KR100692844B1 - Organic Electro Luminescence Display and Fabricating Method Thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 발광효율을 높이고 화질 저하를 감소시킬 수 있는 유기 전계발광 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic electroluminescent display device and a method for manufacturing the same, which can increase luminous efficiency and reduce image quality deterioration.
본 발명의 유기 전계발광 표시장치는 표시영역과 비표시영역을 구비하는 유기 전계발광 표시장치에 있어서, 상기 표시영역에 서로 교차되는 방향으로 형성된 데이터라인 및 스캔라인과; 상기 비표시영역에 형성된 상기 데이터라인이 신장된 데이터링크 및 상기 스캔라인과 접속된 스캔링크와; 상기 비표시영역에 형성된 상기 데이터링크의 끝단에 상기 데이터링크의 폭 보다 넓은 폭으로 연장 접속된 데이터 패드 및 상기 스캔링크의 끝단에 상기 스캔링크의 폭 보다 넓은 폭으로 연장 접속된 스캔 패드를 구비하며, 상기 데이터링크 및 데이터 패드와 스캔링크 및 스캔 패드는 투명도전층을 포함하는 다중의 도전층으로 형성하는 것을 특징으로 한다.An organic electroluminescent display device having a display area and a non-display area, the organic electroluminescent display device comprising: a data line and a scan line formed in a direction crossing each other on the display area; A data link extending from the data line formed in the non-display area and a scan link connected to the scan line; A data pad extended at a width wider than the width of the data link at the end of the data link formed in the non-display area and a scan pad extended at a width wider than the width of the scan link at the end of the scan link; The data link, the data pad, the scan link, and the scan pad may be formed of a plurality of conductive layers including a transparent conductive layer.
Description
도 1은 종래의 유기 전계발광 표시장치의 하부기판을 개략적으로 나타내는 평면도이다.1 is a plan view schematically illustrating a lower substrate of a conventional organic electroluminescent display.
도 2는 종래의 다른 유기 전계발광 표시장치의 하부기판을 개략적으로 나타내는 평면도이다.2 is a plan view schematically illustrating a lower substrate of another conventional organic electroluminescent display.
도 3은 도 2에 도시된 하부기판을 선 Ⅰ-Ⅰ' 및 Ⅱ-Ⅱ' 를 따라 절취한 단면도이다.FIG. 3 is a cross-sectional view of the lower substrate of FIG. 2 taken along lines II ′ and II-II ′. FIG.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광 표시장치의 하부기판을 개략적으로 나타내는 평면도이다.4 is a plan view schematically illustrating a lower substrate of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 유기 전계발광 표시장치의 하부기판의 일부가 형성된 평면도이다.5 is a plan view illustrating a portion of a lower substrate of an organic electroluminescent display of the present invention.
도 6은 도 5에 도시된 하부기판을 선 Ⅲ-Ⅲ' 및 Ⅳ-Ⅳ' 를 따라 절취한 단면도이다.6 is a cross-sectional view of the lower substrate of FIG. 5 taken along lines III-III 'and IV-IV'.
도 7은 도 4에 도시된 하부기판을 선 Ⅴ-Ⅴ' 를 따라 절취한 단면도 및 C 영역을 나타내는 단면도다.FIG. 7 is a cross-sectional view of the lower substrate of FIG. 4 taken along the line VV ′ and a cross-sectional view of a region C. FIG.
도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 유기 전계발광 표시장치의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다. 8A through 8D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.
<< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><< Explanation of symbols for main parts of drawings
2, 52 : 기판 14, 64 : 투명전도층2, 52:
56 : 절연막 16 : 금속층56
66 : 제1 금속층 68 : 알루미늄층66: first metal layer 68: aluminum layer
70 : 제2 금속층 72 : 컨택홀70: second metal layer 72: contact hole
24, 74 : 데이터 패드부 32, 82 : 스캔 패드부24, 74:
본 발명은 유기 전계발광 표시장치에 관한 것으로, 특히 발광효율을 높이고 화질 저하를 감소시킬 수 있는 유기 전계발광 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent display, and more particularly, to an organic electroluminescent display and a method of manufacturing the same, which can increase luminous efficiency and reduce image quality.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 전계발광 (Electro Luminescence : 이하 "EL"라 함) 표시장치 등이 있다. Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such a flat panel display includes a liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), a plasma display panel (PDP), and an electroluminescence (hereinafter, "EL"). Display).
