KR100639585B1 - 레이저 제어방법, 레이저 장치, 및 이에 이용되는 레이저가공방법, 레이저 가공기 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 여기광을 게인 매질에 연속적으로 조사하는 단계와, Q 스위치를 온으로 하여 연속 발진하는 단계와, 상기 Q 스위치를 오프로 하여 발진 휴지 기간으로 변경하는 단계와, 상기 Q 스위치를 다시 온으로 하여 연속 발진시켜 펄스 레이저를 출력하는 단계를 가지고, 상기 연속 발진하는 단계와 발진 휴지 기간으로 변경하는 단계와 다시 연속 발진하는 단계를 반복하여 펄스 레이저를 출력하는 레이저 제어 방법으로서,각 연속 발진 기간을 계측하여 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속했는지의 여부를 판단하는 단계; 및상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우에, 그 후의 발진 휴지 기간과 더 다음의 발진 휴지 기간을 다르게 설정하는 단계를 포함하는 레이저 제어방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우에, 그 후의 발진 휴지 기간을 더 다음의 발진 휴지 기간보다 짧게 하는 것을 특징으로 하는 레이저 제어방법.
- 제 1 또는 2항에 있어서, 엑스트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 제어방법.
- 제 1 또는 2항에 있어서, 인트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 제어방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 다시 연속 발진하는 단계로 전환한 타이밍으로부터 일정 시간 동안 상기 펄스 레이저를 광학 변조기에 통과시키는 것을 특징으로 하는 레이저 제어방법.
- 제 1 또는 5항에 있어서, 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우의 발진 휴지 기간을 상기 Q 스위치의 연속 발진 기간에 따라 가변하는 것을 특징으로 하는 레이저 제어방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 Q 스위치의 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우에, 원하는 레이저 펄스를 얻을 때까지 발진 휴지 기간을 조정하는 것을 특징으로 하는 레이저 제어방법.
- 제 7 항에 있어서, 상기 Q 스위치의 연속 발진 기간에 따라 발진 휴지 시간을 전환하는 것을 특징으로 하는 레이저 제어방법.
- 제 7 항에 있어서, 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우의 발진 휴지 기간의 더 다음의 발진 휴지 기간 이후는 그 전의 펄스를 모니터함으로써 상기 레이저 펄스가 일정하게 되도록 보정하는 것을 특징으로 하는 레이저 제어방법.
- 제 7 또는 8항에 있어서, 엑스트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 제어방법.
- 제 7 또는 8항에 있어서, 인트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 제어방법.
- 제 7항에 있어서, 상기 다시 연속 발진하는 단계로 전환된 타이밍에서부터 일정 시간 동안 상기 펄스 레이저를 광학 변조기에 통과시킴으로써 레이저광의 펄스부를 추출하는 것을 특징으로 하는 레이저 제어방법.
- 고반사 미러와 출력경의 사이에 배치하고 여기광이 조사되는 게인 매질과;상기 고반사 미러, 상기 출력경, 및 상기 게인 매질의 적어도 어느 것 사이에 배치한 Q 스위치;상기 Q 스위치를 온으로 하여 연속 발진한 후, 상기 Q 스위치를 오프로 하여 발진 휴지 기간으로 변경하고, 다시 상기 Q 스위치를 온으로 하여 연속 발진시켜 펄스 레이저를 출력하는 제어 회로를 포함하고,상기 제어 회로는 연속 발진 기간을 계측하여 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속했다고 판단했을 시에 그 후의 발진 휴지 기간과, 더 다음의 발진 휴지 기간을 다르게 설정하는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 제 13항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우에, 그 후의 발진 휴지 기간을 더 다음의 발진 휴지 기간보다 짧게 하는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 제 13 또는 14항에 있어서, 엑스트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 제 13 또는 14항에 있어서, 인트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 제 13항에 있어서, 레이저 광의 진로 중에 광학 변조기를 설치하고, 상기 제어 회로는 상기 Q 스위치가 발진 휴지 기간으로부터 연속 발진 기간으로 전환된 타이밍으로부터 일정 시간 동안 광학 변조기에 레이저 광을 통과시키는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 제 13 또는 17항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 Q 스위치의 연속 발진 기간에 따라 발진 휴지 기간을 전환하는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 제 13 항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 Q 스위치의 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우에, 원하는 레이저 펄스를 얻을 때까지 상기 발진 휴지 기간을 조정하는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 제 19 항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 Q 스위치의 연속 발진 기간에 따라 발진 휴지 시간을 전환하는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 제 19 항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우의 발진 휴지 기간의 더 다음의 발진 휴지 기간 이후는 그 전의 펄스를 모니터함으로써 상기 레이저 펄스가 일정하게 되도록 보정하는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 제 19 내지 21항중 어느 한 항에 있어서, 엑스트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 제 19 내지 21항중 어느 한 항에 있어서, 인트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 제 19 항에 있어서, 레이저 광의 진로 중에 광학 변조기를 설치하고, 상기 제어 회로는 상기 Q 스위치가 발진 휴지 기간으로부터 연속 발진 기간으로 전환된 타이밍으로부터 일정 시간 동안 광학 변조기에 레이저 광을 통과시키는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
- 가공될 워크의 가공점을 결정하는 단계와, 여기광을 게인 매질에 연속적으로 조사하는 단계와, Q 스위치를 온으로 하여 연속 발진하는 단계와, 상기 Q 스위치를 오프로 하여 발진 휴지 기간으로 변경하는 단계와, 상기 워크를 가공하기 위하여 상기 Q 스위치를 다시 온으로 하여 연속 발진시켜 펄스 레이저를 출력하는 단계를 반복하여 펄스 레이저를 상기 결정된 워크의 가공점으로 출력하는 레이저 가공 방법으로서,각 연속 발진 기간을 계측하여 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속했는지의 여부 판단하는 단계; 및상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우에, 그 후의 발진 휴지 기간과 더 다음의 발진 휴지 기간을 다르게 설정하는 단계를 포함하는 레이저 가공 방법.
