KR100707858B1 - Aligning apparatus of glass substrate for electrodes cutting laser - Google Patents
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Abstract
레이저 전극 절단장치의 유리기판 정렬장치가 개시된다. 개시된 레이저 전극 절단장치의 유리기판 정렬장치는: 유리기판이 그 위에 배치되는 암과, 상기 암을 지지하며, 중공구조의 암지지부와, 상기 암지지부를 y축 방향으로 구동하는 y축 구동모터와, 상기 y 축방향으로 상기 암지지부와 서로 슬라이딩 가능하게 결합된 y 축 리니어 가이드와, x 축방향으로 동시에 서로 마주보는 방향 또는 서로 멀어지는 방향으로 구동되는 한 쌍의 그립부를 구비한다. Disclosed is a glass substrate alignment apparatus of a laser electrode cutting device. The glass substrate aligning apparatus of the laser electrode cutting apparatus disclosed herein comprises: an arm on which a glass substrate is disposed, a y-axis driving motor for supporting the arm, a female support having a hollow structure, and driving the female support in the y-axis direction; And a y-axis linear guide slidably coupled with the arm support in the y-axis direction, and a pair of grips driven in a direction facing each other or away from each other simultaneously in the x-axis direction.
Description
도 1은 디스플레이 패널의 유리기판에 형성된 전극을 보여주는 개략적 사시도이다. 1 is a schematic perspective view showing an electrode formed on a glass substrate of a display panel.
도 2는 본 발명에 따른 레이저 전극 절단장치의 유리기판 정렬장치의 사시도이다. Figure 2 is a perspective view of a glass substrate alignment device of the laser electrode cutting device according to the present invention.
도 3은 도 2의 유리기판 정렬수단의 사시도이다. 3 is a perspective view of the glass substrate aligning means of FIG. 2.
도 4는 본 발명의 유리기판 정렬수단(200)의 작용을 설명하기 위한 모식도이다. 4 is a schematic view for explaining the operation of the glass substrate alignment means 200 of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
100: 유리기판 정렬장치 110: 암100: glass substrate alignment device 110: arm
112: 홀 120: 암지지부112: hole 120: arm support
122: 공압라인 130: y 축 리니어 가이드122: pneumatic line 130: y-axis linear guide
140: y 축 구동모터 150: 유리기판 정렬센서140: y-axis drive motor 150: glass substrate alignment sensor
160: x 축 리니어 가이드 200: 유리기판 정렬수단160: x-axis linear guide 200: glass substrate alignment means
210: 연결부재 220: 동력전달 장치210: connecting member 220: power transmission device
222: 구동풀리 224: 종동풀리222: driving pulley 224: driven pulley
226: 가역모터 230: 고정부재226: reversible motor 230: fixed member
240: 그립부 242: 그립240: grip part 242: grip
본 발명은 레이저 전극 절단장치의 유리기판 정렬장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 디스플레이 패널의 유리기판에 형성된 전극들을 절단시키는 레이저 가공장치에서 유리기판을 예비적으로 정렬시키는 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a glass substrate aligning apparatus of a laser electrode cutting apparatus, and more particularly, to an apparatus for preliminarily aligning a glass substrate in a laser processing apparatus for cutting the electrodes formed on the glass substrate of the display panel.
일반적으로 LCD와 같은 디스플레이 패널의 생산 과정에서 정전기에 의한 트랜지스터의 파손을 막기 위하여, 또는 에이징 등의 테스트를 간편하게 하기 위하여 제조 공정 중에 각 셀에 단락선이 연결되어 있으며, 이 단락선은 테스트 공정이 끝난 후 모듈 조립을 하기 전까지 제거되어야 한다.In general, short circuits are connected to each cell during the manufacturing process in order to prevent damage to transistors due to static electricity during the production of display panels such as LCDs, or to simplify testing such as aging. After completion, they must be removed until the module is assembled.
도 1은 디스플레이 패널의 유리기판에 형성된 전극을 보여주는 개략적 사시도이다. 1 is a schematic perspective view showing an electrode formed on a glass substrate of a display panel.
