KR100684407B1 - Modular, lightweight optical table for high frequency applications - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고주파수 어플리케이션(high frequency application)을 위한 모듈식, 경량 광학테이블(modular, lightweight optical table)을 제공하는 것이다. 일 실시예에 있어서, 광학테이블은, 그 측면표면 상에 슬릿(slit)을 각각 가지는 다수의 칼럼(column)과, 결속(fastening)을 위하여 슬릿 속으로 삽입되어지는 측면을 각각 가지는 다수의 패널(panel)과, 네트워크 구조체(network structure)를 형성하기 위하여 십자형 방식으로 패널이 서로 조립되어질 수 있도록 각각의 패널은 길이방향 슬롯을 포함하는 구조체(structure)와; 상기 구조체의 측면에 접착제에 의해서 결속되어지는 다수의 측면 실링시트(sealing sheet)와; 상기 구조체의 상부에 접착제에 의해서 결속되어지는 다수의 상부 실링시트와; 그리고 상기 구조체의 바닥에 접착제에 의해서 결속되어지는 다수의 바닥 실링시트를 포함한다. 다른 실시예에 있어서, 상기 구조체는 서로 적층되어지고 결속되어진 다수의 허니콤 코어 섹션을 포함하는 허니콤 코어 구조체(honeycomb core structure)로 대체되어진다. 본 발명은 개선된 강도(strength)와, 강성(stiffness), 그리고 댐핑효과(damping effect)를 가진다. The present invention provides a modular, lightweight optical table for high frequency applications. In one embodiment, the optical table comprises a plurality of panels each having a slit on its side surface and a plurality of panels each having a side inserted into the slit for fastening. panel and each panel includes a longitudinal slot such that the panels can be assembled to each other in a crosswise manner to form a network structure; A plurality of side sealing sheets which are bound to the side of the structure by an adhesive; A plurality of upper sealing sheets bound by an adhesive on top of the structure; And a plurality of bottom sealing sheets bound to the bottom of the structure by an adhesive. In another embodiment, the structure is replaced with a honeycomb core structure comprising a plurality of honeycomb core sections stacked and tied together. The present invention has improved strength, stiffness, and damping effect.

Description

고주파수 어플리케이션을 위한 모듈식, 경량 광학 테이블{MODULAR, LIGHTWEIGHT OPTICAL TABLE FOR HIGH FREQUENCY APPLICATIONS} Modular, lightweight optical tables for high frequency applications {MODULAR, LIGHTWEIGHT OPTICAL TABLE FOR HIGH FREQUENCY APPLICATIONS}             

도 1은 미국특허 제5,962,104호에서 개시된 허니콤 코어 광학테이블(honeycomb core optical table)의 개략적인 모습1 is a schematic view of a honeycomb core optical table disclosed in US Pat. No. 5,962,104.

도 2는 미국특허 제6,001,451호에서 개시된 샌드위치 구조체를 개략적으로 도시한 분해모습Figure 2 is an exploded view schematically showing a sandwich structure disclosed in US Patent No. 6,001,451

도 3은 본 발명의 첫 번째 선호적인 실시예에 따른, 광학테이블의 구조체를 축조하기 위한 다수의 유닛(unit)들 중 하나를 도시한 분해 사시도3 is an exploded perspective view showing one of a plurality of units for constructing a structure of an optical table, according to a first preferred embodiment of the invention

도 4는 도 3의 유닛을 조립함으로써 형성되어진 광학테이블의 구조체를 도시한 사시도4 is a perspective view showing the structure of an optical table formed by assembling the unit of FIG.

도 5는 본 발명의 두 번째 선호적인 실시예에 따른, 광학테이블의 구조체를 축조하기 위한 다수의 유닛(unit)들 중 하나를 도시한 분해 사시도5 is an exploded perspective view showing one of a plurality of units for constructing a structure of an optical table, according to a second preferred embodiment of the invention

도 6은 본 발명의 세 번째 선호적인 실시예에 따른, 광학테이블의 구조체를 축조하기 위한 다수의 유닛(unit)들 중 하나를 도시한 분해 사시도6 is an exploded perspective view showing one of a plurality of units for constructing a structure of an optical table, according to a third preferred embodiment of the invention

도 7은 본 발명의 네 번째 선호적인 실시예에 따라서 축조된 광학테이블의 구조체를 도시한 사시도7 is a perspective view showing a structure of an optical table constructed according to a fourth preferred embodiment of the present invention;

도 8은 외부표면 상에 실링시트(sealing sheet)가 제공되어진 본 발명의 광학테이블을 도시한 분해사시도8 is an exploded perspective view showing an optical table of the present invention in which a sealing sheet is provided on an outer surface;

도 9는 도 8의 조립된 광학테이블을 도시한 사시도9 is a perspective view of the assembled optical table of FIG.

