KR100680867B1

KR100680867B1 - The structure of nozzle pin-inserted-shower head

Info

Publication number: KR100680867B1
Application number: KR1020050046279A
Authority: KR
Inventors: 엄평용
Original assignee: 주식회사 유진테크
Priority date: 2005-05-31
Filing date: 2005-05-31
Publication date: 2007-02-09
Also published as: KR20060124381A

Abstract

본 발명은 비메탈계의 재질인 노즐핀이 삽입된 형태의 샤워헤드에 관한 것으로서, 특히 샤워헤드바디와 재질이 다른 비메탈계 재질의 노즐핀이 삽입된 구성에 의해 상기 노즐핀내부의 노즐에 비반응가스의 흡착을 방지하여 상기 가스의 유동량을 일정하게 유지하고, 그에 의해 웨이퍼상의 막 두께 균일도를 향상시키는 효과가 있는 화학기상증착장치의 샤워헤드에 관한 것이다.The present invention relates to a shower head of a non-metal type nozzle pin is inserted, in particular a nozzle head of the non-metal material different from the shower head body is inserted into the nozzle inside the nozzle pin. The present invention relates to a showerhead of a chemical vapor deposition apparatus that has an effect of preventing adsorption of unreacted gas to maintain a constant flow rate of the gas, thereby improving film thickness uniformity on a wafer.

화학기상증착장치, 샤워헤드, 노즐핀, 박막두께 Chemical Vapor Deposition System, Shower Head, Nozzle Pin, Thin Film Thickness

Description

노즐핀 삽입형 샤워헤드 {The structure of nozzle pin-inserted-shower head}Nozzle Pin Insert Shower Head {The structure of nozzle pin-inserted-shower head}

도1 및 도2는 종래의 샤워헤드에 대한 개념도 및 단면확대도,1 and 2 is a conceptual view and a cross-sectional enlarged view of a conventional shower head,

도3은 종래의 샤워헤드에 의한 웨이퍼용 샤워헤드에 대한 개념도,3 is a conceptual diagram of a showerhead for a wafer by a conventional showerhead;

도4는 종래의 샤워헤드에 의한 LCD용 샤워헤드에 대한 개념도,4 is a conceptual diagram of an LCD showerhead by a conventional showerhead;

도5는 본 발명에 의한 샤워헤드에 대한 단면도,5 is a cross-sectional view of a showerhead according to the present invention;

도6은 본 발명에 의한 샤워헤드 및 노즐핀의 사시도,6 is a perspective view of a shower head and a nozzle pin according to the present invention;

도7은 본 발명에 의한 샤워헤드 및 샤워헤드 바디 및 노즐핀의 단면 조립도,7 is a cross-sectional view of the shower head and the shower head body and the nozzle pin according to the present invention;

도8 내지 도14는 본 발명에 의한 또 다른 샤워헤드 바디 및 노즐핀에 대한 단면 조립도,8 to 14 is a cross-sectional assembly view of another shower head body and the nozzle pin according to the present invention,

도15는 본 발명에 의한 또 다른 샤워헤드 바디 및 노즐핀에 대한 사시도,15 is a perspective view of another showerhead body and a nozzle pin according to the present invention;

도16 내지 도 19는 본 발명에 의한 또 다른 샤워헤드 바디 및 노즐핀에 대한 단면 조립도,16 to 19 is a cross-sectional assembly view of another shower head body and the nozzle pin according to the present invention,

도20은 본 발명에 의한 샤워헤드를 이용한 화학기상증착장치의 개념도,20 is a conceptual diagram of a chemical vapor deposition apparatus using a shower head according to the present invention;

도21은 본 발명에 의한 웨이퍼용 샤워헤드에 대한 개념도,21 is a conceptual diagram of a showerhead for a wafer according to the present invention;

도22는 본 발명에 의한 LCD용 샤워헤드에 대한 개념도,Fig. 22 is a conceptual diagram of an LCD shower head according to the present invention;

도23은 본 발명에 의한 노즐핀의 배열을 나타내는 상태도이다.Fig. 23 is a state diagram showing the arrangement of the nozzle pins according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 설명><Description of main parts of drawing>

100 : 샤워헤드 S : 샤워헤드바디100: shower head S: shower head body

N : 노즐 핀N: nozzle pin

110, 130, 150, 170, 190, 210, 230, 250, 270, 290, 310, 330 : 노즐핀110, 130, 150, 170, 190, 210, 230, 250, 270, 290, 310, 330: nozzle pin

120, 140, 160, 180, 200, 220, 240, 260, 280, 300, 320, 430 :샤워헤드 바디120, 140, 160, 180, 200, 220, 240, 260, 280, 300, 320, 430: showerhead body

본 발명은 노즐핀이 삽입된 형태의 샤워헤드에 관한 것으로서, 특히 샤워헤드바디와 재질이 다른 비메탈계 재질의 노즐핀이 삽입된 구성에 의해 상기 노즐핀내부의 노즐에 비반응가스의 흡착을 방지하여 상기 가스의 유동량을 일정하게 유지하고, 그에 의해 웨이퍼상의 막 두께 균일도를 향상시키는 기능을 갖는 화학기상증착장치의 샤워헤드에 관한 것이다.The present invention relates to a shower head in which a nozzle pin is inserted, and in particular, a non-metallic nozzle pin of a different material from the shower head body is inserted to prevent adsorption of non-reacted gas to the nozzle inside the nozzle pin. The present invention relates to a showerhead of a chemical vapor deposition apparatus, which has a function of preventing and maintaining a constant flow rate of the gas, thereby improving film thickness uniformity on a wafer.

일반적으로 웨이퍼상에 박막을 형성하는 방법으로서 스퍼터링(sputtering)법과 같은 물리적 충돌을 이용하는 방법(PVD)과 화학반응을 이용하여 박막을 형성하는 (CVD)방법이 있으나, 상기 PVD법에 비해 CVD법에 의한 경우가 두께의 균일도 내지는 스텝 커버리지 특성이 훌륭하여 상기 CVD법이 널리 사용되고 있다.In general, as a method of forming a thin film on a wafer, there is a method of using a physical collision such as sputtering (PVD) and a method of forming a thin film using a chemical reaction (CVD) method, but compared to the PVD method The CVD method is widely used because of excellent thickness uniformity or step coverage characteristics.

상기 CVD법을 이용하는 경우에도 균일한 박막증착이 중대한 관심사인 만큼 상기 균일한 박막증착을 위해서 가스 분사의 균일한 분포가 중요한 요소가 된다.Even in the case of using the CVD method, since uniform thin film deposition is a significant concern, uniform distribution of gas injection becomes an important factor for the uniform thin film deposition.

종래에는 상술한 바와 같이 균일한 가스분포를 위하여 샤워헤드바디에 노즐을 가공하여 분사하는 구성이 사용되고 있는바 이하 첨부된 도1 및 도 2를 참조하여 설명하기로 한다.Conventionally, as described above, a configuration in which a nozzle is processed and sprayed on a shower head body for uniform gas distribution is used, which will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1에 도시된 바와 같이 일반적인 CVD장치의 경우 증착하고자하는 웨이퍼(60)의 상부에 샤워헤드(40)가 배치되어 상기 샤워헤드(40)로부터 가스가 분출되어 증착된다. 상기 가스는 가스공급장치(60,70)으로부터 공급되어 가스주입포트(21)를 통과하여 공급되게 된다.As shown in FIG. 1, in the general CVD apparatus, a shower head 40 is disposed on an upper portion of a wafer 60 to be deposited, and gas is ejected and deposited from the shower head 40. The gas is supplied from the gas supply devices 60 and 70 to be supplied through the gas injection port 21.

