KR100675781B1 - 주파수 조정 진동 소자 및 이의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 소정의 진동 주파수를 생성하는 진동자; 및상기 진동자와 각기 병렬 접속된 복수의 가변 캐패시터부를 구비하고,상기 가변 캐패시터부는 적어도 2개 이상의 캐패시터와, 상기 캐패시터간을 전기적으로 연결하기 위한 트리밍용 금속 라인을 포함하는 주파수 조정 진동 소자.
- 제 1 항에 있어서,상기 트리밍용 금속 라인에 의해 상기 캐패시터간이 직렬 접속된 경우, 상기 트리밍용 금속 라인을 절단하여 상기 진동자의 상기 진동 주파수를 조절하거나, 상기 캐패시터간이 전기적으로 분리된 경우, 상기 트리밍용 금속 라인으로 상기 캐패시터간을 직렬 연결시켜 상기 진동자의 상기 진동 주파수를 조절하는 주파수 조정 진동 소자.
- 소정의 진동 주파수를 생성하는 진동자; 및상기 진동자와 각기 병렬 접속된 복수의 가변 캐패시터부를 구비하고,상기 가변 캐패시터부는 적어도 2개 이상의 캐패시터와, 상기 캐패시터에 각기 접속되고 서로 이격된 복수의 트리밍용 금속 라인을 포함하는 주파수 조정 진동 소자.
- 제 3 항에 있어서,상기 진동자의 진동 주파수 조절을 위해 상기 트리밍용 금속 라인간을 전기적으로 연결하는 연결 라인을 더 포함하는 주파수 조정 진동 소자.
- 제 1항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 트리밍용 금속 라인 영역을 노출하는 보호시트를 더 포함하는 주파수 조정 진동 소자.
- 진동자가 형성된 압전 성형시트와, 다수의 캐패시터 전극이 형성되고, 상기 다수의 캐패시터 전극을 전기적으로 연결하기 위한 연결 금속라인이 형성된 유전체 시트와, 상기 연결 금속라인을 노출시키기 위한 소정의 관통홀이 형성된 보호 시트를 마련하는 단계;상기 압전 성형시트, 유전체 시트 및 보호시트를 결합하는 단계; 및상기 관통홀을 통해 노출된 상기 연결 금속라인을 절단하거나 전기적으로 연결하는 트리밍 공정을 실시하는 단계를 포함하는 주파수 조정 진동 소자의 제조 방 법.
- 제 6 항에 있어서,상기 캐패시터 전극은 상기 유전체 시트의 중앙을 기준으로 다수의 전극판이 양쪽으로 마주보도록 형성된 다수의 상부 전극과 하부 전극을 포함하고, 상기 연결 금속라인은 상기 보호시트의 상기 관통홀 영역을 경유하여 마주보는 상기 상부 전극들을 전기적으로 연결하기 위해 하나의 라인 형태로 형성하는 주파수 조정 진동 소자의 제조 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 트리밍 공정은 레이저 광선 식각, 적외선 식각 또는 다이싱쏘를 이용한 방법 이용하여 상기 연결 금속라인의 일부를 끊거나, 도전성 에폭시를 이용한 스크린 프린팅 등의 후막 증착법, 스퍼터링, 증발법, 화학기상증착법 또는 졸-겔 코팅법 등의 박막 증착법을 이용하여 상기 연결 금속라인을 전기적으로 연결하는 주파수 조정 진동 소자의 제조 방법.
- 제 6항에 있어서, 상기 트리밍 공정 후,상기 관통홀을 소정의 밀봉막으로 매립하는 단계를 더 포함하는 주파수 조정 진동 소자의 제조 방법.
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