도 10과 도 11은 도 9의 선 A-A와 선 B-B를 따라서 취해진 각각의 단면도10 and 11 are cross-sectional views taken along the lines A-A and B-B of FIG. 9, respectively.

도 12는 본 발명에 따라서 광학테이블에서 형성되어지게 되는 허니콤 코어 구조체(honeycomb core structure)를 도시한 사시도12 is a perspective view showing a honeycomb core structure to be formed in an optical table in accordance with the present invention.

도 13은 도 12의 허니콤 코어 구조체가 일체화된 광학테이블을 도시한 분해사시도FIG. 13 is an exploded perspective view showing an optical table in which the honeycomb core structure of FIG. 12 is integrated.

도 14는 도 12의 조립된 광학테이블을 도시한 사시도14 is a perspective view of the assembled optical table of FIG.

도 15와 도 16은 도 14의 선 C-C와 선 D-D를 따라서 취해진 각각의 단면도15 and 16 are cross-sectional views taken along the lines C-C and D-D of FIG. 14, respectively.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 광학테이블 구조체 11 : 칼럼10: optical table structure 11: column

12 : 패널 14 : 측면 실링시트12 panel 14 side sealing sheet

15 : 상부 실링시트 16 : 바닥 실링시트15: upper sealing sheet 16: bottom sealing sheet

30 : 접착제 40 : 허니콤 코어 구조체30 adhesive 40 honeycomb core structure

41 : 허니콤 코어 섹션 42 : 패널41: Honeycomb Core Section 42: Panel

43 : 상부 실링시트 44 : 바닥 실링시트43: upper sealing sheet 44: bottom sealing sheet

45 : 측면 실링시트 46 : 칼럼45: side sealing sheet 46: column

50 : 접착제 111,122,131 : 슬릿50: adhesive 111,122,131: slit

본 발명은 광학 테이블(optical table)에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 광학 및 다른 진보된 장치가 그 위에 안정적으로 설치되어질 수 있는 모듈식, 경량 광학 테이블(modular, lightweight optical table)에 관한 것이다. The present invention relates to an optical table, and more particularly to a modular, lightweight optical table in which optics and other advanced devices can be reliably mounted thereon.

반도체 제조(semiconductor manufacturing)를 포함하는 전자산업분야에서 채택되어지는 제조공정설비(manufacturing process equipment) 및 테스트설비(test equipment)는 진동(vibration)에 매우 민감한 것으로 이해되어진다. 만일 예를 들어 공정 또는 테스트가 진동환경(vibrational environment)에서 수행되어진다면, 에러(error)들이 발생할 수 있으며, 또는 실험결과는 신뢰할 수 없다. 반도체 산업의 제조공정은, 진동이 더욱 낮은 정도까지 더욱 제한되어지는 나노메터 공정(nanometer process)으로 점진적으로 진보되어지기 때문에, 이는 중요하다. 그렇기 때문에, 제조공정 설비 또는/및 테스트 설비를 지지(supporting)하기 위한 광학 테이블은 동적인 작동조건(dynamic operating condition)에서도 충분히 강성(stiff)이 되어야만 한다.Manufacturing process equipment and test equipment employed in the electronics industry, including semiconductor manufacturing, are understood to be very sensitive to vibration. If, for example, a process or test is performed in a vibrational environment, errors may occur or the experimental results are unreliable. This is important because the manufacturing process in the semiconductor industry is progressively advanced to the nanometer process, where vibrations are further limited to a lower degree. As such, the optical table for supporting the manufacturing process facility and / or the test facility must be sufficiently stiff even under dynamic operating conditions.

