KR100742631B1 - Dispensing apparatus - Google Patents

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손세호
진명진
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

A dispensing apparatus is provided to accurately dispense a very small amount of liquid on a substrate, by minimizing the variance in a pressure applied to the liquid at the dispensing time of the liquid. A nozzle(111) receives a liquid from a syringe(112) and dispenses the liquid on a substrate(10) while the nozzle moves relatively to the substrate. A dispensing valve unit(120) controls the dispensation of the liquid by opening and closing the flow of the liquid, which is supplied to the nozzle from the syringe. A constant pressure unit(130) dispenses a regular amount of liquid through the nozzle. The constant pressure unit includes a regulator and a pressure adjustor. The regulator receives gas to regulate the gas to a predetermined pressure. The pressure adjustor minimizes the pressure error of gas supplied to the syringe, by dispensing the liquid if the pressure of the gas is higher than the predetermined pressure and sending the liquid to the syringe if the pressure of the gas is lower than or equal to the predetermined pressure.

Description

디스펜싱 장치{Dispensing apparatus}Dispensing apparatus

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜싱 장치에 대한 구성도. 1 is a block diagram of a dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 있어서, 정압 유닛에 대한 구성도. FIG. 2 is a configuration diagram of a constant pressure unit in FIG. 1. FIG.

〈도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명〉<Brief description of the major symbols in the drawings>

111..노즐 120..토출밸브 유닛111.Nozzle 120.Discharge valve unit

130..정압 유닛 131..레귤레이터130 .. Static pressure unit 131. Regulator

141..압력 보정부 142..압력조절밸브141.Pressure compensating part 142.Pressure control valve

143..압력 측정부 150..액체보충 유닛143 pressure gauge 150 liquid refill unit

151..액체저장탱크 152..수위측정센서151. Liquid storage tank 152. Water level sensor

153..액체공급밸브 153. Liquid supply valve

본 발명은 디스펜싱 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액체의 정량 토출이 가능할 수 있는 디스펜싱 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a dispensing apparatus, and more particularly to a dispensing apparatus capable of quantitative discharge of liquid.

일반적으로, 평판 디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치를 일컫는다. 이러 한 평판 디스플레이로는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마 디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출 디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기 EL(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다. In general, a flat panel display (FPD) refers to an image display device that is thinner and lighter than a television or a monitor employing a CRT. Such flat panel displays include Liquid Crystal Display (LCD), Plasma Display Panel (PDP), Field Emission Display (FED), and Organic Light Emitting Diodes (OLED). It is used.

이 중에서, 액정 디스플레이는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치로서, 얇고 가벼우며 소비전력과 동작 전압이 낮은 장점 등이 있어 널리 이용되고 있다. Among them, the liquid crystal display is a display device that can display a desired image by controlling the light transmittance of the liquid crystal cells by separately supplying data signals according to the image information to the liquid crystal cells arranged in a matrix form, which is thin, light, and power consumption. It is widely used due to the advantages of over operating voltage and low.

이러한 액정 디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정 패널의 제조 방법을 일 예로 설명하면 다음과 같다. A manufacturing method of a liquid crystal panel generally employed in such a liquid crystal display will be described as an example.

먼저, 상부 글라스 기판에 컬러 필터 및 공통 전극을 패턴 형성하고, 상부 글라스 기판과 대향이 되는 하부 글라스 기판에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소 전극을 패턴 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 프리틸트 각(pretilt angle)과 배향 방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(Rubbing)한다. 그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 어느 하나의 기판에 씨일 (seal) 페이스트를 소정 패턴으로 도포한다. 그 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성한 후 액정 패널을 제조하게 된다. First, a color filter and a common electrode are patterned on the upper glass substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are patterned on the lower glass substrate facing the upper glass substrate. Subsequently, after the alignment films are applied to the substrates, the alignment films are rubbed to provide a pretilt angle and an orientation direction to the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer formed therebetween. Then, a seal paste is applied in a predetermined pattern to any one of the substrates so as to maintain the gap between the substrates while preventing the liquid crystal from leaking to the outside and sealing the substrates. Then, after forming a liquid crystal layer between the substrates to manufacture a liquid crystal panel.

이때, 액정층을 형성하는 방식으로는 일 예로 액정적하 방식이 있다. 액정적하 방식이란 기판의 씨일 페이스트에 의해 한정된 공간에 액정을 적하하여 액정 층을 형성한 다음, 기판들 사이를 합착한 후 씨일 페이스트를 경화시켜 접합하는 방식이다. 이러한 액정적하 방식에 의해 액정층을 형성하기 위해, 액정적하장치라는 디스펜싱 장치가 이용되고 있다. 디스펜싱 장치는 액정이 저장된 시린지(syringe)로부터 액정을 공급받는 노즐을 기판에 대해 상대 이동시켜가면서 기판 상에 액정을 토출함으로써, 기판 상에 액정을 적하할 수 있게 한다. In this case, as a method of forming the liquid crystal layer, there is an example of a liquid crystal dropping method. The liquid crystal dropping method is a method of dropping a liquid crystal in a space defined by a seal paste of a substrate to form a liquid crystal layer, then bonding the substrates together, and then curing and bonding the seal paste. In order to form a liquid crystal layer by such a liquid crystal dropping system, a dispensing apparatus called a liquid crystal dropping apparatus is used. The dispensing apparatus discharges the liquid crystal onto the substrate while moving the nozzle receiving the liquid crystal from the syringe in which the liquid crystal is stored relative to the substrate, thereby allowing the liquid crystal to be dropped onto the substrate.

이와 같은 디스펜싱 장치에 있어서는, 노즐로부터 액정이 토출되다보면 시린지에 채워졌던 액정의 양이 점차 줄어들게 된다. 이에 따라, 액정에 일정한 토출 압력을 가하고 밸브 개폐에 의해 액정 토출을 제어하는 액정 토출 방식의 경우, 시린지에 채워졌던 액정의 양이 줄어듦에 따라 시린지 내의 액정에 가해지는 토출 압력이 변하게 되는바, 토출하고자 하는 양으로 일정하게 토출되지 않을 수 있다. In such a dispensing device, when the liquid crystal is discharged from the nozzle, the amount of liquid crystal filled in the syringe gradually decreases. Accordingly, in the case of the liquid crystal ejection method in which a constant ejection pressure is applied to the liquid crystal and the liquid crystal ejection is controlled by opening and closing the valve, the ejection pressure applied to the liquid crystal in the syringe changes as the amount of the liquid crystal filled in the syringe decreases. It may not be discharged in a constant amount.