- 제 25 항에 있어서, 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우에, 그 후의 발진 휴지 기간을 더 다음의 발진 휴지 기간보다 짧게 하는 레이저 가공방법.
- 제 25 또는 26항에 있어서, 엑스트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 Q 스위치 레이저를 이용한 것을 특징으로 하는 레이저 가공방법.
- 제 25 또는 26항에 있어서, 인트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 Q 스위치 레이저를 이용한 것 을 특징으로 하는 레이저 가공방법.
- 제 25항에 있어서, 상기 다시 연속 발진하는 단계로 전환된 타이밍으로부터 일정 시간 동안 펄스 레이저를 광학변조기에 통과시키는 것을 특징으로 하는 레이저 가공방법.
- 제 25 또는 29항에 있어서, 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우의 발진 휴지 기간을 상기 Q 스위치의 연속 발진 기간에 따라 가변하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공방법.
- 제 25 항에 있어서, 상기 Q 스위치의 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우에, 원하는 레이저 펄스를 얻을 때까지 발진 휴지 기간을 조정하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공방법.
- 제 31항에 있어서, 상기 Q 스위치의 연속 발진 기간에 따라 발진 휴지 시간을 전환하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공방법.
- 제 31항에 있어서, 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우의 발진 휴지 기간의 더 다음의 발진 휴지 기간 이후는 그 전의 펄스를 모니터함으로써 레이저 펄스가 일정하게 되도록 보정하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공방법.
- 제 31 내지 33항중 어느 한 항에 있어서, 엑스트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 가공방법.
- 제 31 내지 33항중 어느 한 항에 있어서, 인트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 가공방법.
- 제 31항에 있어서, 상기 다시 연속 발진하는 단계로 전환된 타이밍에서부터 일정 시간 동안 펄스 레이저를 광학 변조기에 통과시킴으로써 레이저광의 펄스부를 추출하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공방법.
- 가공될 워크의 가공점을 결정하는 수단:고반사 미러와 출력경의 사이에 배치하고 상기 가공점 결정 수단에 의해 결정된 가공점에 기초한 여기광이 조사되는 게인 매질;상기 고반사 미러와 출력경과 게인 매질의 적어도 어느 것 사이에 배치한 Q 스위치;상기 워크를 가공하기 위하여 상기 Q 스위치를 온으로 하여 연속 발진한 후, 상기 Q 스위치를 오프로 하여 발진 휴지 기간으로 변경하고, 상기 Q 스위치를 다시 온으로 하여 연속 발진시켜 펄스 레이저를 상기 가공점 결정 수단에 의해 결정된 워크의 가공점으로 출력하는 제어 회로를 포함하고,상기 제어 회로는 연속 발진 기간을 계측하여 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속했다고 판단했을 시에 그 후의 발진 휴지 기간과, 더 다음의 발진 휴지 기간을 다르게 설정하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공기.
- 제 37 항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 연속 발진 기간이 일정 시간 이상 계속한 경우에, 그 후의 발진 휴지 기간을 더 다음의 발진 휴지 기간보다 짧게 하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공기.
- 제 37 또는 38항에 있어서, 엑스트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 Q 스위치 레이저를 이용한 것을 특징으로 하는 레이저 가공기.
- 제 37 또는 38항에 있어서, 인트라 캐비티 방식으로 비선형 결정을 만듦으로써 고조파 발생 레이저광을 얻는 것을 특징으로 하는 Q 스위치 레이저를 이용한 것을 특징으로 하는 레이저 가공기.
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