KR100638414B1 - 기판 조작 챔버에서의 기판 지지대의 가열 방법 및 열적기판 조작 장치 - Google Patents
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- 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역 각각의 온도를 각각 제 1 최종 온도 및 제 2 최종 온도로 제어가능하게 증가시키는 가열 장치로서,서셉터;열을 공급하도록 상기 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역에 각각 접속되는 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자;제 1 결정점 온도값과 제 2 결정점 온도값을 저장하는 메모리; 및상기 제 1 가열 소자의 온도가 상기 제 1 결정점 온도보다 낮은지 여부에 따라 상기 제 1 가열 소자에 전력을 결합시키고, 상기 제 2 가열 소자의 온도가 상기 제 2 결정점 온도보다 낮은지 여부에 따라 상기 제 2 가열 소자에 전력을 결합시키기 위해, 상기 메모리에 저장되는 상기 제 1 결정점 온도와 제 2 결정점 온도의 값을 설정하는 제어기를 포함하며,상기 제어기는 상기 제 1 결정점 온도가 상기 제 1 최종 온도에 도달할 때까지 상기 제 1 결정점 온도의 저장된 값을 주기적으로 증가시키며,상기 제어기가 상기 제 1 결정점 온도를 증가시킬 때마다, 상기 제어기는 상기 제 2 결정점 온도가 상기 제 2 최종 온도에 도달할 때까지 상기 제 2 결정점 온도를 상기 제 1 결정점 온도의 현재 값과 예정된 온도 옵셋 값의 합으로 설정하는, 가열 장치.
- 제 29 항에 있어서,상기 제어기가 상기 제 1 결정점 온도를 증가시킬 때마다, 상기 제어기는 상기 제 1 결정점 온도를 상기 제 1 가열 소자의 현재 온도와 예정된 가열 속도의 값의 합으로 설정하는 것을 특징으로 하는 가열 장치.
- 제 29 항에 있어서,상기 제 1 가열 소자와 상기 제 2 가열 소자 각각의 온도들 간의 차가 초기에 예정된 양을 초과하는 경우, 상기 차가 상기 예정된 양보다 작아질 때까지, 상기 제어기는 상기 가열 소자들 중 더 가열된 것을 차단시키는 것을 특징으로 하는 가열 장치.
- 제 29 항에 있어서,상기 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역은 각각 내부 영역 및 외부 영역인 것을 특징으로 하는 가열 장치.
- 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역 각각의 온도들을 각각 제 1 최종 온도 및 제 2 최종 온도로 제어가능하게 증가시키는 가열 장치로서,서셉터;열을 공급하도록 상기 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역에 각각 결합되는 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자;제 1 결정점 온도값과 제 2 결정점 온도값을 저장하는 메모리; 및상기 제 1 가열 소자의 온도가 상기 제 1 결정점 온도보다 낮은지 여부에 따라 상기 제 1 가열 소자에 전력을 결합시키고, 상기 제 2 가열 소자의 온도가 상기 제 2 결정점 온도보다 낮은지 여부에 따라 상기 제 2 가열 소자에 전력을 결합시키기 위해, 상기 메모리에 저장되는 상기 제 1 결정점 온도와 제 2 결정점 온도의 값을 설정하는 제어기를 포함하며,상기 제어기는 상기 제 1 결정점 온도가 상기 제 1 최종 온도에 도달할 때까지, 상기 제 1 결정점 온도를 상기 제 1 가열 소자의 현재 온도 값과 예정된 가열 속도 값의 합으로 주기적으로 설정함으로써 상기 서셉터의 제 1 영역의 온도를 증가시키는, 가열 장치.
- 제 33 항에 있어서,상기 제어기는 상기 제 2 결정점 온도가 상기 제 2 최종 온도에 도달할 때까지, 상기 제 2 결정점 온도를 상기 제 1 결정점 온도의 현재 값과 예정된 온도 옵셋 값의 합으로 주기적으로 설정하는 것을 특징으로 하는 가열 장치.
