KR100665165B1

KR100665165B1 - Double-sided projection exposure apparatus of band-shaped work

Info

Publication number: KR100665165B1
Application number: KR1020040017123A
Authority: KR
Inventors: 다키우라히로후미; 고토마나부
Original assignee: 우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2003-05-23
Filing date: 2004-03-13
Publication date: 2007-01-04
Also published as: TWI278724B; TW200506543A; JP4218418B2; JP2004347964A; CN1573559A; CN100468199C; KR20040100870A

Abstract

본 발명은, 띠 형상 워크의 양면에 동시에 패턴을 노광할 수 있어, 노광중에 워크가 열 팽창해도 흐릿함이나 흔들림이 발생하지 않도록 한다.According to the present invention, a pattern can be exposed on both surfaces of the strip-shaped workpiece at the same time, so that blur or shaking does not occur even when the workpiece thermally expands during exposure.

권출 롤(1)로부터 나온 띠 형상 워크(W)는, 노광부(5)에 보내어지고, 제1 텐션 부여 수단(11), 제2 텐션 부여 수단(도시 생략)에 의해 노광중에 상정되는 열 팽창분만큼, 반송 방향과 이것에 직교하는 방향으로 텐션을 가하고, 그 상태로 워크 유지 수단(6)에 유지한다. 이어서, 마스크(M1)와 띠 형상 워크(W)의 표면의 얼라인먼트 마크, 및 마스크(M2)와 띠 형상 워크(W)의 이면의 얼라인먼트 마크를 검출하여 위치 맞춤을 행한다. 위치 맞춤 종료 후, 광 조사부(41, 42)로부터 마스크(M1, M2), 투영 렌즈(31, 32)를 통해, 노광 광이 조사되어 띠 형상 워크(W)의 표면과 이면이 동시에 노광된다.The strip | belt-shaped workpiece | work W which came out from the unwinding roll 1 is sent to the exposure part 5, and the thermal expansion assumed during exposure by the 1st tension provision means 11 and the 2nd tension provision means (not shown). Tension is applied in the conveyance direction and the direction orthogonal to this for minute, and it hold | maintains to the workpiece | work holding means 6 in that state. Next, the alignment mark of the surface of the mask M1 and the strip | belt-shaped workpiece W, and the alignment mark of the back surface of the mask M2 and the strip | belt-shaped workpiece W are detected and alignment is performed. After completion of the alignment, the exposure light is irradiated from the light irradiation units 41 and 42 through the masks M1 and M2 and the projection lenses 31 and 32 to simultaneously expose the front surface and the rear surface of the strip-shaped workpiece W.

Description

띠 형상 워크의 양면 투영 노광 장치{DOUBLE-SIDED PROJECTION EXPOSURE APPARATUS OF BAND-SHAPED WORK}Double-sided projection exposure apparatus of strip-shaped work {DOUBLE-SIDED PROJECTION EXPOSURE APPARATUS OF BAND-SHAPED WORK}

도 1은 본 발명의 실시예의 띠 형상 워크의 양면 노광 장치의 기본 구성을 도시한 도면,BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The figure which shows the basic structure of the double-sided exposure apparatus of the strip | belt-shaped workpiece | work of the Example of this invention,

도 2는 제1 텐션 부여 수단의 구성을 도시한 도면,2 is a diagram showing the configuration of the first tension applying means;

도 3은 제1 텐션 부여 수단의 그립부의 구성예를 도시한 도면,3 is a view showing an example of the configuration of a grip portion of the first tension applying means;

도 4는 제2 텐션 부여 수단의 구성을 도시한 도면,4 is a diagram showing the configuration of the second tension applying means;

도 5는 노광부를 위에서 본 도면,5 is a view of the exposure portion from above;

도 6은 띠 형상 워크에 가하는 텐션을 설명하는 도면,FIG. 6 is a diagram for explaining tension applied to a strip-shaped work. FIG.

도 7은 텐션을 가해 노광을 행했을 때의 패턴의 간격 폭의 격차를 나타낸 도면,7 is a diagram showing a difference in the interval widths of patterns when tension is applied and exposure is performed;

도 8은 양면에 패턴이 형성되는 FPC(플렉서블 프린트 기판)의 구조예를 나타낸 도면,8 is a view showing a structural example of an FPC (flexible printed circuit board) in which patterns are formed on both sides;

도 9는 노광시에 열 팽창에 의해 띠 형상 워크가 휘는 모양을 나타낸 도면이다. FIG. 9 is a view showing a band-shaped workpiece bent by thermal expansion during exposure. FIG.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉 <Explanation of symbols for main parts of drawing>

1…권출 롤 2 …권취 롤 One… Unwinding roll 2. Coiling roll

5…노광부 6…워크 유지 수단 5... . Exposure part 6. Work holding means

11…제1 텐션 부여 수단 12…그립부11... First tension applying means 12.. Grip

13…그립 구동부 21…제2 텐션 부여 수단13... Grip driving unit 21. Second tension imparting means

22…그립부 23…그립 구동부22... . Grip part 23. Grip drive

31, 32…투영 렌즈 41, 42…제1 광 조사부31, 32... Projection lenses 41, 42... First light irradiation part

W…띠 형상 워크 M1, M2…마스크 W… Strip-shaped workpiece M1, M2... Mask

A1, A2…늘어짐부 R1…중간 가이드 롤러 A1, A2... Drooping portion R1.. Middle guide roller

R2…브레이크 롤러 R3…반송 로러R2... Brake roller R3... Bounce roller

R3'…가압 롤러 R4…가이드 롤러R3 '… Pressure roller R4... Guide roller

본 발명은, 띠 형상 워크의 양면을 노광하는 노광 장치에 관한 것으로, 특히 띠 형상 워크를 전체면에서 흡착 유지하지 않고, 노광중의 열 팽창에 의한 늘어짐의 발생을 방지하여, 띠 형상 워크의 양면을 동시에 노광할 수 있는 노광 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exposure apparatus that exposes both sides of a strip-shaped workpiece, and in particular, does not adsorb and hold the strip-shaped workpiece on the entire surface, and prevents sagging due to thermal expansion during exposure, thereby preventing both sides of the strip-shaped workpiece from being exposed. It is related with the exposure apparatus which can expose simultaneously.

프린트 기판 등의 워크의 양면에, 회로 등의 패턴을 제작하는 경우가 있으며, 그를 위한 노광 장치가 양면 노광 장치로서 알려져 있다. Patterns, such as a circuit, may be produced on both surfaces of workpiece | work, such as a printed board, and the exposure apparatus for that is known as a double-sided exposure apparatus.

예를 들면 특허 문헌 1에는, 프록시미티의 양면 노광 장치(동 공보 도 1)가 기재되어 있다. 동 문헌에 기재된 것은, 노광하는 기판(워크(W))을, 반입 스테이 지(A)에 반입 → 제1 얼라인먼트 스테이지(B)에서의 위치 맞춤 → 제1 노광 스테이지(C)에서의 표면 노광 → 반전 스테이지(D)에서의 반전 → 제2 얼라인먼트 스테이지(E)에서의 위치 맞춤 → 제2 노광 스테이지(F)에서의 이면 노광 → 반출 스테이지 (G)로부터의 반출의 순서로 처리하는 것이다. For example, Patent Document 1 describes a proximity double-sided exposure apparatus (see FIG. 1). As described in the document, the substrate (work W) to be exposed is carried in to the carrying-in stage A-> alignment in the 1st alignment stage B-> surface exposure in the 1st exposure stage C-> Processing in the order of inversion in the inversion stage D → alignment in the second alignment stage E → backside exposure in the second exposure stage F → export from the export stage G is performed.

또, 특허 문헌 2에도 프록시미티의 양면 노광 장치가 기재되어 있다. 특허 문헌 2에 기재된 것은, 워크(피노광판)를 유지하는 워크 스테이지(워크 유지 베이스)를, 표면 노광용과 이면 노광용의 2개 설치하여, 각각의 위치에서 표면 노광과 이면 노광을 행하는 것이다. Patent Document 2 also describes a proximity double-sided exposure apparatus. As described in Patent Literature 2, two work stages (work holding bases) for holding a work (exposure plate) are provided for surface exposure and backside exposure, and surface exposure and backside exposure are performed at respective positions.

또한, 워크의 양면에 형성되는 패턴은, 소정의 위치 관계에 있고, 예를 들면 회로 패턴이면 양쪽은 관통 구멍 등에 의해 전기적으로 접속된다. In addition, the patterns formed on both surfaces of the workpiece have a predetermined positional relationship. For example, both of the patterns are electrically connected by through holes or the like if they are circuit patterns.

상기 특허 문헌 1, 특허 문헌 2에 기재된 것은, 프린트 기판 등의 워크에, 회로 등의 패턴을 제작하는 프록시미티 노광하는 장치에 관한 것인데, 프록시미티 노광, 또는 컨택트 노광은, 워크 스테이지 상에 워크를 재치하고, 마스크를 접근시키거나 또는 마스크를 밀착시켜 노광하는 것이므로, 워크나 마스크에 쓰레기 등이 부착되는 문제가 있다. Patent Document 1 and Patent Document 2 describe an apparatus for exposing a pattern such as a circuit to a work such as a printed board. The proximity exposure or the contact exposure provides a work on a work stage. Since it is mounted, the mask is brought close, or the mask is brought into close contact with the mask, there is a problem that garbage or the like adheres to the workpiece or the mask.

한편, TAB(Tape Automated Bonding)이나 FPC(플렉서블 프린트 기판)와 같은 테이프 형상의 연속 장척 워크(띠 형상 워크)에 대해서도, 마찬가지로 그 양면에 패턴을 형성하여, 제품을 만들고자 하는 요망이 있다. On the other hand, there is also a desire to form a product by forming a pattern on both surfaces of a tape-shaped continuous elongated work (band-shaped work) such as TAB (Tape Automated Bonding) or FPC (Flexible Printed Substrate).

도 8에, 양면에 패턴이 형성되는 FPC(플렉서블 프린트 기판)(100)의 구조예를 나타낸다. 도 8은 워크 폭 방향의 단면도로, 알기 쉽게 하기 위해 세로 방향은 과장하고 있다. 8, the structural example of the FPC (flexible printed circuit board) 100 in which a pattern is formed in both surfaces is shown. 8 is a cross-sectional view of the workpiece width direction, in which the longitudinal direction is exaggerated for clarity.

