KR100676824B1 - 패널이송장치 - Google Patents

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KR100676824B1
KR100676824B1 KR1020050077784A KR20050077784A KR100676824B1 KR 100676824 B1 KR100676824 B1 KR 100676824B1 KR 1020050077784 A KR1020050077784 A KR 1020050077784A KR 20050077784 A KR20050077784 A KR 20050077784A KR 100676824 B1 KR100676824 B1 KR 100676824B1
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이상호
신정근
유스코브 안드레이
임순규
정경석
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은, 복수의 패널을 수용한 패널카세트를 이송하는 패널이송장치에 관한 것으로서, 상기 패널카세트를 수용하는 카세트수용부를 갖는 카세트로드챔버와; 상기 카세트수용부에 마련되어 상기 패널카세트를 지지하는 스테이지와; 상기 카세트수용부에 마련되며 상기 패널카세트의 적재위치와 배출위치 사이 에서 상기 스테이지를 이송하는 이송유닛과; 상기 이송유닛과 상기 스테이지 사이에 마련되어 상기 이송유닛의 이송방향을 회동축선으로 하여 상기 스테이지를 회동시키는 회동유닛과; 상기 카세트수용부에 마련되어 상기 패널카세트를 감지하는 센서와; 상기 센서에 의해 감지된 상기 패널카세트의 검출위치와 상기 패널카세트의 목표위치를 비교하여 상기 이송유닛 및 상기 회동유닛을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 패널카세트의 이송이 간단하며 패널카세트의 위치를 조절을 할 수 있는 패널이송장치가 제공된다.

Description

패널이송장치{PANEL TRANSFERRING APPARATUS}
도 1는 본 발명에 따른 패널이송장치의 측단면도,
도 2a는 카세트수용부의 평단면도,
도 2b는 이송유닛 및 회동유닛을 나타낸 측면도,
도 3a 및 도 3b는 패널이송을 나타낸 측단면도,
도 4는 패널이송과정 중 로딩과정을 나타낸 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 패널이송장치
20 : 패널 25 : 패널카세트
27 : 카세트도어
30 : 카세트로드챔버 31 : 카세트수용부
33 : 적재도어 35 : 배출도어
40 : 스테이지
50 : 이송유닛 51 : 제1이송유닛
53 : 제2이송유닛 55 : 서보모터
57 : 볼스크류 58 : LM가이드
59 : LM블록 60 : 센서
70 : 회동유닛 75 : 스토커
80 : 패널이송부 81 : 아암
85 : 진공구동부 90 : 냉기공급부
91 ; 송풍팬 93 : 라디에이터
본 발명은, 패널이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 패널카세트의 이송이 간단하며 패널카세트의 위치를 조절을 할 수 있는 패널이송장치에 관한 것이다.
LCD TV 등에 이용되는 액정표시장치는 화상이 형성되는 액정패널과, 액정패널의 후방에 배치되어 액정패널에 광을 공급하는 백라이트 유닛과, 액정패널과 백라이트 유닛을 수용하여 지지하는 샤시를 갖는다. 액정패널은 박막트랜지스터 패널과, 칼라필터 패널과, 양 패널 사이에 주입된 액정층을 갖는다. 박막트랜지스터 패널과 같은 글라스로 된 패널은 증착공정, 식각공정 등의 여러 가지 공정을 거친다.
이러한 공정에 패널을 이송하기 위한 패널이송장치는 복수 개의 패널을 수용한 패널카세트와, 패널카세트를 수용하는 카세트로더(cassette loader)와, 패널카세트를 카세트로더에 로딩 및 언로딩하는 스토커(stocker)와, 패널을 수용하여 공정분위기와 동일한 분위기를 형성하는 로드락챔버(load lock chamber)와, 카세트로드와 로드락챔버 상호간에 패널을 운반하는 인덱서(indexer)와, 로드락챔버와 공정 을 수행하는 공정챔버 상호간에 패널을 이송하는 로봇과 같은 이송구동부를 갖는다.