통상적으로, 광학테이블은 그래니트 슬래브(granite slab), 허니콤 코어구조 (honeycomb core structure), 또는 보강콘크리트 구조(reinforced concrete structure)로 만들어진다. 그래니트 슬래브로 만들어진 광학테이블은, 안정적(stable)이고, 강성(rigid)이나, 상대적으로 무겁다. 허니콤 코어구조로 만들어진 광학테이블은 경량이지만, 단일 레이어 구조(single layer structure)로 인하여 강성(stiffness)과 댐핑효과(damping effect)에서는 약하게 된다. 보강콘크리트 구조로 만들어진 광학테이블은, 그 무게가 상기 두 개의 중간이다. 그러나, 동적 성능(dynamic performance)은 상기 두 개에 비해서 낮다. 그 결과, 상기 광학테이블들은 실험실(experiment room)에서 보다는 반도체 제조공장에서 일반적으로 채택되어진다. 광학테이블을 개선하기 위하여 종래의 기술에는 수많은 제안(suggestion)이 있다. 예를 들어, 도 1은 모듈설계(modular design) 개념이 구체화되어진 미국특허 제5,962,104호에서 개시된 광학테이블을 도시하고 있다. 그러나, 이는 구조적인 측면에서 상대적으로 복잡하며, 결과적으로 제작비용이 증가된다. 도 2에서 도시된 샌드위치 구조체(sandwich structure)는 미국특허 제6,001,451호에서 개시되어진 것이다. 이는 상대적으로 무겁게 되는 단점이 있으며, 따라서 경량의 요구를 충족하도록 재단(tailor)되지는 않는다. 그 결과 개선된 광학테이블을 위한 필요성이 제기되어져 왔다. Typically, the optical table is made of granite slab, honeycomb core structure, or reinforced concrete structure. Optical tables made of granite slabs are stable, rigid, but relatively heavy. The optical table made of the honeycomb core structure is lightweight, but weak in the stiffness and damping effect due to the single layer structure. An optical table made of a reinforced concrete structure has a weight in between the two. However, the dynamic performance is low compared to the two. As a result, the optical tables are generally adopted in semiconductor manufacturing plants rather than in experiment rooms. There are numerous proposals in the prior art to improve the optical table. For example, FIG. 1 shows an optical table disclosed in US Pat. No. 5,962,104 in which the concept of modular design is embodied. However, this is relatively complicated in terms of structure, and as a result, manufacturing costs are increased. The sandwich structure shown in FIG. 2 is disclosed in US Pat. No. 6,001,451. This has the disadvantage of being relatively heavy and therefore is not tailored to meet the needs of light weight. As a result, there has been a need for improved optical tables.

따라서, 본 발명의 목적은 고주파수 어플리케이션(high frequency application)을 위한 모듈식, 경량 광학테이블(modular, lightweight optical table)을 제공하는 것이다. 상기 광학테이블은, 그 측면 표면 상에 슬릿(slit)을 각각 가지는 다수의 칼럼(column)과, 결속(fastening)을 위하여 상기 슬릿 속으로 삽입되어지는 그 측면을 각각 가지는 다수의 패널(panel)과, 각각의 패널은 길이방향 슬롯을 포함하여서 네트워크 구조(network structure)를 형성하도록 십자형의 방법(cross manner)으로 패널들이 서로 조립되어질 수 있도록 된 구조체(structure)와; 상기 구조체의 측면에 결속되어지는 다수의 측면 실링시트(side sealing sheet)와; 상기 구조체의 상부에 결속되어지는 다수의 상부 실링시트와; 그리고 상기 구조체의 바닥에 결속되어지는 다수의 바닥 실링시트를 포함한다.
It is therefore an object of the present invention to provide a modular, lightweight optical table for high frequency applications. The optical table comprises a plurality of columns each having a slit on its side surface, a plurality of panels each having its side inserted into the slit for fastening and Each panel includes a longitudinal slot such that the panels can be assembled together in a cross manner to form a network structure; A plurality of side sealing sheets bound to the sides of the structure; A plurality of upper sealing sheets bound to an upper portion of the structure; And a plurality of bottom sealing sheets bound to the bottom of the structure.

본 발명의 하나의 특성에서는, 구조체의 패널과 측면 실링시트 사이의 공간과, 구조체의 상부와 상부 실링시트 사이의 공간과, 구조체의 바닥과 바닥실링 시트 사이의 공간은, 이들을 서로 고정하기 위하여 각각 접착제(예, 에폭시)로서 채워지게 된다. 그 결과, 광학테이블의 강도(strength)는 접착제가 건조되어진 이후에 더욱 강화되어질 수 있다. 나아가, 광학테이블의 강성(stiffness)과 댐핑효과는 개선되어질 수 있다.
In one aspect of the invention, the space between the panel and the side sealing sheet of the structure, the space between the top and the top sealing sheet of the structure, and the space between the bottom and the bottom sealing sheet of the structure, respectively, to fix them to each other It will be filled with adhesive (eg epoxy). As a result, the strength of the optical table can be further strengthened after the adhesive has dried. Furthermore, the stiffness and damping effect of the optical table can be improved.