특히, 이러한 현상은 한번에 토출하고자 하는 액정의 양이 적을수록 시린지 내의 액정에 가해지는 미세한 압력의 변화에도 액정의 토출량이 더 큰 영향을 받을 수 있는바, 문제가 심각해질 수 있다. 즉, 한번에 토출하고자 하는 액정의 양이 많은 경우에는 액정에 가해지는 압력의 변화가 다소 크더라도 액정의 토출량이 크게 달라지지 않으나, 한번에 토출하고자 하는 액정의 양이 적은 경우에는 액정에 가해지는 압력의 변화가 조금만 있더라도 액정의 토출량이 크게 달라질 수 있는 것이다. In particular, this phenomenon is that the smaller the amount of the liquid crystal to be discharged at a time, the greater the amount of liquid crystal discharge can be affected by the change in the minute pressure applied to the liquid crystal in the syringe, the problem can be serious. That is, when the amount of liquid crystal to be discharged at a time is large, the discharge amount of the liquid crystal does not vary greatly even if the pressure change to the liquid crystal is somewhat large, but when the amount of liquid crystal to be discharged at once is small, Even if there is only a slight change, the discharge amount of the liquid crystal may vary greatly.

따라서, 디스펜싱 장치에는 액정의 토출압을 제공함과 아울러 시린지 내의 압력을 일정하게 유지하기 위한 정압 시스템이 마련된 예가 있다. Therefore, there is an example in which the dispensing device is provided with a static pressure system for providing a discharge pressure of the liquid crystal and maintaining a constant pressure in the syringe.

그런데, 종래에 따른 정압 시스템에 있어서 통상 이용되는 레귤레이 터(regulator)는 가스를 공급받아서 일정 압력으로 조정하기는 하나, 가스의 압력 오차가 큰 것이 일반적이다. 이렇게 큰 압력 오차를 갖는 가스가 시린지로 공급되면 시린지 내의 액정에 토출 압력이 일정하게 가해지지 않게 되는바, 정량 토출이 어려울 수 있다. 특히, 한번에 토출하고자 하는 액정의 양이 적은 경우에는 액정에 가해지는 압력의 변화가 조금만 있더라도 액정의 토출량이 크게 달라질 수 있으므로, 정량 토출이 더욱 어려운 문제가 있을 수 있다. By the way, the regulator (regulator) commonly used in the conventional static pressure system is supplied with a gas to adjust to a constant pressure, but the pressure error of the gas is generally large. When a gas having such a large pressure error is supplied to the syringe, the discharge pressure is not constantly applied to the liquid crystal in the syringe, so that the quantitative discharge may be difficult. In particular, when the amount of the liquid crystal to be discharged at a time is small, even if only a small change in the pressure applied to the liquid crystal can greatly vary the discharge amount of the liquid crystal, there may be a problem that is more difficult to discharge.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 액체 토출시 액체에 가해지는 압력 변화를 최소화함으로써 액체의 미량 토출시에도 액체를 정량으로 토출할 수 있는 디스펜싱 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide a dispensing apparatus capable of quantitatively discharging a liquid even when a small amount of liquid is discharged by minimizing a pressure change applied to the liquid during liquid discharge.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 디스펜싱 장치는, 기판에 대해 상대 이동하면서 액체가 저장된 시린지(syringe)로부터 액체를 공급받아 상기 기판 상에 토출하도록 된 노즐; 상기 시린지로부터 상기 노즐로 공급되는 액체의 흐름을 개폐하여 액체의 토출을 제어하는 토출밸브 유닛; 및 상기 노즐로부터 액체가 정량으로 토출되게 하는 것으로, 가스를 공급받아서 설정된 압력으로 조정하는 레귤레이터(regulator)와, 상기 레귤레이터로부터 공급받는 가스의 압력이 설정된 압력보다 크면 배출시키고 작거나 같으면 상기 시린지로 송출시켜 상기 시린지로 공급되는 가스의 압력 오차를 최소화하는 압력 보정부가 구비된 정압 유닛;을 구비한다. Dispensing apparatus according to the present invention for achieving the above object comprises a nozzle for receiving a liquid from a syringe (syringe) in which the liquid is stored while moving relative to the substrate; A discharge valve unit which controls the discharge of the liquid by opening and closing the flow of the liquid supplied from the syringe to the nozzle; And a regulator for discharging the liquid from the nozzle in a quantitative manner, and regulating the gas to a set pressure, and discharging when the pressure of the gas supplied from the regulator is greater than a set pressure and discharging it to the syringe if it is smaller than or equal to the set pressure. And a constant pressure unit having a pressure correction unit for minimizing a pressure error of the gas supplied to the syringe.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 바람직한 실시예에 따른 본 발명을 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜싱 장치에 대한 구성도이다. 1 is a block diagram of a dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜싱 장치(100)는, 각종 평판 디스플레이 패널의 제조에 있어 기판(10) 상에 액정 등과 같은 액체를 적하하기 위한 것으로, 노즐(111)과, 토출밸브 유닛(120), 및 정압 유닛(130)을 포함하여 구성된다. Referring to FIG. 1, the dispensing apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention is for dropping a liquid such as a liquid crystal onto a substrate 10 in the manufacture of various flat panel display panels. And a discharge valve unit 120 and a constant pressure unit 130.

