KR100680568B1

KR100680568B1 - Insulating heater jacket

Info

Publication number: KR100680568B1
Application number: KR1020060059009A
Authority: KR
Inventors: 서준영
Original assignee: (주)에이오앤
Priority date: 2006-06-29
Filing date: 2006-06-29
Publication date: 2007-02-08
Also published as: WO2008002022A1

Abstract

An insulation heater jacket is provided to improve convenience by separately exchanging a required part through the attachment and detachment structure. An insulation heater jacket includes an insulation jacket(20), and a heating unit(10). The heating unit(10) of a sheet shape has a heating body embedded in a flexible mat having higher thermal conductivity than the insulation jacket(20). The insulation jacket(20) is located outside the heating unit(10), and has a cylindrical hollow structure. An incision line is formed along a lengthwise direction on a circumference of the insulation jacket(20) having both ends. The insulation jacket(20) is made of an elastic material having lower conductivity than the flexible mat. The insulation jacket(20) blocks heat radiated from the heating unit(10). The insulation jacket(20) is attached to the heating unit(10) or detached from the heating unit.

Description

단열 히터 재킷{INSULATING HEATER JACKET}Insulation heater jacket {INSULATING HEATER JACKET}

도 1은 본 발명에 따른 단열 히터 재킷의 일실시예의 사시도1 is a perspective view of one embodiment of a thermal insulation jacket according to the present invention

도 2는 본 발명에 따른 단열 히터 재킷의 일실시예의 단면도2 is a cross-sectional view of one embodiment of a thermal insulation jacket according to the present invention

도 3은 본 발명에 따른 단열 히터 재킷의 또 다른 실시예의 단면도3 is a cross-sectional view of another embodiment of a thermal insulation jacket according to the invention

도 4는 본 발명에 따른 단열 히터 재킷에 적용되는 발열체가 2개의 열선으로 구성된 것을 도식적으로 나타낸 도면Figure 4 is a diagram schematically showing that the heating element applied to the heat insulation jacket according to the present invention consists of two heating wires

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 발열부 11 열선10 heating element 11 heating wire

20 단열재킷 30 브라켓20 Insulation Jacket 30 Bracket

40 벨크로 50 콘트롤러40 Velcro 50 Controller

60 고정구 100 단열 히터 재킷 60 Fixture 100 Insulation Heater Jacket

본 발명은 단열 히터 재킷에 관한 것으로, 보다 상세하게는 열전도율과 내열성이 좋은 가요성 매트 내부에 발열체가 내장되는 구조의 시트상 발열부와 상기 발열부의 외측에 위치하고 속이 빈 원통형 구조를 갖고 그 원주상에 길이방향으로 절 개선이 형성되어 있어 양단부를 갖는 형태이며 열전도율이 낮은 탄성재질로 되어 있어 상기 발열부에서 발산되는 열을 차단하는 역할을 수행하는 단열재킷을 포함하는 단열 히터 재킷에 있어서, 상기 단열재킷과 상기 발열부간의 재탈부착이 가능한 결합구조로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 단열 히터 재킷에 관한 것이다.The present invention relates to an insulated heater jacket, and more particularly, has a sheet-shaped heat generating portion having a heat generating element inside a flexible mat having good thermal conductivity and heat resistance and a hollow cylindrical structure located outside the heat generating portion. In the heat insulation jacket is formed in the longitudinal direction in the longitudinal direction is formed with both ends and a low thermal conductivity elastic material to perform the role of blocking the heat emitted from the heat-generating portion in the insulation heater jacket, the heat insulation It relates to a heat insulating jacket characterized in that the coupling between the jacket and the heat-removable coupling structure is possible.

반도체 장치 제조, 화학 공정, 플라스틱 생산, 상업적인 음식물 가공, 장비 제조, 및 다른 제조산업, 특히 액체 또는 가스가 제한된 가열 또는 냉각으로 특정온도에서 수송될 필요가 있거나, 증발성 재료의 고화를 막고 이러한 재료가 파이프, 튜브, 밸브 몸체, 및 다른 콘딧의 내부 표면상에 증발성 재료의 고화의 결과로서 침착되는 것을 방지할 필요가 있는 공정 또는 제조에서 파이프, 튜브, 밸브 몸체, 및 2차원 또는 3차원 곡률을 가지는 다른 콘딧을 가열하거나 단열시키기 위해서 히터가 종종 이용된다. 히터는 필요한 동력의 양을 감소시키고 노출되는 히터의 외부 온도를 최소화시키기 위해서 주위 대기로부터 단열될 수 있어서 히터를 만지는 사람이 사고로 화상을 입지 않게 한다. Semiconductor device manufacturing, chemical processing, plastics production, commercial food processing, equipment manufacturing, and other manufacturing industries, in particular liquids or gases need to be transported at certain temperatures with limited heating or cooling, or they prevent the solidification of evaporative materials Pipes, tubes, valve bodies, and two- or three-dimensional curvatures in a process or manufacture where it is necessary to prevent deposits on the inner surfaces of pipes, tubes, valve bodies, and other conduits as a result of solidification of the evaporative material. Heaters are often used to heat or insulate other conduits having a. The heater can be insulated from the surrounding atmosphere to reduce the amount of power required and to minimize the outside temperature of the heater being exposed so that the person touching the heater is not injured in an accident.