상기 샤워헤드(40)의 경우 샤워헤드바디에 노즐핀(41)을 가공해서 형성되며(도 2참조), 이를 이용하여 웨이퍼를 가공하거나(도 3참조) LCD를 가공하게 된다.(도 4참조)In the case of the shower head 40 is formed by processing the nozzle pin 41 in the shower head body (see Fig. 2), the wafer is processed using this (see Fig. 3) or the LCD is processed (see Fig. 4). )

다시말해, 상기 종래의 샤워헤드의 경우 상술한 바와 같이 샤워헤드바디에 노즐핀(41)을 가공하는 구성이어서 결국 상기 노즐핀(41)의 재질이 메탈계인 샤워헤드바디와 동일한 재질로 된다.In other words, the conventional shower head is configured to process the nozzle pin 41 in the shower head body as described above, so that the nozzle pin 41 is made of the same material as the shower head body made of metal.

이러한 바에 의해 상기 반응가스가 메탈계 재질인 노즐핀(41)을 통과하여 분출되게 되어 상기 가스중 일부가 상기 노즐핀(41)에 흡착되게 된다.As a result, the reaction gas is ejected through the nozzle pin 41 made of a metal material, so that some of the gas is adsorbed by the nozzle pin 41.

이에 의해 장시간 사용하는 경우 상기 흡착된 가스의 양이 증가함에 따라 가스의 분사가 균일하지 못하게 되고, 상기 균일하지 못한 가스 분사에 의해 박막의 두께 또한 균일하지 못한 문제점이 있었다.As a result, when used for a long time, as the amount of the adsorbed gas increases, the gas is not uniformly sprayed, and there is a problem that the thickness of the thin film is not uniform due to the uneven gas spraying.

본 발명은 상술한 바와 같이 노즐내부의 흡착에 의해 가스 분사량이 분균일해지고 그에 의해 박막두께가 불균일한 문제점을 해결하기 위한 것으로서 샤워헤드본체에 비메탈계 노즐핀을 삽입하는 구성에 의해 가스의 흡착을 방지하여 가스의 분사를 일정하게 하여 박막두께를 균일하게 하는 화학증착장치의 샤워헤드를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the problem that the gas injection amount is uneven by the adsorption inside the nozzle and the film thickness is non-uniform by the adsorption inside the nozzle as described above. It is an object of the present invention to provide a showerhead of a chemical vapor deposition apparatus that prevents the injection of the gas to make the injection of gas uniform, thereby making the film thickness uniform.

상술한 목적은 가스가 분사되는 비메탈계인 삽입형 노즐핀과 상기 노즐핀이 다수개 삽입된 샤워헤드바디로 구성되는 샤워헤드로서, 상기 삽입형 노즐핀은 가스 분출을 위한 노즐과 상기 노즐을 지지하는 하우징으로 구성되고, 상기 샤워헤드바디는 상기 삽입형 노즐핀이 다수개 삽입되기 위한 삽입홀이 형성되어 있는 노즐핀 삽입형 샤워헤드에 의해 달성될 수 있다.The above-described object is a shower head comprising a non-metal-type insert nozzle pin and a shower head body in which a plurality of nozzle pins are inserted, wherein the insert nozzle pin has a nozzle for ejecting a gas and a housing for supporting the nozzle. The shower head body may be achieved by a nozzle pin insertion shower head in which an insertion hole for inserting a plurality of the insertion nozzle pins is formed.

이때 상기 노즐의 형상은 가스분출에 적당한 형태로 형성하는 것이 바람직하여, 그 재질은 질화알루미늄이나 산화알루미늄 또는 테플론을 이용하는 것이 바람직하다.At this time, the shape of the nozzle is preferably formed in a shape suitable for gas ejection, the material is preferably aluminum nitride, aluminum oxide or Teflon.

본 발명은 상술한 바와 같이 가스의 균일한 분사를 위해 노즐내부의 흡착을 방지하기 위하여 비메탈계의 노즐핀을 샤워헤드본체에 삽입하는 구성을 그 기술적 사상으로 한다.The technical idea of the present invention is to insert a non-metal nozzle pin into the shower head body in order to prevent adsorption inside the nozzle for uniform injection of gas as described above.

이하 실시예와 첨부된 도면에 의해 상기 기술적 사상을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the technical spirit will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

상술한 바와 같이 본 발명은 샤워헤드(100)의 샤워헤드바디(S)에 삽입홀(도시되지 않음)을 형성한 후 비메탈계 재질의 노즐핀(N)을 삽입하는 구성으로 되어있다.(도 5참조)As described above, the present invention is configured to insert the nozzle pin (N) of the non-metal material after forming the insertion hole (not shown) in the shower head body (S) of the shower head (100). 5)

이때 본 발명의 노즐핀(N)은 비메탈계 재질로서 질화알루미늄(AlN)이나 산화알루미늄(Al2O3) 또는 테플론등이 사용된다.At this time, the nozzle pin (N) of the present invention is used as a non-metal-based material, such as aluminum nitride (AlN), aluminum oxide (Al2O3) or Teflon.

상기 질화알루미늄은 알루미늄(Al)과 질소(N)의 반응물로서, 높은 열전도도 및 낮은 열팽창률, 높은 전기저항, 우수한 내식성등 물성치가 우수하여 본 발명과 같이 웨이퍼를 증착하는 노즐핀(N)으로서 적합하다.The aluminum nitride is a reactant of aluminum (Al) and nitrogen (N), and has a high thermal conductivity, low thermal expansion coefficient, high electrical resistance, excellent corrosion resistance, and the like as the nozzle pin (N) for depositing a wafer according to the present invention. Suitable.

또한, 산화알루미늄은 알루미늄(Al)이 산화된 것으로서, 통상 알루미나라고 불리기도 하는 물질로서 상기 질화알루미늄처럼 본 발명의 노즐핀(N)으로서 적합한 재질이다.In addition, aluminum oxide is a material in which aluminum (Al) is oxidized, and is also commonly referred to as alumina, and is a material suitable as the nozzle pin (N) of the present invention like the aluminum nitride.

한편 상기 테플론은 플루오르를 함유한 플라스틱 즉 플루오르수지(fluororesin)로서 , 화학적 성질이 우수하여 본 발명의 노즐핀(N)에 적합하다. On the other hand, the Teflon is a fluorine-containing plastic, that is, fluororesin (fluororesin), and excellent in chemical properties are suitable for the nozzle pin (N) of the present invention.

이상 상술한 바와 같은 재질을 가지는 본 발명의 노즐핀(N)은 그 형상 또한 가스 유동에 적합한 형상이 요구되는바 이하 상기 노즐핀(N)의 형상에 여러 실시예를 통해 설명하기로 한다.Since the shape of the nozzle pin (N) of the present invention having the material as described above is required for the shape and also suitable for the gas flow will be described through various embodiments in the shape of the nozzle pin (N) below.

실시예1Example 1

상기 삽입형 노즐핀(110)은 원통형상인 하우징(111) 및 그 내부에 형성되는 노즐(112)로 구성된다.(도 6내지 도 7참조)The insertion nozzle pin 110 is composed of a housing 111 having a cylindrical shape and a nozzle 112 formed therein (see FIGS. 6 to 7).

상기 도 7은 삽입형 노즐핀(110)과 상기 삽입형 노즐핀(110)이 삽입되는 샤워헤드바디(120)의 단면을 도시한 것이다. 특히 노즐(112)형상을 보다 명확하게 도시하기 위하여 아래와 같이 설명되는 노즐(112)의 각부 형상은 은선으로 구획되어있는바, 상기 은선은 노즐(112)의 각부 형상을 설명하기 위한 것으로서 노즐(112)의 형상을 나타내는 것은 아니며 이하 동일하다.7 illustrates a cross-sectional view of the insertable nozzle pin 110 and the shower head body 120 into which the insertable nozzle pin 110 is inserted. Particularly, in order to more clearly illustrate the shape of the nozzle 112, the shape of each part of the nozzle 112 described below is divided by a hidden line. The hidden line is used to explain the shape of each part of the nozzle 112. It does not represent the shape of) and is the same below.