PDP는 구조와 제조 공정이 비교적 단순하기 때문에 대면적화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. LCD는 노트북 컴퓨터의 표시장치로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대면적화에 어렵고 백라잇 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있다. 또한, LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학표시장치들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 단점이 있다. 이에 비하여, EL 표시장치는 무기 EL과 유기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 또한 유기 EL 표시장치는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만[cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다.PDP is most advantageous for large area because of its relatively simple structure and manufacturing process, but it has the disadvantages of low luminous efficiency, low luminance and high power consumption. LCD is mainly used as a display device of notebook computers, but the demand is increasing, but it is difficult to make a large area and power consumption is large due to the backlight unit. In addition, LCDs have disadvantages of high light loss and a narrow viewing angle due to optical display devices such as polarizing filters, prism sheets, and diffusion plates. In contrast, the EL display device is roughly classified into an inorganic EL and an organic EL, and has advantages of fast response speed and high luminous efficiency, luminance, and viewing angle. In addition, the organic EL display can display an image with high luminance of tens of thousands [cd / m 2] at a voltage of about 10 [V].
도 1은 종래의 유기 EL 표시장치의 하부기판을 개략적으로 나타내는 평면도이다.1 is a plan view schematically showing a lower substrate of a conventional organic EL display device.
도 1을 참조하면, 종래의 유기 EL 표시장치는 서로 교차하는 데이터라인(DL)과 스캔라인(SL)과, 그 교차부마다 매트릭스타입으로 배열된 EL 셀(미도시)이 형성되어 유기발광시 화상이 구현되는 표시영역(A)을 구비한다. Referring to FIG. 1, a conventional organic EL display device includes a data line DL and a scan line SL that cross each other, and EL cells (not shown) arranged in a matrix type at each intersection thereof to form an organic light emitting diode. It has a display area A in which an image is implemented.
또한, 표시영역(A)의 데이터라인(DL)이 신장된 데이터링크(DK)와, 데이터링크(DK)의 끝단에 데이터링크(DK)의 폭 보다 넓은 폭을 가지는 데이터 패드(DP)가 형성된 데이터 패드부(24)를 구비하고, 스캔라인(SL)과 접속되는 스캔링크(SK)와, 스캔링크의 끝단에 스캔링크(SK)의 폭 보다 넓은 폭을 가지는 스캔 패드(SP)가 형성된 스캔 패드부(32)가 위치하는 비표시영역(B)을 구비한다. In addition, a data link DK in which the data line DL of the display area A is extended, and a data pad DP having a width wider than the width of the data link DK is formed at the end of the data link DK. A scan having a
데이터 패드부(24) 및 스캔 패드부(32)는 데이터 신호를 생성하는 데이터 구 동부(미도시) 및 스캔 신호를 생성하는 스캔 구동부(미도시)가 실장된 TCP(Tape Carrier Package : 미도시)와 접속된다. The
데이터 패드부(24)는 데이터 구동부로부터 데이터라인(DL)에 공급되는 데이터 신호를 각 데이터 패드(DP) 및 데이터링크(DK)를 통해 해당 데이터라인(DL)에 공급하고, 스캔 패드부(32)는 스캔 구동부로부터 스캔라인(SL)에 공급되는 스캔 신호를 각 스캔 패드(SP) 및 스캔링크(SK)를 통해 해당 스캔라인(SL)에 공급한다. The
도 2는 종래의 다른 유기 EL 표시장치의 하부기판을 개략적으로 나타내는 평면도이다. 2 is a plan view schematically showing a lower substrate of another conventional organic EL display device.
