the gap sensor along the X axis direction is: 상기 갭 센서를 상기 Y축 페이스트 도포부에 대해 2회 이상 스캔하여 산출한 거리 값들을 평균한 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법. And measuring the distance values obtained by scanning the gap sensor with respect to the Y-axis paste coating unit two or more times, and averaging the distance values. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리는: The distance between the nozzle and the gap sensor along the Y axis direction is: 상기 갭 센서가 최초 스캔 위치로부터 상기 X축 페이스트 도포부의 중앙 위치까지 이동한 거리를 측정하여 산출하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법. And measuring the distance traveled by the gap sensor from the initial scan position to the center position of the X-axis paste applicator, and measuring the distance between the nozzle and the gap sensor of the paste dispenser. 제 6항에 있어서, The method of claim 6, 상기 X축 페이스트 도포부의 중앙 위치는: The central position of the X-axis paste coating unit is: 상기 갭 센서가 상기 X축 페이스트 도포부를 스캔하는 과정에서, 상기 갭 센서로부터 측정되는 값이 기준 값보다 작아지기 시작하는 제3 위치와, 상기 기준 값에 도달하기 시작하는 제4 위치를 각각 검출한 후, 상기 제3 위치와 제4 위치 사이의 중간 위치로 설정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법. In the process of scanning the X-axis paste coating part by the gap sensor, a third position at which a value measured from the gap sensor starts to become smaller than a reference value and a fourth position at which the reference value starts to be detected are respectively detected. And then setting the intermediate position between the third position and the fourth position to measure the distance between the nozzle and the gap sensor of the paste dispenser. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리는: The distance between the nozzle and the gap sensor along the Y axis direction is: 상기 갭 센서가 최초 스캔 위치로부터 상기 X축 페이스트 도포부의 피크 위치까지 이동한 거리를 측정하여 산출하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법. And measuring the distance traveled by the gap sensor from the initial scan position to the peak position of the X-axis paste applicator, and measuring the distance between the nozzle and the gap sensor of the paste dispenser. 제 6항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 6 to 8, 상기 Y축 방향에 따른 노즐과 갭 센서 사이의 거리는: The distance between the nozzle and the gap sensor along the Y axis direction is: 상기 갭 센서를 상기 X축 페이스트 도포부에 대해 2회 이상 스캔하여 산출한 거리 값들을 평균한 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 노즐과 갭 센서 사이의 거리를 측정하는 방법. And measuring a distance between the nozzles of the paste dispenser and the gap sensor, averaging the distance values calculated by scanning the gap sensor twice or more with respect to the X-axis paste coating unit.
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