노즐(111)은 시린지(syringe, 112)로부터 액정 등과 같은 액체를 공급받으며, 기판(10)에 대해 상대 이동하면서 시린지(112)로부터 공급받은 액체를 기판(10) 상에 토출한다. 상기 노즐(111)은 헤드 유닛(110)에 장착될 수 있다. 여기서, 헤드 유닛(110)은 프레임(101) 상에 일 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치된 헤드 지지부(102)에 지지가 될 수 있다. 그리고, 헤드 유닛(110)은 헤드 지지부(102)의 이동 방향과 수직인 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치됨으로써, 노즐(111)이 기판(10)에 대해 상대 이동 가능할 수 있다. The nozzle 111 receives a liquid such as a liquid crystal from the syringe 112, and discharges the liquid supplied from the syringe 112 onto the substrate 10 while moving relative to the substrate 10. The nozzle 111 may be mounted to the head unit 110. Here, the head unit 110 may be supported by the head support 102 installed to be slidably moved in one direction on the frame 101. In addition, the head unit 110 may be slidably moved in a direction perpendicular to the moving direction of the head support part 102, such that the nozzle 111 may be relatively moved relative to the substrate 10.

이러한 노즐(111)로 액체를 공급하는 시린지(112)는 노즐(111)과 결합하여 헤드 유닛(110)에 장착되거나, 노즐(111)과 배관으로 연결된 상태로 헤드 지지부(102) 등에 장착될 수 있다. The syringe 112 for supplying the liquid to the nozzle 111 may be mounted to the head unit 110 in combination with the nozzle 111 or may be mounted to the head support 102 or the like while being connected to the nozzle 111 by pipe. have.

토출밸브 유닛(120)은 노즐(111)을 통한 액체의 토출을 제어하기 위한 것이다. 즉, 토출밸브 유닛(120)은 기판(10) 상에 액체를 토출시킬 필요가 없는 경우에는 노즐(111)로부터 액체가 토출되지 않게 막는 한편, 기판(10) 상에 액체를 토 출시킬 필요가 있을 때에만 노즐(111)로부터 액체가 설정된 양으로 토출될 수 있게 개방한다. The discharge valve unit 120 is for controlling the discharge of the liquid through the nozzle 111. That is, when the discharge valve unit 120 does not need to discharge the liquid onto the substrate 10, the discharge valve unit 120 prevents the liquid from being discharged from the nozzle 111, while discharging the liquid onto the substrate 10. Only when present, the liquid is opened so that the liquid can be discharged in a set amount.

이러한 토출밸브 유닛(120)은 토출밸브(121)를 구비한다. 토출밸브(121)는 시린지(112)와 노즐(111) 사이에 설치되어 시린지(112)로부터 노즐(111) 내로 공급되는 액체의 흐름을 개폐하는 역할을 한다. 토출밸브(121)로는 통상적인 개폐 가능한 밸브가 이용될 수 있는데, 그 일 예로 솔레노이드(solenoid) 원리에 의해 개폐 동작이 이루어지는 솔레노이드 밸브가 이용될 수 있다. 이러한 토출밸브(121)의 개폐 동작은 토출밸브 제어부(122)에 의해 제어된다. 여기서, 토출밸브 제어부(122)는 디스펜싱 장치(100)의 시스템 전반을 제어하는 제어부에 포함될 수 있다. The discharge valve unit 120 includes a discharge valve 121. Discharge valve 121 is installed between the syringe 112 and the nozzle 111 serves to open and close the flow of the liquid supplied from the syringe 112 to the nozzle (111). As the discharge valve 121, a conventional openable valve may be used. For example, a solenoid valve in which an opening and closing operation may be performed by a solenoid principle may be used. The opening and closing operation of the discharge valve 121 is controlled by the discharge valve controller 122. Here, the discharge valve control unit 122 may be included in the control unit for controlling the overall system of the dispensing apparatus 100.

정압 유닛(130)은 시린지(112) 내의 압력을 일정하게 유지하여 노즐(111)로부터 액체가 정량으로 토출되게 하는 것이다. 본 실시예에 따르면, 정압 유닛(130)은 액체의 미량 토출시에도 액체가 정량으로 토출할 수 있도록 시린지(112)로 공급되는 가스의 압력 오차를 최소화할 수 있게 구성된다. 이를 위한 정압 유닛(130)은 도 2에 도시된 바와 같이, 레귤레이터(regulator, 131)와, 압력 보정부(141)를 포함하여 구성된다. 도 2에서 굵은 화살표로 표시한 것은 가스의 흐름을 나타낸 것이다. The positive pressure unit 130 keeps the pressure in the syringe 112 constant so that the liquid can be discharged quantitatively from the nozzle 111. According to the present embodiment, the positive pressure unit 130 is configured to minimize the pressure error of the gas supplied to the syringe 112 so that the liquid can be discharged quantitatively even when a small amount of liquid is discharged. 2, the static pressure unit 130 includes a regulator 131 and a pressure compensator 141. Indicated by the thick arrow in Figure 2 shows the flow of gas.

레귤레이터(131)는 가스를 공급받아서 설정된 압력으로 조정하며, 압력 조정이 완료된 가스를 압력 보정부(141) 측으로 공급한다. 여기서, 레귤레이터(131)로 공급되는 가스로는 액정 등과 같은 액체와 반응을 일으키지 않는 청정 건조 공기나 질소 가스 등이 이용될 수 있다. The regulator 131 receives the gas and adjusts the pressure to the set pressure, and supplies the gas on which the pressure adjustment is completed to the pressure corrector 141. Here, as the gas supplied to the regulator 131, clean dry air or nitrogen gas that does not react with a liquid such as a liquid crystal may be used.

압력 보정부(141)는 레귤레이터(131)로부터 공급받은 가스의 압력이 설정된 압력보다 크면 배출시키고 설정된 압력보다 작거나 같으면 시린지(112)로 송출할 수 있게 한다. 즉, 압력 보정부(141)는 레귤레이터(131)에 의해 조정되어 공급되는 가스의 압력 오차를 최소화하여 시린지(112)로 공급될 수 있게 하는 것이다. 따라서, 시린지(112) 내의 액체에 가해지는 토출 압력의 변화도 최소화될 수 있는바, 노즐(111)을 통해 액체를 설정된 양으로 일정하게 토출할 수 있는 한편, 액체를 미량으로 토출하고자 하는 경우에도 액체를 정량으로 토출할 수 있게 된다. The pressure correction unit 141 discharges when the pressure of the gas supplied from the regulator 131 is greater than the set pressure, and transmits the same to the syringe 112 when the pressure is less than or equal to the set pressure. That is, the pressure correction unit 141 is to be supplied to the syringe 112 by minimizing the pressure error of the gas supplied by being adjusted by the regulator 131. Therefore, the change in the discharge pressure applied to the liquid in the syringe 112 can also be minimized. Even though the liquid can be discharged in a predetermined amount through the nozzle 111, even when a small amount of liquid is to be discharged. The liquid can be discharged quantitatively.

