KR100735746B1 - A fluid flow meter - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유체 플로우 미터기에 관한 것으로, 본 발명에 따른 유체 플로우 미터기는 하단에 입구가 형성되고, 상단에 출구가 형성된 하우징; 하우징 내부에 상하 슬라이딩하도록 설치되되 입구로부터 유체가 유입되면 하우징의 출구 측으로 상승하도록 된 지시자; 지시자의 상단면에 마련되어 지시자가 출구와 접하게 될 때 출구 측으로 유체의 유통이 가능하도록 하는 유체유통수단을 구비한 것으로, 이러한 본 발명에 따른 유체 플로우 미터기는 유체의 공급시 하우징 내부로 유입된 기포 또는 급격한 유체 공급 압력 변화에 의하여 지시자가 하우징의 출구 측에 접하게 되는 경우 이때의 지시자에 의하여 하우징의 출구를 막게 되는 것을 방지하여 유체의 계속적인 유통이 가능하도록 함으로써 유체의 유통방해를 방지하도록 하는 효과가 있다.The present invention relates to a fluid flow meter, the fluid flow meter according to the present invention is formed with an inlet at the bottom, the outlet is formed at the top; It is installed to slide up and down inside the housing, when the fluid is introduced from the inlet to rise to the outlet side of the housing; It is provided on the upper surface of the indicator having a fluid flow means for allowing the flow of fluid to the outlet side when the indicator comes in contact with the outlet, the fluid flow meter according to the present invention is a bubble or When the indicator comes into contact with the outlet side of the housing due to a sudden change in fluid supply pressure, the indicator prevents the flow of the fluid by preventing the outlet from being blocked by the indicator at this time, thereby enabling the continuous flow of the fluid. have.

Description

유체 플로우 미터기{A fluid flow meter}A fluid flow meter

도 1은 본 발명에 따른 유체 플로우 미터기를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a fluid flow meter according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 유체 플로우 미터기를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a fluid flow meter according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 유체 플로우 미터기에서의 지시자 작동상태를 도시한 도면이다.3 is a view showing an indicator operating state in a fluid flow meter according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 유체 플로우 미터기의 지시자를 도시한 사시도이다.4 is a perspective view illustrating an indicator of a fluid flow meter according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 유체 플로우 미터기의 지시자에 대한 다른 실시예를 도시한 사시도이다.5 is a perspective view showing another embodiment of the indicator of the fluid flow meter according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 유체 플로우 미터 지시자에 대한 또 다른 실시예를 도시한 사시도이다. 6 is a perspective view of another embodiment of a fluid flow meter indicator in accordance with the present invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

100...하우징100 ... Housing

300...지시자300 ... indicator

310...하측부310 ... lower part

320...상측부320 ... top

321, 322, 323...유체 유통홈321, 322, 323 ... fluid distribution home

본 발명은 유체 플로우 미터기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유체의 흐르는 양에 의한 저항으로 일정한 높이로 상승하도록 된 지시자를 개선한 유체 플로우 미터기에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid flow meter, and more particularly to a fluid flow meter that improves the indicator to rise to a constant height with a resistance due to the amount of flow of fluid.

일반적으로 유체 플로우 미터기는 각종 유체를 사용하는 제조설비, 특히 많은 종류의 반응가스를 사용하는 반도체 제조설비에 주로 사용되는 것이다. 이러한 유체 플로우 미터기는 사용되는 유체의 흐르는 양을 단순 위치로 표시함으로써 사용자의 목시검사로 유체의 흐르는 양을 쉽게 인식할 수 있도록 하는 것이다.In general, the fluid flow meter is mainly used in manufacturing equipment using various fluids, especially semiconductor manufacturing equipment using many kinds of reaction gases. Such a fluid flow meter is to display the flow amount of the fluid used in a simple position so that the user can easily recognize the flow amount of the fluid by visual inspection.

종래의 유체 플로우 미터기는 하우징의 하측으로부터 유입된 유체가 유체의 유출방향인 상측으로 진행하면서 유체 플로우 미터기 내부에 장착된 지시자를 유체의 유통 저항으로 상승시킴으로써 이 지시자의 상승된 위치에 따라 유체의 흐르는 양을 사용자가 목시로 인식할 수 있도록 한다.Conventional fluid flow meters allow the flow of fluid in accordance with the raised position of the indicator by raising the indicator mounted inside the fluid flow meter to the flow resistance of the fluid as the fluid flowing from the lower side of the housing proceeds upwards in the outflow direction of the fluid The amount is visually recognized by the user.