본 발명의 다른 목적은, 다수의 허니콤 코어 섹션(honeycomb core section)과, 두 개의 인접한 허니콤 코어섹션 사이에 형성된 패널(panel)과, 그리고 네 개의 코너 칼럼(corner column)을 포함하며, 인접 상부 허니콤 코어섹션 또는 인접 하부 허니콤 코어섹션 중 하나에 고정(securing)되기 위하여 패널의 상부 또는 바 닥 표면 중 하나가 접착제(adhesive)로서 도포되어지는 허니콤 코어 구조체(honeycomb core structure)와; 상기 허니콤 코어 구조체의 측면과 측면 실링시트 사이의 공간에 접착제(예, 에폭시)로서 채워짐에 의해서 허니콤 코어 구조체의 측면에 고정(secure)되어지는 다수의 측면 실링시트와; 허니콤 코어 구조체의 상부와 상부 실링시트 사이의 공간에 접착제(예, 에폭시)로서 채워짐에 의해서 허니콤 코어 구조체의 상부에 고정되는 상부 실링시트와; 허니콤 코어 구조체의 바닥과 바닥 실링시트 사이의 공간에 접착제(예, 에폭시)로서 채워짐에 의해서 허니콤 코어 구조체의 바닥에 고정되어지는 바닥 실링시트를 포함하는, 고주파수 어플리케이션을 위한 모듈식, 경량 광학테이블을 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to include a plurality of honeycomb core sections, a panel formed between two adjacent honeycomb core sections, and four corner columns. A honeycomb core structure wherein one of the top or bottom surface of the panel is applied as an adhesive to be secured to either the upper honeycomb core section or the adjacent lower honeycomb core section; A plurality of side sealing sheets secured to a side of the honeycomb core structure by filling with a space between the side and side sealing sheets of the honeycomb core structure with an adhesive (eg, epoxy); An upper sealing sheet fixed to an upper portion of the honeycomb core structure by filling with a space between the upper portion of the honeycomb core structure and the upper sealing sheet with an adhesive (eg, epoxy); Modular, lightweight optics for high frequency applications, including a bottom sealing sheet that is secured to the bottom of the honeycomb core structure by being filled with an adhesive (eg, epoxy) in the space between the bottom of the honeycomb core structure and the bottom sealing sheet. To provide a table.

본 발명의 상기한 목적 및 다른 목적, 특성 그리고 장점들은 첨부된 도면과 관련하여 취하진 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings.

도 3 및 도 4와 관련하여, 본 발명의 첫 번째 선호적인 실시예에 따라서 축조(construct)되어진 광학테이블(optical table)의 구조체(10)가 도시되어진다. 상기 구조체(10)는 다수의 십자형 유닛(cross-shaped unit)으로 구성되는데, 상기 유닛 각각은, 네 측면 각각의 전체길이를 따라서 길이방향으로 연장된 중앙 슬릿(central slit, 111)을 가지는 정사각형 단면의 칼럼(column, 11)과, 그리고 결속(fastening)을 위하여 상기 슬릿(111) 속으로 깔끔하게 삽입되어지는 한쪽 측면을 가지며 상부면으로부터 거의 중앙까지 연장되어진 슬롯(122)을 포함하며, 상부 및 바닥면을 따라서 형성된 다수의 스루홀(through hole, 121)을 가지는 네 개의 사각형 패널(panel, 12)로 구성된다. 각각의 유닛에서 패널(12)의 상기 슬롯(122)은 십자형(cross)을 형성하도록 인접한 유닛에서의 패널(12)의 슬롯(122)을 통하여 삽입되도록 적용되어진다. 결과적으로, 네트워크 구조체(network structure, 10)가 형성되어진다. 3 and 4, a structure 10 of an optical table constructed in accordance with the first preferred embodiment of the present invention is shown. The structure 10 consists of a plurality of cross-shaped units, each unit having a square cross section having a central slit 111 extending longitudinally along the entire length of each of the four sides. Column and a slot 122 having a side that is neatly inserted into the slit 111 for fastening and extending almost from the top to the center, the top and the bottom of It consists of four rectangular panels 12 having a plurality of through holes 121 formed along the surface. The slot 122 of the panel 12 in each unit is adapted to be inserted through the slot 122 of the panel 12 in the adjacent unit to form a cross. As a result, a network structure 10 is formed.