일반적으로, 반도체 장치를 제조하기 위한 반도체 기판의 가공 공정들은 다양한 공정 가스들을 사용한다. 대표적으로 여러가지 화학기상증착(CVD: Chemical Vapor Deposition) 및 건식 식각 공정에서 포스핀(PH₃), 실란(SiH₄), 디클로로 실란(SiH₂Cl₂), 암모니아(NH₃) 및 산화질소(N₂O) 등의 가스를 사용한다. 상기와 같은 반도체 가공 공정의 경우, 상기 공정이 완료되면 배기 라인을 통해 공정 챔버로부터 암모니아 클로라이드 가스(NH₄Cl) 등과 같은 반응 부산물이 배출된다. 상기 반응 부산물을 수송하는 배기 라인을 상온으로 그대로 유지하는 경우에 상기 암모니아 클로라이드 가스는 고화 침전되어 상기 배기 라인의 벽면에 들러붙게 된다. 그 결과, 파이프의 내벽은 고화 침전된 파우더로 침적되게 되고 파이프 또는 튜브의 내벽이 막히게 되어 폭발 사고의 위험이 있게 된다. In general, processing processes of semiconductor substrates for manufacturing semiconductor devices use various process gases. Typically, in various chemical vapor deposition (CVD) and dry etching processes, phosphine (PH ₃ ), silane (SiH ₄ ), dichloro silane (SiH ₂ Cl ₂ ), ammonia (NH ₃ ) and nitrogen oxides (N) ₂ O) or other gas is used. In such a semiconductor processing process, when the process is completed, reaction by-products such as ammonia chloride gas (NH ₄ Cl) are discharged from the process chamber through the exhaust line. When the exhaust line for transporting the reaction by-products is kept at room temperature, the ammonia chloride gas is solidified and precipitates and sticks to the wall of the exhaust line. As a result, the inner wall of the pipe is deposited with the solidified precipitated powder and the inner wall of the pipe or the tube is blocked and there is a risk of explosion accident.