도 1을 참조하면, 디스플레이 패널에 사용되는 전면기판 및 배면기판은 유리기판으로 제조된다. 유리기판(10)에는 선택적으로 발광하는 다수의 단위 셀(cell)들이 형성되어 있다. 유리기판(10)의 네 가장자리에는 단위 셀들을 선택적으로 발광시키기 위해 전압을 인가하기 위한 전극(13)들이 소정 간격으로 다수 배치되어 있다. Referring to FIG. 1, the front substrate and the rear substrate used in the display panel are made of a glass substrate. The
이와 같은 유리기판(10)의 제조 공정 중에는 유리기판(10)의 모든 셀들이 오 랜 시간 동안 제대로 작동하는지의 여부를 검사하는 에이징(aging) 공정이 포함된다. 에이징 공정은 이를 간편하게 수행하기 위해 유리기판(10)의 전극(13)들을 모두 쇼트(short)시킨 상태에서 전압을 인가함으로써 행해진다. 이때, 상기 전극(13)들의 쇼트는 그 전극(13)들 위에 이들과 직교하도록 에이징용 전극(15)을 인쇄함으로써 이루어진다. The manufacturing process of the
상기한 에이징 공정이 완료된 후에는 쇼트된 상기 전극(13)들을 쇼트되기 전 상태로, 즉 각 전극(13)들이 서로 단절된 상태로 만들어주어야 한다. 이를 위해 종래에는 상기 에이징용 전극(15)을 에칭(etching) 공정에 의해 제거함으로써 각 전극(13)들이 서로 단절되도록 하는 방법이 사용되거나 또는 기계적 방법이 사용되어 왔다. 에칭 공정에서는 알려진 바와 같이 그 공정이 비교적 복잡하여 공정 시간이 많이 소요되고, 또한 화학 약품이 사용되므로 환경친화적인 측면에서 단점이 있었다. 기계적인 글라인더에 의하여 단락선을 제거하는 경우, 기계적인 진동에 의하여 유리기판이 파손되거나 오히려 정전기를 유발시키는 문제점이 있었다. After the aging process is completed, the shorted
최근에는 레이저 장치를 이용하여 각 셀들에 전압을 인가하기 위한 전극들을 절단하여 주는 방법이 주로 이용되고 있다. Recently, a method of cutting electrodes for applying a voltage to each cell using a laser device is mainly used.
전극 절단용 레이저 장치는 작업의 자동화 및 고속화를 위해서 다수의 유리기판이 적재된 카세트와, 카세트로부터 하나의 유리기판을 인출하는 유리기판 인출장치와, 유리기판을 다음의 레이저 가공작업이 실시되는 작업테이블로 이송하는 이송부와, 상기 작업테이블로 이송된 유리기판에 형성된 전극을 절단하는 레이저 가공장비를 구비한다. The laser device for cutting electrodes includes a cassette having a plurality of glass substrates loaded thereon, a glass substrate extracting device for extracting one glass substrate from the cassette, and a laser processing operation of the glass substrates following the laser processing operation. And a transfer unit for transferring to a table, and a laser processing device for cutting an electrode formed on the glass substrate transferred to the work table.
한편, 상기 이송부가 인출장치 상에 위치한 유리기판을 작업테이블로 이송한 후, 레이저 가공장치로 전극을 절단시 유리기판이 작업테이블로부터 정렬이 되지 않은 경우, 레이저 가공장치에 부착된 비젼카메라가 유리기판의 정렬마크를 인식하지 못하는 경우가 생기며, 이에 따라서 레이저 가공작업이 중단될 수가 있다. 특히, 미세하게 레이저 가공하여야 하는 전극절단 장치에 있어서 고정밀 절단 작업이 요구되므로 유리기판의 정렬장치가 필요하다. On the other hand, after the conveying unit transfers the glass substrate located on the take-out device to the work table, when the glass substrate is not aligned from the work table when cutting the electrode with the laser processing device, the vision camera attached to the laser processing device is glass. In some cases, the alignment mark of the substrate may not be recognized, and thus laser processing may be interrupted. In particular, in the electrode cutting device to be fine laser processing is required because the high precision cutting operation is necessary for the alignment of the glass substrate.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 레이저를 이용한 디스플레이 패널의 전극절단장치에 필요한 유리기판 정렬장치를 제공하는 것이다. The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, an object of the present invention is to provide a glass substrate alignment apparatus required for the electrode cutting device of the display panel using a laser.