이러한 구성을 갖는 종래기술에서는 카세트로더, 인덱서, 로드락챔버를 거쳐 패널이 이송되는 복잡한 구조로 되어 있으며, 이송장치가 차지하는 공간이 넓다는 문제점이 있다. 이에, 종래기술에서는 디스플레이장치의 크기가 대형화되어 패널도 대형화 되는 최근의 추세에 비추어 볼 때 패널이송장치가 더욱 더 복잡해져 이에 따른 설치공간 및 비용이 상대적으로 증가될 우려가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 패널카세트의 이송이 간단하며 패널카세트의 위치를 조절을 할 수 있는 패널이송장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 복수의 패널을 수용한 패널카세트를 이송하는 패널이송장치에 있어서, 상기 패널카세트를 수용하는 카세트수용부를 갖는 카세트로드챔버와; 상기 카세트수용부에 마련되어 상기 패널카세트를 지지하는 스테이지와; 상기 카세트수용부에 마련되며 상기 패널카세트의 적재위치와 배출위치 사이에서 상기 스테이지를 이송하는 이송유닛과; 상기 이송유닛과 상기 스테이지 사이에 마련되어 상기 이송유닛의 이송방향을 회동축선으로 하여 상기 스테이지를 회동시키는 회동유닛과; 상기 카세트수용부에 마련되어 상기 패널카세트를 감지하는 센서와; 상기 센서에 의해 감지된 상기 패널카세트의 검출위치와 상기 패널카세트의 목표위치를 비교하여 상기 이송유닛 및 상기 회동유닛을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널이송장치에 의하여 달성된다.
여기서, 상기 이송유닛은 상기 적재위치와 상기 배출위치 사이를 상기 스테이지가 직선으로 이송가능하게 마련된 제1이송유닛과, 상기 제1이송유닛의 이송방향에 가로방향으로 상기 스테이지를 이송하는 제2이송유닛을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1이송유닛 및 상기 제2이송유닛은 각각 회전운동을 직선운동으로 바뀌게 하는 볼스크류와; 상기 볼스크류와 결합되어 회전력을 전달하는 서보모터와; 상기 볼스크류와 평행되게 마련된 LM(linear motor)가이드와; 상기 LM가이드와 맞물려 슬라이딩되며 스테이지부와 결합되는 LM블록을 포함하며, 제어부는 상기 서보모터를 제어하는 것을 포함할 수 있다.
또한, 상기 적재위치에 상기 패널카세트를 로딩 및 언로딩하는 스토커(stocker)와; 소정의 진공압이 걸린 상기 카세트수용부의 배출위치로부터 상기 패널을 지지하여 공정을 진행하는 공정챔버로 상기 패널을 이송하는 아암을 갖는 패널이송부를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 센서는 두 개 이상으로 마련될 수 있다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예인 인쇄회로기판에 대하여 설명한다.
본 발명에 따른 패널이송장치(10)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 패널(20)을 수용한 패널카세트(25)와; 패널카세트(25)를 수용하는 카세트수용부(31)를 갖는 카세트로드챔버(30)와; 카세트수용부(31)에 마련되어 패널카세트(25)를 지지하는 스테이지(40)와;카세트수용부(31)에 마련되며 패널카세트(25)의 적재위치와 배출위치 사이에서 스테이지(40)를 이송하는 이송유닛(50)과; 이송유닛(50)과 스테이지(40) 사이에 마련되어 이송유닛(50)의 이송방향을 회동축선으로 하여 스테이지(40)를 회동시키는 회동유닛(70)과; 카세트수용부(31)에 마련되어 패널카세트(25)를 감지하는 센서(60)와; 센서(60)에 의해 감지된 패널카세트(25)의 검출위치와 상기 패널카세트(25)의 목표위치를 비교하여 이송유닛(50) 및 회동유닛(70)을 제어하는 제어부를 포함한다. 또한, 패널이송장치(10)는, 적재위치에 패널카세트(25)를 로딩 및 언로딩하는 스토커(stocker, 75)와, 소정의 진공압이 걸린 카세트수용부(31)의 배출위치로부터 패널(20)을 지지하여 공정을 진행하는 공정챔버로 패널(20)을 이송하는 아암(81)을 갖는 패널이송부(80)를 포함할 수 있다.
패널(20)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 패널카세트(25)에 수용되며 패널카세트(25)로부터 후술할 패널이송부(80)의 아암(81)에 의하여 소정의 공정을 수행하는 공정챔버(미도시)로 이송된다. 패널(20)은 LCD TV 등에 사용되는 글라스(glass)로 된 박막트랜지스터 패널 뿐 만이 아니라 컬러필터 기판을 포함함은 물론이다.