상기 노즐(122)은 상기 하우징(111)상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(112a)가 형성되고, 상기 제1도입부(112a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(112b)가 형성된다.The nozzle 122 penetrates the upper surface of the housing 111 and is formed vertically to form a first introduction portion 112a having a uniform width. The nozzle 122 is formed under the first introduction portion 112a and is in a downward direction. Thus, the first extension part 112b is widened.

또한, 상기 제1확장부(112b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2도입부(112c)가 형성되고, 상기 제2도입부(112c)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제2확장부(112d)가 형성된다.In addition, a second introduction portion 112c which is formed under the first extension portion 112b and is formed vertically and uniform in width is formed, and is formed under the second introduction portion 112c and moves downward. The second extension part 112d is widened.

그리고, 상기 제2확장부(112d)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제3도입부(112e) 그리고 상기 제3도입부(122e)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(111) 하면을 관통하여 형성되는 제4확장부(112f)로서 상기 노즐(112)이 구성된다.And formed under the second extension portion 112d, formed under the third introduction portion 112e and vertically formed with uniform width, and wider in the lower direction. The nozzle 112 is configured as a fourth extension part 112f formed through the lower surface of the housing 111 in a losing shape.

상기 노즐(112)이 삽입되는 상기 샤워헤드 바디(120)는 본체(121) 및 상기 본체(121)에 상기 노즐핀(110)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(112a) 및 상기 노즐핀삽입부 (112a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 분사구(122b)로 되는 수용부 (122)로 구성되게 된다.The shower head body 120 into which the nozzle 112 is inserted includes a main body 121 and a nozzle pin insertion part 112a and the nozzle pin insertion formed to insert the nozzle pin 110 into the main body 121. The lower part of the part 112a is comprised by the accommodating part 122 which becomes the injection hole 122b which becomes wider toward the lower side.

이러한 형상을 가지는 노즐핀(110) 및 샤워헤드바디(120)의 구성에 의해 유체가 보다 원활하고 균일하게 분사될 수 있다.By the configuration of the nozzle pin 110 and the shower head body 120 having such a shape, the fluid can be more smoothly and uniformly injected.

실시예2Example 2

본 실시예2에서 상기 삽입형 노즐핀(130)은 원통형상인 하우징(131) 및 그 내부에 형성되는 노즐(132)로 구성됨은 유사하다.(도 8참조)In the second embodiment, the insertable nozzle pin 130 is similar to the cylindrical housing 131 and the nozzle 132 formed therein (see FIG. 8).

그러나, 본 실시예2의 노즐(132)은 상기 하우징(131) 상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(132a)와 상기 제1도입부(132a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(132b), 그리고 상기 제1확장부(132b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2 도입부(132c)가 배치되고, However, the nozzle 132 of the second embodiment is formed under the first introduction portion 132a and the first introduction portion 132a having a uniform width while penetrating the upper surface of the housing 131. A first inlet 132b having a wider width in the lower direction, and a second inlet 132c having a vertical width and having a uniform width, formed under the first extension 132b,

상기 제2도입부(132c)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제2확장부(132d), 그리고 상기 제2확장부(132d)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제3도입부(132e)및A second extension portion 132d formed below the second introduction portion 132c and widening in a downward direction, and a bottom portion formed below the second extension portion 132d and formed vertically and having a uniform width; One third introduction portion 132e and

상기 제3도입부(132e)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(131) 하면을 관통하여 형성되는 제4확장부(132f)로 구성된다.The fourth extension part 132f is formed under the third introduction part 132e and extends downward in the lower direction, and is formed through the lower surface of the housing 131.

또한, 상기 샤워헤드 바디(140)는 본체(141) 및 상기 본체(141)에 상기 노즐핀(130)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(142a)와, 상기 노즐핀삽입부 (112a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 제1분사구(142b) 및 상기 제1분사구(142b)의 밑에 형성되는 한편 그 폭이 상기 제1분사구(142b)보다 더 넓은 제2분사구(142c)로 되는 수용부 (142)로 구성되게 된다.In addition, the shower head body 140 of the main body 141 and the nozzle pin insertion portion 142a is formed so that the nozzle pin 130 is inserted into the main body 141 and the nozzle pin insertion portion 112a The first injection port 142b, which is widened toward the lower side of the lower surface, is formed under the first injection port 142b, and has a width that is wider than the first injection port 142b. Section 142.

도 8에서 상기 제1분사구(142b)와 제2분사구(142c)사이에 나타나있는 은선은 상술한 경우와 마찬가지로 설명의 편의를 위한 것이며 어떠한 형상을 나타내는 것은 아니다. 이하 동일하며 이에 대한 서술은 생략하기로 한다.In FIG. 8, the hidden line shown between the first injection port 142b and the second injection port 142c is for convenience of description and does not represent any shape as described above. The same will be described below and description thereof will be omitted.

실시예3Example 3

볼 실시예3에서도 역시 삽입형 노즐핀(150)은 원통형상인 하우징(151) 및 그 내부에 형성되는 노즐(152)로 구성된다.(도 9참조)Also in the third embodiment, the insertable nozzle pin 150 is composed of a cylindrical housing 151 and a nozzle 152 formed therein (see Fig. 9).

본 실시예3의 노즐(152)은 상기 하우징(151) 상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(152a)와, 상기 제1도입부(152a)의 밑에 형성되 는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(152b) 그리고, 상기 제1확장부(152b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2도입부(152c)가 배치되며,The nozzle 152 of the third embodiment is formed below the first introduction portion 152a and the first introduction portion 152a having a uniform width through the upper surface of the housing 151 and vertically. A first extension part 152b wider in the downward direction and a second introduction part 152c formed vertically and having a uniform width while being formed under the first extension part 152b,

상기 제2도입부(152c)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(151) 하면을 관통하여 형성되는 제2확장부(152d)로 구성되고,It is formed under the second introduction portion 152c, and has a shape that is wider in the downward direction and consists of a second expansion portion 152d formed through the lower surface of the housing 151,

본 실시예3의 샤워헤드 바디(160)는 본체(161) 및 상기 본체(161)에 상기 노즐핀(150)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(162a)와, 상기 노즐핀삽입부 (162a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 제1분사구(162b) 및 상기 제1분사구(162b)의 밑에 형성되는 한편 그 폭이 상기 제1분사구(162b)보다 더 넓은 제2분사구(162c)로 되는 수용부 (162)로 구성된다.The showerhead body 160 of the third embodiment includes a nozzle pin insertion portion 162a and a nozzle pin insertion portion 162a formed to insert the nozzle pin 150 into the body 161 and the body 161. ) Is formed under the first injection port 162b and the first injection port 162b, the width of which is widened toward the lower side of the lower surface, and the second injection port 162c is wider than the first injection port 162b. Consisting of a receiving portion 162.

실시예4Example 4

본 실시예4의 경우에도 삽입형 노즐핀(170)은 원통형상인 하우징(171) 및 그 내부에 형성되는 노즐(172)로 구성된다.(도 10참조)Also in the fourth embodiment, the insertion nozzle pin 170 is composed of a cylindrical housing 171 and a nozzle 172 formed therein (see Fig. 10).

또한 본 실시예4의 노즐(172)은 상기 하우징(171)상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(172a)와, 상기 제1도입부(172a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(172b) 그리고, 상기 제1확장부(172b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2도입부(172c)가 배치되며, 상기 제2도입부(172c)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향 으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(171) 하면을 관통하여 형성되는 제2확장부(172d)로 구성된다.In addition, the nozzle 172 of the fourth embodiment is formed below the first introduction portion 172a and the first introduction portion 172a having a uniform width through the upper surface of the housing 171 and vertically. The first extension part 172b which is widened in the lower direction and the second introduction part 172c which are formed under the first extension part 172b and are formed vertically and have a uniform width are disposed. The second extension part 172d is formed below the second introduction part 172c and is formed to penetrate the lower surface of the housing 171 as a shape that is wider in the downward direction.