도 2에 도시된 유기 EL 표시장치는 도 1과 비교해서, 데이터 패드부(24) 및 제1 및 제2 스캔 패드부(32a 및 32b)를 구비하며, 표시장치의 직접화를 위해 제1 및 제2 스캔 패드부(32a 및 32b)는 데이터 패드부(24)의 양측으로 분리되어 유기 EL 표시장치의 기판(미도시) 하측에 함께 형성된다.The organic EL display device shown in FIG. 2 includes a
데이터 패드부(24) 및 제1 및 제2 스캔 패드부(32a 및 32b)를 유기 EL 표시장치의 기판 하측에 함께 형성하는 이유는 구동부들을 직접화하여 표시장치를 생산했을 경우, 유기 EL 표시장치의 표시영역(A)이 표시장치의 중앙에 위치하도록 하기 위함이다. The reason why the
도 2를 참조하면, 표시영역(A)의 데이터라인(DL)에서 신장된 각 데이터링크(DK)는 비표시영역(B)을 경유하여 기판(2) 하측에 형성된 데이터 패드부(24)의 해당 데이터 패드(DP)에 접속되며, 표시영역(A)의 스캔라인(SL)과 접속된 각 스캔링크(SKa, SKb)는 비표시영역(B)을 경유하여 기판(2) 하측에 형성된 스캔 패드부 (32a, 32b)의 해당 스캔패드(SPa, SPb)에 각각 접속된다. Referring to FIG. 2, each data link DK extending from the data line DL of the display area A is connected to the lower portion of the
도 3은 도 1에 도시된 하부기판을 선 Ⅰ-Ⅰ' 및 Ⅱ-Ⅱ' 를 따라 절취한 단면도이다. FIG. 3 is a cross-sectional view of the lower substrate of FIG. 1 taken along lines II ′ and II-II ′. FIG.
도 3을 참조하면, 유기 EL 표시장치의 비표시영역(B)에 형성되는 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 투명도전층(14)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등의 투명전도성물질이 기판(2) 상에 전면 증착된 후 패터닝됨으로써 일정한 간격으로 이격되어 형성된다. 비표시영역(B)에 형성되는 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 투명도전층(14)은 표시영역(A)에 형성되는 데이터라인(미도시)과 동일 공정으로 형성된다. Referring to FIG. 3, the transparent
데이터라인, 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 투명도전층(14)이 형성된 기판(2) 상에는 도전성물질인 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo) 등이 전면 증착된 후 패터닝됨으로써 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 투명도전층(14)을 덮는 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 금속층(16)이 형성된다. The conductive material chromium (Cr) or molybdenum (Mo) is deposited on the
데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)는 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 투명도전층(14)이 ITO, IZO, ITZO 등으로 형성됨으로 인해 높은 저항을 가지게 된다. 이러한 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 높은 저항은 표시장치의 발광효율을 저하시킬 뿐만 아니라, 데이터 패드(미도시) 및 스캔 패드(미도시)로부터 각 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)를 통해 해당 데이터라인(DL) 및 스캔라인(SL)에 인가되는 신호를 왜곡시켜 EL 셀 구동 시 화질을 저하시키는 원인이 된다. The data link DK and the scan link SK have high resistance because the transparent
이에 따라, 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 높은 저항을 보상하기 위해 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 투명도전층(14) 상에 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo)을 사용하여 금속층(16)을 형성하게 된다. 그러나 이러한 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 높은 저항을 보상하기 위한 금속층(16)은 그 재료인 크롬(Cr)의 저항이 12.7 Ω㎝ 이며, 몰리브덴(Mo)의 저항의 경우는 크롬(Cr)의 저항보다 더 높아 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 투명도전층(14)으로 인한 저항의 보상에는 미흡한 편이었다. Accordingly, chromium (Cr) or molybdenum (Mo) is deposited on the transparent
이러한 문제를 해결하기 위해, 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo)보다 낮은 저항을 가지는 알루미늄(Al)의 사용이 제안되었다. 그러나 알루미늄(Al)은 산소와 접촉되면 산화되는 특성이 있다. 이러한 알루미늄(Al)의 특성 때문에 유기 EL 표시장치의 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 금속층(16)에 저항이 낮은 알루미늄(Al)을 사용하지 못한다는 문제가 있다. In order to solve this problem, the use of aluminum (Al) having a lower resistance than chromium (Cr) or molybdenum (Mo) has been proposed. However, aluminum (Al) is oxidized when it comes into contact with oxygen. Due to such characteristics of aluminum (Al), there is a problem in that aluminum (Al) having low resistance cannot be used for the
따라서, 본 발명의 목적은 비표시영역에 형성된 스캔링크 및 데이터링크의 저항을 감소시킴으로써 발광효율을 높이고 화질 저하를 감소시킬 수 있는 유기 전계발광 표시장치 및 그 제조방법을 제공함에 있다.