예를 들어, 저압 화학 증착(LPCVD) 및 알루미늄 에칭과 같은 반도체 제조 공정은, 반응 공정 챔버에서 야기되고 반응공정 챔버로부터 배출되는 방출가스중에, 염화암모늄 가스(NH₄Cl) 또는 염화알루미늄 가스(AlCl₃)와 같은 반응부산물을 발생시킨다. 염화암모늄 가스는 고화, 침착될 수 있으며, 이에 따라 배기 또는 처리 구역, 진공 펌프, 및 다른 장비로 가스를 운반하는 비가열된 파이프의 내부 표면과 같은 차가운 표면상에 고체 빌드업을 야기시킨다. 반응 공정 챔버로부터 하류의 파이프, 펌프, 및 다른 장비내의 이러한 고체 빌드업은 파이프를 부분적으로 또는 심지어 완전히 막을 수 있고, 펌프 및 다른 장비를 손상시키고, 진공 컨덕턴스를 감소시키고, 제조 공정에 이용되는 파이프, 펌프, 및 다른 장비를 기능상 손상되거나 작동되지 않게 한다. 고체 빌드업은 또한 파이프 표면을 얇은 조각으로 벗겨낼 수 있어 제조 공정에서 오염원이 될 수 있다. 예를 들어 반도체 칩을 형성하기 위해서 이용되는 기판 웨이퍼상에 실리콘 질화물의 코팅을 침착시키는 저압 화학 증착 프로세스는 실리콘 질화물 침착이 야기되는 반응 챔버내에서 부산물로서 대량의 염화암모늄 가스를 발생시킴으로써 이러한 타입의 고체 빌드업을 야기시킨다. 염화암모늄 가스는 전형적으로 300 밀리토르에서 100℃ 이하의 온도에서 승화된다. 일 단 염화암모늄 가스가 반응 챔버를 떠나 냉각되면, 염화암모늄의 승화는 백결정체를 제조 시스템에서 이용되는 파이프 및 펌프의 내부에서와 같은 모든 비가열된 표면상에 형성 및 빌드업되도록 야기시킨다. 승화된 염화암모늄은 반응 챔버를 얇은 조각으로 벗겨내어 파손되게 하고, 반응챔버내로 역류하며, 반응 챔버에서 반도체 기판 웨이퍼를 오염시킬 수 있다. 그러한 오염이 발생된다면, 제조 시스템은 결정체가 시스템으로부터 소제되는 동안 중단되어야만 하고, 막힌 파이프 및 펌프는 소제 또는 교환되어야 한다. 게다가, 기판 웨이퍼 또는 반도체 칩은 오염되어서 쓸모없이 되고 수리 또는 사용할 수 없게 된다. For example, semiconductor manufacturing processes, such as low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) and aluminum etching, include ammonium chloride gas (NH ₄ Cl) or aluminum chloride gas (AlCl) in the outgassing that occurs in and exits the reaction process chamber. _It generates a reaction by-product such as ₃ ). Ammonium chloride gas can solidify and deposit, causing solid buildup on cold surfaces such as the inner surface of unheated pipes that carry gas to the exhaust or treatment zones, vacuum pumps, and other equipment. Such solid buildup in pipes, pumps, and other equipment downstream from the reaction process chamber can partially or even completely block the pipe, damage the pump and other equipment, reduce vacuum conductance, and use the pipe for the manufacturing process, Do not damage the pump, and other equipment functionally or inoperative. Solid buildup can also strip the pipe surface into thin pieces that can be a source of contamination in the manufacturing process. A low pressure chemical vapor deposition process, for example, depositing a coating of silicon nitride on a substrate wafer used to form a semiconductor chip, is of this type by generating a large amount of ammonium chloride gas as a by-product in the reaction chamber causing silicon nitride deposition. Causes solid build up. Ammonium chloride gas is typically sublimed at temperatures up to 100 ° C. at 300 millitorr. Once the ammonium chloride gas leaves the reaction chamber and cooled, sublimation of ammonium chloride causes the white crystals to form and build up on all unheated surfaces, such as inside pipes and pumps used in manufacturing systems. Sublimated ammonium chloride can peel off the reaction chamber into pieces and cause breakage, backflow into the reaction chamber, and contaminate the semiconductor substrate wafer in the reaction chamber. If such contamination occurs, the manufacturing system must be stopped while crystals are being cleaned from the system and clogged pipes and pumps must be cleaned or exchanged. In addition, substrate wafers or semiconductor chips become contaminated and useless and cannot be repaired or used.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상기 배기 라인의 외측면을 감싸도록 히터 매트 또는 재킷 히터를 구비한다. 상기 히터 매트 또는 재킷 히터를 이용하여 상기 배기 라인이 일정한 온도를 유지하도록 함으로써 상기 반응 부산물이 고화 침전되는 현상을 방지하고 있다. 예를 들면, 대한민국 등록특허 제413699호의 등록공보에는 제1 에지 및 제2 에지를 가진 가요성이지만 실질적으로 비신축적인 고체 재료 매트릭스내에서 열 생산 재료를 포함하고, 내부표면은 상기 제1 에지와 상기 제2 에지 사이에서 연장되며 외부표면은 내부 표면으로부터 방사상 외측으로 이격되고 상기 제1 에지와 상기 제2 에지 사이에서 연장되고, 고체 재료 매트릭스는 내부 표면으로부터 공간적으로 외부 표면을 분리시키고, 상기 내부 표면에 의하여 구획형성되는 주위를 가지는 공간 주위에서 상기 내부 표면을 감싸는 형상으로 성형되며, 상기 제1 에지 및 상기 제2 에지는 서로 병렬관계에 있는 히터 매트; 및 히터 매트의 외부 표면에 비가동적인 관계로 주위에 접착되어 형성되며, 고체 재료의 매트릭스 전체에 걸쳐 산재되는 가스의 셀을 함유하는 탄성적인 신축성 및 압축성 재료로 이루어지며, 상기 재료는 저밀도, 고탄성, 고압축성, 저열전도성이고, 상기 히터보다 횡단면 크기에 있어서 더 두꺼우며, 또한 외력이 상기 제1 에지와 상기 제2 에지를 서로 이격되도록 이동시키기 위해서 적용될 때 상기 재료가 서로 상기 제1 에지 및 상기 제2 에지의 분리를 수용하도록 압축에 대해 굽고 변형되고, 외력의 제거 후에 서로 병렬 관계로 상기 제1 에지 및 상기 제2 에지를 되돌려 유지시키는데 충분한 정도까지 압축 및 압축 세트에 대하여 탄력적으로 저항되는 재킷;으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 히터장치가 개시되어 있다. 또한, 대한민국 등록특허 제422075호의 등록공보에는 파이프의 원통 표면 상부를 에워싸 상기 파이프의 온도를 소정의 온도를 유지시켜 주는 히터 장치에 있어서 상기 히터 장치는, 상기 파이프의 원통 표면 상부를 덮는 히팅 패드; 상기 히팅 패드와 접촉되어 상기 히팅 패드의 온도를 모니터 하는 써미스터; 상기 히팅 패드의 상부에 위치하여 방사상으로 상기 히팅 패드를 에워싸며, 상기 써미스터와 전기적으로 접속되어 있는 온도 조절 회로 기판을 내부에 수납하기 위하여 내부의 일부가 부분적으로 박피된 수납 공간을 제공하는 凹자 단면 형태의 열전도 차단막; 및 상기 열전도 차단막의 수납 공간에 수납되는 상기 온도 조절 회로 기판을 상기 히팅 패드에서 발생되는 열로부터 차단하기 위하여 상기 열전도 차단막 상부의 수납 공간의 내부 벽면 위에 형성된 진공 영역을 포함하되, 상기 온도 조절 회로 기판은 전자식 릴레이(SSR; Solid-State Relay)로 구성됨을 특징으로 하는 히터장치가 개시되어 있다.In order to solve the above problems, a heater mat or a jacket heater is provided to surround the outer surface of the exhaust line. By using the heater mat or the jacket heater to keep the exhaust line at a constant temperature to prevent the precipitation of the reaction by-products. For example, Korean Patent No. 413699 discloses a heat producing material in a flexible but substantially non-stretch solid material matrix having a first edge and a second edge, the inner surface of which is associated with the first edge. Extending between the second edges and the outer surface spaced radially outwardly from the inner surface and extending between the first and second edges, the matrix of solid material spatially separates the outer surface from the inner surface, A heater mat shaped to enclose the inner surface around a space having a perimeter defined by a surface, the first edge and the second edge being in parallel with each other; And an elastically stretchable and compressible material that is adhered to the surrounding surface in an inflexible relationship to the outer surface of the heater mat and contains cells of gas dispersed throughout the matrix of solid material, the material being low density, high elastic , High compression, low thermal conductivity, thicker in cross-sectional size than the heater, and wherein the materials are applied to the first edge and the second when the external force is applied to move the first edge and the second edge apart from one another. A jacket that is bent and deformed against compression to accommodate separation of the second edge and is resiliently resisted against the compression and compression set to a degree sufficient to maintain the first edge and the second edge back in parallel with each other after removal of external forces The heater apparatus which consists of; is disclosed. In addition, Korean Patent No. 422075 discloses a heater device for enclosing an upper portion of a cylindrical surface of a pipe to maintain a predetermined temperature of the pipe, wherein the heater is a heating pad covering an upper portion of the cylindrical surface of the pipe. ; A thermistor in contact with the heating pad to monitor a temperature of the heating pad; A magnet located at an upper portion of the heating pad to radially surround the heating pad and to provide a partially spaced storage space for accommodating therein a temperature control circuit board electrically connected to the thermistor. A thermally conductive barrier film in cross section; And a vacuum area formed on an inner wall surface of the storage space above the thermal conductivity blocking film to block the temperature control circuit board accommodated in the storage space of the thermal conductivity blocking film from heat generated by the heating pad. Disclosed is a heater device, which is composed of an electronic relay (SSR; Solid-State Relay).