폭 100mm∼250mm, 두께 20㎛∼50㎛의 폴리이미드나 폴리에스테르 등의 수지 필름(101) 상에, 두께 10㎛∼20㎛정도의 구리박(102) 등의 도전체가 열이나 압력을 가해 접착된다. A conductor such as a copper foil 102 having a thickness of about 10 μm to 20 μm is applied by applying heat or pressure onto a resin film 101 such as polyimide or polyester having a width of 100 mm to 250 mm and a thickness of 20 μm to 50 μm. do.

그 위에 드라이 필름 레지스트(103)(DFR :시판되고 있는 대표적인 것의 두께는 약 7㎛)가 붙여지고, PET(폴리에틸렌테레프탈레이트 : 시판되고 있는 대표적인 것의 두께는 약 21㎛)막(104)이 접착된다. FPC(100)의 전체의 두께는 110㎛∼180㎛ 정도가 된다. A dry film resist 103 (DFR: typical thickness of the commercially available one is about 7 mu m) is attached thereon, and PET (polyethylene terephthalate: typical thickness of the typical one being about 21 mu m) is bonded to the film 104. . The entire thickness of the FPC 100 is about 110 μm to 180 μm.

DFR(103)에 패턴을 형성하기 위한 노광은 PET막(104)을 부착한 채 행해지고, 현상은 PET막(104)을 벗겨 행해진다. Exposure for forming a pattern on the DFR 103 is performed with the PET film 104 attached, and development is performed by peeling off the PET film 104.

또한, PET막(104)은 보호막이며, 이 막이 붙여져 있으면, 노광하는 영역을 예를 들면 롤러에 의해 압착해도 흠집이 나는 것을 막을 수 있다. In addition, PET film 104 is a protective film, and if this film is affixed, even if it presses the area | region to expose, for example with a roller, it can prevent that a scratch arises.

상기 띠 형상 워크에 회로 등의 패턴을 노광하는 노광 장치로는, 예를 들면 특허 문헌 3에 기재된 것이 알려져 있다. As an exposure apparatus which exposes patterns, such as a circuit, to the said strip | belt-shaped workpiece | work, what was described in patent document 3 is known, for example.

상기 특허 문헌 3에 기재된 노광 장치는, 광원부로부터 방출되는 광을 마스크와 투영 렌즈를 통해 띠 형상 워크 상에 조사하고, 이송 기구로부터 보내져 오는 띠 형상 워크 상에 마스크 패턴을 노광하는 것이다. The exposure apparatus of the said patent document 3 irradiates the light emitted from a light source part on a strip | belt-shaped workpiece | work through a mask and a projection lens, and exposes a mask pattern on the strip | belt-shaped workpiece | work sent from a conveyance mechanism.

상기와 같은 투영 노광 장치이면 상기한 프록시미티 노광, 또는 컨택트 노광처럼 워크에 쓰레기 등이 부착하는 문제를 회피할 수 있다. With the projection exposure apparatus as described above, the problem that rubbish or the like adheres to the work can be avoided like the above-described proximity exposure or contact exposure.

상기 띠 형상 워크의 노광 장치를 사용하여, 띠 형상 워크의 양면에 패턴을 노광하는 경우, 다음 방법으로 행해지고 있다. When exposing a pattern on both surfaces of a strip | belt-shaped workpiece | work using the exposure apparatus of the said strip | belt-shaped workpiece | work, it is performed by the following method.

상기 노광 장치에 띠 형상 워크를 세트하고, 표면 노광용의 마스크를 사용하여 띠 형상 워크의 제1 면(표면) 모두를 노광한다. 그 후, 띠 형상 워크를 뒤집어 세트하고, 이면용 마스크를 사용하여 띠 형상 워크의 제2 면(이면)을 노광한다. A strip | belt-shaped workpiece | work is set to the said exposure apparatus, and all the 1st surface (surface) of a strip | belt-shaped workpiece | work is exposed using the mask for surface exposures. Thereafter, the strip-shaped workpiece is set upside down, and the second surface (rear surface) of the strip-shaped workpiece is exposed using a mask for a back surface.

상기 제1 면, 제2 면의 노광은, 1대의 노광 장치로 행해도 되고, 제1 면(표면) 노광용의 노광 장치, 제2 면(이면) 노광용의 노광 장치를 각각 설치하여, 제1 면, 제2 면을 노광하도록 해도 된다. The exposure of the first surface and the second surface may be performed by one exposure apparatus, and an exposure apparatus for first surface (surface) exposure and an exposure apparatus for second surface (backside) exposure are provided, respectively, and the first surface. You may make it expose a 2nd surface.

상기 특허 문헌 3에 기재된 노광 장치를 사용하여 띠 형상 워크의 양면 노광을 행하는 경우는, 다음과 같은 문제가 있다. When double-sided exposure of a strip | belt-shaped workpiece | work is performed using the exposure apparatus of the said patent document 3, there exist the following problems.

제1 면의 노광을 행하고 나서 제2 면의 노광을 행하므로, 양면의 노광을 행하는데 편면 노광의 배의 시간이 걸린다. 또, 릴을 바꾸는데 인력이 필요하고 시간이 걸린다. Since exposure of the second surface is performed after exposure of the first surface, it takes twice as long as single-sided exposure to perform exposure on both sides. Also, changing the reels requires manpower and takes time.

또, 제1 면의 노광을 행한 후 제2 면의 노광을 행하므로, 노광할 때의 환경 조건(온도나 습도)이 미묘하게 상이한 경우가 있다. FPC의 경우, 상기한 바와 같은 기판이 폴리에스테르나 폴리이미드와 같은 수지 필름이며, 상기 환경 조건의 차이에 따라, 필름의 신축량에 차이가 생긴다. Moreover, since exposure of a 2nd surface is performed after exposure of a 1st surface, the environmental conditions (temperature and humidity) at the time of exposure may differ slightly. In the case of FPC, the above-mentioned board | substrate is a resin film like polyester and polyimide, and a difference arises in the amount of expansion and contraction of a film according to the difference of the said environmental conditions.

또한, 워크의 표면에 형성하는 패턴과 이면에 형성하는 패턴은, 상기한 바와 같이 서로 관련되어 있어, 설계된 소정의 위치 관계를 갖고 있지 않으면 안된다. 그러나, 표면 노광시와 이면 노광시에서, 필름의 신축량이 다르면, 양면에 형성한 패턴의 상대 위치 관계가 달라져 버려, 불량의 원인이 되는 경우가 있다. In addition, the pattern formed on the surface of the workpiece | work and the pattern formed on the back surface are mutually related as mentioned above, and must have a predetermined positional relationship designed. However, when the amount of expansion and contraction of a film differs at the time of surface exposure and backside exposure, the relative positional relationship of the pattern formed in both surfaces may change, and it may become a cause of a defect.

종래의 띠 형상 워크의 노광 장치에 의해 한면씩 노광해 가면 상기와 같은 문제가 있어, 양면을 동시에 노광할 수 있는 띠 형상 워크의 노광 장치가 강하게 요구되고 있었다.The exposure problem of the strip | belt-shaped workpiece | work which can expose both surfaces at the same time has been strongly requested | required if it exposes one side by one by the exposure apparatus of the conventional strip | belt-shaped workpiece | work.

(특허 문헌 1) (Patent Document 1)

일본국 특허 제2832673호 공보 Japanese Patent No. 2832673

(특허 문헌 2)(Patent Document 2)

일본국 특개 제2000-171980호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-171980

(특허 문헌 3)(Patent Document 3)

일본국 특개평 제3-242651호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 3-242651

띠 형상 워크를 양면 동시에 노광하기 위해서는, 노광을 행하고 있는 영역의 이면측을 불투명한 워크 스테이지에 의해 전면적으로 흡착 유지할 수 없다. 이에 의해 다음과 같은 문제가 발생한다. In order to expose a strip | belt-shaped workpiece | work simultaneously at both surfaces, the back surface side of the area | region where it exposes cannot be adsorbed-held all over by an opaque work stage. This causes the following problems.

노광시, 띠 형상 워크는 노광 광을 흡수하여 온도가 상승한다. 종래는 노광 영역의 이면측을 워크 스테이지가 흡착 유지하고 있었기 때문에, 워크에 발생한 열은 워크 스테이지에 전해져 방열되어, 워크의 온도 상승을 막을 수 있었다.At the time of exposure, a strip | belt-shaped workpiece absorbs exposure light, and temperature rises. In the past, since the work stage adsorbed and held the back surface side of the exposure area, heat generated in the work was transmitted to the work stage to radiate heat, thereby preventing the temperature rise of the work.

그러나, 상기한 바와 같이 노광 영역을 스테이지에 의해 흡착 유지할 수 없기 때문에 흡수한 열은 방열되지 않는다. 특히 FPC는 수지 필름이며, 열이 전해지기 어렵기 때문에, 빛이 조사되어 있는 부분(노광 영역 : 100㎜×100㎜ 정도)만 온도가 상승한다. 일반적인 노광 조건(자외선 방사 조도 100mW/㎠로 수초간 조사)으 로 노광하면, 워크 노광 영역의 온도는 약 10℃ 상승한다. However, since the exposure area cannot be adsorbed and held by the stage as described above, the absorbed heat is not radiated. In particular, since FPC is a resin film and heat is hardly transmitted, the temperature rises only in the portion to which light is irradiated (exposure area: about 100 mm x 100 mm). When the exposure is performed under general exposure conditions (irradiation for several seconds at 100 mW / cm 2 of ultraviolet ray irradiance), the temperature of the workpiece exposure region increases by about 10 ° C.

이에 의해, 노광 영역만 10㎛∼20㎛ 정도 열 팽창하여, 띠 형상 워크(W)는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 이 열 팽창을 완화하기 위해 광축(상하) 방향으로 부풀어오르거나 또는 휘어진다(이동한다). 이 부풀어오름(또는 휨)에 의한 광축 방향의 이동은 수백 μ㎜에 달한다. As a result, only the exposed area is thermally expanded about 10 to 20 µm, and the band-shaped workpiece W is swelled or bent in the optical axis (up and down) direction to mitigate this thermal expansion, as shown in FIG. 9. (Move). The movement in the optical axis direction due to this swelling (or bending) amounts to several hundred micrometers.

마스크 패턴을 렌즈에 의해 워크 상에 투영하여 노광하는 투영 노광 방식의 경우, 투영 렌즈의 초점 심도는 크다해도 ±50㎛ 정도이다. 따라서, 워크가 광축 방향으로 수백 ㎛나 이동하면, 워크 상에 투영되는 마스크 패턴 이미지는 흐릿해져 버려, 정밀도 높은 노광(마스크 패턴의 전사)을 행할 수 없다. In the case of the projection exposure system in which the mask pattern is projected onto the work by the lens and exposed, the depth of focus of the projection lens is about ± 50 μm. Therefore, when the workpiece is moved several hundred micrometers in the optical axis direction, the mask pattern image projected on the workpiece becomes blurry, and high-precision exposure (mask pattern transfer) cannot be performed.