패널카세트(25)는, 도 에 도시된 바와 같이, 복수의 패널을 수용하는 직육면체 형상을 가지며, 일 측면에 패널(20) 출입가능하게 마련된 카세트도어(27)를 갖는다. 또한, 패널카세트(25)는 수용되는 패널(20)의 형상에 따라 다양한 형상으로 마련될 수 있다.
카세트도어(27)는, 도 에 도시된 바와 같이, 패널카세트(25)의 일 측면에 패널(20)이 출입가능하도록 마련되어 있다. 또한, 카세트도어(27)에는 카세트도어(27)를 개폐할 수 있는 에어실린더(미도시)와 같은 구동부가 포함될 수 있다. 또 한, 제어부에서는 후술할 카세트수용부(31)에 소정의 진공압이 형성된 후에 카세트도어(27)가 개방되도록 제어할 수 있다. 이에, 패널카세트(25)에 수용된 패널(20)이 이물질과 접촉되는 것을 방지할 수 있으며, 패널카세트(25)의 고속이송에 따른 패널(20)의 파손을 방지할 수 있다.
카세트로드챔버(30)는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 패널카세트(25)를 수용하는 카세트수용부(31)를 갖는다. 또한, 카세트로드챔버(30)에는 공정챔버와 같은 소정의 진공압을 형성하는 진공구동부(85)가 포함될 수 있다. 또한, 카세트로드챔버(30)에는 카세트수용부(31)의 고온이 유지되는 온도분위기를 낮출 수 있도록 카세트수용부(31)의 벽면을 냉각시키는 냉기공급부(90)가 포함될 수 있다.
카세트수용부(31)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 일 측에 스토커(75)에 패널카세트(25)가 출입가능한 적재도어(33)와, 타 측에 패널이송부(80)의 아암(81)이 출입하여 패널카세트(25)로부터 패널(20)을 인출할 수 있는 배출도어(35)를 갖는다. 또한, 카세트수용부(31)에는 패널카세트(25)를 감지할 수 있는 센서(60)가 포함될 수 있다.
적재도어(33)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 패널카세트(25)를 출입시킬 수 있도록 카세트수용부(31)의 일 측에 마련되어 있다. 제어부에서는 카세트수용부(31)의 진공압이 해제된 후에 적재도어(33)가 열리도록 제어할 수 있다.
배출도어(35)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 패널(20)이 출입되도록 카세트수용부(31)에 마련되어 있다. 제어부에서는 카세트수용부(31)가 소정의 진공압에 도달한 경우에 배출도어(35)가 개방되도록 제어할 수 있다.
적재도어(33) 및 배출도어(35)와 결합되는 카세트수용부(31)에는 카세트수용부(31)를 밀봉하여 소정의 진공압이 유지되도록 하는 씰링부재(미도시)가 포함될 수 있음은 물론이다.
스테이지(40)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 카세트수용부(31)에 마련되어 있으며 패널카세트(25)를 지지한다. 또한, 스테이지(40)는 사각형의 판상으로 마련되어 있으나 패널(20)의 형상에 따른 패널카세트(25)의 형상에 따라 변할 수 있다. 또한, 스테이지(40)는 후술할 회동유닛(70)과 결합되어 이송유닛(50)의 이송방향의 축선방향에 대하여 패널카세트(25)의 회동이 가능하다.
이송유닛(50)은, 도 에 도시된 바와 같이, 카세트수용부(31)에 마련되며 스테이지(40)를 적재위치와 배출위치 사이를 이송시킨다. 또한, 이송유닛(50)은 적재위치와 배출위치 사이를 스테이지(40)가 직선으로 이송되도록 하는 제1이송유닛(51)과, 제1이송유닛(51)의 이송방향에 가로방향으로 스테이지(40)를 이송하는 제2이송유닛(53)을 포함한다. 또한, 이송유닛(50)은 회전운동을 직선운동으로 바뀌게 하는 볼스크류(57)와, 볼스크류(57)와 결합되어 회전력을 전달하는 서보모터(55)를 갖는다. 또한, 이송유닛(50)은 LM(linear motor)가이드(58)와, 일 측은 LM가이드(58)와 맞물려 슬라이딩되도록 설치되며 타 측은 스테이지(40)와 결합되는 LM블록(59)을 포함할 수 있다. 또한, 이송유닛(50)은 리니어모터와 같은 공지의 이송수단을 선택적으로 채용할 수 있음은 물론이다.
