KR100693380B1 - A temperature chamber opened door - Google Patents

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Abstract

본 발명은 엘시디(LCD) 공정설비 및 기타 연구용 설비의 패널 검사를 목적으로 하는 설비로써 챔버 내의 카세트의 자체정렬이 가능한 틸트 디바이스(STD)를 포함하는 도어가 개방된 항온 챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a thermostatic chamber with an open door including a tilting device (STD) capable of self-aligning a cassette in a chamber as an apparatus for panel inspection of LCD (LCD) processing equipment and other research equipment.

본 발명에 의한 도어가 개방된 항온 챔버는 항온 챔버로의 카세트를 로딩/언로딩하기 위하여 항온챔버의 상부에서 자동 개폐되는 도어; 상기 고온의 항온 챔버내에서 구동되도록 구성되며, 인라인 방식으로 카세트가 이송되며, 이송된 카세트로부터 패널을 축출하기 위하여 카세트를 기울이고, 상기 카세트를 자체 정렬시키는 카세트 정렬장치; 및 상기 항온 챔버 하부에서 공기를 흡입을 하여 상부와 도어가 개방된 전면부 에 뜨거운 공기(hot air)를 공급하여 항온챔버 자체의 에어 커튼(air curtain) 효과를 발생하여 외부/내부의 에어 플로우(air flow)를 공급하는 하부 공기 흡입수단;을 포함함을 특징으로 한다.The constant temperature chamber in which the door is opened according to the present invention includes a door that is automatically opened and closed at an upper portion of the constant temperature chamber for loading / unloading a cassette into the constant temperature chamber; A cassette aligning device configured to be driven in the hot constant temperature chamber, the cassette being conveyed in an inline manner, the cassette aligning device tilting the cassette to eject the panel from the transferred cassette, and self-aligning the cassette; And inhaling air from the bottom of the constant temperature chamber to supply hot air to the front part of which the upper part and the door are opened to generate an air curtain effect of the constant temperature chamber itself, thereby providing an external / inner air flow. and a lower air suction means for supplying an air flow).

본 발명에 의하면, 고온(최대 150도) 구조상에서 기계적 동작의 오류 및 내부구동에 따라 파티클(particle)과 각종 기계/제어방식을 없앤 단순한 처방(recipe)을 갖게 함으로써 고온 챔버 상에서 엘시디(LCD) 카세트 틸팅(tilting) 시에 발생 가능한 요소인 오퍼레이팅 에러 발생률 및 기구적/기계적 제어 및 유지보수(maintenance)를 개선한다. According to the present invention, an LCD cassette on a high temperature chamber is provided by a simple recipe that eliminates particles and various machine / control methods according to the mechanical operation error and internal driving on a high temperature (up to 150 degrees) structure. Improves operating error incidence and mechanical / mechanical control and maintenance, which are factors that can occur during tilting.

Description

도어가 개방된 항온 챔버{A temperature chamber opened door}A temperature chamber opened door

도 1a는 본 발명에 의한 도어가 개방된 항온 챔버의 사시도를 도시한 것이다. Figure 1a shows a perspective view of a constant temperature chamber with the door open according to the present invention.

도 1b는 본 발명에 의한 도어가 개방된 항온 챔버의 단면도를 도시한 것이다. Figure 1b shows a cross-sectional view of the constant temperature chamber with the door open according to the present invention.

도 2는 본 발명에 의한 항온챔버의 하부에서 흡입된 공기의 흐름을 도시한 것이다.Figure 2 shows the flow of air sucked in the lower portion of the thermostatic chamber according to the present invention.

도 3은 본 발명에 의한 도어가 개방된 항온챔버 내부에 장착되는 카세트 정렬장치를 도시한 것이다.Figure 3 shows a cassette aligning device mounted inside the constant temperature chamber in which the door is opened according to the present invention.

도 4는 본 발명에 의한 자체 정렬 틸트(Tilt) 디바이스의 구성요소인 틸트 바의 일실시예를 도시한 것이다. 4 illustrates one embodiment of a tilt bar that is a component of a self-aligning tilt device according to the present invention.

본 발명은 항온챔버에 관한 것으로, 특히 도어가 개방된 항온챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a constant temperature chamber, and more particularly to a constant temperature chamber in which a door is opened.