발생한 상기 부풀어오름(또는 휨)을 막기 위해서는, 띠 형상 워크의 반송 방향과 반송 방향에 직교하는 방향(워크의 폭 방향)으로, 텐션을 가하면서(휘어지지 않도록 잡아당기면서) 노광하는 것을 생각할 수 있다. In order to prevent the swelling (or warpage) generated, it is conceivable to expose while applying tension (pulling not to bend) in the direction orthogonal to the conveying direction of the strip-shaped workpiece (the width direction of the workpiece). have.

그러나, 텐션을 가하면서 노광하면, 워크가 열 팽창에 의해 늘어나면서, 이것을 또 잡아당기게 되므로, 워크는 노광중에 열 팽창에 의한 신장 10㎛∼20㎛ 이상으로 점점 늘어나 버린다. 워크가 노광중에 늘어난다는 것은, 노광중에 마스크 패턴상에 대해 워크가 상대적으로 이동하고 있는 것이 되어, 워크 상에 형성되는 패턴은 흔들려, 정밀도 높은 노광(마스크 패턴의 전사)을 행할 수 없다. However, if the exposure is applied while applying tension, the workpiece is stretched by thermal expansion and pulled out again, so that the workpiece is gradually stretched to 10 µm to 20 µm or more due to thermal expansion during exposure. Increasing the workpiece during exposure means that the workpiece is relatively moved with respect to the mask pattern during exposure, and the pattern formed on the workpiece is shaken, so that exposure with high accuracy (transfer of the mask pattern) cannot be performed.

투명한 유리로 워크 스테이지를 제작하는 것도 생각할 수 있으나, 노광 광인 자외선을 투과하는 석영같은 유리를, 워크를 흡착 유지하는 워크 스테이지로서 가공하는 것은 곤란하고, 비용도 대단히 비싸지므로 현실적이지 않다. It is also conceivable to produce a work stage from transparent glass. However, it is difficult to process a glass such as quartz, which transmits ultraviolet light, which is exposure light, as a work stage that adsorbs and holds the work.

또한, 여기서는, 워크 상의 패턴 이미지의 초점이 맞지 않아, 이미지의 윤곽이 명확하지 않은 것을 "흐릿함"이라 부르고, 패턴 이미지의 초점은 맞지만, 노광중에 워크가 이동하여 그 결과 흐릿한 패턴밖에 형성할 수 없는 것을 "흔들림"이라고 부른다.In addition, the pattern image on the workpiece is not in focus, and the outline of the image is not called "blur", and the pattern image is in focus, but the workpiece moves during exposure, and as a result, only a blurry pattern can be formed. This is called "shake".

본 발명은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은, 띠 형상 워크의 양면에, 투영 노광에 의해 동시에 패턴을 노광할 수 있어, 패턴 노광중에, 워크가 열 팽창해도, 워크가 상하 이동하는 것에 의한 패턴 이미지의 흐릿함을 막는 동시에, 노광중의 워크의 늘어남에 의한 흔들림을 막는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, and an object of the present invention is to expose a pattern on both surfaces of a strip-shaped work by projection exposure simultaneously, even if the work is thermally expanded during pattern exposure. This prevents the blurring of the pattern image due to the vertical movement of the workpiece, and also prevents the shaking caused by the increase of the workpiece during exposure.

상기 과제를 해결하기 위해서, 띠 형상 워크의 양면에 마스크 패턴을 노광하는 띠 형상 워크의 양면 투영 노광 장치에 있어서, 띠 형상 워크에, 반송 방향으로 텐션을 가하는 제1 수단과, 반송 방향과 직교하는 방향으로 텐션을 가하는 제2 수단과, 상기 반송 방향과, 반송 방향과 직교하는 방향으로 텐션이 가해진 띠 형상 워크를 유지하는 유지 수단을 설치하고, 노광을 시작하기 전에, 띠 형상 워크에 텐션을 가해, 노광중에 상정되는 워크의 열 팽창에 의한 신장량에 상당하는 분만큼 늘려, 그 신장량으로 고정하여 노광을 행한다. In order to solve the said subject, in the double-sided projection exposure apparatus of the strip | belt-shaped workpiece | work which exposes a mask pattern on both surfaces of a strip | belt-shaped workpiece | work, it is orthogonal to a 1st means which applies tension to a strip | belt-shaped workpiece in a conveyance direction, and a conveyance direction. And a second means for applying tension in the direction, and a holding means for holding the strip-shaped workpiece in which the tension is applied in the direction perpendicular to the conveying direction and the conveying direction, and applying tension to the strip-shaped workpiece before starting the exposure. The exposure is increased by the amount corresponding to the amount of elongation due to thermal expansion of the workpiece assumed during exposure, and fixed at the amount of elongation.

상기 제1 수단, 제2 수단 및 유지 수단은 노광 영역 밖에 배치되고, 제1, 제2 수단으로 텐션을 가해 상기 유지 수단으로 띠 형상 워크를 고정하고, 띠 형상 워크의 양면으로부터 마스크를 통해 동시에 노광광을 조사하여 양면 노광을 행한 다. 또한, 상기 제1 수단 및 제2 수단이 상기 유지 수단을 겸하고 있어도 된다. The first means, the second means and the retaining means are disposed outside the exposure area, and the tension is applied to the first and second means to fix the strip-shaped workpiece with the holding means, and simultaneously the furnace is formed from both sides of the strip-shaped workpiece through the mask. The light is irradiated to perform double sided exposure. The first means and the second means may also serve as the holding means.

텐션을 가하는(인장하는) 방향은, 워크의 반송 방향과 그것에 직교하는(워크의 폭) 방향이고, 반송 방향의 띠 형상 워크의 단위 길이당 신장량과, 반송 방향에 직교하는 방향의 단위 길이당 신장량이 같아지도록 동시에 텐션을 가해, 그 상태로 유지 수단으로 고정한다. The direction in which the tension is applied (tensioned) is the direction in which the workpiece is conveyed and the direction orthogonal thereto (width of the workpiece), the amount of elongation per unit length of the strip-shaped workpiece in the conveying direction, and the amount of elongation per unit length in the direction orthogonal to the conveying direction. At the same time, tension is applied so as to be equal, and the state is fixed by the holding means.

1 방향만을 인장하면, 그것에 직교하는 방향이 줄어들어 버리므로, 양방향 모두 텐션을 가한다.If only one direction is pulled, the direction orthogonal to it is reduced, so tension is applied in both directions.

노광중, 상기와 같이 텐션을 가한 상태로 워크에 열 팽창이 발생하면, 워크에 가해져 있는 텐션(응력)이 완화되어, 응력이 완화될 뿐이고, 상기 도 9에 도시한 바와 같은 부풀어오름(또는 휨)에 의한 상하 이동은 발생하지 않는다. 또, 워크는 미리 늘어나 있으므로, 열 팽창에 의한 늘어남도 발생하지 않는다.During exposure, when thermal expansion occurs in the work in the state where the tension is applied as described above, the tension (stress) applied to the work is relaxed, the stress is only relaxed, and swelling (or bending) as shown in FIG. 9 above. Up and down movement by does not occur. In addition, since the workpiece is elongated in advance, the stretching due to thermal expansion does not occur.

여기서, 상기한 바와 같이, 워크에 대해 신장력을 가한 채로 노광했으면, 노광중에 워크가 점점 늘어나, 패턴 이미지는 흔들려 버린다. Here, as described above, when the exposure is performed with the stretching force applied to the workpiece, the workpiece gradually increases during exposure, and the pattern image is shaken.

이에 대해, 본 발명에서는, 노광중에 워크를 더욱 늘리고자 하는 힘을 가하지 않는다. 즉, 워크는 미리 가해진 텐션을 유지하도록 고정되어 있다. 이 때문에, 열 팽창에 의해 워크가 늘어날 때, 이것을 더욱 늘리고자 하는 힘은 작용하지 않고, 노광중에 워크의 늘어남, 즉 마스크 패턴 이미지에 대한 워크의 상대적인 이동은 발생하지 않는다. In the present invention, on the other hand, no force is applied to further increase the workpiece during exposure. In other words, the work is fixed to maintain the tension applied in advance. For this reason, when the workpiece is stretched due to thermal expansion, the force to further increase this does not work, and no stretching of the workpiece during exposure, that is, relative movement of the workpiece with respect to the mask pattern image does not occur.

따라서, 노광중의 워크의 늘어짐에 의한 흐릿함과 함께, 워크의 늘어남에 의한 흔들림도 막을 수 있다. Therefore, the blur caused by the sagging of the workpiece during exposure and the shaking caused by the stretching of the workpiece can be prevented.

노광중에 상정되는 열 팽창에 의한 신장량은, 상기한 바와 같이 예를 들면 10㎛∼20㎛이므로, 노광 전에 텐션을 가함으로써, 워크는 10㎛∼20㎛ 늘어나게 된다. 그러나, 이렇게 워크가 늘어나더라도 이하의 이유로, 노광하는 데 있어서 각별한 문제는 생기지 않는다. The amount of elongation due to thermal expansion assumed during exposure is, for example, 10 µm to 20 µm as described above, so that the workpiece is stretched by 10 µm to 20 µm by applying tension before exposure. However, even if the work is thus increased, no particular problem arises in exposing, for the following reasons.

워크의 양면에 패턴을 형성하는 경우, 가장 문제가 되는 것은, 표리에 형성하는 패턴의 상대 위치가, 설계한 원하는 위치 관계로부터 어긋나버리는 것이다. 종래는, 한면씩 노광하기 때문에, 각각의 노광시에 워크의 신장량이 다르면, 양쪽의 상대 위치가 어긋나버린다. 그러나, 본 발명의 경우, 워크는 텐션이 가해져 늘어나 있더라도, 양면 동시에 노광하기 때문에, 표리에 형성하는 패턴의 상대 위치는 어긋나지 않는다. When a pattern is formed in both surfaces of a workpiece | work, the most problematic thing is that the relative position of the pattern formed in front and back shifts from the designed desired positional relationship. Conventionally, since it exposes one surface at a time, when the extension amount of a workpiece | work differs at the time of each exposure, the relative position of both will shift | deviate. However, in the case of the present invention, since the workpiece is exposed at the same time on both sides even though the tension is applied, the relative positions of the patterns formed on the front and back are not shifted.