일반적으로 단열히터는 전기적으로 가열되는 열선을 내장한 발열부와 상기 발열부의 외부를 감싸고 있는 단열재로 된 단열 재킷으로 구성되는데, 일정시간 사용을 계속하다보면 발열부의 열선이 단선되거나 외부의 재킷이 열변성을 하게 되어 결국 단열히터를 교체해야만 한다. 특히, 발열부의 경우 열선이 단선되는 경우가 많다. 본 출원인은 상기 열선의 단선으로 인한 문제를 보완하기 위하여, 이중열선 구조의 단열 히터 재킷에 관한 발명을 출원한 바 있다(대한민국 특허출원 제2005-34482호). 그러나, 상기 문헌에 개시된 단열히터장치를 비롯한 종래의 히터 재킷은 발열부와 단열부가 상호 부착되어 분리가 불가능한 형태로 되어 있기 때문에, 상기 두 부분 중 한쪽이 멀쩡한 경우에도 전체를 교환하여야만 하는 문제점이 있었다. In general, the heat insulation heater is composed of a heat insulating part of the heating element containing the heating wire electrically heated and the heat insulating material surrounding the outside of the heat generating portion. It will denature and eventually replace the adiabatic heater. In particular, in the case of the heat generating portion, the hot wire is often disconnected. The present applicant has filed an invention regarding a heat insulation heater jacket having a double hot wire structure in order to compensate for the problem caused by disconnection of the hot wire (Korean Patent Application No. 2005-34482). However, the conventional heater jacket including the insulated heater device disclosed in the above document has a problem in that the whole of the heat exchanger and the insulator are attached to each other so that they cannot be separated, even when one of the two parts is intact. .

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 상기 발열부와 단열재킷을 상호 용이하게 결합 및 분리될 수 있는 구조를 제공하여 문제 발생시 교체가 필요한 부분만을 분리하여 용이하게 교체할 수 있도록 하여 편의성 및 경제성을 향상시킨 단열 히터 재킷을 제공하는 것이다. Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention, by providing a structure that can be easily coupled and separated from each other the heat generating portion and the heat insulating jacket so that it can be easily replaced by separating only the parts that need to be replaced when a problem occurs convenience and economy It is to provide an insulation heater jacket with improved.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 열전도율과 내열성이 좋은 가요성 매트 내부에 발열체가 내장되는 구조의 시트상 발열부와 상기 발열부의 외측에 위치하고 속이 빈 원통형 구조를 갖고 그 원주상에 길이방향으로 절개선이 형성되어 있어 양단부를 갖는 형태이며 열전도율이 낮은 탄성재질로 되어 있어 상기 발열부에서 발산되는 열을 차단하는 역할을 수행하는 단열재킷을 포함하는 단열 히 터 재킷에 있어서, 상기 단열재킷과 상기 발열부간의 재탈부착이 가능한 결합구조로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 단열 히터 재킷을 제공한다.In order to achieve the above technical problem, the present invention has a sheet-like heat generating portion of the structure in which the heating element is built in a flexible mat having good thermal conductivity and heat resistance and a hollow cylindrical structure located outside the heat generating portion in the longitudinal direction thereof Insulation line is formed in the form having both ends and the thermal conductivity is low elastic thermal insulation jacket comprising a heat insulating jacket to serve to block the heat emitted from the heat generating portion, the heat insulating jacket and It provides a heat insulating heater jacket characterized in that the coupling structure is coupled between the detachable between the heat generating portion.