일반 항온 챔버의 경우 도어(door)가 개방되지 않은 상태에서 일정한 온도를 유지하도록 구성되어 있으나 도어(door)가 개방된 상태에서 챔버내의 균일성(uniformity)이 유지되기 어려우며, 도어(door)가 개방된 챔버내에 있는 패널(panel)의 온도 균일성(uniformity)이 유지되도록 구성된 항온 챔버가 없는 것으로 판단된다. In the case of a general constant temperature chamber, the door is configured to maintain a constant temperature without being opened, but it is difficult to maintain uniformity in the chamber when the door is opened, and the door is opened. It is determined that there is no constant temperature chamber configured to maintain the temperature uniformity of the panel in the chamber.

또한, 종래의 항온챔버의 경우 상부 또는 후면부 상부에서 뜨거운 공기(hot air)를 공급하고 하부쪽(바닥면 또는 후면부 하부)에서 흡입을 하는 재 순환(re-circulation) 방식이 많이 적용되었다. In addition, in the case of the conventional constant temperature chamber, a re-circulation method of supplying hot air from the upper part of the upper part or the rear part and inhaling the lower part (the bottom part or the lower part of the rear part) has been applied.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 엘시디(LCD) 공정설비 및 기타 연구용 설비의 패널 검사를 목적으로 하는 설비로써 챔버 내의 카세트의 자체정렬이 가능한 틸트 디바이스(STD)를 포함하는 도어가 개방된 항온 챔버를 제공하는 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is a device for the purpose of panel inspection of LCD (LCD) process equipment and other research equipment is a constant temperature chamber with an open door including a tilt device (STD) capable of self-aligning the cassette in the chamber To provide.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 도어가 개방된 항온 챔버는 항온 챔버로의 카세트를 로딩/언로딩하기 위하여 항온챔버의 상부에서 자동 개폐되는 도어; 상기 고온의 항온 챔버내에서 구동되도록 구성되며, 인라인 방식으로 카세트가 이송되며, 이송된 카세트로부터 패널을 축출하기 위하여 카세트를 기울이고, 상기 카세트를 자체 정렬시키는 카세트 정렬장치; 및 상기 항온 챔버 하부에서 공기를 흡입을 하여 상부와 도어가 개방된 전면부 에 뜨거운 공기(hot air)를 공급하여 항온챔버 자체의 에어 커튼(air curtain) 효과를 발생하여 외부/내부의 에어 플로우(air flow)를 공급하는 하부 공기 흡입수단;을 포함함을 특징으로 한다.The constant temperature chamber in which the door is opened according to the present invention for solving the technical problem is a door that is automatically opened and closed at the top of the constant temperature chamber to load / unload the cassette into the constant temperature chamber; A cassette aligning device configured to be driven in the hot constant temperature chamber, the cassette being conveyed in an inline manner, the cassette aligning device tilting the cassette to eject the panel from the transferred cassette, and self-aligning the cassette; And inhaling air from the bottom of the constant temperature chamber to supply hot air to the front part of which the upper part and the door are opened to generate an air curtain effect of the constant temperature chamber itself, thereby providing an external / inner air flow. and a lower air suction means for supplying an air flow).

이하 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1a는 본 발명에 의한 도어가 개방된 항온 챔버의 사시도를 도시한 것이고, 도 1b는 본 발명에 의한 도어가 개방된 항온 챔버의 단면도를 도시한 것이다. Figure 1a shows a perspective view of a constant temperature chamber with the door open according to the present invention, Figure 1b shows a cross-sectional view of the constant temperature chamber with the door open according to the present invention.

도어(10)은 상기 항온 챔버로의 카세트를 로딩/언로딩하기 위하여 항온챔버의 상부에서 자동 개폐된다.The door 10 is automatically opened and closed at the top of the thermostatic chamber for loading / unloading the cassette into the thermostatic chamber.

하부 공기흡입수단(20)은 상기 항온 챔버 하부에서 공기를 흡입을 하여 상부와 도어(10)가 개방된 전면부 에 뜨거운 공기(hot air)를 공급하여 항온챔버 자체의 에어 커튼(air curtain) 효과를 발생하여 외부/내부의 에어 플로우(air flow)를 공급하며, 또한, 각각의 에어 수송관(air duct) 구간의 풍향 및 풍량을 제어 가능하도록 설계됨으로써 챔버 내부의 온도 및 틸팅(tilting)된 카세트상의 패널의 온도를 제어할 수 있다. The lower air suction means 20 sucks air from the lower portion of the constant temperature chamber to supply hot air to the upper portion of the upper part and the door 10 to open the air curtain effect of the constant temperature chamber itself. To supply external / internal air flow, and to control the wind direction and air volume of each air duct section, the temperature and tilting cassette inside the chamber The temperature of the panel on the bed can be controlled.