또한 본 실시예4의 샤워헤드 바디(180)는 본체(181) 및 상기 본체(181)에 상기 노즐핀(170)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(182a) 및 상기 노즐핀삽입부 (182a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 분사구(182b)로 되는 수용부 (182)로 구성된다.In addition, the shower head body 180 of the fourth embodiment is a nozzle pin inserting portion 182a and the nozzle pin inserting portion 182a which are formed so that the nozzle pin 170 is inserted into the main body 181 and the main body 181. The lower surface of the () is composed of a receiving portion 182 that becomes a jet port 182b wider toward the lower side.

실시예5Example 5

본 실시예5의 경우에도 삽입형 노즐핀(190)은 원통형상인 하우징(191) 및 그 내부에 형성되는 노즐(192)로 구성된다.(도 11참조)Also in the case of the fifth embodiment, the insertion nozzle pin 190 is composed of a cylindrical housing 191 and a nozzle 192 formed therein (see Fig. 11).

본 실시예5의 노즐(192)은 상기 하우징(191)상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(192a)와, 상기 제1도입부(192a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(191) 하면을 관통하여 형성되는 제1확장부(192b)로 구성되며,The nozzle 192 of the fifth embodiment is formed below the first introduction portion 192a and the first introduction portion 192a, which are vertically penetrating the upper surface of the housing 191 and have a uniform width. It is composed of a first expansion portion (192b) formed to penetrate the lower surface of the housing 191 as a width widening in the lower direction,

본 실시예5의 샤워헤드 바디(200)는 본체(201) 및 상기 본체(201)에 상기 노즐핀(190)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(202a) 및 상기 노즐핀삽입부 (202a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 분사구(202b)로 되는 수용부 (202)로 구성된다.The showerhead body 200 according to the fifth embodiment includes a nozzle pin inserting portion 202a and the nozzle pin inserting portion 202a formed to insert the nozzle pin 190 into the main body 201 and the main body 201. It is composed of a receiving portion 202 which becomes a spray hole 202b wider toward the lower side on the lower surface of the.

실시예6Example 6

본 실시예6의 경우에도 삽입형 노즐핀(210)은 원통형상인 하우징(211) 및 그 내부에 형성되는 노즐(212)로 구성된다.(도 12참조)Also in the sixth embodiment, the insertable nozzle pin 210 is composed of a cylindrical housing 211 and a nozzle 212 formed therein (see Fig. 12).

본 실시예6의 노즐(212)은 상기 하우징(211) 상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(212a)와, 상기 제1도입부(212a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(211) 하면을 관통하여 형성되는 제1확장부(212b)로 구성되고,The nozzle 212 of the sixth embodiment penetrates the upper surface of the housing 211 and is formed vertically so as to be formed under the first introduction portion 212a and the first introduction portion 212a having a uniform width. It is composed of a first expansion portion 212b formed to penetrate the lower surface of the housing 211 as a shape widening in the downward direction,

상기 샤워헤드 바디(220)는 본체(221) 및 상기 본체(221)에 상기 노즐핀(210)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(222a)와, 상기 노즐핀삽입부 (222a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 제1분사구(222b) 및 상기 제1분사구(222b)의 밑에 형성되는 한편 그 폭이 상기 제1분사구(222b)보다 더 넓은 제2분사구(222c)로 되는 수용부 (222)로 구성되게 된다.The shower head body 220 is formed on the lower surface of the nozzle pin insertion portion 222a and the nozzle pin insertion portion 222a which are formed such that the nozzle pin 210 is inserted into the body 221 and the body 221. Receiving portion formed below the first injection port 222b and the first injection port 222b, the width of which is widened toward the lower side, and the second injection port 222c wider than the first injection port 222b ( 222).

실시예7Example 7

본 실시예7의 경우에도 삽입형 노즐핀(230)은 원통형상인 하우징(231) 및 그 내부에 형성되는 노즐(232)로 구성된다.(도 13참조)Also in the seventh embodiment, the insertable nozzle pin 230 is composed of a cylindrical housing 231 and a nozzle 232 formed therein (see Fig. 13).

상기 노즐(232)은 상기 하우징(231)상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 형상으로서 상기 하우징(191) 하면을 관통하여 형성되게 구성되고,The nozzle 232 is formed to penetrate the upper surface of the housing 231 while being vertically formed so as to penetrate the lower surface of the housing 191 as a uniform shape.

상기 샤워헤드 바디(240)는 본체(241) 및 상기 본체(241)에 상기 노즐핀(230)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(242a) 및 상기 노즐핀삽입부 (242a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 분사구(242b)로 되는 수용부 (242)로 구성된다.The shower head body 240 has a width at a lower surface of the nozzle pin inserting portion 242a and the nozzle pin inserting portion 242a which are formed to insert the nozzle pin 230 into the main body 241 and the main body 241. It consists of the accommodating part 242 used as the injection port 242b which becomes wider toward this lower side.

실시예8Example 8

본 실시예8의 경우 삽입형 노즐핀(250)은 원통형상인 하우징(251) 및 그 내부에 형성되는 노즐(252)로 구성됨은 동일하다.(도 14참조)In the case of the eighth embodiment, the insertable nozzle pin 250 is composed of a cylindrical housing 251 and a nozzle 252 formed therein (see FIG. 14).

본 실시예8의 노즐(252)은 상기 하우징(251)상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 형상으로서 상기 하우징(151) 하면을 관통하여 형성되게 구성되고,The nozzle 252 of the eighth embodiment is formed vertically while penetrating the upper surface of the housing 251 and is formed to penetrate the lower surface of the housing 151 as a uniform shape.

상기 샤워헤드 바디(260)는 본체(261) 및 상기 본체(261)에 상기 노즐핀(250)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(262a) 및 상기 노즐핀삽입부 (242a)의 하면에 폭이 균일한 형상인 분사구(262b)로 되는 수용부(262)로 구성된다.The shower head body 260 has a width at a lower surface of the nozzle pin insertion portion 262a and the nozzle pin insertion portion 242a which are formed such that the nozzle pin 250 is inserted into the body 261 and the body 261. It is comprised by the accommodating part 262 used as the injection port 262b which is this uniform shape.

이상 상술한 실시예1 내지 실시예8에서 나타낸 바와 같이 본 발명은 하우징 내부에 노즐이 형성되어 있는 노즐핀을 상기 노즐핀을 수용하기 위한 수용부가 형성되어 있는 샤워헤드바디에 삽입하여 샤워헤드를 구성하는 것이다.As described above in the first to eighth embodiments of the present invention, a shower head is formed by inserting a nozzle pin in which a nozzle is formed in a housing into a shower head body in which a receiving portion for accommodating the nozzle pin is formed. It is.

이때 상기 노즐핀은 상술한 바와 같이 비메탈계의 재질을 사용하게 되어 장시간 사용하여도 가스가 흡착되지 않아 균일한 증착두께를 얻을 수 있는 것이다.At this time, the nozzle pin is made of a non-metallic material as described above, so that even when used for a long time, no gas is adsorbed to obtain a uniform deposition thickness.

상술한 바와 같은 형상의 노즐핀과 샤워헤드바디의 구성외에도 노즐핀 상부에 걸림부를 형성하는 한편 상기 샤워헤드바디에 상기 걸림부가 안착되는 단턱부를 형성하는 것도 가능하다.In addition to the configuration of the nozzle pin and the shower head body of the shape described above, it is also possible to form a locking portion on the nozzle pin upper portion and to form a stepped portion on which the locking portion is seated on the shower head body.