이러한 압력 보정부(141)는 압력조절밸브(142), 압력 측정부(143), 및 압력조절밸브 제어부(144)를 포함하여 구성될 수 있다. The pressure correction unit 141 may include a pressure control valve 142, a pressure measuring unit 143, and a pressure control valve control unit 144.

압력조절밸브(142)는 레귤레이터(131)로부터 가스를 공급받는 입력포트(142a)와, 레귤레이터(131)로부터 공급받은 가스를 배출하는 제1 출력포트(142b), 및 레귤레이터(131)로부터 공급받은 가스를 시린지(112)로 송출하는 제2 출력포트(142c)를 구비한다. 이러한 압력조절밸브(142)로는 솔레노이드 밸브가 이용될 수 있다. The pressure regulating valve 142 receives an input port 142a for receiving gas from the regulator 131, a first output port 142b for discharging the gas supplied from the regulator 131, and a regulator 131. A second output port 142c for sending gas to the syringe 112 is provided. A solenoid valve may be used as the pressure regulating valve 142.

압력 측정부(143)는 시린지(112)로 공급되는 가스의 압력을 측정하여 압력조절밸브 제어부(144)로 제공하기 위한 것이다. 상기 압력 측정부(143)로는 압력 스위치나 압력 센서가 이용될 수 있다. 여기서, 압력 스위치는 시린지(112)로 공급된 가스의 압력이 설정된 압력보다 크게 되면 동작하는 스위치이다. The pressure measuring unit 143 measures the pressure of the gas supplied to the syringe 112 and provides the pressure adjusting valve control unit 144. As the pressure measuring unit 143, a pressure switch or a pressure sensor may be used. Here, the pressure switch is a switch that operates when the pressure of the gas supplied to the syringe 112 is greater than the set pressure.

압력 측정부(143)로 압력 스위치가 이용되는 경우, 압력 스위치는 가스의 압 력에 따른 동작 여부에 대한 정보를 압력조절밸브 제어부(144)로 제공함으로써, 상기 정보를 토대로 압력조절밸브 제어부(144)가 압력조절밸브(142)의 제1 출력포트(142b)와 제2 출력포트(142c)를 선택적으로 개방하도록 제어할 수 있게 한다. When the pressure switch is used as the pressure measuring unit 143, the pressure switch provides the pressure control valve control unit 144 with information on whether or not the operation according to the pressure of the gas, the pressure control valve control unit 144 based on the information ) Can be controlled to selectively open the first output port 142b and the second output port 142c of the pressure regulating valve 142.

즉, 압력조절밸브 제어부(144)는 압력 스위치가 동작한 것으로 입력받게 되면, 시린지(112)로 공급된 가스의 압력이 설정된 압력보다 크다고 판단함으로써, 레귤레이터(131)로부터 공급받은 가스를 제1 출력포트(142b)를 통해 배출할 수 있게 압력조절밸브(142)를 제어하게 된다. 이와 반대로, 압력조절밸브 제어부(144)는 압력 스위치가 동작하지 않은 것으로 입력받게 되면, 시린지(112)로 공급된 가스의 압력이 설정된 압력보다 작거나 같다고 판단함으로써, 레귤레이터(131)로부터 공급받은 가스를 제2 출력포트(142c)를 통해 시린지(112)로 공급할 수 있게 압력조절밸브(142)를 제어하게 된다. That is, when the pressure regulating valve controller 144 receives the input that the pressure switch is operated, the pressure regulating valve controller 144 determines that the pressure of the gas supplied to the syringe 112 is greater than the set pressure, thereby outputting the gas supplied from the regulator 131 to the first output. The pressure control valve 142 is controlled to be discharged through the port 142b. On the contrary, when the pressure regulating valve control unit 144 receives the input that the pressure switch does not operate, the pressure control valve controller 144 determines that the pressure of the gas supplied to the syringe 112 is less than or equal to the set pressure, and thus the gas supplied from the regulator 131 The pressure control valve 142 is controlled to supply the to the syringe 112 through the second output port 142c.

한편, 압력 측정부(143)로 압력 센서가 이용되는 경우, 압력 센서로는 가스의 압력을 전압으로 변환할 수 있는 센서가 이용될 수 있다. 이 경우, 압력 센서는 측정된 압력 값에 대한 정보를 압력조절밸브 제어부(144)로 제공함으로써, 상기 정보를 토대로 압력조절밸브 제어부(144)가 압력조절밸브(142)를 제어할 수 있게 한다. On the other hand, when the pressure sensor is used as the pressure measuring unit 143, a sensor capable of converting the pressure of the gas into a voltage may be used as the pressure sensor. In this case, the pressure sensor provides the information on the measured pressure value to the pressure regulating valve controller 144, so that the pressure regulating valve controller 144 can control the pressure regulating valve 142 based on the information.

즉, 압력조절밸브 제어부(144)는 압력 센서로부터 측정된 압력과 설정된 압력을 비교하여, 측정된 압력이 설정된 압력보다 크다고 판단하면, 레귤레이터(131)로부터 공급받은 가스를 제1 출력포트(142b)를 통해 배출할 수 있게 압력조절밸브(142)를 제어하게 한다. 이와 반대로, 압력조절밸브 제어부(144)는 측정된 압력 이 설정된 압력보다 작거나 같다고 판단하면, 레귤레이터(131)로부터 공급받은 가스를 제2 출력포트(142c)를 통해 시린지(112)로 공급할 수 있게 압력조절밸브(142)를 제어하게 된다. 이에 따라, 레귤레이터(131)로부터 공급되는 가스의 압력 오차를 최소화하여 시린지(112)로 공급할 수 있는 것이다. That is, the pressure regulating valve control unit 144 compares the pressure measured by the pressure sensor with the set pressure, and determines that the measured pressure is greater than the set pressure, the first output port 142b receives the gas supplied from the regulator 131. To control the pressure control valve 142 to be discharged through. On the contrary, if the pressure regulating valve controller 144 determines that the measured pressure is less than or equal to the set pressure, the pressure regulating valve controller 144 may supply the gas supplied from the regulator 131 to the syringe 112 through the second output port 142c. The pressure control valve 142 is controlled. Accordingly, the pressure error of the gas supplied from the regulator 131 can be minimized and supplied to the syringe 112.