또, 워크가 늘어남으로써, 워크 상에 형성되어 있는, 예를 들면 2개의 얼라인먼트 마크의 간격이 늘어나는데(길어지는데), 마스크 패턴을 렌즈로 투영하는 투영 노광 장치의 경우, 투영 렌즈를 광축 방향으로 이동하는 기구를 설치하거나, 렌즈에 줌 기구를 설치하거나 해 두면, 워크 상에 투영되는 패턴 이미지의 배율을 조정할 수 있어, 마스크와 워크의 얼라인먼트를 문제없이 행할 수 있다. Further, as the workpiece is stretched, the distance between the two alignment marks formed on the workpiece, for example, increases (longer), but in the case of the projection exposure apparatus that projects the mask pattern onto the lens, the projection lens is moved in the optical axis direction. By providing a mechanism for attaching the lens or providing a zoom mechanism on the lens, the magnification of the pattern image projected on the workpiece can be adjusted, and alignment of the mask and the workpiece can be performed without any problem.

또한, 배율이 다소 큰 상태로 노광되어 패턴이 형성되더라도, 노광 종료 후 노광 영역의 온도가 내려가, 워크가 수축하면, 형성된 패턴도 그에 따라 줄어들기 때문에, 설계된 크기의 패턴을 형성할 수 있다.In addition, even when the pattern is formed by exposing at a somewhat larger magnification, the temperature of the exposure area is lowered after the end of the exposure, and when the workpiece shrinks, the formed pattern is reduced accordingly, so that a pattern having a designed size can be formed.

(발명의 실시형태) Embodiment of the Invention

도 1은 본 발명의 실시예의 띠 형상 워크의 양면 노광 장치의 기본 구성을 도시하는 도면이다. 또한, 도 1에서는, 상기 반송 방향과 직교하는 방향(워크의 폭방향)으로 텐션을 가하는 상기 제2 수단은 생략되어 있다. 또한 이하에서는, 제1, 제2 수단을 제1, 제2 텐션 부여 수단이라고 한다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the basic structure of the double-sided exposure apparatus of the strip | belt-shaped workpiece | work of the Example of this invention. In addition, in FIG. 1, the said 2nd means which applies tension in the direction orthogonal to the said conveyance direction (width direction of a workpiece | work) is abbreviate | omitted. In addition, below, a 1st, 2nd means is called 1st, 2nd tension provision means.

도 1에서, FPC(플렉서블 프린트 기판) 등의 띠 형상 워크(W)는, 권출 롤(1)에 롤형상으로 감겨 있다. In FIG. 1, the strip | belt-shaped workpiece | work W, such as FPC (flexible printed circuit board), is wound by the unwinding roll 1 in roll shape.

권출 롤(1)로부터 나온 띠 형상 워크(W)는, 권출량을 조정하는 늘어짐부(A1)를 지나, 중간 가이드 롤러(R1)에서 90도 방향 전환하여, 브레이크 롤러(R2)를 지나서 노광부(5)에 보내어진다. 늘어짐부(A1)에는, 포토 센서(S1)가 설치되고, 도시하지 않은 제어부에 의해, 늘어짐부(A1)에서의 늘어짐량이 일정하게 되도록 권출 롤(1)로부터의 송출량이 조정된다. The strip | belt-shaped workpiece W which emerged from the unwinding roll 1 passes through the sagging part A1 which adjusts the unwinding amount, switches 90 degree | times in intermediate guide roller R1, and passes the brake roller R2, and exposes it. It is sent to (5). The photo sensor S1 is provided in the drooping part A1, and the feeding amount from the unwinding roll 1 is adjusted so that the drooping amount in the drooping part A1 is fixed by the control part which is not shown in figure.

노광부(5)에 보내어진 띠 형상 워크(W)는 반송 롤러(R3)와 가압 롤러(R3'), 및 브레이크 롤러(R2)와 가압 롤러(R2')에 의해 협지(狹持)되어, 반송 롤러(R3)가 회전함으로써 인장되어, 도면의 오른쪽 방향으로 반송된다. The strip-shaped workpiece W sent to the exposure part 5 is pinched by the conveyance roller R3 and the pressure roller R3 ', and the brake roller R2 and the pressure roller R2', The conveyance roller R3 is tensioned by rotation, and conveyed in the right direction of the drawing.

브레이크 롤러(R2)는, 롤러가 회전할 때, 회전 방향과는 반대 방향의 힘이 발생하는 예를 들면 전자 브레이크와 같은 브레이크에 연결되어 있다. 띠 형상 워크(W)를 브레이크 롤러(R2)와 가압 롤러(R2')에 의해 협지함으로써, 반송시에 발생하기 쉬운 워크의 요동, 사행, 구겨짐의 발생 등을 막는다. The brake roller R2 is connected to a brake such as, for example, an electromagnetic brake, in which a force in a direction opposite to the rotation direction is generated when the roller rotates. The belt-shaped workpiece W is sandwiched by the brake roller R2 and the pressure roller R2 'to prevent rocking, meandering, wrinkling, etc. of the workpiece which are likely to occur at the time of conveyance.

노광부(5)에 보내어진 띠 형상 워크(W)는, 후술하는 바와 같이, 제1 텐션 부여 수단(11), 제2 텐션 부여 수단(도시 생략)에 의해 노광중에 상정되는 열 팽창분만큼, 반송 방향과 이것에 직교하는 방향으로 텐션이 가해져, 그 상태로 워크 유지 수단(6)에 유지된다. 이 부분에 관해서는 후술한다. The band-shaped workpiece W sent to the exposure part 5 is as much as the thermal expansion assumed during exposure by the 1st tension provision means 11 and the 2nd tension provision means (not shown), so that it may mention later, Tension is applied in the conveyance direction and the direction orthogonal to this, and is hold | maintained by the workpiece | work holding means 6 in that state. This part will be described later.

띠 형상 워크(W)의 표면측에는, 제1 광 조사부(41), 워크의 표면측의 패턴을 형성한 마스크(M1), 제1 투영 렌즈(31)가 설치되고, 이면측에는, 제2 광 조사부(42), 워크의 이면측의 패턴을 형성한 마스크(M2), 제2 투영 렌즈(32)가 설치된다. On the surface side of the strip-shaped work W, the first light irradiation part 41, the mask M1 which formed the pattern on the surface side of the workpiece, and the 1st projection lens 31 are provided, and the 2nd light irradiation part is provided in the back surface side. (42), the mask M2 in which the pattern of the back surface side of the workpiece | work was formed, and the 2nd projection lens 32 are provided.

각각의 광 조사부(41, 42)로부터, 마스크(M1, M2)와 투영 렌즈(31, 32)를 통해, 띠 형상 워크(W)의 양면에 노광 광이 조사되어, 마스크(M1, M2)에 형성된 마스크 패턴이 노광된다. Exposure light is irradiated to both surfaces of the strip-shaped workpiece W through the masks M1 and M2 and the projection lenses 31 and 32 from each of the light irradiation units 41 and 42, and the masks M1 and M2 are exposed. The formed mask pattern is exposed.

또한, 광 조사부는 1개여도 된다. 1개의 광 조사부로부터 출사하는 광을, 하프 미러 등에 의해 광로를 분할하여, 양쪽의 마스크(M1 및 M2)에 조사하도록 해도 된다. In addition, one light irradiation part may be sufficient. The light emitted from one light irradiator may be divided into half-mirrors and the like to irradiate the masks M1 and M2 on both sides.

노광부(5)에서 노광된 띠 형상 워크(W)는, 상기한 바와 같이, 반송 롤러(R3)와 가압 롤러(R3')에 의해 협지되어, 가이드 롤러(R4), 권취량을 조정하는 늘어짐부(A2)를 통해, 권취 롤(2)에 권취된다. 늘어짐부(A2)에는, 포토 센서(S2)가 설치되고, 도시 생략한 제어부에 의해, 늘어짐부(A2)에서의 늘어짐량이 일정해지도록 권취 롤(2)의 권취량이 조정된다. The strip-shaped workpiece W exposed at the exposure section 5 is sandwiched by the transfer roller R3 and the pressure roller R3 'as described above, and the guide roller R4 and the winding amount that adjust the winding amount are stretched. It is wound up by the winding roll 2 via the part A2. The photo sensor S2 is provided in the drooping part A2, and the winding amount of the winding roll 2 is adjusted so that the drooping amount in the drooping part A2 may become constant by the control part not shown.

다음에, 워크를 협지하여 텐션을 가하는 상기 제1 텐션 부여 수단(11), 제2 텐션 부여 수단, 워크에 텐션을 가한 상태로, 노광 영역의 주변부를 유지하는 워크 유지 수단(6)의 구성예에 관해 설명한다. Next, the structural example of the said 1st tension provision means 11 which clamps a workpiece | work, and applies tension, the 2nd tension provision means, and the workpiece holding means 6 which hold | maintains the periphery of an exposure area in the state which tensioned the workpiece | work. Explain about.

(1) 제1 텐션 부여 수단 (1) first tension applying means

도 2에, 띠 형상 워크(W)에 대해 워크의 반송 방향으로 텐션을 가하는 제1 텐션 부여 수단(11)의 구성을 도시한다. 동 도면은, 반송 방향으로 직교하는 방향에서 본 제1 텐션 부여 수단(11)의 구성을 도시하고 있고, 동 도면에서는 띠 형상 워크(W)의 노광부(5)에 대해 하류측에 설치되는 텐션 부여 수단(11)을 도시하고 있는데, 상류측에 설치되는 텐션 부여 수단(11)의 구성도, 텐션을 가하는 방향이 반대 방향인 점을 제외하고 같은 구성을 갖고 있다. In FIG. 2, the structure of the 1st tension provision means 11 which tensions with respect to the strip | belt-shaped workpiece | work W in the conveyance direction of a workpiece | work is shown. The figure shows the structure of the 1st tension provision means 11 seen from the direction orthogonal to a conveyance direction, and in the figure, the tension provided downstream with respect to the exposure part 5 of the strip | belt-shaped workpiece W. In FIG. Although the imparting means 11 is shown, the structure of the tension imparting means 11 provided upstream also has the same structure except the point to which the tension is applied in the opposite direction.

제1 텐션 부여 수단(11)은, 띠 형상 워크(W)를 반송 방향에 대해 직각 방향(폭 방향)으로 사이에 끼우는 그립부(12)와, 그립부(12)를 소정량 이동시키는 그립 구동부(13)로 구성된다. The 1st tension provision means 11 has the grip part 12 which pinches | interposes the strip | belt-shaped workpiece W in a right angle direction (width direction) with respect to a conveyance direction, and the grip drive part 13 which moves the grip part 12 a predetermined amount. It is composed of

그립부(12)는, 띠 형상 워크(W)의 표면에 보호막인 PET막이 형성되어 있는 경우, 이 막으로 노광 영역이 보호되기 때문에, 워크 전체면을 압착하는 형상이어도 문제없다. 오히려 그 형상인 편이, 띠 형상 워크(W)에 대해 균등하게 텐션을 가할 수 있으므로 바람직하다.When the grip part 12 is formed in the surface of the strip | belt-shaped workpiece | work W, since the exposure area | region is protected by this film, even if it is a shape which crimps the whole workpiece | work surface, there is no problem. Rather, the shape is preferable because the tension can be equally applied to the strip-shaped work W.