이를 위하여 사용되는 지시자로는 통상 볼 형상으로 된 것과 못과 같은 축형상으로 된 것이 있다. 그런데 볼 형상의 지시자는 유체의 저항에 의해 불규칙적인 원운동을 함으로써 정확한 수치를 제대로 표시하지 못하기 때문에 근래에는 주로 못 형태의 지시자를 대부분 채용하고 있다.Indicators used for this purpose are those which are usually in the form of balls and in the form of a shaft like a nail. By the way, the ball-shaped indicator does not display the correct value by irregular circular motion due to the resistance of the fluid, so in recent years, most of the indicator of the nail type is adopted.

여기서 이러한 지시자들은 모두 상단이 평탄한 평면 형태로 되어 있다. 따라서 유체 플로우 미터기의 하우징 내부로 기포가 유입되던가 아니면 갑작스러운 압력 변동에 의하여 지시자가 유체 플로우 미터기의 최상단까지 상승하게 되면 유 체 플로우 미터기의 유체 출구 측을 이 지시자가 막게 되어 유체의 흐름을 방해하게 되고, 이로 인해 유체 사용설비의 공정 불량이나 작동 중단을 유발시키는 문제점이 있다. All of these indicators are in the form of a flat plane on the top. Therefore, if bubbles are introduced into the housing of the fluid flow meter, or if the indicator rises to the top of the fluid flow meter due to sudden pressure fluctuations, the indicator blocks the fluid outlet side of the fluid flow meter, preventing the flow of fluid. As a result, there is a problem of causing a process failure or an operation stop of the fluid use facility.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기포의 유입 또는 유체 압력의 갑작스러운 변동에 의하여 지시자가 유체의 출구를 막게 되는 것을 방지하여 유체 사용설비의 공정불량이나 설비의 운용중단을 방지할 수 있도록 지시자를 개선한 유체 플로우 미터기를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to prevent the indicator from blocking the outlet of the fluid by the inflow of bubbles or the sudden fluctuation of the fluid pressure, so that the process of the fluid use facility or the operation of the facility It is to provide a fluid flow meter with an improved indicator to prevent interruption.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유체 플로우 미터기는 하단에 입구가 형성되고, 상단에 출구가 형성된 하우징; 상기 하우징 내부에 상하 슬라이딩하도록 설치되되 상기 입구로부터 유체가 유입되면 상기 하우징의 출구 측으로 상승하도록 된 지시자; 상기 지시자의 상단면에 마련되어 상기 지시자가 상기 출구와 접하게 될 때 상기 출구 측으로 유체의 유통이 가능하도록 하는 유체유통수단을 구비한다.Fluid flow meter according to the present invention for achieving the above object is the inlet is formed at the bottom, the outlet is formed at the top; An indicator installed to slide up and down inside the housing, the indicator being configured to ascend toward the outlet side of the housing when fluid is introduced from the inlet; It is provided on the top surface of the indicator is provided with fluid flow means for enabling the flow of fluid to the outlet side when the indicator comes into contact with the outlet.

그리고 바람직하게 상기 유체유통수단은 상기 지시자의 상단면에 측방으로 개구되어 형성된 유체 유통홈으로 마련된다.And preferably the fluid flow means is provided with a fluid flow groove formed to be opened laterally on the top surface of the indicator.

또한 바람직하게 상기 유체 유통홈은 열 십자 형태로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the fluid distribution groove is characterized in that formed in the shape of ten crosses.

이하에서는 본 발명에 따른 하나의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, one preferred embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명에 따른 유체 플로우 미터기는 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 원통형상으로 형성되며 표면에 상하로 다수의 지시 눈금자(110)가 형성된 하우징(100)을 구비하고, 하우징(100)의 하단으로는 유체가 유통하는 유통관(200)에 결합되어 유체가 하우징(100) 내부로 유입되도록 하는 입구(120)가 형성되며, 상단으로는 하우징(100) 내부를 유통한 유체를 배출하여 유체가 사용되는 공정으로 진행하도록 하기 위한 출구(130)가 형성되어 있다.The fluid flow meter according to the present invention is formed in a cylindrical shape as shown in Figures 1 and 2 and has a housing 100 having a plurality of indicator rulers 110 formed on the surface up and down, the lower end of the housing 100 The inlet 120 is coupled to the distribution pipe 200 through which the fluid flows to allow the fluid to flow into the housing 100, and the fluid is used to discharge the fluid flowing through the housing 100 at the top. An outlet 130 is formed to proceed to the process.

그리고 하우징(100)의 내부에는 하우징(100)의 내부에서 입구(120) 측에서 출구(130) 측으로 상하 슬라이딩하도록 설치되어 하우징(100)의 입구(120) 측으로부터 유입된 유체의 저항에 따라 상하로 움직이는 지시자(300)가 설치된다. In addition, the inside of the housing 100 is installed to slide up and down from the inlet 120 side to the outlet 130 side in the interior of the housing 100 and according to the resistance of the fluid introduced from the inlet 120 side of the housing 100. The indicator 300 moving to is installed.