도 5와 관련하여, 본 발명의 두 번째 선호적인 실시예에 따른 광학테이블의 구조체를 축조하기 위한 다수의 유닛(unit)들 중 하나가 도시되어진다 두 번째 선호적인 실시예는 상기 첫 번째 선호적인 실시예와 실질적으로 동일한 구조를 가진다. 첫 번째 실시에와 두 번째 실시예의 차이점, 즉 두 번째 실시예의 특성은 다음에서 기술되어진다. 칼럼(11)은 중공(hollow)이다. 칼럼(11)에 인접한 패널(12)의 한쪽 측면은 스테이지(stage)로서 형상화되어진다(즉, 상부부위와 하부부위 사이에는 쇼울더(shoulder)가 형성되어진다). 또한, 중앙슬릿(111)은 칼럼(11)의 각각의 측면에서 대략 절반의 길이를 따라서 길이방향으로 연장되어진다. 결과적으로, 패널(12)의 인접한 측면의 상부부위는 결속(fastening)을 위하여 슬릿(111) 속으로 삽입되도록 적용되어진다. With reference to FIG. 5, one of a plurality of units for constructing a structure of an optical table according to a second preferred embodiment of the invention is shown. A second preferred embodiment is the first preferred embodiment. It has a structure substantially the same as an Example. The difference between the first embodiment and the second embodiment, that is, the characteristics of the second embodiment, is described below. Column 11 is hollow. One side of the panel 12 adjacent to the column 11 is shaped as a stage (ie, a shoulder is formed between the upper and lower portions). Further, the center slit 111 extends in the longitudinal direction along approximately half the length on each side of the column 11. As a result, the upper portion of the adjacent side of the panel 12 is adapted to be inserted into the slit 111 for fastening.

도 6과 관련하여, 본 발명의 세 번째 선호적인 실시예에 따른 광학테이블의 구조체를 축조하기 위한 다수의 유닛(unit)들 중 하나가 도시되어진다. 전술된 실 시예들의 패널(12)은 그 단부에서 원통형 돌출부(cylindrical projection)를 가지는 네 개의 바아(bar, 12)로 대체되어진다. 상기 원통형 돌출부는 결속을 위하여 솔리드 칼럼(solid column, 11)의 네 측면들 상의 구멍(111) 속으로 깔끔하게 삽입되도록 적용되어진다.With reference to FIG. 6, one of a plurality of units for constructing a structure of an optical table according to a third preferred embodiment of the present invention is shown. The panel 12 of the embodiments described above is replaced by four bars 12 having cylindrical projections at their ends. The cylindrical protrusion is adapted to neatly insert into the hole 111 on the four sides of the solid column 11 for binding.

도 7과 관련하여, 본 발명의 네 번째 선호적인 실시예에 따라서 축조되어진 광학테이블의 구조체가 도시되어진다. 패널(13)은 두 측면 사이에서 형성된 다수의 평행한 길이방향 슬롯(131)으로서 연장되어진다. 또한, 칼럼(11)의 한쪽 코너(corner)는 이곳에서 직사각형 단면의 리세스(recess)를 형성하도록 절단되어진다. 나아가, 서로에 대해 수직한 두 개의 슬릿은 리세스의 내부 대부분에서 형성되어진다. 결과적으로 네트워크 구조체(10)가 형성되어진다.In connection with Fig. 7, a structure of an optical table constructed according to a fourth preferred embodiment of the present invention is shown. The panel 13 extends as a number of parallel longitudinal slots 131 formed between two sides. In addition, one corner of the column 11 is cut here to form a recess of rectangular cross section. Furthermore, two slits perpendicular to each other are formed in most of the interior of the recess. As a result, the network structure 10 is formed.

도 8 및 도 9와 관련하여, 형성된 구조체(10)는 그 바깥쪽 표면 상에 작은 측면 실링시트(side sealing sheet, 14)와 큰 상부 실링시트(top sealing sheet, 15)와 큰 바닥 실링시트(bottom sealing sheet)를 포함하는 다수의 실링시트가 제공되어진다. 각각의 실링시트는 다수의 칼럼(11)의 측면, 상부 또는 바닥에 결속(secure)되어진다. 결과적으로, 둘러싸인 광학테이블(enclosed optical table, 20)이 형성되어진다. 광학테이블(20)의 크기는 어플리케이션(application)에 따라서 변할 수 있다. 예를 들어, 큰 광학테이블(20)을 형성하기 위하여, 수많은 칼럼(11), 패널(12) 그리고 실링시트(14,15,16)가 요구되어지며, 상기에서 기술된 방식 으로 조립되어진다. 달리 말해서, 이는 모듈식 디자인(modular design)이다. 더욱 중요하게는, 광학장치 또는 반도체 제조설비가 그 위에서 신뢰할 수 있도록 장착되어지거나 또는 위치되어질 수 있도록, 형성된 광학테이블은 충분히 강성(stiff)하고 강하지만 경량(lightweight)이다. 8 and 9, the formed structure 10 has a small side sealing sheet 14, a large top sealing sheet 15 and a large bottom sealing sheet on its outer surface. A number of sealing sheets are provided, including bottom sealing sheet. Each sealing sheet is secured to the side, top or bottom of the plurality of columns 11. As a result, an enclosed optical table 20 is formed. The size of the optical table 20 may vary depending on the application. For example, to form a large optical table 20, a number of columns 11, panels 12 and sealing sheets 14, 15 and 16 are required and assembled in the manner described above. In other words, this is a modular design. More importantly, the formed optical table is sufficiently stiff and strong but lightweight so that the optical device or semiconductor manufacturing equipment can be reliably mounted or positioned thereon.