상기 압력조절밸브(142)와 시린지(112) 사이의 유로에는 공기탱크(145)가 더 설치될 수 있다. 상기 공기탱크(145)는 압력조절밸브(142)의 개폐시 가스의 압력 변화에 따른 충격을 완충시킬 수 있게 한다. An air tank 145 may be further installed in the flow path between the pressure control valve 142 and the syringe 112. The air tank 145 can buffer the shock caused by the pressure change of the gas when opening and closing the pressure control valve 142.

그리고, 압력조절밸브(142)의 제1 출력포트(142b)와 레귤레이터(131) 사이의 유로에는 감압밸브(146)가 더 설치될 수 있다. 상기 감압밸브(146)는 레귤레이터(131)로부터 가스를 공급받아서 가스의 압력을 낮춤으로써, 제1 출력 포트(142b)로부터 배출되는 가스의 압력 변화를 줄일 수 있게 한다. 여기서, 감압밸브(146)는 레귤레이터(131)로부터 공급된 가스의 압력을 절반 정도 낮출 수 있게 설정될 수 있다. In addition, a pressure reducing valve 146 may be further installed in a flow path between the first output port 142b of the pressure regulating valve 142 and the regulator 131. The pressure reducing valve 146 receives gas from the regulator 131 to lower the pressure of the gas, thereby reducing the pressure change of the gas discharged from the first output port 142b. Here, the pressure reducing valve 146 may be set to lower the pressure of the gas supplied from the regulator 131 by about half.

한편, 감압밸브(146) 대신 보조 레귤레이터가 이용되는 것도 가능하다. 보조 레귤레이터는 압력조절밸브(142)의 입력포트(142a)로 공급되는 가스의 압력보다 낮은 압력을 갖는 가스를 제1 출력포트(142b) 측으로 공급하도록 구성될 수 있다. On the other hand, it is also possible to use an auxiliary regulator instead of the pressure reducing valve 146. The auxiliary regulator may be configured to supply a gas having a pressure lower than that of the gas supplied to the input port 142a of the pressure regulating valve 142 to the first output port 142b.

또한, 레귤레이터(131)와 압력조절밸브(142) 사이의 유로와, 압력조절밸브(142)와 공기탱크(145) 사이의 유로에는 유량조절밸브들(147a)(147b)이 각각 더 설치될 수 있다. 아울러, 압력조절밸브(142)와 감압밸브(146) 사이에도 유량조절밸브(147c)가 더 설치될 수 있다. In addition, flow paths between the regulator 131 and the pressure control valve 142 and the flow path between the pressure control valve 142 and the air tank 145 may be further provided with flow control valves 147a and 147b, respectively. have. In addition, a flow rate control valve 147c may be further installed between the pressure control valve 142 and the pressure reducing valve 146.

상기 유량조절밸브들(147a)(147b)(147c)은 압력조절밸브(142)의 개폐시 가스의 압력 변화를 최소화할 수 있도록, 레귤레이터(131)로부터 압력조절밸브(142)로 유입되는 가스의 유량과, 압력조절밸브(142)로부터 공기탱크(145)로 유입되는 가스의 유량과, 압력조절밸브(142)로부터 감압밸브(146)로 유입되는 가스의 유량을 조절할 수 있게 한다. The flow control valves 147a, 147b, and 147c may be configured to reduce the pressure change of the gas when the pressure control valve 142 is opened and closed, so that the flow rate of the gas flowing from the regulator 131 to the pressure control valve 142 may be reduced. It is possible to adjust the flow rate, the flow rate of the gas flowing into the air tank 145 from the pressure control valve 142, and the flow rate of the gas flowing into the pressure reducing valve 146 from the pressure control valve 142.

한편, 다시 도 1을 참조하면, 디스펜싱 장치(100)는 액체보충 유닛(150)을 더 구비할 수 있다. 액체보충 유닛(150)은 액체가 토출되는 동안, 시린지(112) 내에 저장된 액체의 양을 일정하게 유지하도록 한다. 이는 시린지(112) 내에 저장된 액체의 수위가 낮아지게 되면 액체에 가해지는 압력이 감소하게 되는데, 이러한 압력 감소를 방지함으로써, 노즐(111)로부터 액체가 정량으로 토출될 수 있도록 하기 위함이다. 이러한 액체보충 유닛(150)은 액체저장탱크(151)와, 수위측정센서(152)와, 액체공급밸브(153), 및 액체공급밸브 제어부(154)를 포함하여 구성될 수 있다. Meanwhile, referring back to FIG. 1, the dispensing apparatus 100 may further include a liquid refilling unit 150. The liquid replenishment unit 150 keeps the amount of the liquid stored in the syringe 112 constant while the liquid is discharged. This is because when the level of the liquid stored in the syringe 112 is lowered, the pressure applied to the liquid is reduced. This is to prevent the pressure decrease, so that the liquid can be discharged quantitatively from the nozzle 111. The liquid replenishment unit 150 may include a liquid storage tank 151, a level sensor 152, a liquid supply valve 153, and a liquid supply valve controller 154.