적재위치에서는 스테이지(40)가 지지하는 패널카세트(25)가 후술할 스토커(75)에 로딩 및 언로딩된다. 적재위치는 카세트수용부(31)의 적재도어(33)에 근접 되어 있다.
배출위치에서는 패널카세트(25)에 수용된 패널(20)을 지지한 패널이송부(80)의 아암(81)이 패널(20)을 패널카세트(25)로부터 인출하여 소정의 공정챔버로 이송시킨다. 배출위치는 카세트수용부(31)의 배출도어(35)에 근접되어 있다.
제1이송유닛(51)은, 도 2a에 도시된 바와 같이, 적재위치와 배출위치 사이를 스테이지(40)가 직선으로 이송하도록 마련되어 있다. 또한, 제1이송유닛(51)은 전술한 바와 같이, 서보모터(55), LM가이드(58) 등을 포함할 수 있다. 또한, 제1이송유닛(51)은, 도 2a에 도시된 바와 같이, 제2이송유닛(53)의 상부에 배치되어 있으나 위치가 바뀔 수 있음은 물론이다.
제2이송유닛(53)은, 도 2a에 도시된 바와 같이, 제1이송유닛(51)의 이송방향에 가로방향으로 스테이지(40)를 이송하도록 마련되어 있다. 또한, 제2이송유닛(53)은 전술한 바와 같이, 서보모터(55), LM가이드(58) 등을 포함할 수 있다.
회동유닛(70)은, 도 2b에 도시된 바와 같이, 이송유닛(50)과 스테이지(40) 사이에 마련되어 이송유닛(50)의 이송방향을 회동축선으로 하여 스테이지(40)를 회동시킨다. 또한, 회동유닛(70)은 스테이지(40)의 각도를 조정하기 위하여 구동시키는 회동구동부(미도시)를 갖는다. 회동구동부는 스테이지(40)와 결합되어 스테이지(40)를 이송유닛(50)의 이송방향을 축선으로 하여 회동하도록 구동하는 스텝모터를 포함할 수 있다. 또한, 회동구동부는 자동차 등의 사이드미러에 사용되어 사이드미러의 각도를 전동으로 조절하게 하는 모터, 워엄, 워엄기어, 각도조절부재와 같은 공지의 회동수단을 선택적으로 채용할 수 있음은 물론이다.
이에, 패널카세트(25)의 위치는 이송방향 및 이송방향의 가로방향으로 조절가능할 뿐만이 아니라 이송방향을 회동축선으로 하여 회동하여 각도를 조절할 수 있다.
센서(60)는, 도 1 및 도 2a에 도시된 바와 같이, 패널카세트(25)를 감지할 수 있도록 카세트수용부(31) 내에 설치되어 있다. 또한, 센서(60)는 패널카세트(25)의 위치를 인식할 수 있도록 표시한 표식부(미도시)를 감지하며, 패널카세트(25)의 X좌표, Y좌표 및 기울어진 각도(θ)를 산출하기 위하여 적어도 2개를 갖는다. 또한, 센서(60)는 비젼센서(vision sensor)와 같은 공지의 센서를 선택적으로 채용할 수 있다.
제어부(미도시)는 센서(60)에 의해 감지된 패널카세트(25)의 검출위치와 패널카세트(25)의 목표위치를 비교하여 이송유닛(50) 및 회동유닛(70)을 제어한다.
이에, 배출위치에 있는 패널카세트(25)의 목표위치와 검출위치를 비교하여 패널카세트(25)가 소정의 범위 내에 위치하여 차후의 공정에서 패널(20)이 비교적 정확한 위치로 이송될 수 있다.
스토커(75)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 적재위치에 패널카세트(25)를 로딩 및 언로딩한다. 또한, 스토커(75)는 카세트로드챔버(30)에서 패널카세트(25)를 인출하여 다음 공정으로 패널카세트(25)를 운반한다.