그립부(12)는 고정대(14) 위에 설치되어 있고, 고정대(14)에는 그립 구동부(13)가 부착되어 있다. 그립 구동부(13)는, 이송 모터(13a)에 의해 회전하는 볼 나사(13b)를 구비하고, 이송 모터(13a)에 의해 볼 나사(13b)가 회전하여, 볼 나사(13b)에 걸어맞춰지는 그립부(12)가 동 도면의 좌우 방향, 즉 띠 형상 워크(W)의 반송 방향으로 이동한다(동 도면의 점선으로 나타낸다). The grip part 12 is provided on the fixing stand 14, and the grip driving part 13 is attached to the fixing stand 14. The grip drive part 13 is provided with the ball screw 13b which rotates by the feed motor 13a, The ball screw 13b rotates by the feed motor 13a, and is engaged with the ball screw 13b. The grip part 12 moves to the left-right direction of the same figure, ie, the conveyance direction of the strip | belt-shaped workpiece W (it shows with the dotted line of the same figure).

이러한 제1 텐션 부여 수단은, 상기한 바와 같이 노광부(5)의 반송 방향을 따라 이송 롤러(R3)측(하류측)과, 브레이크 롤러(R2)측(상류측)의 양쪽에 설치된 다. Such 1st tension provision means is provided in both the conveyance roller R3 side (downstream side) and the brake roller R2 side (upstream side) along the conveyance direction of the exposure part 5 as mentioned above.

띠 형상 워크(W)의 노광부(5)에 대해 상류측과 하류측을, 그립부(12)에 의해 파지(把持)하고, 그립 구동부(13)에 의해, 하류측을 사이에 끼고 있는 그립부(12)는 하류측에, 상류부를 사이에 끼고 있는 그립부는 상류측에, 각각을 구동시킴으로써, 띠 형상 워크(W)의 반송 방향으로 텐션을 가한다. The grip part which grips the upstream side and downstream side with the grip part 12 with respect to the exposure part 5 of the strip | belt-shaped workpiece W, and the grip drive part 13 pinching the downstream side between them ( 12) tensions the conveyance direction of the strip | belt-shaped workpiece W by driving a grip part which pinches | interposes an upstream part between downstream and a upstream side, respectively.

도 3에 제1 텐션 부여 수단(11)의 그립부(12)의 구성예를 나타낸다. The structural example of the grip part 12 of the 1st tension provision means 11 is shown in FIG.

동 도면은, 제1 텐션 부여 수단(11)을 반송 방향에서 본 단면도이다. 그립부(12)는, 띠 형상 워크(W)를 폭 방향으로, 누름판(12a)과 하측 부재(12b)로 상하로부터 사이에 끼우는 구조로 되어 있다. The figure is sectional drawing which looked at the 1st tension provision means 11 from the conveyance direction. The grip part 12 has a structure which pinches the strip | belt-shaped workpiece | work W in the width direction between the upper and lower sides with the press board 12a and the lower member 12b.

하측 부재(12b)는 고정대(14)에 고정되고, 고정대(14)의 한쪽 단은 상기한 볼 나사(13b)가 부착되고, 다른 쪽 단에는 리니어 가이드(13d)가 부착되어, 상기 볼 나사(13b)를 회전시킴으로써, 고정대(14)가 동 도면의 지면 전후 방향으로 이동한다. The lower member 12b is fixed to the fixing stand 14, one end of the fixing stand 14 is attached to the ball screw 13b described above, and a linear guide 13d is attached to the other end thereof. By rotating 13b), the holder 14 moves in the front-rear direction of the page in the same drawing.

또 하측 부재(12b)에는 진공 흡착 및 에어를 백 블로우하기 위한 배관용 구멍(12c)이 형성되어, 이 구멍(12c)에는 에어와 진공을 공급하는 배관(12d)이 부착되어 있다. In addition, the lower member 12b is provided with a pipe hole 12c for vacuum suction and air back blow, and a pipe 12d for supplying air and vacuum is attached to the hole 12c.

누름판(12a)은 워크(W)의 폭 방향의 양측에 에어 실린더(12e)를 통해 고정대(14)에 부착되어 있고, 에어 실린더(12e)에 의해 동 도면 상하 방향으로 이동한다. The pressing plate 12a is attached to the fixing base 14 via the air cylinder 12e on both sides of the width direction of the workpiece | work W, and moves up and down by the air cylinder 12e in the same figure.

띠 형상 워크(W)의 반송시에는, 에어 실린더(12e)가 신장하여, 누름판(12a) 은 상승하고 있다. 띠 형상 워크(W)는, 누름판(12a)과 하측 부재(12b)의 간극을 통해 반송된다. 이 때, 하측 부재(12b)의 구멍(12c)으로부터 에어가 백 블로우되어, 띠 형상 워크(W)의 이면이 하측 부재(12b)의 표면에 스치지 않도록 하고 있다. At the time of conveyance of the strip | belt-shaped workpiece W, the air cylinder 12e is extended and the press plate 12a is rising. The strip-shaped workpiece W is conveyed through the gap between the pressing plate 12a and the lower member 12b. At this time, air is blown back from the hole 12c of the lower member 12b, and the back surface of the strip | belt-shaped workpiece W is not made to rub on the surface of the lower member 12b.

띠 형상 워크(W)에 반송 방향의 텐션을 가할 때는, 에어 실린더(12e)가 줄어들어, 누름판(12a)이 하강하여, 띠 형상 워크(W)는 누름판(12a)과 하측 부재(12b)에 의해 끼워진다. 이 때, 하측 부재(12b)의 구멍(12c)에는 진공이 공급되어, 띠 형상 워크(W)의 파지를 보조한다. When the tension in the conveying direction is applied to the strip-shaped workpiece W, the air cylinder 12e is reduced, and the pressing plate 12a is lowered, so that the strip-shaped workpiece W is formed by the pressing plate 12a and the lower member 12b. Is fitted. At this time, a vacuum is supplied to the hole 12c of the lower member 12b to assist the gripping of the strip-shaped work W.

또, 누름판(12a)의 하쪽, 워크(W) 표면과 접촉하는 부분에는, 워크(W)의 표면으로의 영향을 가능한한 작게 하기 위해, 부드러운 고무와 같은 탄성 부재(12f)를 접착해 두는 것이 바람직하다. Further, in order to minimize the influence on the surface of the work W as much as possible under the pressing plate 12a and in contact with the surface of the work W, it is necessary to adhere an elastic member 12f such as a soft rubber. desirable.

이러한 상태로, 상기 도 2에 도시한 그립 구동부(13)에 의해, 고정대(14)마다 그립부(12)가 워크(W)의 반송 방향으로 이동하여, 띠 형상 워크(W)에 반송 방향의 텐션을 가한다. In this state, by the grip drive unit 13 shown in FIG. 2, the grip unit 12 moves in the conveying direction of the work W for each of the fixing tables 14, and the tension in the conveying direction is applied to the strip-shaped work W. FIG. Add.

또한, 제1 텐션 부여 수단은, 반송 롤러(R3)와 가압 롤러(R3'), 및 브레이크 롤러(R2)와 가압 롤러(R2')를 겸용해도 된다. 예를 들면, 브레이크 롤러(R2)는, 전자 브레이크가 워크에 텐션을 가할 때, 워크 반송시보다도 더욱 강한 브레이크가 걸리는 설정을 가능하게 한다. In addition, the 1st tension provision means may combine the conveyance roller R3 and the pressure roller R3 ', and the brake roller R2 and the pressure roller R2'. For example, the brake roller R2 makes it possible to set a brake that is stronger than when the workpiece is conveyed when the electromagnetic brake exerts a tension on the workpiece.

그 경우, 브레이크 롤러(R2)와 가압 롤러(R2')에 의해 협지하여, 상기 강한 브레이크를 걸어, 반송 롤러(R3)와 가압 롤러(R3')에 의해, 띠 형상 워크(V)에 반송 방향의 힘을 가하면, 워크의 이동이 억제되어 반송 방향으로 텐션이 가해진다. In that case, it clamps by the brake roller R2 and the pressure roller R2 ', and applies the said strong brake, and conveyance direction to the strip | belt-shaped workpiece | work V with the conveyance roller R3 and the pressure roller R3'. When the force is applied, the movement of the work is suppressed and the tension is applied in the conveying direction.

(2) 제2 텐션 부여 수단 (2) second tension applying means

도 4에, 띠 형상 워크(W)에 대해 워크의 폭 방향으로 텐션을 가하는 제2 텐션 부여 수단의 구성을 도시한다. 동 도면은, 반송 방향에서 본 워크 유지 수단(6)의 단면도 및 제2 텐션 부여 수단(21)을 도시하고 있다.In FIG. 4, the structure of the 2nd tension provision means which applies tension with respect to the strip | belt-shaped workpiece | work W in the width direction of a workpiece | work is shown. The figure has shown sectional drawing of the workpiece | work holding means 6 and the 2nd tension provision means 21 which were seen from the conveyance direction.

또, 동 도면은, 한쪽의 제2 텐션 부여 수단(21)을 도시하고 있고, 타측에도 같은 구성을 갖는 텐션 부여 수단이 설치된다. 이 제2 텐션 부여 수단은, 워크 유지 수단(6)에 대해, 띠 형상 워크(W)의 반송 방향의 상류측, 하류측 각각 1쌍의 제2 텐션 부여 수단(21)이 설치되므로, 합계 4개소에 제2 텐션 부여 수단(21)이 설치되게 되어, 띠 형상 워크(W)의 4개소를 파지하여 워크의 폭 방향으로 텐션을 가한다. In addition, the same figure shows one 2nd tension provision means 21, and the tension provision means which has the same structure is provided in the other side. As for this 2nd tension provision means, a pair of 2nd tension provision means 21 is provided in the conveyance direction of the strip | belt-shaped workpiece W with respect to the workpiece | work holding means 6, respectively, and total 4 The 2nd tension provision means 21 is provided in the location, 4 places of the strip | belt-shaped workpiece | work W are gripped, and tension is applied in the width direction of a workpiece | work.

