KR100665406B1 - 도포장치 - Google Patents
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- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
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Abstract
Description
Claims (21)
- 기판을 보지하는 보지부재와,상기 보지된 기판의 표면을 향하여 도포액을 토출하는 토출구멍이 설치된 노즐과,상기 토출구멍으로부터 토출된 도포액의 상태를 감시하는 감시수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 노즐로부터 상기 보지부재에 의해 보지된 기판에 대하여 도포액을 도포하는 도포위치와 상기 도포액을 도포하지 않을 때 노즐이 대기하는 대기위치와의 사이에서 노즐을 반송하는 반송수단을 갖추고,상기 감시수단이, 상기 대기위치에 배치되고, 상기 노즐로부터 토출된 도포액의 토출압을 검출하는 압력 센서인 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 노즐에는 상기 토출구멍이 복수로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 3에 있어서,상기 압력 센서는 상기 토출구멍별로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 노즐에는 복수로 분할된 영역별로 상기 토출구멍이 복수로 설치되고,상기 영역별로 상기 압력 센서가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 감시수단이, 상기 노즐에 일체적으로 설치되어, 상기 노즐로부터 토출된 도포액에 대하여 빛을 조사하고, 그 반사광 또는 투과광에 의거하여, 상기 토출구멍으로부터 토출되는 도포액의 상태를 감시하는 광학식 센서인 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 감시수단은, 상기 토출구멍으로부터 토출되는 도포액의 화상정보를 얻는 CCD 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 7에 있어서,상기 화상정보는 화상처리되는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 8에 있어서,상기 화상처리에 있어서, 상기 화상정보는 2값화 처리되는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 8에 있어서,상기 화상처리에 있어서, 상기 화상정보는 패턴 매칭으로 처리되는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 노즐에 대하여 도포액이 압송되는 공급로를 갖추고,상기 감시수단이, 상기 공급관로에 있어서 도포액의 공급압을 검출하는 압력 센서인 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 6에 있어서,상기 노즐에는 상기 토출이 복수로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 감시수단에 의한 감시결과에 의거하여 상기 토출구멍의 상태가 악화되 어 있는지의 여부를 판단하는 수단과,상기 토출구멍의 상태가 악화되어 있다고 판단된 경우에 상기 노즐을 세정하는 세정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 13에 있어서,상기 세정수단이, 상기 노즐의 토출구멍 근방에 배치된 초음파 진동자인 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 13에 있어서,상기 세정수단이, 상기 세정액이 저류(貯留)된 용기이고,상기 노즐이 상기 용기 내의 세정액에 담겨져 적셔지는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 15에 있어서,상기 용기 내에는 초음파 진동자가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 15에 있어서,상기 노즐은, 상기 토출구멍을 갖추는 선단부와, 상기 선단부에 인접하고 상기 토출구멍에 연통된 중공부(中空部)를 갖추는 기부(基部)에 의해 형성되고,상기 선단부는, 상기 기부를 따라 슬라이드가 가능한 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 15에 있어서,상기 노즐은, 상기 토출구멍을 갖추는 선단부와, 상기 선단부에 인접하고 상기 토출구멍에 연통된 중공부를 갖추는 기부에 의해 형성되고,상기 선단부는, 상기 기부로부터 떼거나 끼우는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 13에 있어서,상기 세정수단이, 상기 노즐 내에 세정액을 공급하는 세정액 공급관인 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 19에 있어서,상기 노즐 내에 상기 도포액을 공급하는 도포액 공급관과,상기 노즐에 대하여 상기 세정액 공급관으로부터의 상기 세정액의 공급과, 상기 도포액 공급관으로부터의 상기 도포액과의 공급을 절환시킬 수 있는 절환수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
- 청구항 13에 있어서,상기 세정수단에 의해 세정된 노즐의, 토출구멍으로부터 토출되는 도포액의 상태를 감시하고, 당해 상태가 좋지 않을 경우에는 소정의 알림을 행하는 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
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