Accordingly, an object of the present invention is to provide an organic electroluminescent display device and a method of manufacturing the same, which can increase luminous efficiency and reduce image quality deterioration by reducing resistance of scan links and data links formed in non-display areas.
본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광 표시장치는 표시영역과 비표시영역을 구비하는 유기 전계발광 표시장치에 있어서, 상기 표시영역에 서로 교차되는 방향으로 형성된 데이터라인 및 스캔라인과; 상기 비표시영역에 형성된 상기 데이터라인이 신장된 데이터링크 및 상기 스캔라인과 접속된 스캔링크와; 상기 비표시영역에 형성된 상기 데이터링크의 끝단에 상기 데이터링크의 폭 보다 넓은 폭으로 연장 접속된 데이터 패드 및 상기 스캔링크의 끝단에 상기 스캔링크의 폭 보다 넓은 폭으로 연장 접속된 스캔 패드를 구비하며, 상기 데이터링크 및 데이터 패드와 스캔링크 및 스캔 패드는 투명도전층을 포함하는 다중의 도전층으로 형성하는 것을 특징으로 한다.An organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention includes a display area and a non-display area, the organic electroluminescence display device comprising: data lines and scan lines formed in the display area in a direction crossing each other; A data link extending from the data line formed in the non-display area and a scan link connected to the scan line; A data pad extended at a width wider than the width of the data link at the end of the data link formed in the non-display area and a scan pad extended at a width wider than the width of the scan link at the end of the scan link; The data link, the data pad, the scan link, and the scan pad may be formed of a plurality of conductive layers including a transparent conductive layer.
상기 다중의 도전층은, 기판 상에 형성된 상기 투명도전층과; 상기 투명도전층 상에 형성된 알루미늄층과; 상기 투명도전층과 상기 알루미늄층 사이에 형성된 제1 금속층과; 상기 알루미늄층 상에 형성된 제2 금속층을 구비한다. The multiple conductive layers include the transparent conductive layer formed on a substrate; An aluminum layer formed on the transparent conductive layer; A first metal layer formed between the transparent conductive layer and the aluminum layer; And a second metal layer formed on the aluminum layer.
상기 제1 금속층은, 상기 알루미늄층이 상기 투명도전층과 접속 시 산화되는 것을 방지하는 것을 특징으로 한다. The first metal layer is characterized in that the aluminum layer is prevented from being oxidized when connected to the transparent conductive layer.
상기 제2 금속층은, 상기 알루미늄층이 공기 중에 노출 시 산화되는 것을 방지하는 것을 특징으로 한다. The second metal layer is characterized in that the aluminum layer is prevented from being oxidized when exposed to air.
상기 제1 금속층은 크롬 또는 몰리부덴 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 금속층은 크롬 또는 몰리부덴 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.The first metal layer is characterized in that it comprises at least one of chromium or molybdenum.
The second metal layer is characterized in that it comprises at least one of chromium or molybdenum.
본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광 표시장치의 제조방법은 표시영역과 비표시영역을 구비하는 유기 전계발광 표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 표시영역에 데이터라인, 상기 비표시영역에 상기 데이터라인이 신장되는 데이터링크, 상기 데이터링크의 길이방향 끝단에 상기 데이터링크의 폭 보다 넓은 폭으로 연장 접속되는 데이터 패드 및 상기 비표시영역에 스캔링크, 상기 스캔링크의 길이방향 끝단에 상기 스캔링크의 폭 보다 넓은 폭으로 연장 접속되는 스캔 패드의 투명도전패턴을 형성하는 단계와; 상기 데이터링크 및 데이터 패드와 스캔링크 및 스캔 패드의 투명도전패턴 상에 다중의 도전패턴을 형성하는 단계와; 상기 스캔링크에 연결되고 상기 데이터라인과 교차하는 스캔라인을 상기 표시영역에 형성하는 단계를 포함한다. A method of manufacturing an organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention is a method of manufacturing an organic electroluminescent display device having a display area and a non-display area, the data line in the display area, the data in the non-display area A data link extending along a line, a data pad extending in a width greater than the width of the data link at a longitudinal end of the data link, a scan link at the non-display area, and a scan link at the longitudinal end of the scan link. Forming a transparent conductive pattern of a scan pad extending in a wider width than the wide width; Forming a plurality of conductive patterns on the data link and the data pad and the transparent conductive pattern of the scan link and the scan pad; And forming a scan line connected to the scan link and intersecting the data line in the display area.