제2 텐션 부여 수단(21)은, 띠 형상 워크(W)의 단부를 파지하는 그립부(22)와, 그립부를 소정량 이동시키는 그립 구동부(23)로 구성된다. The 2nd tension provision means 21 is comprised from the grip part 22 which hold | grips the edge part of the strip | belt-shaped workpiece W, and the grip drive part 23 which moves a predetermined amount of grip parts.

그립 구동부(23)는, 이송 모터(23a)에 의해 회전하는 볼 나사(23b)를 구비하고, 이송 모터(23a)에 의해 볼 나사(23b)가 회전하여, 볼 나사(23b)에 걸어맞춰지는 그립부(22)가 동 도면의 좌우 방향, 즉 띠 형상 워크(W)의 폭 방향으로 이동한다. The grip drive part 23 is provided with the ball screw 23b which rotates by the feed motor 23a, The ball screw 23b rotates by the feed motor 23a, and is engaged with the ball screw 23b. The grip part 22 moves in the left-right direction of the same figure, ie, the width direction of the strip | belt-shaped workpiece | work W. As shown in FIG.

그립부(22)는, 띠 형상 워크(W)의 주변부를 상측 부재(22a)의 파지부(Gr1)와 하측 부재(22b)의 파지부(Gr2) 사이에 상하로부터 끼우는 구조로 되어 있다. 하측 부재(22b)에는 샤프트(22c)가 부착되어 그립 고정대(22d)에 고정되어 있다. The grip part 22 has a structure which pinches the peripheral part of the strip | belt-shaped workpiece W from the up-and-down between the grip part Gr1 of the upper member 22a, and the grip part Gr2 of the lower member 22b. A shaft 22c is attached to the lower member 22b and is fixed to the grip holder 22d.

상측 부재(22a)는 축(22e)을 통해 하측 부재(22b)에 부착되어 있고, 축(22e) 을 중심으로 회전이동한다. 또, 상측 부재(22a)와 하측 부재(22b)의 파지부(Gr1, Gr2)의 반대측에는 스프링(22f)에 의해, 상측 부재(22a)와 하측 부재(22b)는 파지부(Gr1, Gr2)가 열리는 방향으로 탄성가압되어 있다. The upper member 22a is attached to the lower member 22b via the shaft 22e, and rotates about the shaft 22e. Moreover, on the opposite side of the holding parts Gr1 and Gr2 of the upper member 22a and the lower member 22b, by the spring 22f, the upper member 22a and the lower member 22b hold | maintain the holding parts Gr1 and Gr2. Is elastically pressurized in the opening direction.

하측 부재(22b)에는, 에어 실린더(22g)가 부착되어 있고, 에어 실린더(22g)의 구동축은, 하측 부재(22b)를 관통하여 돌출하고, 그 선단은 상측 부재(22a)의 축(22e)을 개재하여 파지부(Gr1)와는 반대측에 맞닿아 있다. 이 때문에, 에어 실린더(22g)를 구동하면, 상측 부재(22a)가 축(22e)을 중심으로 해서 회전이동하여, 파지부(Gr1, Gr2)가 닫힌다. 22 g of air cylinders are attached to the lower member 22b, and the drive shaft of the air cylinder 22g protrudes through the lower member 22b, and the front-end | tip is the shaft 22e of the upper member 22a. Abutting on the opposite side to the gripping portion Gr1 is provided. For this reason, when the air cylinder 22g is driven, the upper member 22a is rotated about the axis 22e, and the holding parts Gr1 and Gr2 are closed.

도 5는, 노광부(5)를 위에서 본 도이고, 제2 텐션 부여 수단(21)과 워크 유지 수단(6)의 관계를 알기 쉽게 나타낸 것이며, 제2 텐션 부여 수단(21)은 개념 구성을 나타내고 있다. 또, 도 5의 파선은 띠 형상 워크(W)와 그 패턴이 형성되는 노광 영역을 나타내고 있다. FIG. 5 is a view of the exposure part 5 as seen from above, and clearly shows the relationship between the second tension applying means 21 and the work holding means 6, and the second tension applying means 21 shows a conceptual configuration. It is shown. In addition, the broken line of FIG. 5 has shown the strip | belt-shaped workpiece | work W and the exposure area in which the pattern is formed.

제2 텐션 부여 수단(21)은, 띠 형상 워크(W)의 주변부 4개소에 설치되어 있으나, 그 개수나 그립부의 크기는, 워크에 대해 균등하게 텐션이 부여되도록 설계한다. 필요에 따라 정하면 된다. Although the 2nd tension provision means 21 is provided in four peripheral parts of the strip | belt-shaped workpiece | work W, the number and the magnitude | size of a grip part are designed so that tension may be provided equally with respect to a workpiece | work. You can decide according to your needs.

또한, 제2 텐션 부여 수단(21)의 그립부(22)를 띠 형상 워크(W)의 반송 방향으로 길게 하여, 띠 형상 워크(W)의 양측의 2개소에 설치한 제2 텐션 부여 수단에 의해 반송 방향으로 직교하는 방향으로 텐션을 부여해도 된다. Moreover, by the 2nd tension provision means which extended the grip part 22 of the 2nd tension provision means 21 to the conveyance direction of the strip | belt-shaped workpiece W, and installed in two places of both sides of the strip | belt-shaped workpiece W. Moreover, as shown in FIG. You may give tension in the direction orthogonal to a conveyance direction.

띠 형상 워크(W)의 주변부를 유지하는 워크 유지 수단(6)은, 도 4, 도 5에 도시하는 바와 같이, 띠 형상 워크(W)의 노광 영역에 상당하는 부분에 개구부(6a) 가 설치되어 있고, 워크 유지 수단(6)의 아래쪽으로부터, 워크(W)의 이면에 대해 빛을 조사할 수 있도록 되어 있다. 워크 유지 수단(6)의 표면에는 진공 흡착 구멍(6b)이 설치되어 있고, 노광시에는 띠 형상 워크(W)의 노광 영역 이외의 주변부를 흡착 유지한다. As shown in FIG. 4 and FIG. 5, the workpiece holding means 6 which holds the periphery of the strip | belt-shaped workpiece W is provided with the opening part 6a in the part corresponding to the exposure area | region of the strip | belt-shaped workpiece W. FIG. The light is irradiated to the back surface of the workpiece | work W from below the workpiece | work holding means 6. The vacuum suction hole 6b is provided in the surface of the workpiece | work holding means 6, and it adsorbs and hold | maintains peripheral parts other than the exposure area | region of the strip | belt-shaped workpiece W at the time of exposure.

다음에, 상기 제1 및 제2 텐션 부여 수단(11, 12)에 의해, 띠 형상 워크(W)에 텐션을 가하여, 그 상태를 유지하는 동작에 관해 설명한다. Next, the operation | movement which adds tension to the strip | belt-shaped workpiece | work W by the said 1st and 2nd tension provision means 11 and 12, and maintains the state is demonstrated.

미리, 실제의 노광 조건으로 띠 형상 워크(W)를 노광하여, 노광중에 열 팽창에 의해 늘어나는 양을 측정해 둔다. 또한, 어느 정도의 힘으로 워크를 인장하면, 열 팽창에 의한 신장량만큼 워크를 늘릴 수 있는 지도 구해 둔다. 즉, 노광중에 10㎛ 열 팽창하는 것이면, 제1, 제2 텐션 부여 수단(11, 12)이, 띠 형상 워크(W)를 10㎛ 늘리기 위해 필요한 힘을 구해 둔다. The strip | belt-shaped workpiece | work W is exposed beforehand by actual exposure conditions, and the quantity which increases by thermal expansion during exposure is measured. In addition, when the workpiece is stretched with a certain force, the workpiece can be increased by the amount of elongation due to thermal expansion. That is, if it thermally expands 10 micrometers during exposure, the 1st, 2nd tension provision means 11 and 12 calculate | require the force required in order to increase the strip | belt-shaped workpiece W by 10 micrometers.

제1, 제2 텐션 부여 수단(11, 12)으로부터 띠 형상 워크(W)에 가하는 텐션은, 상기한 바와 같이 반송 방향에서의 신장량과 반송 방향에 직교하는 방향의 단위길이 당 신장량이 같아지도록 한다. The tension applied to the strip-shaped workpiece W from the first and second tension applying means 11 and 12 is such that the amount of elongation per unit length in the direction orthogonal to the direction of conveyance is equal to the amount of elongation in the conveying direction as described above. .

예를 들면, 제2 텐션 부여 수단이 상기 도 5의 구성인 경우, 도 6에 도시하는 바와 같이 반송 방향의 2개소에 설치된 제2 텐션 부여 수단(21)으로 파지되는 반송 방향의 띠 형상 워크의 길이(제2 텐션 부여 수단의 간격과 거의 같다)를 Lx로 하고, 띠 형상 워크(W)의 폭을 Ly로 하고, 제1 텐션 부여 수단(11)에 가하는 힘을 Fx, 제2 텐션 부여 수단(21)에 가하는 힘을 Fy로 하면, Fx/Ly=Fy/Lx가 되도록 텐션을 가하면 된다. For example, when the 2nd tension provision means is the structure of the said FIG. 5, as shown in FIG. 6, the strip | belt-shaped workpiece of the conveyance direction gripped by the 2nd tension provision means 21 provided in two places of a conveyance direction is shown. The length (approximately equal to the interval between the second tension applying means) is Lx, the width of the strip-shaped work W is Ly, and the force applied to the first tension applying means 11 is Fx and the second tension applying means. If the force applied to (21) is Fy, the tension may be applied so that Fx / Ly = Fy / Lx.

상기 도 1∼도 5에서, 띠 형상 워크(W)가, 반송 롤러(R3)와 가압 롤러(R3'), 및 브레이크 롤러(R2)와 가압 롤러(R2') 사이에 끼워져, 반송 롤러(R3)가 회전함으로써, 노광 영역이 노광부(5)에 반송된다. 1 to 5, the strip-shaped workpiece W is sandwiched between the conveying roller R3 and the pressing roller R3 ', and the brake roller R2 and the pressing roller R2', and the conveying roller R3. ) Rotates, the exposure area is conveyed to the exposure unit 5.

노광부(5)의 반송 방향 양측에 설치된, 제1 텐션 부여 수단(11)의 누름판(12a)이 하강하여, 띠 형상 워크(W)가 누름판(12a)과 하측 부재(12b)에 의해 협지된다.The press plate 12a of the 1st tension provision means 11 provided in the conveyance direction both sides of the exposure part 5 descends, and the strip | belt-shaped workpiece W is clamped by the press plate 12a and the lower member 12b. .