상기의 기술적 과제를 달성하기 위해 본 발명의 레이저 전극 절단장치의 유리기판 정렬장치는: In order to achieve the above technical problem the glass substrate alignment device of the laser electrode cutting device of the present invention:
유리기판이 그 위에 배치되는 암;An arm on which a glass substrate is disposed;
상기 암을 지지하며, 중공구조의 암지지부;An arm support part supporting the arm and having a hollow structure;
상기 암지지부를 y축 방향으로 구동하는 y축 구동모터;A y-axis driving motor for driving the arm support in the y-axis direction;
상기 y 축방향으로 상기 암지지부와 서로 슬라이딩 가능하게 결합된 y 축 리니어 가이드; 및A y-axis linear guide slidably coupled with the arm support in the y-axis direction; And
x 축방향으로 동시에 서로 마주보는 방향 또는 서로 멀어지는 방향으로 구동되는 한 쌍의 그립부를 구비하여 상기 암의 위에 배치되는 상기 유리기판을 상기 암에 대해서 상기 x 축방향으로 대칭되게 정렬시키는 유리기판 정렬수단;을 구비하는 것을 특징으로 한다. Glass substrate alignment means for symmetrically aligning the glass substrate disposed on the arm in the x-axis direction with respect to the arm, having a pair of grips driven in a direction facing each other or away from each other simultaneously in the x-axis direction. It is characterized by including;
본 발명의 일 국면에 따르면, 상기 유리기판 정렬수단은: According to one aspect of the invention, the glass substrate alignment means is:
상기 리니어 가이드의 하부에 상기 x 축방향으로 고정되게 부착된 연결부재;A connection member fixedly attached to the lower portion of the linear guide in the x-axis direction;
상기 연결부재의 하부에 서로 이격되게 설치된 구동풀리 및 고정풀리;A drive pulley and a fixed pulley installed to be spaced apart from each other under the connection member;
상기 구동풀리 및 고정풀리의 외주를 감싸는 타이밍 벨트;A timing belt surrounding the outer circumference of the driving pulley and the fixed pulley;
상기 타이밍 벨트에서 서로 마주보는 부분에 각 그립부의 단을 고정시키는 고정부재; 및Fixing member for fixing the end of each grip portion to the portion facing each other in the timing belt; And
상기 구동풀리의 회전축을 회전시키며, 양방향으로 회전되는 가역모터를 구비한다. Rotating the rotating shaft of the drive pulley, it is provided with a reversible motor rotates in both directions.
또한, 상기 그립부에서 상기 유리기판과 접촉되는 면에는 엔지니어링 플라스틱으로 제조된 그립이 설치된다. In addition, a grip made of engineering plastic is installed on a surface of the grip part contacting the glass substrate.
상기 그립은, 폴리에테르 에테르 케톤(PEEK) 플라스틱으로 제조되는 것이 바람직하다. The grip is preferably made of polyether ether ketone (PEEK) plastic.
상기 암의 표면에는 테프론 코팅이 형성되는 것이 바람직하다. Teflon coating is preferably formed on the surface of the arm.
한편, 본 발명의 유리기판 정렬장치는:On the other hand, the glass substrate alignment device of the present invention:
상기 y축 리니어 가이드의 하부에 상기 x 축 방향으로 슬라이딩 되게 결합된 x 축 리니어 가이드; 및 An x-axis linear guide slidably coupled to the bottom of the y-axis linear guide in the x-axis direction; And
상기 x 축 리니어 가이드를 상기 x 축 방향으로 구동하는 x 축 구동모터;를 더 구비할 수 있다. And an x-axis driving motor for driving the x-axis linear guide in the x-axis direction.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 레이저 전극 절단장치의 유리기판 정렬장치를 상세히 설명한다. Hereinafter, the glass substrate alignment device of the laser electrode cutting device according to the present invention with reference to the accompanying drawings will be described in detail.