상기 다중의 도전패턴을 형성하는 단계는, 상기 투명도전패턴 상에 제1 금속패턴을 형성하는 단계와; 상기 제1 금속패턴 상에 알루미늄패턴을 형성하는 단계와; 상기 알루미늄패턴 상에 제2 금속패턴을 형성하는 단계를 포함한다. The forming of the plurality of conductive patterns may include forming a first metal pattern on the transparent conductive pattern; Forming an aluminum pattern on the first metal pattern; Forming a second metal pattern on the aluminum pattern.
상기 제1 금속패턴은, 상기 알루미늄패턴이 상기 투명도전패턴과 접촉 시 산화되는 것을 방지하는 것을 특징으로 한다. The first metal pattern may prevent the aluminum pattern from being oxidized when contacted with the transparent conductive pattern.
상기 제2 금속패턴은, 상기 알루미늄패턴이 공기 중에 노출 시 산화되는 것을 방지하는 것을 특징으로 한다. The second metal pattern may prevent the aluminum pattern from being oxidized when exposed to air.
상기 제1 금속패턴은 크롬 또는 몰리부덴 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 금속패턴은 크롬 또는 몰리부덴 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.The first metal pattern may include at least one of chromium and molybdenum.
The second metal pattern may include at least one of chromium and molybdenum.
이하, 도 4 내지 도 8d를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 8D.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시장치의 하부기판을 개략적으로 나타내는 평면도이다.4 is a plan view schematically illustrating a lower substrate of an organic EL display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4를 참조하면, 유기 EL 표시장치는 서로 교차하는 데이터라인(DL)과 스캔라인(SL)과, 그 교차부마다 매트릭스타입으로 배열된 EL 셀(미도시)이 형성되어 유기발광시 화상이 구현되는 표시영역(A)을 구비한다. Referring to FIG. 4, in the organic EL display device, data lines DL and scan lines SL intersecting with each other, and EL cells (not shown) arranged in a matrix type at each intersection thereof are formed to display an image during organic light emission. The display area A is implemented.
또한, 표시영역(A)의 데이터라인(DL)이 신장된 데이터링크(DK)와, 데이터링크(DK)의 끝단에 데이터링크(DK)의 폭 보다 넓은 폭을 가지는 데이터 패드(DP)가 형성된 데이터 패드부(74)를 구비하고, 스캔라인(SL)과 접속되는 스캔링크(SK)와, 스캔링크의 끝단에 스캔링크(SK)의 폭 보다 넓은 폭을 가지는 제1 및 제2 스캔 패드(SPa 및 SPb)가 형성된 제1 및 제2 스캔 패드부(82a 및 82b)가 위치하는 비표시영역(B)을 구비한다. In addition, a data link DK in which the data line DL of the display area A is extended, and a data pad DP having a width wider than the width of the data link DK is formed at the end of the data link DK. A first and second scan pads having a
제1 및 제2 스캔 패드부(82a 및 82b)는 직접화를 위해 데이터 패드부(74)의 양측으로 분리되어 유기 EL 표시장치의 기판(미도시) 하측에 형성된다. The first and second
데이터 패드부(74) 및 제1 및 제2 스캔 패드부(82a 및 82b)는 데이터 신호를 생성하는 데이터 구동부(미도시) 및 스캔 신호를 생성하는 제1 및 제2 스캔 구동부(미도시)가 실장된 TCP와 접속된다.The
데이터 패드부(74)는 데이터 구동부로부터 데이터라인(DL)에 공급되는 데이터 신호를 각 데이터 패드(DP) 및 데이터링크(DK)를 통해 해당 데이터라인(DL)에 공급하고, 제1 및 제2 스캔 패드부(82a 및 82b)는 제1 및 제2 스캔 구동부로부터 스캔라인(SL)에 공급되는 스캔 신호를 각 스캔 패드(SPa, SPb) 및 스캔링크(SKa, SKb)를 통해 해당 스캔라인(SL)에 공급한다. The
도 5는 본 발명의 유기 EL 표시장치의 하부기판의 일부가 형성된 평면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 각각의 선 Ⅲ-Ⅲ' 및 Ⅳ-Ⅳ' 를 따라 절취한 단면도이다.FIG. 5 is a plan view in which a part of the lower substrate of the organic EL display device of the present invention is formed, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the lines III-III 'and IV-IV' shown in FIG.