제1 텐션 부여 수단(11)의 그립 구동부(12)가, 띠 형상 워크(W)를 반송 방향으로 늘리도록 구동한다. 띠 형상 워크(W)에는 반송 방향으로 텐션이 가해져 늘어난다. 이 신장량이 열 팽창에 의한 신장량과 일치할 때까지, 띠 형상 워크(W)에 대해 텐션을 가한다. 또한, 상기한 바와 같이, 브레이크 롤러(R2)의 브레이크의 크기를 크게 하여, 반송 롤러(R3)와 가압 롤러(R3'), 및 브레이크 롤러(R2)와 가압 롤러(R2')에 의해, 워크에 텐션을 가해도 된다. The grip drive part 12 of the 1st tension provision means 11 drives so that the strip | belt-shaped workpiece | work W may extend in a conveyance direction. Tension is applied to the strip-shaped workpiece W in the conveying direction and increases. Tension is applied to the strip-shaped workpiece W until this elongation amount matches the elongation amount due to thermal expansion. Moreover, as mentioned above, the magnitude | size of the brake of brake roller R2 is made large, and a workpiece | work is carried out by conveyance roller R3 and the pressure roller R3 ', and brake roller R2 and the pressure roller R2'. You can also apply tension to the unit.

다음에, 제2 텐션 부여 수단(21)의 그립부(22)에 의해, 띠 형상 워크(W)의 단부를 파지한다. 에어 실린더(22g)가 상승하여, 상측 부재(22a)의 그립부(Gr1)가 하강하여, 띠 형상 워크(W)가 사이에 끼워진다. Next, the grip portion 22 of the second tension applying means 21 grips the end of the strip-shaped work W. FIG. The air cylinder 22g rises, the grip part Gr1 of the upper member 22a descends, and the strip | belt-shaped workpiece | work W is pinched | interposed.

그립부(22)가 띠 형상 워크(W)를 파지하면, 그립 구동부(23)의 이송 모터(23a)가 구동하여, 볼 나사(23b)가 회전하고, 그립부(22)가 워크 폭 방향 외측으로 이동한다. 이에 의해 띠 형상 워크(W)에는 폭 방향으로 텐션이 가해져 늘어난다. 이 신장량이 열 팽창에 의한 신장량과 일치할 때까지, 그립 구동부(23)에 의해 그립부(22)를 이동시켜, 띠 형상 워크(W)에 대해 텐션을 가한다. When the grip portion 22 grips the strip-shaped workpiece W, the feed motor 23a of the grip drive portion 23 drives, the ball screw 23b rotates, and the grip portion 22 moves outward in the workpiece width direction. do. As a result, tension is applied to the strip-shaped work W in the width direction and increases. The grip part 22 is moved by the grip drive part 23 until this elongation amount is equal to the elongation amount by thermal expansion, and tension is applied with respect to the strip | belt-shaped workpiece | work W. FIG.

또한, 제1 텐션 부여 수단(11)에 의한 반송 방향으로의 인장과, 제2 텐션 부여 수단(21)에 의한 워크 폭 방향으로의 인장은 동시에 행해도 된다. In addition, the tension in the conveyance direction by the first tension applying means 11 and the tension in the work width direction by the second tension applying means 21 may be performed at the same time.

띠 형상 워크(W)의 양 방향의 신장량이 열 팽창에 의한 신장량에까지 달하면, 워크 유지 수단(6)의 진공 흡착구멍(6b)에 진공을 공급하여, 띠 형상 워크(W)를 워크 유지 수단(6)에 흡착 유지한다. 제1 텐션 부여 수단(11)의 그립부(12)의 에어 실린더(22a)가 누름판(12a)을 상승시켜, 띠 형상 워크(W)의 반송 방향으로 가해지고 있었던 텐션을 해제한다. 또 제2 텐션 부여 수단(22)의 그립부(22)의 에어 실린더(22g)도 하강하여, 상측 부재(22a)의 그립부(Gr1)가 상승하여, 워크의 폭 방향으로 가해지고 있었던 텐션을 해제한다. 그립 구동부(23)의 이송 모터(23a)가 구동하고, 볼 나사(23b)가 회전하여, 그립부(22)가 워크 폭 방향 내측으로 이동한다. When the amount of extension in both directions of the strip-shaped workpiece W reaches the amount of expansion due to thermal expansion, a vacuum is supplied to the vacuum suction hole 6b of the workpiece holding means 6, and the strip-shaped workpiece W is supplied to the workpiece holding means ( 6) Keep adsorption on. The air cylinder 22a of the grip part 12 of the 1st tension provision means 11 raises the presser plate 12a, and releases the tension applied to the conveyance direction of the strip | belt-shaped workpiece W. As shown in FIG. In addition, the air cylinder 22g of the grip portion 22 of the second tension applying means 22 is also lowered, and the grip portion Gr1 of the upper member 22a is raised to release the tension applied to the width direction of the workpiece. . The feed motor 23a of the grip drive part 23 drives, the ball screw 23b rotates, and the grip part 22 moves inside a workpiece width direction.

또한, 상기한 바와 같이, 띠 형상 워크(W)의 양 방향의 신장량이 열 팽창에 의한 신장량에 달했을 때, 띠 형상 워크(W)를 워크 유지 수단(6)에 유지하지 않고, 제1 텐션 부여 수단(11) 및 제2 텐션 부여 수단(22)으로 유지한 채여도 된다. As described above, when the amount of extension in both directions of the strip-shaped workpiece W reaches the amount of expansion due to thermal expansion, the first tension is imparted without retaining the strip-shaped workpiece W in the workpiece holding means 6. It may be maintained by the means 11 and the second tension applying means 22.

이 경우에는, 제1 텐션 부여 수단(11), 제2 텐션 부여 수단(22) 모두, 띠 형상 워크(W)를 그립부(12, 22)에 의해 유지한 상태로, 그립 구동부(13, 23)의 이송 모터(13a, 23a)를 정지하면, 볼 나사(13b, 23b)의 회전도 정지하여, 띠 형상 워크(W)는 워크 폭 방향으로 가한 텐션을 유지한 채로 유지된다. In this case, in both the 1st tension provision means 11 and the 2nd tension provision means 22, the grip drive parts 13 and 23 in the state which hold | maintained the strip | belt-shaped workpiece W by the grip parts 12 and 22. FIG. When the feed motors 13a and 23a are stopped, the rotation of the ball screws 13b and 23b is also stopped, and the strip-shaped workpiece W is maintained while maintaining the tension applied in the workpiece width direction.

또, 상기한 바와 같이 제1 텐션 부여 수단으로서 반송 롤러(R3)와 브레이크 롤러(R2)를 사용하는 경우는, 반송 롤러(R3)와 가압 롤러(R3'), 및 브레이크 롤러(R2)와 가압 롤러(R2')에 의해 띠 형상 워크(W)를 사이에 끼운 상태로, 반송 롤러(R3)의 회전을 정지하면, 띠 형상 워크(W)는 반송 방향으로 가한 텐션을 유지한 채로 유지된다. Moreover, when using conveyance roller R3 and brake roller R2 as a 1st tension provision means as mentioned above, conveyance roller R3, the press roller R3 ', and brake roller R2 and pressurization are carried out. When rotation of the conveyance roller R3 is stopped in the state which pinched | interposed the strip | belt-shaped workpiece W by roller R2 ', strip | belt-shaped workpiece W is hold | maintained with the tension applied to the conveyance direction.

다음에, 본 실시예의 띠 형상 워크의 양면 노광 장치의 위치 맞춤 및 노광 동작에 관해 설명한다. Next, the alignment and exposure operation of the double-sided exposure apparatus of the strip-shaped workpiece of the present embodiment will be described.

상기한 바와 같이 띠 형상 워크(W)에 텐션을 가해 워크 유지 수단(6)으로 고정한 후, 도시 생략한 얼라인먼트 기구에 의해, 마스크(M1)와 띠 형상 워크(W)의 표면의 얼라인먼트 마크, 및 마스크(M2)와 띠 형상 워크(W)의 이면의 얼라인먼트 마크가 검출되어, 위치 맞춤이 행해진다. 위치 맞춤 종료 후, 광 조사부(41, 42)로부터 노광 광이 조사되어, 띠 형상 워크(W)의 표면과 이면이 동시에 노광된다. As described above, the tension is applied to the strip-shaped workpiece W and fixed with the workpiece holding means 6, and then the alignment marks on the surfaces of the mask M1 and the strip-shaped workpiece W are aligned by an alignment mechanism not shown. The alignment mark of the back surface of the mask M2 and the strip | belt-shaped workpiece | work W is detected, and alignment is performed. After completion of the alignment, the exposure light is irradiated from the light irradiation parts 41 and 42, and the front surface and the back surface of the strip-shaped workpiece W are simultaneously exposed.

노광이 종료하면, 워크 유지 수단(6)으로의 진공의 공급이 정지되어, 띠 형상 워크(W)의 유지가 해제된다. 반송 롤러(R3)가 회전하여, 다음 노광 영역이 노광부(5)에 반송된다. When the exposure ends, the supply of vacuum to the work holding means 6 is stopped, and the holding of the strip-shaped work W is released. The conveyance roller R3 rotates and the next exposure area is conveyed to the exposure part 5.

상기 얼라인먼트에 있어서, 상기한 바와 같이 투영 렌즈(31, 32)를 광축 방향으로 이동시키거나, 투영 렌즈에 줌 기구를 설치해 둠으로써, 띠 형상 워크(W) 상에 투영되는 패턴 이미지의 배율을 조정할 수 있다. 이에 의해, 마스크(M1, M2)와 띠 형상 워크(W)의 얼라인먼트를 문제없이 행할 수 있다. In the alignment, the magnification of the pattern image projected on the strip-shaped workpiece W is adjusted by moving the projection lenses 31 and 32 in the optical axis direction as described above, or by providing a zoom mechanism to the projection lens. Can be. Thereby, alignment of the mask M1, M2 and the strip | belt-shaped workpiece | work W can be performed without a problem.

늘린 띠 형상 워크(W)에 대해 위치 맞춤이나 노광은, 이하와 같이 행해진다. Positioning and exposure are performed as follows with respect to the strip | belt-shaped workpiece | work W extended.

제1 및 제2 텐션 부여 수단(11, 22)에 의해 부여된 텐션에 의해, 띠 형상 워크(W)는 늘어난다. 따라서, 예를 들면 띠 형상 워크(W) 상의, 2개의 워크 얼라인 먼트 마크의 간격도 늘어난다(길어진다). The strip | belt-shaped workpiece | work W increases by the tension provided by the 1st and 2nd tension provision means 11 and 22. As shown in FIG. Therefore, for example, the space | interval of two workpiece alignment marks on the strip | belt-shaped workpiece | work W also increases (it lengthens).