도 2는 본 발명에 따른 레이저 전극 절단장치의 유리기판 정렬장치의 사시도이며, 도 3은 도 2의 유리기판 정렬수단의 사시도이다. 2 is a perspective view of the glass substrate aligning device of the laser electrode cutting device according to the present invention, Figure 3 is a perspective view of the glass substrate aligning means of FIG.
먼저 도 2를 참조하면, 유리기판 정렬장치(100)는, 유리기판(미도시)이 적재된 카세트(미도시)에 들어가서 하나의 유리기판을 그 위에 적재해서 나오는 암(110)과, 상기 암(110)을 y 축방향으로 이송시키는 y 축 구동부와, 상기 y 축 구동부를 x 축으로 이송하는 x 축 구동부를 구비한다. First, referring to FIG. 2, the glass
y 축 구동부는 암(110)을 그 위에 지지하는 암지지부(120)와, 암지지부(120)를 슬라이딩되게 지지하도록 y 축방향으로 연장된 y축 리니어 가이드(130)와, 상기 암지지부(120)를 구동하는 y축 구동모터(140)로 이루어져 있다. 상기 암(110)에는 다수의 홀(112)이 형성되어 있다. 암지지부(120)는 중공구조이며 다수의 공압라인(122)이 연결되어 있다. 이 공압라인(122)은 진공펌프(미도시)에 연결된다. 상기 공압라인(122)을 통해서 유리기판은 상기 홀(112)에 의해 암(110) 상에 흡착된다. The y-axis driving unit includes an
상기 암(110)의 표면에는 유리기판과의 접촉이 부드럽게 이루어지고, 유리기판이 그 위에서 슬라이딩될 때 흠이 일어나지 않도록 테프론 코팅이 형성되는 것이 바람직하다. The surface of the
상기 x 축 구동부는 y 축 구동부의 암지지부(120)를 슬라이딩 되게 지지하면서 x 축 진행을 가이드 하는 x 축 리니어 가이드(160)와, 상기 y축 리니어 가이드(130)를 x 축으로 구동하는 x축 구동모터(미도시)를 구비한다. The x-axis driving unit slides and supports the
참조번호 150은 y 방향 유리기판 정렬 센서로서, 카세트로부터 인출된 유리기판의 모서리를 감지하여 y 축 구동부의 이동거리를 조절하여 y 방향으로 유리기판을 정렬한다. 유리기판 검출센서는 암에 내장되어있다. 따라서 후술하는 유리기판 정렬수단(200)을 가동시킨다.
도 2 및 도 3을 함께 참조하면, 연결부재(210)의 상부는 x 축 리니어 가이드(130)의 하부에 고정되게 연결된다. 연결부재(210)의 하부에는 동력 전달 장치(220)가 설치되어 있다. 동력 전달 장치(220)는 종동 풀리(224) 및 구동 풀리(222)의 외주에 회전가능하게 연결된다. 구동풀리(222)의 회전축(미도시)은 가역모터(revirsible motor)(226)에 의해 회전되며, 따라서 동력 전달장치(220)는 양방향으로 회전가능하다. 2 and 3 together, the upper portion of the
동력 전달 장치(220)의 마주보는 양측에는 각각 고정부재(230)가 설치되어 있으며, 각 고정부재(230)에는 상기 연결부재(210)의 상방에서 서로 마주보며 상기 고정부재(230)의 이동에 따라 x 축방향으로 움직이는 그립부(240)의 일단이 고정되게 설치된다. 상기 타이밍 벨트(220)의 구동에 따라서, 고정부재(230) 및 그립부(240)은 x 축 방향에서 서로 다가가는 방향 또는 서로 멀어져가는 방향으로 움직인다. Fixing
상기 그립부(240)는 유리기판과 접촉되는 그립(242)을 구비한다. 상기 그립(242)은 상기 유리기판과 접촉되는 그립부(240)의 면에서 서로 이격된 복수의 그립으로 형성된다. 상기 그립(242)은 바람직하게는 잘 마모되지 않으며, 또한 유리기판 보다 단단하지 않은 재질인 엔지니어링 플라스틱, 예컨대 PEEK(Poly Ether Ether Kethone)가 사용된다. The
도 4는 본 발명의 유리기판 정렬수단(200)의 작용을 설명하기 위한 모식도이며, 평면도로 모식하였다. Figure 4 is a schematic diagram for explaining the operation of the glass substrate alignment means 200 of the present invention, it was schematic in a plan view.