도 5 및 도 6을 참조하면, 유기 EL 표시장치의 표시영역(A)에 데이터라인 (DL), 비표시영역(B)에 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 투명전도층(64)은 ITO, IZO, ITZO 등의 투명전도성물질이 기판(52) 상에 전면 증착된 후 패터닝됨으로써 일정한 간격으로 이격되어 형성된다.5 and 6, the transparent
표시영역(A)에 데이터라인(DL), 비표시영역(B)에 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SL)의 투명전도층(64)이 형성된 기판(52) 상에는 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 투명도전층(64)이 ITO, IZO, ITZO 등의 투명전도성물질로 형성됨으로 인한 높은 저항을 보상하기 위하여 계면특성이 우수하고 저항이 낮은 도전성물질인 크롬(Cr) 또는 몰리부덴(Mo)이 전면 증착된다. 그 후 크롬(Cr) 또는 몰리부덴(Mo) 등이 전면 증착된 기판(52) 상에는 알루미늄(Al)이 전면 증착되며, 알루미늄(Al)이 전면 증착된 기판(52) 상에는 다시 크롬(Cr) 또는 몰리부덴(Mo)이 전면 증착된 후 패터닝됨으로써, 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 제1 금속층(66), 알루미늄층(68) 및 제2 금속층(70)이 형성된다. On the
유기 EL 표시장치의 비표시영역(B)을 경유하는 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)가 ITO, IZO, ITZO 등의 투명전도성물질을 포함함으로 인한 높은 저항은 낮은 저항을 가지는 알루미늄(Al)을 포함하여 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)를 형성함으로써 보상하게 된다. 이 때, 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 알루미늄층(68)이 ITO, IZO, ITZO 등과 접촉됨으로 인하여 산화되는 것은 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 투명도전층(64)과 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 알루미늄층(68) 사이에 형성된 제1 금속층(66)을 이용하여 방지하며, 데이터링크(DK) 및 스캔링크(SK)의 알루미늄층(68)이 공기 중에 노출되어 산화되는 것은 데이터링크(DK) 및 스 캔링크(SK)의 알루미늄층(68) 상에 형성된 제2 금속층(70)을 이용하여 방지한다. Since the data link DK and the scan link SK including the transparent conductive material such as ITO, IZO, ITZO, etc., via the non-display area B of the organic EL display device have high resistance, aluminum (Al) has a low resistance. ) To compensate for the data link DK and the scan link SK. At this time, the
이하, 도면의 데이터링크 및 스캔링크와 관련된 설명은 스캔링크에 대해서만 설명하기로 하며, 데이터링크의 구조는 스캔링크의 구조와 같다. Hereinafter, descriptions related to the data link and the scan link will be described only for the scan link, and the structure of the data link is the same as the structure of the scan link.
도 7은 도 4에 도시된 하부기판을 선 Ⅴ-Ⅴ' 를 따라 절취한 단면도 및 C 영역을 나타내는 단면도다.FIG. 7 is a cross-sectional view of the lower substrate of FIG. 4 taken along the line VV ′ and a cross-sectional view of a region C. FIG.
도 7을 참조하면, 유기 EL 표시장치는 기판(52) 상의 표시영역(A)에 데이터라인(DL)이 일정 간격 이격되어 형성된다. 또한, 기판(52) 상의 비표시영역(B)에 표시영역(A)의 데이터라인(DL)이 신장된 데이터링크(미도시)와, 스캔라인(SL)과 접속되는 스캔링크(SK)가 형성된다. Referring to FIG. 7, in the organic EL display device, the data lines DL are formed in the display area A on the
스캔링크(SK) 및 데이터링크는 투명도전층(64), 제1 금속층(66), 알루미늄층(68) 및 제2 금속층(70)을 구비한다. The scan link SK and the data link include a transparent
이후, 비표시영역(B)에 데이터링크 및 스캔링크(SK)가 형성된 기판(52) 상에는 데이터라인(DL) 상에 EL 셀(미도시) 영역마다 개구부를 가지며, 표시영역(A)의 스캔라인(SL)과 비표시영역(B)의 스캔링크(SK)를 접속시키기 위한 컨택홀(72)을 가지는 절연막(56)이 형성되며, 절연막(56) 상에는 유기발광층(60) 및 스캔라인(SL)의 분리를 위한 격벽(미도시)이 형성된다. 격벽은 데이터라인(DL)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 격벽 상에는 유기발광물질이 마스크를 이용하여 증착 유기발광층(60)이 형성되며, 연이어 전극물질이 전면 증착됨으로써 스캔라인(SL)이 형성된다. 비표시영역(B)의 각 스캔링크(SK)와 표시영역(A)의 해당 스캔라인(SL)은 스캔라인(SL)의 형성을 위한 전극물질의 전면 증착 시 접속된다. Thereafter, on the
도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 유기 EL 표시장치의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다. 8A to 8D are cross-sectional views showing step by step a manufacturing method of the organic EL display device of the present invention.