패널이송부(80)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 소정의 진공압이 걸린 카세트수용부(31)의 배출위치로부터 패널(20)를 지지하여 공정을 진행하는 공정챔버로 패널(20)을 이송하는 아암(81)을 갖는다.
진공구동부(85)는, 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 패널(20)이 이송되어 공정을 진행하는 공정챔버와 같은 분위기가 카세트수용부(31)에 소정의 진공압이 형성될 수 있도록 한다.
냉기 공급부(90)는, 도 2a에 도시된 바와 같이, 카세트수용부(31)의 분위기를 냉각시킬 수 있도록 카세트수용부(31)의 벽에 열전달가능한 냉기를 공급한다. 또한, 냉기 공급부(90)는 냉기를 순환시키는 냉각팬(91)과, 냉매를 압축시키는 압축펌프(미도시)와, 라디에이터(93)를 갖는다. 이에, 카세트수용부(31)의 분위기를 신속하게 냉각시킬 수 있다.
이러한 구성에 의해, 본 발명에 따른 패널이송장치의 작동과정을 도 3 및 도 4를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 패널카세트(25)의 로딩과정을 살펴보면 다음과 같다. 카세트수용부(31)의 적재도어(33)가 개방된다. 스토커(75)에 수용된 패널카세트(25)는 카세트수용부(31)의 적재위치에 위치한 스테이지(40)에 로딩된다(도 3a 참조). 스테이지(40)는 카세트수용부(31)를 지지하며 제1이송유닛(51) 및 제2이송유닛(53)에 의해 배출위치로 이송된다. 이 때, 제어부는 카세트수용부(31)의 적재도어(33)가 닫히도록 제어한다. 제어부에서는 배출위치로 이송된 스테이지(40)에 지지된 패널카세트(25)의 검출위치가 두 개 이상의 센서(60)에 의해 감지된 표식부의 검출신호들을 기초로 하여 산출된다. 이러한 산출은 공지된 다양한 방법을 사용하며 상세한 설명을 생략한다. 또한 제어부에서는 패널카세트(25)의 설정된 목표위치와 검출위치를 비교하여 오차범위 내에 들어가는지 여부를 비교한다. 만약, 오차범위에 들어가지 않으면 제어부는 스테이지(40)의 검출위치가 목표위치와의 오차범위에 들어가도록 제1이송유닛(51), 제2이송유닛(53) 및 회동유닛(70)을 제어한다. 제어부는 패널카세트(25)의 목표위치와 검출위치를 비교하여 오차범위 내로 들어가면 카세트수용부(31)를 소정의 진공압이 형성될 수 있도록 진공구동부(85)를 작동시킨다. 이에, 카세트수용부(31) 내에서 패널카세트(25)의 이송이 이루지고 진공압이 형성될 수 있어 장치가 간단하며 이송된 패널카세트(25)의 위치가 검출 및 비교되어 그에 따른 패널카세트(25)의 위치가 조절될 수 있다. 소정의 진공압이 형성되면 배출도어(35) 및 카세트도어(27)가 개방되며 패널이송부(80)의 아암(81)이 패널카세트(25)의 패널(20)을 지지하여 패널카세트(25)로부터 패널(20)을 인출한다(도 3b 참조). 인출된 패널(20)은 공정챔버의 소정의 위치에 안착된다.
다음, 소정의 공정을 진행한 패널(20)은 공정챔버에서 패널이송부(80)의 아암(81)에 의해 패널카세트(25)로 이송된다. 제어부는 이 과정에서 필요에 따라 냉기공급부(90)의 작동여부를 제어할 수 있다. 이러한 과정을 반복하여 패널카세트(25)의 모든 패널(20)이 공정을 완료하면 패널카세트(25)에 적재되면 카세트수용부(31)의 진공은 해제된다. 스테이지(40)는 제1 및 제2이송유닛(51,53)에 의하여 배출위치에서 적재위치로 이송된다. 적재위치에 스테이지(40)가 위치하면 제어부는 적재도어(33)가 열리도록 제어한다. 스토커(75)는 스테이지(40)에 지지된 패널카세트(25)를 언로딩한다.