도 9, 10, 11과 관련하여, 구조체(10)의 바깥쪽 표면(즉, 패널(12))과 측면 실링시트(14) 사이의 공간은 접착제(30, 예, 에폭시)로서 채워지게 된다(도 10 참조). 결과적으로, 광학테이블(20)의 강도(strength)는 접착제가 건조되어진 이후에 강화되어질 수 있다. 나아가, 구조체(10)의 상부와 상부 실링시트(15) 사이의 공간과 구조체(10)의 바닥과 바닥 실링시트(16) 사이의 공간은, 각각 접착제(30, 예, 에폭시)로서 채워지게 된다(도 11 참조). 액체 접착제(30)는 구멍(hole, 121)을 통하여 구조체(10)의 상부 또는 바닥 전체를 통하여 유동될 수 있다. 결과적으로, 광학테이블(20)의 강도는 접착제가 건조되어진 이후에 더욱 강화되어질 수 있다. 나아가, 광학테이블(20)의 강성(stiffness)과 댐핑효과는 개선되어질 수 있다. 9, 10, 11, the space between the outer surface of the structure 10 (ie, the panel 12) and the side sealing sheet 14 will be filled with adhesive 30 (eg, epoxy) ( See FIG. 10). As a result, the strength of the optical table 20 can be strengthened after the adhesive has dried. Furthermore, the space between the top of the structure 10 and the top sealing sheet 15 and the space between the bottom of the structure 10 and the bottom sealing sheet 16 are each filled with an adhesive 30 (eg, epoxy). (See Figure 11). Liquid adhesive 30 may flow through the top or bottom of structure 10 through holes 121. As a result, the strength of the optical table 20 can be further strengthened after the adhesive has dried. Furthermore, the stiffness and damping effect of the optical table 20 can be improved.

도 12와 관련하여, 본 발명에 따라서 광학테이블 내에 형성되어지는 허니콤 코어구조체(honeycomb core structure, 40)가 도시되어진다. 상기 허니콤 코어 구조체(40)는 (세개가 도시되어진) 다수의 허니콤 코어 섹션(section)을 포함한다. 패널(panel, 42)은 두 개의 인접한 허니콤 코어 섹션(41) 사이에서 형성되어진다. 접착제(50, 예, 에폭시)는 인접한 상부 허니콤 코어섹션(41) 또는 인접한 하부 허 니콤 코어섹션(41)에 결속되기 위하여 패널(42)의 표면들 중 하나에 제공되어진다. 이는 다중층(multi-layered) 허니콤 코어 구조체(40)를 일체화한 광학테이블(20)의 강성(stiffness)과 댐핑효과를 개선할 수 있다. 12, a honeycomb core structure 40 is shown to be formed in an optical table in accordance with the present invention. The honeycomb core structure 40 comprises a plurality of honeycomb core sections (shown three). A panel 42 is formed between two adjacent honeycomb core sections 41. An adhesive 50 (eg, epoxy) is provided on one of the surfaces of the panel 42 to bind to the adjacent upper honeycomb core section 41 or the adjacent lower honeycomb core section 41. This can improve the stiffness and damping effect of the optical table 20 incorporating the multi-layered honeycomb core structure 40.