도 4를 참조하면, 종동풀리(224)와 구동풀리(222)의 외주에 동력전달장치(220)가 감겨져 있으며, 구동풀리(222)의 회전축(222a)은 가역모터(226)에 의해서 회전된다. 가역모터(226)를 일방향, 예컨대 화살표 A 방향으로 회전하면, 동력 전달장치(220)가 회전되면서 고정부재(230) 및 그립부(240)가 서로 가까워지는 방향으로 직선이동된다. Referring to FIG. 4, the
이어서, 가역모터(226)를 화살표 A 방향과 반대방향으로 회전하면, 고정부재(230) 및 그립부(240)는 서로 멀어지는 방향으로 직선이동된다. 따라서 가역모터(226)의 회전에 따라서 그립부(240)를 x 방향에서 이동할 수 있다. Subsequently, when the
따라서, 그립부(240)가 벌어진 상태에서, 암(110)을 구동하여 유리기판을 카세트로부터 인출한다. 유리기판을 인출하는 동안에는 암(110)에 형성된 홀(112)로부터 공압라인(122)을 통해서 공기를 빨아들여서 암(110)에 유리기판을 고정시킨다. Therefore, in the state where the
이어서, 유리기판 센서가 암(110) 위의 유리기판을 검출하면, 공압라인(122)을 릴리스하여 암(110) 위에 유리기판이 릴리스되게 한다. 이때 암(110) 위에는 유리기판이 틀어지거나 또는 일측으로 치우치게 될 수 있다. Subsequently, when the glass substrate sensor detects the glass substrate on the
이어서, 가역모터(226)를 A 방향으로 회전하여 그립부(240)가 유리기판의 양측에 접촉하게 된다. 이때 유리기판의 x 축방향의 길이(사용되는 유리기판의 크기 에 따라 미리 정해진다) 만큼 가역모터(226)를 회전한다. 이때 유리기판이 일측으로 치우치거나 틀어진 경우에는 계속 그립부(240)를 서로 다가가는 방향으로 이송시키면 결국에는 그립(242)이 유리기판의 양측을 동시에 접촉하면서 지지한다. 이때는 유리기판이 암(110) 위에서 암(110)의 y축 방향을 기준으로 대칭되게 위치가 정렬된 상태가 된다. Subsequently, the
이어서, 가역모터(226)를 A 방향과 반대방향으로 회전하여 유리기판을 릴리스한 상태에서 유리기판의 이송작업을 하여 유리기판을 작업 테이블(미도시)에 올려놓는다. 이때 유리기판의 이송 과정에서는 유리기판이 거의 움직이지 않으므로 본 발명의 정렬장치에 의해서 1차적으로 유리기판의 정렬된 상태가 작업 테이블에서도 정렬된 상태로 유지된다. Subsequently, the
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 유리기판 정렬장치에 따르면, 디스플레이 패널용 유리기판을 정렬시킨 상태에서 유리기판을 작업 테이블에 정렬상태로 이동시킬 수 있으므로, 레이저 가공장치로 유리기판의 인식 마크를 용이하게 검출하여 자동으로 유리기판의 가장자리에 형성된 전극들을 정확하고 신속하게 절단할 수 있게 된다. As described above, according to the glass substrate aligning apparatus of the present invention, since the glass substrate can be moved to the working table in the state in which the glass substrate for the display panel is aligned, the recognition mark of the glass substrate is changed by the laser processing apparatus. It is easy to detect and automatically cut the electrodes formed on the edge of the glass substrate accurately and quickly.
본 발명은 도면을 참조하여 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 한해서 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments with reference to the drawings, this is merely exemplary, it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined only by the appended claims.
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020065099A (en) * | 2001-02-05 | 2002-08-13 | 메카텍스 (주) | Alignment apparatus to test position for LCD panel |
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