또한, 본 발명은 상기 결합구조가 상기 발열부의 외측면 및 상기 단열재킷의 내측면상 전부 또는 상호 대응되는 일부면상에 각각 형성된 벨크로이거나, 상기 단열재킷과 발열부의 가장자리에 상호 결합되도록 형성된 파스너 또는 상기 시트상 발열부가 상기 단열재킷의 내측에 끼워질 수 있도록 상기 단열재킷의 가장자리에서 연장되어 내측을 향해 폐쇄되는 구조의 원통형 브라켓 구조인 것을 특징으로 하는 단열 히터 재킷을 제공한다.In addition, the present invention is the fastening or the sheet formed so that the coupling structure is formed on the outer surface of the heat generating portion and the inner surface of the heat insulating jacket all or a part of the surface corresponding to each other, respectively coupled to the edge of the heat insulating jacket and the heat generating portion It provides a heat insulation heater jacket, characterized in that the heat generating portion is a cylindrical bracket structure of the structure extending from the edge of the heat insulating jacket so as to be fitted inside the heat insulating jacket is closed toward the inside.

또한, 본 발명은 상기 발열체가 복수의 병렬구조로 된 것을 특징으로 하는 단열 히터 재킷을 제공한다.In addition, the present invention provides a heat insulating heater jacket, characterized in that the heating element has a plurality of parallel structure.

또한, 본 발명은 상기 시트상 발열부의 발열체 위에 장착되어 히팅 패드의 온도를 감지하는 하나 이상의 온도 센서 및 상기 온도 센서가 감지하는 온도를 입력받아 복수의 병렬 연결된 발열체 중 특정 발열체의 오동작 유무를 판단하여 오동작 발생 시에 병렬화된 다른 발열체를 대체 동작하도록 제어하는 콘트롤러를 더 포함한 것을 특징으로 하는 단열 히터 재킷을 제공한다.In addition, the present invention is mounted on the heating element of the sheet-like heat generating portion is inputted at least one temperature sensor for sensing the temperature of the heating pad and the temperature detected by the temperature sensor to determine whether there is a malfunction of a specific heating element of the plurality of parallel connected heating elements It provides a thermal insulation jacket, characterized in that it further comprises a controller for controlling the alternative operation of the parallelized heating element when a malfunction occurs.

이하에서 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 단열 히터 재킷(100)의 사시도이다. 도 1에서 볼 수 있는 것과 같이, 본 발명의 단열히터재킷은 시트상 발열부(10)와 상기 발열부(10)의 외측에 위치하고 속이 빈 원통형 구조를 갖고 그 원주상에 길이방향으로 절개선 이 형성되어 있어 양단부를 갖는 형태의 단열재킷(20)을 포함한다. 상기 시트상 발열부(10)는 열전도율과 내열성이 좋은 가요성 매트 내부에 발열체가 내장되는 구조로 되어 있으며, 상기 가요성 매트의 재질로는 유리섬유재질 또는 실리콘 유리섬유 등이 일반적으로 사용된다. 또한, 상기 단열재킷(20)의 경우 열전도율이 낮은 탄성재질로 되어 있어 상기 발열부(10)에서 발산되는 열을 차단하는 역할을 수행하며, 상기 단열재킷(20)의 재질로는 구체적으로 실리콘 수지, 유리섬유 또는 석면 등을 사용할 수 있다. 상기 시트상 발열체 및 단열재킷(20)의 재질, 역할이나 제조방법 등은 전술한 대한민국 특허 제413699호 및 제422075호의 등록공보 등에 나와 있는 것과 같이, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 모두 알고 있을 것이므로 본 명세서에서는 더 이상의 상세한 설명은 하지 않기로 한다. 1 is a perspective view of an adiabatic heater jacket 100 according to the present invention. As can be seen in Figure 1, the heat insulating heater jacket of the present invention is located on the outside of the sheet-like heat generating portion 10 and the heat generating portion 10 has a hollow cylindrical structure and the incision in the longitudinal direction on the circumference It is formed to include a heat insulating jacket 20 of the form having both ends. The sheet-like heat generating unit 10 has a structure in which a heating element is embedded in a flexible mat having good thermal conductivity and heat resistance. As the material of the flexible mat, glass fiber material or silicon glass fiber is generally used. In addition, the heat insulating jacket 20 is made of an elastic material having a low thermal conductivity to serve to block heat emitted from the heat generating unit 10, and specifically, as a material of the heat insulating jacket 20, a silicone resin. , Glass fiber or asbestos can be used. The material, role or manufacturing method of the sheet-like heating element and the heat insulating jacket 20, as described in the above-mentioned publications of the Republic of Korea Patent No. 413699 and 422075, etc., having a common knowledge in the art As everyone grows up, it will not be described in detail herein.