도 13과 도 14와 관련하여, 평행육면체화된 허니콤 코어 구조체(40)는 네 코너(corner)에서 네 개의 칼럼(46)이 제공되어진다. 또한, 작은 측면 실링시트(45)와, 큰 상부 실링시트(43), 그리고 큰 바닥 실링시트(44)를 포함하는 다수의 실링시트는 허니콤 코어 구조체(40)와 칼럼(46)을 둘러싸기 위하여 칼럼(46)에 결속되어진다. 이는 광학 테이블(60)을 형성한다. 도 14와 관련된 도 15와 도 16을 참조하면, 도 9, 10, 11과 관련하여 상기에서 기술된 실시예와 유사하게, 허니콤 코어 구조체(40)의 바깥쪽 표면과 측면 실링시트(45) 사이의 공간은 접착제(50, 예, 에폭시)로서 채워지게 된다(도 15 참조). 결과적으로, 광학테이블(60)의 강도는 접착제가 건조되어진 이후에 강화되어질 수 있다. 나아가, 허니콤 코어 구조체(40)의 상부와 상부 실링시트(43) 사이의 공간과, 허니콤 코어 구조체(40)의 바닥과 바닥 실링시트(44) 사이의 공간은, 각각 접착제(50, 예, 에폭시)로서 채워지게 된다(도 16 참조). 결과적으로, 광학테이블(60)의 강도는 접착제가 건조되어진 이후에 더욱 강화되어질 수 있다. 나아가, 광학테이블(60)의 강도와 댐핑효과는 개선되어질 수 있다. 13 and 14, the parallelepiped honeycomb core structure 40 is provided with four columns 46 at four corners. In addition, a number of sealing sheets, including a small side sealing sheet 45, a large top sealing sheet 43, and a large bottom sealing sheet 44, surround the honeycomb core structure 40 and the column 46. To the column 46 in order. This forms the optical table 60. Referring to FIGS. 15 and 16 in conjunction with FIG. 14, similar to the embodiments described above with respect to FIGS. 9, 10, and 11, the outer surface and side sealing sheet 45 of the honeycomb core structure 40 are described. The spaces between are filled with adhesive 50 (e.g. epoxy) (see Figure 15). As a result, the strength of the optical table 60 can be strengthened after the adhesive has dried. Furthermore, the space between the top of the honeycomb core structure 40 and the top sealing sheet 43 and the space between the bottom of the honeycomb core structure 40 and the bottom sealing sheet 44 are each adhesive 50 (eg, an example). , Epoxy) (see FIG. 16). As a result, the strength of the optical table 60 can be further strengthened after the adhesive has dried. Furthermore, the strength and damping effect of the optical table 60 can be improved.

비록 여기서 개시된 본 발명은 특정한 실시예에 의해서 기술되어지나, 수많은 변형과 수정이 청구항에서 개시된 본 발명의 범위와 사상으로부터 벗어남이 없이 당업자들에 의해서 실시되어질 수 있다. Although the invention disclosed herein is described by the specific embodiments, numerous modifications and variations can be made by those skilled in the art without departing from the scope and spirit of the invention disclosed in the claims.

Claims (11)