- 제 34 항에 있어서,상기 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역은 각각 내부 영역 및 외부 영역인 것을 특징으로 하는 가열 장치.
- 서셉터의 제 1 영역과 제 2 영역의 각각의 온도를 제어가능하게 증가시키는 가열 장치로서,서셉터;열을 공급하도록 상기 서셉터의 제 1 영역과 제 2 영역에 각각 결합되는 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자; 및상기 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자를 작동 및 차단시키는 제어기를 포함하며,상기 제 1 가열 소자와 제 2 가열 소자간의 온도차가 초기에 예정된 온도 옵셋 값보다 큰 경우, 상기 제어기는 상기 제 1 가열 소자와 제 2 가열 소자의 온도들 간의 차가 상기 온도 옵셋 값으로 감소될 때까지 상기 가열 소자들 더 차가운 것을 작동시키고 다른 가열 소자는 차단시키고,상기 제 1 가열 소자와 제 2 가열 소자의 온도들 간의 차가 상기 온도 옵셋 값 또는 그보다 작은 값으로 감소된 이후, 상기 제어기는 상기 제 1 가열 소자와 제 2 가열 소자 모두를 작동시키는, 가열 장치.
- 제 36 항에 있어서,상기 제어기가 상기 가열 소자들을 작동시킨 이후, 상기 제어기는 상기 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자가 예정된 원하는 가열 속도를 초과하지 않는 각각의 가열 속도로 가열되게 하며, 상기 제어기가 상기 가열 소자들 중 하나만을 작동시키는 시간 동안, 상기 제어기는 상기 하나의 가열 소자가 상기 예정된 원하는 가열 속도 보다 큰 가열 속도로 가열되게 하는 것을 특징으로 하는 가열 장치.
- 최종 온도로 서셉터를 제어가능하게 가열하는 가열 장치로서,서셉터;열을 공급하도록 상기 서셉터에 결합되는 가열 소자;결정점 온도 값을 저장하는 메모리; 및상기 메모리에 저장된 결정점 온도의 값을 설정하고 상기 가열 소자의 온도가 상기 결정점 온도보다 작은지 여부에 따라 상기 가열 소자에 전력을 결합시키는 제어기를 포함하며,상기 제어기는 상기 결정점 온도가 상기 최종 온도에 도달할 때까지, 상기 결정점 온도를 상기 가열 소자의 현재 온도와 예정된 가열 속도의 값의 합으로 주기적으로 설정함으로써 상기 서셉터의 온도를 증가시키는, 가열 장치.
- 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역의 각각의 온도를 각각 제 1 최종 온도 및 제 2 최종 온도로 제어가능하게 증가시키는 방법으로서,열을 공급하기 위해 상기 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역에 각각 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자를 결합시키는 단계;제 1 결정점 온도 및 제 2 결정점 온도를 저장하는 단계;상기 제 1 가열 소자의 온도가 상기 제 1 결정점 온도보다 작은지 여부에 따라 상기 가열 소자에 전력을 결합시키는 단계;상기 제 2 가열 소자의 온도가 상기 제 2 결정점 온도보다 작은지 여부에 따라 상기 제 2 가열 소자에 전력을 결합시키는 단계;상기 제 1 결정점 온도가 상기 제 1 최종 온도에 도달할 때까지, 상기 제 1 결정점 온도의 저장된 값을 주기적으로 증가시키는 단계;상기 제 2 결정점 온도가 상기 제 2 최종 온도에 도달할 때까지, 상기 제 2 결정점 온도의 저장된 값을 상기 제 1 결정점 온도의 현재 값과 예정된 온도 옵셋 값의 합으로 주기적으로 설정하는 단계를 포함하는 온도를 제어가능하게 증가시키는 방법.
- 제 39 항에 있어서,상기 제 1 결정점 온도의 저장된 값을 주기적으로 증가시키는 단계는, 상기 제 1 결정점 온도를 상기 제 1 가열 소자의 현재 온도와 예정된 가열 속도 값의 합으로 주기적으로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 온도를 제어가능하게 증가시키는 방법.