도 8a를 참조하면, 데이터라인(DL)은 기판(52) 상의 표시영역(A)에 투명전도성물질, 예를 들어 ITO, IZO, ITZO 등이 전면 증착된 후 패터닝됨으로써 일정간격 이격되어 형성된다. 이와 동시에, 데이터링크(미도시)의 투명전도층(미도시) 및 후속공정으로 형성될 스캔라인(SL)과 접속될 스캔링크(SK)의 투명전도층(64)이 동일 공정으로 기판(52) 상의 비표시영역(B)에 일정 간격으로 이격되어 형성된다.Referring to FIG. 8A, the data lines DL are formed by being spaced apart from each other by patterning a transparent conductive material, for example, ITO, IZO, ITZO, or the like, on the display area A on the
그런 다음, 도 8b와 같이, 데이터라인(DL), 데이터링크의 투명도전층 및 스캔링크(SK)의 투명전도층(64)이 형성된 기판(52) 상에 제1 금속물질이 전면 증착되고, 제1 금속물질이 전면 증착된 기판(52) 상에 알루미늄(Al)이 전면 증착되고, 알루미늄(Al)이 전면 증착된 기판(52) 상에 다시 제2 금속물질이 전면 증착된 후 패터닝됨으로써 비표시영역(B)에 투명도전층(64)을 포함하며 제1 금속층(66), 알루미늄층(68) 및 제2 금속층(70)을 구비하는 데이터링크 및 스캔링크(SK)가 형성된다. Then, as shown in FIG. 8B, the first metal material is entirely deposited on the
표시영역(A)의 데이터라인(DL), 비표시영역(B)의 데이터링크 및 스캔링크(SK)가 형성된 기판(52) 상에는 도 8c와 같이, 절연물질이 전면 증착된 후 패터닝됨으로써 데이터라인(DL) 상에 EL 셀(미도시) 영역마다 개구부를 가지며, 후속공정으로 형성될 표시영역(A)의 스캔라인(SL)과 비표시영역(B)의 스캔링크(SK)의 접속을 위한 컨택홀(72)을 가지는 절연막(56)이 형성된다. 이어, 절연막(56)이 형성된 표시영역(A) 상에는 유기발광층(60) 및 스캔라인(62)의 분리를 위한 격벽(미도시)이 형성된다. 격벽은 데이터라인(54)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 격벽이 형 성된 기판(52) 상에는 도 8d와 같이, 유기발광물질이 마스크를 이용하여 증착 유기발광층(60)이 형성되며, 연이어 전극물질이 전면 증착된 후 패터닝됨으로써 스캔라인(SL)이 형성된다. 비표시영역(B)의 각 스캔링크(SK)와 표시영역(A)의 해당 스캔라인(SL)은 스캔라인(SL)의 형성을 위한 전극물질의 전면 증착 시 접속된다. On the
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 EL 표시장치 및 그 제조방법은 데이터링크 및 스캔링크에 제1 및 제2 금속층을 이용하여 알루미늄층과 같은 저항이 낮은 금속물질을 이용할 수 있게 됨에 따라 비표시영역에 형성된 데이터링크 및 스캔링크의 저항을 감소시킴으로써 발광효율을 높이고 화질 저하를 감소시킬 수 있게 된다. As described above, the organic EL display device and the manufacturing method thereof according to the present invention are non-displayed by using a low resistance metal material such as an aluminum layer by using the first and second metal layers for the data link and the scan link. By reducing the resistance of the data link and the scan link formed in the region, it is possible to increase luminous efficiency and to reduce image quality degradation.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.
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