이하 각 실시예를 통해 설명하기로 한다.Hereinafter will be described through each embodiment.

실시예9Example 9

본 실시예9의 경우 삽입형 노즐핀(270)은 원통형상의 하우징(272)과, 상기 하우징(272)의 상면에 원판형상으로 배치되되 그 직경은 상기 하우징(272)의 직경보다 큰 걸림부(271) 및 상기 하우징(272)와 걸림부(271)의 내부에 관통되어 형성되는 노즐(272)로 된다.(도 15 및 도 16참조)In the case of the ninth embodiment, the insertion nozzle pin 270 is disposed in the cylindrical housing 272 and the upper surface of the housing 272 in a disc shape, the diameter of which is larger than the diameter of the housing 272 And a nozzle 272 penetrating through the housing 272 and the locking portion 271. (See Figs. 15 and 16)

상기 노즐(272)은 상기 하우징(272) 및 걸림부(271)을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(273a)와 상기 제1도입부(273a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(273b) 그리고, 상기 제1확장부(273b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2도입부(273c)가 배치되며,The nozzle 272 penetrates the housing 272 and the locking portion 271 and is formed vertically, and is formed under the first introduction portion 273a and the first introduction portion 273a having a uniform width. A first extension portion 273b wider in the downward direction and a second introduction portion 273c formed vertically and having a uniform width while being formed under the first extension portion 273b;

상기 제2도입부(273c)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제2확장부(273d)와, 상기 제2확장부(273d)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제3도입부(273e) 그리고, 상기 제3도입부(273e)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(272) 하면을 관통하여 형성되는 제4확장부(273f)로 구성된다.A second extension portion 273d formed below the second introduction portion 273c and widening in a downward direction, and a second extension portion 273d formed below the second extension portion 273d and formed vertically and having a uniform width; The third introduction portion 273e and the fourth extension portion 273f formed under the third introduction portion 273e and wider in the downward direction and formed through the lower surface of the housing 272. It is composed.

또한 본 실시예9의 샤워헤드 바디(280)는 본체(281)와 상기 본체(281)에 상기 노즐핀(270)이 관통되어 삽입되기 위한 수용부(282) 및 상기 수용부(282) 주위 로 상기 걸림구(271)가 안착되도록 단턱이 형성된 단턱부(283)로 구성되게 된다.In addition, the showerhead body 280 of the ninth embodiment includes a main body 281 and a receiving portion 282 and the receiving portion 282 to be inserted through the nozzle pin 270 through the main body 281. The latch 271 is configured to include a stepped portion 283 in which a stepped portion is formed.

이하 타 실시예에서는 도 15와 같은 사시도는 생략하기로 한다.In the following other embodiments, a perspective view as shown in FIG. 15 will be omitted.

실시예10Example 10

본 실시예10의 경우에도 삽입형 노즐핀(290)은 원통형상의 하우징(292)과, 상기 하우징(292)의 상면에 원판형상으로 배치되되 그 직경은 상기 하우징(272)의 직경보다 큰 걸림부(291) 및 상기 하우징(292)와 걸림부(291)의 내부에 관통되어 형성되는 노즐(292)로 된다.(도 17참조)In the case of the tenth embodiment, the insertion nozzle pin 290 is disposed in a cylindrical shape on the upper surface of the housing 292 and the housing 292, the diameter of which is larger than the diameter of the housing 272 ( 291 and a nozzle 292 penetrating through the housing 292 and the locking portion 291. (See Fig. 17).

상기 노즐(292)은 상기 하우징(292) 및 걸림부(291)을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(293a)와 상기 제1도입부(293a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(293b) 그리고 상기 제1확장부(293b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2도입부(293c)가 배치되며,The nozzle 292 penetrates the housing 292 and the locking portion 291, and is formed vertically under the first introduction portion 293a and the first introduction portion 293a having a uniform width. A first extension portion 293b that is widened in a downward direction and a second introduction portion 293c that is formed under the first extension portion 293b and is vertically formed and has a uniform width,

상기 제2도입부(293c)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(292) 하면을 관통하여 형성되는 제2확장부(293d)로 구성된다.The second extension part 293c is formed under the second introduction part 293c and extends downward in a downward direction. The second extension part 293d is formed through the lower surface of the housing 292.

한편 본 실시예10의 샤워헤드 바디(300)는 본체(301)와 상기 본체(301)에 상기 노즐핀(290)이 관통되어 삽입되기 위한 수용부(302) 및 상기 수용부(302) 주위로 상기 걸림구(291)가 안착되도록 단턱이 형성된 단턱부(303)로 구성되게 된다.On the other hand, the shower head body 300 of the tenth embodiment has a main body 301 and the receiving portion 302 for the nozzle pin 290 is inserted through the main body 301 and around the receiving portion 302 It is to be composed of a stepped portion 303 is formed with a stepped jaw so that the latch 291 is seated.

실시예11Example 11

본 실시예11의 경우에도 삽입형 노즐핀(310)은 원통형상의 하우징(312)과, 상기 하우징(312)의 상면에 원판형상으로 배치되되 그 직경은 상기 하우징(312)의 직경보다 큰 걸림부(311) 및 상기 하우징(312)와 걸림부(311)의 내부에 관통되어 형성되는 노즐(313)로 된다.(도 18참조)In the case of the eleventh embodiment, the insertion type nozzle pin 310 is disposed in a cylindrical shape on the upper surface of the cylindrical housing 312 and the housing 312, and the diameter thereof is larger than the diameter of the housing 312. 311) and a nozzle 313 penetrating into the housing 312 and the locking portion 311. (See Fig. 18).

상기 노즐(313)은 상기 하우징(312) 및 걸림부(311)을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(313a)와, 상기 제1도입부(313a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(312) 하면을 관통하여 형성되는 제1확장부(313b)로 구성되고,The nozzle 313 penetrates the housing 312 and the locking part 311 and is formed vertically, and is formed below the first introduction part 313a and the first introduction part 313a having a uniform width. And a first extension part 313b formed to penetrate the lower surface of the housing 312 as a shape widening downwardly.

상기 샤워헤드 바디(320)는 본체(321)와 상기 본체(321)에 상기 노즐핀(310)이 관통되어 삽입되기 위한 수용부(322) 및 상기 수용부(322) 주위로 상기 걸림구(311)가 안착되도록 단턱이 형성된 단턱부(323)로 구성된다.The shower head body 320 has a main body 321 and the receiving portion 322 for inserting the nozzle pin 310 through the main body 321 and the locking portion 311 around the receiving portion 322. ) Is composed of a stepped portion 323 formed with a stepped seat.

실시예12Example 12

본 실시예12의 경우 상기 삽입형 노즐핀(330)은 원통형상의 하우징(332)과, 상기 하우징(332)의 상면에 원판형상으로 배치되되 그 직경은 상기 하우징(332)의 직경보다 큰 걸림부(331) 및 상기 하우징(332)와 걸림부(331)의 내부에 관통되어 형성되는 노즐(333)로 된다.(도 19참조)In the case of the twelfth embodiment, the insertion nozzle pin 330 is disposed in a cylindrical shape on the upper surface of the housing 332 and the housing 332, the diameter of which is larger than the diameter of the housing (332) 331 and a nozzle 333 formed through the housing 332 and the locking portion 331. (See FIG. 19)

상기 노즐(333)은 상기 하우징(332) 및 걸림부(331)를 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 형상으로서 상기 하우징(312) 하면을 관통하여 형성되 고,The nozzle 333 penetrates the housing 332 and the locking portion 331 and is formed vertically so that the nozzle 333 has a uniform shape and penetrates the lower surface of the housing 312.