액체저장탱크(151)는 내부에 액체가 채워져 시린지(112)로 액체를 공급할 수 있게 한다. 그리고, 수위측정센서(152)는 시린지(112) 내에 저장된 액체의 수위를 측정하는 것으로, 광을 발산하는 발광부(152a)와, 상기 발광부(152a)로부터 발산한 광을 받아들이는 수광부(152b)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 상기 발광부(152a) 및 수광부(152b)는 시린지(112)를 사이에 두고 양측에 나뉘어 배치됨으로써, 발광부(152a)로부터 발산한 광이 시린지(112) 내에 채워진 액체를 통과하는지 혹은 액체가 없는 공간을 통과하는지 여부를 수광부(152b)가 감지할 수 있게 한다. 따라서, 시린지(112)에 저장된 액체의 수위가 측정될 수 있는 것이다. The liquid storage tank 151 is filled with liquid to allow the liquid to be supplied to the syringe 112. The level sensor 152 measures the level of the liquid stored in the syringe 112, and emits light 152a that emits light, and receives light 152b that receives the light emitted from the light emitter 152a. It may be configured to include). Here, the light emitting unit 152a and the light receiving unit 152b are disposed on both sides with the syringe 112 interposed therebetween, so that the light emitted from the light emitting unit 152a passes through the liquid filled in the syringe 112 or the liquid. The light receiving unit 152b can detect whether or not it passes through a space without a space. Therefore, the level of the liquid stored in the syringe 112 can be measured.

이렇게 수위측정센서(152)로부터 측정된 수위 정보는 액체공급밸브 제어부(154)로 제공됨으로써, 액체공급밸브 제어부(154)가 액체공급밸브(153)를 제어할 수 있게 한다. 액체공급밸브(153)는 액체저장탱크(151)와 시린지(112) 사이에서 액체의 흐름을 개폐하는 것으로, 솔레노이드 밸브 등이 이용될 수 있다. The water level information measured by the water level measurement sensor 152 is provided to the liquid supply valve control unit 154, thereby allowing the liquid supply valve control unit 154 to control the liquid supply valve 153. The liquid supply valve 153 opens and closes the flow of liquid between the liquid storage tank 151 and the syringe 112, and a solenoid valve may be used.

액체공급밸브 제어부(154)는 수위측정센서(152)로부터 측정된 수위 정보를 제공받아서, 시린지(112) 내에 저장된 액체의 수위가 일정하도록 액체공급밸브(153)를 제어한다. 즉, 액체공급밸브 제어부(154)는 수위측정센서(152)로부터 측정된 액체의 수위가 설정된 액체의 수위보다 낮은 것으로 판단하면, 액체저장탱크(151)로부터 시린지(112) 내로 액체가 공급되도록 액체공급밸브(153)에 의해 액체의 흐름을 개방시킨다. 그리고, 액체공급밸브 제어부(154)는, 전술한 바와 같이 시린지(112) 내로 액체가 공급되다가 액체의 수위가 설정된 액체의 수위에 도달한 것으로 수위측정센서(152)에 의해 판단하면, 액체저장탱크(151)로부터 시린지(112) 내로 액체가 더 이상 공급되지 않도록 액체공급밸브(153)에 의해 액체의 흐름을 폐쇄한다. 따라서, 시린지(112) 내에 저장된 액체의 수위가 일정하게 유지될 수 있는 것이다.The liquid supply valve controller 154 receives the level information measured by the level sensor 152, and controls the liquid supply valve 153 so that the level of the liquid stored in the syringe 112 is constant. That is, when the liquid supply valve controller 154 determines that the level of the liquid measured by the level sensor 152 is lower than the level of the set liquid, the liquid is supplied from the liquid storage tank 151 into the syringe 112. The flow of liquid is opened by the supply valve 153. Then, the liquid supply valve control unit 154, when the liquid is supplied to the syringe 112 as described above, and the liquid level is determined by the water level measurement sensor 152 that the level of the liquid has reached the level of the set liquid, the liquid storage tank The flow of liquid is closed by the liquid supply valve 153 so that the liquid is no longer supplied from the 151 to the syringe 112. Therefore, the level of the liquid stored in the syringe 112 can be kept constant.

상기와 같이 구성된 디스펜싱 장치(100)의 작용을 개략적으로 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation of the dispensing device 100 configured as described above is as follows.

먼저, 시린지(112) 내로 공급될 가스의 압력을 설정하여 정압 유닛(130)에 마련된 압력조절밸브 제어부(144)에 입력한 다음, 시린지(112) 내로 가스가 공급되게 한다. 이렇게 시린지(112) 내로 가스가 공급되는 과정에서, 압력 측정부(143) 는 시린지(112)로 공급되는 가스의 압력을 측정하여 압력조절밸브 제어부(144)로 제공하게 되며, 압력조절밸브 제어부(144)는 압력 측정부(143)로부터 측정된 가스의 압력과 설정된 압력을 비교 판단하게 된다. First, the pressure of the gas to be supplied into the syringe 112 is set and input to the pressure regulating valve control unit 144 provided in the positive pressure unit 130, and then the gas is supplied into the syringe 112. In the process of supplying gas into the syringe 112, the pressure measuring unit 143 measures the pressure of the gas supplied to the syringe 112 and provides the pressure control valve controller 144 to the pressure control valve controller ( 144 compares the pressure of the gas measured from the pressure measuring unit 143 and the set pressure.

이때, 압력조절밸브 제어부(144)가 압력 측정부(143)로부터 측정된 압력이 설정된 압력보다 크다고 판단하면, 레귤레이터(131)로부터 공급받은 가스를 제1 출력포트(142a)를 통해 배출할 수 있게 압력조절밸브(142)를 제어한다. 이와 반대로, 압력조절밸브 제어부(144)가 측정된 압력이 설정된 압력보다 작거나 같다고 판단하면, 레귤레이터(131)로부터 공급받은 가스를 제2 출력포트(142c)를 통해 시린지(112)로 공급할 수 있게 압력조절밸브(142)를 제어한다. At this time, when the pressure control valve control unit 144 determines that the pressure measured by the pressure measuring unit 143 is greater than the set pressure, it is possible to discharge the gas supplied from the regulator 131 through the first output port 142a. The pressure control valve 142 is controlled. On the contrary, if the pressure regulating valve control unit 144 determines that the measured pressure is less than or equal to the set pressure, it is possible to supply the gas supplied from the regulator 131 to the syringe 112 through the second output port 142c. The pressure control valve 142 is controlled.