모듈식, 경량 광학테이블(modular, lightweight optical table)에 있어서, 상기 광학 테이블은,In a modular, lightweight optical table, the optical table comprises: 서로 조립된 다수의 칼럼(column) 및 다수의 패널(panel)을 포함하는 구조체(structure)와;A structure including a plurality of columns and a plurality of panels assembled to each other; 상기 구조체의 측면에 결합된 다수의 측면 실링시트(sealing sheet)와;A plurality of side sealing sheets coupled to the side of the structure; 상기 구조체의 상부에 결합된 다수의 상부 실링시트와; 그리고,A plurality of upper sealing sheets coupled to the upper portion of the structure; And, 상기 구조체의 바닥에 결합된 다수의 바닥 실링시트를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학테이블An optical table comprising a plurality of bottom sealing sheets coupled to the bottom of the structure 제 1 항에 있어서, 상기 칼럼은 직사각형 또는 정사각형 단면이며, 각각의 네 측면의 사전결정된 길이를 따라서 길이방향으로 연장된 중앙슬릿(central slit)을 포함하여서 칼럼의 대응되는 측면에 인접한 패널이 결속(fastening)을 위하여 상기 슬릿 속으로 삽입되도록 적용되어지는 것을 특징으로 하는 광학테이블The panel of claim 1, wherein the column has a rectangular or square cross section and includes a central slit extending longitudinally along a predetermined length of each of the four sides so that a panel adjacent to the corresponding side of the column is bound ( optical table adapted to be inserted into the slit for fastening 제 1 항에 있어서, 상기 패널은 그 상부면으로부터 사전결정된 위치까지 길이방향으로 연장된 슬릿을 포함하여, 십자형(cross)을 형성하도록 패널의 슬릿이 다른 패널의 슬롯을 통하여 삽입되도록 적용되어지는 것을 특징으로 하는 광학테이블2. The panel of claim 1, wherein the panel includes slits extending longitudinally from a top surface thereof to a predetermined position so that the slits of the panel are adapted to be inserted through slots of other panels to form a cross. Featured Optical Table 제 1 항에 있어서, 상기 측면 실링시트는 실링을 위하여 구조체의 측면에 결속되어지는 것을 특징으로 하는 광학테이블The optical table according to claim 1, wherein the side sealing sheet is bound to the side of the structure for sealing. 제 1 항에 있어서, 상기 상부 실링시트는 구조체의 상부를 실링하기 위하여 칼럼의 상부에 결속되어지고, 바닥 실링시트는 구조체의 바닥의 실링을 위하여 칼럼의 바닥에 결속되어지는 것을 특징으로 하는 광학테이블The optical table of claim 1, wherein the upper sealing sheet is bound to the top of the column to seal the top of the structure, and the bottom sealing sheet is bound to the bottom of the column for sealing the bottom of the structure. 제 1 항에 있어서, 구조체의 패널과 측면 실링시트 사이의 공간은 서로 고정되기 위하여 접착제로서 채워지는 것을 특징으로 하는 광학테이블The optical table according to claim 1, wherein the space between the panel of the structure and the side sealing sheet is filled with an adhesive to be fixed to each other. 제 1 항에 있어서, 구조체의 상부와 상부 실링시트 사이의 공간과, 구조체의 바닥과 바닥 실링시트 사이의 공간은 서로 고정되기 위하여 각각 접착제로서 채워지는 것을 특징으로 하는 광학테이블The optical table according to claim 1, wherein the space between the top and the top sealing sheet of the structure and the space between the bottom and the bottom sealing sheet of the structure are each filled with an adhesive to be fixed to each other. 다수의 허니콤 코어섹션(honeycomb core section)을 포함하는 허니콤 코어 구조체(honeycomb core structure)와;A honeycomb core structure comprising a plurality of honeycomb core sections; 상기 허니콤 코어 구조체의 측면들에 결합된 다수의 측면 실링시트(sealing sheet)와;A plurality of side sealing sheets coupled to the sides of the honeycomb core structure; 상기 허니콤 코어 구조체의 상부(top)에 결합된 다수의 상부 실링시트와; 그리고,A plurality of upper sealing sheets coupled to the top of the honeycomb core structure; And, 상기 허니콤 코어 구조체의 바닥(bottom)에 결합된 다수의 바닥 실링시트를 포함하는, 모듈식, 경량 광학테이블(modular, lightweight optical table)에 있어서, In a modular, lightweight optical table comprising a plurality of bottom sealing sheets bonded to the bottom of the honeycomb core structure, 허니콤 코어 구조체의 바깥쪽 표면과 측면 실링시트 사이의 공간, 허니콤 코어 구조체의 상부(top)와 상부 실링시트 사이의 공간, 그리고 허니콤 코어 구조체의 바닥(bottom)과 바닥 실링시트 사이의 공간은 서로 고정되기 위하여 각각 접착제로써 채워지는 것을 특징으로 하는 광학테이블Space between outer surface and side sealing sheet of honeycomb core structure, space between top and top sealing sheet of honeycomb core structure, space between bottom and bottom sealing sheet of honeycomb core structure Optical tables, each of which is filled with an adhesive for fixing to each other 제 8 항에 있어서, 상기 허니콤 코어 구조체는 두 개의 인접한 허니콤 코어섹션 사이에 형성된 패널(panel)을 추가로 포함하며, 상기 패널의 상부 또는 바닥표면 중 하나는 인접한 상부 허니콤 코어섹션 또는 인접한 하부 허니콤 코어섹션 중 하나에 결속되기 위하여 제공되어지는 것을 특징으로 하는 광학테이블9. The honeycomb core structure of claim 8, wherein the honeycomb core structure further comprises a panel formed between two adjacent honeycomb core sections, wherein one of the top or bottom surface of the panel is adjacent to the top honeycomb core section or the adjacent one. An optical table provided for binding to one of the lower honeycomb core sections 제 8 항에 있어서, 상기 허니콤 코어 구조체는 네 개의 코너(corner)에서 네 개의 칼럼을 추가로 포함하며, 허니콤 코어 구조체와 칼럼을 둘러싸기 위하여 측면 실링시트와, 상부 실링시트, 그리고 바닥 실링시트가 칼럼에 결합되어지는 것을 특징으로 하는 광학테이블9. The honeycomb core structure according to claim 8, wherein the honeycomb core structure further comprises four columns at four corners, the side sealing sheet, the top sealing sheet, and the bottom sealing to surround the honeycomb core structure and the column. Optical table characterized in that the sheet is joined to the column 삭제delete
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