상기 샤워헤드 바디(340)는 본체(341)와 상기 본체(341)에 상기 노즐핀(330)이 관통되어 삽입되기 위한 수용부(342) 및 상기 수용부(342) 주위로 상기 걸림구(331)가 안착되도록 단턱이 형성된 단턱부(343)로 구성된다.The shower head body 340 has a main body 341 and the receiving portion 342 through which the nozzle pin 330 is inserted and inserted into the main body 341 and the catching hole 331 around the receiving portion 342. ) Is composed of a stepped portion 343 is formed with a stepped seat.

이상 상술한 실시예9 내지 실시예12에서 나타난 바와 같이 하우징 상부에 걸림구를 형성한 후 상기 걸림구를 샤워헤드바디에 형성되어 있는 단턱부에 안착시킴으로서 보다 안정성있는 구조가 된다.As shown in the above-described Embodiments 9 to 12, after forming the locking hole in the upper portion of the housing, the locking hole is seated on the stepped portion formed in the shower head body, thereby achieving a more stable structure.

이상과 같은 노즐의 형상이 실험에 의해 본 샤워헤드(100)에 적합한 것으로 판명되었으며, 상기 노즐형상을 이용한 노즐핀을 채용한 화학증착장치를 도 20을 통해 설명하기로 한다.As described above, the shape of the nozzle was found to be suitable for the shower head 100 by experiment, and the chemical vapor deposition apparatus employing the nozzle pin using the nozzle shape will be described with reference to FIG. 20.

기본적인 구성은 상술한 바와 유사하다. 즉, 샤워헤드(100)를 통해 가스가 주입되는데, 상술한 바와 같이 본 발명의 노즐 핀을 사용하는 경우 상기 노즐핀의 재질이 비메탈계인 산화알루미늄이나 질화알루미늄 또는 테프론등을 사용하여 가스가 상기 노즐핀의 노즐에 흡착되지 않게 된다.The basic configuration is similar to that described above. That is, the gas is injected through the shower head 100, when using the nozzle pin of the present invention as described above using the aluminum oxide, aluminum nitride or Teflon, the material of the nozzle pin is non-metal based gas It will not be adsorbed by the nozzle of the nozzle pin.

이에 의해 가스의 분출량이 균일하게 되어 박막의 두께에 대한 균일도가 향상되게 된다.As a result, the ejection amount of the gas is made uniform, thereby improving the uniformity with respect to the thickness of the thin film.

이와 같은 구성을 웨이퍼에 사용 가능하며(도 21참조) LCD에도 사용가능하다.(도 22참조)Such a configuration can be used for a wafer (see FIG. 21) and can be used for an LCD (see FIG. 22).

이때 상술한 바와 같이 다수개의 노즐핀(N)이 배치되는데, 상기 노즐핀(N) 상호간의 간격 즉 상호 수평거리와 수직거리 모두 동일한 것이 바람직하다.In this case, as described above, a plurality of nozzle pins N are disposed, and the distance between the nozzle pins N, that is, the horizontal distance and the vertical distance, are preferably the same.

이상과 같이 샤워헤드본체에 산화알루미늄이나 질화알루미늄 또는 테플론의 재질을 사용하는 비메탈계 노즐핀을 삽입하는 구성에 의해 가스의 흡착을 방지하는 구성에 의해 가스의 분사량을 일정하게 하고 그에 의해 박판의 두께 균일도가 향상되는 효과가 있다.As described above, the non-metal nozzle pin made of aluminum oxide, aluminum nitride, or Teflon is inserted into the shower head body to prevent the adsorption of the gas, and thus the injection amount of the gas is made constant. The thickness uniformity is improved.

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가스가 분사되는 삽입형 노즐핀과 상기 삽입형 노즐핀이 다수개 삽입된 샤워헤드바디로 구성되는 샤워헤드로서, 상기 삽입형 노즐핀은 하우징내부에 가스분사를 위한 노즐이 형성되고, 상기 샤워헤드바디는 상기 삽입형 노즐핀이 삽입되기 위한 수용부가 형성된 것에 있어서, A shower head comprising a shower nozzle body in which a gas is injected and a shower head body in which a plurality of insert nozzle pins are inserted, wherein the insert nozzle pin is formed with a nozzle for gas injection in a housing, and the shower head body is In the receiving portion for inserting the insertion nozzle pin is formed,

상기 삽입형 노즐핀(110)은 원통형상인 하우징(111) 및 그 내부에 형성되는 노즐(112)로 구성되는데, The insertable nozzle pin 110 is composed of a cylindrical housing 111 and a nozzle 112 formed therein,

상기 노즐(122)은 상기 하우징(111)상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(112a);The nozzle 122 may penetrate the upper surface of the housing 111 and be vertically formed to have a uniform first width 112a;

상기 제1도입부(112a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(112b);A first extension part 112b formed under the first introduction part 112a and widening in a downward direction;

상기 제1확장부(112b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2도입부(112c);A second introduction part 112c formed under the first extension part 112b and formed vertically and having a uniform width;

상기 제2도입부(112c)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제2확장부(112d);A second extension part 112d formed under the second introduction part 112c and widening downwardly;

상기 제2확장부(112d)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제3도입부(112e);및A third introduction part 112e formed below the second extension part 112d and formed vertically and having a uniform width; and

상기 제3도입부(122e)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(111) 하면을 관통하여 형성되는 제4확장부(112f)로 구성되고,It is formed under the third introduction portion 122e, and has a shape that is wider in the downward direction and consists of a fourth expansion portion 112f formed through the lower surface of the housing 111,

상기 샤워헤드 바디(120)는 본체(121) 및 상기 본체(121)에 상기 노즐핀(110)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(112a) 및 상기 노즐핀삽입부 (112a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 분사구(122b)로 되는 수용부 (122)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 120 has a width on a lower surface of the main body 121 and the nozzle pin inserting portion 112a and the nozzle pin inserting portion 112a which are formed to insert the nozzle pin 110 into the main body 121. Nozzle pin insertion type showerhead, characterized in that consisting of a receiving portion 122 which becomes a spray hole (122b) widening toward the lower side.

상기 삽입형 노즐핀(130)은 원통형상인 하우징(131) 및 그 내부에 형성되는 노즐(132)로 구성되는데, The insertable nozzle pin 130 is composed of a cylindrical housing 131 and a nozzle 132 formed therein,

상기 노즐(132)은 상기 하우징(131) 상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(132a);The nozzle 132 penetrates the upper surface of the housing 131 and is vertically formed to have a uniform first width 132a;

상기 제1도입부(132a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(132b);A first extension part 132b formed under the first introduction part 132a and widening in a downward direction;

상기 제1확장부(132b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2도입부(132c);A second introduction part 132c formed under the first extension part 132b and formed vertically and having a uniform width;

상기 제2도입부(132c)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제2확장부(132d);A second extension part 132d formed under the second introduction part 132c and widening in a downward direction;

상기 제2확장부(132d)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제3도입부(132e);및A third introduction part 132e formed under the second extension part 132d and formed vertically and having a uniform width; and

상기 제3도입부(132e)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(131) 하면을 관통하여 형성되는 제4확장부(132f)로 구성되고,A fourth extension part 132f is formed below the third introduction part 132e and penetrates a lower surface of the housing 131 as a shape that is wider in a downward direction.

상기 샤워헤드 바디(140)는 본체(141) 및 상기 본체(141)에 상기 노즐핀(130)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(142a)와, 상기 노즐핀삽입부 (112a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 제1분사구(142b) 및 상기 제1분사구(142b)의 밑에 형성되는 한편 그 폭이 상기 제1분사구(142b)보다 더 넓은 제2분사구(142c)로 되는 수용부 (142)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 140 has a main body 141 and a nozzle pin inserting portion 142a which is formed to insert the nozzle pin 130 into the main body 141 and the lower surface of the nozzle pin inserting portion 112a. Receiving portion formed under the first injection port (142b) and the first injection port (142b), the width of the second injection port (142b) wider than the first injection port (142b) is wider toward the lower side ( Nozzle pin insertion shower head, characterized in that consisting of 142).