이와 같은 압력조절밸브 제어부(144)에 의한 피드백(feedback)을 지속적으로 수행하게 되면, 레귤레이터(131)로부터 공급되는 가스의 압력 오차를 최소화하여 시린지(112)로 공급함으로써, 시린지(112) 내의 액체에 가해지는 토출 압력의 변화 또한 최소화할 수 있는 것이다. When the feedback is continuously performed by the pressure regulating valve controller 144, the pressure in the gas supplied from the regulator 131 is minimized and supplied to the syringe 112, thereby providing a liquid in the syringe 112. The change in the discharge pressure applied to the gas can also be minimized.

이러한 상태에서, 노즐(111)을 통해 기판(10) 상에 액체를 설정된 양으로 토출시키고자 한다면, 토출밸브 유닛(120)의 토출밸브 제어부(122)에 의해 토출밸브(121)가 시린지(112)로부터 노즐(111)로 공급되는 액체의 흐름이 개방될 수 있게 한다. 이렇게 노즐(111)을 통해 액체를 토출시키다가, 설정된 양으로 액체의 토출이 완료되면, 토출밸브 제어부(122)에 의해 토출밸브(121)가 시린지(112)로부터 노즐(111) 내로 공급되는 액체의 흐름이 폐쇄될 수 있게 한다. 따라서, 기판(10) 상에 액체가 설정된 양으로 정량 토출될 수 있는 것이다. In this state, if the liquid is to be discharged to the substrate 10 through the nozzle 111 in a set amount, the discharge valve 121 is discharged from the syringe 112 by the discharge valve control unit 122 of the discharge valve unit 120. The flow of the liquid supplied to the nozzle 111 can be opened. When the liquid is discharged through the nozzle 111 as described above, when the liquid is discharged in the set amount, the discharge valve 121 is supplied from the syringe 112 into the nozzle 111 by the discharge valve controller 122. Allow the flow of to be closed. Therefore, the liquid can be quantitatively discharged in a set amount on the substrate 10.

한편, 상기와 같이 노즐(111)로부터 액체가 설정된 양으로 수회 토출되는 과정에서 시린지(112) 내에 저장된 액체의 양이 줄어들게 되면, 액체보충 유닛(150)의 수위측정센서(152)는 액체의 수위가 낮아지는 것으로 측정한 정보를 액체공급밸브 제어부(154)로 제공한다. 그러면, 액체공급밸브 제어부(154)는 액체저장탱크(151)로부터 시린지(112) 내로 액체가 공급되도록 액체공급밸브(153)를 개방시킨다. 그리고, 액체공급밸브 제어부(154)는, 전술한 바와 같이 시린지(112) 내로 액체가 공급되다가 액체의 수위가 설정된 액체의 수위에 도달한 것으로 수위측정센서(152)에 의해 판단하게 되면, 액체저장탱크(151)로부터 시린지(112) 내로 액체가 더 이상 공급되지 않도록 액체공급밸브(153)를 폐쇄한다. On the other hand, when the amount of the liquid stored in the syringe 112 is reduced in the process of discharging the liquid from the nozzle 111 in a predetermined amount as described above, the level sensor 152 of the liquid refill unit 150 is the liquid level of the liquid Provides the measured information to the liquid supply valve control unit 154 to be lowered. Then, the liquid supply valve control unit 154 opens the liquid supply valve 153 so that the liquid is supplied from the liquid storage tank 151 into the syringe 112. When the liquid supply valve controller 154 determines that the liquid level reaches the level of the set liquid after the liquid is supplied into the syringe 112 as described above, the liquid storage valve 152 stores the liquid. The liquid supply valve 153 is closed so that liquid is no longer supplied from the tank 151 into the syringe 112.

이와 같은 액체공급밸브 제어부(154)에 의한 피드백을 지속적으로 수행하게 되면, 시린지(112) 내에 저장된 액체의 수위가 일정하게 유지될 수 있는 것이다. 따라서, 시린지(112) 내에 저장된 액체의 수위가 낮아져서 액체에 가해지는 압력이 감소하는 현상을 방지할 수 있게 되는바, 기판(10) 상에 노즐(111)로부터 액체가 정량으로 토출될 수 있다. When the feedback by the liquid supply valve control unit 154 is continuously performed, the level of the liquid stored in the syringe 112 can be kept constant. Therefore, since the level of the liquid stored in the syringe 112 is lowered to prevent the phenomenon in which the pressure applied to the liquid is reduced, the liquid can be discharged quantitatively from the nozzle 111 on the substrate 10.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 시린지로 공급되는 가스의 압력 오차를 최소화하도록 정압 유닛이 구성됨으로써, 시린지 내의 액체에 가해지는 토출 압력의 변화 또한 최소화할 수 있게 있으므로, 액정 등과 같은 액체를 정량으로 토출할 수 있다. 뿐만 아니라, 액체의 미량 토출시에도 액체를 정량으로 토출할 수 있다. As described above, according to the present invention, since the constant pressure unit is configured to minimize the pressure error of the gas supplied to the syringe, the change in the discharge pressure applied to the liquid in the syringe can also be minimized. Can be discharged. In addition, the liquid can be quantitatively discharged even at the time of discharging a small amount of the liquid.

또한, 시린지 내에 저장된 액체의 수위를 일정하게 유지하는 액체보충 유닛 을 더 구비하는 경우에는, 시린지 내에 저장된 액체의 수위가 낮아져서 액체에 가해지는 압력이 감소하는 현상을 방지할 수 있게 되므로, 노즐로부터 액체가 정량으로 토출될 수 있다. 따라서, 각종 평판 디스플레이 패널의 제조시 패널의 품질 저하가 방지될 수 있는 효과가 있게 된다. In addition, in the case of further comprising a liquid replenishment unit for maintaining a constant level of the liquid stored in the syringe, it is possible to prevent the phenomenon that the pressure applied to the liquid is reduced by lowering the level of the liquid stored in the syringe, so that the liquid from the nozzle Can be discharged quantitatively. Therefore, when manufacturing various flat panel display panels, there is an effect that the degradation of the panel quality can be prevented.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다. Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the accompanying drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Could be. Accordingly, the true scope of protection of the invention should be defined only by the appended claims.