카세트 정렬장치(30)는 상기 고온의 항온 챔버 내에서 구동되도록 구성되며, 인라인 방식으로 카세트가 이송되며, 이송된 카세트로부터 패널을 축출하기 위하여 카세트를 기울이고, 상기 카세트를 자체 정렬시킨다.The cassette aligning device 30 is configured to be driven in the hot constant temperature chamber, the cassette is transferred in an inline manner, the cassette is tilted to eject the panel from the transferred cassette, and the cassette is self aligned.

본 발명에 의한 항온 챔버의 전체적인 시퀀스는 다음과 같다.The overall sequence of the constant temperature chamber according to the present invention is as follows.

전 단계의 항온 챔버로부터 특정온도가 유지된 카세트가 인-라인 방식에 의한 컨베이어에 의해 검사 챔버로 이송되며, 이송된 카세트는 패널(panel)검사를 위해 틸팅(tilting)이 이루어지며, 틸팅(tilting)이 이루어진 후에 다관절 로봇(robot)에 의해 축출(unloading)이 이루어진다. 이때 틸팅(tilting) 각도는 최대 50도까지 가능하며, 틸트(tilt)가 이루어지는 즉, 카세트 틸트 바가 상승하는 과정에서 카세트는 자체정렬이 이루어지는 과정을 가지며, 자체정렬의 레졸루션(resolution)은 0.5mm이하로 정밀함을 확보하였다.From the constant temperature chamber of the previous stage, the cassette maintained at a certain temperature is transferred to the inspection chamber by an in-line conveyor, and the transferred cassette is tilted for panel inspection, and tilted. After the) is performed, unloading is performed by the articulated robot. At this time, the tilting angle can be up to 50 degrees, the tilting is performed, that is, the cassette has a process of self-aligning while the cassette tilt bar is raised, and the resolution of the self-aligning is 0.5 mm or less. To ensure precision.

도 2는 본 발명에 의한 항온 챔버의 하부에서 흡입된 공기의 흐름을 도시한 것이다.Figure 2 shows the flow of air sucked in the lower portion of the constant temperature chamber according to the present invention.

항온 챔버 하부에서 공기를 흡입하여 상부(윗면)와 도어(10)가 개방된 전체 전면부에서 뜨거운 공기(hot air)를 공급하여 항온 챔버 자체의 에어 커튼(air curtain) 효과를 발생하여 외부/내부의 에어 플로우(air flow)를 공급하며, 각각의 에어 수송관(air duct) 구간의 풍향 및 풍량을 제어 가능하도록 설계됨으로써 챔버 내부의 온도 및 틸팅(tilting) 되어진 카세트상의 패널의 온도를 제어할 수 있다. Intake air from the bottom of the constant temperature chamber to supply hot air from the entire front part with the upper part (top) and the door 10 open to generate an air curtain effect of the constant temperature chamber itself, thereby causing external / internal It is designed to control the air flow and air volume of each air duct section by supplying the air flow of the air flow, and can control the temperature inside the chamber and the temperature of the panel on the tilted cassette. have.

도 3은 본 발명에 의한 도어가 개방된 항온챔버 내부에 장착되는 카세트 정렬장치를 도시한 것으로, 틸트(Tilt) 회전축(31), 틸트(Tilt) 바(32), 틸트(Tilt) 바 가이드(33), 가이드 업/다운 수단(34) 및 업/다운 회전 동력원(도면에 도시되지 않음)으로 이루어진다.3 is a view illustrating a cassette aligning device mounted inside a constant temperature chamber in which a door is opened according to the present invention, and includes a tilt rotation shaft 31, a tilt bar 32, and a tilt bar guide ( 33), a guide up / down means 34 and an up / down rotary power source (not shown in the figure).

틸트(Tilt) 회전축(31)은 항온 챔버의 내부 일측에 고정되고, 틸트(tilt) 바(32)를 회전시킨다.Tilt rotation shaft 31 is fixed to one side of the constant temperature chamber, and rotates the tilt bar (32).

틸트(Tilt) 바(32)는 카세트를 로딩/언로딩하는 수단으로 "ㄴ"자 형태로 형성되어 카세트가 소정의 경사에도 미끄러지지 않도록 한다. The tilt bar 32 is formed in a “b” shape as a means for loading / unloading the cassette so that the cassette does not slip on a predetermined slope.