이 지시자(300)는 못 형태로 된 것으로 뾰족한 형태로 된 하측부(310)와 이 하측부(310) 상단에 형성되며 하측부(310) 보다 직경이 조금 큰 상측부(320)로 마련된다. 따라서 유체는 하우징(100)의 입구(120)로부터 유입되어 지시자(300)의 상측부(320)의 외측을 지나 출구(130) 측으로 진행하게 된다.The indicator 300 is in the form of a nail is formed on the lower side 310 of the pointed shape and the upper side 320 and the upper side 320 is a little larger than the lower side 310 is provided. Accordingly, the fluid flows from the inlet 120 of the housing 100 to the outlet 130 through the outer side of the upper portion 320 of the indicator 300.

여기서 지시자(300)의 상단에는 지시자(300)가 출구(130)에 접하게 될 때 입구(120)로부터 유입된 유체가 원활히 출구(130) 측으로 진행할 수 있도록 하는 유체유통수단이 마련된다.Here, the upper end of the indicator 300 is provided with a fluid flow means for allowing the fluid introduced from the inlet 120 to smoothly proceed to the outlet 130 when the indicator 300 is in contact with the outlet 130.

이 유체유통수단은 도 4, 도 5 그리고 도 6에 도시된 바와 같이 지시자(300)의 상측부(320) 양측방으로 개구된 유체 유통홈(321)(322)(323)으로 마련된다. 이 유체 유통홈(321)(322)(323)은 다수의 실시예로 구현이 가능하다. The fluid flow means is provided with fluid distribution grooves 321, 322, 323 open to both sides of the upper part 320 of the indicator 300 as shown in FIGS. 4, 5, and 6. The fluid distribution grooves 321, 322, 323 can be implemented in a number of embodiments.                     

이들 실시예들은 먼저 도 4에 도시된 바와 같이 삼각형 형태로 각져서 지시자(300)의 상측부(320) 양측으로 개구되도록 연장된 형태로 구현되거나 또는 도 5에 도시된 바와 같이 사각형 형태로 형성하여 열 십자 형태로 지시자(300)의 상측부(320) 측방으로 연장된 형태로도 구현이 가능하다. These embodiments may be embodied in a shape that is first angled in a triangular shape as shown in FIG. 4 and extended to open to both sides of the upper part 320 of the indicator 300, or may be formed in a quadrangular shape as shown in FIG. In the form of a cross, it may be implemented in a form extending toward the upper side 320 of the indicator 300.

그리고 또 다르게는 도 6에 도시된 바와 같이 오각형 형태로 형성이 가능하며 그 외 다른 형태가 적용될 수 있다.Alternatively, as shown in FIG. 6, a pentagonal shape may be formed, and other shapes may be applied.

이하에서는 전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 유체 플로우 미터기의 작용상태에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter will be described the operating state of the fluid flow meter according to the present invention configured as described above.

본 발명에 따른 유체 플로우 미터기는 유체의 유통관(200) 상에 설치되는데, 하우징(100)의 하단 입구(120) 측으로는 유체의 유입부분이 연결되고, 상단 출구(130) 측으로는 유체의 배출부분이 연결되어 있다.The fluid flow meter according to the present invention is installed on the flow pipe 200 of the fluid, the inlet portion of the fluid is connected to the lower inlet 120 side of the housing 100, the outlet portion of the fluid to the upper outlet 130 side Is connected.

따라서 공정에 사용되는 유체는 도 2에 도시된 바와 같이 하우징(100)의 입구(120) 측으로 유입되어 하우징(100)으로 출구(130) 측으로 유통하면서 하우징(100) 내부에 설치된 지시자(300)를 유체의 흐름 저항으로 일부 상승시키게 된다. Accordingly, the fluid used in the process flows into the inlet 120 side of the housing 100 and flows to the outlet 130 side of the housing 100 as shown in FIG. 2, thereby providing an indicator 300 installed inside the housing 100. It is partially raised by the flow resistance of the fluid.

즉, 유체의 공급량에 따라 변하는 압력에 의하여 지시자(300)는 유체의 공급량을 나타내는 위치까지 그 압력으로 상승하여 이 지시자(300)가 위치한 부분에서의 눈금자(110)를 외부에서 목시 검사함으로써 유체의 공급상태를 외부에서 확인할 수 있게 된다.That is, due to the pressure varying with the supply amount of the fluid, the indicator 300 rises to the pressure indicating the supply amount of the fluid, and visually inspects the ruler 110 at the portion where the indicator 300 is located. The supply status can be checked externally.