Claims (10)

기판에 대해 상대 이동하면서 액체가 저장된 시린지(syringe)로부터 액체를 공급받아 상기 기판 상에 토출하도록 된 노즐; A nozzle configured to receive liquid from a syringe in which the liquid is stored while moving relative to the substrate and to discharge the liquid onto the substrate; 상기 시린지로부터 상기 노즐로 공급되는 액체의 흐름을 개폐하여 액체의 토출을 제어하는 토출밸브 유닛; 및A discharge valve unit which controls the discharge of the liquid by opening and closing the flow of the liquid supplied from the syringe to the nozzle; And 상기 노즐로부터 액체가 정량으로 토출되게 하는 것으로, 가스를 공급받아서 설정된 압력으로 조정하는 레귤레이터(regulator)와, 상기 레귤레이터로부터 공급받는 가스의 압력이 설정된 압력보다 크면 배출시키고 작거나 같으면 상기 시린지로 송출시켜 상기 시린지로 공급되는 가스의 압력 오차를 최소화하는 압력 보정부가 구비된 정압 유닛;The liquid is discharged quantitatively from the nozzle, and the regulator receives a gas and adjusts it to a set pressure, and if the pressure of the gas supplied from the regulator is greater than the set pressure, the gas is discharged and discharged to the syringe if it is smaller or equal. A constant pressure unit having a pressure correction unit for minimizing a pressure error of the gas supplied to the syringe; 을 구비하는 디스펜싱 장치. Dispensing apparatus comprising a. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 압력 보정부는: The pressure correction unit: 상기 시린지로 공급되는 가스의 압력을 측정하는 압력 측정부; A pressure measuring unit measuring a pressure of a gas supplied to the syringe; 상기 레귤레이터로부터 가스를 공급받는 입력포트와, 상기 레귤레이터로부터 공급받은 가스를 배출하는 제1 출력포트, 및 상기 레귤레이터로부터 공급받은 가스를 상기 시린지로 송출하는 제2 출력포트를 구비한 압력조절밸브; 및 A pressure regulating valve having an input port for receiving gas from the regulator, a first output port for discharging the gas supplied from the regulator, and a second output port for sending the gas supplied from the regulator to the syringe; And 상기 압력 측정부로부터 측정된 압력이 설정된 압력보다 크면 상기 제1 출력 포트를 개방시키고 설정된 압력보다 작거나 같으면 상기 제2 출력포트를 개방시키도록 상기 압력조절밸브를 제어하는 압력조절밸브 제어부; A pressure regulating valve controller controlling the pressure regulating valve to open the first output port when the pressure measured by the pressure measuring unit is greater than a set pressure and to open the second output port when the pressure measured by the pressure measuring unit is greater than or equal to the set pressure; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 장치. Dispensing device comprising a. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 압력조절밸브는 솔레노이드(solenoid) 밸브인 것을 특징으로 하는 디스펜싱 장치. The pressure regulating valve is a dispensing device, characterized in that the solenoid (solenoid) valve. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 압력 측정부는 압력 스위치와 압력 센서 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 디스펜싱 장치. The pressure measuring unit is a dispensing device, characterized in that any one of a pressure switch and a pressure sensor. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 압력 보정부는: The pressure correction unit: 상기 압력조절밸브와 시린지 사이의 유로에 설치되는 것으로, 상기 압력조절밸브의 개폐시 가스의 압력 변화에 따른 충격을 완충하는 공기탱크; 및 An air tank installed in a flow path between the pressure control valve and the syringe to cushion an impact caused by a change in pressure of the gas during opening and closing of the pressure control valve; And 상기 레귤레이터와 압력조절밸브 사이의 유로와, 상기 압력조절밸브와 공기탱크 사이의 유로에 각각 설치되는 것으로, 상기 압력조절밸브의 개폐시 가스의 압력 변화를 최소화하도록 가스의 유량을 조절하는 유량조절밸브를 각각 더 구비하는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 장치. Flow passages are provided in the flow path between the regulator and the pressure control valve, and the flow path between the pressure control valve and the air tank, respectively, to control the flow rate of the gas to minimize the pressure change of the gas when opening and closing the pressure control valve Dispensing apparatus, characterized in that further comprising each. 제 5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 압력 보정부는: The pressure correction unit: 상기 제1 출력 포트와 레귤레이터 사이의 유로에 설치되는 것으로, 상기 제1 출력 포트로부터 배출되는 가스의 압력 변화를 줄이도록 상기 레귤레이터로부터 공급받은 가스의 압력을 낮추는 감압밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 장치. It is provided in the flow path between the first output port and the regulator, characterized in that it further comprises a pressure reducing valve for reducing the pressure of the gas supplied from the regulator to reduce the pressure change of the gas discharged from the first output port Dispensing device. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 노즐을 통해 액체가 토출되는 동안, 상기 시린지 내에 저장된 액체의 양을 일정하게 유지하는 액체보충 유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 장치. And a liquid replenishment unit which maintains a constant amount of liquid stored in the syringe while the liquid is discharged through the nozzle. 제 7항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 액체보충 유닛은: The liquid replenishment unit is: 상기 시린지로 액체를 공급하는 액체저장탱크; A liquid storage tank for supplying liquid to the syringe; 상기 시린지 내에 저장된 액체의 수위를 측정하는 수위측정센서;A water level sensor for measuring the level of the liquid stored in the syringe; 상기 액체저장탱크와 시린지 사이에서 액체의 흐름을 개폐하는 액체공급밸브; 및 A liquid supply valve configured to open and close a flow of liquid between the liquid storage tank and the syringe; And 상기 수위측정센서로부터 측정된 수위 정보를 제공받아서 상기 시린지 내에 저장된 액체의 수위가 일정하도록 상기 액체공급밸브를 제어하는 액체공급밸브 제어부; A liquid supply valve controller configured to control the liquid supply valve such that the level of the liquid stored in the syringe is constant by receiving the level information measured by the level sensor; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 장치. Dispensing device comprising a. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 레귤레이터로 공급되는 가스는 청정 건조 공기와 질소 가스 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 디스펜싱 장치. The gas supplied to the regulator is any one of clean dry air and nitrogen gas. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 액체는 액정인 것을 특징으로 하는 디스펜싱 장치. Dispensing device, characterized in that the liquid is a liquid crystal.
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