틸트(Tilt) 바 가이드(33)는 상기 틸트(Tilt) 바(32)와 가이드 업/다운 수단(34)을 연결한다.The tilt bar guide 33 connects the tilt bar 32 and the guide up / down means 34.

가이드 업/다운 수단(34)은 회전운동에 의해 상/하로 구동되는 수단으로, 상기 틸트(Tilt) 바 가이드(33)에 연결되어 있는 틸트(Tilt) 바(32)의 경사를 조절한다. The guide up / down means 34 is a means driven up and down by a rotational movement, and adjusts the inclination of the tilt bar 32 connected to the tilt bar guide 33.

업/다운 회전 동력원(도면에 도시되지 않음)은 외부에 설치되며, 상기 가이드 업/다운 수단(34)의 회전축을 회전시킨다. An up / down rotational power source (not shown) is installed externally, and rotates the rotation axis of the guide up / down means 34.

상기와 같이 구성된 자체 정렬(Self-align) 방식의 틸트 소자(STD)는 검사 챔버 내부에 장착되어 있으며, 틸팅(tilting)을 위하여 서보 모터(servo motor)가 업/다운 회전 동력원으로 사용된다. The self-aligning tilt element STD configured as described above is mounted inside the test chamber, and a servo motor is used as an up / down rotation power source for tilting.

카세트의 자체정렬을 위한 장치는 틸트(tilt) 바(32)에 각각 장착되어 있으며, 이는 외부의 추가적 동력원이 필요치 않은 방식을 말한다. 상부 쪽에 장착된 서보 모터에 의해 볼 스크루를 회전시키면 가이드 업/다운 수단(34)이 상하로 구동이 이루어지며, 이는 가이드 업/다운 수단(34)과 연계 조립된 틸트(tilt) 바 가이드(33)에 전달되며, 틸트(tilt) 바 가이드(33)는 틸트(tilt) 바(32)에 장착된 캠 종동부(cam follower)의 가이드 역할을 하게 되어 틸트(tilt) 바(32)의 업/다운이 이루어지는 프로세스(process)를 갖는다. Devices for self-alignment of the cassettes are each mounted on a tilt bar 32, which refers to a manner in which no external power source is required. When the ball screw is rotated by the servo motor mounted on the upper side, the guide up / down means 34 is driven up and down, which is a tilt bar guide 33 which is assembled with the guide up / down means 34. ), The tilt bar guide 33 serves as a guide for the cam follower mounted on the tilt bar 32, thereby moving up / down the tilt bar 32. It has a process that goes down.

또한, 자체정렬 틸트 디바이스(STD) 장치의 경사(tilt)를 위한 업/다운 회전 동력원은 설비외부로 구성되어 고온의 영향을 배제하였으며, 제어센서 및 기구장치는 고온용 센서 및 그리스(grease)로 충진되어 고온의 영향을 배제하였다.In addition, the up / down rotational power source for tilting the self-aligning tilt device (STD) device is configured outside the facility to exclude the influence of high temperature. The control sensor and the device are made of high temperature sensor and grease. Filled to rule out high temperature effects.

도 4는 본 발명에 의한 자체정렬 틸트(Tilt) 디바이스의 구성요소인 틸트 바의 일실시예를 도시한 것이다. 4 illustrates one embodiment of a tilt bar that is a component of a self-aligning tilt device according to the present invention.

정렬(Align) 기능은 틸트 바의 업/다운에 따라 자체정렬(self-align)의 기능이 결정되는 것으로 평상시에는 "A"와 같은 형태로 유지되어 있으며(down 상태), 틸트(tilt) 시에 (up 되는 과정) "B"와 같은 형태로 변화하면서 카세트를 중심으로 크램핑(clamping)하는 구조를 나타낸다. The Align function determines the self-align function according to the tilt bar up / down. It is normally maintained in the form of “A” (down state), and when tilting. (Up process) It shows the structure which clamps about a cassette, changing to the shape like "B".

"B"와 같은 형상에서 "A"와 같은 형태로 복귀 시에 스프링(spring)에 의해 자연 복귀되는 구조를 갖는다. It has a structure that is naturally returned by a spring when returning from the shape like "B" to the shape like "A".