본 발명의 단열 히터 재킷(100)은 단열재킷(20) 및 시트상 발열부(10)를 결합하고, 상기 절개선을 벌려 상기 시트상 발열부(10)의 내측면이 파이프 등의 외측면과 맞닿게 하여 장착한 후, 상기 단열재킷(20)의 외부에 별도로 구비된 벨크로 또는 단추를 구비한 스트랩 또는 외피 등의 형태로 된 고정구(60)를 이용하여 움직임이 없도록 단단하게 고정할 수 있다. Insulating heater jacket 100 of the present invention combines the heat insulating jacket 20 and the sheet-like heat generating portion 10, and open the incision and the inner surface of the sheet-like heat generating portion 10 and the outer surface such as pipes and the like. After contacting and mounting, it can be firmly fixed so that there is no movement using the fastener 60 in the form of a strap or jacket provided with a Velcro or button provided separately on the outside of the heat insulating jacket 20.

본 발명의 단열 히터 재킷(100)은 상기 단열재킷(20)과 상기 발열부(10)간의 재탈부착이 가능한 결합구조를 통하여 결합되어 있는 것을 특징으로 한다. 전술한 바와 같이, 종래의 단열 히터 재킷(100)은 상기 단열재킷(20)과 시트상 발열부(10)가 비가동적으로 접착되어 있는 형태로 제작되기 때문에 상기 발열부(10)나 단열재 킷(20)의 둘 중 하나의 부위에 이상이 있는 경우 나머지 부분의 상태와 무관하게 전체를 교체해야만 하는 문제점이 있었다. 본 발명은 상기 단열재킷(20)과 상기 발열부(10)간의 탈착이 가능한 결합구조(30, 40)를 통하여 결합하도록 하여 상기 문제점을 해결하였다. 즉, 발열부(10)의 열선(11)이 단선 등의 이유로 작동이 되지 않거나, 단열재킷(20)이 열변성 등의 이유로 그 성질이 변하였을 때 상기 발열부(10) 또는 단열재킷(20)만을 분리하여 교체할 수 있도록 하여 단열 히터 재킷(100) 전체를 교환하는 비경제성을 탈피할 수 있도록 하였다. 상기 결합구조(30, 40)는 본 발명의 단열 히터 재킷(100)이 사용되는 환경하에서 열변성 등이 없는 것이면 되고 특별히 제한되는 것은 아니며, 공지의 결합구조, 예를 들면 파스너, 벨크로 등을 사용할 수 있다. 본 발명의 단열 히터 재킷(100)에 적용되는 상기 결합구조의 바람직한 예로는 상기 발열부(10)의 외측면 및 상기 단열재킷(20)의 내측면상 전부 또는 상호 대응되는 일부면상에 각각 형성된 벨크로(40)이거나, 상기 단열재킷(20)과 발열부(10)의 가장자리에 상호 결합되도록 형성된 파스너 또는 상기 시트상 발열부(10)가 상기 단열재킷(20)의 내측에 끼워질 수 있도록 상기 단열재킷(20)의 가장자리에서 연장되어 내측을 향해 폐쇄되는 구조의 원통형 브라켓(30) 구조인 것이 바람직하다. 도 2 및 도 3은 각각 본 발명에 따른 단열 히터 재킷(100)의 일실시예의 단면도 및 또 다른 실시예의 단면도이다. 도 2 및 도 3에서 볼 수 있는 것과 같이, 본 발명의 일실시예에서는 상기 결합구조가 상기 시트상 발열부(10)가 상기 단열재킷(20)의 내측에 끼워질 수 있도록 상기 단열재킷(20)의 가장자리에서 연장되어 내측을 향해 폐쇄되는 구조의 원통형 브라켓(30) 구조인 경 우가 개시되어 있고, 또 다른 실시예에서는 상기 결합구조가 상기 발열부(10)의 외측면 및 상기 단열재킷(20)의 내측면상 전부 또는 상호 대응되는 일부면상에 각각 형성된 벨크로(40)일 수 있다. 또한, 상기 단열 히터 재킷(100)은 일반적으로 온도센서 및 발열부(10)를 제어하기 위한 콘트롤러(50)와 연결되는데, 상기 온도센서 및 콘트롤러(50)와 발열부(10) 간의 연결도 용이하게 분리 가능한 커넥터 등으로 이루어지게 하여 상기 부품에 대한 교체 필요가 있는 경우에도 상기 부품만을 교체할 수 있도록 하여 유지보수비용을 최소화하여 경제성을 제고할 수 있다.Insulating heater jacket 100 of the present invention is characterized in that the coupling between the heat insulating jacket 20 and the heat-removable portion 10 through a coupling structure that can be detachable. As described above, the conventional heat insulating heater jacket 100 is manufactured in a form in which the heat insulating jacket 20 and the sheet-like heat generating portion 10 are inflexibly bonded, so that the heat generating portion 10 or the heat insulating material kit ( If there is an abnormality in one of the two parts of 20) there was a problem that the whole must be replaced regardless of the state of the rest. The present invention solved the problem by coupling through the coupling structure (30, 40) that is removable between the heat insulating jacket 20 and the heat generating portion (10). That is, when the heating wire 11 of the heat generating unit 10 does not work due to disconnection or the like, or when the heat insulating jacket 20 changes its properties due to thermal denaturation or the like, the heat generating unit 10 or the heat insulating jacket 20. ) So that only the separation can be replaced so as to avoid the inefficiency of replacing the entire insulation heater jacket 100. The coupling structures 30 and 40 are not particularly limited in the environment in which the heat insulating heater jacket 100 of the present invention is used, and are not particularly limited, and known coupling structures such as fasteners and velcro may be used. Can be. A preferred example of the coupling structure applied to the heat insulating heater jacket 100 of the present invention is a velcro formed on the outer surface of the heat generating part 10 and the inner surface of the heat insulating jacket 20 or on some surfaces corresponding to each other. 40 or the fastener or the sheet-shaped heat generating part 10 formed to be coupled to the edge of the heat insulating jacket 20 and the heat generating part 10 so as to be fitted inside the heat insulating jacket 20. It is preferable that the cylindrical bracket 30 has a structure extending from the edge of 20 and closed inward. 2 and 3 are cross-sectional views of one embodiment and another embodiment, respectively, of an insulated heater jacket 100 according to the present invention. As can be seen in Figures 2 and 3, in one embodiment of the present invention, the heat insulating jacket 20 so that the coupling structure is fitted to the inside of the heat insulating jacket 20, the sheet-like heat generating portion 10. Disclosed is a cylindrical bracket (30) structure of the structure extending from the edge of the closed to the inside, in another embodiment the coupling structure is the outer surface of the heat generating portion 10 and the heat insulating jacket (20) It may be a Velcro 40 formed on all of the inner surface or a portion of the surface corresponding to each other. In addition, the insulation heater jacket 100 is generally connected to the controller 50 for controlling the temperature sensor and the heating unit 10, the connection between the temperature sensor and controller 50 and the heating unit 10 is also easy. It is possible to replace only the parts even if there is a need to replace the parts to be made of a detachable connector or the like can minimize the maintenance cost to improve the economics.