한편, 이러한 유체 공급 중 하우징(100) 내부로 기포가 유입되거나 또는 유 체 공급압력의 갑작스러운 상승으로 도 3에 도시된 바와 같이 지시자(300)가 하우징(100)의 출구(130) 측까지 진행하여 출구(130) 측에 접하게 되는 경우가 발생한다.Meanwhile, bubbles are introduced into the housing 100 during the fluid supply, or the indicator 300 proceeds to the outlet 130 side of the housing 100 due to a sudden increase in the fluid supply pressure. To occur in contact with the outlet 130 side.

그러나 이때에도 유체는 지시자(300)의 상측부(320)에 형성된 유체 유통홈(321)(322)(323)을 통하여 유체의 배출 및 기포의 배출이 이루어지도록 함으로써 유체의 공급중단과 이로 인한 공정 중단을 유발시키기 않고 안정된 상태의 유체 공급 및 유체 공급량 지시를 수행할 수 있도록 한다.However, even at this time, the fluid is discharged through the fluid distribution grooves 321, 322, 323 formed in the upper part 320 of the indicator 300, and the bubble is discharged, thereby stopping the supply of the fluid and the process thereof. Allows you to perform steady state fluid supply and fluid supply instructions without causing interruptions.

전술한 바와 같은 본 발명에 따른 유체 플로우 미터기는 그 지시자(300)가 하우징(100)의 출구(130) 측에 접하더라도 유체가 지시자(300)의 상측부(320)에 형성된 유체 유통홈(321)(322)(323)을 통하여 유체의 유통이 가능하도록 한 것으로, 여기에 형성된 유체 유통홈(321)(322)(323)은 전술한 실시예들과 달리 원형, 타원형 등의 형태로 구현이 가능하다.The fluid flow meter according to the present invention as described above, even if the indicator 300 is in contact with the outlet 130 side of the housing 100, the fluid flow groove 321 formed in the upper portion 320 of the indicator 300 The fluid distribution grooves 321, 322, 323 formed therein may be implemented in a circular, elliptical, or the like form, unlike the above-described embodiments. It is possible.

그리고 지시자(300)의 작동이 원활히 유지될 수 있도록 그 크기를 설비의 규모 및 유체 공급상태에 따라 변형하여 적용할 수 있을 것이지만, 기본적으로 지시자(300)의 상측부(320)에 홈을 형성하여 이러한 유체의 유통 방해가 발생하는 것을 방지하도록 한 것이라면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.In addition, the size of the indicator 300 may be changed and applied according to the size of the equipment and the fluid supply state so that the operation of the indicator 300 can be smoothly maintained, but basically, a groove is formed in the upper part 320 of the indicator 300. All of them should be considered to be included in the technical scope of the present invention as long as it prevents the disturbance of the flow of fluid.

이상과 같은 본 발명에 따른 유체 플로우 미터기는 유체의 공급시 하우징 내부로 유입된 기포 또는 급격한 유체 공급 압력 변화에 의하여 지시자가 하우징의 출구 측에 접하게 되는 경우 이때의 지시자에 의하여 하우징의 출구를 막게 되는 것을 방지하여 유체의 계속적인 유통이 가능하도록 함으로써 유체의 유통방해를 방지하도록 하는 효과가 있다. The fluid flow meter according to the present invention as described above is to block the outlet of the housing by the indicator at this time when the indicator is in contact with the outlet side of the housing due to bubbles or rapid fluid supply pressure changes introduced into the housing when the fluid is supplied. It is possible to prevent the flow of the fluid by preventing the flow of the fluid to be continued by preventing the flow.

Claims (3)

하단에 입구가 형성되고, 상단에 출구가 형성된 하우징;A housing having an inlet at the bottom and an outlet at the top; 상기 하우징 내부에 상하 슬라이딩하도록 설치되되 상기 입구로부터 유체가 유입되면 상기 하우징의 출구 측으로 상승하도록 된 지시자;An indicator installed to slide up and down inside the housing, the indicator being configured to ascend toward the outlet side of the housing when fluid is introduced from the inlet; 상기 지시자의 상단면에 마련되어 상기 지시자가 상기 출구와 접하게 될 때 상기 출구 측으로 유체의 유통이 가능하도록 하는 유체유통수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유체 플로우 미터기.And a fluid flow means provided on an upper end surface of the indicator to enable flow of the fluid to the outlet side when the indicator comes into contact with the outlet. 제 1항에 있어서, 상기 유체유통수단은 상기 지시자의 상단면에 측방으로 개구되어 형성된 유체 유통홈인 것을 특징으로 하는 유체 플로우 미터기.The fluid flow meter according to claim 1, wherein the fluid flow means is a fluid flow groove formed laterally opening on an upper end surface of the indicator. 제 2항에 있어서, 상기 유체 유통홈은 열십자 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 유체 플로우 미터기.3. The fluid flow meter of claim 2, wherein the fluid flow groove is formed in a cross shape.
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