이상으로, 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the present invention has been described with reference to the embodiments illustrated in the drawings, which are merely exemplary, and it should be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. will be. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

본 발명에 의하면, 고온(최대 150도) 구조상에서 기계적 동작의 오류 및 내부구동에 따라 파티클(particle)과 각종 기계/제어방식을 없앤 단순한 처방(recipe)을 갖게 함으로써 고온 챔버 상에서 엘시디(LCD) 카세트 틸팅(tilting) 시에 발생 가능한 요소인 오퍼레이팅 에러 발생률 및 기구적/기계적 제어 및 유지보수(maintenance)를 개선한다.
According to the present invention, an LCD cassette is placed on a high temperature chamber by having a simple recipe that eliminates particles and various machine / control methods according to a mechanical operation error and internal driving on a high temperature (up to 150 degrees) structure. Improves operating error incidence and mechanical / mechanical control and maintenance, which are factors that can occur during tilting.

Claims (5)

항온 챔버에 있어서, In a constant temperature chamber, 상기 항온 챔버로의 카세트를 로딩/언로딩하기 위하여 항온챔버의 상부에서 자동 개폐되는 도어; A door automatically opened and closed at the top of the thermostat chamber for loading / unloading the cassette into the thermostat chamber; 상기 고온의 항온 챔버내에서 구동되도록 구성되며, 인라인 방식으로 카세트가 이송되며, 이송된 카세트로부터 패널을 축출하기 위하여 카세트를 기울이고, 상기 카세트를 자체 정렬시키는 카세트 정렬장치; 및 A cassette aligning device configured to be driven in the hot constant temperature chamber, the cassette being conveyed in an inline manner, the cassette aligning device tilting the cassette to eject the panel from the transferred cassette, and self-aligning the cassette; And 상기 항온 챔버 하부에서 공기를 흡입을 하여 상부와 도어가 개방된 전면부 에 뜨거운 공기(hot air)를 공급하여 항온챔버 자체의 에어 커튼(air curtain) 효과를 발생하여 외부/내부의 에어 플로우(air flow)를 공급하는 하부 공기 흡입수단;을 포함함을 특징으로 하는 도어가 개방된 항온 챔버.The air is sucked from the lower part of the constant temperature chamber to supply hot air to the front part of which the upper part and the door are opened to generate an air curtain effect of the constant temperature chamber itself, thereby causing external / internal air flow. a lower air suction means for supplying flow; 제1항에 있어서, 상기 카세트 정렬장치는The apparatus of claim 1, wherein the cassette alignment device 카세트가 놓이는 틸트(Tilt) 바;A tilt bar on which the cassette is placed; 상기 틸트(tilt) 바를 회전시키는 틸트(tilt) 회전축;A tilt axis of rotation for rotating the tilt bar; 볼 스크루의 회전에 의해 상하로 구동되는 가이드 업/다운 바;A guide up / down bar driven up and down by the rotation of the ball screw; 상기 틸트(tilt) 바와 상기 가이드 업/다운 바 사이에 연결되어 상기 가이드 업/다운 바의 상하 구동에 의해 상기 틸트(tilt) 바가 경사지도록 하는 틸트(tilt) 바 가이드; 및 A tilt bar guide connected between the tilt bar and the guide up / down bar to tilt the tilt bar by vertically driving the guide up / down bar; And 상기 가이드 업/다운 바의 상하 구동을 위한 업/다운 회전축 동력원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어가 개방된 항온 챔버. Up / down rotary shaft power source for the vertical drive of the guide up / down bar; door is open constant temperature chamber comprising a. 제2항에 있어서, 상기 틸트(tilt) 바는 The method of claim 2, wherein the tilt bar is "ㄴ"형태로 구성되어 상기 카세트가 소정의 경사에도 미끄러지지 않도록 함을 특징으로 하는 도어가 개방된 항온 챔버.A constant temperature chamber, in which the door is opened, wherein the cassette is configured to have a shape such that the cassette does not slip on a predetermined slope. 제2항에 있어서, 상기 틸트(tilt) 바는 The method of claim 2, wherein the tilt bar is 자체정렬(Self-Align) 기능을 구비하여, 평상시에는 다운 상태를 유지하고, 틸트(tilt) 시에 업 상태로 변화하면서 카세트를 중심으로 크램핑(clamping)하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 도어가 개방된 항온 챔버.Self-Align function, the door is characterized in that it has a structure for clamping around the cassette while maintaining the down state during normal operation, and changes to the up state at the tilt (tilt) Open constant temperature chamber. 제1항에 있어서, 상기 하부 공기 흡입수단은 The method of claim 1, wherein the lower air suction means 각각의 에어 수송관(air duct) 구간의 풍향 및 풍량을 제어 가능하도록 설계됨을 특징으로 하는 도어가 개방된 항온 챔버. The constant temperature chamber with the door open, characterized in that it is designed to control the wind direction and the air volume of each air duct section.
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