본 발명의 단열 히터 재킷의 상기 발열부(10)에 내장되는 발열체는 복수의 병렬구조로 될 수 있다. 상기 발열체는 그 재질이나 형태가 특별히 제한되는 것은 아니며, 열선 또는 면상발열체 등이 사용될 수 있으며 경제성 등의 이유로 일반적으로 열선(11) 형태의 것이 가장 많이 사용된다. 전술한 바와 같이, 본 출원인은 열선(11)을 복수의 병렬 구조로 구성해서 실리콘 파이퍼 글래스 외피에 제작된 히팅 패드를 포함하는 단열 히터 재킷에 관한 특허출원을 한 바 있다(대한민국 특허출원 제2005-34482호). 도 4는 본 발명에 따른 단열 히터 재킷(100)에 적용되는 발열체가 2개의 열선(11)으로 구성된 것을 도식적으로 나타낸 도면이다. 도 4 및 상기 본 출원인의 또 다른 출원발명의 출원서에 첨부된 명세서에 기재된 것과 같이, 본 발명의 단열 히터 자켓(100)의 경우 복수의 발열체(11)를 병렬구조로 배치하여 특정 발열체의 오동작 유무를 판단하고 상기 발열체의 오동작 발생 시에 병렬화된 다른 발열체를 대체 동작하도록 하여 발열체(단열 히터 재킷)의 수명을 실질적으로 연장할 수 있도록 하였다. The heating element embedded in the heat generating part 10 of the heat insulating heater jacket of the present invention may have a plurality of parallel structures. The material or form of the heating element is not particularly limited, and a heating wire or a planar heating element may be used, and the heating wire 11 may be generally used in the form of a heating wire 11 for economical reasons. As described above, the present applicant has filed a patent application for a heat insulation jacket including a heating pad made of a silicone piper glass by forming the heating wire 11 in a plurality of parallel structures (Korean Patent Application No. 2005- 34482). 4 is a diagram schematically showing that the heating element applied to the heat insulating heater jacket 100 according to the present invention is composed of two heating wires 11. As described in FIG. 4 and the specification attached to another application of the present applicant, in the case of the thermal insulation heater jacket 100 of the present invention, a plurality of heat generators 11 are arranged in a parallel structure to detect a malfunction of a specific heat generator. When the malfunction of the heating element occurs, it is possible to substantially replace the other parallel heating element to extend the life of the heating element (insulation heater jacket).