상기 삽입형 노즐핀(150)은 원통형상인 하우징(151) 및 그 내부에 형성되는 노즐(152)로 구성되는데, The insertable nozzle pin 150 is composed of a cylindrical housing 151 and a nozzle 152 formed therein,

상기 노즐(152)은 상기 하우징(151) 상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(152a);The nozzle 152 penetrates the upper surface of the housing 151 and is vertically formed to have a uniform first width 152a.

상기 제1도입부(152a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(152b);A first extension part 152b formed under the first introduction part 152a and widening in a downward direction;

상기 제1확장부(152b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2도입부(152c);A second introduction part 152c formed under the first extension part 152b and formed vertically and having a uniform width;

상기 샤워헤드 바디(160)는 본체(161) 및 상기 본체(161)에 상기 노즐핀(150)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(162a)와, 상기 노즐핀삽입부 (162a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 제1분사구(162b) 및 상기 제1분사구(162b)의 밑에 형성되는 한편 그 폭이 상기 제1분사구(162b)보다 더 넓은 제2분사구(162c)로 되는 수용부 (162)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 160 is formed on a lower surface of the main body 161 and the nozzle pin inserting portion 162a and the nozzle pin inserting portion 162a which are formed to insert the nozzle pin 150 into the main body 161. Receiving portion formed below the first injection port 162b and the first injection port 162b, the width of which is widened toward the lower side, and the second injection port 162c wider than the first injection port 162b ( Nozzle pin insertion shower head, characterized in that consisting of 162).

상기 삽입형 노즐핀(170)은 원통형상인 하우징(171) 및 그 내부에 형성되는 노즐(172)로 구성되는데, The insertion nozzle pin 170 is composed of a cylindrical housing 171 and a nozzle 172 formed therein,

상기 노즐(172)은 상기 하우징(171)상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(172a);The nozzle 172 is formed through the upper surface of the housing 171 while being perpendicular to the first introduction portion 172a having a uniform width;

상기 제1도입부(172a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(172b);A first extension part 172b formed under the first introduction part 172a and widening in a downward direction;

상기 제1확장부(172b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2도입부(172c);A second introduction part 172c formed under the first extension part 172b and formed vertically and having a uniform width;

상기 제2도입부(172c)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(171) 하면을 관통하여 형성되는 제2확장부(172d)로 구성되고,The second extension part 172d is formed below the second introduction part 172c and is formed to penetrate the lower surface of the housing 171 as a shape widening downwardly.

상기 샤워헤드 바디(180)는 본체(181) 및 상기 본체(181)에 상기 노즐핀(170)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(182a) 및 상기 노즐핀삽입부 (182a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 분사구(182b)로 되는 수용부 (182)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 180 has a width on a lower surface of the nozzle pin insertion portion 182a and the nozzle pin insertion portion 182a which are formed to insert the nozzle pin 170 into the body 181 and the body 181. Nozzle pin insertion type showerhead, characterized in that consisting of the receiving portion 182 to be the injection port 182b widening toward the lower side.

상기 삽입형 노즐핀(190)은 원통형상인 하우징(191) 및 그 내부에 형성되는 노즐(192)로 구성되는데, The insertable nozzle pin 190 is composed of a cylindrical housing 191 and a nozzle 192 formed therein,

상기 노즐(192)은 상기 하우징(191)상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(192a);The nozzle 192 penetrates the upper surface of the housing 191 and is vertically formed to have a uniform first width 192a.

상기 제1도입부(192a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(191) 하면을 관통하여 형성되는 제1확장부(192b)로 구성되고,The first extension part 192b is formed below the first introduction part 192a and is formed to penetrate the lower surface of the housing 191 as being wider in the downward direction.

상기 샤워헤드 바디(200)는 본체(201) 및 상기 본체(201)에 상기 노즐핀(190)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(202a) 및 상기 노즐핀삽입부 (202a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 분사구(202b)로 되는 수용부 (202)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 200 has a width at a lower surface of the main body 201 and the nozzle pin inserting portion 202a and the nozzle pin inserting portion 202a which are formed to insert the nozzle pin 190 into the main body 201. Nozzle pin insertion type showerhead, characterized in that it is composed of a receiving portion (202) to be the injection port (202b) widening toward the lower side.

상기 삽입형 노즐핀(210)은 원통형상인 하우징(211) 및 그 내부에 형성되는 노즐(212)로 구성되는데, The insertable nozzle pin 210 is composed of a cylindrical housing 211 and a nozzle 212 formed therein,

상기 노즐(212)은 상기 하우징(211) 상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(212a);The nozzle 212 penetrates the upper surface of the housing 211 and is vertically formed to have a uniform first width portion 212a;

상기 제1도입부(212a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(211) 하면을 관통하여 형성되는 제1확장부(212b)로 구성되고,It is formed under the first introduction portion 212a, and has a shape that is wider in the downward direction and comprises a first expansion portion 212b formed through the lower surface of the housing 211,

상기 샤워헤드 바디(220)는 본체(221) 및 상기 본체(221)에 상기 노즐핀(210)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(222a)와, 상기 노즐핀삽입부 (222a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 제1분사구(222b) 및 상기 제1분사구(222b)의 밑에 형성되는 한편 그 폭이 상기 제1분사구(222b)보다 더 넓은 제2분사구(222c)로 되는 수용부 (222)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 220 is formed on the lower surface of the nozzle pin insertion portion 222a and the nozzle pin insertion portion 222a which are formed such that the nozzle pin 210 is inserted into the body 221 and the body 221. Receiving portion formed below the first injection port 222b and the first injection port 222b, the width of which is widened toward the lower side, and the second injection port 222c wider than the first injection port 222b ( 222) nozzle pin insertion type showerhead, characterized in that consisting of.

상기 삽입형 노즐핀(230)은 원통형상인 하우징(231) 및 그 내부에 형성되는 노즐(232)로 구성되는데, The insertable nozzle pin 230 is composed of a cylindrical housing 231 and a nozzle 232 formed therein,

상기 샤워헤드 바디(240)는 본체(241) 및 상기 본체(241)에 상기 노즐핀(230)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(242a) 및 상기 노즐핀삽입부 (242a)의 하면에 폭이 하부측으로 갈수록 넓어지는 분사구(242b)로 되는 수용부 (242)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 240 has a width at a lower surface of the nozzle pin inserting portion 242a and the nozzle pin inserting portion 242a which are formed to insert the nozzle pin 230 into the main body 241 and the main body 241. Nozzle pin insertion type shower head, characterized in that consisting of a receiving portion 242 to be a spray hole (242b) widening toward the lower side.

상기 삽입형 노즐핀(250)은 원통형상인 하우징(251) 및 그 내부에 형성되는 노즐(252)로 구성되는데, The insertable nozzle pin 250 is composed of a cylindrical housing 251 and a nozzle 252 formed therein,

상기 노즐(252)은 상기 하우징(251)상면을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 형상으로서 상기 하우징(151) 하면을 관통하여 형성되게 구성되고,The nozzle 252 penetrates the upper surface of the housing 251 and is formed vertically so as to penetrate the lower surface of the housing 151 as a uniform shape.

상기 샤워헤드 바디(260)는 본체(261) 및 상기 본체(261)에 상기 노즐핀(250)이 삽입되도록 형성되는 노즐핀삽입부(262a) 및 상기 노즐핀삽입부 (242a)의 하면에 폭이 균일한 형상인 분사구(262b)로 되는 수용부(262)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 260 has a width at a lower surface of the nozzle pin insertion portion 262a and the nozzle pin insertion portion 242a which are formed such that the nozzle pin 250 is inserted into the body 261 and the body 261. A nozzle pin insertion type showerhead, comprising: a receiving portion 262 formed of a spray hole 262b having a uniform shape.