마스크(M1, M2)에는, 워크 얼라인먼트 마크와 같은 간격으로 마스크 얼라인먼트 마크가 형성되어, 양쪽이 같은 위치가 되도록 마스크(M1, M2)와 띠 형상 워크(W)의 위치를 이동시킴으로써, 마스크(M1, M2)와 띠 형상 워크(2)의 위치 맞춤이 행해진다. 그러나, 워크 얼라인먼트 마크의 간격이 늘어나면 정밀도 높게 상기 위치 맞춤을 행하는 것이 어려워진다. Mask alignment marks are formed in the masks M1 and M2 at the same interval as the work alignment marks, and the masks M1 are moved by moving the positions of the masks M1 and M2 and the strip-shaped workpiece W so that both sides have the same position. , M2 and the strip-shaped workpiece 2 are aligned. However, when the interval of the work alignment mark increases, it becomes difficult to perform the said positioning with high precision.

그래서 상기한 바와 같이, 투영 렌즈(31, 32)를 광축 방향으로 이동시키는 기구나, 투영 렌즈(31, 32)에 줌 기구를 설치하여, 띠 형상 워크(W) 상에 투영되는 마스크 패턴 이미지의 배율을 조정한다. Thus, as described above, a mechanism for moving the projection lenses 31 and 32 in the optical axis direction, or a zoom mechanism is provided in the projection lenses 31 and 32, so that the mask pattern image projected on the strip-shaped workpiece W can be Adjust the magnification.

워크 얼라인먼트 마크의 간격이 늘어난만큼(상기한 바와 같이 10㎛∼20㎛), 마스크 패턴 이미지의 배율을 크게 하여 투영한다. 배율이 커짐으로써, 워크 상에 투영되는 마스크 얼라인먼트 마크의 간격도 길어지므로, 워크 얼라인먼트 마크와 일치시킬 수 있어, 상기한 마스크와 워크의 위치 맞춤이 가능해진다. 배율을 크게 하여 패턴을 투영하기 때문에, 노광되는 패턴은 설계값보다도 약간 큰 패턴이 된다. 그러나, 노광 종료 후 텐션을 해제하면 워크는 원래의 크기로 되돌아가기 때문에, 그것에 따라 패턴의 크기도 줄어들므로 문제는 없다. As the interval between the workpiece alignment marks increases (10 µm to 20 µm as described above), the magnification of the mask pattern image is increased to project. As the magnification increases, the interval between the mask alignment marks projected on the work also becomes long, so that it can be matched with the work alignment marks, and the above-mentioned mask and work can be aligned. Since the pattern is projected by increasing the magnification, the exposed pattern is a pattern slightly larger than the design value. However, if the tension is released after the end of the exposure, the workpiece returns to its original size, so the size of the pattern is reduced accordingly, so there is no problem.

또, 양면 동시에 노광되기 때문에, 양면 모두 같은 배율로 패턴 이미지가 투영되고, 줄어들 때도 마찬가지로 줄어들기 때문에, 양쪽의 상대 위치 관계가 어긋나버리는 경우도 없다.In addition, since both surfaces are simultaneously exposed, the pattern image is projected at the same magnification on both sides, and the same is also reduced when it is reduced, so that the relative positional relationship between the two is not shifted.

도 7에, 상기 도 8과 같은 띠 형상 워크에, 상기 장치를 사용하여 텐션을 부 여하여 노광을 행했을 때의 결과를 나타낸다. In FIG. 7, the result at the time of exposing to a strip | belt-shaped workpiece | work like FIG. 8 using the said apparatus and exposing it is shown.

도 7(a)의 가로축은, 띠 형상 워크(W)에 가하는 텐션의 크기이고, 예를 들면 3000g(3kg)이면, 워크의 반송 방향으로도 폭 방향으로도 각각 3kg의 텐션이 가해져 있는 것을 나타낸다. The horizontal axis of FIG. 7 (a) is the magnitude of the tension applied to the strip-shaped workpiece W, and for example, 3000 g (3 kg) indicates that 3 kg of tension is applied in the conveying direction and the width direction of the workpiece, respectively. .

세로축은, 노광에 의해 형성된 패턴의 간격(선폭)의 격차이다. 구체적으로는, 도 7(b), 도 7(c)에 도시하는 바와 같이 약 100㎜×100㎜의 노광 영역 중 25개소에, 간격의 설계값이 15㎛인 패턴을 노광하여 형성하고, 현상 후, 상기 25개소에서 상기 패턴의 간격을 측정하여, 가장 넓은 패턴의 간격에서 가장 좁은 패턴의 간격을 뺀 값을 나타내고 있다. The vertical axis is a gap of the interval (line width) of the pattern formed by exposure. Specifically, as shown in Fig. 7 (b) and Fig. 7 (c), a pattern having a design value of 15 mu m is exposed and formed in 25 places of exposure areas of about 100 mm x 100 mm, and developed. Then, the space | interval of the said pattern was measured at the said 25 places, and the value which subtracted the space | interval of the narrowest pattern from the space | interval of the widest pattern is shown.

상기한 바와 같이, 노광중에 띠 형상 워크(W)가 휘면 흐릿함이나 흔들림이 발생한다. 패턴의 간격 격차가 크다는 것은, 흐릿함이나 흔들림이 크다는 것이고, 즉 노광시에, 띠 형상 워크에 큰 휨이나 늘어남이 발생하고 있는 것이 된다. As described above, when the strip-shaped workpiece W is bent during exposure, blurring or shaking occurs. A large gap in the pattern means that blur or shake is large, that is, a large warp or stretch occurs in the strip-shaped work during exposure.

도 7에 의하면, 띠 형상 워크(W)에 부여하는 텐션이 클수록 패턴의 간격의 격차가 작아지고 있고, 즉 노광중의 워크의 휨이나 신장이 작고, 정밀도가 높은 노광이 가능하게 된다. According to FIG. 7, the larger the tension applied to the strip-shaped workpiece W, the smaller the difference in the interval between the patterns becomes, i.e., the warp and the elongation of the workpiece under exposure are small and the exposure with high accuracy is possible.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 있어서는, 이하의 효과를 얻을 수 있다. As described above, in the present invention, the following effects can be obtained.

(1) 노광중, 띠 형상 워크는 노광 광을 흡수하여, 노광 영역의 온도가 상승하여 열 팽창하는데, 미리 그 신장량만큼 워크는 늘어나 있으므로, 응력이 완화될 뿐 워크의 부풀어오름이나 휨이 발생하지 않는다. 이 때문에, 띠 형상 워크가 광 축 방향으로 이동하지 않아 패턴 이미지의 흐릿함이 발생하지 않고, 정밀도 높은 노광을(마스크 패턴의 전사) 행할 수 있다. (1) During exposure, the strip-shaped workpiece absorbs the exposure light, and the temperature of the exposure area rises and thermally expands. However, since the workpiece is stretched by the amount of elongation in advance, the stress is alleviated and no swelling or warping of the workpiece occurs. . For this reason, since a strip | belt-shaped workpiece | work does not move to an optical axis direction, the blur of a pattern image does not generate | occur | produce, and high-exposure exposure (mask pattern transfer) can be performed.

(2) 또, 띠 형상 워크는 노광 영역의 주변부가 유지되어 있기 때문에, 노광중에 워크가 더 늘어나지 않아, 흔들림의 발생을 막을 수 있다. 따라서, 정밀도 높은 노광을 행할 수 있다. (2) In addition, since the strip-shaped workpiece is held at the periphery of the exposure area, the workpiece does not extend further during exposure, thereby preventing the occurrence of shaking. Therefore, exposure with high precision can be performed.

(3) 투영 노광을 행하고 있으므로, 투영되는 마스크 패턴 이미지의 배율을 조정하여, 워크가 늘어남에 따라 마스크 패턴을 투영할 수 있어, 정밀도 높은 위치 맞춤을 행할 수 있다. (3) Since the projection exposure is performed, the magnification of the mask pattern image to be projected can be adjusted, so that the mask pattern can be projected as the work length increases, so that highly precise positioning can be performed.

Claims

띠 형상 워크의 양면에 마스크 패턴을 노광하는 띠 형상 워크의 양면 투영 노광 장치에 있어서, In the double-sided projection exposure apparatus of the strip-shaped workpiece that exposes the mask pattern on both sides of the strip-shaped workpiece,

띠 형상 워크의 제1 면에 형성하는 패턴이 형성된 제1 마스크; A first mask having a pattern formed on the first surface of the strip-shaped workpiece;

띠 형상 워크의 제2 면에 형성하는 패턴이 형성된 제2 마스크; A second mask having a pattern formed on the second surface of the strip-shaped workpiece;

띠 형상 워크의 제1 면측에 배치된 제1 투영 렌즈; A first projection lens disposed on the first surface side of the strip-shaped workpiece;

띠 형상 워크의 제2 면측에 배치된 제2 투영 렌즈; A second projection lens disposed on the second surface side of the strip-shaped workpiece;

제1 및 제2 마스크 및 상기 제1, 제2 투영 렌즈를 통해 띠 형상 워크에 노광 광을 조사하는 적어도 1개의 광 조사부; At least one light irradiation unit for irradiating exposure light to the strip-shaped workpiece through first and second masks and the first and second projection lenses;

띠 형상 워크를 반송하는 반송 수단; Conveying means for conveying a strip-shaped work;

상기 띠 형상 워크에, 반송 방향으로 텐션을 가하는 제1 수단; First means for applying tension in the conveying direction to the strip-shaped work;

반송 방향과 직교하는 방향으로 텐션을 가하는 제2 수단; 및 Second means for applying tension in a direction orthogonal to the conveying direction; And

상기 반송 방향과, 반송 방향과 직교하는 방향으로 텐션이 가해진 띠 형상 워크를 유지하는 유지 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 띠 형상 워크의 양면 투영 노광 장치.And a holding means for holding a strip-shaped workpiece to which tension is applied in the conveying direction and in a direction orthogonal to the conveying direction.

제1항에 있어서, 상기 반송 방향으로 텐션을 가하는 제1 수단 및 반송 방향과 직교하는 방향으로 텐션을 가하는 제2 수단이 상기 유지 수단을 겸하고 있는 것을 특징으로 하는 띠 형상 워크의 양면 투영 노광 장치. 2. The double-sided projection exposure apparatus according to claim 1, wherein the first means for applying tension in the conveying direction and the second means for applying tension in a direction orthogonal to the conveying direction also serve as the holding means.