이에, 본 발명에 따르면, 카세트수용부에서 패널카세트를 수용하여 이송된 검출위치와 목표위치를 비교하여 패널카세트의 위치를 조절할 수 있도록 하여 복잡 한 이송과정을 단순하게 하였으며 패널카세트의 위치조절도 할 수 있다. 따라서, 패널이송시간을 줄일 수 있으며, 패널이송장치의 공간이 비교적 적게 소요되어 그에 따른 클린룸 관리 비용 등의 경제적인 비용을 줄일 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 패널카세트의 이송이 간단하며 패널카세트의 위치를 조절을 할 수 있는 패널이송장치가 제공된다.

Claims (5)

  1. 복수의 패널을 수용한 패널카세트를 이송하는 패널이송장치에 있어서,
    상기 패널카세트를 수용하는 카세트수용부를 갖는 카세트로드챔버와;
    상기 카세트수용부에 마련되어 상기 패널카세트를 지지하는 스테이지와;
    상기 카세트수용부에 마련되며 상기 패널카세트의 적재위치와 배출위치 사이에서 상기 스테이지를 이송하는 이송유닛과;
    상기 이송유닛과 상기 스테이지 사이에 마련되어 상기 이송유닛의 이송방향을 회동축선으로 하여 상기 스테이지를 회동시키는 회동유닛과;
    상기 카세트수용부에 마련되어 상기 패널카세트를 감지하는 센서와;
    상기 센서에 의해 감지된 상기 패널카세트의 검출위치와 상기 패널카세트의 목표위치를 비교하여 상기 이송유닛 및 상기 회동유닛을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송유닛은 상기 적재위치와 상기 배출위치 사이를 상기 스테이지가 직선으로 이송가능하게 마련된 제1이송유닛과, 상기 제1이송유닛의 이송방향에 가로방향으로 상기 스테이지를 이송하는 제2이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1이송유닛 및 상기 제2이송유닛은 각각
    회전운동을 직선운동으로 바뀌게 하는 볼스크류와;
    상기 볼스크류와 결합되어 회전력을 전달하는 서보모터와;
    상기 볼스크류와 평행되게 마련된 LM(linear motor)가이드와;
    상기 LM가이드와 맞물려 슬라이딩되며 스테이지부와 결합되는 LM블록을 포함하며,
    제어부는 상기 서보모터를 제어하는 것을 특징으로 하는 패널이송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 적재위치에 상기 패널카세트를 로딩 및 언로딩하는 스토커(stocker)와;
    소정의 진공압이 걸린 상기 카세트수용부의 배출위치로부터 상기 패널을 지지하여 공정을 진행하는 공정챔버로 상기 패널을 이송하는 아암을 갖는 패널이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널이송장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 센서는 두 개 이상으로 마련된 것을 특징으로 하는 패널이송장치.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100991267B1 (ko) 2008-09-12 2010-11-01 광주과학기술원 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법 및 장치
KR101331617B1 (ko) 2013-05-30 2013-11-22 (주)진성이엔지 글라스 적재용 카세트 자동 검사 시스템
WO2014062034A1 (ko) * 2012-10-18 2014-04-24 디앤에이 주식회사 레이저 리프트 오프 장치
KR20210125207A (ko) * 2020-04-08 2021-10-18 최필수 피펫팁 자동 선별 및 적재 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000017220A (ko) * 1998-08-11 2000-03-25 히가시 데쓰로 레지스트 도포·현상장치 및 이것에 사용되는 기판가열처리장치와 기판반송장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000017220A (ko) * 1998-08-11 2000-03-25 히가시 데쓰로 레지스트 도포·현상장치 및 이것에 사용되는 기판가열처리장치와 기판반송장치

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
10-2000-17220

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100991267B1 (ko) 2008-09-12 2010-11-01 광주과학기술원 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법 및 장치
WO2014062034A1 (ko) * 2012-10-18 2014-04-24 디앤에이 주식회사 레이저 리프트 오프 장치
KR101331617B1 (ko) 2013-05-30 2013-11-22 (주)진성이엔지 글라스 적재용 카세트 자동 검사 시스템
KR20210125207A (ko) * 2020-04-08 2021-10-18 최필수 피펫팁 자동 선별 및 적재 장치
KR102317395B1 (ko) * 2020-04-08 2021-10-25 최필수 피펫팁 자동 선별 및 적재 장치

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