또한, 본 발명의 단열 히터 재킷(100)은 상기 시트상 발열부(10)의 발열체 위에 장착되어 히팅 패드의 온도를 감지하는 하나 이상의 온도 센서 및 상기 온도 센서가 감지하는 온도를 입력받아 복수의 병렬 연결된 발열체 중 특정 발열체의 오동작 유무를 판단하여 오동작 발생 시에 병렬화된 다른 발열체를 대체 동작하도록 제어하는 콘트롤러(50)를 더 포함할 수 있다. 상기 온도센서 및 콘트롤러(50)의 구조 및 회로구성 등은 전기한 본 출원인의 대한민국 특허출원 제2005-34482호에 기재된 것과 같을 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기 구조 등에 대하여 변형이나 설계변경 등을 할 수 있으나, 상기 변형 등이 본 발명의 권리범위를 벗어나는 것은 아님을 알 것이다.In addition, the thermal insulation heater jacket 100 of the present invention is mounted on the heating element of the sheet-like heating unit 10 is a plurality of parallel receiving a temperature sensor for sensing the temperature of the heating pad and the temperature detected by the temperature sensor The controller 50 may further include a controller 50 that determines whether a specific heating element is malfunctioning among the connected heating elements and controls to alternately operate another paralleled heating element when a malfunction occurs. The structure and circuit configuration of the temperature sensor and the controller 50 may be the same as those described in Korean Patent Application No. 2005-34482 of the present applicant, and those skilled in the art to which the present invention pertains. Modifications or design changes may be made to the structure and the like, but it will be appreciated that the modifications and the like do not depart from the scope of the present invention.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 상기 발열부와 단열재킷을 상호 용이하게 결합 및 분리될 수 있는 구조를 제공하여 문제 발생시 교체가 필요한 부분만을 분리하여 용이하게 교체할 수 있도록 하여 편의성 및 경제성을 향상시킨 단열 히터 재킷을 제공한다. As described above, the present invention provides a structure that can be easily coupled to and separated from the heat generating portion and the heat insulating jacket to be able to easily replace only the parts that need to be replaced when a problem occurs, thereby improving convenience and economy. To provide a thermal insulation jacket.

앞에서 설명된 본 발명의 일실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.One embodiment of the present invention described above should not be construed as limiting the technical spirit of the present invention. The protection scope of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art can change and change the technical idea of the present invention in various forms. Therefore, such improvements and modifications will fall within the protection scope of the present invention, as will be apparent to those skilled in the art.

Claims

하기 단열재킷에 비해 열전도율이 높은 가요성 매트 내부에 발열체가 내장되는 구조의 시트상 발열부와 상기 발열부의 외측에 위치하고 속이 빈 원통형 구조를 갖고 그 원주상에 길이방향으로 절개선이 형성되어 있어 양단부를 갖는 형태이며 상기 가요성 매트에 비해 열전도율이 낮은 탄성재질로 되어 있어 상기 발열부에서 발산되는 열을 차단하는 역할을 수행하는 단열재킷을 포함하는 단열 히터 재킷에 있어서, Compared with the heat insulating jacket, the sheet-like heat generating part having a heat generating element inside the flexible mat having a higher thermal conductivity and a hollow cylindrical structure located outside the heat generating part has a cut line formed in the longitudinal direction on the circumference of both ends. In the form having an insulating material having a lower thermal conductivity than the flexible mat has a heat insulating jacket that serves to block the heat emitted from the heat generating portion,

상기 단열재킷과 상기 발열부간의 재탈부착이 가능한 결합구조로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 단열 히터 재킷. Insulation heater jacket, characterized in that coupled to the coupling structure capable of re-attachment between the insulation jacket and the heat generating portion.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 결합구조는 상기 발열부의 외측면 및 상기 단열재킷의 내측면상 전부 또는 상호 대응되는 일부면상에 각각 형성된 벨크로이거나, 상기 단열재킷과 발열부의 가장자리상에 상호 결합되도록 형성된 파스너 또는 상기 시트상 발열부가 상기 단열재킷의 내측에 끼워질 수 있도록 상기 단열재킷의 가장자리에서 연장되어 내측을 향해 폐쇄되는 구조의 원통형 브라켓 구조인 것을 특징으로 하는 단열 히터 재킷.The coupling structure may be a Velcro formed on the outer surface of the heat generating portion and the entire surface of the inner surface of the heat insulating jacket or on a part of the surface corresponding to each other, or the fastener or the sheet heat generating portion formed to be mutually coupled on the edge of the heat insulating jacket and the heat generating portion. Insulating heater jacket, characterized in that the cylindrical bracket structure of the structure extending from the edge of the insulating jacket to be closed toward the inner side so as to fit inside the insulating jacket.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 발열체가 복수의 병렬구조로 된 것을 특징으로 하는 단열 히터 재킷.Insulating heater jacket, characterized in that the heating element has a plurality of parallel structure.

제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3,

상기 시트상 발열부의 발열체 위에 장착되어 히팅 패드의 온도를 감지하는 하나 이상의 온도 센서 및 상기 온도 센서가 감지하는 온도를 입력받아 복수의 병렬 연결된 발열체 중 특정 발열체의 오동작 유무를 판단하여 오동작 발생 시에 병렬화된 다른 발열체를 대체 동작하도록 제어하는 콘트롤러를 더 포함한 것을 특징으로 하는 단열 히터 재킷.One or more temperature sensors mounted on the heating element of the sheet-like heating unit and sensing the temperature of the heating pad and the temperature detected by the temperature sensor determine whether there is a malfunction of a specific heating element among a plurality of parallel-connected heating elements and perform parallelization when a malfunction occurs. Insulating heater jacket, characterized in that it further comprises a controller for controlling the alternative operation of the heating element.