- 제 39 항에 있어서,상기 제 1 가열 소자와 제 2 가열 소자 각각의 온도 간의 차가 초기에 예정된 양을 초과하는 경우, 상기 차가 상기 예정된 양보다 작아질 때까지, 가열 소자들중 더 가열된 것을 차단시키는 것을 특징으로 하는 온도를 제어가능하게 증가시키는 방법.
- 제 39 항에 있어서,상기 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역은 각각 내부 영역 및 외부 영역인 것을 특징으로 하는 온도를 제어가능하게 증가시키는 방법.
- 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역 각각의 온도를 제 1 최종 온도 및 제 2 최종 온도로 제어가능하게 증가시키는 방법으로서,열을 공급하기 위해 상기 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역에 각각 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자를 결합시키는 단계;상기 제 1 결정점 온도와 제 2 결정점 온도를 저장하는 단계;상기 제 1 가열 소자의 온도가 상기 제 1 결정점 온도보다 낮은지 여부에 따라 상기 제 1 가열 소자에 전력을 결합시키는 단계;상기 제 2 가열 소자의 제 2 온도가 상기 제 2 결정점 온도보다 낮은지 여부에 따라 상기 가열 소자에 전력을 결합시키는 단계; 및상기 제 1 결정점 온도가 상기 제 1 최종 온도에 도달할 때까지, 상기 제 1 결정점 온도를 상기 제 1 가열 소자의 현재 온도와 예정된 가열 속도의 값의 합으로 주기적으로 설정하는 단계를 포함하는 온도를 제어가능하게 증가시키는 방법.
- 제 43 항에 있어서,상기 제 2 결정점 온도가 상기 제 2 최종 온도에 도달할 때까지, 상기 제 2 결정점 온도를 상기 제 1 결정점 온도의 현재 값과 예정된 온도 옵셋 값의 합으로 주기적으로 설정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 온도를 제어가능하게 증가시키는 방법.
- 제 43 항에 있어서,상기 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역은 각각 내부 영역 및 외부 영역인 것을 특징으로 하는 온도를 제어가능하게 증가시키는 방법.
- 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역 각각의 온도를 제어가능하게 증가시키는 방법으로서,열을 공급하기 위해 상기 서셉터의 제 1 영역 및 제 2 영역 각각에 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자를 결합시키는 단계;상기 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자의 온도들 간의 차가 초기에 예정된 온도 옵셋 값 보다 큰 경우, 상기 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자의 온도들 간의 차가 상기 온도 옵셋 값으로 감소될 때까지, 가열 소자들 중 보다 차가운 것을 동작시키고 다른 가열 소자는 차단시키는 단계; 및상기 제 1 가열 소자와 제 2 가열 소자의 온도들 간의 차가 상기 온도 옵셋 값 또는 그보다 작은 값으로 감소된 이후, 상기 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자 모두를 동작시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 온도를 제어가능하게 증가시키는 방법.
- 제 46 항에 있어서,상기 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자 모두를 동작시키는 단계는, 예정된 원하는 온도 가열 속도를 초과하지 않지 않는 각각의 가열 속도로 상기 제 1 가열 소자 및 제 2 가열 소자가 가열되도록 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 온도를 제어가능하게 증가시키는 방법.
- 서셉터의 온도를 최종 온도로 제어가능하게 증가시키는 방법으로서,열을 공급하기 상기 서셉터에 가열 소자를 결합시키는 단계;결정점 온도값을 저장하는 단계;상기 가열 소자의 온도가 상기 결정점 온도 이하인지 여부에 따라 상기 가열 소자에 전력을 결합시키는 단계; 및상기 결정점 온도가 상기 최종 온도에 도달할 때까지, 상기 결정점 온도를 상기 가열 소자의 현재 온도와 예정된 가열 속도의 값의 합으로 주기적으로 설정하는 단계를 포함하는 온도를 제어가능하게 증가시키는 방법.
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