상기 삽입형 노즐핀(270)은 원통형상의 하우징(272)과, 상기 하우징(272)의 상면에 원판형상으로 배치되되 그 직경은 상기 하우징(272)의 직경보다 큰 걸림부(271) 및 상기 하우징(272)와 걸림부(271)의 내부에 관통되어 형성되는 노즐(272)로 되는데, The insertion nozzle pin 270 is disposed in a cylindrical housing 272, and a disk shape on the upper surface of the housing 272, the diameter of the engaging portion 271 and the housing (larger than the diameter of the housing 272) 272 and the nozzle 272 is formed through the interior of the locking portion 271,

상기 노즐(272)은 상기 하우징(272) 및 걸림부(271)을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(273a);The nozzle 272 penetrates the housing 272 and the locking portion 271 while being vertically formed to have a uniform first width portion 273a;

상기 제1도입부(273a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(273b);A first extension part 273b formed under the first introduction part 273a and widening in a downward direction;

상기 제1확장부(273b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2도입부(273c);A second introduction part 273c formed below the first extension part 273b and formed vertically and having a uniform width;

상기 제2도입부(273c)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제2확장부(273d);A second extension part 273d formed under the second introduction part 273c and widening in a downward direction;

상기 제2확장부(273d)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제3도입부(273e);및A third introduction portion 273e formed below the second extension portion 273d and formed vertically and having a uniform width; and

상기 제3도입부(273e)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(272) 하면을 관통하여 형성되는 제4확장부(273f)로 구성되고,It is formed under the third introduction portion (273e), and has a shape that is wider in the downward direction and consists of a fourth expansion portion (273f) formed through the lower surface of the housing (272),

상기 샤워헤드 바디(280)는 본체(281)와 상기 본체(281)에 상기 노즐핀(270)이 관통되어 삽입되기 위한 수용부(282) 및 상기 수용부(282) 주위로 상기 걸림구(271)가 안착되도록 단턱이 형성된 단턱부(283)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 280 includes a main body 281 and an accommodation portion 282 for inserting the nozzle pin 270 through the main body 281 and around the accommodation portion 282. Nozzle pin insertion type showerhead, characterized in that consisting of a stepped portion (283) is formed so that the stepped seat.

상기 삽입형 노즐핀(290)은 원통형상의 하우징(292)과, 상기 하우징(292)의 상면에 원판형상으로 배치되되 그 직경은 상기 하우징(272)의 직경보다 큰 걸림부(291) 및 상기 하우징(292)와 걸림부(291)의 내부에 관통되어 형성되는 노즐(292)로 되는데, The insertion nozzle pin 290 is disposed in a cylindrical housing 292 and the upper surface of the housing 292 in the shape of a disc, the diameter of the engaging portion 291 and the housing (larger than the diameter of the housing 272) 292 and the nozzle 292 formed through the interior of the locking portion 291,

상기 노즐(292)은 상기 하우징(292) 및 걸림부(291)을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(293a);The nozzle 292 penetrates through the housing 292 and the locking portion 291, and is formed vertically to have a uniform first width portion 293a.

상기 제1도입부(293a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 제1확장부(293b);A first extension part 293b formed below the first introduction part 293a and widening in a downward direction;

상기 제1확장부(293b)의 밑에 형성되는 한편, 수직하게 형성되고 폭이 균일한 제2도입부(293c);A second introduction part 293c formed below the first extension part 293b and having a vertical width and a uniform width;

상기 제2도입부(293c)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(292) 하면을 관통하여 형성되는 제2확장부(293d)로 구성되고,It is formed under the second introduction portion 293c, and has a shape that is wider in the downward direction and consists of a second expansion portion 293d formed through the lower surface of the housing 292,

상기 샤워헤드 바디(300)는 본체(301)와 상기 본체(301)에 상기 노즐핀(290)이 관통되어 삽입되기 위한 수용부(302) 및 상기 수용부(302) 주위로 상기 걸림구(291)가 안착되도록 단턱이 형성된 단턱부(303)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 300 has a main body 301 and the receiving portion 302 for inserting the nozzle pin 290 through the main body 301 and the locking portion 291 around the receiving portion 302. Nozzle pin insertion type showerhead, characterized in that consisting of a stepped portion 303 stepped to be seated).

상기 삽입형 노즐핀(310)은 원통형상의 하우징(312)과, 상기 하우징(312)의 상면에 원판형상으로 배치되되 그 직경은 상기 하우징(312)의 직경보다 큰 걸림부(311) 및 상기 하우징(312)와 걸림부(311)의 내부에 관통되어 형성되는 노즐(313)로 되는데, The insertion nozzle pin 310 is disposed in a cylindrical housing 312 and the upper surface of the housing 312 in the shape of a disc, the diameter of which is larger than the diameter of the housing 312 and the housing 311 and the housing ( 312 and the nozzle 313 is formed through the interior of the engaging portion 311,

상기 노즐(313)은 상기 하우징(312) 및 걸림부(311)을 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 제1도입부(313a);The nozzle 313 penetrates the housing 312 and the catching part 311 and is vertically formed to have a uniform first width 313a;

상기 제1도입부(313a)의 밑에 형성되는 한편, 하측방향으로 폭이 넓어지는 형상으로서 상기 하우징(312) 하면을 관통하여 형성되는 제1확장부(313b)로 구성되고,It is formed under the first introduction portion (313a), and has a shape that is wider in the downward direction is composed of a first expansion portion (313b) formed through the lower surface of the housing 312,

상기 샤워헤드 바디(320)는 본체(321)와 상기 본체(321)에 상기 노즐핀(310)이 관통되어 삽입되기 위한 수용부(322) 및 상기 수용부(322) 주위로 상기 걸림구(311)가 안착되도록 단턱이 형성된 단턱부(323)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 320 has a main body 321 and the receiving portion 322 for inserting the nozzle pin 310 through the main body 321 and the locking portion 311 around the receiving portion 322. Nozzle pin insertion type shower head, characterized in that consisting of a stepped portion 323 is formed so that step) is seated.

상기 삽입형 노즐핀(330)은 원통형상의 하우징(332)과, 상기 하우징(332)의 상면에 원판형상으로 배치되되 그 직경은 상기 하우징(332)의 직경보다 큰 걸림부(331) 및 상기 하우징(332)와 걸림부(331)의 내부에 관통되어 형성되는 노즐(333)로 되는데, The insertable nozzle pin 330 is disposed in a cylindrical housing 332 and the upper surface of the housing 332, the diameter of which is larger than the diameter of the housing 332, the engaging portion 331 and the housing ( 332 and the nozzle 333 is formed through the interior of the locking portion 331,

상기 노즐(333)은 상기 하우징(332) 및 걸림부(331)를 관통하는 한편 수직하게 형성되어 그 폭이 균일한 형상으로서 상기 하우징(312) 하면을 관통하여 형성되고,The nozzle 333 penetrates through the housing 332 and the locking portion 331 and is vertically formed so as to penetrate through the lower surface of the housing 312 as a uniform shape.

상기 샤워헤드 바디(340)는 본체(341)와 상기 본체(341)에 상기 노즐핀(330)이 관통되어 삽입되기 위한 수용부(342) 및 상기 수용부(342) 주위로 상기 걸림구(331)가 안착되도록 단턱이 형성된 단턱부(343)로 구성되는 것을 특징으로 하는 노즐핀 삽입형 샤워헤드.The shower head body 340 has a main body 341 and the receiving portion 342 through which the nozzle pin 330 is inserted and inserted into the main body 341 and the catching hole 331 around the receiving portion 342. Nozzle pin insertion type showerhead, characterized in that consisting of a stepped portion (343) stepped to be seated).

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